奈米材料之製備方法

主講人 : 許信儀

中華民國 93 年 12 月 9 日
 綱 要

 一、奈米材料型態
 二、奈米材料的製備方法
 1. 奈米材料的物理製備方法
 2. 奈米材料的化學製備方法
 三、結語
 一、奈米材料型態
 奈米材料大致可分為奈米粉末、奈米纖維、奈米膜
、奈米塊體等四類。
 依在空間所表現出來的形態則可分為：零維 (zero-
dimension) 奈米材料：指一般的奈米微粒；一維
(one-dimension) 奈米材料：依形狀可分為奈米管
、奈米線、奈米桿等；二維 (two-dimension) 奈米
材料：指奈米薄膜；及三維 (three-dimension) 奈
米材料：奈米塊材。
 其中奈米粉末開發時間最長、技術最為成熟，是生
產其他三類產品的基礎。
 ( 一 ) 、奈米粉末
 又稱為超微粉或超細粉，一般指粒度在 100
奈米以下的粉末或顆粒，是一種介於原子、分
子與宏觀物體之間，處於中間物態的固體顆粒
材料。
 可用於：高密度磁記錄材料﹔吸波隱身材料﹔
磁流體材料﹔防輻射材料﹔單晶矽和精密光學
器件拋光材料﹔微晶片導熱基片與布線材料﹔
微電子封裝材料﹔光電子材料﹔先進的電池電
極材料﹔太陽能電池材料﹔高效催化劑﹔高效
助燃劑﹔敏感元件﹔高韌性陶瓷材料（摔不裂
的陶瓷，用於陶瓷發動機等）﹔人體修復材
料﹔抗癌制劑等。
 ( 二 ) 、奈米纖維（奈米線、奈米管、
奈米桿）
 1. 奈米管 (nanotubes)
 柱形奈米管的成長方式已吸引許多人的注
意並發表不少相關文獻，其中應用最廣泛
的是奈米碳管 (carbon nanotubes,
CNT) 。自 1991 年 Iijima 發現奈米管
以來，此材料新形式即引起材料科學界的
廣泛興趣。
 在應用方面，奈米管－一維材料，表現出獨特的
物理與化學性質。在電子性質方面，尤其像單層
奈米管 (single-wall nanotubes, SWNTs) ，可
為金屬或半金屬。奈米管表現出一維尺度的影響
，可做為具有一致性的量子線材。
 在機械性質上，奈米管在所有已知的材料中是具
有高完美的結構。
 由於這些極佳性質，可將奈米管應用於電子場發
射、掃瞄式顯微鏡探針、氣體儲存材料、二次電
池電極材料、以及電容器。
 以結構性質的觀點，碳奈米管直徑在 1~20 奈米
並且內部中空可讓物質填充，造成對氣體吸附能
力的提升，做為氣體感測器材料可提高其靈敏度。
 2. 奈米線 (nanowires)
 物質的磁特性受粒子大小、形狀所影響，磁性
體的結構使物質能量加上磁能的總能量成最小。
磁性體減小的話，可成為單磁區結構。
 超順磁性可見於強磁性體、反強磁性體奈米粒
集合體，如奈米線。
 在電子材料方面，導電體用有
Au 、 Pd 、 Ag 、 Pt 等貴金屬， Cu 、 Ni 等
劣金屬，半導體可用金屬氧化物等。
 使用奈米線，比起一般傳導配線，高速高週波
訊號能以極少的損失傳播，也可使電子產品微
細化。
 3. 奈米桿 (nanorods)
 奈米桿是長度介於奈米粒與奈米線之間的
形態，比奈米微粒較長。
 一般純金屬奈米微粒呈現是黑色色澤，但
形成不同大小奈米桿則表現不同顏色。
 奈米微粒與奈米桿 Au 使用在生醫技術方
面已有相當多的結果。可用於微導線、微
光纖（未來量子計算機與光子計算機的重
要元件）材料﹔新型鐳射或發光二極管材
