半導體業 VOC 空氣污染物

污染物可行控制技術

講師 : 林樹榮 ( 崧 ) , Ph.D.
Tel: 03-5732894; Fax: 03-5732890
E-Mail: Shu_sung Lin@itri.org.tw
工研院 環安中心 空氣污染防制技術研究室
中華民國 90 年 8 月 16 日
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工業技術研究院
環境與安全衛生技術發展中心
VOC 防制技術
• 臭氧洗滌技術
• 濃縮後再處理技術
• 蓄熱式焚化技術
• 生物濾床技術
• 自動監測技術

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 有機廢氣防制技術
有機廢氣

低濃度 中濃度 高濃度

小於 1000 ppm 數千 ppm 大於 1%

水溶性低 水溶性高 不具回收價值 具回收價值 不具回收價值 具回收價值

臭氧\觸媒
生物濾床
活性碳吸附

生物滴濾塔
濕式化學洗滌

濃縮後再處理

觸媒焚化
熱焚化

燃燒塔

冷凝回收
水溶性低 水溶性高

活性碳溶劑回收

濕式洗滌溶劑回收

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 各種處理技術可行性分析

VOCs成分
技術名稱 含硫或 備 註
醚醇類 酮類 酯類 醇類
胺類
需水洗去除高沸點物
沸石濃縮後焚化 適合 適合 適合 適合 不適合
質，產生廢水
活性碳濃縮後冷凝 高沸點物質會阻塞吸收
適合 適合 適合 適合 不適合
(氮氣流體化床) 材質
化學氧化洗滌 適合 適合 適合 適合 適合 廢水之產生

活性碳吸附 適合 不適合 適合 適合 適合 有著火之危險

廢氣濃度低於1000ppm，
冷凝技術 不適合 不適合 不適合 不適合 不適合
不適合冷凝技術
硫或胺類對生物會有抑
生物濾床 適合 適合 適合 適合 不適合
制性
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 臭氧洗滌技術
濕式化學洗滌技術常用之化學藥劑 :

(1) 酸：稀鹽酸、稀硫酸。

(2) 鹼：氫氧化鈉 ( 液鹼 ) 。

(3) 氧化劑：次氯酸鈉 ( 漂白水 ) 、雙氧

水、 臭氧、高錳酸鉀。
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臭氧洗滌技術 - 氧化機制
氣 相 液 相

有 機 酸
無 機 酸
無 機 鹽 廢 水
CO 2

OH £»
O 3 H 2O 2
中 間 產 物

氣 相
污 染 物
VOCs
臭 味 物 質
氧 化 劑
SOx 液 相 O 3 /H 2 O 2
NOx
污 染 物

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 臭氧洗滌技術應用範圍
• 水溶性高物質 :H>1- 幾乎全溶
– 去光阻劑之高沸點物質 :dimethylsulfoxide
(DMSO) 、 dimethylacetamide 、 NMP 三種
– 酯類 :PGMEA
– 醚醇類 :PGME, 2-MP
– 硫醇類 -CH3SH
– 醇、酮類類 :IPA 、丙酮 ,MEK
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臭氧洗滌技術處理流程

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 臭氧洗滌技術實廠案例
洗滌塔

控制室監控畫面

氧化塔

O3 產生機 O3 曝氣盤
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 臭氧洗滌技術案例
THC 排放量變化趨勢
1.2
處理後 處理前
1.0

0.8
THC( kg/ hr )

0.6

0.4

0.2

0.0
1/ 1 1/ 6 1/ 11 1/ 16
date
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 臭氧洗滌技術之優點
• 臭氧氧化能力較傳統技術增加，且無傳統氧化洗
滌技術產生含氯有機物之中間產物的疑慮。
• 用水量及廢水量較傳統濕式洗滌技術大幅減少。
• 氧化洗滌技術乃常溫氧化而非高溫氧化，故無須
消耗大量燃料。
• 洗滌技術乃吸收而非吸附，故不受廢氣成分中高
沸點物質難以脫附的影響。
• 洗滌技術無經常更換吸附材之成本支出。

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 臭氧洗滌技術應用範圍
• 半導體製程有機廢氣處理
• 液晶顯示器 (LCD) 製程有機廢氣處理
• 禽畜化製廠製程廢氣處理
• 含醇、醛、酮等水溶性污染物之臭味及
有機廢氣

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 濃縮後再處理技術

濃縮器 後處理器
轉輪式 熱焚化 熱能回收
固定床式 發電機 電能回收
沸石 冷凝 溶劑回收
活性碳

濃縮尾氣
廢氣 ( 高濃度、小風量 )
( 低濃度、大風量 )

