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CAPTEURS
2me anne
Anne 2011/2012
Prsentation Gnrale
Elments constitutifs
dun capteur
Exemple dapplication
Anne 2011/2012
2/113
Anne 2011/2012
4/113
Pression, temprature,
dbit, vitesse,
acclration,
flux lumineux,
dplacement, ..
1re
CAPTEUR
Grandeur quantitative
exploitable
- Indication analogique,
numrique
- Signal lectrique
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5/113
Secteur
ENERGIE
25
SECURITE
25
GRAND PUBLIC
25
MEDICAL
25
BATIMENT
40
TRANSPORT
48
TEST/LABORATOIRES
125
INDUSTRIEL
350
AUTOMOBILE
375
DEFENSE/AERONAUTIQUE
470
Ventes 2007 de capteurs en France par secteur (M) source Cabinet Dcision
1re
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6/113
Type de mesure
DISTANCE
75
GAZ
77
NIVEAU
77
FORCE
110
FLUX
110
ELECTROMAGNETIQUE
130
INERTIE
145
TEMPERATURE
150
POSITION
151
PRESSION
170
Ventes 2007 de capteurs en France par type de mesures (M) source Cabinet Dcision
1re
Anne 2011/2012
7/113
COMPOSANT ESSENTIEL
Qualit de la mesures
(Mesure simple, contrle, ...)
Voir : Exemple 1
1re
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Source d'nergie
CAPTEUR
1re
Conditionnement du
signal
Exploitation
(Affichage, lecture, ...)
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Valve automatique
Niveau MAX
Capteur 1
Rgulateur
Niveau min
Capteur 2
Les mesures raliss par les capteurs 1 et 2 permettent par le biais du rgulateur de rgler
le niveau deau dans le rcipient.
1re
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t
Mesurande constant
Mesurande volution
temporelle non rptitive
X
t
1re
Mesurande volution
temporelle rptitive
(priodique)
Anne 2011/2012
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Dformation
Rsistance
Le mesurande primaire est la force applique, F, le corps dpreuve est constitu par un
conducteur mtallique qui va se dformer dune quantit L sous l'action de F, cette
dformation est alors traduite en variation de rsistance R.
Lide : Chercher les relations ...
... liant la valeur de la rsistance R la valeur de la force applique F
... liant la valeur de la variation de la rsistance R de la jauge
la variation de la force applique F
1re
R f (F )
R g(F )
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Dformation
Rsistance
Tension
Nota : Du point de vue de l'utilisation, on regroupe souvent les fonctions capteurconditionneur sous un mme terme de capteur ou transducteur.
Application
dune FORCE
1re
Capteur (ou
transducteur)
TENSION
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Mesurande
X
On cherche un
lien entre:
Avec :
Capteur (ou
transducteur)
Sortie
Y
X X 0 X
Y Y0 Y
1re
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14/113
Sortie
Analogique
Sortie Tout Ou
Rien (TOR)
17mA
5V
Sortie
Numrique
00010111
Seuil
0V
1re
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15/113
1re
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16/113
Nota 3 : Les grandeurs influentes sont toujours prises en compte dans le processus de
mesure :
Le mesurande est bruit
Les caractristiques mtrologiques du capteur sont modifies
La sortie est alors fonction du mesurande et de ces grandeurs perturbatrices (bruit).
S = f(m) + g(bruit, mtrologie)
Il est donc ncessaire :
de prciser les conditions de mesures
de vrifier priodiquement les caractristiques mtrologiques du capteur en
ralisant des calibrations rgulires ou des talonnages certifis
1re
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Mesurande
X
Grandeurs
interfrentes
(Bruit)
1re
Capteur
Sortie
Y
Grandeurs
modifiantes
(Pressions,
tempratures,
rayonnement, ...)