料等。
 ( 三 ) 、奈米膜
 薄膜是一種物質形態，它使用的材料十分廣泛，
可用單元素或化合物，也可用無機材料或有機材
料來製作薄膜。
 薄膜與塊狀物質一樣，可以是非晶態的、多晶態
的和單晶態的。
 近年來複合膜和功能材料膜也有很大發展。成膜
技術及薄膜產品在 IT 業上有多分面的應用，特別
是在電子工業領域裡有極重要的地位。例如半導
體積體電路、電阻器、電容器、磁帶、等都應用
薄膜。
 現在，成膜技術在電子元件、電子技術、紅外線
技術、以及航空技術和光學儀器等各個領域都得
到了廣泛的應用。它不只成為一門獨立的應用技
術，而且成為材料表面改質及提高工業水準的重
要手段。
 薄膜化過程的特殊性而出現的異常結構和形
狀效應，使它的機械性質、超導性、磁性、
光學和熱學性質不同於塊狀材料。
 除了材料的物性和應用外，材料的薄膜化可
以節省資源，而且對於減少公害也是相當重
要的。
 奈米膜分為顆粒膜與緻密膜。顆粒膜是奈米
顆粒粘在一起，中間有極為細小的間隙的薄
膜。緻密膜指膜層緻密但晶粒尺寸為奈米級
的薄膜。
 可用於：氣體催化（如汽車尾氣處理）材
料﹔氣體感測材料；過濾器材料﹔高密度磁
記錄材料﹔光敏材料﹔平面顯示器材料﹔超
導材料等。
 四、奈米塊體
 奈米塊材顧名思義即是將奈米級粒子混成巨
觀組織材料，再以其優異的物、化特性應用
在需改良之處，故科技發展至此階段，應是
奈米科技已達一定程度的研發，方向已著重
在工業材料開發應用、奈米生醫的臨床試驗
、奈米技術商業化、逐步使「奈米技術」推
廣進入日常生活中。
 主要用途為：超高強度材料﹔智慧金屬材料
等。
 在關於塊材應用的文獻報導中奈米級粒子以圓形
顆粒狀、針狀、管狀、多角形等形式摻雜在各種
基材之中，表現在外的光、電、半導性皆具優異
性。
 將奈米級製成的巨觀組織塊材較之傳統塊材有更
優之特性，我們可以將奈米特性保留下來做成實
際日常產品，製作深具經濟價值的藥品、器材、
零件、儀器、與塗層等。
 奈米技術發展將會領導未來科技的發展，而研究
終將付諸在商業行為上，如何將微小至肉眼看不
到的微小顆粒做成各式各樣的工商應用，這將是
科學研究者下一個難題。
奈米材料之型態 (a) 奈米粉體 , (b) 奈米結構薄膜 , (c) 奈米
碳管。
 二、奈米材料的製備方法
 奈米材料的製備方法按反應物狀態可分為乾法和溼法；按
反應介質可分為固相風、液相法、氣相法；按反應類型可
分為物理法和化學法，這也是一種常見的分類方法。
 物理法主要有蒸發 - 冷凝法、濺射法、液態金屬離子源法
、機械合金化法、非晶晶化法、氣動霧化法 ( 又名超聲膨
脹法 ) 、固體相變法、壓淬法、爆炸法、低能團簇束沈積
法、塑性形變法、蒸鍍方法等。
 化學法有沈澱法、溶膠 - 凝膠法、微乳液法、液熱反應法
( 水熱法，非水溶液熱合成 ) 、溶液蒸發法、溶液還原法
、電化學法、光化學合成法、超聲合成法、輻射合成法、
模板合成法、有序組裝技術、化捀氣相反應法 ( 包括雷射
誘導化學沈積 (LICVD) 、等離子體誘導化學氣相沈積
(PICVD) 、熱化學氣相沈積等 ) 火焰水解法、超臨界流體
技術、熔融法等。
 1. 奈米材料的物理製備方法
 (1). 蒸發 - 冷凝法
 蒸發 - 冷凝法是在超高真空 (10-5Pa) 或低壓惰性
氣體氣氛氬 (Ar) 或氦 (He) 中 (50Pa~1k Pa) ，
