光電陶瓷材料

透明導 電膜
隨著光電產業的快速發展，各種材料不斷被開
發，而透明導電膜是近年來產業應用最多的新
材料，它可以應用在液晶顯示器 (liquid crystal
display ， LCD) 、電漿顯示器 (plasma
display panel ， PDP) 、 LED 、 OLED 、光
偵測器、太陽能電池等。

所謂透明導電膜是在可見光範圍內 ( 約
400nm~800nm 的波段 ) 具有 80% 以上穿透
率，且電阻率低於 10-3Ω-cm 的薄膜。
透明導電膜的材料大致可分為薄金屬 材料與金屬 氧化
物材料 。其中薄金屬材 Au 、 Ag 、 Al 、 Pt 及 Cu 等
，在其厚度約低於 10nm 時，具有某種程度的透光率，
但厚度薄的金屬會形成島狀不連續膜所以電阻率會增高
，且導電率會受表面效應與雜質影響而降低。

因此研究使用金屬氧化膜來代替薄金屬，例如：
SnO2 、 InO2 、 ITO 、 ZnO ，其中又以銦錫氧化膜
(ITO) 的應用最為廣泛。但 ITO 在高溫應 用下表 現不
穩定，因此光特性和電特性可與之相抗衡的氧化鋅薄膜
逐漸受到重視。氧化鋅薄膜在成本低 、資源 豐富 、不
具毒性 的特點下，近二十年來，已經有許多相關研究
。
ZnO 晶體 結構及特性
氧化鋅 (zinc oxide ， ZnO) ，為 II-VI 族寬能 隙的
半導體材料，其結構為閃鋅礦結構 (Wurzite
hexagonal structure) ，屬於六方最密堆積，其能隙
寬度 (optical band gap) 約為 3.3eV ，在可見光範圍
具有高穿透率。
氧化鋅材料也具半導 (semiconducting) 特性、光電
導 (photoconductive) 特性、壓電特性、聲光效應以
及電光效應等，因此，廣泛的應用在光檢測器、表
面聲波元件、氣體偵測計以及調變器、紫外光 LED
以及雷射等元件中。
為了提升氧化鋅薄膜的導電率，通常為摻入異
價之元素，如：鋁、鎵 、銦 等，其導電性會大
幅提升。相較於未摻雜之氧化鋅薄膜，摻雜入
異價的元素可以提高 ZnO 薄膜之載子濃度。

製造氧化鋅薄膜的方法很多，在薄膜的製程方
面有相當多的方法可以成長 ZnO 膜，如有機
金屬化 學氣相沉積 法 (MOCVD) 、分子束磊
晶法 (MBE) 、脈衝雷射沉積法 (PLD) 、熱分
解法 (Spray pyrolysis) 以及濺鍍法
(Sputtering) 等等；隨著製程條件的不同，
ZnO 薄膜也呈現出不同的材料特性。
電致色變元件
• 變色性材料是指化合物吸收外部的能量 ( 光
、電或熱 ) 產生顏色變化而將之紀錄或記憶
的材料。

• 依驅動材料改變顏色的原理可分成三大類型
：
(1) 電致色變
(2) 熱致色變
(3) 光致色變
 電致色變 的應 用
• 調節室內陽光入射量之智慧型窗戶
• 車子內的頂窗
• 反強光後視鏡
• 飛機駕駛艙的擋風玻璃
• 安全眼鏡
• 圖案
• 數字顯示器
 電致色變各項重要的特質
• 低驅動電壓
• 具記憶效應
• 穿透率可受電壓控制
• 變色效果均一
• 適度的響應時間
• 著去色對比大
• 循環壽命
• 機械性質
• 環境壽命
 電致色變元件構造