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Application
dune FORCE
Capteur (ou
transducteur)
TENSION
Uc
Hypothse : Rc f F
1re
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Relation entre Uc et U0 :
Rc
Uc
Uc
On veut
1
Uc U0
2
Rc
U0
(Rc R0 )
Rc
1
Rc R0
(Rc R0 ) 2
Hypothse (lorsquune force F est applique) :
1re
Rc R0 Rc
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dUc (Rc R0 ) Rc
R0
U0
0
2
2
dRc
(Rc R0 )
Rc R0
Rc
Uc
dUc
R0
U0
2
dRc 2R0 Rc
Si lon prend R0 telle que R0 >> RcMAX, alors on peut simplifier lquation de la drive,
dUc
R0
1
U0
0
dRc 4R02
4R0
qui peut tre crit sous la forme :
1re
Uc
U0
Rc
4R0
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R0
Grandeurs
modifiantes
U0
Rc
Uc
La stabilit de
l'alimentation de tension U0
ainsi que leffet de la
temprature sur R0
interviennent ici comme
grandeurs modifiantes,
La temprature
conditionne la valeur de
Rc, elle agit ici comme
grandeur interfrente
U0 = g(T) et R0 = h(T)
Uc
1re
Grandeurs
Interfrentes
(bruit)
U0
Rc
4R0
Rc = f(T)
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P0 + p(t)
1re
v(t)
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C
P0 + p(t)
Variation de la
position de
larmature mobile
1re
S
e
P0
v(t)
Tension mesure
en sortie
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Po + p(t)
P0
1re
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25/113
Membrane
( 10m)
1re
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Polarisation U0
p(t)
1re
Cartouche
microphone
Pramplificateur
v(t)
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P0
P0 + p(t)
1re
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28/113
1re
Anne 2011/2012
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Introduction
Le choix d'un capteur dpend de ses spcifications mtrologiques, ses applications sont
elles mmes conditionnes par le comportement ou la rponse du capteur une entre
(mesurande) donne.
On distingue usuellement les rponses statiques et dynamiques du capteur :
Dans le premier cas l'entre ne varie pas ou varie par paliers et la grandeur de
sortie est releve lorsque tout effet transitoire a disparu.
2me
Anne 2011/2012
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On peut distinguer
trois comportements :
Sortie
Analogique
Sortie Tout Ou
Rien (TOR)
5V
17mA
Sortie
Numrique
00010111
Seuil
0V
2me
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Les valeurs limites du mesurande qui sont acceptables en entre du capteur constituent
l'tendue de mesure.
Cette spcification peut aussi s'appeler calibre
.
On l'exprime souvent par l'cart E.M.:
2me
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32/113
jauge de contrainte
2me
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33/113
Capteur Actif
Signal de sortie quivalent une source de tension continue
Exemple : Sortie 0-1V, + 5V, 0-200mV
Signal de sortie quivalent une source de courant continu
Exemple : sortie 4-20mA
2me
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Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
X
et
Sortie
Y
X X 0 X
Y Y0 Y
avec Y f ( X ) et Y g(X )
2me
X X1 X 2
X aX1
Y1
et
X2
Y2
Y Y1 Y2
Y aY1
avec a = cste
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Y
1
Capteur 1 : linaire
Capteur 2 : non linaire
Nota : La relation entre sortie dun capteur linaire est donc de la forme :
Y kX
avec k = cste
2me
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5. Sensibilit
Y
x 0 X
G k S lim
X X0
dY
dX
(en X = X0)
Nota : La sensibilit d'un capteur linaire est constante sur son tendue de mesure.
2me
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37/113
6. Hystrsis
Y
2 : Mesurande dcroissant
Y02
1 : Mesurande croissant
Y01
X
X0
2me
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7. Rsolution
Y
Y = f(X) idal
Y = f(X) rel
Y 0
X
Rsolution = Xmin
2me
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8. Caractristique de transfert
Dfinition : La caractrisitique de transfert dtermine la relation entre la lentre et la
sortie du capteur. Dans la plupart des applications, quand cela est possible, la sortie du
capteur suit une loi du type :
Y = k.X + Y0
Ou k est la sensibilit du capteur et Y0 le dcalage du zro. (Y = Y0 pour X = 0)
Y = k.X + Y0
Y
X
Y0
X
X
0
0
2me
Etendue de mesure
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La valeur vraie du mesurande est Xv, les valeurs mesures sont notes Xi et la valeur
moyenne des mesures Xi est note Xm
Capteur non
fidle
fidle
et juste
X m Xv
2me
Capteur fidle
non fidle
et non juste
Xm
X
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100 N
1 % E.M
Incertitude-type sur la valeur affiche : Elle obit ici une loi uniforme (voir cours de
mtrologie 1re anne)
u (F )
a
3
2me
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42/113
Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
x(t)
Sortie
y(t)
On classe dans cette catgorie les rponses temporelles Y(t) et frquentielles Y(f) du
capteur.
