BAO KHAC AN Ute re ORS tte TECHNOLOGY Wy i Oa pct Sa-7. kee} Wen AMALTac gla Bao Kho An t6t nghiep tnaong Bai hoe KF thuat Budapest — Hungary nam 1971 ; nh hoe vj Pho Tién si Todn ~ Li ném 1984 va hoc vi Tién si Khoa hoc nm 1990 tai Vien Han lam Khoa hoc Hungary. Lam viec ‘ai Vign Vat fi — Wien Khoa hoe Viet Nam tir nam 1973 dén nam 1993, Sau 46, am vige tai Vien Khoa hoc Vat liga thude Vien Khoa hoe va Cong nghg Viet Nam Tac gia a Giao sur VBN i, Nohien cau vign cao cp, 48 lam viéc ti : Trung tam Nghién clu va Phat tién fin kign ban dn — IC thud Héng Tungsram (1971 ~ 1972), Nha may ban dn NIS (Serbia) olla Nam Tu (1876 - 197), Vien Vi ign tir ~ vin Vat i tung tam (KFK) thug Vign Han lm Khoa hoo Hungary va. Hang Microelectronics, _Bucapest (1985 ~ 1991). La the gid va ‘éng tac gid ca gin 150 bal bao, Dao 40 khioa hoe da duge ctng b6. Tac gid a tham gia va chit nhiéu a6 tai nghién oft koa hoe op quéc gia v8 vat lidu finh kien bén én ign ti, sensor; 1a thann Vien trong Ban bign 189 cla Tap chi Solid State phenomena (SSP) trong he théng tap chi online htfpv/wmw:scientifi net thuoe Nha xuat ban Trans Tech Publications ‘Thuy, St gia thépritn 1980 én nay. Tac gié 48 tham gia viét va bien soan mét 86 gido trinh, séch chuyén Khao, dich sch... trong 46 mot 36 cuén sch da dugc Nha xuat Dn ai hhoe Quéc gia Ha Nb va Nha xu bn lao due Viet Nam in, phat hah, ‘Bia chi mail cia tac gid = andk@ims.vast.ac.vnBAO KHAC ANDAO KHAC AN CONG NGHE MICRO v4 NANO DIEN TU @ NHA XUAT BAN GIAO DUC VIET NAMCong ty e6 phin Dich vy xuit bin Gido dyc Ha Noi — Nha xuat bin Gido duc Vier Nam giit quyén cOng b6 tée phir 138-2000/CXB/1~189/GD Ma sb: 7B614H9.NDNoi noi daw ~udn séch duoc bién soa nhim trinh bay nhang kién thiic co ban vé mot s6 cong nghé duoc cap nhat cho dén aay trong tinh yuc cng nghé micro dién tava nané dien tte Cong nghe dién tr bao gdm rat nhiéu Tinh vyc, trong do c6 linh vuc ché tao vat lieu, ché tao linh kién dién tir ban dan va vi mach. Cong nghé nay da dang phat trién nhanh chong va cé énh hung manh dén su phat trién cua xa hdl. Tir nhing, thap nien cudi ca thé ki XX va nhong nam dau cla thé ki XXI, tn co sé cia cong nghé micro dien to va tich hop voi nhiéu Jién nganh khac, cong them mot sé finh vuc cong nghé mai ra doi (cong nghé nand sinh hoc, cong nghe dign tu phan te, cong nghé micro va nané co dién tu...), cOng aghé nano ndi chung va cong nghé nand dién tu ndi riéng chiém mot vai tro dic biét quan trong, dang rat duoc chi trong phat trién hign nay. Hi vong trong tuong lai khong xa, chung sé mang lai nhing didu ki diéu cé nhang dnh hudng to lon dén nhieu mat cua su phat trién xa hoi. Ban than cong nghé micra va nand dign tte cng la mot link vuc rat rong lon, rét duoe chu trong phat trién trong hon béin thap ki qua. Tinh tir nam 1960, n6 da g0p phan mang lai cac thanh qua to lon lam thay déi nhiéu dién mao trong cudc séing va x3 hdi loai ngudi. Mot vi dy €6 thé thay rat ro la nhdr CO cng aghé micro dien ta ma céc thé hé vi mach khde nhau ra doi, trong, do c6 cac bé nho may tinh CPU, tao nén cac thé he may tinh cd nhan dang c6 vai tro to lon, cé su dnh huéng sau sic dén sy phat trién xa hdi loai ngudi. Linh vuc céng nghé micro va nano dién tt phat trién nhanh va manh nat, co vai tr dac biét quan trong trong, nganh dign ti, chinh fa linh vuc ché tao vat iu va linh kien ban din, mach t6 hop, cae linh kien cam bién 3thong minh, linh kien quang dién tu ban dan va cac linh vuc vat ligu mdi, linh kin méi nhu dign te hoc phan td... Cac linh kién ban dan vi dign ti ta nén tang dé ché tao cac thiét bi dién tw tién tién, cdc hé thong thiét bi truyén thong, cong nghé thong tin, may tinh quang lugng tu, ngudi may, do luong dieu khién... da, dang va sé phat ign rét manh trong thé ki XXI nay. Linh kign ban dan va mach t6 hop da phat trién nhu vo bao tir sau khi phat minh ra tranzito luong cuc béi J. Bardeen, H. Bratiain va W, Shockley ; phat minh ra laze béi G. Basov, M. Prokhorov va H. Townes vao nam 1952 ; phat minh ra Ji thuyét sigu dan, hiéu Ging Josephson ; phat minh ra soi quang suy hao thip 6 ving bude séng 0,8 um,1,3 um va 1,55 ym... Cae phat minh nay da duoc trao gidi thuéng Nobel. Vio nhimg nam 1959 - 1960, mach té hop (IC) dau tién ra doi do S. Kilby dé xuat va dén nam 2000 cung duoc tng gidi thuéng Nobel. Trong 1@ ki niem 50 nam ngay phat minh ra tranzito, tap chi Thong tin Khoa hoc cua My da goi thé ki XX la thé ki cla mach ran (solid state century). Nam 2004, Hang CNN da t6 chtic mot cude tham dé vé cac thanh qua khoa hoc cong nghé vi dai nhat trong thai gian qua. Két qua la, cang nghé micrd dién ter (ao nén cac mach 16 hop duoc danh gia 1a mot thanh qua khoa hoc cong nghé cé tac dong lon hat. Phat minh ra mach vi dién tur duoc xép vao vi tri 56 mot, lisp do mdi dén cdc phat minh vé may tinh ca nhan, dién thoai di dong, may bay phan luc, TV. Dy doa trang thé ki XX1, Khi cong nghé mand duoc phat trién manh dén muc hoan thién thi con co nhiéu két qué moi ra doi ma con ngudi kho C6 thé doan han trude Trén thé gioi da c6 rat nhieu sach xust ban trong inh, vue nay. Thong tin trén internet co hang trigu tai ligu dé cp dén cac linh vue nay. Ngay c4 nhang ngudi lam trong chuyén mon nay cdng khé co thé theo doi va nam bat dugc kip thoi vé cac thanh qua dang dat dugc hang ngay, hang gie day s0i dong, Vi day Ia mot linh 4vue rat rong, cho nén dé viét mot quyén sch co mot noi dung day dus bao quat vé linh vyc nay sé vd cing kho khan va rat kho dap ung duge nhu céu cua cée doc gid muén hiéu sau vé van dé nay. Mat khédc, linh vuc micrd va nand dién tir trén thé gidi da va dang phat trign rt nhanh chéng, trong khi do 6 Viét Nam, linh vue cong nghé micrd va nan dién tt lai chua dugc phat trign dang ké Tuy vay, mot s6 phéng thi nghiém & mot 56 vién nghién ctu va trudng dai hoc & Viet Nam it nhiéu da quan tam nghién cuu trién khai mot 86 cong nghé ché tao linh kién ban dan roi rac, mot sé khau cong nghé micro va nané dién tit... nhim ché tao cdc mau vat liéu, mau linh kién ban