Métrologie Des Surfaces

Mtrologie des surfaces
par
Patrick BOUCHAREINE
Ancien lve de lcole normale suprieure
Professeur lcole suprieure doptique et lUniversit Paris-Sud
1.
tats de surface et carts de forme ...................................................
2.
Frquences spatiales deux dimensions..........................................
3.
3.1
3.2
carts de forme ........................................................................................

Contrles de circularit ...............................................................................
Contrles de rectitude .................................................................................
3.2.1 Gnralits ..........................................................................................
3.2.2 Mthode optique par lunette autocollimatrice.................................
3.2.3 Mesure de rectitude par interfromtrie laser .................................
3.2.4 Fonction de transfert dun palpeur en deux points .........................
3.2.5 Planit et rectitude............................................................................
Contrles de surfaces optiques par la lumire .........................................
Contrle de surfaces optiques par interfromtrie...................................
Contrle des plans optiques par linterfromtre de Fizeau....................
3.5.1 Gnralits ..........................................................................................
3.5.2 Mesures de rectitude et de planit indpendantes
de la rfrence .............................................................................................
4
4
4
4
5
5
6
6
7
7
8
8
Contrle des dfauts de courtes priodes spatiales.

Profilomtrie par faisceau laser ..........................................................
10
Rugosit......................................................................................................
Paramtres de rugosit ...............................................................................
Mthodes mcaniques par palpeur ...........................................................
5.2.1 Gnralits ..........................................................................................
5.2.2 Filtrage li au palpeur mcanique.....................................................
talonnage des palpeurs pour la mesure des rugosits ..........................
Mthodes optiques......................................................................................
5.4.1 Gnralits ..........................................................................................
5.4.2 Palpeurs optiques diffrentiels..........................................................
11
11
11
11
11
12
13
13
14
Au-del de la rugosit, les nouvelles microscopies,

sondes de surface ....................................................................................
14
15
3.3
3.4
3.5
4.
5.
5.1
5.2
5.3
5.4
6.
7.
Conclusion .................................................................................................
Pour en savoir plus .........................................................................................
R 1 390 -
Doc. R 1 390
a surface dun solide est un domaine deux dimensions o se situent les

interactions du solide avec le monde extrieur. La physique des surfaces a
beaucoup progress en cette deuxime moiti du vingtime sicle, et de nombreux domaines dactivits industrielles sont directement concerns par cette
discipline. Cest la surface dun solide que se produisent les ractions chimiques qui la font voluer et que se manifestent les phnomnes de frottements,
dusure, des adsorptions de contaminants divers. Depuis la mtrologie des masses jusquau fonctionnement des paliers, depuis les tats rectifis des surfaces
mcaniques jusquau superpoli des surfaces optiques, la mtrologie des surfaces joue un rle essentiel dans le contrle de composants mcaniques, optiques
ou lectroniques.
Toute reproduction sans autorisation du Centre franais dexploitation du droit de copie est strictement interdite.
Techniques de lIngnieur, trait Mesures et Contrle
R 1 390 1
MTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________
Les proprits d'une surface sont extraordinairement nombreuses et

complexes. On cherche les caractriser par des paramtres simples qui ne
donneront bien videmment jamais une reprsentation complte de ces proprits. C'est pourquoi l'exprience est essentielle pour pouvoir dduire des observations la rponse la question : la surface remplira-t-elle correctement ses
fonctions ?
Dans la plupart des normes qui traitent des surfaces, l'examen visuel et tactile
est souvent le premier cit. Quoique qualitatif, il reprsente souvent une synthse de paramtres difficilement quantifiables par d'autres moyens : texture,
teinte, aspects en lumires diverses, sensations mcaniques et thermiques.
Comme pour un mdecin qui sait voir dans une radiographie ou un scanner les
lments qui lui permettront de dterminer son diagnostic, l'exprience seule
permet un ingnieur ou un technicien de tirer des images directes ou indirectes mises notre disposition par l'instrumentation moderne, les conclusions sur
la conformit de la surface un cahier des charges particulier.
Nous analyserons dans cet article diverses mthodes qui permettent de caractriser les surfaces par leurs proprits gomtriques macroscopiques (forme :
rectitude, planit ou circularit), et microscopiques (rugosit). Nous dcrirons
quelques instruments permettant d'accder ces proprits et nous en citerons
d'autres comme les microscopes en champ proche ou les microscopes force
atomique.
Nota : nous ne parlerons pas de toute une catgorie d'analyses physico-chimiques des surfaces que l'on trouvera dcrites
en particulier dans le volume Analyse et Caractrisation :
Microscopie optique ;
Microscopies lectroniques ;
Microscopie ionique effet de champ ;
Analyse par mission ionique secondaire (SIMS) ;
Spectroscopie des lectrons Auger ;
Spectroscopie de photo lectrons : XPS ou ESCA et UPS.
On trouvera ailleurs une description plus complte des microscopes effet tunnel (Techniques de l'Ingnieur, [P 895]).
1. tats de surface
et carts de forme
(en anglais waviness ) qui rassemble les dfauts dont les

priodes spatiales sont comprises entre quelques centaines de
micromtres et quelques millimtres.
Rugosit et ondulation traduisent ce que lon appelle ltat de
surface.
Pour caractriser la gomtrie dune surface, on sintressera aux variations de la cote z (x, y ) localement normale la surface moyenne en fonction des paramtres x et y de position sur la
surface, et ce, diffrentes chelles.
lchelle de la globalit de la pice, on sintresse aux carts
de la surface moyenne par rapport une surface idale de forme
simple : plan, sphre, cylindre ou cne par exemple. Dans cette
tude des carts de forme, on fera abstraction de la rugosit en dfinissant une surface moyenne locale.
Ces notions sont illustres sur les enregistrements de la

figure 1. Sur la figure 1a on trouve le profil de surface enregistr par
palpeur mcanique suivant une ligne droite. On y dcle bien des
dfauts de natures diverses, mais il nest pas possible dy dfinir
quantitativement et sparment rugosit, ondulation et carts de
forme. On sent bien intuitivement que la rugosit se manifeste localement courte chelle, quune tendance des courbures se dessine sur lensemble de la pice, et que des courbures locales
apparaissent indpendamment.
Les carts de forme par rapport une droite sont donns par
lenregistrement de la figure 1b. On y a supprim toutes les frquences spatiales suprieures 0,5 mm1, cest--dire toutes les
priodes spatiales infrieures 2 mm.
Lenregistrement de la figure 1d est au contraire celui do lon
a limin toutes les variations dont la frquence spatiale est infrieure 3 mm1, cest--dire toutes les priodes spatiales plus grandes que 333 m. Il met en vidence la rugosit de la surface.
Londulation est la courbe donne par la figure 1c du profil de
surface do sont limins par un filtre passe-bande entre 0,5 et
2 mm1 les carts de forme et la rugosit.
Ces priodes et ces frquences spatiales ont t choisies ici arbitrairement. Les valeurs limites des frquences spatiales sont
susceptibles de changer en fonction des applications, mais le principe de ces filtrages est fondamental pour comprendre et caractriser un profil de surface. Nous faisons dans le paragraphe suivant
quelques rappels sur ces notions, compliques ici par le fait que
nous sommes dans un monde deux dimensions.
une chelle microscopique (quelques micromtres ou quelques

dizaines de micromtres en x et y ), il sagira de ce que lon appelle
la rugosit, que lon ntudiera gnralement pas sur toute la
surface, mais sur quelques chantillons judicieusement distribus.
Cela pourra tre un lment de surface dont on donnera une image
deux dimensions ou une ligne analyse suivant une dimension.
On voit l une difficult fondamentale dans ltude des priodes
des dfauts pris en compte. Les carts une surface simple idale
sont variables suivant que lon prend ou non en compte des dfauts
de priode spatiale particulire. On appellera carts de forme les
carts de la surface relle localement lisse, par rapport la surface
idale. On appellera rugosit les carts par rapport une surface
lisse mais qui suit les carts de forme de la surface relle. Et entre
les dfauts de rugosit qui ne prennent en compte que les dfauts
de courtes priodes spatiales, cest--dire de grandes frquences
spatiales, et les carts de forme qui ne prennent en compte que les
dfauts de grandes priodes spatiales, cest--dire de petites
frquences spatiales, on distingue ce que lon appelle londulation
R 1 390 2
____________________________________________________________________________________________________________ MTROLOGIE DES SURFACES
z (nm)
20
10
0
10
20
30
0
10
15
20
x (mm)
a profil de surface
z (nm)
0
10
0
10
15
20
x (mm)
b carts de forme
Figure 2 Deux frquences spatiales bidimensionnelles
de mme priode et de directions diffrentes. Toute fonction
des paramtres x et y peut se dcomposer en une superposition
de telles ondes qui est son spectre deux dimensions
z (nm)
10
0
10
0
10
15
20
x (mm)
c ondulation
z (nm)
10
0
10
0
10
15
20
x (mm)
d rugosit
Figure 1 Profil complet, carts de forme, ondulation et rugosit

dune surface enregistrs sur une ligne
2. Frquences spatiales
deux dimensions
La notion de frquences spatiales est trs utile pour comprendre
la structure gomtrique dune surface. Cette notion est complique
par le fait que nous sommes deux dimensions, et deux frquences
de mme priode peuvent diffrer par leur direction (figure 2). La
reprsentation dune fonction deux dimensions par son spectre