La rponse temporelle dcoule de la rsolution de l'quation diffrentielle liant Y(t) X(t)
exprime de la faon suivante :
an
d n y (t )
dt n
an 1
d n 1y (t )
dt n 1
............. a1
dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt
2me
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d n y (t )
dt n
an 1
d n 1y (t )
dt n 1
............. a1
dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt
a0 y (t ) x(t )
y (t ) a1 x (t )
y (t ) k.x(t )
a1
dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt
dy (t )
y (t ) k.x(t )
dt
2me
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i(t)
x(t)
On a :
R
C
y(t)
avec :
do :
2me
x(t ) Ri t y (t )
i (t ) C
x(t ) RC
dy t
dt
dy t
y (t )
dt
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0 t 0
Pour dterminer le temps de rponse, x(t) doit tre un chelon : x(t )
X0 t 0
y(t)
x(t)
On a :
x(t ) RC
X0
Pour t 0, on a alors :
0,63 X0
X 0 RC
0
0
tr = 2,2 ,
La faible valeur de tr caractrise un capteur rapide
dy t
y (t )
dt
y t X 0 1 e
2me
dy t
y (t )
dt
avec = RC
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13. Ecart %
Dfinition : Lcart reprsente la valeur mesure aprs un temps t compare la valeur
correspondant t =t.
On dfinit ce paramtre par la relation suivante :
y ( ) y (t )
.100
y ( )
27%
5%
4,6
1%
y(t)/X0
1
0,5
0
0
2me
t/
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Mesurande
x(t)
Capteur (ou
transducteur)
2me
Sortie
y(t)
y (t ) Y0. sin( 2. .f .t )
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Fonction de transfert :
On utilise la notation complexe associe la reprsentation des signaux sinusodaux :
x(t) X(j) not X et y(t) Y(j) not Y
Y ( j )
H ( j )
X ( j )
La rponse frquentielle sera compltement dcrite par l'volution du module de H(j),
not |H(j)|, et par l'volution de son argument, not Arg(H(j)) ou (j), qui reprsente le
dphasage des signaux entre-sortie.
2me
Anne 2011/2012
49/113
Transforme de Fourier :
La transforme de Fourier est une fonction qui permet de passer du domaine temporelle au
domaine frquentiel et inversement.
Si on a un signal s(t), sa transforme de Fourier, note S() sera obtenu par la relation
suivante :
S( )
1
2
t e jt dt
s (t )
2me
1
2
S e
jt
dt
Anne 2011/2012
50/113
dy (t )
y (t ) kx(t )
dt
dy (t )
TF
jY ( )
dt
Compte tenu des deux rappels, la reponse frquentielle du capteur du 1er ordre peut
scrire :
jY Y kX ( )
2me
ou
jY Y k X
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51/113
k
1 i
avec
et k la sensibilit du capteur
Y
k
H j
X 1 j
2me
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52/113
1
c
Bande
passante
H
k
2
k
2
Avec c la pulsation de
coupure et fc la frquence
de coupure.
2me
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53/113
x(t)
Capteur (ou
transducteur)
X0
0,63 X0
0
0
0
On a
donc
1
2 fc
De plus, on a tm 2,2
do t m
2me
2,2
2,2
0,35
2 fc 2 BP BP
BP
tm
10kHz
35s
100kHz
3,5s
1MHz
350ns
100MHz
3,5ns
Anne 2011/2012
54/113
IP XY
2me
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55/113
2me
Anne 2011/2012
56/113
Introduction
Rappel : Le conditionneur est l'lment de sortie du capteur qui transforme les variations
du mesurande primaire ou secondaire en variations lectriques exploitables (tension,
courant, .).
3me
Anne 2011/2012
57/113
X
X
Exemples :
Capteur (ou
transducteur)
Z
Z
3me
Anne 2011/2012
58/113
Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
il sera ncessaire dajouter un conditionneur de signal.
X
X
3me
Capteur (ou
transducteur)
Z
Z
Conditionneur
V
V
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R f(X)
X = X0 + X
R = R0 + R
3me
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60/113
Rf
V
I
V (R f R R f )I (2Rf R )I
I
R
Rf
V
Rm 2Rf R
I
3me
Anne 2011/2012
61/113
Rf
On mesure directement la tension V RI
Rf
Iv = 0 A
I
I
R
Rf
V
Rm R
I
Rf
3me
Anne 2011/2012
62/113
On mesure la tension V1
Rf
I
V1 (R f R R f )I (2Rf R )I
On mesure la tension V2
R
I
V1
Iv = 0 A
Rf
Rf
V2
V2 Rf I
Rf
V1 V2 (Rf R )I
La rsistance mesure Rm est donc :
Rm
3me
V1 V2
Rf R
I
Anne 2011/2012
63/113
Prcautions prendre dans tout les cas : En pratique on fixe I de lordre de 1mA pour
viter lauto chauffement du capteur.
