MECA-H-501 Composants microtechniques

Comsol Multiphysics
Introduction
Le logiciel Comsol, anciennement appel FEMLab, est avant tout un outil de rsolution dquations aux drives partielles par lments finis. Sa particularit est de disposer dune base de donnes dquations permettant de modliser diffrents phnomnes physiques, comme llectrostatique, lcoulement de fluides ou encore la dformation des matriaux. Dvelopp initialement comme une toolbox de Matlab, il dispose aujourdhui de son propre environnement graphique permettant la fois le dessin des gomtries et laffichage de rsultats en post-traitement. Sa spcificit est galement de permettre de coupler diffrentes EDP, de manire dcrire des phnomnes multiphysiques, particulirement adapt au micromonde. Il est ainsi possible dobtenir la dformation dune membrane de la pression dans un liquide par exemple. Ou encore llvation de temprature dans un conducteur de au passage dun courant lectrique. Des fonctions avances permettent dentrer manuellement des EDP spcifiques. De plus, les donnes du logiciels sont accessibles depuis Matlab, ce qui permet la ralisation de scripts.

Prsentation gnrale du logiciel

Pour accder au logiciel, connectez vous sur une machine en utilisant le compte tpcomsol. Lancez le logiciel en double-cliquant sur licne COMSOL Multiphysics. Pensez galement crer un rpertoire avec votre nom sur le rpertoire /Comsol qui se trouve sur le serveur. Au dmarrage du logiciel, le navigateur de modle apparait. Cest lui qui permettra de dfinir le ou les modles physiques qui seront utiliss. Cest aussi ici que la dimension de lespace est choisie (2D, 2D axisymtrique, 3D, ...). Pour chacun des modles, il est prcis quelles sont les variables, et quel est le suffixe propre ce modle. En effet, Comsol cre automatiquement des variables pour chaque modle. Ces variables sont toujours suffixe par le nom du modle auquel elles sont rattaches. Par exemple Ex_es est la composante en x du champ lectrique dans le modle lectrostatique . Il y a lieu de faire attention la casse lorsquon fait rfrence ces variables. Lorsque le ou les modles ont t choisis, lcran gnral de Comsol apparait. Dune manire gnrale, lors de la cration dun projet, il faut parcourir le menu en allant de gauche droite. Nous allons donc dabord construire la gomtrie du problme. On dfini ensuite le comportement des domaines en leur associant des proprits. Ensuite, on impose des conditions sur certaines frontires, et ventuellement sur certains points. Cette opration est refaire pour chaque modle utilis dans le projet. Une fois la physique du problme pose, il faut effectuer le maillage de la gomtrie. Il est possible de faire un raffinement local du maillage.

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Travaux pratiques

Il ne reste ensuite plus qu simuler le projet. Toutes les inconnues sont alors dtermines. Il est possible de les afficher dans la fentre de post-processeur. Lutilisateur peut choisir quelles variables il dsire reprsenter, et sous quelle forme.

Exercice introductif
Au cours de cet exercice, nous allons tenter de simuler le comportement dun actionneur lectrostatique simple. Il sagit dune poutre encastre qui se dforme sous laction des forces lectrostatiques. Pour cela, nous allons dabord calculer la distribution des charges et du champ lectrique dans le systme, puis nous utiliserons un module de RDM qui nous donnera la dformation de la poutre en fonction des forces appliques sur celle-ci.
Choix du modle

Nous allons commencer par ltude du champ lectrostatique. Lancez donc le module Electromagnetics/electrostatics dans le navigateur de modle. Nous allons ici nous limiter une tude 2 dimensions.
Observez le nom des variables dpendantes et le nom de lapplication qui seront gnrs.

Gomtrie

La premire chose faire une fois le programme ouvert est de dessiner la gomtrie de notre systme :

Remarquez que chacun des rectangles que vous dessinez peut tre dit. Chaque figure reoit un nom par dfaut.

Introduction des proprits des domaines

Le but est ici de dfinir les paramtres physiques qui dfinissent le domaine : constante dilectrique, charges volumiques, etc. Les paramtres sont videmment lis au modle physique tudi. Il est galement possible dcarter un des domaines du modle tudi. Une bibliothque de matriaux est disposition dans Comsol. Les deux lames sont en aluminium tandis que le bloc entre les deux sera en verre. Le dernier domaine est constitu dair. Remarquez que si aucune proprit concernant le matriau utilis nest pertinente pour le modle tudi, les valeurs prcdentes seront conserve ! On considrera dans notre exemple quil ny a pas de charge despace. Composants Microtechniques 2/5 Travaux pratiques

Explorez les diffrents onglets pour voir les diffrentes options proposes.