est moins intuitive que celle dun signal temporel, mais le formalisme mathmatique de la transformation de Fourier est tout fait
comparable.
Les notions de fonction dautocorrlation et de densit spectrale
de puissance, bien connues pour les signaux temporels une
dimension, sont directement transposables la caractrisation
gomtrique dune surface deux dimensions. Une description
complte de la morphologie dune surface passe donc par la densit
spectrale de puissance de ses carts la surface idale, qui est
donne par la transforme de Fourier de sa fonction dautocorrlation. Nous verrons ( 5.4) une mthode danalyse des tats de
surface par diffusion de la lumire qui, dans certaines conditions,
donne directement la densit spectrale de puissance des rugosits
dans un domaine bien dfini de frquences spatiales.
Toute la difficult dans lvaluation des paramtres gomtriques
dune surface est de dfinir les domaines de frquences spatiales
attribus aux trois catgories de dfauts que nous avons distingues. Les exemples donns sur la figure 1 sont obtenus par
filtrage numrique, cest--dire que les fonctions de transfert sont
connues exactement (voir les valeurs donnes dans le paragraphe
prcdent). Les signaux enregistrs dans la pratique sont traits par
des filtres analogiques, mcaniques ou lectriques, dont les fonctions de transfert ne sont pas bien connues, voire nexistent pas si le
processus de lecture nest pas linaire. Cest, bien plus que ltalonnage des capteurs utiliss pour mesurer les trs petits carts z (x,
y ), la raison essentielle des dsaccords dans les comparaisons sur
les tats de surface et les carts de forme.
Fonctions dautocorrlation et transformations de Fourier deux
dimensions sont tout fait analogues ce que lon connat une
dimension. Lorsque la surface est isotrope, cest--dire lorsque ses
proprits statistiques ne dpendent pas de la direction des
frquences spatiales, on peut ramener le problme une dimension
en analysant une ligne de la surface.
R 1 390 3
3. carts de forme
Deux types de formes sont essentiellement contrls en optique
et en mcanique : les plans dune part, les sphres et les cylindres
de rvolution ou tampons et bagues dautre part. Ces formes
donnent lieu deux types de mesures : les mesures de rectitude et
de planit dune part, les mesures de circularit dautre part.
Capteur submicromtrique
chantillon
Les tampons et les bagues lisses utiliss comme rfrences en

mcanique donnent lieu des mesures de circularit autour de leur
axe et des mesures de rectitude le long de leurs gnratrices.
Table tournante sur coussin fluide
3.1 Contrles de circularit

Les contrles de circularit sont indispensables pour les pices
mcaniques symtrie de rvolution, en particulier pour les bagues
et les tampons talons, dont on ne mesure que quelques diamtres.
La mesure de ces diamtres jointe une tude des dfauts de circularit donne une connaissance beaucoup plus complte de ces
talons.
Dans une mesure de circularit, on fait tourner la pice ou un
palpeur de grande sensibilit autour dun de ses axes de rvolution,
et on vrifie avec le palpeur que la cote tudie reste constante
(figure 3). Les palpeurs ont une sensibilit de lordre de quelques
dizaines de nanomtres, mais une dynamique gnralement
restreinte (quelques dizaines ou centaines de micromtres). Une
des difficults de ce type de contrle est dassurer la coaxialit de
laxe de rotation de la machine avec laxe de rvolution de la pice.
Une des limitations lexactitude de ce type de mesure est la qualit
de la rotation de la machine de contrle, laquelle peut tre amene
supporter des pices de grandes dimensions et de forte masse
(quelques centaines de millimtres de diamtre, plusieurs kilogrammes ou dizaines de kilogrammes). Les paliers air ou huile
permettent dexcellentes performances. La stabilit de la rotation
est vrifie grce des sphres de rfrence dont les dfauts de
sphricit peuvent descendre au-dessous de quelques centimes de
micromtre. La sphre est en effet la forme gomtrique que lon
sait le mieux approcher par usinage.
Nota : au dbut de ce sicle les physiciens ont ralis des prouesses pour mesurer le
volume dun cube de quartz afin de dterminer la masse du dcimtre cube deau par la
pousse dArchimde. Cest maintenant sur des sphres de silicium que lon espre amliorer la connaissance de la masse volumique de ce matriau pour en dduire la masse
dun atome de silicium, et donc amliorer la connaissance de la constante dAvogadro.
Cest une sphre de silice qui permet de dceler les dfauts de

rotation des machines de contrle. En faisant tourner la pice par
rapport la machine, ce contrle permet de corriger ces dfauts,
avec une prcision limite par la rptabilit de la mise en place de
la pice sur la machine et par les fluctuations des dfauts de rotation
de la machine. Ceux-ci se combineront au hasard avec les dfauts
de circularit des pices tudies, tantt en sy ajoutant, tantt en
sen retranchant, ce qui se traduit en moyenne par une addition
quadratique des dfauts de circularit de la pice tudie et des
dfauts de rotation de la machine de contrle.
Prenant en compte les dfauts des machines, ceux des sphres
talons, et ltalonnage des palpeurs, le contrle des dfauts de
circularit des pices mcaniques seffectue avec des incertitudes
de lordre de quelques diximes de micromtre sur des diamtres
allant jusqu quelques centaines de millimtres.
Le rsultat dune mesure de circularit apparat gnralement sur
un enregistrement graphique qui nest pas toujours facile interprter (figure 4). En effet le rayon de la pice est soustrait pour ne
faire apparatre que les variations de rayon avec une sensibilit
suffisante. Pour talonner le capteur, on fait parfois usage dun
cylindre mplat, qui engendre un dfaut damplitude connue. Sur
la figure 4 on voit ainsi lenregistrement dune pice avec ses
dfauts (figure 4a ) et celui dun cylindre mplat prsentant un
R 1 390 4
Figure 3 Machine pour contrle de circularit
a les dfauts de la pice sont

artificiellement augments
par la soustraction du rayon
de la pice
b enregistrement dun cylindre

mplat pour ltalonnage
du capteur
Figure 4 Enregistrements sur une machine de contrle

des dfauts de circularit
mplat de 0,25 m. cause de lamplification dchelle sur la

mesure du dfaut, lallure du mplat na rien voir avec son aspect
rel (figure 4b ). Sur les instruments actuels, lenregistrement
graphique est accompagn dun traitement numrique des donnes
qui permet de dterminer les cercles inscrits et exinscrits do
seront extraits les paramtres caractrisant les carts de circularit.
Il est noter que dans cette mesure, le filtrage des dfauts de courte
priode spatiale comme les rayures ou les poussires pose les
mmes problmes que pour distinguer la rugosit, les ondulations
et les carts de rectitude. Cest un filtrage exprim ici en nombre
dondulations par tour qui permettra de comparer diffrents
contrles de circularit.
3.2 Contrles de rectitude

3.2.1 Gnralits
Les dfauts de rectitude sont galement tudis par palpeur avec
une machine qui dfinit elle-mme une translation rectiligne pour le
palpeur. Mais ici nous allons voir que les dfauts de la machine
peuvent tre dtermins et corrigs, et cela sans mme quil soit
ncessaire de disposer dune rfrence de rectitude.
L
x
Miroir plan
signal s1 (x)
,
,
Source et objet ponctuel

(rticule, croise de fils)
Objectif
Observateur
ou systme
dtecteur
dimage
Figure 6 Mesure de dfauts de rectitude par lunette

autocollimatrice
L
signal s2 (x)
Figure 5 Auto-talonnage des dfauts de rectitude dune machine

par retournement de la pice tudie
En effet supposons que la translation du palpeur sur la longueur

L de la pice contrler soit entache dun dfaut z0(x ) en fonction
du dplacement de longueur x, x variant de 0 L. La pice est ellemme entache dun dfaut de rectitude caractris par un cart
z1(x ).
Le dfaut mesur par la machine sur la pice sera la somme
z0(x ) + z1(x ) et sera enregistr sous la forme dun signal s1(x ).
Si nous effectuons sur la mme pice la mme mesure de rectitude aprs retournement du palpeur et de la pice par rapport
la machine, sans toucher au dispositif de translation, on saperoit
que les dfauts de la machine jouent en sens inverse, cest--dire
avec la mme valeur mais avec le signe contraire, sur les dfauts
de la pice (figure 5). On enregistre un deuxime signal s2(x ) qui
est cette fois la diffrence z0(x ) z1(x ).
De ces deux mesures on voit que lon extrait, indpendamment
de toute rfrence de rectitude, les valeurs du dfaut z0(x ) de la
machine et du dfaut z1(x ) de la pice tudie :
1
z 0 ( x ) = --- ( s 1 ( x ) + s 2 ( x ) )
2
1
z 1 ( x ) = --- ( s 1 ( x ) + s 2 ( x ) )
2
Il restera comme incertitude sur lvaluation du dfaut de rectitude de la pice lincertitude due aux dfauts de justesse du palpeur,
aux incertitudes sur la mesure de x et aux dfauts de rptabilit de
la machine.
Toutefois, cette mthode ne permet pas de corriger la flexion de la
pice qui change de signe lorsque la pice est retourne. Cette
flexion sera minimise par un support adapt la longueur tudie
(support aux points dAiry, symtriquement disposs 0,577 de la
longueur de la pice) ou par une rpartition uniforme de la force
dappui. Elle pourra ventuellement tre corrige par le calcul, si
lon connat les paramtres mcaniques du matriau.
sont ainsi dtectes avec une sensibilit qui ne dpend que du

