卒業論文

超小型衝撃波管による熱気流の高頻度生成と
動作特性の最適化

1p ∼ 85p 完

平成 22 年 2 月 5 日 提出

指導教員 高木 周 准教授

80251 三橋 克仁
目次

第1章 序論 4
1.1 本研究の背景 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 衝撃波管分子線源の動作原理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3 本研究の目的 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4 超音速分子線 [1] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.1 概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.2 超音速自由噴流 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.5 従来の研究 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.5.1 シードビーム法 [1] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.5.2 ノズル加熱法 [2] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.5.3 衝撃波管を用いた分子線源 [3][4] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.5.4 本研究室における先行研究 [5][6] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.6 本論文の内容 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

第 2 章 分子線源の性能予測 15
2.1 一次元衝撃波関係式 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.1.1 衝撃波管概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.1.2 衝撃波の基礎式 [7] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.1.3 入射衝撃波 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.4 反射衝撃波 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2.2 実際の衝撃波管 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.2.1 開口時間の影響 [9][10] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.2.2 境界層の影響 [9][11] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.3 断面収縮型衝撃波管 [9][12] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.4 分子線の並進エネルギー予測 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.5 準一次元数値計算によるシミュレーション . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.5.1 概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.5.2 単純理論との比較 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.5.3 開口時間の影響 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.5.4 壁面摩擦の影響 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.5.5 内径 2 mm の衝撃波管の再現 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.5.6 内径 4 mm の衝撃波管の再現 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.5.7 断面収縮型衝撃波管の再現 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36

第3章 実験装置 38
3.1 概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
3.2 衝撃波管 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
3.3 メインバルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2
 3.3.1 メインバルブ概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.3.2 内径 4mm の場合のメインバルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.3.3 リーク対策 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.3.4 逆電圧の防止 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.3.5 放電対策 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.3.6 銅板の過浮上防止 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
3.4 給気・排気バルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
3.5 高速応答温度センサ [6] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
3.6 真空系 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
3.6.1 真空ポンプ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
3.6.2 真空チャンバー内圧測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

第 4 章 断面収縮型衝撃波管分子線源の性能評価 52
4.1 衝撃波マッハ数測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
4.1.1 概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
4.1.2 実験条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
4.1.3 結果と考察 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
4.1.4 管長及び収縮位置の最適化 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
4.2 衝撃波マッハ数の準一次元計算による見積もり . . . . . . . . . . . . . . . . 67
4.2.1 概要及び計算条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
4.2.2 結果と考察 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

第 5 章 結論 70

付 録 A 付録 71
A.1 White のモデルによる衝撃波マッハ数 Ms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

付 録 B 一次元数値計算シミュレーション 73
B.1 支配方程式 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
B.2 計算条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

付 録 C 電流ループ機構バルブの動作原理 75

付 録 D 平行金属板変位理論 78

参考文献 81

謝辞 82

3
第1章 序論

4
1.1 本研究の背景
近年発展している高度技術を要する産業の例として, 航空宇宙産業や半導体産業等があ
る. 航空宇宙産業において, いわゆる人工衛星, 国際宇宙ステーションといった構造物の周
りの流れなどには, 希薄気体条件下での周囲の流れの解析が必要になる. また, 半導体産業
においては, 回路の高速化, 高集積化に伴い, 重要な構成要素である薄膜の生成を均一かつ
高効率に行うために, 基盤と反応分子間の相互作用を解析することが必要となる.
このような圧力が極めて低い領域や, 系の代表長さが極めて小さい領域においては, 気体
分子間の衝突頻度が減少し, 気体分子と固体表面間の衝突が頻繁に起こる. この領域の希
薄化の程度を表す無次元数として, 気体分子の平均自由行程 λ と代表長さ L で表されるク
ヌッセン数 Kn が用いられる.

λ
Kn = (1.1)
L
Kn < 0.01 の連続流と呼ばれる領域においては流れを連続体として取り扱うことが可能
である．しかし，上記のように気体密度が低く平均自由行程 が大きくなる，もしくは代
表長さ L が非常に小さくなることで Kn > 0.01 となるような領域では，分子数密度が非
常に小さくなり，流れを通常の連続体として取り扱うこと，更には Navier-Stokes 方程式
の適用が妥当ではなくなり，希薄気体力学に基づいた考察が必要となる．希薄気体流れに
おいては気体分子同士の衝突頻度が減少し，固体表面に衝突した気体分子の散乱挙動が流
れ場全体に大きな影響を及ぼす．
このような固体表面と気体分子の相互作用の実験的解析手法として超高真空下での分
子線散乱実験が挙げられる．分子線の生成には，必要とする並進エネルギーに応じて種々
の方法が用いられる．特に，典型的な気体分子の解離エネルギーや表面反応障壁に相当す
る 1∼5 eV 程度の並進エネルギーをもつ分子線の生成には，アーク加熱ノズル法やシード
ビーム法とノズル加熱法を併用する方法などがこれまでに用いられてきた．しかし，前者
の方法は電極の磨耗により発生する銅子が分子線に混入してしまうこと，後者の方法はノ
ズルの耐熱温度による実験条件の制約が大きいことやキャリアガスが分子線に混入してし
まうことが欠点として挙げられる．以上のことを踏まえた上で，本研究では上記のような
問題点のない衝撃波管を用いた分子線源を開発している ．
本研究で提案する分子線源の構成を図 1.1 に示す. 衝撃波管内で圧縮された高温の試料
気体を管端のオリフィスより噴流として取り出し, スキマーを用いて中心部分を抽出する
事により分子線を生成する. 生成された分子線はチョッパーを用いてパルス上に変調され,
差動排気ステージにより拡散成分が取り除かれた後に, 計測を行う主室に照射される.
衝撃波管を利用した分子線源はこれまでにも報告されている [4] が, 一回の動作ごとに隔
膜の交換を行い, 高温の気体が生成されるごく短い時間内に計測を終える必要があるため,
長時間の信号積算を要する散乱計測には不向きな方法であった. 本研究では, 衝撃波管を無
隔膜方式にすることで繰り返し動作を可能とした. また, 衝撃波管の小型化により, 一動作
サイクルごとの排気時間を短縮し, 分子線を高頻度に繰り返し生成することを目標として
いる.

5
 図 1.1: 衝撃波管を用いた分子線源の機構

1.2 衝撃波管分子線源の動作原理
衝撃波管分子線源の動作サイクルは, 次図 1.2(a) から (e) のようになる.

(a) 排気バルブから, 前サイクルで生じた試料気体と駆動気体の混合ガスを排気する.

(b) 給気バルブより試料気体を充填する.

(c) チョッパースリットが通過するタイミングに合わせてメインバルブを駆動し衝撃波
を発生させる.

(d) 衝撃波は管端に到達して反射すると, 反射波背後の高温・高圧の領域により試料気体

が加熱されてオリフィスから噴出する. スキマーを介することによって, 方向の揃っ
た分子線として取り出すことができる.

(e) メインバルブが閉じる, 衝撃波管内には試料気体と駆動気体の混合ガスが残っている.

6
 (a) 排気過程 (b) 給気過程

(c) 衝撃波発生 (d) 分子線の生成

(e) メインバルブ閉口

図 1.2: 衝撃波管分子線源の一動作サイクル

7
1.3 本研究の目的
本研究では, 高エネルギー分子線源としての超小型無隔膜衝撃波管の開発を行っている.
従来の大型の衝撃波管の設計指針が本研究で開発している超小型衝撃波管に適用できる
かどうか定かではない. そこで, 先行研究では, 内径を 4 mm から 2 mm に絞った断面収縮
型衝撃波管を試作し, 衝撃波マッハ数の測定を行い, 1 eV 以上の並進エネルギーをもった
分子線を生成できることが見積もられていた. しかし, 衝撃波形成のどの過程で断面を絞
るのが良いのか知見が得られていなかったため, 収縮開始位置に関してはメインバルブか
ら 100 mm の位置で固定していた. そこで, 本研究では収縮開始位置を変えた衝撃波管を
試作し, その動作特性を調べた.
以上の結果をもとにして, 超小型衝撃波管の性能最適化のための知見を深めることが本
研究の目的である.

1.4 超音速分子線 [1]

1.4.1 概要
高圧貯気室側からオリフィスを介して真空中にガスが導入される際に噴流の中心部分を
取り出すと，方向が一致した気体分子の流れを得ることができる (図 1.3)．この分子の流
れを分子線と呼ぶ．分子線を構成する分子同士は衝突することがほとんどなく孤立した状
態であるために，制御された初期状態を保ったまま真空中を飛行していく．従って，分子
線を用いることで状態のよく制御された気体分子を固体表面に衝突させて現象を観測する
ことが可能になる．また分子線の ON/OFF を行い，分子線の流束を時間的にコントロー
ルすることで散乱や表面反応の時間変化を追うことが可能となる．
分子線は気体の平均自由行程 λ とオリフィス径 D との関係からもれ出し分子線 (effusive
beam) と超音速分子線 (supersonic molecular beam) に分類される. D < λ0 の場合，気体
分子がオリフィスを通過する際に他の気体分子との衝突がなく，貯気室内での特性を保っ
たまま真空中に飛び出していく．これをもれ出し分子線と呼ぶ．このとき，並進速度分布
は貯気室内の温度で決まるので，分子線強度の予測が容易であるが，超音速分子線と比較
すると強度が弱いという欠点がある．
D > λ0 の場合，気体分子はオリフィスを通過する際に他の分子と衝突を繰り返しなが
ら超音速自由噴流と呼ばれる流れ場を形成する．この噴流の中心軸部分をスキマーにより
抽出することで超音速分子線が得られる．超音速分子線は貯気室から真空中に断熱膨張す
る際に他の気体分子と衝突することで並進エネルギーが緩和され，単色性の強い鋭い速度
分布をもつ．また分子線強度も，もれ出し分子線と比較して大きいものとなっている．以
上のことから気体分子と固体表面の相互作用を研究する際には超音速分子線が用いられ
ることが多い．
超音速分子線を取り扱うために以下の仮定を設ける．

1. スキマー内壁で反射した分子と流線上の分子との衝突が無視できる．

2. スキマー前方に衝撃波が形成されない．

3. スキマー入り口での流れは一次元的で，軸方向のみに速度成分をもつ．

4. 熱運動に関する分子の速度分布は Maxwell-Boltzmann の速度分布則に従う．

8
 1, 2 の仮定から噴流が生成される過程を断熱自由膨張とみなすことができる．3, 4 の仮
定は分子の微視的挙動を取り扱うために必要となる．

㈓Ẽᐊ 䝇䜻䝬䞊
䝜䝈䝹

䝫䞁䝥 䝫䞁䝥 䝫䞁䝥 䝫䞁䝥 䝫䞁䝥

(a) 䜒䜜ฟ䛧ศᏊ⥺䠄D < 䃚 䠅 0
(b) ㉸㡢㏿ศᏊ⥺䠄D >䃚 䠅
0

図 1.3: 分子線の発生方法

1.4.2 超音速自由噴流
超音速自由噴流において, 流れは断熱的に膨張するので, 流線に沿ってエンタルピーは保
存する. 従って次の関係式が成り立つ.

1
C0 T0 = C0 T + u2 (1.2)
2
ここで,T0 は貯気室内の気体の温度である.
C0 は定圧比熱であり, 次式で与えられる.

γ ks
C0 = (1.3)
γ −1m
γ , kB , m は比熱比，ボルツマン定数，気体分子の質量である．以上の 2 式より流速 u
は，
s
q
2ks γ
u= 2Cp (T0 − T ) = ( )(T0 − T ) (1.4)
m γ−1
となる．断熱膨張が十分に進んで T << T0 となり，貯気室内の分子のエネルギーが全
て運動エネルギーに変換されたとみなせる場合，気体分子の運動エネルギーは次のように
近似される．

1 γ
E = mu2 : k s T0 (1.5)
2 γ−1
これにより断熱膨張が十分に進んでいるときには，気体分子の運動エネルギーは貯気室
内の温度におおよそ比例することが示された．

9
1.5 従来の研究
1.5.1 シードビーム法 [1]
重い気体分子が軽い気体分子によって希釈された混合気体の分子線は, 試料気体である
重い気体分子がキャリアガスである軽い気体分子によって加速されるため, 単一の重い気
体のみの分子線に比べて高い並進エネルギーをもつ．このような分子線をシードビーム
(seeded beam) と呼ぶ．並進エネルギーは以下のようにして求められる．混合気体の平均
定圧比熱 Cp は質量 mH の重い分子と質量 mL の軽い分子の定圧比熱 CpH , CPL 及び質量分
率 W H , W L を用いて表すと次式のようになる．

Cp = W H CpH + W L CpL (1.6)

また Cp は次式で与えられる.