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濃縮後再處理技術 -- 沸石轉輪濃縮後
焚化
乾淨空氣

濃縮後廢氣 提高溫度
焚化設備
R P 熱交換器

A
乾淨空氣 排放口
製程廢氣入口

A : 吸附區； R : 再生區； P ：冷卻區

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沸石轉輪

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 濃縮後焚化技術
技術特色 :
• 濃縮後處理 , 可縮小處理設備 , 減少能源耗損
• 國內已有實際運轉案例
注意事項 :
• 高沸點物質之前處理問題 - 可使用水洗去除
• 濃縮介質之操作維護問題

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 沸石轉輪濃縮後焚化案例
• 污染源 : 積體電路製程廢氣
• 廢氣特性 :800 cmm; 40 ppm as Methane
• 初設成本 : 3000 萬 ; 操作成本 : 600 萬 / 年
• 焚化溫度 : 730℃; 再生區溫度 : 120 ~ 180℃
• 濃縮倍率 : 11 倍
• VOC 去除率 : 95%

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濃縮後再處理技術 -- 濃縮後冷凝
技術

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 濃縮後冷凝技術
技術特色 :
• 以流體化床方式吸附
• 以 300 ~ 400℃ 之高溫氮氣脫附濃縮 , 及冷凝方式
處理濃縮後之尾氣 , 無燃燒產生二次污染之問題
• 國內已有實際運轉案例
注意事項 :
• 高沸點物質之前處理問題
• 廢溶劑處理問題
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 蓄熱式焚化技術 (RTO)
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蓄熱式焚化設備 (RTO)

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蓄熱式焚化技術 (RTO) 之特色
(1) 蓄熱式 (Thermal Regenerative) 熱回收效率可達 80% ~
95%

(2) 適用於直接焚化處理低濃度 (< 1000 ppm) 、大風量 (>

50 cmm) 之有機廢氣

(3) 初設成本高、操作成本低

(4) RTO 初設成本 , 萬元 = 432×exp(0.0019× 風量 , cmm)

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RTO 案例 -- 汽車製造業烤爐廢氣處理
1000
背景值
RTO 處裡後
RTO 處理前
THC, ppm as methane

100

10

1
96/2/29 9:36 96/2/29 19:12 96/3/1 4:48 96/3/1 14:24
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 小時平均值, ppm as Methane

THC
RTO 處理前
Methane NMTHC THC
RTO 處理後
Methane NMTHC
處理效率
Ｒ
1996/2/29 11:30
| 97 1 96 3 2 ND 100%
Ｔ
1996/2/29 12:30
| 101 1 100 6 2 4 96%
Ｏ
1996/2/29 13:30

--
| 228 1 227 15 3 12 95%
1996/2/29 14:30
| 177 1 176 7 3 5 97%
1996/2/29 15:30
| 233 1 232 8 3 6 98%
汽
1996/2/29 16:30
| 89 1 88 7 2 6 94%
車
1996/2/29 17:30
| 28 1 27 15 3 12 -*
製
1996/2/29 18:30
| 26 0 25 25 5 20 -
造
1996/2/29 19:30
| 21 0 20 23 5 18 -
業
1996/2/29 20:30
1996/3/1 05:30
烤
|
1996/3/1 06:30
11 0 11 6 3 3 -
爐
|
1996/3/1 07:30
3 0 2 3 3 ND -
廢
|
1996/3/1 08:30
14 1 13 3 3 ND -
氣
|
1996/3/1 09:30
179 1 178 7 3 4 98%
處
|
1996/3/1 10:30
195 1 194 6 3 3 99%
理
| 195 1 194 8 3 5 97%
1996/3/1 11:30
*1996/2/29 17:30 ~ 1996/3/1 08:30 烤爐停機，RTO 停止運轉但排氣風車正常運轉。
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 生物濾床技術
灑水系統
補充水 濾料

營養劑添加
濾床

生物膜

廢氣
液體循環
補充水
增濕系統 濾料 廢氣
至廢水處理場 生物膜 液體

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 生物濾床技術
(1) 濾料
-- 主要成份 : 堆肥、泥炭土、蛇木屑、碎木片、緩衝鹽類
-- 高有機質、高比表面積的天然物質
-- 耗竭後可做堆肥或垃圾掩埋場之覆蓋土使用，無二次污染問題
(2) 濾料含水率
-- 必須維持在 40% ~ 60% 之間
-- 低於 40%, 濾料過乾 , 會降低微生物活性 , 並易發生 Channelling 現象
-- 高於 60%, 濾料過濕 , 容易被壓密 , 壓損增加

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 生物濾床技術之適用特性
(1) 優點：
－綠色清潔技術：無二次污染、低能源需求
－廢氣濃度變動耐受性高
(2) 缺點：
－單位體積效率低，空間需求大
－啟動時間長，過大擾動的回應 (response) 慢
－易受氣候影響 ( 開放式濾床 )