diamtre du faisceau et de la longueur donde de la lumire.
Des lunettes lectroniques associes des dtecteurs deux ou
quatre quadrants, ou des barrettes ou des matrices de photodiodes, atteignent des performances dix fois meilleures, si les
conditions denvironnement le permettent. A cette prcision de
point, il faut en particulier se protger des fluctuations lies la
turbulence atmosphrique. Le dplacement du support du miroir
sur le banc ou la glissire permet de dtecter les variations de
pentes entre deux points distants de < , distance entre les points
dappui du support.
Cest la diffraction de la lumire par lobjectif de la lunette (ou par
le miroir si celui-ci ne couvre pas lobjectif) qui impose une limite
fondamentale la sensibilit de la mesure :
un miroir rectangulaire de hauteur D uniformment clair par
un faisceau lumineux de longueur donde moyenne donne une
tache de diffraction dont la largeur angulaire mi-hauteur est peu
prs gale /D ;
un miroir de section circulaire de diamtre D, clair par un
faisceau lumineux de longueur donde moyenne donne une tache
de diffraction dont la largeur angulaire mi-hauteur est peu prs
gale 1,22 /D.
Ces largeurs sont la distance entre le maximum de la tache de
diffraction et le premier zro, cest peu prs le diamtre de la tache
lumineuse la moiti de son intensit maximale. Un diamtre de
50 mm dans le jaune donne une largeur angulaire gale 5.105 rad,
soit 10, que lon peut pointer assez facilement au dixime de sa
largeur (1) par point visuel, plus difficilement au centime de cette
largeur avec une lunette quipe dun dtecteur dimage (barrette
ou matrice de diodes).
3.2.3 Mesure de rectitude par interfromtrie laser

Sur le mme principe que la lunette autocollimatrice ( 3.2.2),
mais avec une sensibilit un peu meilleure, linterfromtrie laser
permet de mesurer le basculement dun ensemble de deux coins de
cube dont les sommets sont distants de D. Cest la variation de
chemin optique entre les deux faisceaux que lon mesure quelques centimes de micromtres prs, ce qui conduit une incertitude sur les variations de pente du marbre de lordre de quelques
diximes de seconde dangle (figure 7).
3.2.2 Mthode optique par lunette

autocollimatrice
Une technique trs puissante pour valuer les dfauts de rectitude dun banc ou dune glissire met en jeu une lunette autocollimatrice qui forme linfini limage dun objet ponctuel (croise de
fils) que lon observe avec la mme lunette par rflexion sur un
miroir plan dont le support se dplace sur le banc ou la glissire
(figure 6). Les variations de pente locale du banc ou de la glissire
Figure 7 Systme interfromtrique laser pour le contrle

de rectitude
R 1 390 5
1
1
0,8
dz
0,6
dz est lamplitude du dfaut, sa priode, est langle dtect par
0,4
une lunette autocollimatrice ou par un autre dispositif de mesure

angulaire
0,2
0
0
/D
Figure 8 Comparaison entre la tache de diffraction dun miroir

rectangulaire (1) et la fonction interfrentielle dun systme laser
deux faisceaux (2), la distance D entre les faisceaux tant gale
la hauteur du miroir
La largeur de la tache de diffraction qui limitait la rsolution angulaire dune lunette autocollimatrice est ici remplace par la fonction
dinterfrence entre les deux faisceaux. On peut voir sur la figure 8
que cette fonction sinusodale est plus fine dun facteur approximativement gal 2. Lutilisation de deux faisceaux distants de D au
lieu dune pupille uniformment claire sur une hauteur D conduit
ce que lon appelle de la superrsolution angulaire.
Figure 9 Fonction de transfert des dfauts de forme

pour un palpeur deux points dappuis distants de <
la distance d par rapport au point origine augmente comme la

racine carre de d. Cette mthode prsente en revanche lavantage
de ne pas ncessiter de rfrence. Sa prcision nest limite que par
la rptabilit des mesures.
3.2.5 Planit et rectitude
3.2.4 Fonction de transfert dun palpeur

en deux points
Pour passer des dfauts de rectitude aux dfauts de planit, il

faut prendre quelques prcautions. En effet, des surfaces non
planes peuvent tre rgles, cest--dire contenir des droites. Si tous
les diamtres dun miroir sont parfaitement rectilignes, on peut
craindre que ces diamtres ne se trouvent pas dans un mme plan,
sauf si la pice est de rvolution.
On peut dfinir la fonction de transfert dun procd de mesure

qui chantillonne lobjet en deux points distants de < en fonction de
la priode dun dfaut. Modlisons un tel dfaut damplitude z et
de priode par la fonction :
Pour passer de la mesure des carts de rectitude la mesure des

carts de planit, il faut combiner plusieurs mesures de rectitude et
les recouper convenablement, sans oublier que dans une mesure de
rectitude, laltitude du point de dpart et celle du point darrive sont
arbitraires (figure 10).
z sin 2 x
Pour contrler la planit dun marbre, plusieurs techniques

sappuient sur des mesures multiples de rectitudes.
o x est labscisse depuis une origine arbitraire (figure 9). Le

palpeur, qui prend appui en deux points distants de < , fera un angle
(trs petit) que lon peut crire :
On peut mesurer les dfauts de rectitude sur les quatre cts, les
deux diagonales et les deux mdianes suivant le schma de ce que
lon appelle le drapeau britannique ou lUnion Jack (figure 11a).
Dautres prfrent tracer un quadrillage dont la maille est plus ou
moins serre (figure 11b). Dautres encore prfrent une maille
60 constitue par une srie de triangles quilatraux (figure 12). La
mesure sera dautant meilleure que les lignes sont nombreuses et
se recoupent, introduisant une redondance dans linformation et la
possibilit dvaluer les erreurs de mesures par un rsidu lorsque
plusieurs valuations sont possibles dun dfaut en un mme point
du marbre. Il ne faut pas oublier que, dans la mesure dune rectitude, deux paramtres restent indtermins qui sont la hauteur
moyenne et la pente moyenne sur chaque ligne balaye.
z
(2x + <)
2 x
<
2 ( x + < )
2 z
tan = ------ sin ------------------------- sin ---------- = --------- cos ------------------------- sin ------
<
<
Lamplitude est proportionnelle z / < , ce qui est assez intuitif.
Le cosinus fonction de x varie entre + 1 et 1 tant que est plus petit
que la longueur L tudie, mais lamplitude est attnue par
sin ( < / ).
La fonction de transfert sannule pour toutes les priodes qui
sont sous-multiples de < , cest--dire pour toutes les frquences
spatiales multiples de 1/. La bande passante est donc limite par
1/ < vers les hautes frquences spatiales, et par 1/L vers les basses
frquences spatiales. La forme de la fonction de transfert en fonction de la frquence spatiale 1/ est une suite darcs de sinusode. La
fonction de transfert est ngative pour toutes les frquences
spatiales qui font concider un minimum avec le centre du segment
joignant les deux points du palpeur lorsque ces points sont sur des
maxima du profil. Cette suite est attnue vers les hautes
frquences spatiales par le rle intgrateur des pieds du palpeur.
Le palpeur en deux points introduit donc une limitation la fonction de transfert des frquences spatiales. Un autre inconvnient de
ce palpeur est quon ne mesure que la pente moyenne entre les
deux points dappui du support. Pour reconstituer le profil, il faut
sommer les pentes mesures sur toute la longueur L de lchantillon, et lincertitude sur laltitude dun point de lchantillon situ
R 1 390 6
Figure 10 Planit et rectitude : exemple de surface non plane

dont tous les diamtres sont rectilignes
,
,
,
Source
Miroir
sphrique
contrl
Observateur
Couteau
Figure 11 carts de planit dun marbre

partir de mesures dcarts de rectitude
a
a
b
c
d
le couteau venant de la droite est plac aprs le point de focalisation

le couteau est au point de focalisation
le couteau est avant le point de focalisation, venant de la droite
aberration sphrique : le couteau est entre le foyer paraxial
et le foyer marginal, la courbure tant plus forte au bord
Figure 13 Test de Foucault
Figure 12 carts de planit dun marbre ou dun miroir

par maillage triangulaire des carts de rectitude
3.3 Contrles de surfaces optiques