γ k
Cp = (1.7)
γ −1m
断熱膨張後の温度 T がノズル温度 T0 と比較して十分に低く全ての分子の速度が均一に
なっているとみなせるとき，貯気室中の分子と断熱膨張後の分子のエネルギー保存の関係
から次式が得られる．

1
Cp T0 = v 2 (1.8)
2
従って，重い気体分子の並進エネルギー E H は次のようになる．

1 H 2
EH = m v
2
= m H C p T0 (1.9)

特にキャリアガスと資料気体の比熱比 γ が同じであるとき,Cp は, 式 (1.6) と式 (1.7) か

ら次のようになる．

γ WH WL
Cp = k( + L)
γ − 1 mH m
γ k
= (1.10)
γ −1m

ただし m は分子の平均質量であり，質量分率で表すと，

1
m= WH WL
(1.11)
mH
+ mL

となり，モル分率 X H , X L で表すと

m = X H mH + X L mL (1.12)

となる．この を用いて EH を表すと式 (1.9),(1.10) より次のようになる．

10
 mH γ
EH = kT0 (1.13)
m γ−1

純ビームの場合の並進エネルギーは式 (1.5) より次式のようになる．

1
E = mu2
2
γ
= kT0 (1.14)
γ−1
H
式 (1.13) と式 (1.14) よりシードビームは純ビームの mm 倍の並進エネルギーをもつこと
が分かる．

1.5.2 ノズル加熱法 [2]

高エネルギーの分子線を得る方法としてノズル加熱がある．ノズルを 3000 K 程度まで
加熱することによって，10−2 − 1 eV までの並進エネルギーを得ることができる．しかし，
ノズルを直接加熱するので材質の上限温度によって加熱温度に制限があり，得られる並進
エネルギーに限界がある．従来の研究では，アルゴンをヘリウムで 1 % に希釈した混合
気体を 3000 K で加熱したシードビームで 8 eV までの並進エネルギーが得られることが
分かっている [2]

1.5.3 衝撃波管を用いた分子線源 [3][4]

衝撃波管を用いた分子線源としては，駆動気体として水素を，試料気体としてアルゴン
や窒素を用いて 2 eV 程度の並進エネルギーが得られたという報告がある [3] ．また Peng
らは，衝撃波管により約 3 eV の並進エネルギーをもつ酸素原子の分子線を得ることに成
功している [4] ．用途としては主に飛行時間法型質量分析計を使用した化学組成の決定に
用いられてきた．これらの衝撃波管は隔膜を使用しており，使用する度に隔膜の交換が必
要である．更に衝撃波管は駆動のたびに管内の残留気体を排出し，試料気体及び駆動気体
を充填する必要があるため，従来用いていたような大きさの衝撃波管は複数回実験を行う
のに多くの時間を費やす必要があった．そのため，繰り返し測定を行い S/N 比を大きく
しなくてはならない分子線散乱実験には不向きなものであった．

1.5.4 本研究室における先行研究 [5][6]

本研究室においては, 分子線散乱実験に用いるための超小型衝撃波管を試作し性能評価
を行っている. 昨年度の三好 [6] の研究では, 衝撃波の感知に温度センサーを用いて, 駆動気
体をヘリウム, 試料気体を窒素とし, 衝撃波マッハ数の測定実験を行っていた.(図 1.4) に衝
撃波管の概要,(図 1.5) に実験データを示す.

11
 㧗ᅽ㈓Ẽᐊ
᤼Ẽ䝞䝹䝤 ⤥Ẽ䝞䝹䝤

⾪ᧁἼ⟶䠄䃥2mm䠅

䝯䜲䞁䝞䝹䝤
䜸䝸䝣䜱䝇
x
500mm

図 1.4: 衝撃波管の概要 (一昨年度)

6
p41
5000
5 1000
200
20
Mach Number Ms [-]

1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 1.5: 温度センサーによる衝撃波マッハ数の測定（三好）

12
 昨年度の吉本 [5] の研究では, 内径 2 mm,4 mm 及び内径を 4 mm から 2 mm に絞った断
面収縮型衝撃波管を用いて, 衝撃波マッハ数 Ms の測定を行った．
(図 1.6) に初期圧力比 p41 と最大衝撃波マッハ数 (Ms )max の関係を示す．この図から，並
進エネルギー目標値の 1 eV はいずれの衝撃波管でも達成できると予測できる．2 mm よ
り 4mm の衝撃波管の方が管内の粘性の影響が小さく，Ms が大きい．従って分子線の並
進エネルギーが高いと予測できる．また，断面収縮型では 4mm のものよりも更に大きな
Ms が得られることがわかる (図 1.7).

図 1.6: 初期圧力比と衝撃波マッハ数の測定 (吉本)

6 1.5
Translational Energy <E> [eV]

p41 = 1000
Mach Number Ms [-]

5
1.0
4
0.5
3
䢢 䢢 2 mm
4 mm
2 convergent

1
0 100 200 300 400
x [mm]

図 1.7: 断面収縮型衝撃波管による並進エネルギーの増加

13
1.6 本論文の内容
本研究では, 断面収縮型衝撃波管を用いた実験と準一次元計算によって, その動作特性を
調べた.
第 2 章では衝撃波管を用いた分子線源に関する基礎理論について述べた. また, 本学の清
水和弥氏が開発した, 断面積変化のみを考慮に入れる, 準一次元解析コードを用いて衝撃波
管内の流れの数値計算を行い, 衝撃波管分子線源の性能予測を行った.
第 3 章では実験装置の説明として本研究に用いた衝撃波管, 及び各種バルブや温度セン
サーについて説明を行った.
第 4 章では, 各断面収縮型衝撃波管についてマッハ数を計測しマッハ数を解析したほか,
準一次元計算を行い実験値との比較を行った.
第 5 章では本研究の結論を述べた.
重要と思われる基礎理論については, 別途付録という名目で紹介する形式をとった.

14
第2章 分子線源の性能予測

15
2.1 一次元衝撃波関係式
2.1.1 衝撃波管概要
 衝撃波管の概要を図 2.1 に示す．まず衝撃波管の原理を説明する．高圧の駆動気体と
低圧の試料気体が隔膜により隔てられている．破膜により，圧縮波が発生し，高圧側から
低圧側に向かって進んでいく．後続の圧縮波が先頭に次々と追いついていき，圧力勾配が
徐々に急になり最終的に衝撃波が形成される．衝撃波が管内を進んでいき，管端で反射す
る際に，反射衝撃波背後が高温高圧状態になる．そこで加熱された試料気体が，オリフィ
スから噴出し，スキマーを通ることで高い並進エネルギーをもった分子線が得られる．

㧗ᅽᐊ 㝸⭷ పᅽᐊ
㥑ືẼయ 䐢 ヨᩱẼయ 䐟

図 2.1: 衝撃波管概要

本章では入射衝撃波，反射衝撃波前後の領域を 1∼5 に分類して理論展開を行う．各記

号の右下に番号を入れ，属する領域を区別した．
例 p2 (領域 2 の圧力を示す)
二つの添え字がついたものは以下の規則に従うものとする．
Xab = Xa /Xb (例)   p41 = p4 /p1

2.1.2 衝撃波の基礎式 [7]

衝撃波面と同じ速度 U で移動する座標系 (図 2.2(b)) を考え，それに対する気体の速さ
を v1 , v2 で表し，この座標系に対して質量，運動量及びエネルギーの各保存式を考える．
この座標系から観測することで定常状態の流れとして取り扱うことができる．衝撃波前後
の各物理量に対して，それぞれ添え字 1，2 をつけて区別し，上流側を 1，下流側を 2 と
する．

質量保存の式：ρ1 v1 = ρ2 v2 (2.1)

運動量の式：p1 + ρ1 v12 = p2 + ρ2 v22 (2.2)

1 1
エネルギー式：h1 + v2 = h2 + v22 (2.3)
2 2

16
 ここで,ρ, v, p はそれぞれ密度，速度，圧力を表し，h は比エンタルピーであり，

γ p γ
h= = RT = Cp T (2.4)
γ −1ρ γ−1
と表される．温度 T は気体の状態方程式

p = ρRT (2.5)

により，圧力 p 及び密度 ρ と関係づけられる．

式 (2.1) 式 (2.3) の 3 つの保存式から v1 , v2 を消去して，比熱比 γ を用いて圧力 p と密度
ρ の関係式を求めると以下のようになる．

ρ2 p1 (γ1 − 1) + p2 (γ1 + 1) α1 p21 + 1

= = (2.6)
ρ1 p2 (γ1 − 1) + p1 (γ1 + 1) α1 + p21
ここで,γ1 = γ2 である.
γ+1
式 (2.6) は Rankine-Hugoniot の式と呼ばれている．ここで α = γ−1
である．式 (2.1)，
(2.2)，(2.6) より

α1 p21 + 1 γ1 p1
v12 = (2.7)
1 + α1 ρ1
ここで，衝撃波静止の座標系から見た衝撃波上流のマッハ数を衝撃波マッハ数という．
a を音速，Ms を衝撃波マッハ数とすると,a2 = γp/ρ の関係式と式 (2.7) より

v12 α1 p21 + 1
Ms2 = 2
= (2.8)
a1 1 + α1
従って,

2γ1
p21 = 1 + (M 2 − 1) (2.9)
γ1 + 1 s
また式 (2.6)，(2.9) から

(γ1 + 1)Ms2
ρ21 = (2.10)
2 + (γ1 − 1)Ms2
となる．式 (2.1)，(2.6)，(2.7)，(2.8) 及び a21 = γ1 p1 /ρ1 より

(α1 − 1)(p21 − 1)a1

u2 = v1 − v2 = p (2.11)
(1 + α1 )(1 + α1 p21 )
2a1 1
= (Ms − ) (2.12)
γ1 + 1 Ms

また温度に関しては式 (2.5)，(2.6)，(2.9) から

p2 ρ1 α1 + p21
T21 = = p21 (2.13)
ρ2 p 1 1 + α1 p21
[2 + (γ1 Ms2 )][2γ1 Ms2 − (γ1 − 1)]
= (2.14)
(γ1 + 1)2 Ms2

となる．

17
 U 0

䐠 䐟 䐠 䐟
u2 u1=0 v2 v1

⾪ᧁἼ ⾪ᧁἼ
(a) 㟼Ṇᗙᶆ⣔ (b) ⛣ືᗙᶆ⣔
図 2.2: 衝撃波の座標系

2.1.3 入射衝撃波
有限振幅等エントロピー波の伝播 [7]

有限振幅等エントロピー波の基礎式は以下のように与えられる.

∂ρ ∂u ∂ρ
連続の式： + ρ +u =0 (2.15)
∂t ∂x ∂x
∂u ∂u 1 ∂p
運動方程式： + u + =0 (2.16)
∂t ∂x ρ ∂x
p
等エントロピーの式： γ = const (2.17)
ρ
u(x, t) は ρ(x, t) の関数形 u = u(ρ) で表されるので，

∂ρ dρ ∂u ∂ρ dρ ∂u
= , = , (2.18)
∂t du ∂t ∂x du ∂x
∂p dp dρ ∂u dρ ∂u
= = a2 (2.19)
∂x dρ du ∂x du ∂x
式 (2.18) を式 (2.15) に，式 (2.19) を式 (2.16) に代入すると，

dρ ∂u ∂u ∂u
( +u )+ρ =0 (2.20)
du ∂t ∂x ∂x

∂u ∂u a2 dρ ∂u
+u + =0 (2.21)
∂t ∂x ρ du ∂x
式 (2.20) と式 (2.21) から ∂u/∂t + u(∂u/∂x) を消去し,dp/dρ = a2 の関係を用いると，次
式が得られる．

a 1
du = ± dρ = ± dρ (2.22)
ρ aρ
上式の複号のうち，＋は前進波，−は後進波に対応する．

18
 いま，波が通過する前の，乱されていない状態に添字 1 をつけて表すと，波動中の任意
の状態における音速 a は，式 (2.17) を用いて，
r r   γ−1   γ−1
γp γp1 ρ 2 ρ 2
a= = = a1 (2.23)
ρ ρ1 ρ1 ρ1
式 (2.23) を式 (2.22) に代入して積分すると，

Z "  γ−1 # "  γ−1 #

ρ
a 2a1 ρ 2 2a1 p 2γ
u − u1 = ± dρ = ± −1 ± −1 (2.24)
ρ1 ρ γ−1 ρ1 γ−1 p1

式 (2.24) に式 (2.23) の関係を用いると，

2
u − u1 = ± (a − a1 ) (2.25)
γ−1
前進波の場合には，式 (2.25) の複号の＋をとり，

2a 2a1
u− = u1 − (2.26)
γ−1 γ−1
また，後進波に対しては，複号の−をとって，

2a 2a1
u+ = u1 + (2.27)
γ−1 γ−1
式 (2.26) と式 (2.27) の右辺は状態 1 の値のみに依存し，一定である．そこで，

2a 2a
P ≡u+ ,Q ≡ u − (2.28)
γ−1 γ−1
と定義すれば,

前進波に対して   Q = const. (2.29)

後進波に対して   P = const. (2.30)

即ち，前進波のみが存在する場合，流れ場の全域に対して Q が一定に保たれ，後進波
が存在する流れ場では P が一定に保たれる．この Q と P をリーマン不変量という．
 圧力波は進むにつれ流れを引き起こす．圧力の増加，言い換えると密度の増加を伴
う波では波の進行方向と引き起こされる流れの速度の方向が一致する．これを圧縮波と
いう．逆に圧力の減少を伴う波では，波の進行方向とは逆方向に流れが引き起こされる．
これを膨張波または希薄波という．圧縮波では，後続の波は次第に前側の波に追いつき，
圧力などの空間勾配が徐々に急になり，最終的には一つの波面を形成する．この急勾配に
なった圧力波の先頭が衝撃波である．

理想的な衝撃波管

衝撃波管における流れを次の 3 つの仮定のもとに解析する理論を単純理論という.

• 流れは一次元流れである.

19
 • 気体は完全気体で, 衝撃波を除いて, 粘性と熱伝導のない等エントロピー流れである.

• 高圧室と低圧室とを仕切る隔膜は瞬間的に破膜し, その瞬間に初期条件から決まる
一定強さの衝撃波管が形成されて伝播する.

