CARACTERIZACIN DE SISTEMAS ACONDICIONADORES DE SEAL PARA SENSORES MEMS DE REACTANCIA

VARIABLE

Sosa Torres Miguel ngel, Navarro Alvarado Jos Marcos, Montiel Uribe Rodrigo, Heber Bernabe Perez Marquez
Centro de Investigacin y Diseo en Micro y Nano Tecnologa (CIDEMyNT), Departamento de Electrnica Instituto Tecnolgico superior de Irapuato Km. 12.5 Carretera Irapuato-Silao, Irapuato, Gto. 36821, Mxico Tel. (462)6067900, correo electrnico: misosa@itesi.edu.mx, jonavarro@itesi.edu.mx, romontiel@itesi.edu.mx, heperez@itesi.edu.mx

RESUMEN Se presenta la caracterizacin de un circuito acondicionador para sensores MEMS de reactancia variable. Tambin se describen las consideraciones que se deben de tomar para la realizacin de dichos sistemas con respecto a las caractersticas elctricas de sus dispositivos. Se d una breve descripcin de los sensores MEMS de tipo capacitivo. Palabras clave: Reactancia capacitiva, Sensor capacitivo MEMS, Respuesta a la capacitancia. INTRODUCCIN La caracterizacin de sistemas de acondicionamiento es el conjunto de elementos de un sistema, estos surgen a partir de un sistema de medida, que producen de su seal de salida, una seal apta para ser presentada o bien que permitir un procesamiento de seal posterior mediante un equipo o instrumento estndar. El Acondicionamiento de seal ofrece muchas ventajas de mejoras sobre los circuitos, como lo son la amplificacin, el filtrado y la modulacin demodulacin de la seal con que se trabaja.
. I

y magnitud adecuada para el elemento de visualizacin. El elemento de visualizacin se encarga de que esa seal elctrica proveniente del acondicionador de seal sea entendible para un operador o para un sistema de control. A continuacin, se observa un diagrama de sistemas de medicin:

FIGURA 1. Diagrama general de un sistema de medida y control 1 Sistemas de medida Se denomina sistema a la combinacin de dos o ms elementos, subconjuntos y partes necesarias para realizar una o varias funciones. En los sistemas de medida, esta funcin es la asignacin objetiva y emprica de un nmero a una propiedad o cualidad de un objeto o evento, de tal forma que la describa. Es decir el resultado de la medida debe ser: independiente del observador (objetiva), basada en la experimentacin (emprica), y de tal forma que existe una correspondencia entre las relaciones

Un sistema de medicin consiste de un elemento sensor, un acondicionador de seal y un sistema de visualizacin. El elemento sensor es aquel dispositivo donde un cambio en la variable fsica proporciona un cambio de una propiedad elctrica. El acondicionador de seal es aquel elemento que se encarga de convertir ese cambio de una propiedad elctrica a un cambio de una seal elctrica, de tipo

numricas y las relaciones entre las propiedades descritas.1 Los acondicionadores de seal, adaptadores o amplificadores, en sentido amplio, son los elementos del sistema de medida que ofrecen, a partir de la seal de salida un sensor electrnico, una seal apta para ser presentada o registrada o que simplemente permitir un procesamiento posterior mediante un equipo o instrumento estndar. Consiste normalmente en circuitos electrnicos que ofrecen entre otras funciones, las siguientes: Amplificacin Filtrado Adaptacin de Impedancias Modulacin o Demodulacin.

Importante: El circuito de acondicionamiento puede proporcionar una impedancia de entrada adecuada para no demandar mucha corriente al transductor3. II Mtodo Un condensador elctrico consiste en 2 conductores separados por un dielctrico (slido, lquido y gaseoso), o el vaco. La relacin entre la carga, Q, y la diferencia de potencial, V, entre ellos viene descrita por su capacidad, C= Q/V. Esta capacidad depende de la disposicin geomtrica de los conductores y del material dielctrico dispuesto entre ellos. Para un condensador formado por n placas planas paralelas iguales, con rea A, distancia d entre cada par, y un material entre ellas con constante dielctrica relativa r, la capacidad aproximada es: C = 0 r A/d (n-1) Ecuacin 1

Donde 0 = 8.85 pF/m es la constante dielctrica del vaco.

