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 前 言

奈米材料作為物質存在的一種新狀態正逐漸為人們所接受，奈米技術

和奈米材料的科學價值和應用前景已逐漸被人們所認識，奈米材料的製備

及其相關性能的理論與應用研究作為一個新興的學科領域正在形成與發展

之中，並引起中外學者越來越濃厚的興趣。奈米材料與奈米技術被認為是

21 世紀的三大科技之一。

奈米科學技術是在奈米尺度內透過對物質反應、傳輸和轉變的控制來

創造新材料、開發元件及充分利用它們的特殊性能，並且探索在奈米尺度

內物質運動的新現象和新規律。奈米材料與奈米技術能迅速發展，正是因

它集中體現了小尺寸、複雜構型、高集成度和強相互作用以及高表面積等

現代科學技術發展的特點。社會發展、經濟振興對高科技的需求越來越迫

切，元件的超微化、高密度集成和高空間解析等要求材料的尺寸越來越

小、性能越來越高，故奈米材料將得到廣泛的應用。奈米材料與奈米技術

的應用不僅節省資源，而且能源的消耗少，同時在防治環境污染方面也將

發揮重要的作用。

奈米材料的製備是當前奈米材料領域含有豐富科學內涵的一個重要的

分支學科。奈米材料的製備與研究向各個領域的滲透日益廣泛和深入，已

擴展到包括化學、光學、電子學、磁學、機械學、結構學及功能材料學等

領域，有的已進入實用階段。為適應未來世紀奈米科技和奈米材料發展的

需要，很有必要對奈米材料的製備技術進行總結。

奈米微粉的製備方法過去常常被分為物理方法和化學方法。科學的分

類方法應該是氣相法、液相法、固相法。為了改善或改變奈米粒子的分散

性，提高微粒表面活性，使微粒表面產生新的物理、化學、機械性能及新

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 2 前 言

的功能，改善奈米粒子與其他物質之間的相容性，需要用物理、化學方法

改變奈米微粒表面的結構和狀態，實現人們對奈米微粒表面的控制（奈米

微粒的表面工程），從而深入認識奈米微粒的基本物理效應，擴大奈米微

粒的應用範圍，因此奈米微粒表面修飾亦有十分重要的意義。奈米微粉的

製備是製備其他材料的基礎，一維奈米材料、二維三維奈米材料、奈米複

合材料、奈米結構的製備方法與奈米微粉的製備方法密切相關，但各自有

其顯著的特點，故本書在參考了大量中外文獻、著作的基礎上，依奈米粉

末（零維）、奈米纖維（一維）、奈米膜（二維）、奈米塊體（三維）、

奈米複合材料、奈米結構等六類分八章全面地介紹奈米材料的製備技術。

全書由王世敏、許祖勛、傅晶編著。參加編寫工作的有：傅晶（第 1

章、第 5 章），王世敏（第 2 章、第 8 章），吳會光（第 3 章），吳崇浩

（第 4 章），趙雷、許祖勛（第 6 章），李明軒（第 7 章）。全書由王世

敏統稿。

本書的編寫得到了胡曙光教授、程時遠教授、陳祖興教授以及丁尚林

先生的大力支持，在此表示誠摯的謝意！

奈米材料製備技術的研究發展迅速，製備方法日新月異，文獻資料浩

如煙海，難以全面收集並一一註明，疏漏與不妥之處，懇請專家和讀者批

評指正！

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 出版者的話

奈米科技（Nanotechnology）是 20 世紀 80 年代末、90 年代初逐漸發

展起來的新興學科領域。它的快速發展將在 21 世紀使幾乎所有的工業領域
產生變化。科技工作者在奈米科技研究方面已經取得了重要的進展。
在知識創新的環境下，為滿足讀者對新知識、新技術的需要，我們規
劃了一套《奈米研究與應用系列》叢書。目前該系列叢書包括如下：
奈米時代（Nano Times）
奈米材料（Nano Materials）
聚合物/層狀矽酸鹽奈米複合材料（PLS Nano Composite Materials）
奈米建材（Nano Building Material）
奈米陶瓷（Nano Ceramics）
奈米粉體合成技術與應用（Nano Powder Synthesis Technology and
Application）
奈米纖維（Nano Fiber）
奈米金屬（Nano Metal）
奈米複合材料（Nano Composite Material）
奈米催化技術（Nano Catalytic Technology）
奈米製造技術（Nano Fabrication Technology）
奈米碳管（Carbon Nanotubes）
聚合物─無機奈米複合材料（Polymer-nano Inorganic Composite Material）
奈米材料化學（Nano Material Chemistry）
奈米材料技術（Nano Material Technology）
奈米光觸媒（Nano Photocatalyst）
微米/奈米尺度傳熱學（Micro/Nano Scale Heat Transfer）
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 2 出版者的話

奈米材料原理與製備（Nanomaterial Science and Processing Technology）

奈米生物科技（Nano Biotechnology）
對此系列叢書，我們秉持著出版人的堅持，會持續不斷的更新和增加
新的書種。
希望本系列叢書對於從事新技術研發和奈米材料研究的科技人員有所
幫助。