これらの仮定に基づく衝撃波管内の流れを図 2.3 に示す. これ以降の理論展開は上記の

仮定が成り立つものとして行う.
断面が一様で, 内面が極めて滑らかな衝撃波管内を隔膜でへだて, 図 2.1 のように隔膜右
側の領域 1 に圧力 p1 , 左側の領域 4 に圧力 p4 の気体が充填されているとする.
ただし p1 < p4 である. ここで瞬間的に隔膜が破膜したとすると, 衝撃波は隔膜の右方向
へ, 膨張波はその逆の左方向へ, 隔膜があった地点から進み始める. ここで衝撃波背後の領
域を領域 2, 膨張波背後の領域を領域 3 とすると, 領域 1,2 の間では式 (2.8)，式 (2.10)，式
(2.12)，式 (2.14) が成立し，領域 3 と 4 では，左側に進行する膨張波においては，式 (2.28)
の P の値が一定であるという関係が成り立つので，

2a4 2a3
u4 + = u3 + (2.31)
γ4 − 1 γ4 − 1
一方, 膨張波に関しては, 断熱変化であるので圧力と音速には以下の関係が成り立つ.
  γ−1
a p 2γ
= (2.32)
a0 p0
式 (2.32) より，
2γ4
γ4 −1
p43 = a43 (2.33)
となる．ここで，領域 2，3 ではそれぞれ比熱比が γ1 とγ4 の異なる気体が入っており，
その境界面は, t = 0 で隔膜のあった位置であり，両気体の接触面に相当する．従って，
u2 = u3 , p2 = p3 となっているはずである．この境界面は領域 2 または領域 3 の境界面と
同じ速度で移動しているが，温度のみ値が異なり，圧縮された領域 2 では高温に，膨張
した領域 3 では低温になっている．領域 2，3 の間に上記の関係があるとして，式 (2.31)，
(2.33) 及び u4 = 0 より，
  γ2γ−1
4
a4 4
p42 = 1 (2.34)
a4 − 2 (γ4 − 1)u2
となる．従って，(2.9)，(2.12)，(2.34) より，
   − γ2γ−1
4
2γ1 Ms2 − (γ1 − 1) (γ4 − 1)a1 1 4
p41 = 1− Ms − (2.35)
γ1 + 1 (γ1 + 1)a4 Ms
となる.p41 = p4 /p1 であり衝撃波管の初期圧力比を表す．式 (2.35) より，初期圧力比 p41
が決まれば理想的な衝撃波管では衝撃波マッハ数 Ms が決まることになる．図 2.5 に初期
圧力比 p41 とマッハ数 Ms の関係を示す．式 (2.35) において p41 → ∞ となった場合，式
(2.35) の第二乗数部が 0 に収束するので，

(γ4 − 1)a1 2 (γ4 − 1)a1

M −M − =0 (2.36)
(γ1 + 1)a4 (γ1 + 1)a4
より，

20
 s 2
1 (γ1 + 1)a4 1 (γ1 + 1)a4
M= + +1 (2.37)
2 (γ4 − 1)a1 2 (γ4 − 1)a1
となる．つまり初期圧力比 p41 を大きくしても衝撃波マッハ数の上限は式 (2.37) で与え
られる値に収束する．そのため衝撃波の強度を大きくして分子線の平均並進エネルギーを
高くするには，この上限値を大きくする必要があり，駆動気体には比熱比が小さく音速が
大きい，即ち多原子分子で分子量が小さいものが望まれる．

21
 ཯ᑕ⾪ 䐣
t
⭾ᙇἼ ᧁἼ
䐡 ᥋ゐ㠃 䐠
t1

䐢 ⾪ᧁἼ 䐟
0 x
図 2.3: 波動線図

p
p4

p3 p2

p1

0
x

図 2.4: 管内の圧力分布

T
T2

T4 T1
T3

0 x
図 2.5: 管内の温度分布

22
 8
7

Mach Number Ms [-]

6
5

4
3

2
1
0 1 2 3 4
10 10 10 10 10
Initial Pressure Ratio p41 [-]

図 2.6: 初期圧力比 p41 とマッハ数 M s

2.1.4 反射衝撃波
 図 2.3 のように衝撃波管端の壁に左側から入射した衝撃波が反射した場合，反射波背
後の領域 5 では気体の流れは静止して u5 = 0 となる．反射波と同じ速度 −Ur で移動する
座標系について，再び保存則をたてて反射波の運動を求めることができるが，入射波との
対応を考えて必要な式を導くことが可能である．図 2.7 に反射波の座標系を示す．
 式 (2.6)，式 (2.8)，式 (2.12)，式 (2.13) の式で添え字の 1 を 2 に (v1 のみ v2r とする)，
2 を 5 に書き換えて，符号の変化に注意すると以下の式が求まる．

α1 p52 + 1
ρ52 = (2.38)
α1 + p52
r
v2r α1 p52 + 1
= (2.39)
a2 1 + α1

(α1 − 1)(p52 − 1)
v5 − v2r = − p a2 (2.40)
(1 + α1 )(1 + α1 p52 )
α1 + p52
T52 = p52 (2.41)
1 + α1 p52
ここで,v5 − v2r = −(v1 − v2 ) なので, 式 (2.12)，(2.40) から，

(α1 − 1)(p52 − 1) (α1 − 1)(p21 − 1)

 − p a2   = − p a1 (2.42)
(1 + α1 )(1 + α1 p52 ) (1 + α1 )(1 + α1 p21 )
√
また，a21 = T21 なので，式 (2.13) より，
r
α1 + p21
a21 = p21 (2.43)
1 + α1 p21
従って，式 (2.42)，(2.43) より，

23
 p21 (α1 + 2) − 1
p52 = (2.44)
α1 + p21
が導かれる．よって，式 (2.39) の中の p52 も p21 で表すことができ，反射衝撃波の速度
−U r は，v2r を p21 の関数で示し，Ur = v2r − u2 として求めることができる．式 (2.11)，
(2.39)，(2.43)，(2.44) より，

(1 + α1 )p21 a1
v2r = p (2.45)
(1 + α1 )(1 + α1 p21 )
2p21 + α1 − 1
−Ur = p a1 (2.46)
(1 + α1 )(1 + α1 p21 )
p51 = p5 /p1 = p52 p21 なので，式 (2.9)，式 (2.44) から,

|(3γ1 − 1)Ms2 − 2(γ1 − 1))| |2γ1 Ms2 − (γ1 − 1)|

p51 = (2.47)
(γ12 − 1)Ms2 + 2(γ1 + 1)
が導かれ，また同様に T51 = T5 /T1 = T52 T21 なので，式 (2.9)，(2.14)，(2.41)，(2.44)
から，

|(3γ1 − 1)Ms2 − 2(γ1 − 1)| |2(γ1 − 1)Ms2 − (γ1 − 3)|

T51 = (2.48)
(γ1 + 1)2 Ms2
となる．よって入射衝撃波の衝撃波マッハ数から反射波背後の圧力と温度を求めること
ができる．

- Ur
0

䐠 䐣 䐠 䐣
u2 u5=0 v2䡎 v5

⾪ᧁἼ ⾪ᧁἼ
(a) 㟼Ṇᗙᶆ⣔ (b) ⛣ືᗙᶆ⣔

図 2.7: 反射波の座標系

24
2.2 実際の衝撃波管
2.2.1 開口時間の影響 [9][10]
単純理論では隔膜は瞬間的に破膜すると仮定するが, 実際の破膜には数 100µs 程度の時
間を要する. 破膜の時間が有限であれば,2.1 節で述べた単純理論における解析と次のよう
な差異が生じる.

1. 破膜によって生じる衝撃波は, 単純理論のように瞬間的に形成され一定の速度で伝
播するのではなく, 隔膜の連続的破膜に対応して次々に発生する圧縮波が低圧室内
を伝播する過程で合体し加速されることによって形成される.

2. 破膜によって生じ高圧室へ伝播する膨張波は, 図 2.3 に示すような有心膨張波とはな

らない.

3. 破膜過程の初期段階では膜の中央部に小さな穴が開き, その穴は時間と共に三次元
的に広がる. 従って, 初期段階では駆動気体は高速噴流として低圧室に流入し, 試験
気体と混合する. このため, 駆動気体と試料気体の境界面, 即ち接触面は平面とはな
らず, 軸方向に長さを持つ接触領域となる.

上に述べた 1∼3 のうち 2, 3 は形成される衝撃波の強さの問題ではないので省略し, 本

項では 1 について述べる.
衝撃波が圧縮波の合体によって形成されるとすれば, 初期圧力比 p4 /p1 のある値に対応
する衝撃波マッハ数 Ms の値は, 単純理論の式 (2.35) による値とは異なる. いま, 図 2.8(a)
に示すように, 有限の破膜時間で発生した前進圧縮波が低圧室内のある点 A に集中して衝
撃波が形成されると仮定する．この流れモデルを White[10] のモデルと呼ぶことにする．
図 (a) の圧縮波背後の領域 c における圧力と流速は冷気流領域 3 における圧力と流速に等
しいが，圧縮波の合体によって形成される衝撃波背後の領域における値とは等しくない．
このため，点 A より反射波として後退膨張波と接触面が発生する．領域 c における流れは
この膨張波によって加速減圧され，領域 e における圧力と流速は領域 2 における値と一致
する．
上述の流れモデルと単純理論との相違を図 2.8(b) に示す圧力比 p/p1 と速度比 u/a1 の線
図を用いて説明する．単純理論では点 4 からの膨張は一つの膨張波曲線に沿って行われ，
これと点 1 からの衝撃波曲線との交点 S が形成される衝撃波の強さを表す．一方，White
のモデルでは点 4 からの膨張波曲線と点 1 からの圧縮波曲線との交点 c(点 3 と同一点) か
ら別の膨張波曲線に沿って膨張が行われ，その曲線と点 1 からの衝撃波曲線との交点 2(点
e と同一点) が形成される衝撃波の強さを表すことになる．White のモデルによる衝撃波
マッハ数 Ms の計算方法を付録 A に示す．

2.2.2 境界層の影響 [9][11]

 単純理論では衝撃波を除いて一次元等エントロピー流れと仮定するため，任意の断面
における流速分布は一様である．しかし，実際の流れでは気体の粘性が存在するので，壁
面における流速は 0 で流れに垂直方向の速度勾配が生じ，管内には境界層が形成される．
境界層内では運動エネルギーの一部が摩擦によって熱エネルギーに変換され，熱気流の断
面にわたる平均速度は単純理論による値より小さくなる．このため，衝撃波は単純理論の
ように一定の速度で伝播するのではなく，伝播速度は時間とともに減少する．

25
 t
ゐ㠃 p/p1
4 ⭾ᙇ
⭾ᙇἼ 䐡 ᥋ Ἴ
⦰Ἴ
e
䐠 ᅽ
3,c ⭾ᙇἼ
c
⾪ᧁἼ
A 2,e
Ἴ 䐟
s

䐢 ᅽ⦰ ᧁἼ
⾪
ᅽຊ㻙㏿ᗘ⥺ᅗ
0
Ἴື⥺ᅗ
0 x u/a1
(a) (b)

図 2.8: 集中圧縮波による衝撃波の形成

境界層の発達に伴う衝撃波の減衰は，衝撃波管の断面形状や寸法，駆動気体と試料気体
の種類と初期状態，衝撃波マッハ数，隔膜から衝撃波までの距離など，多くの因子の影響
を受ける．従ってこの現象の解析的取り扱いは極めて困難であり，本項ではひとつのモデ
ル [11] について紹介する.
 境界層は衝撃波背後の試料気体と膨張波背後の駆動気体の両方の部分に形成される
が，膨張波は有限の幅をもつので，駆動気体の部分の境界層の特性は試料気体の境界層に
比べてかなり複雑である．そこでバルブの開口は瞬間的に行われると仮定し，簡単のため
試料気体の境界層のみを考える．
 図 2.9 はある時刻における流れの様子を表したものであり，これを静止した観察者か
ら見ると図 (a) のようになる．即ち，境界層は速度 Us で伝播する衝撃波の直後から発達
し，最初層流の状態から途中で乱流に遷移する．このような非定常境界層の流れを衝撃波
とともに動く観察者から見ると，図 (b) に示すような定常流れとなる．この場合，壁は衝
撃波の伝播速さに等しい速さで左に動くので，境界層内の速度分布は通常の境界層の場合
と異なり，主流の速度だけでなく衝撃波の伝播速度にも依存する．
図 (b) の衝撃波に固定した座標系における境界層内の質量流量は，その厚さに相当する
主流部分の質量流量より大きい．従って，この境界層の排除厚さを
Z ∞  
ρ(Us − u)
δ2∗ ≡ 1− dy (2.49)
0 ρ2 (Us − u2 )
と定義すれば δ2∗ は明らかに負である．これは境界層が主流を排除するのではなく，主
流から質量を吸収することを意味している．即ち試料気体における壁面境界層は主流から
質量を取り除く空気力学的吸い込みのような作用があるといえる．このような境界層の
効果によって圧力波が発生し上流と下流へ伝播するが，排除厚さが負となることから分か
るように，この圧力波は膨張波である．これらの膨張波が衝撃波に追いつき干渉すると，
衝撃波の強さが弱められ，衝撃波の減衰が起こる．

26
(a) u2 ⾪ᧁἼ㠃
u2 Us

ቃ⏺ᒙ

஘ὶ ᒙὶ

Us 䠉u
䠉u
(b) 2
Us 2 Us
Us 䠉u
Us

図 2.9: 壁面境界層  (a) 静止座標系 (b) 衝撃波に固定した座標系

27
2.3 断面収縮型衝撃波管 [9][12]
前節までに述べた衝撃波管において，例えば駆動気体にヘリウム，試料気体に窒素を
用いて両気体の温度を 300 K とした場合，隔膜前後の初期圧力比を無限に大きくしても，
形成される衝撃波マッハ数の理論最大値は式 (2.37) より約 10.48 で，熱気流マッハ数の最
大値は約 1.83 に過ぎない．標準型衝撃波管で得られる衝撃波よりも強い衝撃波を発生さ
せるための方法として，衝撃波管の形状を断面収縮型にする方法がある．本節では断面収
縮型衝撃波管の代表的な理論として，Alpher-White の理論 [12] を説明する．
亜音速流れにおける流速は管路の断面積を減少させると増加する．衝撃波管において，
瞬間破膜により発生する有心膨張波によって加速された駆動気体の高圧室における流れは
亜音速であるから，隔膜の位置で高圧室より小さな断面積をもつ低圧室に接続すると，駆
動気体が低圧室に流入する流速は，高圧室と低圧室が同一断面積をもつ標準型衝撃波管の
場合より増加する．従って，このような衝撃波管では駆動気体のピストン効果が大きく，
同じ隔膜前後の初期圧力比に対して標準型衝撃波管の場合よりも強い衝撃波が得られる．
冷気流領域のマッハ数 M3 が 1 より大きい場合の波動線図を図 2.10 に示す．本研究で用
いる衝撃波管においては M3 > 1 が成り立つものと考えてよい．図 2.10 の領域 3a は高圧
室における非定常膨張波背後の流れを表し，領域 3b は断面積が減少した隔膜部の出口の
状態を表す．詳しい導出は省略するが，以下の関係式が得られる．

