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化學鍍金 Chemical
Plating
PVD :真空蒸著、濺射蒸著、離子鍍
金
無電解鍍金 (electroless
plating)
濺散蒸著 ( 一 )
原理:
(1) 電漿法 ─ 二極式、四極式、高週波式。
陽極:工件。
陰極:靶,施加負電壓– 2 ~ -5 kv ,使兩極間流入約
10-2 的 Ar 氣體,而發生輝光放電 ( 電漿 ) ,電漿中的
Ar+ 被陰
極暗部電場加速,衝擊靶材產生濺射,將靶的中性原子
或
分子蒸著於基板上,同時兩次中子會射向工件將工件加
熱。
四極式 ─ 易控制靶材電流極蒸著速度。
陰極及低電壓陽極間形成熱電子
(2) 離子束法:離子由離子槍引出,射向靶材產生濺射,而蒸著於
濺散蒸著 ( 二 )
特色:
(1) 電漿法。
(2) 離子束法。
(3) 其蒸著度較其他法慢。
應用:
原理:將氣相中生成物的離子直接蒸著於基板上。
(1) 形成耐蝕、耐磨耗等之氧化膜、碳化物。
(2)IC :引出線模。
(3) 低溫於塑膠上的金屬膜 以下─電子工業、太陽
能
以上─汽車工業
(4) 反應性離子鍍金 ─化合物膜,如 Si3N4 具有優秀安
定
性及對不純擴散的電阻性物
化學蒸著 CVD
低溫氧化的揮發物質 ( 氣相 ) 與高溫加熱的物質 ( 固
相)
接觸而發生高溫析出鍍金物質。
析出機構反應:
分解反應: MA MA + MB M + A + B
還原反應: MA MA + MC M + CA
置換反應: MA MA + C + D MC + DA
(1) 析出層種類極多─析出金屬、合金、氧化物、碳化物。
(2) 基版材料耐高溫性更佳。
(3) 鍍金的繞鍍性佳。
(5) 密著性較佳。
(6) 易產生有毒氣體。
(8) 鍍大面積難。
CVD 薄膜的應用
(1) 晶膜平面電晶體 IC ─
SiO2 、 Si3N4
SiO2
(3) 切削刀具 ─
一、化學噴霧蒸著:
利用欲鍍金屬液及氣體噴霧至工件前而氧化,
可得
二、低壓 CVD :
大被鍍素材的充填密度及厚度均勻性。
三、電漿 CVD :
利用高周波電源上將電極,與接地的通 Ar 氣
CVD 鑽石的生長
鑽石在常壓下由甲烷分解而出的碳通常為石墨
但如果每小時沈積僅數十個原子厚時,由於甲烷析
出極慢,其本身已有的類似鑽石結構即可保持而不
致轉化成石墨。且鑽石的結構對稱而緊密,所以一
旦形成反而比疏鬆的石墨更難與氫或氧反應 , 所以不
會被氣化成甲烷或二氧化碳。因此利用甲烷已有的
的鑽石結構,碳原子可緩慢的連接成極薄 ( 奈米級 )
CVD 鑽石的生長
甲烷分解時,若碳原子附近有氫原子若即若離的
陪伴,可保持鑽石結構,並連結成鑽石膜。石墨若形成
時也會被氫原子氣化回甲烷,因此鑽石膜可持續生長。
CVD 鑽石的生長
鑽石的生長速率在碳、氫及氧原子數目相近時最快
CVD 薄膜與碳源、氫濃度關
係
CVD 生長鑽石膜的瓶頸乃在避免碳氫化物形
成
石墨,因此氫原子應比碳源多很多。碳源濃度決
定了鑽石膜的生長速率,但碳源太高時氫原子會
來不及維護鑽石結構而使分解出的碳變成石墨。
因此碳源太濃反而會降低轉化成鑽石的比率。
CVD 成長速率、碳源濃度和甲烷濃度關係圖
鑽石成長速
( 左縱軸 ) 及 源轉
比率 ( 右縱軸 ) 和甲
烷
CVD 鑽石的生長方法
源的濃度與溫度也
決定了鑽石隨方向生長
速率的差異,因此也決
定了鑽石的晶形。
CVD 鑽石晶形指數
高壓製的多晶鑽石 (PVD
) 覆合片 ( 左 ) 及抽線模
( 右 ) ,圖
中黑色部分為燒結的多晶鑽石
而灰色者為鈷燒結的碳化鎢
PVD 和 CVD 鑽石薄膜厚度關係圖
薄膜 (<3um) 常
物理氣相沉積法的
方法生成。
厚膜 (>10um)
則
PVD 鍍膜粗度比較圖
PVD 薄膜的原子顯微圖
PVD 鍍膜原理 ( 一 )
PVD 鍍膜的原理是把個別的原
子氣化成離子 , 再以電場加速撞 蒸鍍
(Evaporation
擊在基材上形成薄膜。最簡單的
PVD 方法就是把欲鍍的材料加熱成
Deposition)
為蒸汽使其薰基材並黏附在表面。
這種鍍膜方法稱為蒸鍍。
PVD 鍍膜原理 ( 二 )
使用高電壓、低電流的離 濺射 (Sputter
子鍍膜機,使離子撞擊靶材 Deposition)
並植入靶材內 ( 自由行程短
,
PVD 鍍膜原理 ( 三 )
使用低電壓,高
電流的離子鍍膜機 射鍍 (Ion
, plating)
所以離子流量多,
能量低,因此離子
不會植入靶材內,
而黏附在靶材表面
上,適合用於生長
DLC 薄膜,此法稱
為射鍍。
PVD 鍍膜方法比較圖
PVD 薄膜特性:
(1) 可得高純度蒸著膜
(2) 構成膜的晶粒非常小,可得強韌膜。
(3) 可得對基板之附著力強的膜
(4) 膜的表面粗糙度可同於或優於基板的粗度
(5) 濺射蒸著很適合於形成合金,化合物,絕緣物等膜。
(6) 基板內側亦可成膜,以離子鍍金最好,真空蒸著最差
。
PVD 濺鍍
採用
材,故極適用為濺鍍的離子源。 離子束也常用以噴蝕基
材 ( 有如噴砂清理表面 ) 。
在鍍 DLC 前也常用氫離子束撞擊基材表面除去雜質
PVD 與 CVD 溫度之差異
持在 150℃ 以下。如果離子束的流量不高,基材甚至可
以
各種鍍膜溫度比較圖
基材在各種鍍膜方法所受的溫度
PVD 鍍膜技術 ( 一 )
氣體離子槍射鍍靶材示意圖
PVD 鍍膜技術 ( 二 )