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para a tecnologia de
partculas
Seo I.
Partculas
Esta seo descreve a natureza fsica, as origens e o comportamento das partculas.
Partculas
Tipos e origens
Geralmente, h trs tipos de partculas: orgnicas inertes, orgnicas viveis e inorgnicas inertes.
As partculas orgnicas inertes se originam de substncias orgnicas no-reativas, que so
substncias derivadas de organismos vivos e contm componentes derivados do carbono. As
partculas orgnicas viveis so capazes de viver, se desenvolver ou germinar em condies
favorveis; bactrias e fungos so exemplos de compostos orgnicos viveis. As partculas
inorgnicas inertes so substncias no-reativas, como areia, sal, ferro, sais de clcio e outras
substncias minerais.
Em geral, partculas orgnicas se originam de matria viva composta de carbono, como animais
ou plantas, mas no esto necessariamente vivas. As partculas inorgnicas se originam de
matria que nunca teve vida, como minerais. Uma clula de pele morta uma partcula orgnica
inerte, um protozorio uma partcula orgnica vivel, e um gro de p de cobre uma partcula
inorgnica inerte.
As partculas tm diversas origens. As partculas inertes geralmente se desenvolvem quando se
esfrega um material em outro, por exemplo, o p produzido quando se corta um pedao de
madeira. Os seres humanos espalham milhares de partculas inertes com a pele morta que
desprendem continuamente e, alm disso, grandes quantidades de partculas viveis. Motores
eltricos geram partculas inertes quando as escovas metlicas friccionam componentes em
rotao. Plsticos, quando expostos luz ultravioleta, lentamente soltam partculas inertes.
Dimenso
No contexto dos mtodos de produo contemporneos, as menores partculas so to pequenas
que no podem ser consideras contaminao destrutiva. Essas partculas pequenas so menores
muitas vezes do que um tomo e se chamam partculas subatmicas. A prxima famlia, em
ordem crescente das dimenses, a dos tomos, seguida das molculas, que so grupos de
tomos.
A contaminao molecular particularmente interessa aos ambientes de produo de
semicondutores que seguem a Lei de Moore. Em 1965, Gordon E. Moore, co-fundador da Intel
Corporation, disse que o nmero de transstores de um circuito integrado dobra a cada dois anos.
Com o tamanho fixo do circuito integrado, a nica forma de se dobrar o nmero de transstores
diminuir o seu tamanho. Esses transstores rapidamente esto diminuindo para tamanhos
moleculares, e a contaminao molecular pode limitar a eficincia da produo.
Por causa da contaminao molecular, aplicaes em diversos processos de produo se
concentram em medidas de partculas em micra. Essas partculas tm tamanho que variam de
menos de um mcron (m) a aproximadamente 100 m. O comprimento de um mcron equivale
a 1/1000 do milmetro.
Comparativamente, 25.400 m equivale a 2,54 cm, um gro de sal mede aproximadamente 60
m e o cabelo humano tem espessura de 50 a 150 m. O olho humano normal no pode ver
partculas menores do que 40 m. A maioria dos processos de produo modernos tem pouco
interesse nas partculas maiores do que 100 m e menores do que 0,01 m. As partculas maiores
de100 m so facilmente filtradas, e as partculas menores de 0,01 m so pequenas demais para
causar danos. Alm disso, a International Organization for Standardization (ISO) no oferece
classificaes para partculas menores do que 0,1 m (chamadas de partculas ultrafinas) nem
Tamanho da partcula
(em micra)
50 - 150 m
50 m
0,07 m
7 - 100 m
10 - 300 m
0,1 - 100 m
1,0 - 10 m
H diversas maneiras diferentes de se medir uma partcula. A Figura 1 exibe os mtodos padro
usados. A esfera, indicada a seguir por linhas tracejadas, representa a esfera de ltex poliestireno
(PSL) equivalente partcula; uma partcula sinttica usada para calibrar contadores de partculas
e filtros de teste.
No grfico, a maioria das partculas est centrada em 0,30 m, com menos partculas maiores ou
menores do que 0,30 m.
Em um contador de partculas, as partculas que no so includas na distribuio normal
(gaussiana) sero includas no prximo receptculo de dimenso maior ou menor.
Concentraes
Geralmente, em um p cbico (28 l) de ar de interiores, podemos esperar 1.000.000 de partculas
maiores do que 0,5 m. Para comparar, no meio do oceano ou de uma montanha alta, um p
cbico de ar contm apenas 34 partculas ou 169 partculas maiores do que 0,5 m,
respectivamente.
Em lquidos, um nico mililitro de gua ultrapura de uma sala limpa contm menos de 1
partcula maior do que 0,05 m. Mas um mililitro de gua potvel pode conter 1.200.000
partculas maiores do que 0,05 m.
Distribuies
Partculas aerotransportadas e lquidas em condies ambientes seguem a distribuio comum de
classificao de dimenses. As distribuies de partculas aerotransportadas seguem os Padres
de Sala Limpa ISO 14644 que usam Distribuio Exponencial. A Distribuio Exponencial
relaciona dados de um canal de classificao de partculas com o canal seguinte. Se plotarmos os
dados em um grfico log-log, eles produziro uma linha reta; semelhantemente, se plotarmos os
dados em um grfico padro de eixos X e Y, eles produziro uma linha exponencialmente
decrescente.
