全廠水回收與節約用水

介紹
工研院 / 能環所
水科技與環境分析技術組

報告人 林文雄

97.03.03
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 簡報內容
一、本廠基本概況
二、用水現況及現有節水措施
三、初評及現場委員意見追蹤討論結果
四、主要節水潛力評估重點
五、修正及改善後用水平衡圖
六、純水系統造水率及機台分流效能評估
七、單位產品耗水量分析
八、節水潛力評估具體建議方案 ( 現場節水輔導
照片 )
十、結論與建議
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 一、本廠基本概況
 建廠日期：
 主要產品： TFT-LCD 面板 ( 六代 )
 單位產品耗水量： 0.64 噸自來水 /m2 、 1.97 噸
超純水 /m2
 產能利用率： 67 % 已符合管制標準
( 排放率超出 70% 因流量計
 全廠回收率： 82% (>75%) 異常，調整恢復後約 68%)

 製程回收率： 88.3% (>=85%)

 全廠排放率： 72.4% (<70%)
 日用水量： 5,537 CMD

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 二、用水現況及現有節水措施 I

使用水源 自來水 冷卻水塔補水源 自來水

原水取水量 6,000 CMD 冷卻水塔補水量 367 CMD/ 套

冷卻水塔循環水量 82,680 CMD/ 套 冷卻水塔散熱能力 5,697 RT/hr-

套
純水系統取水量 2,582 CMD 製程回收率 (>85%) 88.3 %

純水系統造水率 86.1 % 全廠回收率 (>75%) 82.0 %

純水系統日排水量 420 CMD 全廠排放率 (<70%) 72.4 %

產品耗水量 ( 自來 0.64 （噸 /m2 ） 廢水處理設計量 15,000 CMD

水)
產品耗水量 ( 超純 1.97 （噸 /m2 ） 廢水處理排放量 3,828CMD
水)
樓板面積（ m2 ） 866,091 員工人數 2,500
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 二、用水現況及現有節水措施 II

1. 純水系統：
MMF 逆洗水回收、 ROR 濃縮水回收、儀錶水回收、水
封水回收、樹脂塔再生頻率降低
2. 空調系統：
冷凝水回收、 C/T Blow Down 導電度控制
3. 製程機台 :
進流連續監控、機台水洗槽高低濃度分流、 Idle 噴水模
式調整
4. 酸鹼排水回收 (TOC<1mg/L)
5. 低 TOC 濃度無機排水回收 (TOC<1 mg/L)
6. 高 TOC 濃度有機排水回收 (TOC<120mg/L)
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 三、初評及現場委員意見討論結果
初評及現場意見 追蹤討論結果
高濃度有機化學品請考量回收可行性。 本廠高濃度有機化學藥品委託代處理廠商回收。

L/S 有無回收系統？ LS 現階段無回收系統，以回收水為補充水源。

製程排放率甚低，僅 2 % ，冷卻水塔排水 製程排放率依園區標準算式應為 11.3%

量僅 10 m3 偏低。 冷卻水塔排放應為 193m3 ，冷凝水 10m3 回收用於澆
灌，目前無流量計，該值為粗估
1. 自來水 5,537 CMD → DI 2,581 CMD 佔 冷卻水塔以自來水補充對本廠而言為最節省成本之模
46.6 % ，而公共用水為 2,896 CMD 式，因此目前之用水比率 , 應屬正常之現象。
52.3% ，或有檢討空間，民生用水為 60
CMD ，僅佔 1% 。
公共系統取自來水 84.3 % 太高 (2,896 冷卻水塔以自來水補充對本廠而言為最節省成本之模
CMD/3,389 CMD) 。 式
請以每平方米面板之用水量作為貴公司耗 已提供。
用水之技術指標。

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四、主要節水潛力評估重點
 用水平衡圖修正
 純水系統 / 機台分流效能評估

 製程用水減量流程

 製程排水回收措施

 空調冷凝水回收

 冷卻水塔運作管理改善

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 五、修正後用水平衡圖

19,639 16,915 540

TOC<120 mg/L
有機廢水回收
酸鹼廢水回收

尚未進
行雨水
回收

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 六、改善後用水平衡圖

MAU 冷凝 製程廢
水回收 水回收

雨水回
收

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七、純水系統造水率及機台分流效能評估
製程回收管
制標準 85%

單位 製程分流成效 製程
(CMD) Q2 Q3 純水系統效能 Q3/Q2 回收率
Q1 純水 製程
Q2/Q1
系統 用水

光電 19639 16915 540 92% 3.2% 88.3%

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 八、單位產品用水量分析
AUO 龍科廠 94.05~96.06 用水指標 (自來水 )
10.00 180,000

9.28 166,107
9.00 162,019 160,000

8.00 146,444
140,000
133,992
7.00
122,749
121,896
118,452 120,000
115,348
自來水用量 (m3/m2)

111,600 113,849
6.00 105,620
102,953 104,796
101,213 100,000
97,898 97,89898,948
5.00 .02 94,350
93,031
5 89,617 91,167
88,033
產能利用
85,436
80,000 率約 67%
4.00

60,000
3.00
3.03

2.15 2.10 2.09 40,000

66,138
2.03

60,584
2.00

52,111
1.59 1.61
0.87

41,323

41,385
40,755
1.33

38,114
1.24

36,363
35,588

35,774
1.20
1.02 20,000
27,001

0.91 0.79
24,955

1.00
20,996

21,141
11,221

15,097

16,900

17,405
11,610

15,536

16,935

0.69 0.76 0.70 0.72 0.72 0.69 0.63

3,317

6,684

0.00 0
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5/

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投片量 全廠用水 用水量 (m3/m2) 乘冪 (用水量 (m3/m2))

製程持續進行節水改善，目前單位產品用水量已達 0.64 11
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 九、節水潛力評估具體建議方案
節水潛 建議改善措施 可節省或回收 預估投資 年節省 預估執行日
力點 水量 (CMD) 改善成本 效益 ( 萬元 ) 期
( 萬元 ) ( 年月 )
雨水回收 設置雨水回收設施 145 300 66 97.10

製程排水分 部份原排往廢水廠之製程 150 10 60 97.3

流率提高 排水，重新改管導回至回
收系統
MAU 冷凝水 MAU 冷凝水設置管路將 75 35 22 97.3
回收 次級用水剩餘量回收至回
收系統

預計每年節水潛量
合計 4,440CMD 370 345 148

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 十、結論與建議
1. 製程酸鹼排水、低濃度 (TOC<120
mg/L) 排水之回收率達 90.1 % ，相
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2. 本年度具體可行之主要節水潛力點為
1. 雨水回收，每年可節省 1,740 CMD ，
回收期約 4.5 年。
2. MAU 冷凝水回收，每年可節省 900
CMD ，回收期約 1.5 年。
3. 製程排水分流率提高，每年可節省
1,800 CMD ，回收期約 2 個月。
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