通過蒸發源的加熱作用，使待製備的金屬、合金
或化合物氣化、昇華，然後冷凝形成奈米材料。
這是目前物理方法製備具有清潔界面的奈米粉體
( 固體 ) 的主要方法之一。
 蒸發 - 冷凝法的特點是所製作的奈米粒子表面清
潔，可以原位加壓，奈米粒子的粒徑可通過調節
加熱溫度、壓力和氣扮等參數在幾奈米至
500nm 範圍內調控。缺點是結晶形成狀難以控
制，生產效率低，在實驗研究上較常用，特適於
金屬奈米粒子的製備。
 奈米 - 冷凝法按加熱蒸發源的不同，可分為以下
幾類：
 1. 電阻加熱法。這是最簡單的一種加熱方法，通
常用石墨電阻加熱體，多在實驗室中採用。
 2. 等離子加熱法。等離子體加熱法又可分成幾種
方式，如等離子體火焰噴射法、等子體電弧作用
下的熔池蒸發法、活性氫氣氛作用下的活性等離
子弧熔化法 ( 又可稱為氫電弧等離子體法 ) 等。
 3. 高頻感應加熱法。該法通常是把盛有原料的器
皿 ( 坩堝 ) 置於高頻電流下加熱蒸發。
 4 雷射加熱法。該法採用雷射加熱可使
BN 、 Sio2 、 MgO 、 Fe3O4 、 CaTiO3
、 TiO2 、 Al2O3 等穩定蒸發，然後通過
冷凝得到奈米粉末。
 5 電子束加熱法。該法用電子束作為高熔
點物質的蒸發源。
 6 太陽能反應爐法。該法以溶液為前驅物，
在 2kw 的太陽能反應爐中加熱、蒸發及再
冷凝，目前已製備出了奈米級的等。
 (2). 濺射法
 濺射法是指利濺射技術，利用經加速的高能離子
打到材料表面使材料蒸發，發射出中性電離的原
子和原子團粒，形成奈米材料的一種常見的物理
氣相化學沈積方法。其可分為： 1 離子濺射 2 雷
射侵蝕 3 等離子體濺射。
 濺射法的優點是它幾乎可用於所有物質的蒸發，
缺點是通常只產生少量的團粒，而團粒的強度隨
團粒尺寸的增大呈指數降低。
 濺射法最為有用的就是製奈米薄膜。直流和射頻
磁控濺射已成為功能奈米薄膜製備的標準方法。
氣相析出的固體型態
電阻加熱法合成奈米微粒子
不同氦氣壓力下得到之奈米鐵微粒之穿透式電子顯微照片及電子繞
射結構圖。結果顯示粒徑隨氦氣壓力增加而變粗
電漿噴射製造奈米微粉示意圖
電子束加熱的奈米微粒子生成實驗裝置
雷射束加熱製作奈米微粒之基本設備室示意圖
濺射法製造奈米粒子設備圖
 (3). 液態金屬離子源法
 液態金屬離子源法的源理類似於墨滴打印
機。
 (4). 機械合金化方法
 機械合金化成 (MA) 法是美國 INCO 公司於 20 世
紀 60 年代末發展起來的技術。它是一種用製備
具有可控微結構的金屬基或陶瓷基複合粉末的高
能球磨技術：在乾的球型裝料機內，在高真空氬
氣保護下，通過機械研磨過程中高速運行的硬質
鋼球與研磨體間相互碰撞，對粉末粒子反覆進行
熔結、斷裂、再熔結的過程使晶粒不斷細化，達
到奈米尺寸。然後，奈米粉再採用熱擠壓等技術
加壓製得塊狀奈米材料。
 具有成本低，產量高，工藝簡單易行，能批量生
產，合金基體成分不受限制等特點。特別是在難
熔金屬的合金化、非平衡相的生成及開發特殊使
用合金等方面顯示出較強的活力，該法在國外已
進入實用化階段。該方法的缺點是能耗大，粒度
不夠細，粒徑分布寬，易引入雜質等。
 (5). 非晶晶化法
 非晶晶化法是指通過晶化過程的控制，將非晶材料
轉化為奈米材料的方法。這種方法為直接生產大塊
奈米晶合金提供了新途徑，廣泛用於浦膜材料與磁