par la lumire
Loptique est une discipline la fois trs exigeante sur la gomtrie des surfaces, et bien pourvue en moyens trs divers pour le
contrle de ces surfaces.
Le plus simple des contrles est le test de Foucault sur une
surface sphrique qui, sans donner la valeur de son rayon de courbure, dtecte les carts de forme par rapport une sphre parfaite
laide dun simple trou et dun couteau. Un faisceau de lumire est
concentr sur un trou dont le diamtre, infrieur ce qui peut tre
rsolu par le miroir, donne une surface donde incidente sphrique
parfaite. On observe limage de retour forme sur le point source
aprs avoir dvi la lumire par une lame semi-rflchissante, seul
lment susceptible de dtriorer les surfaces donde, mais qui est
de faibles dimensions et de peu de consquences sur le faisceau si
on la place proximit du point de focalisation.
Un couteau coupe latralement le faisceau au voisinage de son
point de focalisation : si le couteau est plac aprs le point de focalisation (sens de propagation de la lumire), on voit une ombre se
dplacer dans le champ dans le sens inverse du dplacement du
couteau (figure 13a ) ; si le couteau est plac avant le point de focalisation, on observe une ombre qui se dplace dans le champ dans
le mme sens que le couteau (figure 13c ). Si le couteau est au
point de focalisation et si le miroir est une sphre parfaite, on voit le
champ steindre uniformment (figure 13b ). Les opticiens savent
reconnatre les principaux dfauts dune surface sphrique aux
aspects pris par le champ de lumire au voisinage de lextinction. La
figure 13d donne lexemple dune aberration sphrique correspondant un rayon de courbure qui augmente sur les bords du miroir.
Le couteau vient ici de la droite et se trouve avant le point de focalisation axial et aprs le point de focalisation du bord de champ.
3.4 Contrle de surfaces optiques par

interfromtrie
Linterfromtrie est un moyen puissant dtude des surfaces
optiques par comparaison une surface de rfrence. Linterfromtre de Michelson a t modifi par Twyman et Green (figure 14)
pour tudier les surfaces planes et sphriques avec une sensibilit
gale quelques fractions de longueurs donde (quelques
centimes quelques diximes de micromtre). On trouvera une
illustration trs spectaculaire de ces techniques dans la rfrence
bibliographique [1] o sont photographis plusieurs systmes de
franges dinterfrences donns par les aberrations les plus classiques de loptique : aberration sphrique, astigmatisme, coma.
,,
,,,
,
Miroir sphrique
Objectif
Source ponctuelle
et monochromatique
Miroir plan
de rfrence
On contrle, par rapport un miroir plan de rfrence, la surface

donde donne par un objectif muni dune surface sphrique
suppose parfaite centre en son foyer.
Si lobjectif est de bonne qualit, il peut servir contrler les
surfaces sphriques centres sur ce foyer.
Figure 14 Interfromtre de Twyman et Green
pour contrler la forme des surfaces donde
R 1 390 7
Camra
Chambre photographique
Pupille
Miroir de
rfrence
Laser
Filtre
29 m
Lame semi-rflchissante
Guide
mlangeur
Lampe
mercure
8,2 m
Transport
Stockage
Doucissage
Polissage et
contrle
La tour est un grand interfromtre de Twywan et Green schmatis

par lagrandissement dans le cercle (daprs document REOSC).
Figure 15 Atelier de polissage et de contrle
des grands miroirs astronomiques
,,,
Condenseur
Cales
talons plans
Support plan
Linterfromtrie sapplique depuis le contrle visuel des touches

planes de machines mesurer laide dun verre plan jusqu celui
des miroirs de 8 m de diamtre polis Saint-Pierre-du-Perray par la
Socit REOSC pour le Very Large Telescope europen en cours
de montage au Chili. La grande tour caractristique de cet atelier
doptique nest autre quun grand interfromtre de Twyman Green
destin comparer la surface du grand miroir poli au niveau du sol
un petit miroir de rfrence situ au sommet de la tour avec la
source et la lame sparatrice. Les trajets optiques se font par aller et
retour sur toute la hauteur de la tour (29 m), double intrieurement
dune deuxime enceinte pour isolation thermique et isolation
mcanique de lensemble du btiment. Un gradient thermique
positif garantit labsence de convection lintrieur de la tour. La
surface des miroirs est ainsi contrle mieux quun dixime de
frange prs (figure 15).
3.5 Contrle des plans optiques

par linterfromtre de Fizeau
Figure 16 Interfromtre de Fizeau pour le contrle de rectitude

des diamtres de plans optiques
(daprs document Institut dOptique Thorique et Applique)
Sur les plans dont le diamtre peut aller jusqu 150 mm, on place
un condenseur qui forme un faisceau de rayons parallles et focalise la lumire rflchie en autocollimation. Par reports dun talon
de 150 mm, on peut observer les franges sur des plans dont le
diamtre va jusqu 300 mm. Une lame semi-rflchissante rflchit
la lumire incidente et transmet la lumire de retour dans un objectif
photographique de 50 mm de distance focale. Cet objectif forme
limage des plans et des franges dinterfrence qui y sont localises
sur une pellicule standard de 35 mm. Ces franges dinterfrence
donnent un clairement fonction sinusodale de la diffrence de
marche entre les rayons lumineux rflchis par la face infrieure de
la lame suprieure et par la face suprieure de la lame infrieure. Si
e est lpaisseur dair entre les deux lames (quelques centimes de
millimtre), lclairement des franges scrit :
E0
2 e
E = ------ 1 + cos ----------
2
3.5.1 Gnralits
Pour ltude des surfaces planes, linterfromtre de Fizeau
(figure 16) est particulirement bien adapt parce quil rduit considrablement linfluence des turbulences atmosphriques en
mettant la surface de rfrence et la surface tudie trs proches
lune de lautre. Nous dcrivons le montage en activit depuis
plusieurs dizaines dannes lInstitut dOptique qui, bien que fonctionnant toujours avec des prises de vues photographiques et
dpouillement manuel des clichs, a t optimis du point de vue
interfromtrique pour atteindre les meilleures exactitudes.
Deux plans en silice se font face, avec un intervalle entre les plans
aussi faible que possible pour viter toute instabilit et toute perturbation atmosphrique. Lintervalle de quelques diximes de millimtre est dfini par des cales en papier tailles en biseau pour
permettre un ajustement de la direction des franges et de leur espacement.
Linterfromtre est clair sous incidence normale par une lampe
vapeur de mercure en basse pression qui garantit la valeur
de la longueur donde quelques millimes de nanomtre prs.
Lhomognit de lclairement est optimise grce un guide de
lumire form par un canon de verre de 5 mm de diamtre et 60 mm
de longueur. Le tout claire un diaphragme de 2,5 mm de diamtre
situ 60 cm des plans.
R 1 390 8
Le montage autocollimateur prsente linconvnient de donner

une tache de lumire parasite rflchie au centre du champ par la
face avant de la lentille de champ et empche dy faire un point.
Cette disposition autour dun angle i = 0 minimise les variations de
la diffrence de marche lies aux variations dincidence sur les
lames. En effet, cette diffrence de marche varie comme 2e cos i qui
est stationnaire au voisinage de i = 0.
On sarrange pour former une frange sombre sur lun des diamtres des lames. On rgle linterfrange une dizaine de millimtres.
En pointant les franges un dixime de millimtre prs, on atteint
ainsi une sensibilit de lordre du centime dinterfrange.
Ce sont les carts de rectitude de la frange sombre qui dterminent les dfauts de rectitude de lun des plans si lon suppose que
lautre est parfait. Pour que lexactitude de la mesure soit la
hauteur de la sensibilit, il faut tre sr que les franges sont bien
localises sur le miroir tudi et il faut limiter en consquence les
angles dincidence admis par le diaphragme. La luminosit du
montage en est rduite, et le temps de pose avec des mulsions
photographiques grain fin est de lordre de 10 minutes.
Le montage exige donc une excellente stabilisation thermique
pour que les diffrences de marche ne varient pas sur cette priode
de plus de un centime de frange. La surexposition de la pellicule
permet un affinement artificiel des franges trs utile pour un
dpouillement visuel des interfrogrammes (figure 17).
0,04
0,02
0
70
50
30
10
10
30
50
70 mm
a calibre non flchi support uniformment sur toute sa surface
0,04
0,02
0
70
Une surexposition de la pellicule dont la rponse est fortement
non linaire donne une finesse artificielle aux franges sombres,
trs utile pour un dpouillement visuel.
Figure 17 Franges dinterfrence deux ondes donnes
par linter-fromtre de Fizeau du laboratoire de mtrologie
de lInstitut dOptique
A cette chelle (le centime dinterfrange reprsente 3 nm sur les

surfaces optiques), il faut tenir compte des dformations lastiques
des miroirs soumis la pesanteur. On verra une diffrence entre un
miroir support en trois points dappui et flchi sous leffet de son
poids (figure 18b ) et un miroir uniformment soutenu sur toute sa
surface (figure 18a ). Pour tre sr quil nest pas dform dans
cette dernire configuration, le miroir infrieur est support par huit
couches de papier velours dont la souplesse permet dadmettre une
uniformit de la pression exerce. Les mesures faites dans cette
configuration et avec trois points dappui ont permis de retrouver la
flexion calculable partir des proprits mcaniques de la silice.
Linterfromtre de Fizeau est aujourdhui utilis commercialement sous de nombreuses formes pour faire des tudes de
surfaces planes, sphriques ou lgrement asphriques. Lexploitation des images de franges est faite intgralement par calcul
numrique, et les diffrents modles proposs aux utilisateurs
diffrent plus par la convivialit et la puissance des logiciels que
par les performances des interfromtres eux-mmes.
Lanalyse des franges peut tre faite de manire statique par
analyse de leur courbure, mais de plus en plus ce sont des dispositifs balayage ( phase shift ) qui sont exploits. En mesurant le signal interfrentiel en chaque point du champ pour
quatre positions (parfois huit ou seize) des lames offrant un
angle de phase en progression arithmtique, on peut par des
algorithmes appropris extraire les variations de phase entre les
diffrents points du champ et reconstruire ainsi la surface tudie relativement la surface de rfrence :
si la surface tudie est un plan, la surface de rfrence est
un plan qui sera suppos parfait ;
si la surface tudie est une sphre ou proche dune
sphre, les interfrences sont observes travers un objectif
suppos parfait au foyer duquel est centre la sphre teste.
Le traitement des donnes permet, grce aux calculateurs
numriques, de donner le profil bidimensionnel de la surface.
On rduira en gnral la surface un nombre plus ou moins
limit de paramtres en dcomposant les carts la surface de
rfrence en polynmes orthogonaux. Les opticiens ont lhabitude dutiliser les polynmes de Zernike qui correspondent aux
aberrations de loptique gomtrique.
50
30
10
10
30
50
70 mm
b calibre flchi support en trois points 120
Lchelle est en interfranges.