Estudos subseqentes sobre partculas demonstraram distribuies de partculas
aerotransportadas proporcional a 1/(dimetro)2,1. Distribuies de partculas lquidas variam de
1/(dimetro)2 a 1/(dimetro)4,5, mas 1/(dimetro)3 usado como padro nas distribuies lquidas
na maioria dos ambientes.
14000
12000
1000
# of particles
1000
100
8 00
600
400
10
200
0.1
1.0
Particle size m
A gua potvel contm 20 partculas/ml > 2,0 m e 1280 partculas/ml > 0,5 m.
Substncias
Quase tudo pode produzir partculas nas circunstncias certas. Em uma sala limpa, os produtores
de partculas mais prolferos so geralmente as pessoas. As pessoas produzem partculas quando
soltam clulas da pele, borrifam perfume/colnias/spray de cabelo, perdem cabelo, respiram,
espirram, etc.
Todas as partculas podem ser classificadas de acordo com os seus grupos:
Partcula: uma nica partcula inteiramente com material semelhante.
Agregado: um grupo de partculas unidas por intensas foras atmicas ou moleculares.
As foras de atrao das partculas podem ser comparadas s que unem um pedao de
concreto.
Aglomerado: um grupo de partculas unidas por foras mais tnues de adeso e coeso.
As foras de atrao das partculas podem ser comparadas s que unem uma massa de
sujeira.
Floculado: um grupo de partculas unidas pelas foras mais tnues. As foras de atrao
das partculas podem ser comparadas a do p que repousa em uma mesa.
Tamanho das
partculas
(em m)
Velocidade de
sedimentao
(em cm/s)
0,0037
0,01
0,1
1,0
10,0
100,0
---6
6,95 x 10
-5
8,65 x 10
-3
3,5 x 10
-1
3,06 x 10
-1
2,62 x 10
Movimento
Foras balsticas: Partculas ejetadas de uma ferramenta ou um processo podem acabar se
movendo predominante contra o fluxo de ar em vez de serem distribudas uniformemente pelo
ambiente. Gradualmente, as partculas migraro para as reas de menor presso, mas por causa
da contribuio contnua de partculas causada pela ferramenta ou processo, a distribuio
uniforme das partculas pelo ambiente raramente ocorre.
Difuso: Imagine colocar tinta vermelha em um balde de gua limpa. Depois de um tempo, toda
a gua do balde se torna uniformemente vermelha. Esse fenmeno a difuso e tambm
acontece quando um gs ou lquido parece imvel. As partculas suspensas em um fluido
(lquido ou gs) so movidas por diversas foras: correntes, variaes trmicas e movimentos
Browniano.
Correntes: Correntes so movimentos laminares (suaves) e turbulentos (agitados) de ar ou
fluidos. As correntes so o resultado de diferenas de presso, com um movimento que se
desloca de uma rea de alta presso para uma rea de baixa presso. As partculas suspensas em
um fluxo laminar tendem a permanecer naquela parte do fluido. No ar, o movimento lateral (de
um lado para outro) chama-se adveco, e o movimento vertical (para cima e para baixo)
conveco.
Variao trmica (termoforese): As diferenas de temperatura em um fluido influenciam as
correntes, particularmente correntes convectivas (verticais). Simplesmente, a termoforese
descreve o movimento das partculas em um gradiente de temperatura, medida que elas se
deslocam de uma regio quente para uma regio mais fresca.
Movimento browniano: Partculas pequenas suspensas em gs ou lquidos entram em contato
com molculas de gs. Essas molculas se chocam com as partculas pequenas e alteram a sua
trajetria.
O caminho da partcula, que foi alterado pelas molculas, chama-se movimento browniano.
Aquecer um fluido leva as molculas a se tornarem mais energticas, a colidirem com mais
freqncia e a se moverem para mais longe das outras molculas e, por isso, torna o movimento
browniano mais intenso.
Adeso
Muitas foras agem em uma partcula e a retira do seu estado livre (difuso). As principais foras
adesivas so descritas a seguir.
Adeso eletrosttica: Esfregar um balo no cabelo cria uma camada de eletricidade esttica no
balo. Isso cria adeso eletrosttica. Da mesma forma, as partculas podem carregar eletricidade
esttica que as atraem para superfcies com cargas opostas.
Aglomerao: A aglomerao ocorre quando as partculas se unem firmemente. Nos lquidos, as
partculas tendem a se aglomerar em bolhas de gs.
Acreo: A acreo define o crescimento da matria formada de partculas medida que elas se
unem. A adeso eletrosttica ou outras foras adesivas estimulam a acreo de partculas e, em
algumas condies, duas partculas que se unem so chamadas de dupleto.
Atrito: As partculas podem se aglutinar em uma superfcie spera quando o movimento, ou o
atrito, no intenso o suficiente para desaloj-las.
Depois de explicados esses princpios de adeso, os principais mecanismos de um filtro para
captar partculas so adeso eletrosttica e atrito.