性材料的製備。通過熱處理工藝使非晶條帶、絲或
粉晶化具有一定晶粒尺寸的奈米晶材料。採用高密
度脈衝電流處理使之晶化。
 該法的特點是成本低，產量大，界面清潔、緻密，
樣品中無微孔隙，晶粒度變化易控制，普有助於研
究奈米晶的形成機理及用檢驗經典的形核長大理論
在快速凝固條件下應用的可能性。
 (6). 超聲膨脹法
 超聲膨脹法又稱為氣動霧化法，採高壓氣
體霧化器，在 -20C~ -40C 將氮氣和氬氣
以三倍於音速的速度射入熔融材料的液流
內，利用惰性氣體將熔融金屬吹散、粉碎
成極細顆粒的射流，在超聲分子束中形成
超微粒子，然後驟冷得到超細顆粒。
 (7). 固體相變法
 固體相變法首先用熔體激冷技術製備出亞
穩態合金相然後對此亞穩相進行相變處理
，使其中產生極細的晶粒，而晶粒之間呈
弱連接，最後對其進行破碎研磨即可得到
粒徑小於 50nm 的合金粉末。
 (8). 壓淬法
 金屬或合金在高壓 (5~8GPa) 經適當加熱、保溫
，並在高壓下快冷至液氮溫溫度，隨後減壓並升
溫至室溫或稍高些溫度，即可自發地轉為奈米合
金。
 壓淬法就是利用在結晶過程中由壓力控制晶體的
成核速率，抑制晶體生長過程，過對熔融合金保
壓急冷 ( 壓力下淬火，簡稱壓淬 ) 來直接製備塊狀
奈米晶體，並通過調整壓力來控制晶粒的尺度。
壓淬法主要用於製備奈米晶合金，與其他奈米晶
製備方法相比，有以下優點：直接製得奈米晶，
不需要先形成非晶或奈米晶粒；能製得大塊緻密
的奈米晶，界面清潔且結合好，晶粒度分布較均
匀。
 (9). 塑性形變法
 材料在準靜態壓力的作用下發生嚴重塑性形變，
從而將材料的晶粒細化到次微米或奈米量級。
 該方法與其他方法相比、具有適用範圍寬、可製
造大體積試樣及試樣無殘留縮鬆 ( 孔 ) 等特點，
可方便地利用掃描電鏡詳細研究其組織結構及晶
粒中的非平衡邊界層結構，特別有利於研究其組
織與性能的關係等，並可採用多種變形方法製備
界面清潔的奈米材料，是今後製備塊體金屬奈米
材料很有潛力的一種方法。
 (10). 低能團簇束沈積法
 低能團簇束沈積法 (LEBCD) 是由法國人帕
爾蘭得等人於 1994 年初發展起來的一種
薄膜製備技術。該法首先將所要沈積的材
料激發成原子狀態，以惰性氣體 Ar 或 He
作長體使之形成團簇，同時採用電子束使
團簇離化，後利用飛行時間質譜儀進行分
離，從而控制一定質量和一定能量簇束沈
積而形成薄膜。
 (11). 放電爆炸法
 放電爆炸法 (exploding method) 是利用
在高壓電容器瞬間放電作用下的高能電脈
衝，使金屬絲蒸發、爆炸而形成的奈米粉
體的方法。
 爆炸法的過程可分為： 1 金屬絲受熱，形
成液相； 2 金屬絲的蒸發； 3 在鎢絲的電
弧間形成電弧，進一步加熱金屬蒸氣； 4
放電結束後，由通常的成核生長過程形成
奈米微粒。
電爆炸法裝置示意圖
 (12). 超臨界流體技術
 超界流體技術是將含有溶質的某種液體，
在密封的高溫高壓下達到液、氣可區分的
臨界狀態，即獲得超臨界流體相 該相兼有
氣體和液體的性質：高密度、高透過率、
高擴散係數、對低蒸氣壓溶質的高溶解作
用以及低的黏度係數。這種流體通過噴嘴
高速膨脹化，即可得到奈米粒子。
 2. 奈米材料的化學製備方法
 化學方法主要用於化合物尤其是多元化合奈米
粒子的製備，具有使用設備簡單、反應條件比
較緩和、原材料廣泛等特點。
 (1). 沈澱法