FIGURA 1 Sistema de Acondicionamiento de seal para un sensor desde el punto de vista elctrico1 Acondicionamiento de seales Difcilmente un diseador conecta un transductor directamente y la parte de procesamiento o de despliegue de un sistema, ya que la seal que nos enva nuestro transductor por lo general es muy dbil o contiene ruido y componentes que no deseamos, por eso se realizan etapas de acondicionamiento de seales. FIGURA 4 Capacitor de placas paralelas1 As pues, cualquier fenmeno o magnitud que produzca una variacin en r, A o d, provocar un cambio en la capacidad C, y en principio puede ser detectado mediante el dispositivo anterior. En general cualquier cambio en el dielctrico o en la geometra puede ser considerado para la deteccin del fenmeno que lo provoca. Los sensores capacitivos no son lineales o no lineales en s mismos. Su linealidad depende del parmetro que vara y de si se mide la admitancia o la impedancia del condensador. En un condensador plano, la salida es lineal si se mide la admitancia,

FIGURA 3. Etapas del acondicionamiento de seal2

pero no es lineal si se vara la separacin entre placas, para esto se tiene la relacin: Ecuacin 2 Dnde . Una alternativa para tener una

salida lineal en un sensor capacitivo plano basado en una variacin de la distancia entre placas, es medir, en vez de su admitancia, su impedancia: Ecuacin 3 El empleo de condensadores diferenciales, permite tambin obtener una salida lineal con el parmetro que se detecta. Una ltima consideracin relativa a las limitaciones de los sensores capacitivos es su alta impedancia de salida. Si bien la impedancia decrece cuanto mayor sea la frecuencia de alimentacin, la impedancia de las capacidades parsitas tambin decrece al aumentar su frecuencia. Una solucin es poner la electrnica de acondicionamiento de seal cerca. Frente a sus limitaciones, los sensores capacitivos presentan una serie de ventajas que los hacen atractivos en muchas aplicaciones: como sensores de desplazamiento tienen un error por carga mecnica mnimo, al no haber contacto mecnico directo, no hay errores de friccin ni de histresis y no hay que hacer mucha fuerza para desplazar al elemento mvil1. Los sensores capacitivos son a menudo utilizados exitosamente en las aplicaciones que no pueden ser resueltas por otras tcnicas de sensado. Estos responden a un cambio de dielctrico en el medio que rodea la zona activa y, por medio de la regulacin incorporada, permite sensar prcticamente cualquier sustancia. Adems pueden detectar materiales a travs de paredes de vidrio, plstico o lminas de cartn. Los sensores capacitivos como su nombre indica, estos sensores estn basados en la deteccin de un cambio en la capacidad inducido por una superficie que se lleva cerca del elemento sensor. Son diseados normalmente con platos paralelos con

electrodos porosos o con filamentos entrelazados en el sustrato. El material dielctrico absorbe o elimina vapor de agua del ambiente con los cambios del nivel de humedad. Los cambios resultantes en la constante dielctrica causa una variacin en el valor de la capacidad del dispositivo por lo que resulta una impedancia que vara con la humedad. Esto permite a el vapor de agua entrar y salir fcilmente y el secado rpido para la sencilla calibracin del sensor. El elemento sensor es un condensador constituido por un electrodo sensible y un electrodo de referencia. Estos electrodos pueden ser, por ejemplo, un disco y un anillo metlicos separados por un material dielctrico. Una cavidad de aire seco se suele colocar detrs del elemento capacitivo para proporcionar aislamiento. El resto del sensor est constituido por circuitos electrnicos que pueden incluirse como una parte integral de la unidad, en cuyo caso suelen estar embebidos en una resina para proporcionar soporte mecnico y sellado. La figura 5 muestra un diagrama esquemtico de un capacitor MEMS. Consiste de dos placas mviles con una capa dielctrica en la parte superior de la placa inferior.

Figura 5. Diagrama esquemtico de un capacitor MEMS. Los capacitores MEMS de este tipo con dimensiones de alrededor de 1000 m tienen sus capacitancias alrededor de 10 pF, dependiendo de las distancias de separacin entre las placas. Un circuito propuesto para realizar las mediciones del sensor capacitivo, es el siguiente:

R1 C2 XFG1 17pF 0 5 C1 0 10pF

2 4 8

1k 2 6 V1 12 V 0
6

1
3

U1 V2 12 V 3

R1 C2 17pF 1
3

1k

LM301AN

XSC1
Ext T rig + _ A B _ + _ +

U1
6

C1 0 10pF
2 4 8

LM301AN

Figura 7. Simulacin del circuito de reactancia variable. En el se observa que la seal de entrada est conectada al canal A del osciloscopio y la salida al canal B de este mismo. Se muestra una grfica de la simulacin hecha con el valor de C2 de 17 pF y una frecuencia de entrada de 100 Hz, y la tabla contiene el recorrido en la frecuencia.