H perda de presso
Alguns fatores que colaboram com a mobilidade das partculas na tubulao precisam ser
entendidos. A Tabela 4 descreve a perda de presso em funo da distncia, usando o sistema
padro de fluxo de ar de 3 CFM (p cbico por minuto) por ponto de amostra. A seguir,
descries resumidas da terminologia.
Dimetro (DI)
4 mm
5 mm
6 mm
7 mm
8 mm (5/16)
9 mm
3/8
10 mm
Coeficiente de
Reynolds
9150
7360
6130
5780
5250
4585
4070
3865
3670
Perda de presso
(psi/metro)
0,98
0,34
0,15
0,11
0,07
0,04
0,02
0,016
0,013
Velocidade do
gs (m/segundo)
40,35
25,9
18,0
16,0
13,2
10,1
8,0
7,2
6,5
Perda de partculas
Para minimizar a perda de partculas na tubulao, essa deve sempre estar na horizontal, se
possvel, e ter o menor nmero de curvas. Se forem necessrias curvas na tubulao, o raio da
curva, medido pela parte interior da curvatura, no dever ser menor do que 15 cm (6). Alm
disso, o dimetro e o material da tubulao devem favorecer o transporte das partculas. A
tubulao de polmero condutivo Bev-A-Line com DI 3/8 geralmente instalada em coletores
mltiplos de aerossol e proporciona excelente transporte de partculas com custo razovel.
Alguns materiais para as tubulaes nem sempre esto disponveis, ou so viveis
economicamente, para reduzir as perdas de partculas, a seguinte lista est em ordem de
preferncia:
1.
2.
3.
Ao inoxidvel
Polmero condutivo
Polister
4.
5.
6.
7.
8.
9.
Seo II.
Ambientes
Esta seo descreve o uso de ambientes especializados e de filtragem para controlar os efeitos
das partculas na produo.
Ambientes
Muitos processos modernos de alta tecnologia exigem limpeza. Especificamente, eles exigem a
ausncia de contaminao particulada. Alguns exemplos podem explicar isso melhor.
Exemplo Um: Na indstria de produo de semicondutores, comumente nos referimos a
semicondutores como circuitos integrados (CI), microchips ou chips. Um CI uma pea
plana de silcio encravada com traos muito pequenos (fios planos) que compem os transstores
e outros componentes. Os transstores podem operar como interruptor ou como amplificador de
sinais (voltagem, corrente ou energia).
Os traos de CI ficam to prximos entre si (0,09 m de distncia e ainda esto diminuindo) que
uma partcula posicionada em um trao poderia causar um curto circuito. Os fabricantes de
semicondutores precisam filtrar partculas aerotransportadas de dimenses iguais ou maiores do
que 0,09 m; partculas menores do que 0,09 m no so grandes o suficiente para causar um
curto circuito. Entretanto, com os traos ficando mais juntos, a demanda por monitores mais
sensveis aumentar.
Os CIs so dispositivos com vrias camadas, com cada camada extremamente fina, por isso, para
a produo, a rea da superfcie de um CI igual a:
rea(Superfcie do CI) = comprimento x largura x nmero de camadas
A densidade das reas de superfcie do CI aumenta a probabilidade de que partculas perdidas
possam destruir todo o chip. Controlar ou eliminar a contaminao por partculas no ambiente de
produo uma preocupao importante do fabricante de semicondutores.
Exemplo Dois: A indstria farmacutica comumente produz drogas parenterais. As drogas
parenterais (injetveis) no devem conter partculas que possam infectar o corpo humano ou
animal.
As partculas que afetam negativamente o corpo tendem a ser maiores do que 2,0 ou 3,0 m, e a
companhia farmacutica, como o produtor de semicondutores, deve controlar o ambiente de
produo para eliminar a contaminao por partculas. Geralmente, as companhias farmacuticas
determinam a limpeza do processo monitorando partculas de 0,5 m e determinam a
esterilidade do produto monitorando partculas de 5 m. Ao contrrio, a produo de
semicondutores tende a se concentrar em partculas que variam decrescentemente de 0,3 m a
0,05 m.
Filtragem
A filtragem essencial para controlar a contaminao por partculas. H duas etapas na
filtragem: direcionar as partculas para o filtro e capt-las no filtro. Direcionar as partculas para
o filtro mais difcil.
Direcionar as partculas para o filtro requer que pensemos nas partculas no ambiente de
instalaes tpicas. As instalaes tm vrias armadilhas de partculas (reas onde as partculas se
acumulam), grandes reas de superfcie e muitas fontes de contaminao. O mtodo de controle
de partculas ideal preserva o fluxo laminar sempre que possvel, de forma que o mximo
possvel de partculas seja conduzido para os filtros. Infelizmente, nem sempre possvel
preservar o fluxo laminar.
A captao de partculas dentro do filtro usa quatro princpios: peneiramento, impactao, fora
eletrosttica e movimento browniano. O material do filtro tem aberturas, ou poros, que permitem
que o ar ou lquido passe (seja peneirado) enquanto as fibras no filtro captam as partculas
maiores (impactao). As foras eletrostticas tm carga oposta s cargas das partculas, isso
ajuda a captar as partculas em uma placa ou fibra carregada. Mesmo assim, algumas partculas
menores podem escapulir por poros pequenos e resistir impactao, mas seu movimento
aleatrio (movimento browniano) no permite que elas escapem do filtro. Todos esses princpios
se combinam para tornar um filtro mais eficiente medida que envelhece.