 沈澱法包括直接沈澱法、均匀沈澱法和共沈澱
法。
 直接沈澱法是進行沈澱操作得到所需的氧化物
顆粒。
 均匀沈澱法是在金屬鹽溶液中加入沈澱劑溶液
時，不斷攪拌，使沈澱劑在溶液裡緩慢生成，
消除了沈澱劑的不均匀性。
 共沈澱法是在混合的金屬鹽溶液中添加沈澱劑
，即得到幾種組分均匀的溶液，再進行熱分解。
 (2). 溶膠—凝膠法
 溶膠 - 凝膠法是指一些易水解的金屬化合
物 ( 無機鹽或金屬醇鹽 ) ，在飽和條件下
，經水解和縮聚等化學反應首先製得溶膠
，繼而將溶膠過程根據原料的種類可分有
機金屬醇鹽法和無機鹽法兩種。
 溶膠 - 凝膠法以其合成溫度低、對反應系統
工藝條件要求低、產品成分均匀、純度較
、可進行工業化生產等優點，在奈米材料
合成與製備中有著十分重要的應用。
 採用溶膠 - 凝膠法可製備奈米氧化物粉末、
奈米薄膜和塊體材料，其中製備奈米薄膜
是此方法最有前途的應用。
 (3). 微乳液法
 兩種互不相溶的溶劑在表面活性劑的作用
下會形成微乳液，在微泡中經成核、聚結
、團聚、熱處理後得奈米粒子。
 油包水 (W/O) 微乳液中反相膠束中的水池
或稱液滴為奈米級空間，以此空間為反應
場可以合成 1~100nm 的奈米微粒 ( 簡稱
奈粒 ) ，因此最近將其稱為反相膠束微反應
器 (reverse micelle nicroreactor) 。
 反相膠束微反應器的適用面很廣，可用來
製備各種材質的催化劑、半導體等奈米微
粒，如金屬單質、合金、氧化物等無機化
合物和有機聚合物。還可根據需要製得結
晶粉體和非晶粉體。製備的奈米粉體徑分
布窄，粒徑可以很小，如何控制在 10nm
以下。
 (4) 溶液熱反應法
 溶液熱反應法是利用在溶液中進行的高溫反應，
包括在水溶液中進行的水熱法和非水溶液熱合成
技術 。
 水熱法是通過在高溫高壓下水溶液中，進行化學
反應製備無機奈米粉體的一種先進而成的技術。
水熱法近年來廣泛應用於奈米材料，多孔材料等
合成中，用該方法可製備物相均匀、純度高、晶
型好、單分散、形狀及尺寸可控的奈米微粒，適
於奈米金屬氧化物和金屬複合氧化物陶瓷粉末的
製備。
 中國科學家用苯熱法製備了奈米氮化鎵微晶。在
高壓釜中用中溫 (70 度 ) 熱解法使四氯化碳和欽
反應製備出金剛石奈米粉，論文發表在 1998 年
的 ( 科學 ) 雜誌上。
 (5) 溶液蒸發法
 溶液蒸發法包括冷凍乾燥法及噴霧乾燥熱
分解法和火焰噴霧法三種。
 冷凍乾燥法是將鹽的水溶液造成液滴，趁
液滴滴下的瞬間降溫凍結，在低溫減壓下
昇華脫水，再經熱分解形成奈米微粒。
 噴霧乾燥熱分解法通過噴霧乾燥、焙燒和
燃燒等方法 將鹽溶液通過霧化器霧化、快
速蒸發、昇華、冷凝和脫水過程，避免了
分凝作用，得到均勻鹽類分末。
 火焰噴霧法是將金屬鹽溶液和可燃液體燃
料混合，以霧化狀態噴射燃燒，經瞬間加
熱分解，得到氧化物他形式勺高純米微粒。
 (6) 溶液還原法
 溶液還原法是指在溶液中，利用合適的還
原劑將金屬離子直接還原為金屬奈米粒子
方法，有人又稱之為凝聚態法，常用於
Ni 、 Cu 、 Co 、 Fe 、 Au 、 Ag 等奈米
粒子的製備。
 (7) 電化學沈積法
 利用電化學反應製備奈米材料與奈米結構
的電化學沈積法，包括直流電鍍、脈衝電
鍍、無極電鍍及共沈積等技術。
 電化學製備奈米材料在抗腐蝕、抗磨損、