 2
 2(γγ4 +1
M3b 2 + (γ4 − 1)M3a 4 −1)
A41 = 2
(2.50)
M3a 2 + (γ4 − 1)M3b
 2
γ4 −1
2 + (γ4 − 1)M3a 1 2 + (γ4 − 1)M3b
g≡ { 2
}2 { } (2.51)
2 + (γ4 − 1)M3b 2 + (γ4 − 1)M3a
 −1
a1 a4 γ2γ
4 −1 γ4 − 1
M3 = g 4 − (2.52)
u2 a1 2
   γ2γ−1
4
p4 p2 γ4 − 1 u2 a1 γ2γ
4 −1 4
g − 1− g 4 (2.53)
p1 p1 2 a1 a4
  γ2γ−1
4   γ2γ−1
4
γ4 − 1 4 γ4 − 1 u2 a1 γ2γ
4 −1 4
1+ M3 = 1− g 4 (2.54)
2 2 a1 a4
上式の p2 /p1 と u2 /a1 は，それぞれ式 (2.9) 及び式 (2.12) より，γ1 と Ms (= M1 ) の関数
である．また，M3 > 1 の場合には，図 2.8 に示すように，状態 3b での流れのマッハ数
M3b = 1 で，状態 3b と 3 の間には非定常膨張波が存在する．従って，以上の関係を用い
ると，与えられた初期音速比 a4 /a1 ，比熱比 γ4 と γ1 ，及び断面積比 A4 /A1 に対して，断
面収縮型衝撃波管における初期圧力比 p4 /p1 と衝撃波マッハ数 Ms の関係を計算すること
ができる．即ち，ある Ms の値に対して，式 (2.50)，(2.51)，(2.52)，(2.54) を連立させて
未知量 g, M3a , M3b , M3 を定めると，式 (2.53) より p4 /p1 が決定される．
駆動気体をヘリウム，試料気体を窒素とし (初期温度は同一で 300 K)，断面積比 A41 = 4
とした場合の初期圧力比と衝撃波マッハ数の関係を図 2.11 に示す．縦軸右側には衝撃波
マッハ数に対応する分子線の並進エネルギーも示しており，これは次節で述べる方法を用
いて求めた．

28
 t
ᐃᖖ⭾ᙇ 㠀ᐃᖖ⭾ᙇ

䐡
3a
3b

䐠
䐢 䐟
x
㧗ᅽᐊ 㝸⭷㒊 పᅽᐊ

図 2.10: 断面収縮型衝撃波管の波動線図

Translational Energy <E> [eV]

8 Convergent 2.5
Mach Number Ms [-]

Straight
2.0
6 1.5
1.0
4
0.5

1 2 3 4
10 10 10 10
Initial Pressure Ratio p41 [-]

図 2.11: 初期圧力比と衝撃波マッハ数及び分子線並進エネルギーの関係

29
2.4 分子線の並進エネルギー予測
式 (2.35),(2.48) を用いて, 試料気体に初期温度 300 K の窒素，駆動気体にヘリウムを用
いた場合の反射波背後の温度の予測を図 2.12 に示す．ここでは理想気体を仮定したが，実
際には高温時の窒素の実在気体としての性質から，予測ほどは高温にならないと思われ
る．また，今回用いた衝撃波の単純理論では粘性による壁面境界層の影響を考慮していな
いことからも，温度が予測値よりも低くなることが想定される．反射衝撃波により温度
T5 [K] になった窒素のエネルギーがすべて並進エネルギーに変換されたとすると，分子線
の並進エネルギーは，式 (1.5) より，

γ
E= kT5 (2.55)
γ−1
となる. 式 (2.35), (2.48), (2.55) から求めた温度と初期圧力比の関係から，初期圧力比
p41 と並進エネルギーの関係を求めた結果を図 2.13 に示す．

7000
6000
Temperature T5 [K]

5000
4000

3000
2000
1000

0 1 2 3 4
10 10 10 10 10
Initial Pressure Ratio p41 [-]

図 2.12: 初期圧力比 p41 と衝撃波背後温度 T5

Translational Energy <E> [eV]

2.0

1.5

1.0

0.5

0 1 2 3 4
10 10 10 10 10
Initial Pressure Ratio p41 [-]

図 2.13: 初期圧力比 p41 と並進エネルギー E

30
2.5 準一次元数値計算によるシミュレーション
2.5.1 概要
本学の清水和弥氏が開発した準一次元解析コードを用いて衝撃波管の流れの数値計算を
行い, 衝撃波管分子線源の性能予測を行った. 本コードでは, 開口面積を時間変化させるこ
とで, 有限開口時間の効果を再現することができ, 管摩擦係数を設定することで粘性の影響
を壁面摩擦として計算に取り入れることができる. 支配方程式や計算条件の詳細に関して
は, 付録 B を参照されたい.

2.5.2 単純理論との比較
開口時間を 0 として破膜が一瞬でなされるとし, 管摩擦係数を 0 として壁面摩擦損失の
影響を考慮しない場合の管内の衝撃波マッハ数の推移を図 2.14 に表す. 衝撃波管の内径は
2 mm, 両気体の温度は 300 K とした. 式 (2.35) から求めた単純理論における初期圧力比と
衝撃波マッハ数の関係 (表 2.1) と比較すると, 本計算で理想的な衝撃波管内における流れ
を正確に再現できていることがわかる.

7
Mach Number Ms [-]

3 䣋䣰䣫䣶䣫䣣䣮䢢䣒䣴䣧䣵䣵䣷䣴䣧䢢䣔䣣䣶䣫䣱䢢䣲䢶䢳
䢢 100 2000
2 200 5000
500 10000
1000
1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.14: 衝撃波管内における衝撃波マッハ数の推移

表 2.1: 初期圧力比と衝撃波マッハ数の関係

初期圧力比 100 200 500 1000 2000 5000 10000

単純理論  3.58 4.11 4.81 5.33 5.83 6.44 6.87
計算値 3.58 4.11 4.81 5.33 5.83 6.45 6.87

31
2.5.3 開口時間の影響
本コードにおいては, 開口面積を時間変化させることで, 有限の開口時間を再現すること
ができる. 衝撃波管の内径を 2 mm とし隔膜位置における断面積を図 2.15 のように変化さ
せた場合の衝撃波マッハ数の推移を図 2.15 に示す. ただし, 初期圧力比は 1000, 管摩擦係数
は 0, 両気体の温度は 300 K とした.
図 2.16 から分かるように, 衝撃波が十分成長するまでに助走区間を要していることが分
かる. この助走区間を衝撃波の形成距離と呼ぶ. 開口時間を 100µs とすると, 形成距離を 300
mm という短い距離にすることができる. 開口時間が長くなると形成距離は長くなるが, 有
る程度時間が経過すると単純理論によって求めた値に収束していく.
以上から, 衝撃波の成長過程は主に有限開口時間に起因すると考えられ, 開口時間を早く
するほど形成距離を短くできる事が分かる.

3.0
2.5
Area [mm ]
2

2.0 τopen [µs]

䢢

50
1.5 100
1.0 200
300
0.5
0.0
0 100 200 300 400
Time [µs]

図 2.15: 開口面積の時間変化

5
Mach Number Ms [-]

4
τopen [µs]
䢢䢢䢢

50
3
100
200
2 300

1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.16: 開口時間と衝撃波マッハ数の関係

32
2.5.4 壁面摩擦の影響
一般に超音速流では管摩擦係数は Cf = 0.003∼0.004 程度とされている [13] . そこで, 開
口時間を 0 とし, 管摩擦係数を Cf = 0.004 として壁面摩擦の影響を計算に含めた場合の
衝撃波マッハ数の推移を図 2.17 に示す. ただし, 衝撃波管の内径は 2 mm, 両気体の温度は
300 K とした.
図 2.17 より, 衝撃波管内における衝撃波の減衰現象は壁面での摩擦損失に主に起因する
と考えることができる. また, 初期圧力比が大きいほど, 減衰の勾配も大きいことが分かる.
これは, 初期圧力比が大きくなると得られる衝撃波速度が速くなり,τw = Cf ρu2 /2 で表さ
れる壁面摩擦応力が強くなったからと考えられる.
以上より, 内径 2 mm の衝撃波管内における衝撃波の成長・減衰過程を確認することが
できた.

7
Initial Pressure Ratio p41
100 2000
6 200 5000
Mach Number Ms [-]

500 10000
1000
5

1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.17: 壁面摩擦による衝撃波の減衰

33
2.5.5 内径 2 mm の衝撃波管の再現
2.5.3, 2.5.4 項から，衝撃波管内における衝撃波の成長現象は有限開口時間に，減衰現象
は壁面摩擦に主に起因すると考えられる．そこで，内径 2 mm の衝撃波管内の流れを模擬
するために，開口時間を 100 µs 管摩擦係数を 0.004 として，衝撃波管内における流れの
数値計算を行った．両気体の温度は 300 K とした．数値計算によって得られた衝撃波マッ
ハ数とメインバルブからの距離 x の関係を図 2.17 に示す．図 2.17 より，衝撃波マッハ数
Ms は x = 100 mm 付近までは増加していき，x = 100mm 付近で最大となった後，減少し
ていくことが分かる．最大衝撃波マッハ数 (Ms )max は衝撃波の成長過程における粘性の
影響により，単純理論値（表 2.1）よりも小さな値となった．次に衝撃波の減衰過程に着
目すると，初期圧力比が高くなるほど減衰の勾配が大きくなることが分かる．これは初期
圧力比が高くなるほど衝撃波速度が速くなり,τw = Cf ρu2 /2 で表される壁面摩擦応力が強
くなったからと考えられる．以上より，内径 2 mm の衝撃波管内における衝撃波の成長・
減衰過程を確認することができた．

p41
6
100 2000
200 5000
5 500 10000
Mach Number Ms [-]

1000

1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.18: 衝撃波管内における衝撃波の成長・減衰 (内径 2 mm)

34
2.5.6 内径 4 mm の衝撃波管の再現
内径 4 mm の衝撃波管内の流れを模擬し, 内径 2 mm の場合の計算結果との差異を考察
するために,
内径 4 mm の衝撃波管内の流れを模擬し, 断面収縮型の場合の計算結果との差異を考察
するために, 開口時間を 100µs, 管摩擦係数を 0.004 として, 衝撃波管内における流れの数
値計算を行った. 両気体の温度は 300 K とした. 数値計算によって得られた衝撃波マッハ数
とメインバルブからの距離 x の関係を図 2.19 に示す.
内径 2 mm の場合の計算結果 (図 2.17) と比較すると, 同じ初期圧力比 p41 においては, 最
大衝撃波マッハ数 (Ms )max が大きくなること, 減衰過程の勾配が小さくなることが分かる.
これは, 管の内径が大きくなることによって衝撃波の成長・減衰過程における粘性の影響
が小さくなったからと考えられる.
以上の結果から, 管の内径を有る程度大きくした方が, 最大衝撃波マッハ数を高めること
ができるが, 内径を大きくしすぎると分子線源として用いる際に多くの排気時間を要する
点, バルブの開口性能の確保が困難になる点に注意が必要である.

6
p41
Mach Number Ms [-]

100
5
200
500
4 1000
2000
3 5000
10000
2

1
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.19: 衝撃波管内における衝撃波の成長・減衰 (内径 4 mm)

35
2.5.7 断面収縮型衝撃波管の再現
断面収縮形状による衝撃波マッハ数 Ms の増加を再現するために, 管摩擦を無視し開口時
間 topen を 0 として数値計算を行った. 管の形状は図 2.20 で示す形状であり,0 < x < 100mm
の範囲は内径 4mm の区間,100 < x < 200mm の範囲は内径 4mm から 2mm への収縮区
間,200mm<x の範囲は内径 2mm の区間とした. 両気体の温度は 300K とした. 断面収縮管
内における衝撃波マッハ数 Ms の計算結果を図 2.21 に示す. x < 100mm においては, 単純
理論から求めた衝撃波マッハ数（表 2.1）と同じ値で伝播していく. これは, 理論上, 衝撃波
は下流の影響を受けないことから考えても自然である. そして, 収縮区間 100 < x < 200mm
においては Ms が単調に増加していく.
初期圧力比 p41 が比較的小さい場合には式 (2.55)∼(2.59) から求めた断面収縮型衝撃波管
の衝撃波マッハ数の理論値 (表 2.2) とほぼ同じになり, 初期圧力比が 1000 以上と比較的大
きい場合は, その理論値を上回る値が得られる. 以上より, 衝撃波管の形状を断面収縮型に
することにより, 従来の衝撃波管よりも大きな衝撃波マッハ数が得られることが分かった.