dan, linh kién cém bign (sensor) va vi mach tich hop thdp... nham phuc vu cho nghién ctu, ging day va ung dung. Trong tuong lai gan, vi xu thé toan cdu hod, Viel Nam khong thé khong phat trién céc nganh cong nghiep mai nhon nhu nganh nang lugng, co khi, luyén kim, dién tir, tu dong hod, vat ligu moi, cong nghé sinh hoc... trong d6 6 nganh cong nghiép micro va nand dien ta. Cac nude cé nén kinh té manh hin nay khong nude Nac bd qua nganh cong nghiép micrd va nand dign tw, tham chi con duoc quan tim dac biét Cuén sach nay duoc viél nham gigi thigu mot cach tuonig déi khai quat vé cong nghé micro va nano dien ti, trong do cong nghé nand dién te 14 mot tinh vuc trong yéu bao chim ba finh vuc cua cong nghé nand (ban dan dign ta, dient phan ti va dién t& nand sink hoc) dang rat duoc quan tam hién nay. Sony dé nim bit duge cong nghé nano dién tu, nhat thiet phai hiéu vé cong nghé micrd dién ti trén vat liéu ban dan, dac biet 1a en ban dn Si, GaAs, vi day la thanh qua da dat duge va né con kéo dai it nhat trong nhigu thap ki nda trong thé ki XI. Cuén sach viét vé mot chuyén nganh rat rong, bao gém nhiéu linh vyc khéc nhau : vat li chat rén, vat li ban dan, khoa hoc vat ligu, hoa — I, sinh hoc, dien tit, mach dién tu, thiét ké vi mach, mo phong..., cdc linh vue nay lai dang phat trién thay déihang ngay hang gid nén trong qua trinh bién soan cudn sich, ching toi gap khong it Kho khan, nhat la mat thuat nga khoa hoc cong nghé (rong linh vue méi nay 6 Vigt Nam chua c6 tinh théng nhat cao. Noi dung cuén sach duoc viet mot phan dua trén co se téng ket mot sé kink nghiém lim viée, nghién cuu ctia tée gid trong thoi gian tu nam 1972 dén nay & mot sé vien nghién cuu, cong ty ché tao linh kién ban dan, vi mach trong va ngoai nude ; mot phan dua trén co’ sé giao Wrinh mon hoc Cong nghé nand — Dign tir nand do tac gid bién soan dé giéng day cho cac lap cao hoc Dien tl — Vien thong cha Hoc vién Cong nghé Buu chinh ~ Vién thong tir nam 2002 dén nam 2009 va mot phan noi duunyg kha quan trong dua tren cdc tai ligu khoa hoc cng nghé moi thu thap tir sach, tap chi va tir cde thong tin co trén internet hien nay r4i bién soan lai. Tuy nhien, cdc kién thie mai vé cong nghé hand ~ dién tir nand dang phat eign ahanh chéng, thay d6i hang ngay, cho nén cudn sich khong thé tranh khéi khiém khuyél vé ndi dung va hinh thie, Tac gid rat mong cac nha chuyén mén, cac ban ding nghiép va ban doc xa gan dong gop ¥ kién dé cucin sich nay ngay cang duoc hoan thién hon. Moi y kién gép y xin gui vé cong ty cé phan Dich vy xuat ban Giao duc Ha Noi — Nha xuat bin Gido duc Viet Nam, 187B Giang Vo, Ha Noi Ha Noi, thang 8 nam 2009 GS. TSKH. Bao Khac AnPsina CONG NGHE MICRO DIEN TUCheong 1 KHAI QUAT NHUNG VAN DE CHUNG LIEN QUAN DEN LINH VUC MICRO VA NANO DIEN TU 1.1. LINH VUC DIEN TU - CONG NGHIEP DIEN TU. Y nghia cla tir “dién tw” theo nghia hep [a hat électron c6 dién tich 1.6.10°' C, c6 koi lngng nghi 1a 0,91095.10-2° kg. Khdi niém dién tir con co nghia rong, nghia tng qudt, d6 1a nganh dien thay linh vuc dién né, Theo quan nigm trudc day, vao dau thé ki XX, khi d6 Tinh vuc dign tt cha phat trign lim, nganh dién thutng duge chia t Dign nang bao gém céc Tinh vue sin xudt dign nang, truyén tai 1g. ha din 4p béi céc tram bign dp, phan phéi cung cép dién nang qua cdc dudng day cao thé dén cdc noi céin thiét, cung cp dign cho céc trang thiét bi, va cdc nha méy, bigh déi chinh Iw dong dign véi cong suat T6n... ngay nay thutmg duge goi chung 1a nganh dién, Cdn Tinh vuc dién nhe duge higu 1a finh vuc lien quan dén dign tir vii céic ki thuat telex, dien bdo, truyén tin, radio. Vé sau vai serxing dung céc phat minh lien quan dén dién tit, nganh nay phat trién rdf nhanh phan chia thanh rat nhiéu cdc Tinh vue chuyén mon nhé khac nia nhu v6 tuyén dign, truyén hinh, diéu khién tir xa, do luting, may tinh, cOng nghé thong tin va rat nhiéu linh vue khdc nia... Ngay nay, ngici (a thutmg néi véi cai tén nganh dign va dign tit hoge Ki thugt dign va dign tit (electrical and electronics engineering). Dén nay, khé e6 thé vach ra r6 ranh gigi gitta cdc Tinh vuc, nhat 1a trong cong cude céch mang khoa hoc Ki thuat dang phat trién nbur vi bo hign nay, ki thuat dién va dién tir d3 dan xen vo nnhau va xm nhap vao hu het cic nginh cdc linh vue khée nhau, Tir“ngink, inh hai finh vue : “dién ndng” va 9 Chuore 1din” theo tén got tnwée day di dé ra hai fin vue chinh c6 cac dc thi riéng kha 16 rét do 1a dién va dién ni. Trong Tinh vue dién ty lai ré nhdnh thanh nhiéu ng: inh quan trong khac nhur nganh vat ligu dién tit, ng’nh cong nghe linh kign dign tit, nganh thiét bi dién th, he théng thiét bj dign tir va cae ching Joai thiet bi may tinh... Ngay nay, cae Tinh vye nh cong nghe bin dn, tin hoc. diéu khién tir xa, tir dong hod, may robot, if tue nhan tao, quang dién ti, dign tir hang khong ~ va try, nang lug sach... 1 céc Tinh vue méi hon thumg duge nhac dén, Nhimg nginh nay Iai lign quan mat thiét véi nhau, khé ai cé thé dinh ra ranh gidi 15 ring. Cong nghigp dien va cong nghigp din tit bao gém tat cd céc Tinh vue sin xuat ché tao va céc hoat dong khac... lién quan étn Tinh vuc dién va dien tit, D6 1a cde hoat dong lién quan d¢n sin suat ra cde sin pham dien ~ dien tit. Trong Tinh vue nay, doi khi ngudi ta con phan chia ra céc nganh cong aghigp nho hun nhu cong nghiep vat ligu dign tit, cong nghigp vat lieu bin din, cong nghiép sin sutit linh kign dign tit ~ ban din vi mach, cong nghiep cché tao thiét bi dign tir..., efe hoat dong vé mua ban cde san phim dign va dign wi la thong mai diem ~ dign tit Newai ta con c6 thé phan chia finh vuc dign — dign tir ra cdc chuyén nganh nhé khéc nhau theo dc tha sit dung (nhur dign tir cOng nghiep, dién tit quan su, dien tir gia dung...) hoac phan chia theo dac thi vit View ché tao hoe theo chite nang cla chting nhu cdc sin pham dién tir ban dan, cdc san pl dign tir g6m sit, cdc Tinh kién dign tir thy dong, cdc Tinh kien tich cue, céc vi mach, cde mach dign tir thong minh... C6 thé néi, nganh dien