Un interfrange vaut 273 nm.
Une graduation vaut 1,1 nm.
La matire est au-dessus, lair en dessous de la courbe.
Figure 18 Relevs sur un diamtre des carts de rectitude dun plan
talon du laboratoire de mtrologie de lInstitut dOptique
3.5.2 Mesures de rectitude et de planit

indpendantes de la rfrence
Comme pour les mthodes mcaniques, les dfauts de rectitude
de la pice de rfrence peuvent aussi tre compenss ( 3.2.1),
mais la symtrie des rles jous par les deux miroirs rend la manipulation un peu plus complique. En effet, on ne peut observer les
franges dinterfrence entre une surface et lautre surface retourne,
parce quil y aurait lpaisseur de la lame entre les deux surfaces, ce
qui dnaturerait compltement les franges dinterfrence. Grce
un ensemble de trois lames, nous allons pouvoir faire des interfrences avec retournement de manire indirecte.
Supposons (figure 19) trois miroirs dont les dfauts algbriques
de rectitude sur un diamtre particulier sont z1(x ), z2(x ) et z3(x ). En
plaant le miroir 1 sur le miroir 2 on enregistre un signal, aprs
dpouillement des franges, qui est gal :
s12(x ) = z1(x ) + z2(x ).

On tudie ensuite la dformation des franges entre le miroir 1 et
le miroir 3, puis enfin entre le miroir 2 et le miroir 3. Les trois
signaux scrivent :
s12(x ) = z1(x ) + z2(x ).

s13(x ) = z1(x ) + z3(x ).
s23(x ) = z2(x ) + z3(x ).
Notons que tous ces signaux s12(x ), s13(x ), s23(x ), z1(x ), z2(x ), et
z3(x ) ne sont dfinis qu une constante prs et un terme linaire en
x prs. On dfinit la constante en annulant la valeur moyenne sur
chaque diamtre et la pente en minimisant lcart quadratique
R 1 390 9
2
1
Support mobile
signal s12 (x)
Laser
querre optique
1
3
2
3
signal s13 (x)
signal s23 (x)
Miroir test
Dtecteur quatre
quadrants
La direction du faisceau de retour ne dpend que de la rflexion sur
le miroir test lorsque lquerre optique subit un dplacement le
long de ce miroir.
La sensibilit de ce montage est limite une fraction de seconde
dangle par la turbulence atmosphrique.
Figure 19 Auto-talonnage des rectitudes de pices optiques

par la mthode des trois plans
Figure 20 Profilomtre querre optique
moyen sur chaque diamtre. De ces trois informations on tire les

dfauts de rectitude individuels de chacun des miroirs :
tion du plan de rflexion du miroir test se traduit par une rotation

dun angle double du faisceau rflchi. La sensibilit des cellules
quatre quadrants pour dtecter une variation de direction dun faisceau laser est excellente. Elle est limite par les fluctuations dindice
dues la turbulence de lair. Notons ce sujet que, dans une mesure
de ce type, il vaut mieux avoir un brassage dair qui donne un faisceau agit autour dune direction juste, plutt quune atmosphre
calme o le faisceau bouge lentement, mais peut se retrouver dans
des directions significativement diffrentes cause de ltablissement dun gradient dindice.
1
z 1 ( x ) = --- [ s 12 ( x ) + s 13 ( x ) s 23 ( x ) ]
2
1
z 2 ( x ) = --- [ s 12 ( x ) + s 23 ( x ) s 13 ( x ) ]
2
1
z 3 ( x ) = --- [ s 13 ( x ) + s 23 ( x ) s 12 ( x ) ]
2
Cette mthode exige donc la disposition dun ensemble de trois
miroirs plans de qualits peu prs quivalentes pour dterminer
dans labsolu les dfauts de rectitude de lun quelconque de ces
plans qui servira ensuite de rfrence pour la mesure des dfauts de
rectitude dun plan inconnu.
Comme on le voit, la mesure des dfauts de rectitude qui consiste
en la vrification de la stabilit dun angle nul, nexige aucun raccordement un talon particulier, mais permet, par lemploi dune
procdure approprie, un auto-talonnage sur un instrument dont
les proprits de sensibilit et de rptabilit sont suffisantes.
4. Contrle des dfauts de

courtes priodes spatiales.
Profilomtrie
par faisceau laser
Dans le cadre dune collaboration franco-italienne, on construit

dans la banlieue de Pise un grand interfromtre appel Virgo
( 2 3 km) pour dtecter les ondes gravitationnelles qui doivent
nous parvenir du centre de la Galaxie ou des galaxies voisines de
lamas de la Vierge. Pour tester certains composants optiques de
Virgo, on a mis au point, au laboratoire doptique de lcole suprieure de physique et chimie de la ville de Paris, une technique de
balayage par faisceau laser dont la sensibilit angulaire atteint quelques diximes de microradian.
Un premier schma de dispositif est donn par la figure 21. Un
faisceau laser polaris linairement 45 des lignes neutres dun
prisme de calcite qui spare sans dviation deux polarisations rectilignes orthogonales de la lumire. Les deux faisceaux viennent se
rflchir sur lchantillon et repartent sur un cube sparateur qui les
renvoie tous deux vers un dtecteur quatre quadrants. Avant le
dtecteur un deuxime prisme de calcite spare les deux faisceaux
polariss et les envoie sur les deux moitis du dtecteur. Un des
faisceaux permet de centrer le dtecteur sur la direction dfinie par
le premier point de lchantillon. Lautre faisceau permet de mesurer
lcart angulaire entre les faisceaux rflchis par les deux points.
Dautres techniques optiques drives de lautocollimation ont

t dveloppes en laboratoire pour tester, avec la meilleure sensibilit, la rectitude de surfaces optiques jusqu plusieurs dizaines de
centimtres de diamtre, mais avec des priodes spatiales qui, sans
entrer dans le domaine de la rugosit, se situent plutt dans celui de
ce que nous avons appel les ondulations. Certains montages
doptique gomtrique donnent dexcellents rsultats dans ce
domaine.
On peut contrler des miroirs avec un profilomtre dont on peut
dcrire ainsi de manire simplifie le principe du fonctionnement
(figure 20). Un faisceau laser fixe est mis vers un systme de
miroirs et de prisme formant ce que lon appelle une querre optique. Ce systme dvie le faisceau dun angle qui ne dpend pas de
lorientation de lquerre par rapport au faisceau et qui est gal au
double de langle entre les deux faces du prisme. Lquerre se
dplace au-dessus du miroir test sur toute sa longueur (jusqu
1 m) et le faisceau rflchi sous incidence peu prs normale
retourne vers le laser o il est repris par une lame semi-rflchissante vers un dtecteur quatre quadrants. Toute variation de direc-
R 1 390 10
,,
,,
Miroir plan
Laser
Prisme de calcite
Dtecteur
quatre
quadrants
Cube
sparateur
Prisme de
calcite
chantillon
Figure 21 Dispositif laser pour contrler la rectitude dun miroir

(daprs V. Loriette [9])
Laser
,
,
Miroir de
Dtecteur
rfrence
Cube sparateur
Prisme de calcite
chantillon
Figure 22 Montage pour mesurer les variations de pentes

de lchantillon E par rapport au miroir de rfrence fixe
par rapport lchantillon, indpendamment des dfauts
de la translation de lchantillon et du miroir
(daprs V. Loriette [9])
Cest donc en quelque sorte une mesure de la courbure de