Os filtros se tornam mais eficientes medida que as partculas gradualmente preenchem as
aberturas do material do filtro, por isso, haver menos reas disponveis para as partculas
escapulirem. Mas a maior contaminao do filtro deixa menos rea para o fluido passar e cria
uma maior presso no filtro e, conseqentemente, limita intensamente o fluxo que passa por ele.
Quando o filtro ficar saturado (completamente cheio de partculas), ele dever ser substitudo. s
vezes o material do filtro pode ser limpo e usado novamente. A Figura 3 mostra o material de um
filtro e a escala relativa de 25 m.
A filtragem ULPA (Ultra Efficiency Particulate Air, ar de ultra baixa penetrao) remove
99,9997% das partculas iguais ou maiores do que 0,12 m. Ambientes de processos
ultralimpos requerem filtros UPLA.
Salas limpas
Ambientes de processo limpo devem permanecer infalivelmente limpos, ento, apenas filtrar o
ar da fbrica no suficiente. Para minimizar a contaminao por partculas, importante
construir ambientes distintos, chamados salas limpas. Isso permite que os limites das partculas
sejam mantidos em nveis mensurveis e controlados. As salas limpas conseguem esses
excelentes nveis de limpeza maximizando o fluxo de ar laminar e minimizando as armadilhas de
partculas. O fluxo de ar laminar o ar que se move em uma nica direo, o que permite que as
partculas sejam eliminadas da rea. Armadilhas de partculas so reas nas quais partculas se
juntam e escapam do fluxo de ar laminar. Projetos cuidadosos de salas limpas podem minimizar
essas reas.
Em salas limpas eficientes, os filtros instalados no teto permitem que o ar filtrado seja
direcionado para o piso. O piso do assoalho tem pequenos furos que permitem que o ar passe
para baixo do piso, onde dutos de ar transportam o ar de volta aos filtros do teto. Esse processo
de filtragem pode trocar todo o volume de ar da sala limpa mais de trinta vezes por hora,
tornando o ambiente o mais limpo possvel e minimizando o movimento advectivo de partculas.
Uma maior reduo da contaminao em uma sala limpa exige que a equipe use roupas de
proteo, coberturas no cabelo e barba, capuzes, proteo de sapatos e luvas. Carinhosamente,
esse vesturio chamado de roupa de coelhinho. Nos ambientes mais limpos, os funcionrios
usam roupas de coelhinho ajustadas com capacetes e mscaras com respiradores que filtram o ar
exalado. O vesturio da sala limpa extremamente importante no controle da
microcontaminao para conter as partculas que so emitidas pelas pessoas.
Miniambientes e isoladores
As salas limpas mais avanadas tecnologicamente empregam miniambientes. Essas salas limpas
em miniatura tm poucos metros de profundidade e isolam o produto de fontes de contaminao
externas. Miniambientes tm seus prprios ventiladores de ar, filtros, controle de temperatura e
umidade, braos robticos internos ou luvas de borracha integradas. Por causa do seu tamanho,
os miniambientes so significantemente mais baratos do que as salas limpas, e o seu uso est
aumentando. Uma fbrica pode instalar miniambientes em uma sala limpa de classificao
menor, em vez de gastar grandes somas de dinheiro na construo de instalaes de ltima
gerao, e obter os mesmos resultados.
ISO 14644-1
10
100
1000
10000
100000
9
Tabela 2: FS209E e ISO
A ISO 14644-1 estabelece classes padro de limpeza de ar para salas limpas e zonas limpas
baseadas em concentraes especificadas de substncias particuladas aerotransportadas. Uma
sala limpa ISO Classe 1 no tem mais de 10 partculas maiores do que 0,1 m em qualquer metro
cbico de ar. Uma sala limpa ISO Classe 2 seria dez vezes mais suja do que a sala limpa Classe
1, e uma sala limpa ISO Classe 3 seria dez vezes mais suja do que a Classe 2, e assim por diante.
Os limites especficos de partculas permitidos para cada Classe ISO so exibidos na Tabela 3.
CLASS
ISO 1
ISO 2
ISO 3
ISO 4
ISO 5
ISO 6
ISO 7
ISO 8
ISO 9
10
100
1,000
10,000
100,000
1,000,000
2
24
237
2,37 0
23,7 00
237 ,000
10
102
1,020
10,200
102,000
35
35 2
3,5 20
35 ,200
35 2,000
3,5 20,000
35 ,200,000
8
83
832
8,320
83,200
832,000
8,320,000
29
29 3
2,9 30
29 ,300
29 3,000
O National Environment Balancing Bureau (NEBB) ampliou esse padro e oferece um outro
programa de certificao. Embora o programa de certificao do NEBB fornea informaes
teis, ele no exigido para a certificao de salas limpas.
Partculas depositadas
As certificaes de salas limpas no exigem a avaliao do depsito de partculas nas superfcies;
as certificaes de salas limpas avaliam apenas as partculas que se movem livremente no ar.