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 目 錄

緒 論 1

第 1章 氣相法製備奈米微粒 9

1.1 氣體中蒸發法 10
1.1.1 電阻加熱法 12

1.1.2 高頻感應加熱法 15

1.1.3 電漿體加熱法 18

1.1.4 電子束加熱法 27

1.1.5 雷射加熱法 31

1.1.6 通電加熱蒸發法 33

1.1.7 流動油面上真空沉積法 34

1.1.8 爆炸絲法 37

1.2 化學氣相反應法 40
1.2.1 化學氣相反應法的基本原理 41

1.2.2 熱管爐加熱化學氣相反應法 44

1.2.3 雷射誘導化學氣相反應法 50

1.2.4 電漿體加強化學氣相反應法 70

1.3 化學氣相凝聚法 78

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 2 目 錄

1.4 濺鍍法 80
參考文獻 84

第 2章 液相法製備奈米微粒 87

2.1 沉澱法 88
2.1.1 共沉澱法 88

2.1.2 均相沉澱法 92

2.2 水解法 93
2.2.1 無機鹽水解法 93

2.2.2 金屬醇鹽水解法 94

2.3 噴霧法 112

2.3.1 噴霧乾燥法 112

2.3.2 霧化水解法 114

2.3.3 噴霧焙燒法 116

2.4 溶劑熱反應法（高溫高壓） 117

2.4.1 水熱法 118

2.4.2 有機溶劑熱法 120

2.5 蒸發溶劑熱解法 121

2.6 氧化還原法（常壓） 125
2.6.1 水溶液法 125

2.6.2 有機溶液法 127

2.7 乳液法 129

2.7.1 乳液法的基本原理 130

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 3

2.7.2 微乳液的選擇標準 131

2.7.3 奈米微粒的乳液法製備 133

2.8 輻射化學合成法 136

2.9 溶膠 凝膠法 139
2.9.1 溶膠 凝膠法的分類 141

2.9.2 溶膠 凝膠法的技術原理及技術 142

參考文獻 157

第 3章 固相法製備奈米微粒 161

3.1 熱分解法 163

3.1.1 草酸鹽的分類 164

3.1.2 草酸鹽的熱分解 165

3.2 固相反應法 169

3.3 火花放電法 171
3.4 溶出法 173
3.5 球磨法 174
3.5.1 高能球磨法（以機械合金化球磨為例）
的製備技術 177

3.5.2 高能球磨法製備奈米微粒 179

參考文獻 191

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 4 目 錄

第 4章 奈米微粒表面修飾 193

4.1 奈米微粒的表面修飾研究及方法概述 194

4.1.1 奈米微粒的表面修飾研究 194

4.1.2 奈米微粒表面修飾的方法 196

4.2 奈米微粒表面物理修飾 198

4.3 奈米微粒表面化學修飾 203
4.3.1 酯化反應法 204

4.3.2 偶聯劑法 205

4.3.3 表面接枝改質法 209

參考文獻 213

第 5章 一維奈米材料的製備 215

5.1 奈米碳管的製備 216

5.1.1 電弧法 219

5.1.2 碳氫化合物催化分解法 223

5.1.3 電漿體法和雷射法 227

5.1.4 其他製備方法 229

5.2 奈米碳管的純化 233

5.2.1 氣相氧化法 233

5.2.2 液相氧化法 236

5.2.3 溴化 氣相氧化法 237

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 5

5.2.4 單層奈米碳管的純化 237

5.3 奈米棒、奈米絲和奈米線的製備 238

5.3.1 雷射燒蝕法（包括雷射沉積法） 245

5.3.2 蒸發冷凝法 250

5.3.3 氣 固生長（VS）法 251

5.3.4 溶液 液相 固相（SLS）法 252

5.3.5 選擇電沉積法 252

5.3.6 模板法 253

5.3.7 聚合法 264

5.3.8 金屬有機化合物氣相磊晶與晶體的
氣 液 固生長法相結合 265

5.3.9 溶膠 凝膠與碳熱還原法合成
碳化矽和氮化矽奈米線 267

5.3.10 奈米尺度液滴磊晶（epitaxial）法
合成碳化矽奈米線 268

5.4 同軸奈米電纜的製備 269

參考文獻 273

第 6章 二維三維奈米材料的製備 283

6.1 奈米金屬與合金材料的製備 285

6.1.1 惰性氣體蒸發與原位加壓製備法 285

6.1.2 高效能球磨法結合加壓成塊法 287

6.1.3 非晶晶化法 288

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 6 目 錄

6.1.4 高壓、高溫固相淬火法 290

6.1.5 大塑性變形方法 290

6.1.6 塑性變形加循環相變方法 291

6.1.7 脈衝電流直接晶化法 291

6.1.8 深過冷直接晶化法 292

6.2 奈米陶瓷的製備 294

6.2.1 無壓力燒結 294

6.2.2 應力有助燒結 297

6.3 奈米薄膜的製備 302

6.3.1 溶膠 凝膠法 304

6.3.2 電沉積法 306

6.3.3 高速超微粒子沉積法 306

6.3.4 電漿體化學氣相沉積技術 308

6.3.5 濺鍍法 309

6.3.6 化學氣相沉積法 311

6.3.7 惰性氣體蒸發法 313

參考文獻 314

第 7章 奈米複合材料的製備 317

7.1 奈米複合材料的分類 318

7.2 無機奈米複合材料的製備 320
7.2.1 溶膠 凝膠（Sol Gel）法 320

7.2.2 高能球磨法 322

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 7

7.2.3 化學氣相沉積法 323

7.2.4 RF 濺鍍法 324

7.2.5 無機晶體生長法 324

7.2.6 其他方法 324

7.3 有機 無機奈米複合材料的製備 325

7.3.1 溶膠 凝膠法 326

7.3.2 插層複合法 333

7.3.3 輻射合成法 338

7.3.4 奈米粒子直接分散法 339

7.3.5 奈米微粒原位生成法 343

7.3.6 前驅體法 345

7.3.7 LB 膜技術 346

7.4 聚合物／聚合物奈米複合材料的製備 348

7.4.1 聚合物／聚合物分子複合材料的製備 349

7.4.2 聚合物／溶致性液晶聚合物原位複合材料的製備 351

7.4.3 奈米級聚合物微纖／聚合物複合材料的製備 351

參考文獻 353

第 8章 奈米結構的製備 357

8.1 奈米結構自組織和分子自組織合成 360

8.1.1 奈米結構自組織合成 361

8.1.2 奈米結構分子自組織合成 372

8.2 厚膜模板法合成奈米陣列 375

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 8 目 錄

8.2.1 模板的製備和分類 376

8.2.2 奈米結構的厚膜模板合成方法和技術要點 379

8.3 介孔固體和介孔複合體的合成 385

8.4 單電子電晶體的製備 396
8.5 奈米碳管有序陣列的化學氣相法合成 400
8.6 奈米粒子和離子團與沸石的組裝體系的製備 403
8.6.1 沸石結構的描述 403

8.6.2 金屬奈米粒子和金屬離子團簇
與沸石組裝體系的合成 406

參考文獻 423

索 引 431

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 2 奈米材料原理與製備

3
奈米（nanometer）是一個長度單位，1 奈米（nm）=10 微米
6 9
（ m）=10 毫米（mm）=10 米（m）=10 埃（Å）。奈米科學與
技術（Nano ST）是研究由尺寸在 0.1～100nm 之間的物質所組成體
系的運動規律和相互作用以及實際應用中可能面臨的技術問題的科學
技術。奈米科技主要包括：
奈米材料學。
奈米化學。
奈米體系物理學。
奈米生物學。
奈米電子學。
奈米力學。
奈米加工學。
奈米材料（nanomaterial）是指在三維空間中至少有一維處於奈
米尺度範圍或由它們作為基本單元所構成的材料。奈米材料的基本單
元按維數可以分為三類：
零維，指其在空間三維尺度均在奈米尺度，如奈米尺度顆粒、原
子團簇、人造超原子、奈米尺寸的孔洞等。
一維，指在空間有兩維處於奈米尺度，如奈米絲、奈米棒、奈米
管等。
二維，指在三維空間中有一維在奈米尺度，如超薄膜、多層膜、
超晶格等。
因為這些單元往往具有量子性質，所以零維、一維和二維基本單
元又分別有量子點、量子線和量子面之稱。
奈米材料大致可分為奈米粉末（nanopowder）（零維）、奈米纖
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 3