磁性、儲氫及磁記錄等方面均具有良好的
應用前景。
 通過控制電解參數，可製取不同形狀、不
同粒度及分布、不同組分的奈米材料。該
法成本低、純度高、粒度小、適於大規模
生產。用此法能製得很多通常方法不能或
難以製得的金屬粉末，尤其是電負性很大
的金屬粉末，主要有 Fe 、 Co 、 Ni 等。
 有機電合成作為一項”綠色化學”技術也正
日益廣泛地受到人們的重視。
 (8) 光化學法
 光化學法是在光照下 ( 通常為紫外光，
>200nm) ，基於分子對特定波長的光吸
收，引起分子的電離子，進而引發化學反
應生成奈米粒子。 常利用金屬鹽的光化學
還原反應製備金屬奈米粒子。
 光化學法的必要條件是，體系中必須含有
在紫外區域能夠吸收並釋放出電子的物質。
 (9) 輻射化學法
 最早的輻射合成方法是基於金屬離子的還原反
應，金屬鹽溶液在 X- 射線或 r- 射線輻照下，通過
水合電子對金屬離子的強還原作用，生成金屬及
合金或金屬氧化物奈米粒子。
 法國科學家貝隆尼等人於 1985 年用磁鐵從 r 輻射
反應合成的金屬膠體溶滂中分離出金屬鈷和鎳的
奈米微粒， 1992 年中國科技大學錢逸泰等人建
立起採用 60Co 源的 r 輻射製備奈米材料的方法。
 r 輻射方法和氫氣還原法相比，技術難度和
製備成本大大降低，採用這種方法還合成
了非晶奈米銻粉和非晶奈米 Fe2O3 粉。
 輻射化學合成方法用於奈米材料的製備研
究才剛剛開始幾年，已在貴金屬奈米材料
製備、較活潑金屬奈米材料製備和金屬氧
化物奈米材料的製備方面取得了突破性進
展。
 這種方法具有如下幾個突出優點： 1. 不需要
高溫和高壓條件，也不需要低溫冷卻等，在常
溫壓下即可操作； 2. 不需要在體系中加入還
原劑，電離輻射水溶液體系自然產生具有極高
還原能力的水電子和 H 自由基； 3. 製備工藝
簡單，週期短，輻照劑量一般在
103~104Gy ； 4. 產品粒徑容易控制，一般
可以獲得平均粒徑為 10nm 左右的粉末； 5.
這種方法的產率高，貴金屬奈米粉末產率可以
達到 95% 以上，活潑金屬奈米粉末也可達到
70% 以上； 6. 製備成本低。
 這種方法也存在一些缺點，即控制粒度大
小而加入體系的表面活性劑包裏在奈米顆
粒表面，要多次清洗才能得較為純淨的產
品，從而導致率降低。
 南京大學朱俊杰等人利用微波輻射，在
CdCl2 、 Zn(Ac)2 和 CH3CSNH2 的水溶
液中分別合成了 CdS 和 ZnS 半導體奈米粒
子。
 (10) 超聲化學方法
 超聲化學方法是利用超聲空化能量加速和化制化
學反應，提高反應率，引發新的化學反應的一門新
興邊緣交叉學科，是研究聲能量與物質間的一種程
特的相互作用。
 超聲空化現象是指存在於液體中的微氣核 ( 空化
核 ) ，在聲場的作用下振動生長和崩潰閉合的動力
過程。該法只需低超聲功率 (~100w) ，每小時可產
生克數量級的超微粒，性能價格比是目前尚無它法
能與之嫓美的具有潛在應前景的好方法。
 中科院物理所林金谷等用超聲分解法製備了 Fe-Cr
合金奈米微粒，觀察了粉末的結構、形態，並研究
了不同溫度處理後的磁性。
 (11) 化學氣相反應法
 化學氣相反應法是指直接利用氣體或通過各種
手段將物質變為氣體，讓一種或數種氣體通過熱
、光、電、磁和化學等的作用而發生熱分解、還
原或其他反應，從氣相中析出奈米粒子，冷卻後