Entretanto, as partculas depositadas podem ter grande impacto nos processos de produo de
alta tecnologia.
Para avaliar o depsito de partculas, uma instalao pode coletar partculas depositadas em um
prato de prova. Um prato de prova um objeto plano sem partculas feito dos mesmos materiais
do produto que fabricado (por exemplo: se produzir produtos de plstico ABS, dever usar um
prato de prova de plstico ABS).
Vrios pratos de prova so colocados pela sala limpa, e os pratos devem coletar as partculas
depositadas. Depois de um perodo definido de tempo, a equipe de testes rene os pratos de
prova e conta as partculas depositadas. A contagem das partculas dos pratos de prova
geralmente requer microscopia ptica ou contadores de partculas de anlise de superfcie.
Atualmente, os sensores de depsito molecular podem efetivamente monitorar as taxas de
depsito de partculas. Esses sensores, como os pratos de prova, usam um material com contedo
semelhante ao produto produzido. O material revestido com SAW (Surface Acoustical Wave,
ondas acsticas de superfcie) com a mesma atrao por partculas do produto. Os sensores de
depsito molecular podem ajudar a reduzir, ou eliminar, testes de prato de prova, o que significa
economia.
Seo III.
Deteco de partculas
Esta seo descreve a tecnologia dos contadores de partculas e os mtodos mais comuns de
deteco, contagem e dimensionamento de partculas.
Deteco de partculas
A certificao de salas limpas um processo contnuo. Monitorar continuamente a qualidade do
ar garante que o sistema de filtragem est operando adequadamente e que no existe nenhuma
fonte geradora de partculas desconhecida.
Nos primrdios dos processos de produo limpa, filtros de testes capturavam partculas. Depois,
equipes em laboratrios usavam microscpios para confirmar o nmero e dimenses das
partculas capturadas. s vezes, a pessoa que contava as partculas podia determinar a
composio das partculas, por exemplo, p de cobre. Ignorando o tempo gasto no processo, a
microscopia ainda a melhor forma de obter informaes especficas sobre as partculas, mas
no fornece dados instantneos da contaminao. A microscopia revela eventos de partculas
histricos, no atuais.
Nos meados dos anos 50, aplicaes militares incentivaram o desenvolvimento dos primeiros
instrumentos de contagem de partculas. Esses dispositivos tornaram possvel monitorar nveis
instantneos de partculas e fornecer notificaes rpidas quando os nveis de contaminao
excediam os limites. Em vez de se esperar dias pela anlise das partculas, o que poderia permitir
que milhares de produtos com defeito passassem por um determinado processo, o contador de
partculas fornecia dados em minutos.
Gradualmente, essa tecnologia se expandiu para outros setores de produo, e a confiana na
nova tecnologia dos contadores de partculas cresceu. Engenheiros de processo que monitoravam
em tempo real os nveis de contaminao por partculas comearam a desenvolver processos que
fossem mais eficientes, com menos produtos defeituosos.
Atualmente, o contador de partculas continuamente melhora a produtividade ao fornecer
detalhes dos nveis, tendncias e fontes da contaminao por partculas. A equipe de produo
usa os dados das partculas para estudar as causas da contaminao, programar precisamente os
ciclos de manuteno das salas limpas, relacionar nveis de contaminao com processos de
produo e ajustar cada etapa da produo.
Teoria da operao
Os contadores pticos de partculas a laser empregam cinco sistemas principais:
1. Lasers e ptica: O laser a fonte de luz preferida porque a sua luz tem um nico
comprimento de onda, o que significa apenas uma nica cor de luz de alta intensidade.
Lasers comuns so vermelhos, verdes ou quase infravermelhos. Os primeiros lasers eram
varetas de rubi. Eles foram substitudos por tubos de vidro cheios de um gs ou de uma
mistura de gases. Lasers de hlio-neon (HeNe) eram comumente usados em contadores
de partculas, mas foram gradualmente substitudos por diodos de laser de estado slido.
A forma da partcula:
o Raramente as partculas so planas e esfricas como as partculas de PSL usadas
na calibragem dos contadores de partculas. Geralmente, as partculas so flocos
de pele ou fibras recortadas. A quantidade de luz que as partculas dispersam
quando flutuam lateralmente pelo volume de exame diferente da quantidade de
luz que dispersam quando so transportadas longitudinalmente.
contaminao de salas limpas com filtros HEPA, montagens de unidades de disco, produo de
remdios, pequenos bancos de testes, instalaes de lanamento de foguetes e centenas de
diferentes aplicaes de ar controlado.
inclusive em gua potvel, drogas injetveis, fluidos de transmisso e cidos fluordricos. Alguns
contadores de partculas lquidas precisam de um acessrio chamado de Coletores de amostras.
O coletor de amostras se comunica com o contador de partculas, extrai automaticamente um
volume preciso de lquido e, programado com a taxa de distribuio especfica do contador,
passa o lquido para o contador de partculas. Alguns contadores de partculas lquidas se
conectam diretamente a encanamentos ou usam gases pressurizados para eliminar bolhas em
produtos qumicos.
gases. Esses gases podem ser inertes ou volteis, secos (anidros) ou com traos de vapores de
gua. Geralmente, o modelo do contador de partculas de gs fornece medidas de contaminao
com presses que variam de 40 a 150 psig.
mercado, onde os processos ocorrem sob presses negativas (vcuo), e oferecem desafios. As
partculas no apresentam movimento previsvel no vcuo, por isso, contadores de partculas
especializados devem depender da cintica de uma partcula para deteco.