維（nanofiber）（一維）、奈米膜（nanofilm）（二維）、奈米塊體
（nanoblock）（三維）、奈米複合材料（nano composites）、奈米結
構等六類。其中奈米粉末研究開發時間最長、技術最為成熟，是製備
其他奈米材料的基礎。
奈米粉末又稱為超微粉或超細粉，一般指徑度在 100 奈米以下的
粉末或顆粒，是一種介於原子、分子與巨觀物體之間處於中間物態的
固體顆粒材料，可用於高密度磁記錄材料、吸波隱身材料、磁流體材
料、防輻射材料、單晶矽和精密光學元件拋光材料、微晶片導熱基片
與布線材料、微電子封裝材料、光電子材料、先進的電池電極材料、
太陽能電池材料、高效催化劑、高效助燃劑、敏感元件、高韌性陶瓷
材料、人體修復材料、抗癌製劑等。
奈米纖維（nanofiber）指直徑為奈米尺度而長度較大的線狀材
料，可用於微導線、微光纖（未來量子計算機與光子計算機的重要元
件）材料、新型雷射或發光二極體材料等。
奈米膜分為顆粒膜與緻密膜。顆粒膜是奈米顆粒黏在一起，中間
有極為細小的間隙的薄膜；緻密膜指膜層緻密但晶粒尺寸為奈米級的
薄膜。可用於氣體催化（如汽車廢氣處理）材料、過濾器材料、高密
度磁記錄材料、光敏材料、平面顯示器材料、超導材料等。
奈米塊體是將奈米粉末高壓成型或控制金屬液體結晶而得到的奈
米晶體粒材料，主要用途為超高強度材料、智能金屬材料等。
奈米複合材料（nano composites）包括奈米微粒與奈米微粒複合
（0 0 複合）、奈米微粒與常規塊體複合（0 3 複合）、奈米微粒與
薄膜複合（0 2 複合）、不同材質奈米薄膜層狀複合（2 2 複合）
等。透過物理或化學方法將奈米微粒填充在介孔（subporous）固體
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 4 奈米材料原理與製備

（如氣凝膠材料）的奈米孔洞（nanopore）中，這種介孔複合體（sub-
porous composite）也是奈米複合材料。奈米複合材料可利用已知奈米
材料奇特的物理、化學性能進行設計，具有優良的綜合性能，可應用
於航空、航太及人們日常生產、生活的各個領域，奈米複合材料被譽
為「二十一世紀的新材料」。
奈米結構是以奈米尺度的物質單元為基礎，按一定規律構築或營
造的一種新體系，它包括一維的、二維的、三維的體系。這些物質單
元包括奈米微粒、穩定的團簇或人造原子、奈米管、奈米棒、奈米絲
以及奈米尺寸的孔洞等。著名的諾貝爾獎獲得者費曼早就提出一個令
人深思的問題：「如何將資訊儲存到一個微小的尺度？令人驚訝的是
自然界早就解決了這個問題，在基因的某一點上，僅 30 個原子就隱藏
了不可思議的遺傳資訊……，如果有一天人們能按照自己的意願排列
原子和分子，那將創造什麼樣的奇蹟。」今天，人們已能按照自己的
意願排列原子和分子，製備奈米結構。然而奈米結構體系根據構築過
程中的驅動力是靠外力？還是靠內力？大致可分為兩類：一是人工奈
米結構組裝體系，二是奈米結構自組裝體系。人工奈米結構組裝體系
是按人類的意願，利用物理和化學的方法人工地將奈米尺度的物質單
元組裝、排列構成一維、二維和三維的奈米結構體系，包括奈米有序
陣列體系和介孔複合體系等。奈米結構的自組裝體系是指透過弱的和
較小方向性的非共價鍵，如氫鍵、凡得瓦鍵和弱的離子鍵協同作用把
原子、離子或分子連接在一起構築成一個奈米結構或奈米結構的樣
式。奈米結構具有奈米微粒的特性，如量子尺寸效應（quantum size
effect）、小 尺 寸 效 應（small size effect）、表 面 效 應（surface ef-
fect）等特點，又存在由奈米結構組合所引起的新效應，如量子耦合
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 5

效應（quantum coupling effect）和協同效應等。這種奈米結構體系很

容易透過外場（external field）（電、磁、光）實現對其性能的控制，
這就是奈米超微型元件的設計基礎。奈米結構體系其具有豐富的科學
內涵是當前奈米材料領域中所分支獨立的一門學科。本書將從廣義上
把奈米結構體系歸結為奈米材料領域中之一特殊分支進行介紹。
奈米材料的物理、化學性質既不同於微觀的原子、分子，也不同
於巨觀物體，奈米介於巨觀世界與微觀世界之間，人們把它叫做介觀
世界。當常態物質被加工到極其微細的奈米尺度時，會出現特異的表
面效應、體積效應、量子尺寸效應和巨觀隧道效應（tunneling effect）
等，其光學、熱學、電學、磁學、力學、化學等性質也就相應地發生
十分顯著的變化。在奈米世界，人們可以控制材料的基本性質，如熔
點、硬度、磁性、電容，甚至於顏色，而不改變其化學成分。人們可
以完全按照自己的意願，合成具有特殊性能的新材料，如把優良的導
體銅製作成「奈米銅（nanocopper）」，使之成為絕緣體；把半導體
矽製成「奈米矽（nanosilican）」成為良導體；把易碎的陶瓷製作為
「奈米陶瓷（nanoceramic）」，使之可以在室溫下任意彎曲等等。因
此奈米材料具備其他一般材料所沒有的優越性能，可廣泛應用於電
子、醫藥、化工、軍事、航空航太等眾多領域，在整個新材料的研究
應用方面占據著核心的位置。
自從 1984 年德國科學家 Gleiter 等人首次用惰性氣體凝聚法（inert
gas condensation）成功地製得鐵奈米微粒以來，奈米材料的製備、性
能和應用等各方面的研究取得了重大進展，其中奈米材料製備方法的
研究仍是十分重要的研究領域。
奈米材料的研究現已從最初的單相金屬發展到了合金、化合物、
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 6 奈米材料原理與製備

金屬 無機載體、金屬 有機載體和化合物 無機載體、化合物 有機

載體等複合材料以及奈米管、奈米纖維（絲或棒）等一維材料。製備
方法日新月異，如奈米微粉的製備方法有：機械粉碎法即採用新型的
高效超級粉碎設備，如高效能球磨機（ball milling machine）、超音速
氣流粉碎機等將脆性固體逐級研磨、分級，再研磨、再分級，直至獲
得奈米粉體（nanopowder），適用於無機礦物和脆性金屬或合金的奈
米粉體生產；液相沉澱法即將可溶性鹽類溶於水或溶劑中，採用添加
沉澱劑，水解劑或用蒸發、濃縮等辦法使之沉澱，關鍵是控制成核產
生的晶核的生長速度，並抑制顆粒在成核、生長、沉澱、乾燥和燒結
過程的團聚，獲得奈米顆粒；氣相水解法即利用可蒸發或易昇華物質
受熱形成氣體或蒸氣，然後在惰性氣體或稀釋性氣體保護下與水蒸氣
反應水解獲得奈米粉體，產物純度高，可獲得單一或混合氧化物，如
氣相白炭黑的生產即屬於此法；溶液蒸發法即將物質溶於水或溶劑，
採用噴霧乾燥、噴霧熱分解或冷凍乾燥，獲得相應金屬氧化物奈米粉
體，此法純度高，粒度均勻，但能耗大，成本較高；溶膠凝膠法即利
用金屬鹽或金屬醇鹽水解、聚合成均勻溶膠，經乾燥和熱處理得到相
應氧化物奈米粉體，此法在室溫下進行，計量準確，可獲得單一、混
合或摻雜的奈米粉體，應用十分廣泛，近年來此法結合低溫蔓延燃燒
法，法法了溶膠凝膠法在熱處理或燒過程中的結團現法，實用價法
很高；固相反應法即不用水或溶劑，使二種或幾種反應性固體在室溫
或低溫下混合、研磨或再  燒，得到所或奈米粉體，此法技術較或
單，無污染或污染較少，產率高，能耗低，但獲得奈米粉體易結團，
可以藉由表面改質辦法解決，是很有前途的一類新方法；蒸發冷凝法
即透過電弧放電、電阻加熱、高頻感應加熱、電漿體加熱、電子束和
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 7

