Captulo I

MICROSISTEMAS

Los Microsistemas integran componentes mecnicos, electrnicos u pticos muy

pequeos (hasta unos pocos nanmetros) as como algunos otros componentes
construidos sobre un sustrato para la construccin de dispositivos funcionales. Estos
dispositivos se utilizan como sensores inteligentes, actuadores y controladores para
diversas aplicaciones.

Las Tecnologas de Microsistemas (MST) tienen diversas aplicaciones (piezas de

automviles, en la tecnologa mdica y en los sectores de informacin y comunicacin).
Tan slo en Alemania, el sector emplea aproximadamente a 766.000 personas y en el
2009 alcanz una facturacin de ms de 82 millones de euros. La tendencia al alza
continuar - con tasas de crecimiento de hasta un 10 por ciento por ao.

Comn a todos los microsistemas es el hecho de que los diferentes materiales,

componentes y tecnologas estn unidos entre s en un rea muy pequea. Sin embargo,
los microsistemas modernos son algo ms que la suma de sus partes: La integracin
inteligente de los componentes individuales para formar sistemas ms complejos
permite funciones completamente nuevas - que conducen a productos inteligentes que
pueden hacer que nuestras vidas sean ms seguras, ms sencillas y ms cmodas.

Los microsistemas del futuro no slo podrn sentir, evaluar y actuar, sino que tambin
tomarn decisiones con previsin y se comunicaran con su entorno. Tendrn funciones
de auto-diagnstico y funcionar de manera autnoma en gran medida estas nuevas
caractersticas que vienen estarn muy cerca de las capacidades cognitivas.

Fuente:
Bundesministerium fr Bildung und Forschung (BMBF), Homepage
Fatikow Sergej, Rembold, Ulrich, Microsystem Technology and Microrobotics.
http://www.marcomontagni.it/wp-content/uploads/2014/04/MNR_Tema1.pdf
http://www.interelectricas.co/pdf/ABB/04-2006/68-73%204M684_SPA72dpi.pdf
http://es.developmentscout.com/specials/mikrosystemtechnik

CONCEPTO DE MICROSISTEMA (MST)

Microsistema: integracin de sensores miniaturizados, actuadores y unidades de
procesamiento de seal, que permiten al sistema completo medir, decidir y reaccionar.
Integracin de:
Mecnica
Electrnica
Control
Otros posibles elementos funcionales

El objetivo sera fabricar elementos inteligentes monolticos o chips integrados.

Ventajas:
Reduccin de tamao y peso"
Reduccin de costes"
Produccin en masa"
Bajo consumo energtico

TECNOLOGA DE MICROSISTEMAS

LAS DIMENSIONES DE UN MICROSISTEMA

No hay acuerdo
unos pocos centmetros
en el rango de los micrmetros
un sistema en el que todas las funciones posibles estn realizadas en un pequeo
espacio y que contiene al menos un componente fabricado mediante
micromecanizado

EJEMPLOS DE MICROSISTEMAS
Link con ejemplosss
http://es.developmentscout.com/specials/mikrosystemtechnik
SELECCIONAS UNOS CUANTOS CHIKII

QU SON MICROSISTEMAS?
Sistemas de tamao muy reducido (micras)
(Respuesta evidente y bastante acertada)
Sistemas con componentes de tamao muy reducido
(No siempre es lo mismo que lo anterior)
Son los sistemas en s, y tambin sus tcnicas o procesos de diseo
(Mismo nombre para el fin y el medio)
Aglutinan gran variedad de aplicaciones y tipos de soluciones
(Cajn de sastre muy heterogneo, lo nico comn es la reduccin de tamao)

Elemento predominante es el Silicio

(No es la nica posibilidad, pero s la ms comn, incluso cuando no se trata de
componentes electrnicos)

DEFINICIN DE MICROSISTEMAS
Sistemas inteligentes miniatuarizados que combinan sensores, actuadores y
funciones de procesamiento de informacin. Estos sistemas son normalmente
pluridisciplinares, combinando dos o ms elementos de naturaleza elctrica,
ptica, mecnica, qumica, magntica, etc. que pueden ser integrados
monolticamente o mediante cualquier tecnologa hbrida multichip

Conjunto de tcnicas y procedimientos para disear sistemas en miniatura

Una forma de hacer la cosas. La unin del muestreo y actuacin mediante
cmputo y comunicaciones para controlar parmetros fsicos a una escala
microscpica, cuyos efectos se pueden apreciar a escala macroscpica
Dispositivos y mquinas fabricados usando tcnicas comunes en la
microelectrnica, normalmente para integrar funciones mecnicas, hidrulicas,
etc. con funciones elctricas
Una tecnologa para la fabricacin de estructuras mecnicas sobre obleas de
silicio usando tcnicas de circuitos integrados.

LO QUE NO SON MICROSISTEMAS

Sistemas pequeos, una simple reduccin de escala de sistemas macroscpicos
pero sin cambio del sistema de fabricacin ni de funcionamiento
Un sistema no puede ser micro y macro-sistema a la vez, slo cambiando un
poco el tamao en cada implementacin.
Un mini-sistema no es un micro-sistema.
Nanosistemas
Un conjunto eutctico (con orden molecular preciso) de componentes en la
nanoescala (nanmetros) trabajando juntos para un propsito comn.
La nanotecnologa se refiere a la colocacin tomo a tomo. Las leyes
newtonianas no son aplicables en esta escala, pero s en los microsistemas
(millones de tomos permiten usar valores y propiedades promediados).

COMPONENTES O SISTEMAS
Por ahora ms que microsistemas hay microcomponentes
Se fabrican microsensores o microactuadores, pero falta la verdadera integracin
en microsistemas completos
Sustrato de Silicio: permite disear el controlador junto al elemento a controlar

Incluso los sistemas integrados (controlador + elemento a controlar) por ahora son
slo sensores o actuadores

PRINCIPALES DIFICULTADES
Compatibilidad de materiales
Escalabilidad de los principios de actuacin
Dificultad de control (falta de algoritmos)
Alto coste del proceso de produccin
Transformacin de los resultados de investigacin en aplicaciones industriales
prcticas.
Fuerzas electrostticas y de tensin superficial dominan sobre fuerzas
gravitacionales o inerciales.

COMPONENTES DE UN MICROSISTEMA

TCNICAS FUNDAMENTALES DE MICROSISTEMAS