tir c6 tam quan trong dac biet, khong c6 ng’nh nay thi khong thé tign hanh cong nghiep hod duge. Bign va dién tir c6 vai trd vi nur he than kinh trong co thé con ngwdi dura céc tin higu va nang Iugng dén céc b6 phan trong co‘ thé dé tham gia vio cdc qué trinh s6ng. Do vay, c6 thé néi, phan dign ~ dién tir trong cac thiet bi 1a “phan hén™, va & moi 36 teuting hgp n6 C6 vai trd nhu 1a “bo ndo ~ tr4i tim”, vi nhu céc CPU trong cde may tinh c4 nhan hay trong cdc robot Gong sql, sane va sano digs 101.2. MOT SO KHAI NIEM TRONG LINH VUC DIEN TU 1.2.1. VAT LIEU DIEN TU a) Vat ligu dign ti adi chung Ta tt ca céc loai vat Higu ding dé ché tao 1a cde sin phan dign tit, né c6 rat nhigu logi khée nhay. Sin phim dign tr cang da dang thi nhu eu vé vat ligu dign tir cing da dang. Dén nay, ngudi ta a thong ke ¢6 hang nghin loai vat ligu dign tir khée nhau. Vi dy, ching loai vat ligu lam day dan dién nhu Cu, Al, Au, Ag. va cdc ching loai hgp kim cita chiing. cde chiing logi vat ligu gém sit diing trong ché tao céc Linh kién dién ti, cae chiing loai vat ligu bin din, ho vat ligu cach dién, ho vat ligu polime. ede vat ligu quy hii. b) Mot sé chiing loai vat liéu dién tur: Neubs ta c6 thé phan loai vat ligu dign tir ra rat nhiéu ho khdée nhau dua theo tinh chait cia ching. O day c6 thé néu ra mot vai loai vat ligu dién tir c6 lien quan sé duge ban trong cudn sch ~ Céc ho vat ligu kim loai khée nhau sir dung trong Tinh vue dign ti, thay 15 nhait 18 cdc kim loai Cu, Au, PI, Al, Ni, Sn, Sb fam day din va rat nhiéu ting dung khde nhau ; = Céic ho vat ligu hop kim = Clic ho vat liu gém sit; ~ Cie ho vat ligu ech dign ; c ho vat ligu tir, vat ligu siéu dln nhigt do cao ; = Cc ho vat ligu ban dan don chat : Cc ho vat liéu bin dn hgp chat hai, ba, béin thanh phan ; ~ Céc ho vat ligu vo dinh hinh nh thuy tinh, SiO}... ~ Céc vat ligu sir dung trong tich trit va chuyén hos aang luong ; Ho vat ligu potime ding trong dign tir; ~ Cic ho vat Tieu mdi cé tinh nang dic bit ding trong cong nghiep dién tir; ©) Vat ligu ban dan 1a ho vat lidu dign ti quan trong nha, n6 c6 46 din (cB 10+ 108 O-/.eme!) va dd rong ving cém (cé khoang 1 eV) nam gitta vat ligu kim loai va dign moi, duge sit dung dé che tao céc linh kien bén din tich cue va vi mach. Dén nay ¢6 khoang d6 20 + 30 loai vat ligu bin dn don. chat va hop chat ca chiing duge sit dung trong ché tao link kien bin din Mot trong cée dac tinh quan trong nhat cia vat ligu ban din fa tinh dan di¢n vi mol 86 dic tinh khéc 6 thé diéu khién dargc bai ndng do pha tap hod béi thich khdc nhau nhw nhiée, dign ti, quang, co hoc. " Cheong 14) Céc phu kin kéi néi, lam chan ra, tod nhies ding trong link kign lam tit vat lagu kim ogi 1) Céc chi tit kop kim Pb — Sn dé han, gin két ede b6 phan trong link kign dign tit lam te vg ligu hop kim. Conc, ng micro va nano diew ri 12én diing dé ngdn cach giita cde chén ra va cdc b6 in ait, bain adn ) Cée 60 phan ctia v6 link kién hodte dé mit cach dién c6 ee Ib dua cde chan ra, va ciing diing dé tod nhigt nhanh trong nhitng ndm tit 1970, B Chuong #¢) Cae dé cé cae chan ciia link kign roi rac va IC 6 dién duge sit dun hing nam 1965 iré di sit dung mot sO vat ligu quy hiém nhue teflon, kim loai Au, Pt, Cr, Ni, Pd. Hinh 1.4. Cac chi tié lam ti nbiéu loai vat ligu khdc nhau ding trong ché tao linh kién ban dan rii rac va mach t6 hgp (IC). Trong céc ho vat ligu dién tir 6 trén, xét vé khfa canh cong nghé micro va nano dign tir thi ho céc vat ligu ban din, vat ligu tir siéu din nhiét 9 cao, mot sO vat liu méi nhu polime din dang c6 vai trd rat quan trong. Viée tmg dung ciia ching ciing rit quan trong, vi dy céc vat ligu kim Jogi quy biém (Au, Pt, Ag, Ni, Pd, Cu...) dugc sit dung rat nhiéu trong béc bay tao cdc dign, cuc vaday din, Vat ligu ban din don hgp chat da va dang gid vai tr chit dao dé ché tao céc linh kign ban din micro mach siéu c& 16n, va g6m dign tir dang c6 vai tro ngay cang In trong Tinh vuc linh kien tt, dien tir spin va vat ligu siéa din uhiét 49 cao. Trong mdi loai vat lieu, tuy theo & mute do sit dung va tinh quan trong déu c6 thé phin ra hai loai khéic nhau vat ligu thong dung duge ché tao véi cdc cong nghe thong dung va vat ligu ic ho vat ligu tir chat Iugng cao durge ché tao v6i cong nghé cao (cong nghé micro va nano dign tit) phuc vu cho céc mue dich khée nhau1.2.2. LINH KIEN DIEN TU VA LINH KIEN BAN DAN a) Linh kign dign tira mot cau hinh xéc dinh, durge ché tao trén mot hay nhiéu loai vat ligu dign tir theo nguyén Ii rhat dinh dé thyc hign mot chic nang nhiem vy nhdt dinh trong mach dien tir hay thiet bi dien tit. Den nay c6 rit nhigu ho linh kign dign tir khéc nhau, trong méi ho lai c6 mhiéu logi Linh kien khdc nhau, vi dy réng ho ty dién o6 céc chiing loai tu gidy, ty hod, tu sd, ty mica, ty dau véi hang tram loai khic nhau. b) Linh kign ban din [& mot cau hinh Jinh kién xéc dinh, duge thiét ke che'tao va hoat dong dura vao tinh chat cla vat ligu bin din dé thuc hien mot chute nang nio day theo nguyén If x4e dinh trong mach dign tit, hay thiét by dign tit. Trong cic linh kién bén dan khong phai chi sir dung vat ligu ban dan ma cn si dung nhigu Joai vat ligu khdc, vi dy trong didt bin din khong chi 6 tigp gidp pn bin din ma con c6 cd vang (Au) dé lam dign cue, v6 thuy tink hay kim loai, cdc day din kim loai néi céc dien cue ra ngoai ©) Cac ho linh kign din tit, ban dan duoc phan theo muc dich sir dung, hoac dic diém tinh chat : c6 thé phan loai theo moi trudng vat chat ma linh kien hoat dong (b6ng dén chin khong, bong ban din, ty div. tu dign gom st, ty gidiy...) hoac phan loai theo tin sé hoat dong (linh kién cao tin, siéu cao {8n...), phan Joai theo cong suit nhur Linh kién cong suat Ién.... phan loai theo {inh nang nguyen If hogt dong nhu céc linh kign quang dign t, tinh kign hoat dong trén nguyen If tir siu din, linh kign cém bién hodc phan loai theo chat Iugng va Linh vuc img dung nh tinh kign dign ti mang tinh thong phim, linh kien dign tir phuc vy cho cong nghiép, cho quan su, cho vii