Exemple :
3me
Anne 2011/2012
64/113
VCC
V
3me
RC = R
R
Vcc
R1 R
Anne 2011/2012
65/113
V/Vcc=f(R/R1)
1,0
V
R
x
Vcc R1 R 1 x
V/VCC
0,8
0,6
0,4
Avec : x
0,2
0,0
0
10
15
R
R1
20
R/R1
3me
Anne 2011/2012
66/113
Sensibilit du montage :
R
Ro R
Vcc
Vcc
Ro R
2Ro R
dV Ro R ) R
Ro
Vcc
Vcc
2
2
dR
Ro R
Ro R
Nota : Si le capteur travaille en petits signaux (R0>> R ), la rponse du conditionneur est linaire
3me
dV
V
cc
dR R
4R0
0
Vcc
V
R kR
4R0
Anne 2011/2012
67/113
R0 R
R
V
V
V
R R ' cc R0 R R0 R cc
VCC
V
R0 R
V
Vcc
2R0
V
V
V cc cc R
2
2R0
3me
Anne 2011/2012
68/113
Jauge 1 / Traction
F
Jauge 2 / Compression
3me
Anne 2011/2012
69/113
VCC
R3
R1
V VAB VA VB
A
R2 = R
3me
B
Avec :
R2
VA
Vcc
R1 R2
et
R4
VB
Vcc
R3 R4
R4
Anne 2011/2012
70/113
On obtient alors :
R2
R4
Vcc
V VA VB
R
R
R
1
2
3
4
VCC
R3
R1
V
A
R2 = R
3me
Si on considre R2 = R, alors on a :
B
R4
R
R4
Vcc
V
R1 R R3 R4
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71/113
V V0 0 R (R3 R4 ) R4 (R1 R ) 0
RR3 RR 4 R1R4 RR 4
Ce qui permet de fixer les valeurs de rsistance puisque lon doit avoir RR3 R1R4
3me
Anne 2011/2012
72/113
V (
R
1
R R0
R
V
)Vcc
Vcc
Vcc cc R si R << R0
R0 R 2
2(R R0 )
2(2R0 R )
4R0
3me
Anne 2011/2012
73/113
On a R2 = R = R0+R et R1 = R = R0-R
On a pour signal de sortie :
R1 = R
VCC
R3
V
A
R2 = R
B
R4
R
R4
V
V VA VB
R'R R R cc
3
4
R
R0
V
V VA VB
R'R R R cc
0
0
R0 R
R0
V
soit, V
2R
R 0R0 cc
3me
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74/113
R0 R
1 R 1
R0
Vcc
Vcc
R
2R
cc 2 2R
R
2
2
R
0
0
0
0
0
3me
Anne 2011/2012
75/113
A lentre de lamplificateur
oprationnel, on a :
R
V
R R1 cc
R2
Vcc
R2 R3
Or, on a :
V V
R
R2
V
Vs
donc :
cc
R R1
R2 R3
3me
Anne 2011/2012
76/113
On obtient alors :
R R3
1
Vs 2
.
Vcc
R
R2
1 1
R
Conditionneur pour LDR
R ae b
12
10
8
Vs K (
)Vcc
R1
1
R
6
4
2
0
100
1 000
10 000
100 000
1 000 000
Resistance (ohm)
3me
Anne 2011/2012
77/113
X
X
Exemples :
Capteur (ou
transducteur)
V
V
3me
Anne 2011/2012
78/113
Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
en thorie, il nest pas ncessaire dajouter un conditionneur de signal, cependant pour
des questions dadaptation dimpdance, un conditionneur de signal est souvent
ncessaire au montage.
Les capteurs pizolectriques requirent un amplificateur de charge qui transforme la
variation Q en variation V.
3me
Anne 2011/2012
79/113
i
A
Rs
Tension de sortie: vs = v Rs I
vs
Impdance de sortie : Rs
3me
Anne 2011/2012
80/113
A
Impdance dentre du voltmtre : Re
Rs
Tension mesure : v m
v
v
Re
vs
Re
v
Rs Re
Si Rs leve devant Re : v m
Re
v v
Rs
3me
Anne 2011/2012
81/113
3me
Anne 2011/2012
82/113
A
Courant de sortie: is i
is
vs
v
Rs
Rs
Impdance de sortie : Rs
3me
Anne 2011/2012
83/113
A
im
i
vs
Rs
Re
Rs
Courant mesur: i
m R R i
s
e
R
3me
Anne 2011/2012
84/113
Rs est court-circuite
VOUT
+ 4
Rs
U1B
V+
0
0
3me
Anne 2011/2012
85/113
A
im
Tension sortie :
q
vs
Cs
vs
q
Cs
Ze
3me
Anne 2011/2012
86/113
LM32411
6
-
V-
Tension sortie :
OUT
+ 4
C3
0
3me
vs
q
C
U2B
V+
Anne 2011/2012
87/113
Introduction
De part la plurat des domaines dapplication, de nombreux et diffrents types de
capteurs existent. Ils font appel de nombreux principes de la physique et permettent de
traiter la plus grande majorit des entres physiques ou chimiques.