Diversas variaes tecnolgicas podem ser usadas quando se projeta um contador de partculas.
A aplicao indica a tecnologia variante empregada no contador de partculas. Alm disso, os
lasers escolhidos para tecnologias variantes so selecionados para sua proficincia de
dimensionamento de partculas.
A intensidade do laser no uniforme. Especificamente, um laser mais intenso no centro do
que nas laterais. A intensidade do laser ilustra a distribuio gaussiana ou distribuio em forma
de sino. Alguns contadores de partculas usam mscaras pticas especiais para exibirem apenas a
poro central do laser. A Figura 4 ilustra um feixe de laser real mapeado em grade. Os nveis de
intensidade do laser alcanam um pico (reas branca e vermelha), que o centro do feixe de
laser.
Disperso X Extino
Tanto as tecnologias de disperso como de extino usam um laser para iluminar uma rea de
exame. Os contadores de partculas de disperso medem a luz refletida de uma partcula
medida que ela passa pela regio de exame. Os contadores de partculas de extino iluminam
todo o volume de exame e medem a sombra de uma partcula (reas nas quais a luz est extinta,
apagada) medida que ela passa pela regio de exame. A tecnologia de extino apenas usada
em contadores de partculas lquidas que dimensionam partculas maiores do que 2,0 m. Se a
tecnologia de disperso fosse usada em partculas grandes, o fotodetector ficaria cego por causa
da luz intensa dispersa.
Espectrmetro X Monitor
Todas as tcnicas de contagem de partculas so limitadas pela dimenso da menor partcula que
puder ser detectada. Ou seja, chegamos a um ponto em que a partcula to pequena que a luz
dispersa no pode ser distinguida do rudo de fundo. O rudo de fundo semelhante esttica
eltrica e um subproduto de operaes eltricas. Quando a partcula pequena demais para ser
distinguida do rudo de fundo, contadores de partculas especiais fazem as dimenses das
partculas ficarem maiores, permitindo a sua deteco. Esses contadores de partculas so
chamados de Contadores de Partculas de Condensao (CPC).
O CPC contm um reservatrio de lquido voltil, por exemplo, lcool butlico. A amostra de ar
flui por uma cmera aquecida onde o vapor de lcool se mistura com o ar da amostra. Depois, a
amostra do ar e o vapor de lcool fluem por uma cmara de condensao fria, onde o vapor de
lcool se torna supersaturado e se condensa nas partculas. Usando essa tcnica, gotculas de
lcool microscpicas podem envolver partculas de dimenses to pequenas quanto 0,01 m e
transform-las em gotculas de partcula/lcool que medem entre 1 e 2 m. Esse tamanho de
partcula facilmente detectado.
O modelo do CPC difunde todo o excesso de lcool nas paredes da cmara de condensao de
forma que as gotculas no sero adicionadas aos contadores de partculas. Como os contadores
pticos de partculas, os CPCs com menores dimetros de partculas detectveis so mais
complexos e exigem mais manuteno.
H desvantagens quando se compara um CPC e um OPC: Os CPCs exigem o reabastecimento
peridico dos reservatrios de lcool, o lcool butlico tem cheiro desagradvel, os CPCs de
lcool no-butlico usam um lquido caro de fluorocarbono e, se o CPC acidentalmente
transbordar, no haver dados resultantes at que as partes que transbordaram voltem ao normal.
Em muitos ambientes (ISO Classe 6 ou mais sujos), um CPC detectaria tantas partculas que no
poderia fazer uma contagem suficientemente rpida, ento, os dados seriam incorretos. Alm
disso, diferentemente do OPC, o CPC no pode relatar informaes sobre as dimenses das
partculas. Como o CPC torna todas as partculas com o mesmo dimetro, ele relatar apenas a
presena de uma partcula e no sua dimenso!
Para usar eficazmente um contador de partculas, ele dever ser manuseado, instalado e operado
corretamente. Seguir algumas diretrizes garante que o instrumento opera corretamente e colhe
amostras estatisticamente vlidas.
Os contadores de partculas no so como outros equipamentos de testes comuns. Eles incluem
lasers, pticas especializadas, placas de circuito impresso (PCB) e regies de amostragem
meticulosamente alinhadas. So extremamente sensveis aos estresses do ambiente, como
Desembalagem
Muitos contadores de partculas so fabricados e embalados em ambientes de salas limpas. No
remova a embalagem de plstico que cobre o contador de partculas at que o instrumento esteja
dentro do ambiente em que ser usado. Isso ser especialmente necessrio se o contador de
partculas for operar em uma sala limpa. Seguir essas diretrizes minimizar a exposio do
contador de partculas sujeira e umidade que contaminam as suas superfcies pticas.