lchantillon au voisinage des deux points. En intgrant les variations angulaires enregistres dune extrmit lautre dun
diamtre de la pice, on peut ainsi reconstituer le profil du miroir ou
de la lame de silice avec une incertitude globale de lordre dune
fraction de nanomtre sur un diamtre de 40 mm. Cela revient
dtecter des dfauts de surface de lordre de 0,1 m sur un profil
dautoroute de 10 m de largeur.
Dans un deuxime montage, donn par la figure 22, un miroir
de rfrence et lchantillon sont monts sur une mme pice mcanique susceptible de subir une translation dont lamplitude est gale
la longueur de lchantillon.
Ce schma ressemble fort un interfromtre qui comparerait
ltalon au miroir de rfrence. Il nen est rien : le cube sparateur
est un dispositif qui transmet une direction de polarisation rectiligne
de la lumire et qui rflchit la direction de polarisation orthogonale. Le faisceau issu du laser est ainsi divis en deux faisceaux
polariss par le prisme de calcite : lun des faisceaux est transmis
vers le miroir et lautre faisceau est rflchi vers lchantillon.
Le faisceau transmis vers le miroir de rfrence traverse avec
rflexion interne un prisme qui inverse le sens des dviations dues
un basculement du miroir. Ainsi, toute rotation de lensemble de la
pice mobile donne des rotations doubles et de sens inverses pour
les deux faisceaux rflchis par le miroir et par lchantillon.
Dans chacun des bras, une lame quart donde traverse deux fois
fait tourner le plan de polarisation de /2, de telle sorte quau retour
le faisceau qui a t transmis est rflchi et le faisceau qui a t
rflchi est transmis. Les deux faisceaux qui ont t rflchis indpendamment par le miroir et par lchantillon sont donc tous les
deux envoys vers le dtecteur.
Quand le support mcanique subit une translation, toute rotation
de lensemble donne des rotations en sens opposs et est donc
dtecte et corrige. En revanche, toutes les rotations du faisceau
incident dues la turbulence atmosphrique avant le cube sparateur sont compenses. Ce montage est donc capable de dtecter
toute variation de pente de lchantillon par rapport au miroir de
rfrence, et de reconstituer ainsi le profil de lchantillon sur un
diamtre.
5. Rugosit
On dsigne par rugosit les asprits et les creux dune surface
mesurs par rapport la surface moyenne assimile localement
un plan. La caractrisation gomtrique de ce paramtre est dlicate
parce quil sagit dun paramtre statistique qui ne peut tre dfini
par une seule mesure, et parce quil sagit dune variable dpendant
de deux dimensions, en gnral analyse suivant une seule dimension.
Comme tout paramtre statistique, son valuation sera dautant
plus sre quelle sera faite sur un domaine tendu, mais on se
heurte alors aux dfauts de forme de la surface qui ne permettent
plus dassimiler la surface moyenne un plan. La norme internationale ISO 4287 actuellement soumise enqute probatoire dfinit les
diffrents paramtres permettant de caractriser la rugosit dune
surface. Sans tre exhaustifs, rappelons que ce sont les hauteurs
des saillies et les profondeurs des creux, les largeurs des lments
du profil qui sont une image trs simplifie du spectre des
frquences spatiales
5.1 Paramtres de rugosit

La hauteur maximale du profil peut tre mesure sur le profil de
surface (Pz), sur le profil de rugosit (R z) ou sur le profil dondulation (Wz). Il en est de mme pour la hauteur totale, somme de la plus
grande hauteur et de la plus grande profondeur Pt , R t ou Wt. Mais
les paramtres les plus significatifs sont des moyennes arithmtiques (Pa, Ra, Wa) de lcart la surface de rfrence ou les
moyennes quadratiques (Pq, Rq, Wq) de z (x ).
Dans ltude de ce paramtre spatial, cest en fait la distribution
des amplitudes des dfauts en fonction de leur priode quil faut
caractriser et, tout comme pour les mesures de bruit, cest la
largeur de bande des frquences spatiales prises en compte qui
caractrise la microgomtrie dune surface. Dans les intercomparaisons, cest la dfinition de ces spectres de frquences spatiales
observables quil est difficile de prciser.
5.2 Mthodes mcaniques par palpeur

5.2.1 Gnralits
On mesure la rugosit dune surface en dplaant le long dune
ligne un palpeur suivant une direction parallle la surface
moyenne tester. Deux instruments de mesure sont ncessaires :
un capteur de dplacement suivant x (ou y ) dont ltalonnage
ne pose pas de problme particulier, parce que la mesure de
lamplitude du dplacement nest pas critique ;
un capteur de faible amplitude et de grande sensibilit mesurant les dplacements suivant z du palpeur au cours de la translation.
La mesure peut tre faite en prenant pour rfrence le systme de
translation de la machine (figure 23a ). Le paralllisme entre la
surface tudie et la translation du palpeur doit alors tre trs
soigneusement ajust. Pour une meilleure sensibilit et pour ne pas
tre gn par les dfauts de forme de la pice, on peut faire la
mesure avec un palpeur diffrentiel qui donne la diffrence daltitude entre le point palp et une surface moyenne situe proximit
(figure 23b ).
5.2.2 Filtrage li au palpeur mcanique

Dans les mthodes contact mcanique, la forme du palpeur
effectue un filtrage passe-bas qui limine les dfauts dont la priode
est petite devant le rayon de courbure du palpeur. Ce filtrage est
extrmement complexe et peut difficilement tre modlis
(figure 24). Ce filtrage mcanique est souvent complt par un
R 1 390 11
1,2
1
a palpeur mesurant les

dfauts de la pice en
rfrence la translation
de la machine
b palpeur diffrentiel mesurant

localement les dfauts de la
pice en rfrence au voisinage
de la pice
Ces palpeurs sont en gnral des diamants taills avec un rayon

de courbure de l'extrmit de l'ordre de quelques micromtres.
L'amplitude de leur mouvement est limite quelques dizaines
ou centaines de micromtres, parfois quelques fractions de micromtre.
0,8
0,6
0,4
10 nm
1 mm 100 nm
0,2
0
0
Figure 23 Palpeurs pour ltude de la rugosit
f = 1 (mm1)
Figure 25 Amplitudes relatives transmises par un palpeur

bille de 1 mm de rayon en fonction de la frquence spatiale
pour trois amplitudes de dfaut diffrentes
(daprs L. Bruel [10])
5.3 talonnage des palpeurs

pour la mesure des rugosits
Figure 24 Amplitude dun dfaut sinusodal de priode donne :
elle nest pas traduite de manire identique pour des amplitudes
diffrentes de la modulation et la rponse du rugosimtre nest donc
pas linaire
filtrage lectrique ou par un filtrage numrique effectu par le

systme dacquisition et de traitement des donnes. On peut donner
de ces derniers une reprsentation plus simple et plus conforme la
ralit (filtres lectriques, qui filtrent dans le domaine temporel, et
qui exigent la matrise de la vitesse du palpeur, filtres numriques
qui sont de plus en plus souvent associs au traitement des
donnes par ordinateur).
Du ct des basses frquences spatiales, le problme rside dans
le choix de la surface de rfrence dfinie soit par linstrument de
mesure (rectitude dune translation, paralllisme entre cette translation et la surface tudie), soit par lobjet tudi lui-mme qui peut
servir guider le palpeur. Nous verrons aussi des dispositifs optiques ( 5.4) mettant en cause les deux polarisations dune onde
lumineuse et qui permettent la mesure diffrentielle entre un point
de la surface et llment de surface qui lentoure.
Le palpeur sera le plus souvent assimil une portion de sphre.
Sa rponse un dfaut sinusodal peut tre modlise et on peut
ainsi dfinir une fonction de transfert du palpeur en fonction de la
priode du dfaut. Mais la rponse du palpeur nest pas linaire ; en
particulier, une sinusode de priode donne sera intgralement
transmise avec une faible profondeur de modulation, et sera attnue pour une grande amplitude de modulation (figures 24 et 25).
La lecture dune surface relle, qui comporte la superposition dun
grand nombre de composantes sinusodales (spectre des frquences spatiales de la surface) ne donnera pas une rponse gale la
somme des rponses pour chaque composante sinusodale. En
particulier, la lecture de la hauteur z du palpeur pour une position x
sera donne par un point de contact avec la surface qui ne sera pas
toujours sur laxe du palpeur. Par contre, si un filtrage des
frquences hautes est effectu par le systme de lecture, on peut
esprer que la rponse du palpeur pour ces frquences spatiales
basses devant la frquence de coupure du palpeur restera linaire.
R 1 390 12
Ltalonnage de ces palpeurs est essentiel. Il existe plusieurs

types dtalons permettant de faire cet talonnage dans de bonnes
conditions (figure 26), offrant des dfauts damplitudes et de
priodes varies et connues, dont la forme peut tre trs diffrente
dun talon lautre (sinusodes dfinissant un dfaut de frquence
spatiale unique, arcs de cercle prsentant des points anguleux, donc
de hautes frquences spatiales, spectre de rugosit uniforme
analogue au bruit blanc des dtecteurs lectroniques, chelons de
profondeurs varies).
Il nest pas possible de travailler sur des cales dpaisseur de quelques micromtres. Les botes de cales des ateliers de mcanique
comportent une srie de cales de faible paisseur (1 mm) dont les
paisseurs sont en progression rgulire par pas de 1 ou 2 m. On
talonne un capteur sur quelques micromtres en contrlant la
diffrence des paisseurs dun couple de ces cales. Lincertitude
dtalonnage des cales est la plupart du temps une limitation
lexactitude dtalonnage du palpeur sur des variations aussi
faibles. Une technique astucieuse dveloppe au Laboratoire
National dEssais permet de rduire cette incertitude en fabriquant n
intervalles de 1 m avec n couples de cales dont les paisseurs vont
en progression arithmtique de 1 m et en dterminant la lecture du
palpeur sur la moyenne de ces n intervalles (figure 27). Si lincertitude dtalonnage dune cale est z , lincertitude sur la diffrence
dpaisseur entre deux cales est z 2 , et lincertitude sur la
moyenne de n diffrences dpaisseurs qui ont des paisseurs
communes est z 2 /n.
Figure 26 talons de rugosit pour talonnage des rugosimtres
Une srie de cales de rfrence talonnes par interfromtrie