Introduction des conditions aux limites

Pour rsoudre les EDP, il est ncessaire de dfinir un certain nombre de conditions aux limites cohrentes. A chaque frontire de domaine est associ un segment orient. Il est possible de donner des valeurs de condition aux limite pour chacun de ces segment. Les options seront diffrentes suivant quil sagisse ou non dune frontire intrieure au systme. Attention : Remarquez dj que comme les frontires sont orientes, les normales aux frontires ne seront pas ncessairement des normales extrieures... Les conditions doivent tre choisies de manire ce que la lame suprieure soit porte un potentiel de 10V et la lame infrieure soit porte la masse.
Choisissez de manire pertinente les diffrentes conditions aux limites. Vous pourrez les changer plus tard, de manire voir leur influence.

Maillage des domaines

Le maillage des domaines est automatique. Il est possible de le raffiner globalement ou de manire localise.
Ralisez le maillage automatique du systme, et affinez-le globalement une fois.

Rsolution du problme

Lorsque le problme est compltement dfini, il ne reste plus qu le rsoudre ! Il est possible daccder des menus pour paramtriser la rsolution. De mme, lors de la rsolution dun problme multiphysique, il est possible de ne rsoudre que pour une certaine partie des variables.
Essayez de rsoudre le problme. Sil y a des problmes de (conditions aux limites, ...). convergences, il est possible que le problme soit mal pos

Postprocessing : analyse des rsultats

Lorsque le programme a converg vers une solution, il bascule automatiquement vers la fentre de postprocessing, qui permet danalyser les rsultats. Il est possible de les visualiser sont forme de remplissage de couleur, de lignes de courant, de champ de flches, etc...
Essayez quipotentielles, les charges de surface qui apparaissent sur les conditions aux limites pour en voir linfluence. de visualiser les lignes de champ lectrique, les

frontires, ... Vous pouvez ventuellement changer les types de Cette reprsentation vous parat-elle raliste ? Que ce passe-t-il si vous dcidez de modifier la taille de la grande bote ?

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Remarquez quon a ici accs au nom de certaines variables, ce qui peut constituer un aide mmoire utile et facilement accessible !

Enrichissement du modle

Nous allons prsent enrichir le modle en incluant la dformation de la lame suprieure sous laction des forces lectrostatiques. Pour cela, nous allons utiliser une formulation de rsistance des matriaux. Lintrt tant ici dajouter un nouveau modle et non de remplacer le modle lectrostatique.
Lancez le navigateur de modles depuis le menu multiphysics. Selectionnez le modle Structural Mechanics/Plane Stress/Static

analysis et puis cliquez sur Add.

La gomtrie utilise sera bien entendu la mme que pour ltape prcdente. On peut donc directement passer la paramtrisation du domaine.
Introduction des proprits des domaines

Dans la barre de titre de lapplication, vous voyez lindication du modle actif actuellement (ps pour plane stress, es pour electrostatics). Lorsque vous tes dans le mode plane stress , il faut entrer les paramtres relatifs aux diffrents domaines, comme pour le modle lectrostatique. Remarquez que les paramtres ne sont videmment plus les mmes. Dans notre exemple, nous nous intresserons aux contraintes et dformations sur les parties solides. Le domaine contenant lair ne doit donc plus tre inclu dans ce modle.
Introduisez les paramtres des matriaux pour les diffrents domaines. objets ? Comment feriez-vous pour tenir compte du poids propre des

Introduction des conditions aux limites

Regardez les diffrents types de conditions aux limites que vous pouvez introduire. Le ct gauche et le dessous de la lame du bas sont supposs tre fixes. La lame du dessus est soumise aux forces lectrostatiques. situation. Introduisez les conditions aux limites pertinentes pour dcrire cette

Analyse des rsultats

Rsolvez le modle multiphysique et regardez les rsultats: Affichez les dformations de la surface et des frontires. Affichez les contraintes dans les matriaux. Que se passe-t-il si vous augmentez ou diminuez la raideur du bloc entre les deux lames ? Affichez le champ lectrostatique et les charges. Cette rpartition est-elle correcte ? Pourquoi ?

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Exercices complmentaires
Laide de comsol contient un certain nombre dexercices suivis. Suivant les modules que vous utiliserez pour votre projet, il peut tre utile de regarder les exemples correspondants. Lexemple concernant la simulation dune pompe pristaltique combine plusieurs fonctionnalits intressantes.

Projets
Dflection dune membrane pour actionnement. Rfrence : konishi06. Valve lectrostatique : dflection dune membrane par application de forces lectrostatiques et mesure de la perte de charge par obturation du canal fluidique). Rfrence . Rfrence : wijngaart02 Dflection dune membrane par chauffement lectrique (rsistance augmente la T dun gaz, qui se dilate et pousse sur une membrane). Rfrence : takao04. Etude de microdiodes fluidiques (tude 2D, 3D, influence de paramtres : viscosit, densit, comparaisons de gomtries). Rfrence : anduze01 Fonctionnement dune valve passive de type cantilever (estimation de la dflection maximale de la poutre en fonction des conditions dcoulement (sens, dbit) et des paramtres du fluide (densit, viscosit)...) Rfrence : koch97 Modlisation dune balance cols flexibles.

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