Instalao
A rea de instalao no deve estar sujeita a vibraes de outros equipamentos e deve estar na
temperatura normal da sala (70F/21C). Coloque o contador de partculas em uma superfcie
nivelada e limpa prximo tomada de corrente alternada condicionada. Evite colocar o
instrumento em um ambiente com rudos eltricos, com muitos picos de voltagem originados de
motores eltricos, rels, transformadores, entre outros. Rudos eltricos podem gerar contagens
de partculas falsas.
Armazenamento
Se for o caso, retire todos os produtos qumicos corrosivos (nos contadores de partculas
lquidas) e os substitua por fluido limpador de pra-brisa prova de congelamento. Embrulhe o
contador de partculas em uma embalagem de plstico, antes de remov-lo do ambiente limpo,
lacre e rotule o pacote. O rtulo deve informar o tipo de contador de partculas, a data, o motivo
do armazenamento, o nmero de srie e a data de expirao da calibragem. Quando for
necessrio novamente, o contador de partculas estar pronto para ser enviado de volta ao local
de calibragem ou reparo.
Registros do instrumento
Considere criar e manter um registro que indique a data em que o instrumento foi colocado em
servio, quando a calibragem expira, o tempo que foi usado, a data de manutenes preventivas
(limpeza ptica, etc.), percalos ou danos e qualquer desempenho fora do comum percebido
pelos operadores.
Manuteno
Os contadores de partculas precisam de manuteno de rotina que geralmente inclui limpeza das
superfcies pticas. Com o tempo, as superfcies pticas acumulam sujeira que pode dissipar a
luz do laser; nos contadores de partculas lquidas, isso se chama DC Light. DC Light a medida
de corrente direta (DC) correlacionada quantidade de luz dispersa que passa por lquidos ou
superfcies de reteno. Um valor excessivo de DC light pode resultar uma contagem de
partculas menos sensvel ou falsa. Para evitar isso, siga as instrues que acompanham o
contador de partculas, pois a limpeza deve ser executada pelo usurio, como a maioria dos
instrumentos. Siga as instrues com cuidado e, se voc no estiver seguro do que est fazendo,
no continue. Entre em contato com o fabricante para obter mais instrues.
Controle de tendncias
Raramente til saber quantas partculas esto em uma sala; mais til saber se a contaminao
da sala aumenta ou diminui com o tempo. Isso se chama controle de tendncias, e os contadores
de partculas fornecem uma anlise detalhada da tendncia da contaminao por partculas. Isso
, monitoram as alteraes graduais ou repentinas dos nveis de contaminao do ambiente.
Essas informaes podem dizer ao operador se h um problema de filtragem, se uma ferramenta
ou processo est sujo ou se algum deixou uma porta ou vlvula aberta.
H aplicaes mais sofisticadas para os contadores de partculas. Isso ser abordado
posteriormente.
Normalizao de dados
Um contador de partculas colhe amostras do meio em uma taxa de fluxo constante e conta as
partculas desse meio. Os dados coletados pelo contador de partculas podem ser visualizados de
duas formas:
Contagens brutas: O nmero total de partculas em um canal de dimensionamento
especfico. As contagens brutas no so calculadas como funo do volume da amostra,
por isso, os dados no informam valores de contaminao volumtrica. Esses dados so
teis em algumas aplicaes, alm de na calibragem do instrumento.
Contagens normalizadas: O nmero total de partculas dividido pelo volume amostrado.
As contagens normalizadas relacionam contagens de partculas com volumes de
amostras, por isso, os dados informam as concentraes de partculas por unidade de
volume (ft3, m3, ml, etc.).
Seo IV.
Hardware e acessrios
A seguinte seo descreve os tipos de diferentes de contadores de partculas e hardware
associados. Alm disso, discutiremos aplicaes especficas de cada tipo de contador de
partculas.
Area(m 2 )
Portanto, se uma sala limpa mede 10.000 ft, primeiramente, converta a medida para m, ache a
raiz quadrada e arredonde.
Area (m 2 ) = ft 2 0.092903
10,000 ft 2 0.092903
929.03 m 2
929.03 m 2
30.48 31 sample locations
O monitoramento eficaz dessa sala limpa deveria incluir trinta locais de amostragens diferentes.
Outra opo executar testes em salas limpas usando um dos seguintes mtodos:
Figura 6: Coletor mltiplo de aerossol ( direita), bomba ( esquerda) e caixa de controle (em cima)
Sondas de amostragem
As sondas de amostragem se conectam extremidade do tubo de amostra e fornecem dados mais
precisos. O ar da sala limpa geralmente tem fluxo laminar com velocidades que variam de 14
m/min a 27 m/min. Algumas sondas so dimensionadas para fornecer equalizao de velocidades
entre o contador de partculas e o ar da sala; essas sondas de amostragem so conhecidas como
isocinticas. Assim, a sonda de amostragem captura partculas na mesma velocidade do ar da
amostra e proporciona contagens de partculas normalizadas precisas. Consulte a Figura 7.
Sensores ambientais
Os sensores ambientais podem medir temperatura, umidade relativa, presso diferencial do ar,
velocidade do ar, etc. O contador de partculas e o FMS (Facility Monitoring System, sistema de
monitoramento das instalaes) interpretam os dados da sonda ambiental e os exibem em um
formato legvel.