D1 = 4 mm
D1 = 2 mm

Diaphragm

0 100 200 600 x [mm]

図 2.20: 断面収縮型衝撃波管の形状

10 p41
Mach Number Ms [-]

100
200
8 500
1000
6 2000
5000
10000
4

2
0 100 200 300 400 500
x [mm]

図 2.21: 断面収縮形状による衝撃波マッハ数 Ms の増加

36
 表 2.2: 初期圧力比と衝撃波マッハ数の関係 (A41 = 4)
Alpher-White の理論 4.72 5.36 6.19 6.79 7.36 8.06 8.54

37
第3章 実験装置
2010/1/29

3.1 概要
 今回の高速応答温度センサーを用いた衝撃波マッハ数の測定システムの概要を図 3.1
に示す．駆動気体としてヘリウムを，試料気体としては窒素を使用した．なお，駆動気体
の初期圧力は 1 MPa で固定し，試料気体の初期圧力を変化させ，初期圧力比をパラメー
タとして設定した．衝撃波の伝播を感知する高速応答温度センサーを管端から差し込み，
バルブが開いてから衝撃波の伝播を感知するまでの時間を測定し衝撃波マッハ数を算出し
た．図のイオンゲージ及びターボ分子ポンプ (TMP) によりゼロ点合わせを行い, クリス
タルゲージ及びロータリー分子ポンプを用いて実験時の圧力測定を行った.

ƌLJƐƚĂůŐĂƵŐĞ

ŚĂŵďĞƌ
,Ğ
/ŽŶŐĂƵŐĞ
dDW EϮ

>ĞĂŬǀĂůǀĞ

DĂŶƵĂůŐĂƚĞǀĂůǀĞ
džŚĂƵƐƚ

ZW

図 3.1: 実験システム概要

3.2 衝撃波管
3 種類の衝撃波管の写真を図 3.4,3.5,3.6 に，概要を図 3.7 に示す．高圧貯気室には駆動
気体であるヘリウムを入れ，低圧室となる衝撃波管には試料気体である窒素を入れる．衝
撃波管には，高圧室と低圧室を仕切るメインバルブ，試料気体を供給するための給気バル
ブ，実験後に混合気体を排出するための排気バルブが接続される．メインバルブを駆動す
る際に大電流を流すことから，発熱を考慮して冷却水用の流路を設けてある．メインバル
1
ブに関する詳細は 3.3 節，給気・排気バルブについては 3.4 節で述べる．また，衝撃波管
は内径 4 mm，及び内径が 4 mm から 2 mm に収縮した形状である.

38
 なお，衝撃波マッハ数測定実験の際にはオリフィスは装着せず，管端部に真空チャン
バーをつないだ．オリフィスの断面図を図 3.8 に示す．角度方向の製作誤差により組み立
てができなくなることを避けるため，衝撃波管は回転フランジにより接合している．

図 3.2: 衝撃波管 400-100-100

図 3.3: 衝撃波管 300-100-100

図 3.4: 衝撃波管 200-100-100

39
 図 3.5: 衝撃波管 135-100-100

図 3.6: 衝撃波管 50-100-200

㧗ᅽ㈓Ẽᐊ
᤼Ẽ䝞䝹䝤 ⤥Ẽ䝞䝹䝤

⾪ᧁἼ⟶ 䠄䃥2, 䃥4, convergent䠅

䝯䜲䞁䝞䝹䝤
x
500mm

図 3.7: 衝撃波管の概要

40
 d (< 1)

0.2
䃥
䃥
2

0.1

図 3.8: オリフィス断面図

3.3 メインバルブ
3.3.1 メインバルブ概要
 本研究で用いるような管長の短い衝撃波管の場合，短い伝播距離で大きなマッハ数を
もった衝撃波を生成するためには，短時間で大きな開口面積を確保できるバルブが必要で
ある．この要求機能を満たすと考えられるバルブとして，本研究では電流ループ機構のバ
ルブ [14] を採用した．電流ループ機構バルブは，ループ状に重なった平行金属板にパルス
状の電流を流すことで電磁気的な斥力を発生させ，バルブを変位させるという仕組みに
なっている．
まず，電流ループ機構バルブの構造及び動作原理を説明する．図 3.9 及び図 3.10 に示す
ように，二枚の金属板が平行に配置され，片方の端が接続されたヘアピン状のループ構造
になっている．下側の金属板中心部には O リングを通すための穴があけられ，上側の金
属板が O リングに蓋をする仕組みになっている．高圧電源によりコンデンサーに電荷を
蓄え，その電荷が短時間で放電することで，大電流 (2000-8000 A) をパルス状 (十数 µs)
に発生させる．大電流がループ構造をとった平行金属板に流れることで電磁気的な斥力が
発生し，穴をふさいでいた上側の金属板が浮上することで隙間が生じ，O リングを通して
駆動気体が流入する仕組みになっている．バルブの性能を考える上で重要な要素が開口時
間である．図 3.11 に開口面積の概要を示す．開口面積とは図 3.11 で示すような仮想的に
とった円柱の側面積（= (管周長) × (浮上量)）のことである．開口時間とはこの開口面
積が管断面積に等しくなった時間を指す．必ずしもここで考えた開口面積が実際の流れの
有効面積ではないが，流れの三次元性を考慮して開口面積を定義することは困難であり，
本研究の方法は最も簡単で妥当な定義と考えられる．この定義に従えば，本研究における
衝撃波管では内径 4 mm の場合は浮上量 1 mm になった瞬間にバルブが完全に開口したと

41
考えられる．図 3.10 に示すように，初期状態では上側の金属板によって低圧側の衝撃波
管につながる穴がふさがれ，バルブが閉じた状態になっている．電源として高圧直流電源
(Matsusada Precision HAR-5P240 図 3.5 a ) を，コンデンサーとしてパルス放電用コンデ
ンサー (General Atomics 社 30665 図 3.5 d 容量 20 F) を使用した．スイッチとしてサイ
リスタスイッチ (Behlke 社 HTS-40-1000-SCR 図 3.5 b) を使用した．トリガーをかけるこ
とでスイッチを ON にして，充電された電荷を短時間に放出し，パルス状の大電流を発生
させ，バルブが開口する．バルブの開口に伴い，高圧の駆動気体が低圧側に流入し，衝撃
波が発生する．作動時に銅板に大電流を流す際，高圧貯気室及び衝撃波管本体と銅板を絶
縁するための構成部品として，銅板と本体の間にテフロンシート (図 3.6 h，厚さ 0.1 mm)
を挿入してある．また放電，ショートを防ぐために二枚の平行銅板間にもテフロンシート
(図 3.6 f，厚さ 0.1 mm) を挿入してある．さらに貯気室本体と導通した固定用ねじ (図 3.6
a) と銅板が接触することがないように，テフロン製のワッシャ(図 3.6 b,c) を使用し，銅
板とのはめ合い部にはセラミック製のスペーサー (図 3.6 i) を配置した．

b
HV
b
a

e d

㧗ᅽ㟁※
䝇䜲䝑䝏
a:

ಖㆤ䝎䜲䜸䞊䝗
b : SCR

䝁䞁䝕䞁䝃䞊
c:

ಖㆤ䝎䜲䜸䞊䝗
d:

㧗ᅽ㈓Ẽᐊ
e:
g
䝯䜲䞁䝞䝹䝤
f: f
g:

図 3.9: メインバルブ駆動用回路

42
 ᅛᐃ⏝䛽䛨
a:
䝔䝣䝻䞁䝽䝑䝅䝱1
b:
䝔䝣䝻䞁䝽䝑䝅䝱2
c: 45 mm
ᾋୖഃ㖡ᯈ
d:
㖡䝽䝑䝅䝱
e: a a
j
a
䝔䝣䝻䞁䝅䞊䝖
f:
c d b
ୗഃ㖡ᯈ
g:
e f
䝔䝣䝻䞁䝅䞊䝖
h:
䝉䝷䝭䝑䜽〇䝇䝨䞊䝃䞊
i:
g

䝞䜲䝖䞁〇O䝸䞁䜾
j:
i i h i

図 3.10: メインバルブ詳細図

ᾋୖ㔞
ᾋୖ㔞
㛤ཱྀ㠃✚ 䍵 㽢
⾪ᧁἼ⟶䛾࿘㛗
図 3.11: 開口面積の概要

43
3.3.2 内径 4mm の場合のメインバルブ
 内径 4 mm の場合，開口面積が管断面積と等しくなるためにはバルブが 1 mm 変位す
る必要がある．そこで，より大きな浮上量を実現するために，図 3.10 に示すようなメイ
ンバルブを用いている．作動板と固定板の中央にφ 6.7 の穴を空け，中央部における電荷
密度を上げることで中央部により大きな斥力が発生し，それによって浮上量も増加すると
考えられる (電流値と浮上量の関係の理論的解析は付録 C 参照)．ただし，上側の銅板に
穴を空けたことにより，高圧室と低圧室を仕切るために硬質塩化ビニル製のシール板を作
動銅板とともにねじ止めする機構とした．なお，バルブの材質はより弾性範囲が広く発熱
も少ないベリリウム銅とした．また内径 2 mm の場合に比べてより大きな電流を流す必要
があるため，放電を防ぐために銅板と本体の間のテフロンシート（図 3.6 h）と平行銅板
間のテフロンシート（図 3.6 f）の厚さはともに 0.1 mm に増やした．また, シール板と作
動板を接着し, シール板を固定した.

b
a: ⤯⦕䝽䝑䝅䝱
b: ⤯⦕䝽䝑䝅䝱
సືᯈ(䝧䝸䝸䜴䝮㖡)
a
m c:
㖡䝇䝨䞊䝃䞊
o
d:
c e: ⤯⦕䝅䞊䝖
n
f : ᅛᐃᯈ(䝧䝸䝸䜴䝮㖡)
⤯⦕䝅䞊䝖
e
g:
f h: ఩⨨Ỵ䜑䝢䞁
i :O 䝸䞁䜾
d g j : 㟁ὶᑟධ➃Ꮚ⤯⦕䝇䝸䞊䝤
k: 㟁ὶᑟධ➃Ꮚ
l : 㧗ᅽ㈓Ẽᐊ
k i
h
m: ◳㉁ሷ໬䝡䝙䝹〇䝅䞊䝹ᯈ
l n: ◳㉁ሷ໬䝡䝙䝹〇᥋ゐ㠃
◳㉁ሷ໬䝡䝙䝹〇⪏ᅽᯈ
j h
h o:

j
k

図 3.12: メインバルブ立体図

44
3.3.3 リーク対策
 メインバルブが閉じた状態で，高圧駆動気体の低圧室への流入を防ぐために設置され
ている O リングとしてバイトン製円筒型特注 O リング (図 3.10j) を用いた．ヘリウムを
10 気圧導入した際，O リングの低圧室と高圧室との間に 10 気圧の圧力差が加わり，O リ
ングが変形し．隙間が生まれリークが発生する可能性があるので，O リングを壁面に接着
することによりシールを強化した．

3.3.4 逆電圧の防止
 サイリスタスイッチは半導体を用いたスイッチであり，逆方向に過剰な電圧が印加さ
れると破壊される恐れがある．スイッチから見てコンデンサー側が高電位，バルブ側が低
電位となる状態が順方向電圧であるが，サイリスタスイッチを ON にしてコンデンサーの
電荷を放出する際に，回路全体のインダクタンス成分が原因となり，スイッチ両端に逆電
圧がかかるという問題が生じた．そのため，スイッチに過大な逆電圧が加わるのを防ぐた
めに，スイッチの両端及びコンデンサーの両端に逆電流を流すバイパスとなる保護ダイ
オード（図 3.5 c, e : Behlke 社 FDA60-300）を設置した．これにより逆電圧を 0 に収束さ
せることができた．1.3kV の電圧を印加した後にスイッチを入れて放電させたときのコン
デンサーの電位波形を図 3.13 に示す．

1400

1200
1000
Voltage [V]

800
600

400
200

0
-200
-6
-20 0 20 40 60x10

Time [µs]

図 3.13: 逆電圧の収束

3.3.5 放電対策
 メインバルブの性能評価実験において，銅板の角部および固定用穴周辺から放電が
発生し，絶縁用テフロンシート (図 3.6 h) を損傷させるという問題が発生したので，角部

45
を丸く削り，下側銅板のセラミック製スペーサー周りの穴の径を広げることで問題を解決
した．

3.3.6 銅板の過浮上防止
 銅板が過剰に浮上し，変形，破損することのないように，中心部に天井の役割を果た
すテフロン製のブロックを配置した．内径 4mm の衝撃波管用のバルブでは閉じた状態に
おける耐圧版 (図 3.12 o) とブロックの距離は約 1400 µm である．

3.4 給気・排気バルブ
 衝撃波管に装着する給気，排気バルブとしてパルスバルブ (パーカー・ハネフィン社) を
用いた．パルスバルブの写真を図 3.14 に示す．給気バルブにはオリフィス径 0.8 mm(009-
0299-900) のものを，排気バルブにはオリフィス径 2 mm(009-0400-900) のものを用いた．
これらパルスバルブの制御にはパルスドライバー (パーカー・ハネフィン社  IOTA-ONE)
を使用した．パルスバルブの概要を図 3.15 に，仕様を表 3.1 に示す．先端についたポペッ
トを移動させ開口させるために，パルスバルブへの印加電圧は 300V 程度の高電圧をかけ，
その後の開弁状態の維持のために 12 から 27 V の低電圧をかける．これらの印加電圧の時
間設定は IOTA-ONE によって行う．

図 3.14: パルスバルブ

3.5 高速応答温度センサ [6]

図 2.5 から分かるように，衝撃波背後の領域は熱気流と呼ばれる非常に高温の領域と
なっている．この衝撃波背後の高温領域が温度センサーの先端に到達すると，センサー回

46
 00000000
00000000
0 0 0000000000000000
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 0 0 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 0 0 00 00 00 00 00
0000000
Coil Assembly O-Ring
Armature Popet

00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 0 0 00000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000 0 0 0 0 0
00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00