雷射在高真空或充滿 Ar、N2 氣體等保護性氣體中使金屬或合金受熱

熔融，蒸發氣化，分散、冷凝成奈米顆粒，粉體透過離心、過濾或收
集裝置將奈米顆粒粉體與氣體分離，此法適用於金屬或合金奈米粉體
製備，產品表面無污染，純度高；雷射氣相沉積法即利用添加了光敏
劑的反應性氣體對特定波長雷射能量的高選擇性吸收，引起光敏熱分
解和進一步誘導一系列化學反應，在氣相中生成奈米顆粒粉體，沉積
下來，該法可獲得單一或混合金屬氧化物、碳化物或矽化物奈米粉
體，已經實現工業規模製備。奈米膜的製備方法有：化學氣相沉積
（Chemical Vapor Deposition, CVD）、電 漿 體 沉 積（Plasma Depo-
site）、LB 膜 + 化學反應（LB film/chemical reaction）、層狀無機物
層間嵌入聚合（Inorganic layer intercalated polymerization）、分子自
組裝（Element self-assembly）等。奈米管、奈米纖維（絲或棒）的製
備方法有：電弧法（Arc）、雷射蒸發法（laser evaporation）、有機
物催化裂解法（organic catalytic degradation）、化學氣相催化沉積
（Chemical Vapor Deposition）、電漿體催化沉積（Plasma Deposite）
等。
近來又出現了水熱（溶劑熱）反應法、超臨界流體的迅速擴張
法、輻射合成法、微乳液法以及模板合成法等新方法。上述各種方法
都各有優缺點，為了便於控制製備條件、產率、粒徑與粒徑分佈
（particle size distribution）等，也常同時使用兩種或多種製備技術。
科學家在奈米材料和奈米管製備研究方面，取得了具有重要影響
的成果，引起國際科技界的很大關注。範守善先生等首次利用奈米碳
管成功地製備出 GaN 一維奈米棒，並提出了奈米碳管限制反應的概
念，該項成果成為 1997 年 Science 雜誌評選出的十大科學突破之一；
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 8 奈米材料原理與製備

他們與美國史丹佛大學戴宏傑教授合作，在國際上首次實現矽基底上
的奈米碳管陣列的自組裝生長，推進了奈米碳管在場發射和奈米元件
方面的應用研究。解思深先生等利用化學氣相法製備純淨奈米碳管技
術，合成了大面積定向奈米管陳列，該項工作發表在 1996 年的 Science
上；他們還利用改進後的基底，成功地控制了奈米碳管的生長模式，
大批量地製備出長度為 2～3mm 的超長定向奈米碳管，該項工作發表
於 1998 年的 Nature 上。張立德先生等應用溶膠 凝膠與碳熱還原相結
合的方法及奈米液滴磊晶等新技術，首次合成了準一維奈米絲和奈米
電纜，在國際上受到高度重視。錢逸泰先生等用 射線輻射法或水熱
法及兩者的結合，成功地製備出各種奈米粉；用溶劑熱合成技術首次
在 300℃左右製得 30mm GaN，此外，他們還利用溶劑熱法製得了 InP
及 CrN、Co2P、Ni2P、In2S3 等奈米相化合物；用催化熱分解法從 CCl4
製得奈米鑽石，該項成果發表於 1998 年的 Science 上，成為人們推崇
的「稻草變黃金」的範例。
奈米粉末（零維）、奈米纖維（一維）、奈米膜（二維）、奈米
塊體（三維）、奈米複合材料、奈米結構等六類奈米材料的製備方法
上有的完全不同，有的相同，有的原理上相同，但在技術上有顯著的
差異，不同的製備技術製備相同的材料，材料性能亦有較大的差別。
按奈米材料的分類，分別敘述其製備技術，將更有利於了解奈米材料
製備技術的全貌。

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 氣體中蒸發法
化學氣相反應法
化學氣相凝聚法
濺鍍法

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 10 奈米材料原理與製備

氣相法是直接利用氣體或者通過各種方式將物質變成氣體，使之在
氣體狀態下發生物理變化或化學反應，最後在冷卻過程中凝聚長大形成
1, 2
奈米微粒的方法 。氣相法又大致可分為：氣體中蒸發法（gas vapor-
ization）、化學氣相反應法（chemical vapor deposition, CVD）、化學氣
相凝聚法（chemical vapor coacervation, CVC）和濺射法（sputter）等。

1.1 氣體中蒸發法

1, 2
氣體中蒸發法 是在惰性氣體（或活潑性氣體）中將金屬、合
金或陶瓷蒸發氣化，然後與惰性氣體衝突，冷卻、凝結（或與活潑性
氣體反應後再冷卻凝結）而形成奈米微粒。
3 6
此法 早在 1963 年由 Ryozi Uyeda 及其合作者研製出，即藉由
在純淨的惰性氣體中的蒸發和冷凝過程獲得較乾淨的奈米微粒。20 世
紀 80 年代初，Gleiter 等人首先提出，將氣體冷凝法製得的具有清潔
表面的奈米微粒，在超高真空條件下緊壓緻密得到多晶體（poly-
crystal）（奈米微晶）氣體冷凝法的原理，如圖 1 1 所示。
整個過程是在高真空室內進行。透過分子渦輪泵使其達到 0.1kPa
以上的真空度，然後充入低壓（約 2kPa）的純淨惰性氣體（inert gas）
（He 或 Ar，純度約為 99.9996%）。欲蒸的物質（例如金屬、CaF2、
NaCl、FeF 電漿化合物，過渡金屬氮化物及易昇華的氧化物等）置於
坩堝內，藉由鎢電阻加熱器或石墨加熱器等加熱裝置逐漸加熱蒸發，
產生原物質煙霧。由於惰性氣體的對流，煙霧向上移動，並接近充液
氮的冷卻棒（冷阱，77K）。在蒸發過程中，由原物質發出的原子由
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 CHAPTER 1 11

E D E

E.惰性氣體（Ar、He 氣等）
D.連成鏈狀的超微粒子
C C.成長的超微粒子
B
B.剛誕生的超微粒子
A
A.蒸氣

坩鍋

熔化的金屬、合金或離子化合物、氧化物

圖1 1 氣體冷凝法（高頻感應加熱法）製備奈米微粒的模型圖

於與惰性氣體原子碰撞而迅速損失能量而冷卻，這種有效的冷卻過程
在原物質蒸氣中造成很高的局域過飽和，這將導致均勻的成核過程。
因此，在接近冷卻棒的過程中，原物質蒸氣首先形成原子簇，然後形
成單個奈米微粒。在接近冷卻棒表面的區域內，由於單個奈米微粒的
聚合而長大，最後在冷卻棒表面上積聚起來，用聚四氟乙烯刮刀刮下
並收集起來獲得奈米粉。
用氣體蒸發法可藉由調節惰性氣體壓力，蒸發物質的分壓即蒸發
溫度或速率，或惰性氣體的溫度，來控制奈米微粒的大小。實驗顯
示，隨蒸發速率的增加（等效於蒸發源溫度的升高）粒子變大，或隨
著原物質蒸氣壓力的增加，粒子變大。在一級近似下，粒子大小正比
於 lnPV（PV 為金屬蒸氣的壓力）。由圖 1 2 可見，隨惰性氣體壓力
的增大，粒子近似地成比例增大，同時也顯示，相對原子質量大的惰
性氣體亦將導致大粒子。
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 12 奈米材料原理與製備