Capteurs optiques
Capteurs de temprature
Capteurs de dformation
Capteurs tachymtriques
Biocapteurs
4me
Capteurs dhumidit
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4me
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Sous son aspect corpusculaire, la lumire est vue comme une particule lmentaire,
appel photon, de masse nulle et dnergie E :
E h
hc
4me
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El
Ephoton > El
4me
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Caractre de la modification
Mesurande primaire
Direction de propagation
Dviation
Frquence
Vitesse de dplacement
Temprature de la source
Flux
Phase
Polarisation
4me
Pression, contrainte
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V
Rayonnement
Ip (T)
Surface A
L
4me
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1L
1 L
A q n A
avec :
: conductivit du matriau
q : charge de llectron
: mobilit de llectron
n : densit dlectrons prsents (fonction de lclairement)
A et L : surface et longueur de la plaque
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4me
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De faon gnrale, lintrt des cellules photoconductrices rside dans leur rapport de
transfert statique et leur sensibilit leve do rsulte la simplicit de certains montages
dutilisation (exemple : commande de relais, voir TD).
Leur inconvnients majeurs sont les suivants :
Non-linarit de la rponse en fonction du flux,
Temps de rponse en gnral lv et bande passante limite,
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Semi-conducteur de type N
4me
Semi-conducteur de type P
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En labsence de tension
extrieure, le courant
traversant la jonction est nul
(somme de deux courants
gaux et de sens contraire) :
Courant de diffusion d aux
porteurs majoritaires,
Courant de fuite d aux
porteurs minoritaires
(crations de porteurs
minoritaires aux abords de la
zone de charge despace par
agitation thermique).
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Chaque photon absorb par le semi-conducteur peut crer une paire lectron-trous,
sous laction du champ interne, llectron se diffuse vers la zone N et le trou vers la
zone P,
on a une diffusion des trous et des lectrons dans des sens opposs,
ces porteurs donnent naissance un photocourant de gnration.
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Electrons
Zone de type P
Ephoton = h.
Avec > S
Trous
4me
Zone de type N
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IR
Es
Vd
VR
Rm
Puissance optique
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Dformation.
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Ir
Is
Im
1 mm
Zone sensible un
paramtre externe (pression,
Structure asymtrique
temprature, )
(un des bras du MZI sert
Signaux en sortie des
Structure symtrique
Signaux en sortie des
de rfrence tandis que
bras dphass
(bras du MZI identiques)
bras en phase
lautre est utilis comme
(interfrences)
capteur)
Ralisation Laboratoire dAcoustique de lUniversit du Maine LAUM
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par
Champ lectrtique
E(z,t)
Champ magntique
B(z,t)
k .r cste
4me
direction de
propagation
z
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o o
c
n~ n ik
v
n est appel indice de rfraction et k coefficient dextinction.
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1i
Rflexion
Rfraction
Rflexion
1r
Lois de Fresnel
E ip
~ cos( ) n
~ cos( )
n
1
1
2
r~p 2
~ cos( )
n~2 cos(1 ) n
1
2
2
Rp r~p
~ cos( ) n
~ cos( )
n
~
1
1
2
2
rs
~ cos( ) n
~ cos( )
n
1
1
2
2
2
Rs r~s
4me
Rfraction
Esi
1 1
E pr
Esr
2
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de la monocouche qques 10 m
Objectif
- Remonter la rponse optique dun matriau, gnralement partir dun
modle optique et son paisseur
- Dcrire des structures complexes : multicouches, mileux effectifs,
interfaces, rugosits.
- Dcrire la cintique dun procd en temps rel : dpt ou gravure
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r
Ep
1
r
Es
t
Ep
t
Es
rp
rs
tan e j
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Source de
lumire
Synchro
Dtection
Analyse de la
Polarisation
Polarisation
Modulation
Interaction
Echantillon
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Source
- Lampe Xnon 125 Watt (plasma)
- Dure de vie de 1000 1500h
Polariseur/Analyseur
- Type Glan taux dextinction de 10-5
- Grande prcision (10-2 degr) due labsence dlments tournants
Dtecteur
- Photomultiplicateur pour lUV Visible
- Photodiode InGaAs pour le proche IR
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Dtecteur
Source
Echantillon
p
s
Champ lectrique dtect
Ed P R P M M R(M ) S R A AEi
Intensit dtecte
2
Id Ed I0 Is sin (t ) Ic cos (t )
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