φ33.8
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 00000000000000000000 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 00000000000
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 00 00 00 0 0 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 0 0 0 0 0
0 0 0000000000000000
00 00 00 00 00 00 00 00
Main Spring Buffer Spring
Orifice

45.7

図 3.15: パルスバルブ概要図

表 3.1: パルスバルブ仕様

Operating Pressure 1 × 10−9 Torr to 85 atm

Operating Temperature up to 240  
Response 200 µ s

47
路内の抵抗値が急激に変化し，衝撃波の伝播を感知する．温度センサーの機構を図 3.16
に示す．温度センサーを衝撃波管端より差し込むような機構にすることにより，衝撃波管
の側面に穴を開けることなく衝撃波の到達時間を測定できる．また，衝撃波は下流の影響
を受けないため，センサーを差し込んだことによる衝撃波の乱れはない．
図 3.17 にセンサー先端部の概要を示す．センサーの先端径は 1.4 mm で Pt 細線を通す
ために 2 つの穴が開いており，この穴の径は 0.4 mm とした．センサー全体の長さは 812
mm とし，センサーを前後に移動させることで衝撃波管の任意の位置で衝撃波到達時間を
測定できる．
先行研究で開発したセンサーの測定回路，アンプ回路を図 3.18，図 3.19 に示す．セン
サー先端には Pt 細線（φ 5 µm）がついている．これが図 3.18 の RG に対応する．衝撃波
がセンサー先端まで達すると，衝撃波の背後は高温になっているので，その熱によって細
線が急激に過熱され抵抗値が変化し，ブリッジ間に電位差が生じる．この電位差が生じ始
めた時刻を衝撃波の到達時間とする．
Pt 細線の抵抗変化 ∆RG(t) を測定するために，図 3.18 のブリッジ回路を用いる．測定
前にブリッジ間電圧 ∆V が 0 となるように可変抵抗 RV を調整しておく (即ち RV = RG0 )．
Kirchhoff の電圧則より，

(I1 + I2 )Rc + (RB + RG0 + ∆RG )I1 = E

(3.1)
(I1 + I2 )Rc + (RB + RG0 )I2 = E

これら 2 式から I1 , I2 を求め, ブリッジ間電圧を求めると,

∆V = −(RG0 + ∆RG )I1 + RG0 I2

" ∞  i #
RB E∆RG X (RB + RC + RG0 )∆RG
=− × 1+
(RB + RG0 )(RB + 2Rc + RG0 ) i=1
(RB + 2RC + RG0 )(R1 + RG0 )
(3.2)

48
Upstream Downstream Exhaust

The body of
the sensor

Thin metal wire

φ 5 µm O-ring

図 3.16: 高速応答温度センサーの機構

䃥㻝㻚㻠㻌㼙㼙 㻝㻜㻌㼙㼙
 ᐃᅇ㊰䜈

ⓑ㔠⣽⥺ 䝫䝸䜴䝺䝍䞁⥺
䃥0.40 mm 䃥5 µm 䃥0.26 mm

図 3.17: センサー先端部

49
 Rc
I1 I2
RB RB
E

䂴
RD output
RG V
VG RV

図 3.18: 測定回路 (ブリッジ回路)

㻝㻜㻜䃈 㻟㻥㼗䃈

2
-

䃈
㻝㻜㻜
3
OP27
6

䜰䞁䝥ฟຊ
+ 8
䜰䞁䝥ධຊ 1

㻜㻚㻝䃛㻲 +㻝㻡㼂
㻞㻜㼗䃈

図 3.19: アンプ回路

50
3.6 真空系
3.6.1 真空ポンプ
衝撃波速度測定実験において, 真空チャンバー内を排気するメインポンプとして, 直結型
油回転真空ポンプ (アルバック社 GHD-030) を用いた.

3.6.2 真空チャンバー内圧測定
真空チャンバー内圧は衝撃波管低圧室の圧力と等しくなるため,10∼1 × 105 P a 程度の範
囲の圧力を測定できる圧力計が必要となる. そこでチャンバー内の圧力測定には A-NET ク
リスタルゲージ (アネルバ社 M-320XG) と圧力トランスデューサー (MKS.Baratron 626A)
を併用した. また表示機としては,A-NET 表示機 (アネルバ社 M-390) を使用した.

51
第4章 断面収縮型衝撃波管分子線源の性
能評価

52
4.1 衝撃波マッハ数測定
4.1.1 概要
一般的な衝撃波管を用いて分子線を生成する際, 第 2 章に述べたように, 衝撃波管の形状
を断面収縮型にして流路を絞ることにより, 得られる分子線の並進エネルギーを高められ
ることが知られている. 昨年度の吉本 [5] の研究により, 本実験で用いている超小型の衝撃
波管を用いた場合も, 流路を絞ることで実際に並進エネルギーが上昇すると見積もられた.
しかし, どのように流路を絞れば, 最も効率良く並進エネルギーを高められるかについて
は, 知見が得られていなかった. そこで本研究では, 最大の並進エネルギーを得るために,
断面収縮型衝撃波管の形状を最適化することを試みた.
管端からどれだけ離れた点から収縮させ始めるか (収縮開始位置) を変化させ, 収縮区間
は 100 mm として衝撃波マッハ数の実験データを取得, 解析した.

4.1.2 実験条件
駆動気体であるヘリウムの圧力を 1 MPa で固定し, 試料気体である窒素の圧力 p1 を 200
Pa,1000 Pa として,p41 (= p4 /p1 ) = 1000, 5000 である. また, バルブの初期位置を原点とし,
管軸に沿って x 軸を設定し, センサーの先端を x = 50mm∼管端 まで 25 mm 刻みで移動
させた. 衝撃波管内の各点における衝撃波マッハ数は,x − t グラフの最小近似直線の傾き
から算出した. 図 4.1 に示すように,x = x1 における傾きを求める場合は x = x1 − 50 mm
∼ x1 + 50 mm までの 5 点をとり, 最小二乗法より傾きを求めた.
コンデンサーに印加する電圧は,2100 V で固定した. 窒素の比熱比は 1.4, 衝撃波管内の
窒素の音速は 350 m/s とした.

t [s] ᭱ᑠ஧஌㏆ఝ┤⥺

x1 - 50 x1 x1 + 50
x [mm]

図 4.1: 衝撃波マッハ数の算出方法

53
 4.1.3 結果と考察
各収縮位置における圧力比による分類

図 4.3 から図 4.8 に示すように, 収縮開始位置をバルブから 50,135,200 mm の位置にと

り (図 4.2), さらに p41 =1000,5000 として計 6 通りのデータを計測した. グラフは全て衝撃
波マッハ数 Ms と位置 x の関係を示している.
グラフより, いずれの形状においても初期圧力比が 1000 の場合には収縮部による衝撃波
マッハ数の上昇が顕著に見られ, 特に収縮開始位置が 200 mm の場合は 4 mm の直管に比
べて (Ms )max が 1 程度も増加した. 初期圧力比 5000 の場合は 4 mm の直管における最大
到達マッハ数と比較してそれほど大きな値は得られなかった.
断面収縮型衝撃波管においては, 流路面積の減少による加速作用と, 管摩擦の増加による
減速作用が, 相互に関係しており, 初期 p41 1000 の場合は, 前者の影響の方が支配的である
ため, 衝撃波マッハ数の上昇が顕著に見られる. 一方, 初期 p41 5000 の場合は, 管摩擦の増加
の影響が大きくなるため, 収縮形状による最大衝撃波マッハ数の増加量は初期圧力比 1000
の場合に比べると小さい.
以上より, 断面収縮型衝撃波管の収縮形状の効果がより顕著に表れるのは, 初期圧力比が
低い場合であると考えられる.











 135





 200


 図 4.2: 3 種類の衝撃波管



54
 6.0
Shock Mach Number Ms [-]

5.5

5.0

4.5

4.0
p41 = 1000
3.5 convergent (50_100_200)
4 mm straight
3.0
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]

図 4.3: 50-100-200-p41 =1000

55









7
Shock Mach Number Ms [-]

4
p41 = 5000
3 convergent (50_100_200)
4 mm straight

2
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]

図 4.4: 50-100-200-p41 =5000

56
 6
Shock Mach number Ms [-]

3 p41 = 1000
convergent (135_100_100)
4 mm straight
2
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]
図 4.5: 135-100-100-p41 =1000

57
 








7
Shock Mach Number Ms [-]

4 p41 = 5000
convergent (135_100_100)
3 4 mm straight

2
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]
図 4.6: 135-100-100-p41 =5000

58
 6
Shock Mach Number Ms [-]

p41 = 1000
3 convergent (200_100_100)
4 mm straight

2
100 150 200 250 300 350 400
x [mm]

図 4.7: 200-100-100-p41 =1000

59
 








8
Shock mach Number Ms [-]

p41 = 5000
convergent (200_100_100)
7 4 mm straight

4
100 200 300 400
x [mm]

図 4.8: 200-100-100-p41 =5000

60
収縮開始位置による分類

図 4.9 から図 4.13 までは収縮開始位置をメインバルブから 50,135,200,300,400 mm とし

て衝撃波マッハ数と位置 x の関係をグラフにしたものである. このとき, 初期圧力比は 1000
とした. いずれの形状においても,4 mm の直管に比べて, 最大衝撃波マッハ数が増加して
いることがわかる. これら 5 つの形状の衝撃波管における衝撃波マッハ数の推移をまとめ
たものが図 4.14 である.
図より, 衝撃波の成長過程の序盤である x = 50, 135 mm で断面を絞った形状に比べ, 成
長過程の終盤である x = 200 mm で断面を絞った形状の方が最大到達マッハ数が大きくな
ることが分かる. それよりも後ろ, 即ち衝撃波の減衰過程に差し掛かった x = 385 mm で断
面を絞った形状では最大到達マッハ数が小さくなった. 従って, 断面収縮形状によってよ
り大きな衝撃波マッハ数を得るためには, 衝撃波の成長過程の終盤において断面を絞るの
が最も効果的であると考えられる.

6.0
Shock Mach Number Ms [-]

5.5

5.0

4.5

4.0
p41 = 1000
3.5 convergent (50_100_200)
4 mm straight
3.0
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]

図 4.9: 50-100-200-p41 =1000

61
 6
Shock Mach number Ms [-]

3 p41 = 1000
convergent (135_100_100)
4 mm straight
2
50 100 150 200 250 300 350
x [mm]
図 4.10: 135-100-100-p41 =1000

62
 6
Shock Mach Number Ms [-]

p41 = 1000
3 convergent (200_100_100)
4 mm straight

2
100 150 200 250 300 350 400
x [mm]

図 4.11: 200-100-100-p41 =1000

63
 6
Shock Mach Number Ms [-]

3 p41 = 1000
convergent (300_100_100)
4 mm straight
2
100 200 300 400 500
x [mm]
図 4.12: 300-100-100-p41 =1000

64
 6
Shock Mach Number Ms [-]

p41 = 1000
3 convergent (400_100_100)
4 mm straight

2
100 200 300 400 500 600
x [mm]
 図 4.13: 400-100-100-p41 =1000


65
 Shock Mach Number Ms [-] 6

4 ¢4_convergent_¢2 (p41 = 1000)

3 500_ 0 _ 0 50_100_200
135_100_100 200_100_100
300_100_100 385_100_100
2
100 200 300 400 500 600
x [mm]
図 4.14: 収縮位置とマッハ数の関係

4.1.4 管長及び収縮位置の最適化
衝撃波管分子線源を用いて十分な大きさの並進エネルギーをもった分子線を生成するた
めには, 衝撃波管の管端で衝撃波マッハ数が最大となるように管長を設定する必要がある.
初期圧力比 p41 = 1000 の場合, 図 4.14 より, 最大衝撃波マッハ数は収縮区間を x = 200−300
mm とした場合に最大となり, 形成距離は約 300 mm である. また排気時には衝撃波管を排
気系における一つの配管とみなすと, 排気の時定数は管長におよそ比例するため, 排気時間
短縮のためには管長をできるだけ短くすることが望ましい. 従って,p41 = 1000 で衝撃波管
を駆動させる場合, 管長を 300 mm とし, 収縮区間を x 200 − 300 mm とするのが最も効率
的であり, このとき管端で得られる衝撃波マッハ数は約 5.8 で, 得られる分子線の並進エネ
ルギーは約 1.4 eV 程度と見積もることができる.

66
4.2 衝撃波マッハ数の準一次元計算による見積もり
4.2.1 概要及び計算条件
第 2 章に述べた, 本学の清水が作成した準一次元計算コード上では, 昨年度の吉本の研究
[5]
によって, 衝撃波管の形状を断面収縮型にすることにより標準型の衝撃波管よりも大き
な衝撃波マッハ数を得られることが既にわかっている.
本節では, 断面収縮型衝撃波管のパラメータとして, 次の 3 つを設定した.

1. 開口時間 topen

2. 断面収縮開始位置 D1

3. 断面収縮区間長 D2







D1 D2




1. に関しては 50,100,200,500,750,1000[µs]

2. に関しては 50,100,135,200,300,400[mm]
3. に関しては 50,100[mm]
の各値をとった.
まず, 計算結果の妥当性を確認するため, 内径 4 mm の衝撃波管において, 開口時間 topen
を変化させデータを取得し, 取得したデータを実験値と比較し, 実験値に沿うような開口
時間を基準となる開口時間とした.
次に, 本章第 1 節の実験と同じ初期圧力比 p41 , 管摩擦係数 Cf , そして基準となる開口時
間 topen を初期条件にとり, 一般的な条件下での断面収縮型衝撃波管のマッハ数を計算し,
実験結果を踏まえて考察した.