200 Xe
平 Al
均 100 Cu Ar
微
粒 50
直 He
徑 20
d
10
(nm)
0.5 1 2 5 10 20 50 100 200
惰性氣體壓力P（×133 ）

圖1 2 Al、Cu 的超微粒平均直徑與 He、Ar、Xe 惰性氣體壓力的關係

2
用氣體蒸發法製備 的奈米微粒主要具有如下特點：
表面清潔。
粒度齊整，粒徑分佈窄。
粒度容易控制。
由於這些優點，許多研究者對氣體蒸發法進行了深入研究，在此
基礎上對製備方法進行了改進，產生了許多新的奈米微粒製備方法，
並擴大了製備奈米微粒的範圍。目前，根據加熱源的不同，可將氣體
蒸發法分為八種，下面分別進行介紹。

1.1.1 電阻加熱法

2
電阻加熱法（resistor heating） 裝置示意圖如圖 1 3 所示。蒸發
源採用一般的真空蒸發使用的螺旋纖維或者舟狀的電阻發熱體，其大
概形狀如圖 1 4 所示。

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 CHAPTER 1 13

舟狀加熱器

蒸發材料

真空泵
氣體

加熱用電源

圖1 3 電阻加熱製備奈米微粒的實驗裝置圖

線圈狀

舟狀

圖1 4 蒸發用電阻加熱的發熱體

因為蒸發原料通常是放在 W、Mo、Ta 等的螺線狀載樣台上，所

以有兩種情況不能使用這種方法進行加熱和蒸發：
兩種材料（發熱體與蒸發原料）在高溫熔融後會形成合金。
蒸發原料的蒸發溫度高於發熱體的軟化溫度。目前使用這一方法
主要是進行 Ag、Al、Cu、Au 等低熔點金屬的蒸發。

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 14 奈米材料原理與製備

圖 1 5 中所示的電阻發熱體是用 Al2O3等耐火材料將鎢絲進行了
包覆，所以熔化了的蒸發材料不與高溫的發熱體直接接觸，可以在加
熱了的氧化鋁坩堝中進行比上述銀等金屬具有更高熔點的 Fe、Ni 等
（熔點在 1500℃左右）金屬的蒸發。

氧化鋁包層

鎢絲

圖1 5 氧化鋁包覆藍框狀鎢絲發熱體

雖然發熱體的功率在 1.5kW 左右就已經足夠了，但在一次蒸發

中，放上 1～2g 的原料，而蒸發後從容器內壁等處所能回收的奈米微
粒也只不過數十毫克。如果需要更多的奈米微粒，只有進行多次蒸
發。因此，該方法只是一種應用於研究中的奈米微粒製備方法。但是
由於這種方法只要在常見的實驗設備上添加很少的一些元件就可以製
備奈米微粒，所以它對於那些剛剛開展奈米微粒研究工作的人來說，
仍不失為一種有意義的方法。

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 CHAPTER 1 15

1.1.2 高頻感應加熱法

2
此法 是將耐火坩堝內的蒸發原料進行高頻感應加熱蒸發而製得
奈米微粒的一種方法。
高頻感應加熱在諸如真空熔融等金屬的熔融中應用具有許多優
點，用該方法熔化金屬主要著眼於如下幾點：
可以將熔體的蒸發溫度保持恆定。
熔體內合金均勻性好。
可以在長時間內以恆定的功率運轉。
在真空融熔中，作為工業化生產規模的加熱源其功率可以達到
MW 級。
和 是由於感應攪拌作用，熔體在坩堝內得以攪拌，致使蒸發
面中心部分與邊緣部分不會產生溫度差，而且坩堝內的合金也一直保
持著良好的均勻性。圖 1 6 是高頻感應加熱蒸發法的實驗裝置。

壓力表

不鏽鋼容器

坩堝
蒸發材料

水冷線圈 觀察孔
（高頻電流用）

惰性氣體

真空泵 高頻電源

圖1 6 採用高頻感應加熱製備奈米微粒的實驗裝置

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 16 奈米材料原理與製備

在內徑 20mm、高 25mm 的小坩堝內放入約 50g 銅，加熱蒸發而

形成的奈米微粒數據示於圖 1 7。所製備的奈米微粒的粒徑可以藉由
調節蒸發空間的壓力和熔體溫度（加熱源的功率）來進行控制。與使
用電漿加熱製備奈米微粒的情形（如圖 1 13 所示）相比，粒徑控制更
為簡單，另外，使用氣體的種類不同也可以控制粒徑，如使用 Ar 或
He 等。

1420℃
熔體表面溫度 1380℃
加
熱 7 生
電 成
力 6
2 率
(kW)
g/(cm2．

平 1
1

均 50
[×10

粒 40
徑 30
(nm) 20
3 10 50
壓力（Torr）

圖 1 7 採用高頻感應加熱製備奈米微粒之製備條件 1Torr =133.322Pa

這一加熱法的特徵是規模越大（使用大坩堝），奈米微粒的粒度
越趨於均勻。高頻感應加熱中，在耐火坩堝內進行金屬的熔融和蒸發
時，由於電磁波的作用，熔體會發生由坩堝的中心部向上，向下以及
向邊緣部分的流動，圖 1 8～圖 1 10 的奈米微粒照片是用於研究的比
較大型的高頻感應加熱裝置製備的 Fe Co（磁性）合金奈米微粒，參
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 CHAPTER 1 17

考一下圖 1 11 所示的粒度分佈曲線，可以知道其粒度是比較均勻的。

圖1 8 氣體中蒸發法中生成初期
的奈米微粒（顆粒大小為 2～5nm）

圖 1 9 氣體中蒸發法中，初期奈 圖 1 10 生成的磁性合金連接成
米微粒聚集，結合而形成 鏈狀時的狀態（奈米微
的奈米微粒（顆粒大小為 粒組成為 Fe Co 合金，
20～30nm） 平均粒徑為 20nm）

此法的缺點是 W、Ta、Mo 等高熔點低蒸氣壓物質的奈米微粒製

備非常困難。

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 18 奈米材料原理與製備

100

顆
粒
數 50
（

個
）

0 10 20 30 40 50
粒徑（nm）

圖 1 11 由氣體中蒸發法（高頻感應加熱）製備的
Fe Co 奈米微粒的粒度分佈

1.1.3 電漿體加熱法

電漿體合成奈米微粒的機制如下，電漿體中存在大量的高活性物
質微粒，這樣的微粒與反應物微粒迅速交換能量，有助於反應的正向
進行。此外電漿體尾焰區的溫度較高，離開尾焰區的溫度急遽下降反
應物微粒在尾焰區處於動態平衡的飽和態，該態中的反應物迅速離解
並成核結晶，脫離尾焰後溫度驟然下降而處於過飽和態，成核結晶同
時猝滅而形成奈米微粒。
電漿體依其產生方式可分為直流電弧電漿體（DC arc plasma）和
1
高頻電漿體（High frequency plasma）兩種 ，由此派生出的製取微粒
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 CHAPTER 1 19