directe ont une incertitude (de lordre de 10 50 nm).
La diffrence entre deux cales successives (1 mm) est connue avec
une incertitude de 2.
La valeur de lcart moyen entre deux cales successives mesur
avec le jeu complet de cales (10 cales : 9 intervalles) est connue
avec une incertitude 3 fois plus faible.
Figure 27 talonnage dun capteur pour mesurer les carts
de rectitude ou de circularit
Densit spectrale de puissance de rugosit (mm2)
103
Mcanique
104
105
Optique
106
107
0
Dans une tude de diffusion de la lumire par une surface

rugueuse, cest la longueur donde de la lumire utilise et louverture du faisceau recueilli qui dfinissent les plus courtes priodes
spatiales visibles, et l encore, la modlisation du processus de
diffusion dpend de la polarisation de la lumire, du rapport entre
lamplitude des dfauts et leur priode, cest--dire de la pente
locale de la surface. Nous verrons cependant ( 5.4.1 et figure 28)
que quelques recoupements ont pu tre faits entre des mthodes
optiques et des mthodes mcaniques montrant que, dans un
certain domaine de frquences spatiales, il y a bon accord entre des
mthodes dvaluations trs diffrentes.
Il est important, quand on veut caractriser la rugosit dune
surface, de prciser la signification du paramtre dont on donne la
valeur numrique. En tout tat de cause, la vritable justification
dun tat de surface est, en gnral, une fonctionnalit (lubrification,
frottement, ractivit chimique, pouvoir de diffusion, facteur de
rflexion) qui ne peut jamais se rduire lun ou lautre de ces paramtres. Ceux-ci doivent donc tre considrs comme des contrleurs de la rptabilit dun processus de fabrication plus que
comme une garantie que telle ou telle fonction de la surface sera
assure.
5.4 Mthodes optiques

5.4.1 Gnralits
Pour les faibles rugosits, le palpeur mcanique devient vite
insuffisant et des techniques de mesures optiques prennent le
relais.
Une onde plane qui tombe sur une surface plane non totalement
absorbante subit une rflexion et se propage sous forme dune onde
plane dans la direction donne par les lois de Descartes. Cest ce
que lon dsigne par le terme de rflexion spculaire. Si les points
voisins de la surface ne sont pas la mme hauteur, il en rsulte un
dphasage local de londe plane qui se traduit long terme par de la
lumire diffuse dans des directions autres que la direction de
rflexion spculaire. Des dfauts de courte priode devant la
longueur donde ne sont pas vus par londe monochromatique. Des
dfauts de priode voisine de la longueur donde diffusent la
lumire dans des directions qui font un angle de lordre du radian
avec la direction de rflexion spculaire. Des dfauts qui ont une
priode gale un grand nombre k de longueurs donde diffusent la
lumire dans une direction qui fait un angle de lordre de 1/k rad
avec la direction de rflexion spculaire.
0,5
1,5
f = 1 (mm1)
Figure 28 Comparaison entre des densits spectrales de puissance

obtenues dans la bande 0,1 1,5 mm1 par palpeur mcanique
et par diffusion optique
(daprs L. Bruel [10])
Il est difficile de sapprocher de la direction de rflexion spculaire

moins de 1, soit 1,75.102 rad. On ne pourra donc pas mesurer
par ce procd des dfauts dont la priode excde quelques
centaines de longueurs donde. Ce sont les dispositifs optiques
dcrits paragraphe 5.1 qui permettent dexplorer ce domaine de
frquences spatiales. On largit cependant beaucoup le domaine
tudi par diffusion en travaillant avec des longueurs donde diffrentes depuis linfrarouge ( = 1 m) jusquaux rayons X
( = 0,1 nm).
Lintensit de la lumire diffuse dans une direction donne est
proportionnelle au carr de lamplitude de la composante de la
rugosit pour une priode spatiale qui donne dans cette direction le
premier ordre dinterfrences constructives dun rseau. Cest ainsi
que lanalyse goniophotomtrique de la lumire diffuse donne une
reprsentation de la densit spectrale de puissance des rugosits
(en termes de frquences spatiales). Lanalyse est bidimensionnelle,
car pour une incidence donne sur la surface, incidence en gnral
nulle, il faut analyser la distribution de lumire diffuse en fonction
de langle avec la direction dincidence, et en fonction de langle
que fait le plan danalyse par rapport une direction origine sur la
surface diffusante. Il est inutile de faire varier si la structure est
isotrope, mais il faut faire varier entre 0 et si la structure prsente
une quelconque anisotropie.
Lavantage des mesures de diffusion est de donner directement la
distribution des amplitudes en fonction de la frquence spatiale des
dfauts.
Linconvnient est que la mesure na de sens que si cette amplitude est faible devant la longueur donde (si la surface est trs
rugueuse la lumire est uniformment diffuse dans toutes les
directions et ne reprsente plus la topographie de la surface) et la
prsence de la moindre poussire peut dnaturer les rsultats. Ces
mesures doivent donc tre rserves des tats de surface de trs
bonne qualit et dans des conditions denvironnement exceptionnelles (flux laminaire, salle blanche). Cependant, quelques recoupements ont pu tre faits entre ces mesures et des mesures par
palpeur mcanique qui donnent un accord satisfaisant entre ces
deux techniques extrmement diffrentes (figure 28).
R 1 390 13
5.4.2 Palpeurs optiques diffrentiels

Une mesure diffrentielle est faite par certains rugosimtres
optiques qui reprennent un principe tabli en microscopie par
Franon et Nomarski. En jouant avec deux directions orthogonales
de polarisation de londe lectromagntique, on peut faire dune
source lumineuse ponctuelle deux images juxtaposes. Il suffit
dinclure dans le schma optique un dispositif birfringent comme
un prisme de Wollaston. Les faisceaux rflchis par la surface tudie sont repris travers un analyseur qui fait interfrer les deux
polarisations et donnent une information sur la diffrence de trajet
optique entre les deux images voisines (figure 29). Il sagit encore
dun systme de palpeur en deux points dont la fonction de transfert
est limite vers les basses frquences spatiales par linverse de la
distance des deux images, et vers les hautes frquences spatiales
par la largeur de chaque image.
Cette mesure diffrentielle sapparente la variance dAllan
deux chantillons exploite dans la mesure des bruits sur les
signaux temporels en prsence de drives et de bruits de scintillation.
Un systme birfringent donne deux faisceaux polariss dont lun (1)

est focalis sur la surface de lchantillon, et lautre (2) claire la
surface entourant le point observ. Un analyseur permet dtudier les
interfrences entre ces deux faisceaux qui donnent les variations
daltitude du point palp par rapport la surface qui lentoure avec
une sensibilit subnanomtrique. Ce palpeur diffrentiel nest pas
concern par les dfauts de forme de la pice.
Figure 30 Rugosimtre optique polarisation : signal fourni
Diode laser
Modulateur photo-lastique
Analyseur
Dtecteur barrette
de photodiodes
Prisme de Wollaston
Dans les rugosimtres, les images sont dcales le long de laxe,

et lon observe les interfrences entre une tache ponctuelle dont les
dimensions sont dtermines par louverture numrique de lobjectif et lautre qui, dfocalis, donne une information sur une plage
entourant la tache prcdente sur quelques dizaines ou centaines de
micromtres carrs (figure 30).
Le signal interfrentiel donne ainsi une information qui peut
atteindre une trs faible fraction de longueur donde (moins du
millime de longueur donde, soit quelques fractions de nanomtre)
entre laltitude de la tache ponctuelle et laltitude moyenne de la
plage environnante. La rsolution en x et y du spot est de quelques
micromtres, elle est dtermine par la longueur donde danalyse
et louverture numrique de lobjectif :
x = / (n sin u )
o n est lindice de rfraction du milieu situ entre lobjectif et lobjet
(air ou huile pour un objectif immersion) et u le demi-angle sous
lequel on voit lobjectif depuis lobjet.
6. Au-del de la rugosit,
les nouvelles microscopies,
sondes de surface
Les interfrences observes travers

lanalyseur des deux lignes de lumire
polarises projetes sur lobjet sont
rendues trs sensibles par une trs faible
modulation de la diffrence de phase par
un modulateur photo-lastique.
La sensibilit est subnanomtrique.
Figure 29 Microscope interfrentiel polarisation

pour ltude de la rugosit
R 1 390 14
Pour aller au-del de la rugosit jusqu la structure des surfaces