得到奈米粉體。
 化學氣相反應法按激發源的不同又可分為等離子
體導化學氣相沈積、雷射誘導化學氣相沈積、高
溫氣相裂解法等。
 等離子體誘化學氣相沈積法，是指利用等
離子體來誘導反應氣體發生化學反應。通
常是指金屬在反應性氣氛中，通過電弧等
離子體或高頻等離子體的高溫作使其熔化
、蒸發，從而與周圍反應性氣體
(O2N2H2CH4NH3 等 ) 發生反應形成金屬
化合物奈米粒子。
 雷射誘導氣相沈積法是以雷射 ( 如 CO2 雷
射、準分子雷射、 YAG 、 Ar 等 ) 作為加
熱源或激勵光源，利用反應氣體分子 ( 或光
敏劑分子 ) 對特定波長雷射光束的吸收，引
起反應氣體分子的雷射分解、雷射裂解、
雷射光敏化和雷射誘導化學反應，在一定
雷射功率密度、反應池壓、反應氣體配比
和流速、反應溫度等工藝條件下，獲得超
細粒子空間成核和生長。
 高溫氣相裂解法是由氣相化學反應、表面
反應、均相成核、非均相成核、凝結以及
聚結以及聚集或熔合六個部分組成。本法
生產的超微粒子粒度細、化學活性高、粒
子呈球形、單分散性好、凝聚粒子小、可
見光透過性好以及吸收紫外線以外的光能
力強，具有廣泛實用價值。
 本法能實現連續生產而具有廣闊工業的前
景。
 (12) 模板合成法
 該法利用結構基質作為模板合成，結構
基質包括多孔氧化鋁膜、奈米碳管、多孔
玻璃、沸石分子篩、大孔離子交換樹脂、
高聚物、生物大分子、反膠束等。 通過合
成適宜尺寸和結構的模板作為主體，利用
物理或化學方法向大中填充各種金屬、非
金屬或半導體材料，從而獲得特定尺寸和
功能的客體奈米結構陣列，如自組裝結構
、實心奈米線或空心奈米管、單組分材料
或複合材料甚至包裏生物材料等。
 中國科學家就首次利用碳奈米管做模板成
功地製備出直徑 3~40nm 、長度達微米量
級的發藍光氮化鎵一維奈米棒，並提出了
碳奈米管限制反應的概念。該項成果被評
為 1998 年度中國十大科技新聞之一。
 (13) 火焰水解法
 火焰水解法是利用發性化物在氫氧焰中
進行的反應，控制適當的條件形成氧化物
奈米粒子，具有純度高、有化學柔性、能
製備複合氧化物等特點。
 (14) 熔融法
 熔融法主要有玻璃化法，直接將 Cu2O 、
CdS 、 Cd2Se 、 Sb2S3 等熔入玻璃，經熱
處理形成奈米質點。
 還有一種是活化氫 - 熔融金屬反應法。含有
氫氣的等離子體與金屬間產生電弧，使金屬
熔融，電離的 N2 、 Ar 等氣體和活性氫飽和
溶解於熔融金屬中並發生反應，然後使熔融
金屬強制蒸發 - 凝聚，得到超微粒子。
 以上介紹的合成方法可以綜合運用，例如
中國科學家採用溶膠 - 凝受與碳熱還原相結
合的新方法，首次合成了碳化鉭奈米絲外
包覆絕緣體 SiO2 和 TaC 奈米絲外包覆石
墨的奈米電纜。
 九、結語
 1 、奈米材料作為一種新的材料發展很快，製備方法
眾多，涉及領域寬廣，內容日益豐富，且不斷融入新
發現和新技術，將物理法和化學法相結合以達到優勢
互補的綜合方法正在大斷湧現。
 2 、大多數製備技術尚處於實驗室研究階段，僅個別
開始進入應用階段，而且存在產量低、成本高、難以
業化生產等問題。
 3 、奈米材料的收集和儲存也有一定困難，目前應進
一步探索低成本的奈米材料製備技術，探討奈米技術
的顆粒尺寸與晶界之間的相互關係，對奈米材料的形
成機理等做深入的研究，以推動新材料、新技術的發
展。