的方法有 4 種：
直流電弧電漿體法。
直流電漿體射流法。
雙射頻電漿體法。
混合電漿體法。
下面重點介紹目前使用最廣泛的直流電弧電漿體法、混合電漿體
法和氫電弧電漿體法。

直流電弧電漿體法

該法是在惰性氣體或反應性環境下藉由直流放電使氣體電離產
生高溫電漿體，使原料熔化、蒸發，蒸氣遇到周圍的氣體就會被冷
卻或發生反應形成奈米微粒。在惰性氣氛中，由於電漿體溫度高，
幾乎可以製取任何金屬的微粒。
2, 7
如圖 1 12 所示，生成室內被惰性氣體充滿，藉由調節由真
空系統排出氣體的流量來確定蒸發環境的壓力。增加電漿體槍的功
率可以提高由蒸發而生成的微粒數量。當電漿體被集束後，使熔體
表面產生局部過熱時，由生成室側面的觀察孔就可以觀察到煙霧
（含有奈米微粒的氣流）的升騰加劇，即蒸發生成量增加了。生成
的奈米顆粒黏附於水冷管狀的銅板上，氣體被排除在蒸發室外，運
轉數十分鐘後，進行慢氧化處理，然後再打開生成室，將附在圓筒
內側的奈米顆粒收集起來。該狀態的奈米顆粒非常鬆散，因此可裝
滿好幾個 1L 的容器。

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 20 奈米材料原理與製備

電漿體焰 收集用水冷銅板

電漿體槍

He
He

銅坩鍋
水

圖 1 12 電漿體加熱法製備奈米微粒的實驗裝置

電漿體槍的功率約為 10kW。如表 1 1 所示，使用這一方法可

以製備包括高熔點金屬如 Ta（熔點 2996℃）等在內的金屬奈米微
2
粒 。在表中，奈米微粒的順序依金屬熔點的大小排列。

表1 1 直流電弧電漿體法製備金屬奈米粒子

生成條件
生成速度 平均粒徑
種類 壓力 電壓 電流 功率
（g/min） （nm）
（MPa） （V） （A） （kW）
Ta 0.10 40 200 8 0.05 15
Ti 0.10 40 200 8 0.18 20
Ni 0.10 60 200 12 0.8 20
Co 0.10 50 200 10 0.65 20
Fe 0.10 50 200 10 0.8 30
Al 0.053 35 150 5.3 0.12 10
Cu 0.067 30 170 5.1 0.05 30
運轉時間 1.0～1.5 小時；氣體為 He+15%H2；坩堝內徑 30mm（水冷銅
坩堝）。
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 索 引

bicontinuous structure 雙連續結構

A
132

adsorbent 吸附劑 405 blend 共混法 325

adsorbent 均勻分散 319 blotting method 浸漬法 223

aggregate 分子聚集體 361 blue shift 藍移 392

aggregate 團聚 50 bound water 締合水（或束縛水）

amorphous precipitation 無定形沉 133

澱 108 breaking elongation 斷裂伸長率

annealing 等溫退火 288 328-329

APCVD 常壓化學氣相沉積 312 Brownian motion 布朗運動 130

aragomte 文石 371 Build up Process 構築過程 162

arm chair type 椅式 228

C
atomic force microscopy, AFM 原子

力顯微鏡 334 cage 籠 403

capacitance coupling 電容耦合 76

B
capping 包容技術 413

ball milling machine 球磨機 6 carbon nanotube 奈米碳管 216

Ball milling 球磨 174 carbon species 碳原子簇 225

Bell Labs 貝爾實驗室 359 catalysis supporter 催化劑載體 39

benzene-thermal method 苯熱法 catalytic activity 催化活性 40

120 catalytic arc 催化電弧 221

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 432 奈米材料原理與製備

catalytic selectivity 選擇催化 40 coaxial nanocable 同軸奈米電纜

ceramic sinter 陶瓷燒結 59 269

chemical compound precipitation 化 cold plasma 冷電漿體 71

合物沉澱法 88 combustion flame-chemical vapor

chemical eompound adsorption 化合 concensation, CFCVC 燃燒火

物吸附法 406 焰化學氣相凝聚法 79

chemical vapor coacervation, CVC compatibility 相容性 194

化學氣相凝聚法 10 conductivity layer 導電層 253

chemical vapor condensation, CVC conductivity 導電率 341

化學氣相凝聚技術，簡稱 CVC copolymerization 共聚 341

法 78 coprecipitation 共沉澱法 88
chemical vapor deposite, CVD 化學 co-solvent 共溶劑 326
氣相沉積法 311 coulomb blockade effect 庫侖堵塞
chemical vapor deposite, CVD 氣相 效應 359, 396
沉積法 320 Coulomb charge 庫侖充電 367
chemical vapor deposition, CVD 化 coupling agent 偶聯劑 205
學氣相反應法 10 coupling effect 耦合效應 360
Chemical Vapor Deposition, CVD coupling technology 偶聯技術 205
化學氣相沉積 7 crystal dimension 結晶晶粒尺寸
cistansoidal 順位反式 228 292
classical thermo-dynamics 古典熱力
D
學 292