tru... Céc ho linh kign dign ti, bin din cn duge phan theo muc dich sir ding hoae dac diém tinh chat “ic ho linh kign dign ti ri rac thong dung ding cho cic muc dich ngoai thuong din dung (dign 6, w dign, didt, tranzito, MOSFET, céc 1C thong dung, CCD...). Cac loai linh kien chayén dung cho quan su, hing khong — vil tru, bao g6m nhiéu logi hinh kiée nhau nhumg véi do tin cay va chat lugng rat cao. ah kign quang dien tir (photadetecta, optronic, laze va cde ngaén sing phan to khdc, khuéch dai quang, dng din séng, chuyén mach), — Céc ho linb kién cém bien (sensor) véi hang tram loai — C&e inh kign chuyén hod nang lung, pin Mat Troi w Cheaye | }Hinh 1.2. Anh vé mot 86 linh kign dign tif bao gém mat s6 loai dién trd, ty dién, tranzito Iuong cuc, MOSFET, phdtodit, laze, cong tc éng md, cc mach t8 hgp va cic card dung trong may tinh. ~ Cie ching logi mach t6 hop luting cuc (bipolar) c6 mat do nl, tru binh, 16a va siéu 1én, céc mach IC thong minh. ~ Cée chiing loai mach t6 hgp mot cuc (unpolar) c6 mat d6 nhd. trung binh, In va siéu 16n, cdc mach IC thong minh. — Cie ho linh kign méi dya tren cde higu ting lugng tir 6 kich thude and mét, Cée Linh kign dién ti, ban din gidt vai trd rat quan tong trong sur phat trién cita nganh dién ti, né rat da dang va la cdc vién gach tao nén céc thiét bi va he thong dign tit. Khi 06 céc inh kign méi véi cde tinh nang méi thi Juon 1udn ¢6 thé tao ra ec Loai hinh thigt bi mdi c6 tinh mang t6t hon, Chinh vi vay, ngudi ta rat coi trong phat trién cOng nghiep lam linh kien dien w. Trong cudin sich nay, & ede phin sau sé d biéu ciia mo s6 ho linh kign nano cho téi nay. im qua mot sO thanh qua teu 1.2.3. MACH DIEN, MODUN, VI MACH VA MACH TO HOP. Su thu nhé linh kign, mach dign va thiét bi dién tie 1A nhu céu ddi hoi Khéch quan tat yéu ciia qua trinh phét trign nhim phyc vu cho nhu céu ngay ting cia con ngudi. Trong xa hoi ngay cang phat trién véi trinh dé cao c linh kia, mach dign va thiét bi dign tircang ngay cang duge phat trién hoan thign cho thich img. Con ngudi cing ngay cing muén ch€ tgo cdc tinh kien thiét bi nhd gon hon, 6 nbiéu tinh nang sit dung tign Igi, c6 kich thude cling nho cang tt (con ngudi dang mun ch€ tao may tinh cm tay, dién thoi Cons, ncfie micno va nano dieu 1d 16di dong c6 da tinh nang nhur goi dién, tra intemet, xem tivi, chup anh...). Viee thu nhé linh kien, mach din va thiét bj luon luon duge dat ra. Negay tirnhiing nam 1950, ngudi ta da ch€ tao duge cdc linh kign 6 kich thuée nhé bé dé lap rap trén tam mach in, sau 46 cde mgch in ngay cang duge hoan thign modun & dang kh6i nh6 hon dé dua vao sit dung trong linh vue quan su. Tranzito ban din ra doi da mé ra vige thay thé céc béng dén chan Khong to, ti¢u thy cong suat Ién, bing cdc linh kién ban dan va mach 16 hop vi kich thudc nhé dang ké. Vé sau, dé la céic mOdun, céc micrO modun duwge ch€ tgo ngay cng nhiéu trong céc thiét bi quan su. Trong nhiing nam tir 1950 d€n 1960, vige ché tao ra céc linh kién c6 kich thuéc tuong 46i gidng nhau 3 duge dat ra dé tu dong hod viée Lip rép, nhait 1a trong linh vuc ché tao tivi. Vao thai ki d6, RCA dai ché tao duoc cic modun 6 kich thud 7,9 x 7,9 x 2.5 mm}. Céc mach dign c6 rift nhiéu loai, tir cdc mach in dén cdc vi mach mat do sieu c& 16. Mot mach t6 hgp vin duge coi 1a mot cau kign gém nhiéu linh kign 6 dang dac biet, tuy nhién do tém quan trong, 6 day chiing ta dua vao mot muc riéng. a) So dé mach dién So dé mach dign 1A mot bn vé thé hign su két noi day dén gitta cdc linh kign dién tit khéc nhau (bao gém ed cdc linh kign roi rac, cdc Khoi modun hoa cdc vi mach...) cia mot mach dién xde dink nio dé. Thong thutng, mach dign nay khi dugc thiét ké xong sé c6 khd nang thyc hign m6t hay mot 86 chife nang trong Tinh vue dién tir (nhu khuéch dai, én dp, bién déi A/D, D/A, nhan chia...). let: TLo72 inh 1,3. Vi dy vé mOt s0 46 mach dign cé ki higu cdc linh kign, déu va0, du ra, ° coe |‘Trén so d6 mach dign, ngudi ta thudng ghi chi day di ten, ki higu tinh kien va gid tri ciia céc Linh kién c6 trong mach (vi du : gid tri dign tré, tu dién, tranzito, IC...). So d6 mach dién c6 thé la so dé chi tiét hay so d6 kh6i. Tirso 46 mach dign da thiet ké, cdc nha cong nghé c6 thé thiét lap cée cong nghé dé ché tgo chting & dang modun hay vi mach, mach 16 hgp. Hinh 1.3 1& mot vi du vé mot so dé mach dign. b) Mach dien Khai nigm chung phé bién, mach dién chinh la 16 hep ciia mt so hay rat nhiéu (6 thé lén tdi hang tram trigu) linh kién dién ut (bao gdm cd cdc link kign roi rac, ede link kién tich cule va thu déng, IC) dat duge sdp dat trén dé cach dign theo mot céiu hinh thiet ké'xdc dinh dé thuc hién mot chite nang nhiém vu nao dé (Khuéch dai, bién dét tin hiéu, tao dao dong) trong thiét bi dign tiz. Mach dien 14 mot phin co'ban trong thiét bi dign tit, né ra dai va phat trién ciing véi su phat trién cia thiét bi dign tit, Nguoi ta c6 thé phan loai mach dign theo nhiéu céch dy tren cong nghe lap rap mach dign = Mach in 1 mot cau hinh t6 hop gém céc linh kién dién tir ri rac, ce modun va IC...) dugc két néi bing céc day din nim trén mot hoac hai mat ciia mot tm cdch dién bakelit. = Mach lai gém mot s6 linh kign rai rac thy dong, céc IC va cing mot 6 linh kign ban dan chua d6ng v6 & dang chip, thug duge lip dat trén mot dé cich di¢n gém st két noi bang day din véi nhau. ~ Mach té hop trén mot phién (monolit integrated circuit) 1a mach t6 hop duge ché tao 26m céc linh kign duge lam trén mot d& ban dn (nhur St...) ‘v6i mot loai cong ngh¢ planar Mach dign con c6 thé durge phan loai theo chife nang nhiém vu nhw mach khuéch dai, mach tao dao dong, mach loc, mach tign khuéch dai, mach khuéch dai cong suat, mach bién déi thé higu sang tin sO, mach dién tir thong minh. Hinh 1.4. Mot mach éign bao gém céc inh kign va IC trén 48 mach in. Cong Nohe micro vA nano dieu ry 1B©) Modun dién tir Theo nghia rong, modun dign tir thutmg 18 mot khoi mach dién tit 3D cb kich thud duoc thu nko Iai, thc hign mot chite nang dign ti nhét dinh. Xu thé 1m gidm céc