Muchos procesos de microelectrnica, como la deposicin de films finos por CVD, as como, plasma etching, sputtering y evaporizacin, son

realizadas en cmaras de vaco en regmenes de presin reducida y o en ambiente con flujo de gases. Es importante por tanto, para la mejor comprensin de estos procesos el conocimiento de la terminologa de vaco. Comportamiento de los gases en el vaco Las molculas del gas en una cmara se movilizan de forma aleatoria sin ninguna direccin preferencial (tal como lo vemos en la figura a continuacin), pues en estado gaseoso, las molculas son ms independientes una de la otra. El estado del gas es descrito por las siguientes caractersticas: especie y masa del gas, el volumen de la cmara que contiene el gas, la presin y la temperatura del gas. La presin ejercida por el gas sobre las paredes de la cmara es causada por las colisiones de las molculas del gas con las respectivas paredes. bombas de vacio

Figura : Gas en equilibrio en una cmara El comportamiento del gas en vaco puede ser descrito utilizando el concepto de gas ideal. Un gas ideal es un gas cuyo estado es tal que el volumen total de todas las molculas es despreciable comparado con el volumen de la cmara en que estn contenidas y la energa de atraccin entre las molculas es despreciable comparada con la energa trmica promedio del gas. En un gas ideal el volumen, la presin y la temperatura estn relacionadas por: p.V = cte , si T = cte ; ley de Boyle y Mariott p/T = cte , si V = cte ; ley de Gay-Lussac V/T = cte, si p = cte ; ley de Gay-Lussac y pV = nRT ; ley de Boyle / Gay-Lussac

donde R = 8.314 J/K.mol (constante molar de los gases) En un gas ideal las molculas gaseosas son tratadas como si fueran minsculas esferas de masa m movindose en direcciones aleatorias. La figura anterior ilustra el movimiento molecular del gas en una cmara de volumen V, conteniendo N molculas. La densidad n de molculas en el gas es n = N/V. Debido al gran nmero de colisiones entre las molculas y de estas con las paredes internas de la cmara, las velocidades estn continuamente cambiando de direccin y valor. Bombas de vaco para refrigeracin En la mayor parte de los equipamiento de refrigeracin salvo la refrigeracin electrnica o refrigeracin por absorcin, circula un gas refrigerante en alta presin. Este gas, que muchos conocen como Freon, debe ser lo ms puro posible. La actual forma como se logra insertarlo en un aparato de refrigeracin, de forma de mantener la pureza, es evacuando antes el aire y la humedad que existen en las tubulaciones para solo entonces colocar el gas refrigerante. Para ello se utiliza una bomba de vaco. La bomba de vaco tiene un funcionamiento bastante parecido con una bomba de agua, solo que en vez de agua extrae agua y humedad que se contiene. Cuanto ms potente sea una bomba de vaco ms rpido esta lograr alcanzar un nivel adecuado para la colocacin de gas refrigerante en el aparato. La eleccin de una bomba de vaco es realizada en trminos de su flujo en CFM (pies cbicos por minuto). Las ms comnmente encontradas son las de las siguientes capacidades:

1,5 CFM, bomba de vaco para sistemas domsticos 3 a 5 CFM bomba de vaco para sistemas comerciales 10 a 15 CFM bomba de vaco para sistemas de gran porte

Bombas de Vaco * Ambiente de vaco: dividido en varias franjas * No existe bomba capaz de bombear una cmara en toda su extensin, o sea, de la presin atmosfrica para el alto vaco o ultra alto vaco * Existen muchas bombas pero cada cual opera efectivamente entre los niveles de presin especficos * La figura debajo muestra las franjas de presin operativa de una variedad de bombas de vaco.

Regin de Presin de las Bombas de Vaco

Para bombear desde la presin atmosfrica hacia el alto vaco, se utiliza inicialmente una bomba de vaco primario para la evacuacin de la cmara hasta la regin del medio vaco y entonces, con la bomba de alto vaco se hace el bombeo hasta la presin de alto vaco. Bsicamente las bombas de vaco pueden ser clasificadas en dos diferentes categoras:

Bombas de transferencia Bombas de captura En el primer caso, la bomba simplemente transfiere el gas bombeado desde una regin del sistema de vaco hacia la otra. Por ejemplo de una cmara para un tubo de escape que canaliza el gas hacia afuera del ambiente. En las bombas de captura las molculas del gas por ellas bombeado quedan atrapadas en las propias bombas Dos factores de gran importancia en las bombas de vaco: a) b) la presin ms baja que una bomba puede alcanzar generalmente se llama presin final la calidad del vaco producido.

Con relacin a este ltimo aspecto, algunas bombas de vaco, como las bombas de difusin, pueden emitir vapores de aceite hacia el interior del sistema de vaco, lo cual para algunas de sus aplicaciones no es tolerado. La seleccin de la bomba de vaco debe ser definida por parmetros como: presin deseada, intervalo de presin, la velocidad de bombeo y la presin de escape. a) Presin deseada: Presin mnima en la boca de la bomba b) Intervalo de presin: es aquel en el cual la bomba puede bombear c) Velocidad de bombeo: no es constante, sin embargo es funcin de la presin. d) Presin de escape: es la presin a travs de la cual la bomba puede ser operada, que se presenta de tres formas diferentes: 1. Bombeo a partir de la presin atmosfrica, como por ejemplo las bombas rotativas de paleta. 2. Bombeo a partir de presiones bien por debajo de la presin atmosfrica, como por ejemplo la bomba difusora, roots y la turbomolecular 3. Inmovilizacin del gas, por ejemplo, la bomba de absorcin y la de ionizacin, que solo pueden ser encendidas cuando la presin de la cmara est lo suficientemente baja.