clathrate hydrate 籠形水合物 134 de Broglis wavelength 德布羅意波

cluster 團簇 411 長 411

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 433

deep supercooling 深過冷 292

E
Delaminated hybrids 層狀分散型

335 effective diameter 有效直徑 261

dendritic crystal 枝晶 292 EG 乙二醇 336

densified ceramic 緻密陶瓷 296 elasticity modulus 彈性模數 330

densify 緻密化（燒結） 294 electric heating vaporization 通電加

differential scanning calorimeter, DSC 熱蒸發法 33

差熱分析 108 electrical spark discharge 火花放電

diffractional peak 繞射峰 335 171

dipcoating 提拉法 304 electrical spark discharge 火花放電

direct current arc plasma 直流電弧 法 162

電漿體 18, 75 electro dynamics 電動力學 292

direct current arc-high frequency re- electron beam etch 電子束刻蝕

sponse plasma 直流電弧高頻 371

感應電漿體 75 electron beam heating 電子束加熱

direct current 直流 303 27

direct dispersion 直接分散法 339 electronic gun 電子槍 27

dispersity 分散性 194 electro-optic IC 光電積體電路

dissociation 解離 70 303

distillation 蒸餾 406 Electro-phoresis analyzer 電 泳 儀

DMT 對苯二甲酸二甲酯 336 195

DNA 去氧核糖核酸 270 Element self-assembly 分子自組裝

dry gel 乾膠 321 7

embedd 包埋 326

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 434 奈米材料原理與製備

emulsify method 乳液法 129 gas vaporization 氣體中蒸發法 10

epitaxial 磊晶 268 Gel 凝膠 142

equilibrium constant 平衡常數 44 gelating 膠化過程 304

erromagnetic quantum dot array 鐵 gel-epitaxy 膠體磊晶法 364

磁量子點陣列 359 glass transistion temperature 玻璃化

esterification 酯化反應 102 轉變溫度 337

esterification 酯化反應 204 graft 接枝 209

exchanged membrane 交替膜 346

H
external field 外場 5, 359

Haggerty 交叉流 56
F
hard aggregation 硬團聚 198

fiber 纖維 318 hardness 硬度 330

film collector 膜式捕集器 54 helix 螺旋式 228

film 薄膜 318 heterogeneous 非均勻分散 319

free water 自由水 133 hetrogeneour nucleation 異相成核

freeze-drying method 凍結乾燥法 293

121 hexamethyl phosphate, HMP 六甲基

Fullerene 富勒烯 218 磷酸酯 134

HF sputter 高頻濺鍍 303

G
high energy ball milling 高能球磨法

gas deposite method 氣體沉積法 320, 322

306 High frequency plasma 高頻電漿體

gas phase decomposition 氣相分解 18

法 41 high resolution transmission electron

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 435

micrography, HRTEM 高 解 析 hydro-thermal method 水熱法 118

透射電子顯微鏡 216 hydro-thermal precipitation 水熱沉
High speed ultramicron particle depo- 澱 118
site method 高速超微粒子沉積 hydro-thermal reduction 水熱還原
法 306 118
high-frequency response plasma 高 hydro-thermal synthesis 水熱合成
頻感應電漿體 75 118
homogeneous precipitation 均相沉
I
澱 92

hydrate 水解 93 inductance coupling coil 電感耦合

hydrogen arc plasma 氫電弧電漿體 線圈 76
法 24 inert gas condensation 惰性氣體凝
hydrogen bond 氫鍵 360 聚法 5
hydrolytic condensation 水解縮合 inert gas 惰性氣體 10, 313
332 initial agent 聚合反應劑（起始劑）
hydrophile site 親水端 346 381
hydrophobic site 疏水端 346 inorganic crystal growth 無機晶體生
hydrophobic 疏水性 40 長 320

hydro-thermal crystallization 水熱結 Inorganic layer intercalated pol-

晶 119 ymerization 層狀無機物層間

hydro-thermal decomposition 水熱 嵌入聚合 7

分解 119 inorganic nanocomposite 無機奈米

hydro-thermal method 水熱反應法 複合材料 320

（水熱法） 117 in-situ polymerization 原位聚合

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 436 奈米材料原理與製備

334 laser vaporization 雷射蒸發 412

integrated circuit, IC 積體電路 laser 雷射 31

410 LB film/chemical reaction LB 膜化
intercalated composite 插層複合 學反應 7
333 length-diameter ratio 長徑比 233
intercalated composite 插層複合法 length-diameter ratio 縱橫比 238,
325 380
Intercalated hybrids 層間插入型 LICVD 雷射誘導化學氣相反應
334 50
interpenetrating network 互 穿 網 路 light scattering 光散射技 131
332 liner expansion coefficient 線膨脹係
inverted emulsion 反相微乳液法 數 329
338 low temperature expansion 低溫延
inverted emulsion 微乳液法 7 展性 342
ion bond 離子鍵 360 lyotropic blend 親液性共混物 350
ion cluster 離子團簇 403
M
ion exchange 離子交換 405, 414

MBE 分子束磊晶 411

L
Mechanical Alloying 機械合金化
laser coat 雷射塗料 202 177

Laser Induced Chemical Vapor De- Mechanical milling 機械研磨 177

position 雷射誘導化學氣相反 mechanical strength 機械性能 330
應法 41 metalorganic precursor 金屬有機前
Laser phono energy 光子能量 52 驅體 345

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 437

micro crystal 微晶 293 319

micron powder 微粉 318 nano semiconductors 奈米半導體材

micro-reactor 微反應器 130 料 284

micro-wave plasma 微波電漿體 nanoalloy 奈米金屬合金 289

75 nanoblock 奈米塊體 3, 284

mixing plasma 混合電漿 22 nanoceramic 奈米陶瓷 5, 294

mixtured coprecipitation 混 合 物 的 nanocircuit 奈米電路 253

共沉澱 88 nanocomposite film 奈米複合薄膜

modulus 模數 328 302

moistability 潤濕性 330 nanocomposite functional film 奈米

molecular shuttle 分子梭 374 複合功能薄膜 302

monomer composite 分子複合 349 nanocomposite structure film 奈米

monomer 單體 381 複合結構薄膜 302

montmorillonite 蒙脫土 333, 335 nanocopper 奈米銅 5

multi-wall carbon nanotubes 多壁奈 nanocrystal 奈米晶體 174

米碳管 217 nanocrystalline, nanometersized cry-

stalline 奈米晶體材料 284

N
nanodevice 奈米超微型元件 359

nano aggregate 奈米聚集體 374 nanofiber 奈米纖維 2, 3

nano amorphous materials 奈米非晶 nanofilm 奈米膜 3

材料 284 nanoioncrystal meterials 奈米離子

nano ceramic materials 奈米陶瓷材 晶體材料 284

料 284 nanomaterial 奈米材料 2

nano composites 奈米複合材料 3, nanometal materials 奈米金屬材料

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 438 奈米材料原理與製備

284 noncrystal 非晶 174, 293

nanometer 奈米 2 nonlinear optic material 非線性光學

nanomultiphase materials 奈米複相 材料 333

材料 284 nucleation 成核 48

nanoparticle 奈米粒子 403

O
nanophase materials 奈米相材料

284 one step method 一步法 297

nanopheudo crystal materials 奈 米 order 數量級 187
準晶材料 284 organometallic alcoholate 金屬有機
nanopheudo crystal materials 準晶 醇鹽 94
材料 174 orthogonal 正交 60
nanopore 奈米孔洞 4, 313s oxid-ation stability 氧化穩定性
nanopowder 奈米粉末 2, 121 212
nanopowder 奈米粉體 6
P
nano-rods 奈米棒 239

nanosilican 奈米矽 5 particle size distribution 粒度分佈

nanosilk 奈米絲 239 22

nanostructure 奈米結構體系 358 particle size distribution 粒徑分佈 7

nanostructured film 奈米薄膜 284 particle size 粒徑 7, 319

negative charge 負電荷 334 particle spacing 粒間距 319

no pressure sintering 無 壓 力 燒 結 particle sputter 粒子轟擊 412

（靜態燒結） 294 penetrability 透明性 330
noncomplete bonding defect 非完全 penetrability 陶瓷單晶化 59
鍵合缺陷 218 PEO 聚環氧乙烷 336