Mdulos de exame
Os mdulos de exame para lquidos so anlogos aos dos contadores de partculas do vcuo: eles
proporcionam um mtodo de monitoramentos de partculas sem desviar o fluxo.
Corrosivos e encanamento
Contar partculas suspensas em lquidos, especialmente lquidos corrosivos, exige contadores de
partculas com superfcies internas molhadas que no se dissolvam ou soltem gases txicos
quando coletarem amostras de corrosivos.
A Particle Measuring Systems usa diversos materiais e plsticos pticos diferentes para as
superfcies molhadas dos contadores de partculas lquidas:
ptica
Slica fundida: Material semelhante ao vidro, a slica fundida compatvel com a maioria
dos produtos qumicos, exceto o cido fluordrico.
Safira: Compatvel com a maioria dos produtos qumicos usados na indstria de
semicondutores, inclusive com o cido fluordrico.
Fluoreto de magnsio: Compatvel com a maioria dos produtos qumicos, exceto o
fluoreto de amnio e perxido de hidrognio.
Encanamento
Polifluoreto de vinilideno (PVDF): Termoplstico usado em muitas clulas de
amostragem, mas no-recomendado para uso prolongado com acetona.
Perfluoroalcxico (PFA) Teflon: Fluoropolmero usado em algumas clulas de
amostragem, o PFA Teflon fica poroso em contato com alguns produtos qumicos. Outros
materiais incluem Teflon, KalRez (um O-ring caro) e Kel-F.
Compatibilidade qumica
Antes de colocar qualquer produto qumico em um contador de partculas lquidas, importante:
se certificar de que o produto compatvel com as superfcies molhadas do contador de
partculas, do coletor mltiplo de lquidos e de toda a tubulao acessria, inclusive a
tubulao do instrumento,
se certificar de que o produto qumico no reagir com qualquer resduo de produtos
qumicos de amostras anteriores.
Se tiver dvidas quanto compatibilidade dos produtos qumicos, entre em contato com o
fabricante do contador de partculas.
CONTADORES DE PARTCULAS DE GS
Contadores de partculas de gs determinam a pureza de vrios gases, inertes ou reativos. Um
contador de partculas de gs um contador de partculas aerotransportadas especializado que
conta partculas submetidas presso. Alguns contadores de partculas de gs podem coletar
amostras sob presses do cilindro (at 150 psi), e outros so adequados para presses de linha
(reduzidas).
Adquirir e analisar amostras de gases representativas pode ser difcil. Os desafios em fbricas de
semicondutores incluem conectar o contador de partculas ao abastecimento de gs. Geralmente,
o suprimento de gs se origina em uma instalao de processamento fora da fbrica de
semicondutores, com tubos de ao inoxidvel de grande dimetro transportando o gs do
abastecimento para a fbrica. Se a aplicao exigir a anlise de partculas no gs antes de
atingirem a fbrica de semicondutores, uma porta de amostragem dever ser adicionada aos
tubos de abastecimento de gs, de onde o contador de partculas extrair amostras.
Mesmo assim, o gs semicondutor no contm muitas partculas, por isso, a gravidade e a
difuso podem tornar difcil a captura de amostras estatisticamente vlidas das poucas partculas
presentes. O mtodo preferido de captura de partculas requer um encaixe no tubo, com o cano
da amostra conectado ao encaixe e inserido no centro do dimetro do tubo. Geralmente, outros
contadores de partculas de gs so colocados prximos aos pontos de uso para a verificao
final da qualidade do gs.
Algumas aplicaes usam sistemas de anlise de gases que consistem em um HPD caseiro
conectado a um contador de partculas aerotransportadas. Os HPDs fabricados pela Particle
Measuring Systems contm muitos recursos patenteados que evoluram depois de iniciativas
prolongadas na anlise de gs ultralimpo. Quase nenhum dos difusores caseiros funciona. A
falha de contagem zero quando coleta gs filtrado e a aleatoriedade das contagens de partculas
so problemas que os engenheiros da Particle Measuring Systems superaram antes de os
difusores de alta presso estarem prontos para o mercado.
Seo V.
Integrao de dados
Esta seo descreve como as tecnologias de deteco de partculas operam juntas para gerenciar
a contaminao.
o
o
o
o
o
Seo VI.
Glossrio
acreao
adeso eletrosttica
adveco
aerossol
aglomerao
gua DI
albedo
analisador de altura de pulso dispositivo que coleta pulsos eltricos e os relaciona s dimenses
das partculas; Abreviao: PHA
anidro
cavitao
classe
colimao
compartimento
contador de partculas
contagens brutas
controle de tendncias
conveco
correntes
difuso
disperso
dissecado
dupleto
espectrmetro
estatisticamente vlida
extino
filtro HEPA
filtro ULPA
fluido
qualquer lquido ou gs
fluxo laminar
fluxo turbulento
FMS
fotodetector
hidratada
inerte
inorgnico
in-situ
ISO
LASER
lquido
luz coerente
microcontaminao
mcron
miniambiente
mdulo de exame
monitor
movimento browniano
MTBF
normalizao
orgnico
partculas
prato de prova
sala limpa
vcuo
variao trmica
vivel
vivo
volume de exame
volumtrico