Figura 6. Circuito acondicionador de reactancia variable. Para este circuito se debe de considerar las siguientes caractersticas elctricas del amplificador operacional4: Inmunidad al ruido Alta ganancia Ancho de banda Alimentacin de voltaje Nivel de offset de entrada de voltaje o corriente Se realizaron simulaciones con el circuito de la figura 6, utilizando el software NI Multisim 10, utilizando un voltaje de entrada senoidal de 1 Vp con el cual se caracterizo el circuito para diferentes valores de la frecuencia de entrada y diferentes valores del capacitor de retroalimentacin, para con esto cambiar la reactancia de este y determinar a qu frecuencias responde mejor el diseo. Y el circuito en la simulacin con el software NI Multisim 10

Figura 8. Graficas como resultado de la simulacin a 100 Hz y Cx=17 pF. Las siguientes tablas muestran un recorrido en frecuencia con estos valores de reactancia y voltaje de entrada. Se obtiene el valor del voltaje de salida, tomando en cuenta que esta anulado el offset de salida en la medicin.

Frec (Hz)

Vin (Vp)

C2 (pF)

Vout (Vp)

10 100 1000 10k 100K 1M 10 M

Frec (Hz)

1 1 1 1 1 1 1
Vin (Vp)

17 17 17 17 17 17 17
C2 (pF)

1.25 u 12.5 u 125 u 1.25 m 12.5 m 92 m 125 m

Vout (Vp)

10 100 1000 10k 100K 1M 10 M

1 1 1 1 1 1 1

50 50 50 50 50 50 50

1.3 u 13 u 130 u 1.3 m 13 m 90 m 110 m

Con estos datos, nos damos cuenta que se obtiene mayor respuesta de salida a frecuencias altas. Las siguientes figuras muestran un recorrido ahora de la reactancia con diferentes valores de frecuencia en el voltaje de entrada. Se obtiene el valor del voltaje de salida, tomando en cuenta que esta anulado el offset de salida en la medicin.

Frec (Hz)

Vin (Vp)

C2 (pF)

Vout (Vp)

10 100 1000 10k 100K 1M 10 M

1 1 1 1 1 1 1

100 100 100 100 100 100 100

1.3 u 13 u 130 u 1.3 m 14 m 80 m 110 m

Figura 9. Respuesta a la capacitancia para un valor de R=1K. De acuerdo con los resultados obtenidos, se observa que el circuito responde mejor a las frecuencias de 1 y 10 MHz, ya el voltaje de salida

vara 30 mVp en ambas frecuencias cuando el valor del capacitor de retroalimentacin vara de 10 pF a 200 pF.

cambios del capacitor a una frecuencia de 100KHz, ya que el voltaje de salida cambia de 1.1 Vp a 100 mVp cuando el capacitor vara de 10 pF a 200 pF.
. II

CONCLUSIONES

Debido a que los cambios en la salida del circuito acondicionador son muy reducidos, ya que se obtienen variaciones de micro Volts o mili Volts hasta volts en altas frecuencias, se debe de tener cuidado con utilizar amplificadores operacionales que sean inmunes al ruido y adems tengan un ancho de banda amplio para un mejor desempeo del circuito. Otra de las observaciones que se deben de tener presente, es que los cables que inyectan la seal de entrada deben de estar apantallados a tierra as como la salida de estos, con el fin de evitar la introduccin de seales no deseadas. En este trabajo, se realizaron las simulaciones con 3 valores diferentes de resistencia de polarizacin, tratando de abarcar un rango amplio de valores que son los ms utilizados en los circuitos. En el diseo presentado, se pretende utilizar a cualquier sensor MEMS de tipo capacitivo, independientemente de la forma o estructura que este fabricado. La nica consideracin que se debe de tener es que sea del orden de los pico-Farads. Referencias [1] Sensores y acondicionadores de seal, 4. Edicin. Ramn Palls Areny
digital.ni.com / worldwide/Acondicionamiento

Figura 10. Respuesta a la capacitancia para R=10K. Ahora con el valor de la resistencia de 10 K, se obtiene una mejor respuesta del circuito a cambios del capacitor a una frecuencia de 1MHz, ya que el voltaje de salida cambia de 750 mVp a 80 mVp cuando el capacitor vara de 10 pF a 200 pF.

[2] [3] Figura 11. Respuesta a la capacitancia para R=100K. Ahora con el valor de la resistencia de 100 K, se obtiene una mejor respuesta del circuito a

Fecha de consulta: 7 de Mayo del 2009. Maher Bakri-Kassem and Raafat R. Mansour. A Wide Tuning Range MEMS Variable Capacitor. University of Waterloo, Waterloo, Ontario, Canada. CWMEMS Abstract.

[4]

Quad Precision Op Amp (LT1014), Dual Precision Op Amp (LT1013) Datasheet, Linear Technology en http://www.lineartech.com/prod/datasheet.html? datasheet=155