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台灣大學機械系
范光照 教授
2007. 11. 29
1
精密機械的組成
精密機械是由精密運動軸 ( 線性 + 角度 ) 與
功能機械 ( 加工、搬運、檢測 ) 所組成。
種 類 (例 ) 運動軸 功能機 械
精密工具機 X, Y, Z, α, β, γ 切削、成型
半導體製程設備 X, Y, Z, α 曝光、濺鍍、研磨、切割、
銲線……
平面顯示器製程設備 X, Y, Z, α 鍍膜、搬運、貼合、滴注、
切割…
精密量測儀器 X, Y, Z, α, β 探頭、光學、物性、化性…
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精密量測實驗室
超精密定位平台的組成
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精密量測實驗室
精密機械精度檢測
導螺桿
光學尺
直角座標運動系
發展背景成熟 , 控制容
易
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精密量測實驗室
純並聯式機台
1. 工作空間狹窄
2. 運動模型數學式複雜
3. 高剛性 高運動彈性
4. 尚在實驗室階段 , 離
成
熟商品尚有差距
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精密量測實驗室
串並聯工具機之並聯式主軸機構
1. 工研院機械所研發中
2. 工作台為傳統 X-Y 軸串聯機
台
3. 工作空間較大 , 機台剛性大
4. 具五軸加工能力 , 價格卻便
宜
許多
5. 運動模型也較純並聯式簡單
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精密量測實驗室
精密機械誤差種類
◆ 靜態幾何誤差
◆ 動態循跡誤差
◆ 熱變形誤差
◆ 工作範圍體積誤差
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精密量測實驗室
Geometric Errors
E z (x)
δ x (x)
δ y (x)
δ z (x)
E y (x)
+Z
+X
E x (x) +Y
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精密量測實驗室
三軸共 21 項靜態幾何誤差
z-axis
vertical straightness
of x-axis
pitch y-axis
yaw
horizontal
straightness of x-axis
roll
Z
Z′
Sxz
S yz
x-axis
linear
displacement
Sxy
X′ Y
X
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精密量測實驗室
靜態幾何誤差
◆ 三軸向共三個定位誤差分量
◆ 三軸向共六個直度誤差分量
◆ 三軸向共九個角度誤差分量
◆ 三軸向彼此間共三個垂直度誤差分量
◆ 總共二十一項誤差
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精密量測實驗室
幾何誤差的方向定意
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精密量測實驗室
幾何誤差-定位、直度、角度、垂直、體積
阿貝誤差 (Abbé Error)
運動軸與位置回饋軸(感測器軸)不同軸
Abbe Error
L+ δ L
θ/2
Abbe offset
Moving
L Guide
Abbe Error ( δ L ) = L * θ
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各軸幾何誤差造成的空間
體積誤差
運動平台幾何誤差
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精密量測實驗室
運動平台空間面誤差
面誤差
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精密量測實驗室
工具機空間體積誤差
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精密量測實驗室
Accuracy & Precision
True value
Precision
Accuracy
mean of
observed value
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幾何誤差檢測原理
1. 使用更高精度的量測儀器 : 如雷射干涉儀
2. 使用更高精度的標準件 : 2D or 3D Artefact
3. 直接加工並量測一標準件
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精密量測實驗室
2D 標準片例子
十字光罩標準片
十字光罩中心位置的求解
pixel 跟實際尺寸的換算
228
14 5 5 14
14
5
5
228
14
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精密量測實驗室
2D 標準片應用 ( 量測與補償 )
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精密量測實驗室
2D 標準片量測與補償範例
自動化光學檢測機台
T 公司 C 公司
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精密量測實驗室
雷射干涉儀定位誤差量測
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精密量測實驗室
雷射干涉儀測距技術
雷射光在經過一段距離之後仍會維持細小的光束
,不像一般光源會散開,同時具有極高的亮度,
以及穩定性與精確性良好的波長,再加上干涉現
象容易觀測,這些特性使得雷射光成為工業上對
準與量測的主要工具。
優點:量程長、高解析度、高穩定性、反應快
速、簡便
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精密量測實驗室
雷射干涉儀
現今所使用的雷射干涉儀可以分為兩大類,
雙頻雷射干涉儀( Hetrodyne Interferometer )
單頻雷射干涉儀( Homodyne Interferometer )
目前商用雷射干涉儀大多數使用雙頻雷射光源,
因為是利用量測干涉訊號之頻率,以求得物體之
位移量,位移訊號是載於 AC 訊號之上,所以較
不受低頻雜訊干擾,可量測距離較長,因此適合
發展成通用型雷射干涉儀。
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精密量測實驗室
單頻 (Homodyne) 雷射干涉
儀
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精密量測實驗室
雙頻 (Heterodyne) 雷射干涉儀
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精密量測實驗室
雷射干涉儀定位精度檢測程序
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精密量測實驗室
ISO 230-2 :
2002
Linear Cycle
Deadpath Error
Fixed
Moving
Dead Path
L1 L2
Zero
31
Cosine Error
Moving
Machine Axis
θ
Laser Axis
L+ δ L
∆L = L'− L= L × (1 / cosθ − 1) = 1 / 2 Lθ 2
32
Analysis of Errors
20
Psj
15
Uj Uj/2 P
10
Error(um)
average
*Forward
5 Pa *Backward
avg(x)- 3s
avg(x)+3s
0
-5
- 10
100 200 300 400 500 600 700 800 900
Position
33
雷射干涉儀之運用
雷射及其量測 -5
直度誤差量測
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精密量測實驗室
角度誤差量測
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精密量測實驗室
垂直度誤差量測
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精密量測實驗室
定位精度結果
38
定位誤差補償
39
旋轉誤差檢驗--偏心旋轉、軸向滑移’ 偏擺旋轉
Spindle Ru n-ou t
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