精密機械精度檢測

台灣大學機械系

范光照 教授
2007. 11. 29

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 精密機械的組成

精密機械是由精密運動軸 ( 線性 + 角度 ) 與
功能機械 ( 加工、搬運、檢測 ) 所組成。
種 類 (例 ) 運動軸 功能機 械
精密工具機 X, Y, Z, α, β, γ 切削、成型
半導體製程設備 X, Y, Z, α 曝光、濺鍍、研磨、切割、
銲線……

平面顯示器製程設備 X, Y, Z, α 鍍膜、搬運、貼合、滴注、
切割…
精密量測儀器 X, Y, Z, α, β 探頭、光學、物性、化性…

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精密量測實驗室
 超精密定位平台的組成

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精密量測實驗室
 精密機械精度檢測

主要檢測各運動軸的精度 ( 準確度 + 重覆性

) 常見的運動平台結構 常見的工具結構機
功能頭
線性滑軌

導螺桿

光學尺
直角座標運動系
發展背景成熟 , 控制容
易

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 純並聯式機台

1. 工作空間狹窄
2. 運動模型數學式複雜
3. 高剛性 高運動彈性
4. 尚在實驗室階段 , 離
成
熟商品尚有差距

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串並聯工具機之並聯式主軸機構

1. 工研院機械所研發中
2. 工作台為傳統 X-Y 軸串聯機
台
3. 工作空間較大 , 機台剛性大
4. 具五軸加工能力 , 價格卻便
宜
許多
5. 運動模型也較純並聯式簡單

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 精密機械誤差種類

◆ 靜態幾何誤差
◆ 動態循跡誤差
◆ 熱變形誤差
◆ 工作範圍體積誤差

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 Geometric Errors

E z (x)

δ x (x)
δ y (x)

δ z (x)

E y (x)

+Z

+X

E x (x) +Y

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 三軸共 21 項靜態幾何誤差
z-axis
vertical straightness
of x-axis
pitch y-axis
yaw
horizontal
straightness of x-axis

roll

Z
Z′
Sxz
S yz
x-axis
linear
displacement

Sxy

X′ Y
X

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 靜態幾何誤差

◆ 三軸向共三個定位誤差分量

◆ 三軸向共六個直度誤差分量

◆ 三軸向共九個角度誤差分量

◆ 三軸向彼此間共三個垂直度誤差分量

◆ 總共二十一項誤差

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精密量測實驗室
 幾何誤差的方向定意

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幾何誤差－定位、直度、角度、垂直、體積
阿貝誤差 (Abbé Error)
運動軸與位置回饋軸（感測器軸）不同軸
 Abbe Error
L+ δ L

θ/2
Abbe offset
Moving

L Guide

Abbe Error ( δ L ) = L * θ

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各軸幾何誤差造成的空間
體積誤差
 運動平台幾何誤差

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 運動平台空間面誤差

面誤差

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 工具機空間體積誤差

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Accuracy & Precision

True value

Precision
Accuracy

mean of
observed value

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 幾何誤差檢測原理
1. 使用更高精度的量測儀器 : 如雷射干涉儀
2. 使用更高精度的標準件 : 2D or 3D Artefact
3. 直接加工並量測一標準件

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精密量測實驗室
 2D 標準片例子

十字光罩標準片
十字光罩中心位置的求解
pixel 跟實際尺寸的換算

228
14 5 5 14

14
5
5
228
14

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 2D 標準片應用 ( 量測與補償 )

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 2D 標準片量測與補償範例

自動化光學檢測機台

T 公司 C 公司

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 雷射干涉儀定位誤差量測

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 雷射干涉儀測距技術

 雷射光在經過一段距離之後仍會維持細小的光束
，不像一般光源會散開，同時具有極高的亮度，
以及穩定性與精確性良好的波長，再加上干涉現
象容易觀測，這些特性使得雷射光成為工業上對
準與量測的主要工具。

優點：量程長、高解析度、高穩定性、反應快
速、簡便

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 雷射干涉儀

 現今所使用的雷射干涉儀可以分為兩大類，
雙頻雷射干涉儀（ Hetrodyne Interferometer ）
單頻雷射干涉儀（ Homodyne Interferometer ）

 目前商用雷射干涉儀大多數使用雙頻雷射光源，
因為是利用量測干涉訊號之頻率，以求得物體之
位移量，位移訊號是載於 AC 訊號之上，所以較
不受低頻雜訊干擾，可量測距離較長，因此適合
發展成通用型雷射干涉儀。

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單頻 (Homodyne) 雷射干涉
儀

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雙頻 (Heterodyne) 雷射干涉儀

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 雷射干涉儀定位精度檢測程序

• Warm up for each line or axis

– To simulate normal operational condition
• Measurement interval <= ( L/10 )
– Random interval
– Avoid cyclic error
• 3~5 complete measurement cycles for
each axis

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ISO 230-2 ：
2002

Linear Cycle
Deadpath Error

Fixed

Moving

Dead Path

L1 L2

Zero

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 Cosine Error

Moving

Machine Axis
θ
Laser Axis

L+ δ L

∆L = L'− L= L × (1 / cosθ − 1) = 1 / 2 Lθ 2

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 Analysis of Errors
20

Psj
15

Uj Uj/2 P
10
Error(um)

average
*Forward
5 Pa *Backward
avg(x)- 3s
avg(x)+3s
0

-5

- 10
100 200 300 400 500 600 700 800 900
Position

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雷射干涉儀之運用

雷射及其量測 -5
 直度誤差量測

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 角度誤差量測

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 垂直度誤差量測

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定位精度結果

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定位誤差補償

39
旋轉誤差檢驗－－偏心旋轉、軸向滑移’ 偏擺旋轉

Spindle Ru n-ou t

Spindle T ilt Ax ial S li p

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 熱變形誤差量測

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