• 電致色變的結構是一種三明治式的多層
電化學裝置。施加電壓於系統中，藉使
系統內的物質產生氧化或還原之可逆反
應而導致顏色變化的現象。
 電致色變結構分別為

• 導電基材層
• 輔助電極層
• 工作電極層
• 導離電解質層
 電致色變結構
• 導電基 材層 ：可以是金屬、合金或導電
玻璃
• 輔助電 極層 ：可為一般電極或另一種電
致色變物質，用來調節元件的光學密度
差或提供不同的顏色變化
• 工作電 極層 ：主要的電致色變材料層，
為電致色變元件中提供顏色變化的主要
材料
• 導離電 解質層 ：可為液態或固態電解質
 輔助電極
• 輔助電極層（ Counter electrode ）可為
一般電極或另一種電致色變物質，用來
調節元件的光學密度差或提供不同的顏
色變化。電致色變元件去色時，輔助電
極層之本質電洞勢逐漸增加，電解質中
之陽離子與施加之電子同時注入輔助電
極層，並儲存陽離子。
 輔助電極應具有的特性
• 離子流不會有極化的現象
• 良好的電子導電性
• 對電解質有良好的化學穩定性
• 可儲存大量的陽離子
• 可逆電極
• 反應所需電壓小
 導離電解質層

• 導離電解質層的功用是提供離子給予電
致色變材料，故須儲存大量的陽離子，
擴散進入變色層，使之反應產生顏色的
變化。不同的陽離子在不同的晶格結構
上的擴散係數都不同，所以會影響其電
致色變元件的反應時間和著色效率。
 電解質的選擇要點

• 高離子導電性及可忽略的電子導電性。
• 陽離子在電解質中須有高的擴散係數。
• 使用溫度範圍寬。
• 對變色層之化學穩定性高。
• 分解電位高。
 電致色變元件可分為兩種
• 電致色變元件在可見光波段的裝置可概
分為穿透式元件與反射式元件。
– 基材若都為透明的導電玻璃，即為穿透式元
件，可應用於智慧型窗戶及濾光板。光線穿
透量的多寡可由導電基材上的電位決定。
– 反射式元件裝置具有反射性質的不透光導電
基材，導電基材可為白金或銠合金等反射層。
反射式元件可應用於反強光後視鏡及顯示器
。
 電致色變材料—氧化鎢薄膜
• 電致色變材料可簡單定義為『電壓施加
於系統中，藉系統內的物質產生氧化或
還原之可逆反應而導致顏色變化之現象
』
• 已發現的電致色變材料包含過渡金屬氧
化物、普魯士藍、有機化合物及導電高
分子及聚合物等
 電致色變材料歸納為三類
• 已發現的電致色變材料可歸納為以下三
類：
(1) 過渡金屬氧化物
(2) 價間嵌入化合物
(3) 有機化合物
電致色變材料中最常見的是過渡金屬氧化物，基
本上都為半導體，包括氧化鎢（ WO3 ）、氧化
鉬（ MnO3 ）、氧化鉻（ Cr2O3 ）、氧化釩
（ V2O3 ）、氧化鈮（ Nb2O5 ）、氧化鈦
（ TiO2 ）鈦酸鍶（ SrTiO3 ）、氧化銥（ IrO2 ）
、氧化銠（ Rh2O3 ）、氧化鎳（ NiO ）、氧化
錳（ MnO2 ）以及混合的氧化物，以上氧化物的
化學組成實際組成依氧化狀態而來，顏色變化也
深淺有別。
電致色變性質的氧化物之過渡金屬元素
 著色方式的不同可歸類為三種
(1) 還原態著色 (Cathodic coloration)
(2) 氧化態著色 (Anodic coloration)
(3) 還原態 / 氧化態均著色 (Cathodic/Anodic
coloration)
不同著色態之電致色變材料之分
類
 氧化鎢
• 氧化鎢薄膜在 1969 年被 Deb 發現具
有電致色變性質，是最受矚目的電致色
變材料，此方面的研究成果最多，也最
早被設計為電致色變元件，其具有高的
著色效率（ Coloration efficiency ）、可
逆性佳、相對價格低、壽命最長且無毒
等優點