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 生物濾床案例
• 污染源 : 積體電路製程廢氣
• 廢氣特性 : 200 cmm; 60 ppm as Methane
• 初設成本 : 1100 萬 ; 操作成本 : 70 萬 / 年
• VOC 去除率 : 70 ~ 80%
• 已實際運轉超過 5 年 , 尚未更換生物濾料

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 可行控制技術可行性分析
Gas flowrate = 200 CMM
經濟衝擊（污染防制成本）
可行性控制技術名 處理 能源 1
初設成本 年操作成本 平均年成本 環境影響
稱 效率 消耗
(萬元) (萬元) (萬元/年)
1. 產生大量 CO2 及 NOX
沸石濃縮後焚化 >90% 燃料 2500 200-400 572-772
2. 產生廢液
活性碳濃縮後冷凝 80- 高沸點物質脫附不易,
電力 2500 150-300 522-672
(氮氣流體化床) 85% 產生廢液及廢碳
濕式氧化洗滌 >80% 電力 1300 50-100 240-290 產生少量廢水
2
佔地約 250m 太廣，裝
生物濾床 >80% 電力 1000 50-100 200-249
置不易，廢濾料
濃縮後焚化及活性碳濃縮後冷凝 ( 氮氣流體化床 ) 價格：廠商提供（以 1 套計算）
– 濃縮後焚化 :1 個月需要停機水洗一次 , 廢液量約為 20-40 噸 / 月 , 費用約為 200-400 萬 / 年
活性碳吸附量： 1 公斤活性碳吸附 0.1 公斤之 VOC ； 1 公斤活性碳 =NT$100 元
化學洗滌：以 O3 、 H2O2 為氧化劑 - 以兩套風車 ,pump 及臭氧機之價格計算
污染防制設備以 10 年折舊， 8% 利率計算，操作時間 8000 小時
– 每年之固定攤還比例 = { i (1+i)n / [(1+i)n –1 ] } = 0.149;
– 平均年成本＝初設成本 × 每年之固定攤還比例＋年操作成本

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 自動監測技術 -- 總有機氣體檢測
方法
方法名稱 : 排放管道中總有機氣體檢測方法 ---- 火燄離
子化分析儀
方法編號 : NIEA A433.71C
修訂日期 : 中華民國 89 年 3 月 14 日
適用範圍 : 烷類、烯類及環狀芳香族碳氫化合物之有機
氣體。樣品濃度範圍應介於多點校正最高點濃
度 20~80% 之間；但相當於甲烷樣品濃度低於
20 ppmv 時，多點校正最高點濃度可為 100
ppmv 。
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 總有機氣體檢測方法 -- 檢測儀
器
助燃氣體 火燄離子
精密泵 偵測器
煙道廢氣樣品 排出

SAMPLE
PUMP

一般符合總有機氣體檢測方法之火燄離子分析儀 (FIA)
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自動監測技術 -- 非甲烷總碳氫化合物檢測
方法

方法名稱 : 排放管道中總碳氫化合物及非甲烷總碳氫
化合物含量自動檢測方法 － 線上火燄離子
化偵測法
方法編號 : NIEA A723.71B
修訂日期 : 中華民國 87 年 11 月
適用範圍 : 偵測極限各為 1 ppm (as Methane), 有效測
值之濃度範圍介於檢量線 20% ~ 80% 之間
。

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非甲烷總碳氫化合物檢測方法 -- 檢測
系統
煙道
粒狀物過濾器

採樣管
校正閥Ａ 樣
品
傳
輸 記錄器
管

校正閥Ｂ

助燃氣體 FI D 偵測器

載流氣體 空管

自
氫 空 動 樣 分子篩填充管
浮子流量計
氣 氣 注 品 恆
鋼 鋼 射 迴 溫
瓶 瓶 器 路 烘
箱
採樣泵

圖一 煙道排氣中總碳氫化合物及甲烷含量自動檢測方法流程示意圖
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非甲烷總碳氫化合物檢測方法 -- 層析
圖譜
6
Methane

4
THC
FI D 3
訊號

0
0 10 20 30 40 50 60
時間, s

圖二 自動監測 THC 及甲烷典型之層析圖譜, 測試樣品為 80 ppm 甲烷; THC 樣

品迴路規格為 0.1 mL; 甲烷樣品迴路規格為 1 mL
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A433.71C 與 A723.71B 比測 THC 之結
果
1000
背景值
A723.71B( 有保溫 )
A723.71B( 無保溫 )
A433.71C( 有保溫 )

100
濃度, ppm as Propane

10

1
1996/8/29 07:12 1996/8/29 08:24 1996/8/29 09:36 1996/8/29 10:48 1996/8/29 12:00 1996/8/29 13:12 1996/8/29 14:24

某汽車製造廠烤爐廢氣比測結果
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