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 439

perco-lation phenomenon 滲濾現象 pulse current 脈衝電流 292

130 pulse laser 脈衝雷射 33

PET 聚對苯二甲酸乙二醇酯 336

Q
phase separation 相分離 126, 326

photo oxidation 光氧化法 417 quantum coupling effect 量子耦合效

plasma chemical vapor deposite, 應 4, 359

PCVD 電漿體化學氣相沉積技 quantum line 量子線 358

術 308 quantum silk 量子絲 411
Plasma Deposite 電漿體沉積 7 quantum size effect 量子尺寸效應 4,
Plasma Enhanced Chemical Vapor De- 343
position 電漿加強化學氣相反 quantum tunneling effect 量子隧道
應 41 效應 343
PMMA 甲基丙烯酸甲酯 398 quautum trap 量子阱 411
poly-crystal 多晶體 10 quench 快淬 125
polydispersity 多分散性 134 quench 急冷 292
polymer super conducting film 聚合
R
物基超導導線薄膜 337

polymer super conducting line 聚合 radiant synthesis 輻射合成 324

物基超導導線 337 radiant synthesis 輻射合成法 7,
porosity 孔隙率 386 325
preheating process 預熱處理 46 radio frequency (RF) magnetron cos-
pseduo-phase 準相 130 puttering technique 射頻磁控
pseudo crystal 準晶 293 濺鍍技術 324

PTA 對苯二甲酸 336 Radzilowski 納吉羅斯基 372

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 440 奈米材料原理與製備

red shift 紅移 392 sintering stress 燒結應力 300

refractive index 折射率 330 Size Reduction Process 尺寸降低過

rehybrid defect 重新混成缺陷 218 程 162

reinforce agent 增強劑 349 small size effect 小尺寸效應

relative molecular weight 相對分子 4, 343

量 328 soft aggregation 軟團聚 198

resistor heating 電阻加熱法 12 Sol 溶膠 142

RF sputter RF 濺射法 solar energy 太陽能 344

RF sputter 射頻濺鍍 303 SolGel Processing 溶膠凝膠技術

96
S
sol-gel 溶膠凝膠法 304, 320, 325

scanning electron microscopy, SEM 掃 solid-state diffusion 固相擴散法

描式電子顯微鏡 203 416

self-assembly 自組裝 361 solid-state reaction 固相反應法

side product 副產物 236 162

side reaction 副反應 67 solid-state thermal decomposition 固

silicate clay 矽酸鹽黏土 333 相熱分解 169

single component thermal decomposi- solution-sol-gel method, SSG 溶液

tion 單一化合物熱分解法 41 溶膠凝膠法 139

single phase coprecipitation 單相共 solvent-thermal reaction 溶劑熱反

沉澱 88 應 117

single-wall carbon nanotubes 單 壁 soot 煙灰 220

奈米碳管（SWNTs） 217 spectrophotography 分光光度法

sinter 燒結 50 203

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 441

spherulite 球狀晶 292 流體二氧化碳 345

spincoating 旋塗法 304 super lattice 超晶格 302, 358

spray baking method 噴 霧 焙 燒 法 super plasticity 超塑性 294

112 supersonic spray 超音波噴注 412

spray drying method 噴 霧 乾 燥 法 supersonic 超音波 295

112 surface activity 表面活性 194

spray hydrolysis method 噴 霧 水 解 surface charge 表面電荷 195

法 112 surface chemical modification 表面
sputter 濺射法 10 化學修飾 196

sputter 濺鍍法 80 surface deposition 表面沉積法

Sputtering 濺鍍鍍膜法 309 202

stabilizer 穩定劑（摻雜質） 296 surface effect 表面效應 4, 343

STM（掃描隧道式顯微鏡） 412 surface graft 表面接枝法 209

stress enhanced sintering 應力有助 surface modification 表面改質

燒結（燒結鍛壓法） 297 194

stripping 溶出法 173 surface physical modification 表面

sublimation 昇華 406 物理修飾 196

submicron porous solid 介 孔 固 體 surface potential 表面電勢 195

385 surface state 表面能態 195

submicron super molecule 介孔超分 surfactant 界面活性劑 129

子 373 synergy effect 協同效應 5, 359

subporous composite 介孔複合體 4

T
subporous 介孔 3

super critical fluid, SCF CO 超臨界 Temperature gradient 溫度梯度

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 442 奈米材料原理與製備

21, 63, 76 vaporization solvent-thermal decom-

template 模板 376 position 蒸發溶劑熱解法 121

tensile strength 拉伸強度 329-330 vaporization 蒸發 303

thermal conductivity 熱導性 342 VEROS 流動油面上真空沉積法 34

thermal decomposition reaction 熱分 volume molecule 容器分子 373

解反應 163 votage gradient 電壓梯度 172

thermal decomposition 熱分解法

X
162

thermal plasma 熱電漿體 71 x ray diffraction X 射線繞射 334

thermodynamic equilibrium 平衡熱 x ray photon spectrum, XPS X 射線

力 245 光電子能譜分析（XPS） 212

topologic defect 拓撲學缺陷 218 x-ray diffraction X 射線繞射圖
transtransoidal 反向反式 228 108

tronsmission electron microscopy, TEM

Y
穿透式電子顯微鏡 334

tunneling effect 隧道效應 5, 396 Young's modulus 楊氏模數 328

two steps method 兩步法 298
Z
V
zeolite 沸石 403
van der Waal bond 凡得瓦鍵 360 水熱（溶劑熱）反應法 7
van der Waals force 凡得瓦力 198, 光斑尺寸 63
208 同軸加熱 48
vapor implant 氣相注入法 416 奈米孔洞金屬網路膜 313
vapor synthesis 氣相合成法 43 奈米管 7

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 443

混合物共沉澱 91 對應 76

單層陣列結構 367 模板合成法 7

超臨界流體的迅速擴張法 7 離子束濺鍍 303

對流 55

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 444 奈米材料原理與製備

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 奈米材料原理與製備／王世敏, 許祖勛, 傅晶
編著. －－初版.－－臺北市：五南, 2004[民
93]
　面；　公分
含參考書目及索引
ISBN 978-957-11-3657-3 (平裝)
1.奈米技術
440.7 93011475

5E19

奈米材料原理與製備
Nanomaterial Science and Processing Technology

編　　著 ─ 王世敏　許祖勛　傅　晶

校　　訂 ─ 陳憲偉

發 行 人 ─ 楊榮川

總 編 輯 ─ 龐君豪

主　　編 ─ 穆文娟

責任編輯 ─ 陳佩芬

出 版 者 ─ 五南圖書出版股份有限公司

地　　址：106台 北 市 大 安 區 和 平 東 路 二 段 3 3 9 號 4 樓

電　　話：(02)2705-5066　　傳　　真：(02)2706-6100

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電子郵件：wunan＠wunan.com.tw

劃撥帳號：0 1 0 6 8 9 5 3

戶　　名：五南圖書出版股份有限公司

台中市駐區辦公室/台中市中區中山路6號

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高雄市駐區辦公室/高雄市新興區中山一路290號

電　　話：(07)2358-702　　 傳　　真：(07)2350-236

法律顧問　元貞聯合法律事務所　張澤平律師
版權聲明 出版日期　2 0 0 4 年 8 月 初 版 一 刷
作品版權（2002.2）歸化學工業出版社所有，
特此聲明，保留一切權利。繁體中文版的版權 定　　價　新 臺 幣 5 3 0 元
（2004.8）歸五南圖書股份有限公司所有，保留一
切權利。未經出版人書面許可，不得翻印或以任何
形式或方法使用本書中的任何內容或圖片版權所
有。

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