de matriaux divers lchelle du nanomtre existent depuis quelques annes des instruments dont la rsolution spatiale approche
celle des microscopes lectroniques. La microgomtrie des
surfaces solides est ainsi tudie lchelle subnanomtrique par
une catgorie dinstruments nouveaux, les microscopes effet
tunnel lectronique ou optique, les microscopes champ proche,
et les microscopes force atomique.
Le premier microscope a effet tunnel est lectronique. Une fine
fibre conductrice (pointe de tungstne dont des techniques de traitement physico-chimique donnent la pointe un rayon de quelques
dizaines de nanomtres) est approche de la surface une distance
telle que le contact ne se fasse pas, et les charges lectriques prsentes sur lobjet traversent la zone isolante par effet tunnel. Les
variations de ce courant lectrique collect par la pointe peuvent
donner une image lectrique de la topographie de la surface.
Lchantillon est dplac sur une trs faible amplitude (quelques
micromtres) par un double balayage en x et en y effectu par des
cramiques pizo-lectriques. La stabilit mcanique du balayage,
sa rptabilit doivent tre la hauteur de la limite de rsolution
latrale et verticale, de lordre dune fraction de nanomtre. Ce dispositif a permis de visualiser des atomes la surface dun cristal, et
mme de manipuler ces atomes adsorbs la surface du cristal
comme des billes sur un boulier.
Deux modes de fonctionnement existent pour ce type de microscope, qui prsente sur les microscopes lectroniques classiques
lavantage de travailler la pression atmosphrique et de pouvoir
sappliquer toutes sortes dchantillons conducteurs sans traitement spcial.
Dans un mode simple permettant un balayage rapide dun lment de surface de lchantillon, on se contente denregistrer les
variations du courant lectrique dans la pointe.
Dans un mode plus mtrologique, lintensit du courant lectrique est asservie une valeur constante en agissant sur la hauteur de la pointe par rapport la surface. On peut ainsi esprer
suivre les asprits de la surface hauteur constante, et donc
faire une image fidle de la topographie. Cependant, les variations des proprits lectriques locales de lchantillon (travail de
sortie des lectrons li la structure physico-chimique locale)
peuvent induire des artefacts dans la gomtrie de la surface
apparente. Ce procd est beaucoup plus lent et ne permet pas de
donner une image en moins de quelques secondes.
Pour des chantillons isolants, cette technique nest pas applicable. Mais une variante consiste tudier les variations de la force
de type Van der Waals applique par la surface sur une pointe du
mme type porte par un support flexible. Le microscope force
atomique, bien que fonctionnant sur un principe compltement diffrent, prsente les mmes performances et la mme structure que
le microscope lectronique effet tunnel. Cest la dformation dun
palpeur souple et ultralger, dtecte par moyen optique ou lectrique, qui donne linformation sur la topographie de la surface
balaye. La limite de rsolution latrale de ces microscopes est de
lordre de quelques nanomtres, et la rsolution verticale peu prs
dix fois meilleure. La difficult dans linterprtation des images donnes par ces microscopes est ltalonnage en z, qui ne donne que
des ordres de grandeur (figure 31).
nm
2
1,5
1
0
2
1,5
0,5
mm
1
0,5
0
Figure 31 chantillon de silice superpolie examin

au microscope force atomique
[doc. Institut dOptique, aimablement communiqu par M. Mullot]
mm
Cest enfin le microscope optique en champ proche, parfois

aussi appel microscope effet tunnel optique, qui utilise lextrmit taille en pointe et recouverte dune couche mtallique dune
fibre optique unimodale. Cette fibre, en sapprochant dune surface
transparente claire de lintrieur par une onde sous une incidence
telle que toute la lumire soit rflchie (rflexion totale interne),
recueille quelques photons par un effet tunnel que lon appelle la
rflexion totale interne frustre.
La rsolution de ces pointes optiques est un peu moins bonne que
celle des microscopes lectroniques effet tunnel ou force
atomique, mais elle est dix fois meilleure que celle des microscopes
optiques limits en champ lointain par les phnomnes de diffraction. Le microscope en champ proche obtient les mmes performances sur des substances opaques en amenant la lumire par la
fibre optique ou par un clairement uniforme extrieur, et en dtectant la lumire rtrodiffuse dans la fibre au niveau de la pointe. Les
variations de la distribution du champ lectromagntique au voisinage de la surface conservent les variations des proprits optiques
locales de la surface sans tre limites par la diffraction si cette
lumire est collecte une distance de la surface petite devant la
longueur donde lumineuse. Le microscope optique en champ
proche a ainsi bris un mur de la rsolution spatiale sur lequel bute
la microscopie optique depuis le sicle dernier.
L encore, la difficult rside dans ltalonnage de la variable z,
qui est mesure indirectement par un phnomne lectrique ou
lectromagntique. Des talons sont ltude pour reproduire quelques motifs de dimensions connues cette chelle. Mais chaque
application, chaque nature de matriaux mise en jeu doit faire
lobjet dun talon spcifique. Cest dans chaque discipline que
lexprimentateur doit apprendre la confiance quil peut accorder
aux rsultats de ces investigations une chelle bien loigne de
celle o nous avons lhabitude dvaluer nos incertitudes.
7. Conclusion
Le rle des surfaces dans les technologies modernes justifie le
nombre trs important dinstruments nouveaux apparus pour les
tudier. Caractriser les surfaces dun point de vue purement
gomtrique est chose complexe. Les outils de traitement des
signaux une dimension (filtres, analyseurs de spectres) ont trouv
leurs quivalents pour les grandeurs bidimensionnelles, et pour les
surfaces isotropes, lanalyse unidimensionnelle dun profil est suffisante pour apporter une bonne connaissance de la surface.
ltalonnage des sondes et des capteurs qui servent dresser la
carte dune surface, il faut adjoindre la connaissance des bandes
passantes des fonctions de transfert de linstrumentation mise en
oeuvre. Cette dernire condition est souvent la plus difficile
remplir pour comparer des rsultats obtenus par des voies diffrentes.
Nous avons vu des dispositifs trs varis, dont certains mesurent
une cote verticale, certains une diffrence de cotes entre points
voisins ou loigns, dautres mesurent une pente locale, et dautres
enfin mesurent une variation de pente entre deux points voisins,
cest--dire une courbure locale. Ces diffrents procds sont
videmment caractriss par leur sensibilit, mais aussi et surtout
par leur fonction de transfert des frquences spatiales qui traitent
diffremment carts de forme, ondulation et rugosit.
Cest lexploitation complte mais prudente de ces instruments
qui conduira, dans chaque discipline, tablir les procdures pour
atteindre tel ou tel paramtre caractristique dune surface. Les
recoupements de rsultats dorigines diverses sont souvent le
meilleur moyen de se prmunir contre les artefacts insouponnables dune technologie particulire. Les mthodes optiques et les
palpeurs mcaniques, les microscopies effet tunnel, force
atomique ou en champ proche sont des techniques trs diffrentes
dont aucune nest absolument meilleure que les autres. Elles sont
toujours plus ou moins complmentaires.
R 1 390 15

Métrologie Des Surfaces

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Mtrologie des surfaces

tats de surface et carts de forme ...................................................

Frquences spatiales deux dimensions..........................................

carts de forme ........................................................................................

Contrle des dfauts de courtes priodes spatiales.

Au-del de la rugosit, les nouvelles microscopies,

Pour en savoir plus .........................................................................................

a surface dun solide est un domaine deux dimensions o se situent les

MTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________

Les proprits d'une surface sont extraordinairement nombreuses et

(en anglais waviness ) qui rassemble les dfauts dont les

Ces notions sont illustres sur les enregistrements de la

une chelle microscopique (quelques micromtres ou quelques

____________________________________________________________________________________________________________ MTROLOGIE DES SURFACES

Figure 1 Profil complet, carts de forme, ondulation et rugosit

reprsentation dune fonction deux dimensions par son spectre

MTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________

Les tampons et les bagues lisses utiliss comme rfrences en

Table tournante sur coussin fluide

3.1 Contrles de circularit

Cest une sphre de silice qui permet de dceler les dfauts de

Figure 3 Machine pour contrle de circularit

a les dfauts de la pice sont

b enregistrement dun cylindre

Figure 4 Enregistrements sur une machine de contrle

mplat de 0,25 m. cause de lamplification dchelle sur la

3.2 Contrles de rectitude

____________________________________________________________________________________________________________ MTROLOGIE DES SURFACES

Source et objet ponctuel

Figure 6 Mesure de dfauts de rectitude par lunette

Figure 5 Auto-talonnage des dfauts de rectitude dune machine

En effet supposons que la translation du palpeur sur la longueur

sont ainsi dtectes avec une sensibilit qui ne dpend que du

3.2.3 Mesure de rectitude par interfromtrie laser

3.2.2 Mthode optique par lunette

Figure 7 Systme interfromtrique laser pour le contrle

MTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________

dz est lamplitude du dfaut, sa priode, est langle dtect par

une lunette autocollimatrice ou par un autre dispositif de mesure

Figure 8 Comparaison entre la tache de diffraction dun miroir

Figure 9 Fonction de transfert des dfauts de forme

la distance d par rapport au point origine augmente comme la

3.2.5 Planit et rectitude

3.2.4 Fonction de transfert dun palpeur

Pour passer des dfauts de rectitude aux dfauts de planit, il

On peut dfinir la fonction de transfert dun procd de mesure

Pour passer de la mesure des carts de rectitude la mesure des

Pour contrler la planit dun marbre, plusieurs techniques

o x est labscisse depuis une origine arbitraire (figure 9). Le

Figure 10 Planit et rectitude : exemple de surface non plane

____________________________________________________________________________________________________________ MTROLOGIE DES SURFACES

Figure 11 carts de planit dun marbre

le couteau venant de la droite est plac aprs le point de focalisation

Figure 13 Test de Foucault

Figure 12 carts de planit dun marbre ou dun miroir

3.3 Contrles de surfaces optiques

3.4 Contrle de surfaces optiques par

On contrle, par rapport un miroir plan de rfrence, la surface

MTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________

La tour est un grand interfromtre de Twywan et Green schmatis

Linterfromtrie sapplique depuis le contrle visuel des touches

3.5 Contrle des plans optiques

Figure 16 Interfromtre de Fizeau pour le contrle de rectitude

Le montage autocollimateur prsente linconvnient de donner