kich thuée cho gon nhe va dé ft titu hao nang Iuong lun dat ra vao moi thoi diém. Cae dang modun dién titra doi tir nhimg nim 1930, dc biet trong cae thiét bi din ti quan sy, n6 thudng dugc bao phi kin trong vat ligu bao ve nhu epoxi, nha duimg... dé c6 thé lam viée trong moi diéu kign nhurnéng ‘im, trong nuée bién, trong rimg su... Céc n dang ké kich thude ciia nhiéu thiét bi dign ti va hoat dong rét én dinh, rat bén, khi hang héc né 06 thé dugc thay thé rat dé dang, chi céin thdo rit ra thay médun méi vao la xong. Cac may tinh va cdc he mdy dign tir ngay nay thudng duge ché tao theo céch nay dudi dang cde card ket noi voi nhaw. dun da Lam Hinh 1.5. Vi dy vé mot médun quang dign tir ngay nay 8 dang kh ) Vi mach (microcircuit) Vi mach chinh ban than a6 da thé hign sur thu nhé Iai kich thutéc ca kich thudc linh kin va kich thusic mach dign. Theo nghia rong nay, vi mach dign tit c6 thé bao gém cdc loai mach dién thu nhé t6i ich thutéc micromét. Céc vi mach nay ¢6 thé ché tao bang cac cong nghé khdc nhau. N6 cé thé bao g6m mach fai, cic mach 16 hop (IC), ede mach vi co dién (MEMS), nano co dién (NEMS), céc mach dign thong minh... dugc thiét ké ché tao theo mot cfu hinh xc dinh nham thyc hign mot t6 hop chtte nang nhiém vy ndo daly trong mot thiét bi dién ti, e) Mach té hop (Integrated Circuit - 1C) Mach t6 hgp 1a mét ching loai mach dién tit thuge ho mach vi dién tie duuge thiét ké ché'tgo tich hgp trén mét chip ban dan nhd voi cong nghé cao wong 1 | ch |xde dink (cong nghé planar, cong nghé micrd va nand co dién (MEMS, NEMS...)), trong d6 cdc link kién ban dan co moi lién két voi nhaw theo thiét ké’ khong thé téch roi, dé thee hién mot nhiém vu hay mot t6 hop cdc nhiém vu xdc dinh trong mét mach dién hay trong thiéi bi dién ut. Mach 16 hop dién tir dau tien duge phat minh béi Nicola va Killby vao nam 1960, Nam 2000, phat minh tren da duge ting gidi thuong Nobel. Phat minh nay 4 ma dau cho str phat trién cia mot ki nguyen méi cho nganh dign tit, né lam bién Adi sau siic rat nhiéu Tinh vuc cia xa h6i loai nguéi, nha 12 tir khi cdc thé hé may tinh cA nhan lin uot ra ddi. Theo théi gian, lic déu mat do mach tich hop 1a nhd (SSL — Small Scale Integrated Circuit), sau d6 c6 mat do tich hgp trung, binh (MSI), mat d6 tich hop 1én (LSD va hién nay c6 mat dO tich hop siéu In (ULSI - Ultra Large Scale Integrated). IC ngay nay cé thé chita tdi c& gan ti inh kign (10° Linh kign) trén mot chip ban dn. inh 1.6. Phién ban dan Si trén 46 nhiéu 6 giéng nhau, méi 6 vudng la m6t mach té hgp (IC). Khi cdt ra cdc 6 nay goi la cac “chip”. [Theo goldmine. elec-produets.com/prodinfo asp] Cac mach 16 hop duge ché tao trén mot phién vat ligu bin din (Si hay GaAs) v6i mot hay mot s6 cong nghé xic dink. Mdi mOt 6 trén phigh bin din ¢6 kich thude tit vai milimét dén c& xentimét 1A mot mach t6 hgp chia hang trigu linh kién ; céc 6 trén phign bin din sau khi cat ra duge goi 1a chip”. Mot phién ban din tren d6 c6 thé ché tgo hang tram chip, mdi chip 1 mot mach t6 hop (hay mot linh kign don trong trudmg hgp che tao linh kign ri rac). Tren hinh 1.6 1a mot phigh ban din Si trén d6 di ché tao ra cde mach 16 hgp. Hinh 1.7 18 mot anh khai quét ben trong chip ban dn. Day 14 mot bo vi xit If prescott ciia Hang Intel ché tao, Cone qi micro vA nano dies 1-20B6 vi xi li Prescott cba Hang Intel ~ ©6 150 trigu tranzito ~ Tan $6 dng hé la 3,4 GHz = Bue thiét ké theo kich thuée 90 nm ~ Cf chip DRAM : cdc chip 4 GB (cd 10° tranzito /om?). Hinh 1.7. Anh khdi quat ban trong ctia mét chip vi xt Khi tign t6i gidi han Iuong tit, dy doan vao nam 2013, mat do cdn tang Jén nhiéu va t6c do may tinh khi d6 sé dat t6c 46 si¢u nhanh khodng 254 GHz hoac 16n hon. ) Phan loai cdc mach t6 hop Neu ta o6 thé phan chia mach t6 hop theo nhiéu céich khéc nhau, vi dy : ~ Theo chiie nang : mach A/D, D/A, mach khuéch dai, mach dao dong, IC dac chiing (ASIC), mach dign thong minh (inteligent IC), — Phan loai theo céch ché tao lip rép : mach dign tren dé mach in, trén 4€ céch dign, mach lai (hybrid circuit). — Phan chia theo in s6 hoat dong : mach tin s6 thap, tan s6 cao. = Phan chia mach IC theo mic d9 t6 hgp (SSI, MSI, LSI, ULSL...). ~ Phan chia theo kiéu hat tii hoge theo téc nhn tinh chat hoat dong : bipolar IC, unpolar IC, cfc mach vi dién tir quang dign (OEIC). — Phan chia theo cng nghe ché tao : cde mach vi co dign (MEMS), nano co dién (NEMS). g) Thu nho kich thusc linh kién va mach té hop la xu hudng tat yéu nhung dy nhimg thach thie Lam nhé lai thi rat kh6, d0i hai ki thuat cao, cong nghé cao va kéo theo d4u tw 16n, gié thanh thanh phém sé cao néu khong sin xudt hang loat 1én, Trai qua hon nifa thé ki, tir nam 1948 dén nay, vige thu nhd linh kign bain dn ri rac Va mach 16 hgp lu6n phat trién, Tren hinh 1.8 1A anh cia tranzito va modun mach IC truée day va hién nay. a Chung 1‘80nm CMOS Transitor = @—pe a Hinh 1.8. Qua trinh thu nhd cdc linh kign va IC truéc kia va hign nay a) Linh kign don, kich thutéc milimét ; b) Linh kin dan CMOS, kich thuéc 80 nm ; c), d) Vi dign ti mat 46 thdp ; e) Vi dién tir mat 46 siéu cao, 108 linh kign tran mot chip (5 x 5 mm?) Mot s6 théch thite chinh trong qué trinh thu nbé thudng gap nhu sau — Gidi quyét van d@ tod mbit trong cfc IC. Day 1a vain dé rat phute tap. Khi cé hing ti Linh kign hoat dong tieu thu nang lugng trong mot kich thude rat nhé, 1am sao c6 thé dan nhiét ra ngoai dé céc linh kign hoat dong binh thutng, khong mat én dinh. Viée thu nhé chi e6 thé dat dén gidi han Ivong tirma thoi. Tuy nhién, do cdn nhiéu gidi han khéc nhu gidi han cong nghé, truyén nang Iugng... nén khong thé gidm thigu kich thuéc tuy § ~ Thach thifc vé cong nghé lip rép ciing rat 16n khi mat do len hing «i linh kign trén mot chip c6 dién tich c& vai milimét vuong. Cong nghe lip rép mach rat phiic tap, nhu cong nghe han dien cuc bing day Au, cong nghe déng Vo & cde chip c6 nhiéu l6p voi mat do linh kign 1én. 1 . CAC CHUNG LOAI THIET By DIEN TU Cé thé phan chia thiét bi dign tir theo nhigu cach, ac tinh va muc