真直度、真平度量測

教授：范光照

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 真直度之量測

 真直度 (straightness) 在機件組合、機器台面

等均極為重要，影響到單一機件之平行度、
真平度及機件組合之精度，如平板之真平度
和工具機轉軸之真直度等皆是。因此真直度
之量測不可忽視。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness measurement by
straightedge

 應用直規 (Straightedges) 量測
　常用直規為鑄鐵、工具鋼和花崗石材料製成。應用其
作標準而量測平台或機械台之真平度如下圖所示：

　　

　　　　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 應用直規量測
 量測前需將 上兩等高之組合塊規，支點需置於貝塞爾
(Bessel) 點之位置 ( 即兩 支點距離約為直規全長之
0.5594 處 ) 。
 量測時僅以塊規在不同位置作對比，以觀察檢驗塊規和
直規間之間隙大小。此法僅觀察或感覺，並不十分方便。
因此改用量錶會得到較佳效果，甚至可採用電子量錶
( 比測儀 ) 並與電腦連線。
 量測時，探針接觸到直規並將支點探針之台座依待測方
向做直線運動，不同位位置之量錶讀數即是各點之偏差
量。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness measurement by knife edge

 應用刀邊直規 (Knife
edge straightedges)
刀邊直規常稱為刀口平 外形
尺，因為他有真直度極佳之
邊緣。量測時以其穿透餘隙
光檢查待測物件之真直度。
此法想要達到高精度是相當
困難的，但是判斷平面真直
度為最有效且最迅速之法。 應用情形
　　　　　　　　　　　
　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 應用刀邊直規
 另一種直規其形狀為三角形或四邊形，同樣應
用其中任一邊以作為畫線、檢驗直邊或檢驗 V
字型導槽等工作。

外形 應用情形

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 電子水平儀 (Electronic Level)

電容式 (Capacitance
type)
擺錘兩邊設有電
極，若受待測工件影
響導致間隙不同即產
生的電容不同，形成
角度的差異。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 電子水平儀 (Electronic Level)

電感式 (Inductance type)

當基座因待測工件而傾
斜時，內部擺錘因移動造成
感應線圈電壓的變化。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness measurement by
electronic level

 應用水平儀量測
因水平儀測 為角度，故需轉換成真直度，其量測原理如圖
示。水平儀必須沿著待測物表面作直線移動，和以水平儀基座的
長度做等距移動。此外，量測前須先將水平儀放在待測物的中央
部位且略保水平。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness measurement by
autocollimator

 應用自動視準儀量測
　 方式與水平儀量測方式極為相
似，當自動視準儀固定後，將
反射鏡置於待測物之機械平台
A 處，量測時反射鏡必須沿著
直規或平行塊作導引，然後反
射鏡移到 B 處，此時必須注意
AB 距離等於反射鏡基座之長
度。所有量測數據均以斜線直
表示，最後可得一曲線，由此
曲線可計算出真直度誤差大小
　　
　　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.
Straightness measurement by laser
& four-quadrant detector

Laser Couple Optical Beam 4-Quadrant

Diode Lens Fiber Head Detector

Data
LD Power Analog Signal
Acquisition
Supplier Processor
&Processor

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

Straightness measurement

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness Alignment

Aligning lathe Aligning multi work

pieces in a machine

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness analysis(1):
linking end points

 簡易法評估真直度
　這種評量方式是以待測直線隻首尾兩點為基準，以水平儀原理之
圖為例，首點為 0 ，尾點為 +12μm ，中間各點以首尾點連線之距
離計算出來即可，如下所示，其真直度誤差為 14μm 。

　　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness analysis(2):
Least squares method

 最小平方和法 (Least square method)

　為目前最常用之方法，數學原理為要找到穿越量測點
群和各點距離的平方合為最小的直線方程式：
　 Y=ax+b

n ∑( xy ) − (∑ x)(∑ y ) (∑ y )(∑ x 2 ) − (∑ x)(∑ xy )

a= b=
n ∑ x 2 − (∑ x) 2 n ∑ x 2 − (∑ x) 2

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Straightness analysis (3):
Minimum zone method

 最小區間法 (Minimum zone method)

　這種評估方式是以符合最小偏差的理想直線作為基準。下圖為兩
條平行線 l1 、 l2 可以包含所有量測的點且兩線間的距離為最小。
此法為 ISO R1101 標準中所規定的評估法，解法較複雜。

　　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Flatness
 應用在平板、工具機
和三次元量床床台方
面，因這些表面常被
當成量測時之基準面
，若基準面之真
平度不佳，將會影響
量測品質 ( 如右
圖)。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Flats
 Large Metrology plate
 Small Optical flat

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Flatness measurement
by straightedge

量測前需將量錶觸及直規，並調整支持架使直規
之各量測點均在量錶可量測範圍。完成三條路徑之量
測，下圖為量測情形：

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Flatness measurement
by electronic level

 應用水平儀量測
為量測真直度延伸，真平度之量測乃將待測平面作
數條真直度之量測如下圖，並將各量測路徑所得之數
據作適當的調整使相同號碼的數值需相同，再經分析
後即可得到真平度的誤差大小。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 Flatness measurement by
autocollimator & laser interferometer

 應用自動視準儀量測
其量測方式與水平儀
相同，其角度最小數可
達 0.2 秒。
 應用雷射量測儀量測
對準工作較繁，雷射
干涉儀與電腦連線使用
、數值分析均方便。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 平 板 (Surface plates)
 平板是機械工廠和精密量測室一種不可或缺的量具。
 精確度極佳可作為校正量具及檢驗機械或畫線等之輔
助工具。
 以鑄鐵或花崗石為材料，經刮光或精密研磨成型。
 鑄鐵平板其下方有肋條以減輕重量和加強其強度，鑄
鐵經定性、消除內應力後，再加工磨平及刮花等工作
而完成。
 花崗石平板目前廣被採用，效果媲美於鑄鐵平板，但
吸震效果不佳。　

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 花崗石平板之優點
 不變形  不起黏著作用
 使用壽命長  表面不反光可消除眼
 有鑄鐵 7.5 倍的耐久性 睛疲勞
 受溫度變化影響較少  不感磁性
 不起毛邊  易清洗
 抗腐蝕性高  維護費用節省

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 平板等級及支點 (1)
 平板得精度通常依其表面加工後的真平度區
分，可分為安 0 級、 1 級、 2 級三種。
 平板安裝時其支點甚為重要，為了維持精密機
械或設備的穩定性，必須做水平檢查外，尚須
注意其支點的位置和數量。
 支點分 依據貝塞爾點之原則如下圖，以減少
其變形，支點由三點作為水平位置調整，亦可
增加兩個支點作為輔助。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

平板等級及支點 (2)

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 真平度誤差之分析 (1)
 最小平方和法
取樣方法有米字型及
方格型兩種。應用線性
迴歸方式尋找出一個參
考平面，以此平面與各
量測點之高度平方和最
小，而真平度之大小為
相對此參考平面最高點
與最低點之差異。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.

 真平度誤差之分析 (2)
 最小區間法評 平度
以符合最小偏差的理想平面作為基準。下圖為兩平行面 Pu 、
Pl 間，包含所有量測點且兩平面間的距離最小。此法為 ISO
R1101 中所規定的評估法較複雜，在此不詳述。

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.