4.2.2 結果と考察
開口時間によるフィッティング

メインバルブの開口の仕方は, 準一次元計算で正確に模擬することは難しい. そこで, 実

験による衝撃波形成距離と, 計算によるそれとが一致するように隔膜の開口時間 topen を調
整した.
まず, 内径 4 mm の衝撃波管におけるマッハ数の実験値を図 4.15 に示す.
この図によると, 形成距離 x が 225 mm から 300 mm の範囲で衝撃波マッハ数がほぼ最
大となることがわかる.
ここで, 次の図 4.16 について考える.

67
 5.5
Shock Mach Number Ms [-]
5.0

4.5

4.0

3.5

3.0

2.5

2.0
50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
x [mm]

図 4.15: 内径 4 mm の衝撃波管における衝撃波マッハ数 (実験値)

5.0
Shock Mach Number Ms [-]

4.5

4.0

3.5

topen
3.0
0 µs 100 µs 200 µs
750 µs 1000 µs
2.5
50 100 150 200 250 300 350 400 450
x [mm]

図 4.16: 開口時間と衝撃波マッハ数の関係 (計算値)

68
 実験では隔膜が 1 mm 浮上するのに要する時間は約 100µs であるが, この準一次元計算
の破膜モデルに関しては, 開口時間を現実の 2 倍程度である約 200µs と置けば, 実験におけ
る衝撃波形成距離と一致する

一般条件下での計算結果と実験結果との比較

本章の 1 節の実験条件に合わせ, 初期圧力比 p41 = p4 /p1 = 1000, 管摩擦係数 Cf = 0.004,

開口時間 topen = 200µs, 収縮区間 100 mm の初期条件の下,50,100,135,200,300,400 mm の,
合計 6 通りの収縮開始位置 D1 で準一次元計算を行い, その結果を実験で得られた結果と
比較した. 以下の図 4.17 に計算結果を示す.
本計算では収縮部による衝撃波マッハ数の増加はよく再現できている. 一方で, 実験に比
べ最大衝撃波マッハ数が小さいのは粘性の影響を過大に評価してしまっていること, 破膜
時間が実験に比べ長いことに起因すると考えられる. 最大到達マッハ数は x = 100 − 200
mm の区間で絞ったときに得られた. これより断面収縮形状によって衝撃波マッハ数を大
きくするためには衝撃波の成長過程において断面を絞るのが効果的であると考えられる.

6
Shock Mach Number Ms [-]

3 D1
50 mm 100 mm 135 mm
200 mm 300 mm 400 mm

2
50 100 150 200 250 300 350 400 450
x [mm]

図 4.17: 収縮開始位置とマッハ数の関係 (計算)

69
第5章 結論

本研究では, 高エネルギー分子線源に用いる超小型無隔膜衝撃波管の性能最適化のため
の知見を得ることを目的として, 収縮開始位置を変化させた断面収縮型衝撃波管を試作し,
その動作特性を調べた.
以下に得られた知見を示す.

• 断面収縮型衝撃波管においては, 流路面積の減少による加速作用と, 管摩擦の増加に

よる減速作用がある. 前者の影響の方が大きいため衝撃波マッハ数は増加するが, 初
期圧力比を大きくすると衝撃波速度が増加するため管摩擦の影響が大きくなり, マッ
ハ数の上昇分は小さくなる.  

• 断面収縮型衝撃波管において最大の衝撃波マッハ数を得るには, 衝撃波の成長過程
の終端付近で収縮を開始させるのが望ましいと考えられる.

• 初期圧力比 1000 前後で衝撃波管分子線源を駆動する場合, 最大衝撃波マッハ数と排

気効率の観点から管の全長を 300 mm 程度とし収縮区間を 200-300 mm 付近とする
ことが望ましい.

70
付 録A 付録

A.1 White のモデルによる衝撃波マッハ数 Ms

図 A.1 に White の流れモデルの概要を示す．領域 3 と 4 の間には式 (2.31)，(2.33) が成
立し，領域 1 と 2 に対しては式 (2.11) が成立する．即ち，
  γ2γ−1
4   γ2γ−1
4
p4 a4 4 γ 4 − 1 u3 4
= = 1− (A.1)
p3 a3 2 a4
 
u2 (α1 − 1)(p21 − 1) γ1 + 1
=p α1 = (A.2)
a1 (1 + α1 )(1 + α1 p21 ) γ1 − 1
また，領域 1 と c の間の波は前進圧縮波であるから，式 (2.29) のリーマン不変量 が一
定に保たれ，
2ac 2a1
uc − =− (A.3)
γ1 − 1 γ1 − 1
上式より ac /a1 を求め，領域 1 と c の間には等エントロピーの関係が成立することを考
慮すれば，
  γ2γ−1
1   2γ1
pc ac 1 γ1 − 1 uc γ1 −1
= = 1+ (A.4)
p1 a1 2 a1
同様にして，領域 c と e の間の後退膨張波を通して式 (2.30) のリーマン不変量 が一定
に保たれるから，次式が得られる．
  γ2γ−1
1     γ2γ−1
1
pe ae 1 γ1 − 1 uc − ue a1 1
= = 1+ (A.5)
pc ac 2 a1 ac

これらの式を用いると，衝撃波マッハ数 Ms は次のようにして計算される．ある pc /p1 の

値を定めると，式 (A.4) より uc /a1 と ac /a1 が定まり，uc = u3 であるから，式 (A.1) より
p4 /p3 の値が得られる．さらに pc = p3 であるから，p41 = p43 pc1 の関係より，初期圧力比
p4 p1 が決定される．そこで，衝撃波の強さ p2 /p1 の値を適当に仮定し，u2 = ue であること
を考慮すれば，式 (A.2) より ue /a1 が求められる．一方，p2 = pe であるから，pec = p21 p1c
の関係より pe /pc が定まり，式 (A.5) に代入すれば ue /a1 の値が計算される．これが上で求
めた ue /a1 の値と一致するように p2 /p1 の値を決定すると，式 (2.9) より Ms が得られる．

71
 t
ゐ㠃 p/p1
4 ⭾ᙇ
⭾ᙇἼ 䐡 ᥋ Ἴ
⦰Ἴ
e
䐠 ᅽ
3,c ⭾ᙇἼ
c
⾪ᧁἼ
A
2,e
Ἴ 䐟
s

䐢 ᅽ⦰ ᧁἼ
⾪
ᅽຊ㻙㏿ᗘ⥺ᅗ
0
Ἴື⥺ᅗ
0 x u/a1
(a) (b)

72
付 録B 一次元数値計算シミュレー
ション

本研究では，実験結果と一次元数値計算の比較により，衝撃波の管内における成長・減
衰に関する考察を行った．計算に用いる解析コードは本学の清水和弥氏が開発したものを
用いた．なお，一般的な衝撃波管に倣い，実験において高圧室と低圧室を仕切るバルブを
隔膜，バルブ開口を破膜と呼ぶことにする．

B.1 支配方程式
支配方程式は，一次元の質量，運動量，エネルギーの各保存則と駆動気体の質量保存則
に，断面積の変化および壁面摩擦損失を考慮した式とする．式（B.4）は駆動気体と試料
気体の種類が異なる場合に必要となる．

∂ ∂
(ρA) + (ρuA) (B.1)
∂t ∂x
∂ ∂  2  ∂
(ρuA) + (ρu + p)A = p A − Lτw (B.2)
∂t ∂x ∂x
∂ ∂
(eA) + [(e + p)uA] = −Lτw u (B.3)
∂t ∂x
∂ ∂
(ρh A) + (ρh uA) = 0 (B.4)
∂t ∂x
壁面せん断応力 τw は摩擦係数 Cf を用いて以下のように表せる．

1
τw = Cf ρu2 (B.5)
2
各文字の定義を表 B.1 に示す．

B.2 計算条件
 計算対象は円管形状の衝撃波管とし，隔膜位置を x = 0 とする．時刻 t = 0 で破膜が
始まるとし，その後の衝撃波の伝播過程を解析する．
図 B.1 にあるように x 5 0 が高圧室，x = 0 が低圧室となるように座標軸原点を設定す
る．低圧室の長さ，高圧室の長さをともに 600 mm とした．円管の直径は 2 mm と 4 mm
にし，さらに 4 mm から 2 mm に絞った収縮管についても計算を行った．有限の破膜時間
を模擬するために，x = 0 における管断面積を一定に変化させた．
作動気体は実験に合わせて，駆動気体をヘリウム，試料気体を窒素とする．気体は理想
気体として扱い，両気体の温度は 300 K とした．

73
600mm 600mm

㧗ᅽᐊ పᅽᐊ
x

x=0

図 B.1: 衝撃波管形状と座標軸

74
付 録C 電流ループ機構バルブの動作
原理

 第３章で述べたように，メインバルブはコンデンサーからの放電により起動する．こ
こで図 C.1 に示すような LCR 回路を考えることにする．コンデンサーの電気容量を C，
コンデンサーに蓄えられている電荷を q，回路における抵抗を R，自己インダクタンスを
L とおくと

d2 q dq 1
2
+R + q =0 L (C.1)
dt dt C
となる。これにより回路に流れる電流 i は、

α2 + β 2 −αt
i = q0 e sin βt (C.2)
β
s  2
R 1 R
α= ,   β = − (C.3)
2L LC 2L
となる．ただし，ここで q 0 はコンデンサーの初期電荷量とする．式 (C.2) から分かるよ
うに，回路には回路内のインダクタンス成分により誘電起電力が発生し電気振動が生じ
る．コンデンサーから放出された電荷はバルブを構成するヘアピン状に設置された平行
金属板を通る．このとき２枚の金属板には相対する向きの電流が流れるために，それぞれ
の板が離れる向きに力が発生する．２枚の平行金属板の幅を b，距離を d とし，厚みを無
視できるものとする．図 C.2 のような座標系を設定し下側の金属板に関する諸量に添え字
１，上側の金属板に関する諸量に添え字２を付ける．すると下側金属板を流れる電流 I1
と上側金属板 I2 を流れる電流によって金属板に加わる力 F21 は
Z Z
µ0 JS1 × r12
F21 = (Js2 × 3
ds1 )ds2 (C.4)
4π S1 S1 r12
     
x−ε I1 /b −I2 /b
     
r12 = y − ε , JS1 =  0  , JS2 =  0  (C.5)
d 0 0
と表すことができる。[17] ただし、dS1 , dS2 は、

dS1 = dxdy, dS2 = ddδ (C.6)

とする。式 (C.4) を解くと、次式が得られる。(付録 D 参照)
(    2 !)
µ0 I1 I2 b b
f21 = 2b tan−1 − d log 1 + (C.7)
2πb2 d d

75
 ただし，ここで f21 は金属板が受ける単位長さあたりの力である．
 バルブの穴をふさぐ金属板は，この相対する向きに流れる電流による電磁的反発力で
跳ね上がる．この両端固定の金属板の長さを l，幅を b，厚さを h とし，金属板の長さ方
向に x 軸をとって金属板のたわみ量を w(x, t) として位置と時間の関数にすると，曲げ振
動の式により
 
∂2 ∂ 2w ∂ 2w
EI 2 +µ =f (C.8)
∂x2 ∂x ∂t2
が成立する。[18] ただし、ここで EI は金属板の曲げ剛性、µ は x 軸方向の単位長さあた
りの質量,f は板に加わる外力である。簡単のため f = 0 とし、

w(x, t) = W (x)A(t) (C.9)

と仮定して、固定端の条件 w(0) = 0, w(l) = 0, w0 (0) = 0, w0 (l) = 0 を代入してとくと,

   
λ λ λ λ
W (x) = C1 sin x − sinh x + C2 cos x − cosh x (C.10)
l l l l
ただし、λ は,

˙
cos λcoshλ =1 (C.11)
を満たす数 (λ ≈ 4.73) であり、C1 , C2 は、

C1 (sin λ − sinh λ) + C2 (cos λ − cosh λ) (C.12)

を満たす定数である。ここでは仮に C1 = −(cos λ − cosh λ), C2 = sin λ − sinh λ として
計算を進める。
 金属板は式 (C.7) で表される力を受けて変位を始め，電流が流れている間は常に力が
加わるが，ここでは簡単のためインパルス応答と仮定する．即ち，式に示す初期位置にお
ける外力 F = f21 が時間 ∆t の間インパルスとして加えられたとすると，∆t 後において

∂w F ∆t
= (C.13)
∂t µ
が得られる．また，曲げ振動におけるエネルギー保存式より，インパルスにより式 (C.13)
で表される初速度を得た状態 t = ∆t と，たわみが最大になった時刻 t = Tmax のエネル
ギーが等しいとおくと
Z l  2 Z l  2
1 ∂w 1 ∂ 2w
µ dxt=∆t = EI dxt=Tmax (C.14)
2 0 ∂t 2 0 ∂x2
が成立する．式（C.9）（C.13）（C.14）よりこれを解くと，
s
12l
A(Tmax ) = F ∆t R l d2 W
2 (C.15)
µEbh3 0 dx2
dx
が得られる．これより金属板の最大振幅を求めることが可能となる．これによると，最
大振幅は外力 F に比例，即ち金属板に流れる電流値の二乗に比例することが分かる．

76
 L

q
C
R

図 C.1: コンデンサーを含む回路 (LCR 回路)

䊠
2
dS2 d

ε δ

䊠 1
-b/2
r12

dS1
b/2

x y

77
付 録D 平行金属板変位理論

２枚の平行金属板の幅を b，距離を d とし，厚みを無視できるものとする．図 C.2 のよ

うな座標系をとり, 下側の金属板に関する諸量に添え字１，上側の金属板に関する諸量に
添え字２を付ける．すると，下側金属板を流れる電流 I1 と上側金属板 I2 を流れる電流に
よって金属板に加わる力 F21 は
Z Z
µ0 JS1 × r12
F21 = (JS2 × 3
dS1 )dS2
4π S1 S1 r12
     
x−ε I1 /b −I2 /b
     
r12 = y − ε , JS1 =  0  , JS2 =  0  (D.1)
d 0 0
と表すことができる。ただし、dS1 , dS2 は、

dS1 = dxdy, dS2 = dεdδ (D.2)