dich sir dung nhu duéi day ~ Cac ho thiét bi dign tir dan dung (radié, tivi, ti lan, dign thoai...). — Céc ho thiét bi ign tir ding trong quan sv. ~ Cc ho thiét bi dién tir thuge Tinh vue hing khong ~ va tru. lu phan chia theo Cong, sche mieno vi nano din wi 22= Cac ho thiét bi nghién citu khoa hoc, vi du nhu céc kinh hién vi cién til, ee may gia tc, cde mAy phan tich... = Cac ho thiét bi cong nghé, may edi. — Cac ho thiét bi dign tit ding trong do lung, thir nghi¢m. ~ Cc ho thiét bi cém bign thong minh, diéu khign tit xa. — Ngudi may (robot). — Hg thong dinh vj toan cdu va thong tin dia Ii (GPS, GIS). = Cie ho may tinh lon, may vi tinh, Khi cong ngh¢ micro va nano dién tir phat trién thi cdc thiét bi dién tir luon bign d6i va phat trién theo huting ngay cing nho dan, Hinh 1.9 thé hién su gidm ich thude nhanh chéng theo thdi gian cia chiing loai may tfnh cé nhan. ich thud hé théng L + W + H theo inch ay tinh ban (Desktop) | 30 ‘May tinh ach tay (Notebo0%) 20 May ton cm tay _ (Palriop) “Tob tn dong (Crest ear} 1bng hd aign td ist watch) Pin nan (Lape pny — ot That gan Hinh 1.9, Xu thé gidm kich thuée cla may tinh theo thei gian, 1.2.5, MOT SO KI THUAT DIEN TU C6 rat nhigu loai ki thuat dign tir khéc nhau duge phan chia theo nhiéu ich, vi dy mot sO KI thuat chinh thudmg gap nhur sau : B Chuone, 1Ki thuat tuong ts (analog) ~ Ki thuat $6 (digital) ~ Céc Ki thugt do dign, eo quang, tt — Ki thuat do Tuong va digu khién tir xa ~ Ki thuat héng ngosi Cac ki thugt thu phat song vo tuyén dign — Ki thuat truyén dan xir If sO lieu — Ki thuat thu pit digu khién tin Ki thuat vign tham. qua vé tinh — Ki thuai xir If, truyén tin tin higu quang — Céic ki thuat din tit do Iudg trong nong nghiep, y té, gido duc 1.3. CAC CHUNG LOAI CONG NGHE DIEN TO Binh thudng, c6 bao nhieu chiing loai vat ligu dign tir thi c6 bay nhieu cong nghé sin sudt. Tuong ty, ¢6 bao nhieu ching loi linh kign dign tir cfing cé bay nhiéu ching Joai cong nghé ché tao ra ching, cing tuong ny déi vi cdc thiét bi hoac hé thong dién tir. Tuy nhién, & day cé mot s6 chiing loai cong nghé giif vai tro quan trong nhdt trong su phat trién cha nganh dién wr va g6p phn khong hd thiic day su phat trién kinh té thé gigi, 86 18 c&c loai cong nghé ché'tgo vat lieu ban din va céc loai cong nghé ché tao linh kien ban din va vi mach, bao gém cdc chiing loai cong nghé ché wo mach t6 hop. lung cuc dén cée ching loai cong nghé ché'tg0 mach t6 hgp dem cuc (MOS, CMOS, BiCMOS...), vi hign nay con ngudi dang quan tam dén cong nghe nano dién tik, cong nghé MEMS, NEMS... cc cong nghé nay dang hinh thanh timg bude va dn hodn thién. Chiing c6 vai tr quan trong khong chi trong Tinh vyc vat ligu linh kign ban dén ma con dang trién khai manh ra mot s6 Tinh vye vat ligu khdc nhur dién tir phan tir, polime, dng nand cacbon, dign tir spin ‘Trong cac phin sau cia cudn sach nay, ching ta sé tap trung dé xem xét hai ching loai cong nghé chinh, d6 1a cong nghg micrd dig tr tren vat ligu ban dn va cong nghé nano dign ti dang rat duge quan tam hién nay. Traée khi di sau hon vao céc van dé nay, chiing ta phac théo mot s6 ching loai cong nghé chinh ding trong ché tao cée loai vat ligu, linh kign dign tir ban dan, sensor, cdc thiét bi va hé thong didn tit. Ching loai cong nghé nao cing co cée qué trinh phat trién lien tuc cita n6 tir thp dén cao, tir don gidn dén phic tap vi c6 su phat trién k¢ tiép nhau. Cone, nqlic wicno va sano diew nd 24C6 rat nhiéu céch phan chia céc ching loai cong nghé hu : cong nghe ché tao mot loai vat ligu dign tir, cong nghé ché tao mdt loai linh kien xéc dinh, cong nghé ché tao mach dién, céng nghé ché'tgo IC, cong nghé ché tao thi¢t bi... Trong méi chiing loai cng nghé lai phai sit dung mot hay mot s6 cong nghé don Ié khdc nhau dé tao nén cdc phén cita linh kién. Vi du, khi ché tao mot tranzito ban din cén khong 30 bude cOng nghé khéc nhau méi ra duge sin phim, cdn ché t20 mot mach té hop IC phite tap cfn sir dung tren dudi 100 bude cong nghé khéc nhau, méi bude hay mot nhém bube cong nghé nay thudc mdt ching loai cong nghé (vi du : Khi ché tao IC sé c6 tir 4 dén 5 cOng doan cong nghé lién quan dén quang khac, hang chyc bude cong nghé ign quan dén xir If hod hoc....). Dui day, c6 thé chia khdi quat ra mot s6 ching logi cong nghé dign tir trade khi bin sau vé cong nghé micro va nano dign tir trong quyén sich nay, 46 1a : ~ Céc logi cong nghé truyén thong, vi du cong nghé ché tg0 céc loai day ign nhur day déng, day nhom, niken tip dn 1A céc loai day dign tr3 trén co. sd céc hop kim, va tigp sau 8 céc loai day cap déng, c4p hom tren co si t6 hgp céc loai day dan d6, Khi cong ngh¢ micrd va nand dién tir phat trién thi van dé tao day din trong cdc mach IC tré lén 1a mot trong céc vin dé nan gidi rat kho gidi quyét nhur da neu ra 6 wen. Vi dy, trong mot IC mat do cao, chiéu dai day din t6i 6 = 10 km, 46 manh cia day din cd nanomét cing 14 mot gidi han lugng ti trong cong nghé nano. Cc chiing loai cong nghé ché tao Ong din séng 6 dai vi ba va buée s6ng quang. Hign nay, cdc cong nghé ché tao cdc Ong dan s6ng & dang phang, cong nghé ché tao soi quang va cép quang trén co so céc vat Tieu khdée nhau dong trong théng tin quang va cdc tng dung khéc nhu sensor quang cing dang duoc quan tam chi ¥ dic biet. = Cong nghé che tao céc chiing loai vat ligu céch dién lam tir vat lieu Khoi dén mang méng véi kich thude nano, vi dy nhu céc 16p ngan trong mach vi dign tir va nano dign tit, lbp oxit céch dign trong cong nghé MOS dén nay a gidm xudng cO 40 nm... Day 1 mot Tinh vyc dac bigt quan trong trong, Tinh vuc dign va dign tis hign nay. Khi cong nghé micré dién tit hay nano dién ti phat trién thi ching loai cong nghé nay luén Iudn tién trién theo dé dap img cdc yeu céu cla ki thust dién tir = Cie ching loai cong nghe dé ché tao céc ching loai dién tré tuyén thdng, vi du nhu cOng nghé ché' 140 dign tr khoi, mang than, cong nghé ché tao dign tre mang ming kim loai, cong nghé ché tao dien tri day, cOng nghe che tao dign tro g6m sif cong