とする。まず、

Z Z b Z ! Z b Z !
∞ ∞
JS1 × r12 dI1 2 1 I1 2 (y − δ)
3
ds1 = − 3
dxdy j + 3
dxdy k (D.3)
S1 r12 b − 2b −∞ r12 b − 2b −∞ r12

ここで、

Z ∞ Z ∞
1 1
3
dx = dx
−∞ r12 {(x − ε)2 + (y − δ)2 + d2 }3/2
−∞
 1/2
∞
x−ε 1
= ×
(x − ε)2 + (y − δ)2 + d2 (y − δ)2 + d2 −∞
2
= (D.4)
(y − δ)2 + d2

となるから、

Z b
! Z b
!
2dI1 2 1 2I1 2 y−δ
(D.3) = − dy j + dy k
b − 2b (y − δ)2 + d2 b − 2b (y − δ)2 + d2
= Aj + Bk (D.5)

とおくと、
Z α
2dI1 d(tan2 θ + 1) 1
A=− 2 2
dθ = (α − β) (D.6)
b β d (tan θ + 1) d

78
 b



ただし、y − δ = d tan θ と置換し、α = tan−1 2d b
− dδ , β = tan−1 − 2d − dδ とした。
よって、
Z b  Z 
µ0 2 JS1 × r12
dF21 = JS2 × 3
dS1 dδdε (D.7)
4π − 2b S1 r12
とすると、

Z b    
µ0 2 I2 2I1
dF21 = − i× − (α − β)j + Bk dδdε
4π − 2b b b
( Z b ! )
µ0 I1 I2 2
= (α − β)dδ k + Cj dε (D.8)
2πb2 − 2b

ただし、上式での式変形における外積の結果の z 方向以外の成分を C とおいた．これ

は系の対称性より 0 となる．ここで

  
b−1 δ −1 b δ
α − β = tan − − tan − −
2d d 2d d
   
−1 δ + b/2 −1 δ − b/2
= tan − tan (D.9)
d d

となる。まず第一項について解く。

Z     Z
−1 δ + b/2 −1 δ + b/2 δ 1
tan dδ = δ tan −  2  dδ
d d δ+b/2 d
d
+1
  " (  2 )  #
δ + b/2 d δ + b/2 b δ + b/2
= δ tan−1 − log 1 + − tan−1
d 2 d 2 d
    (  2 )
b −1 δ + b/2 d δ + b/2
= δ+ tan − log 1 + (D.10)
2 d 2 d

よって、
Z b     (  2 )
2 δ + b/2 b d b
tan−1 dδ = h tan−1 − log 1 + (D.11)
− 2b d d 2 d
となる。同様に、
Z b      2 !
2 δ − b/2 b d b
tan−1 dδ = −b tan−1 + log 1 + (D.12)
− 2b d d 2 d
が得られる。これより、
Z b   (  2 )
2 b b
(α − β)dδ = 2b tan−1 − d log 1 + (D.13)
− 2b d d
よって

79
 "   (  2 )#
µ0 I1 I2 b b
dF21 = 2
2b tan−1 − d log 1 + dε (D.14)
2πb d d
となる。ここで金属板に単位長さ当たりに加わる力を f21 とおくと
"   (  2 )#
µ0 I1 I2 b b
f21 = 2
2h tan−1 − d log 1 + (D.15)
2πb d d
が得られる

80
参考文献

[1] 杵淵 郁也，”分子線法によるシリコン表面の酸化反応機構の解析，東京大学大学院
工学系研究科博士論文”，2006．

[2] Giacinto, Scoles, Atomic and Molecular Beam Method Volume 1, Oxford University
Press, 1988.

[3] G. T. Skinner, J. Moyzis, Experimental Study of the Collision Problem in a High-

Intensity Molecular Beam, Phys. Fluids, 8, 452, 1965.

[4] T. C. Peng, D. L. Liquornik, Shock-Tube Molecular Beam for 3 eV, Rev.Sc.Instrum,

38, 989, 1967.

[5] 吉本 勇太, 断面収縮形状による超小型衝撃波管の性能最適化, 東京大学工学部卒業

論文,2009.

[6] 三好 信哉，高エネルギー分子線源に用いる超小型衝撃波管の動作特性の解明，東
京大学大学院工学系研究科修士論文，2009．

[7] 土屋 荘次，倉谷 健治，衝撃波の化学物理，裳華房，1968．

[8] 松尾 一泰，圧縮性流体力学 内部流れの理論と解析，理工学社，1994．

[9] 生井 武文，松尾 一泰，衝撃波の力学，コロナ社，1983．

[10] D. R. White, Influence of diaphragm opening time on shock tube flows, J. Fluid
Mech., 585, 1958.

[11] H. Mirels, J. F. Mullen, Small Perturbation Theory for Shock-Tube Attenuation and
Nonuniformity, Phys. Fluids, 1451, 1964.

[12] R. A. Alpher, D. R. White, Flow in shock tubes with area change at the diaphragm
section, J. Fluid Mech., 457, 1958.

[13] 中野晋，瀬川清，伊丹博幸，高エンタルピー衝撃風洞の熱負荷に関する基礎検討（第
1 報，衝撃波管の流れ解析手法と流れ場の予測精度），日本機械学会論文集Ｂ編，64
巻 627 号，pp.3697?3704，1998．

[14] W. R. Gentry, C. F. Giese, Rev. Sci. Instrum. 49, pp.595-600, 1978.

81
謝辞

本論文は，筆者が東京大学工学部機械工学科（松本・高木研究室）学士課程在学中に
行った研究についてまとめたものです．研究を進めるにあたり，多くの方々にお世話にな
りました．ここに深く感謝の意を表します．
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 松本洋一郎教授には，本研究のテーマを
与えてくださるとともに，すばらしい研究環境を提供していただきましたことを深く感謝
いたします．私のアドバイザリー教員が先生であったこと, 今思えば何かの縁であったの
だと感じます.
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 高木周准教授には，私の指導教官を引き
受けてくださるとともに，研究会などにおいて多くの助言をいただきましたことを深く感
謝いたします．高木先生の何事に対しても真剣で熱血な姿勢と, 誰よりも学生を気遣って
くれる優しさには本当に心打たれました．
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 竹村文男教授には，あまり接することが
できず残念ですが, 今後ぜひお会いできたらと思っております.
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 杉山和靖特任准教授には, 主な作業場であ
る研究室の別室で何度も私が仮眠をとっていたにも拘わらず, 優しく受け止めてくれたこ
とを感謝しております.
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 葭仲潔講師には, 楽しんで研究をやってい
くスタイルを直に見させていただきました. 研究室内にいらしただけで場の雰囲気が良く
なるのを感じました.
 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 竹内伸太郎講師には, 院試期間中など早朝
によく励ましの言葉を掛けて戴きました.Unix 絡みでお話をさせてもらったことを良く覚
えています.
 研究室秘書の五十川順子氏には，研究生活を円滑かつ快適に送れるように取り計らっ
ていただき，感謝しております．五十川さんのような美人で優秀な秘書さんを持てた教授
が羨ましいです．
 博士課程の田川義之氏には, 夢を持って海外に出ていく研究員という理想を見せてい
ただきました.
 本研究室博士研究員の伊井仁志氏には勤勉に研究する者としての見本を示していただ
き，見習うべきことが多々ありました．
 同博士研究員の小笠原紀行氏には本当によくお声をかけていただき, そのユーモアで,
一緒に話しているととても和んだことを非常に良く覚えています. 結婚式にも招待いただ
き, 本当にありがとうございました.
 同博士研究員の一柳満久氏には研究室に入った当初から何か通じるものがあったよう
に感じます．そのワイルドさに本気で憧れております．班が違うためあまり研究関連での
お話はできませんでしたが，研究会で堂々と質問している姿は非常に印象的でした．
 同博士課程のリュウ ユンチャオ氏には, よく廊下ですれ違った時に会釈をして頂きま
した. 海外で単身学ぶという強さを教えていただきました.

82
  同博士課程の大山峻幸氏には研究する者として忙しい身にも拘わらず, よくお声をか
けて話していただいたことに感謝しております.
 修士 2 年の歌代浩志氏には, 志村敬彬氏，橘理恵氏，原啓樹氏，船久保亜美氏，ルデュッ
ク ニコラ氏，共に研究生活を有意義に過ごさせていただきました．
 修士 1 年の岡本さんとは, サブカルチャーで非常に意気投合しました. 一緒にカラオケ
に出かけたりもしましたね. そしてその静岡愛には驚かされるばかりです. いずれ県民を束
ねて欲しいと思います.
 修士 1 年の小松さんには, パソコン関連で非常にお世話になりました. ペン回し, ルー
ビックキューブ, ショートカットキー, など, 多くの趣味嗜好がここまで自分と合う人も珍
しいと思いました. 攻殻機動隊, 今度返しに行きます！
 修士 1 年の妹尾さんとは, よくやんわりとお話をしました. 自分の中では妹尾さんはか
なりの癒しキャラでした. 合宿で相当長い時間キャッチボールをしたのを覚えています. 今
度一緒にバッティングセンターに行きましょう！
 修士 1 年の西原さんとは, よく無茶ぶりをふられる間柄でした. 自分の中で研究室のあ
にき的な存在で, とても頼りがいがあって, 空気がもの凄く読める, 明るい, 非常に好きな先
輩でした！近いうちに私も髭をたくわえることでしょう.
 修士 1 年の宮崎さんとは, 席が隣でよくその華麗なフォトショ捌きを横目で見ていま
した. イケメンで細いのに芯が強い所があって羨ましいかぎりです. モテ要素を少し分けて
ください.
 修士 1 年の長野さんは, 白シャツとかボルドーのパンツとか自分が好きなのだけど着
こなせない服を多く自分の物にしていてファッションの先生でした.Unix を自分の物にし
ていく姿も横から見ていて憧れでした.
 修士 1 年の友師さんは, ニヒルを体現するような人で, いつもブラックユーモアで自分
を虜にしてくれました. これからも mixi でつながりましょう.
 修士 1 年の川崎さんとは, 同じ希薄班の先輩として, 親しくしていただきました. ミー
ティングでは, 深い洞察に富んだ質問を多く戴きました．僕も川崎さんのように計画的に
研究を進められるようになりたいと思います. 全然関係ないですが, 今度松本研に寄るとき
は明治のコーヒー持参します.
 修士 2 年の原田裕士氏には, グループミーティングや勉強会などでお世話になりまし
た．地下の巨大な分子線散乱装置を巧みに操作していく姿は非常に頼もしかったです.
 本研究室の杵淵郁也助教には，希薄気体班の長として, また最も近い距離にいる研究
者として，本当に多くの事を教えていただきました．広範な知識はもとより，どんな時
も変わらないその学問，研究に対する姿勢には本当に驚かされました. 院試で自分が夜中
ずっと起きていた時，2 時に研究室から帰られたと思いきや 8 時にすぐ帰ってこられたと
きは衝撃でした．お体に気をつけて，今後も松本高木研の顔であってください．
 博士課程の三好さんには, 自分の研究の大先輩として, 何度も何度も助けていただきま
した. 含蓄に富んだ質問や提案も非常に自分の研究にとってプラスに働きましたが, 何より
も博士課程の 1 年目でご自分の研究も非常に忙しいのにも拘わらず, 常に優しく丁寧に指
導していただき，またいつ何の話をしても一緒にいると楽しかったことが自分にとって最
大のプラスでした．卒論提出直前には，温度センサーがうまく作れず，なかなか実験デー
タを取ることができず途方に暮れていたのですが，三好さんに高精度のセンサーを作って
貰えたおかげで，何とか卒業することができたと思っています．短い時間でしたが，小松
原さんの感じていた気持ちがよくわかりました．本当に色々と，ありがとうございました．

83
  最後になりましたが，最初から最後まで研究をご一緒させていただいた修士 1 年の吉
本さんには，本当に本当に本当に, 感謝をしてもし尽くせません．ただただ有り難うと言
いたいです．考えるまでもなく，1 年中お何から何までお世話になりっぱなしでした. 先
輩が研究室内で” 神” と呼ばれていた理由が研究室に入り行動を共にしてすぐにわかりま
した. 研究に対して真摯に, 常に全力で取り組むその姿勢は, この研究室内でも抜きんでて
いたと思います. 知力的にも体力的にも自分は全く及びませんでした・ ・
・．畏れ多いほどで
す．またその能力だけでなく人間的にも非常に魅力的で，本当に未熟で稚拙な自分の質問
にも嫌な顔一つせず答えてくれました. うまく言い表せませんが，三橋の色々と奇特な部
分をその大らかな心で包み込んでくれていたと思います．
院試で思うような結果が出なかったときに，一緒に生協に行って，お菓子を食べながら
将来の事について話をしたことを，今でもとても鮮明に覚えています．こんな事を書くの
は失礼かもしれませんが，ああ，この人は本当に純粋で人を引きつける魅力がるなぁ，と
その時感じたのを覚えています．卒論直前の時期は，自分よりも早く研究室にいらして，
更に自分より遅くまで残り，実験をして下さいました．年間で考えると，どう考えても自
分の 3 倍は研究室にいらしていたと思います... 冬になるまで実験の大事さを全く理解でき
ておらず申し訳なかったです．任せきりで本当にごめんなさい．
自分のような，なんちゃってエンジニア志望ではなく，自分が思う理想的なエンジニア
を，吉本さんはまさに体現していたと思います．将来，間違いなく日本を代表するような
エンジニアになってくれると信じています．心から尊敬し，そして応援しています．最後
の最後まで，自分を引っ張っていってくださり，本当にありがとうございました．

84
以上

1p ∼ 85p 完

卒業論文

平成 22 年 2 月 10 日 提出

80251 三橋 克仁