suat 1én... Khi cOng nghé micré va nand dign titra di thi cde cOng nghé ché tao din trd trong céc mach nay cing duge phat 5 Chuang 1trign rat manh mé, Dé 12 céc dién tr ché tao bing cong nghé khuéch tan, cy ion, céc din tr mang ban din dén céc dign tro mang kim loai, d6 la céc dign tr 6 dang day nand da duge ché tao bing nhigu cong nghé khac nhau véi cae eau inde khée nhau — Céc loai cong nghé truyén thong va cong nghé méi dé ché tg0 cae ching loai tu din nhus cong nghé ché tao tu gidy, tu gdm sit, cong nghé che’ tao ty hod, ty dau... Khi cong nghé vi dién tir va nano dign tir phat trign thi cde cong nghé ché tao tu dién MOS, pn phan cue nguoc va cdc ca hinh tu dien khie rat dude chi trong. — Cac chiing loai cong nghé ché tao cae cudn cim va céc vat ligu kem theo (nhu 15 sat ty...). Trong cong nghé micro vi nano dién ti, van dé cugn cam khang rat nan giai. Dén nay méi chi ché tao linh kién cim khang wén mot mat phing v6i cdu tréc xodn 6c, cau hinh nay vita chiém nhiéu dign tich, i nguge lai véi xu hudng gidm kich thuse, vva cho gid tri cm khéng L nhé. Chinh vi li do 46 nén linh kien cam khang héu nhu rat it khi duoc ding trong thiét ké va ché tao cdc mach IC, trix mot sé trudng hop han hitw. Khi mot so cong ngh¢ mdi ra dai nh cong ngh¢ MEMS, NEMS véi cau hinh khong gian ba chiéu hose mot cong nghé nao 46, 6 thé cudn cém sé duoc chii ¥ han ~ Cae ching loai cong nghé che'tg0 céc linh kign tich cue rat da dang, va luon giit vai trd dac biét trong tién trinh cia nganh dién tir : C6 rat nhiéu Joa’ tinh kign tich cue dutge ché tao v6i rat nhiéu loai cong nghé Khdc nhau tir tho so dén phige tap, vi dy céc linn kign tich cue bong chan khong xudt hign truée nam 1970, n6 c6 vai trd khé dac biét trong giai doan tude khi tranzito ban din ra ddi (1948) cho dén nhimg nam 1970. Tuy nhién, do dac tha kich thude én, tieu thy nang Iwong I6n, khong c6 kha nang thu nhd nen ching loai nay nhanh chéng mat di vai tro va hdu nhu bj thay thé héu hét trong céc Tinh vuc. Hign nay, vai trd cia béng chan khéng chi con rat it 6 linh vuc khuéch dai dign tu cong suat én trong mot s6 thiét bi phat séng cong suat In. Tip dé 1a c&c cong nghé ché tao cdc chuyén tiép pa bin din tao ra cdc ching loai didt ban dan, tranzito, thirito véi hai, ba chuyén tiép pn. Vé co ban, ciic loai didt ban dan, tranzito, thirito c6 thé ché tao voi mot sé loai cong nghé nhu cong nghé hop kim, cong nghé kéo don tinh thé tao chuyén. tiép pn, cong nghé khuéch tan, cy ion. = Cong nghé dé ché t20 céc vat ligu va cau kign cho déng v6 linh kien, Tat c cdc linh kign dién ti c6 phan chinh “goi 1a ruot, goi YA chip” cia linh kién, phan dién cuc néi giita rudt va cdc chan ra (cdc dién cuc ra) va phan vd bao che ben ngoai goi 1a nha hay vé cita linh kién. Ciic chiing loai cng nghé. tao tig xtc, tao dign cuc va céc chan ra, tgo vb cho tinh kién, nha 1a cho céc mach vi dién tir rat phic tap va ton kém, vi du cong nghé tao tiép xtic omic ‘Cone nGhe wien va nano diew ty 28(ohmic), cong nghé ma vang lén dign cuc, cong nghé dong v6 IC bing va sit hay vé nhya, cong nghé ép in an, han ép mhiet, han sigu am thuge ching foai cong nghé nay. — Ching loai cong nghé ché tgo mang mang bao gém cdc mang vat liu khéc nhau nhur bin din, dign moi, mang kim logi, cong nghe in tao céc mang, tuy theo kich thudc ma ngudi ta cdn chia ra cong nghé mang ra 1a cong nghé mang day, cong ngh¢ mang méng va mang nanomét. Céc ching loai cong ngh ché tgo mach dién, bao gém cong nghé truyén thong nhu lap rép mach dién, cong nghé hin mach in trén bé thiéc, cong nghe ché tao mach in dén céc cong nghé tién tigh han dé ché tao mach Jai (hibrid circuit), mach vi dien tir mat d6 thap den mach 16 hop siéu c& len, Cong nghé quan trong nhat lam thay d6i phuong thiic ché tao mach dign, kéo theo thay Adi phuong thiic ché tao thiét bi dign ti, Jam tién dé ra bi nhiéu Tinh vue dign tit mai dé 1a cong nghé vat lieu va link kién ban dén, kéo theo né c6 ca mot nginh cong nghiep bin dan ra dai. Cong nghé che tao linh kien ban dn va cdc mach 16 hop khong nging dugc cai tin, hoan thién. Cc cong nghé nay phat trién duge chit yéu dua trén cdc thanh tyu cia nhiéu nganh khoa hoc va cong nghé tién tign khde nhu Vat If hoc, Hod hoc, ki thuat chan khong, Ki thuat mang mdng, Ki thuat khdc (litogaph), ki thuat chim tia dign tit, ki thuat pha nguyen tir tap vao ban din, Ki thuat an mén hod hoc kho — udt c6 kich thuée c& duéi micro, cdc ki thuat plasma, céc ki thudt laze... va v6i cde cong nghé bipolar, MOS, CMOS, BiCBOS, ~ Cong nghé vat ligu bin din 6 hai Tinh vue 46 1a cdc ching loai cong nghé ché tgo vat lieu ban din tir kich thude 16m gidm xudng kich thudc nandmét. Ho cong nghé nay lam tién dé cho ché tao linh kign bin din va vi mach, va Tinh vue cong nghé ché' tao linh kign ban dan t linh kign rdi rac dén cdc mach té hgp sigu cB 1én. Sy bign déi cia Tinh vue dién tir thé gid nifa sau cia the ki XX kéo theo su téc dong to 1én cita né chin 1a cong nghe bain dan, Cong nghe ché tao mach t6 hop do hai nha khoa hoc 18 Nycole va Killby phat minh vao nam 1959 — 1960 duge Hang CNN lay ¥ kién binh chon vio cudi nam 2004 va duge dénh gid 1& mot trong nhing phét minh tong hop én, ¢6 anh hung sau sic nhat dén su phat trién cita xa hoi loai ngudi trong mot nifa thé ki qua va cho cd sau nay nifa. Trong ho cong nghé ché tg0 inh kign bén din quan trong nhat trong 50 nam qua {a cong nghé mat (planar technology) tren vat lieu silic. Cong nghé mat 14 mot ho cong nghe (éng hgp bao gém nhiéu khau cong nghe khéc nhau dé ché tao mot ho Tinh a Clrvong 1kien bin din hay ch€ wo mot ho mach t6 hop IC tren mot lép bé mat v6i kich thude khoang dudi 10 jum nim tren phiga dé ban dn silic 6 chiéu day tir 200 + 400 um phy thudc vao duémg kinh phién, Tuy nhiéa, dé gidm thige kich thude cia céc chip bin din thi phai phat trign cdc cong nghe méi khong, chi ché tao cc linh kign trén lop mat, ma cdn c6 thé ché tao trén bat ext chd nao trén Kh6i vat ligu bin dan, Dé lam dugc viee nay. ngoai cong nghé mat, jphai phat trién them cac cong nghé an mon dinh hudng, cdc cong nghe vi co dé tg0 cc edu hinh theo ba chiéu va nhu vay mot chiing loai cong ngh¢ méi ra di tir khodng nhiing nim 1980 dtn nay, dé 1a cdc cong nghé hé thong vi nand co dién (Micro -Electro-Mechanics Systems ~ MEMS va Nano -Elec ro- Mechanics Systems ~ NEMS). Cong nghé mat hay cong nghé vi co dién khi gidm xudng duce kich thudc nanomét thi ngudi ta thuémg goi la cong nghé nano dién ut. Trén ca si cdc cong nghé co ban nay, ngay nay con ngudsi co thé ché tao duge rat nhiéu logi mach dign mat do t6 hap sigu Idn v6i céc chite nang khdc nhau trong linh vuc dién tt, quang dién tit, dién tir spin, quang, tir... Cude ganh dua gidm kich thudc link kin dién tir gitia mot s6 quéc gia manh xdy ra khong ngimg, va con ngudi dang muén bit chuéc hoc va lam theo tu nhién (4a 1am tir hang trigu nam tré Iai day) dé ché tao ra céc cu kien nhé bé véi kich thie nano, do vay cong nghe nand da ra dai. Cong nghe nané (nanotechnology), trong 46 bao ham ca cong nghé nand dién tit, c6 thé dutee hiéu la mét cong nghé ché tao ra cdc cdiu kién d dang vat liéu va link kign dién tit cé kich thudic nandmét & nhiing ving tich cue. Cong nghé nand dang duoc phat trign trong rat nhiéu finh vite nhyt trong Sinh hoc, Hod hoc, dign ti, thigt ke’ mo phong... Khi gidm kich thude cia link kien xudng kich thude nano thi rat nhiéu higu img luong tir mdi xuat hin ma & bn din khoi c6 ‘kich thuse In hon khong xudt hign, Lic nay cn phai nghién ctu sau hon nhiéu van dé c6 lién quan va do d6 Tinh vue vat li nand dugc ra doi va phat trién. Cong nghe ché tao linh kign dien th, bin dén va céc mach 16 hop khong nging duoc cai ti¢s, hoan thign. Cac cong nghé nay phat trién duge chi y6u dya trén cdc thanh Unu cla nhigu nginh khoa hoc va cong ngh¢ tién tign khéc nhur Vat Ii hoc, Hod hoc, ki thuat chan kh6ng, ki thaas ming méng, i thuat khéc (ljtogaph), ki thuat chim tia dign tt, Ki thuat pha nguyén ti tap vao ban din, ki thuat an mon hod hoc khO — u6t c6 kich thude 6& du micromét, cdc ki thuat plasma, cdc ki thuat laze, ki thuat vi co... Vé ca ban, cong nghé nand van sit dung mot so’ khdu cong nghé co ban c6 séin clia cong nghé mat, cong nghé vi co dién, thdm chi ed cng nghé truyén thong va mot sd cong nghé méi khdc nita, mién la ché tao ra duge cdc ediu hinh dién tit cb ich thuée nand, tuy nhién thao tac trong cong nghé cao phite tap hon nhiéu Cong nghé cd dé phan gidi siéu nhé dai héi cdc qué trink cong nghé het site Cong nGhé micno va.wano diy 1) 28tinh vi, va déh nay d@ cé nhiéu ho linh kién mdi ra dé nhut cdc link kign trén ca sé ging luong tie, cde bo nhd mét dién nz, tranzito mot dién tt, cdc didt auyén hdm cong hudng, bg nhd tia chop.... Ching ta sé c6 dip ban ki hon trong mot s6 Tinh vuc trong cdc chong cita cudn sich nay. — Xét vé tng thé, ngudi ta da phan chia céc chiing loai cong nghé ra lam hai phuong phap tigp can : phuong phdp cong nghé tiép can tit trén xudng (top-down appoach), ufc Ta cong nghé di tir phign ban din to, qua nhiéu bude cong nghé dé tao ra cdc linh kign nand va phuomg phdp tiép can tie duéi lén (bottom-up approach), tie Ya gi dung qué trinh tu lip rap dé tao ra cdc linh kién nané r6i sau dé sir dung céc qua trinh ty t6 chite dé tao ra cdc cau hinh mach dign tét nano lon hon 1.4. THIET KE MO PHONG TRONG MICRO VA NANO DIEN TU Linh kign dign tir bin din 1a mot cau hinh twong doi phic tap, nhs céc mach 16 hop IC mat 46 sieu c3 Jon, Thiét ké mot mach 16 hop cd khoing 10" Linh kign tren mot chip nhu hien nay thi mic 40 phuic tap cia n6 con én hon nhiéu so véi thiét ké mot thinh pho c6 ¢rén 10 trigu dan cu sinh séng, trong d6 mot tranzito vi nhu mot ngoi nha, hoat dong di lai cia mot nguds trong thanh ph6 cling tuong ter nhu hoat dong ciia mot dign tis chay trong mach t6 hop. (Qué trinh phat trign ciia cong nghé ché tao vat ligu va linh kign ban din kéo theo sy phat trign khong ngimg ciia cOng nghé thiét ké va mo phong. Dén nay, trong inh vuc thiet ke mo phéng vat lieu Tinh kign ban din vi mach da phat trién qua 5 thé hé. Viee thiét ké mé phéng phai ding tdi cdc may cinh sidu c& 1én hay may tinh c6 rat nhiéu b nhé song song (cdn goi fa may tinh 6 nhigu nhan - cores) dé mo phéng céc qué trinh cong nghé ché tao céc mach 6 hop. Cac phong thi nghiém do (visual labs), nha may ao (visual fac- tory), cong ngh¢ o d3 ra di va phat trién rét manh trong nhimg nam gén day. V6i su tro giip cita may tinh, phong thi nghiém do, nha may do, cong nghe ch€ tg0 mach t6 hop, cde dac tinh cdu tnic tinh thé ca vat liéu, céc dace (inh ca linh kign va IC di duge tinh ton, mo phéng trudc khi ché tao thyc trong phong thf nghiém. Cong vige nay cé thé tiét ki¢m dug rat nhiéu thoi agian, cong stfe vai c6 thé tiét kiém rat nhiéu tién cia, cong stic dé Tam céc tht rghiém trasic khi dua vao sin xudt, Trong cng nghé nano thi van dé mo phong lai cing dac biét quan trong bai vi trong linh vue nay khong phai lic nao ciing cé thé nhin thay 16 rang (phai nhin qua kinh hién vi dién tit, AFM, STM...), va c6 thé tign hanh thi nghiém kiém tra duge r6 cing. Trong phin sau, chting ta ban ki hon vé mot sé thanh qua trong Finh vuc thiét ké tinh ton mo phdng trong finh vye micro va nano dign «i. 29 Chuang 11.5. MOI QUAN HE GIUA CAC LINH VUC DIEN TU SO BO CONG NGHE CHE TAO VAT LIEU BAN DAN, LINH KiEN, IC, MACH IN, MOBUN, THIET Bl VA HE THONG DIEN TU eee }-> Nudi don tinh thé ‘vat ligu ban dai fF Cat méng, conmctwun FS = TT Vat liu ban an don va hgp chat Si, Ge, GaAs. ‘Lang dong hoa hoe f quang dign ti [> Xilihoa ‘Thiét ké va ché tao li kign ban din__|-~ Pha tap knodng chat [~ Cay ion }- Quang kde Linh kién ban dn va L+ Eknde, x khde vimach IC, tinh kién Le Han, ding vi = Thi 6 macn Cong ngh@ ché tao = Cong nghé chs mach in, médun tao mach dign th, L. Céng nghé han mmadun chie nang machin, médun = ct a J Céng nah tgp ohép Cac mach dign ti, tinh kige mach in, médun dién to, L cac kh dint Cong nghé ché t90 ~ Thiét kd thist bi trig en td = Thi6tk8 cdc bo |- cong nghe séng phan lla tit vo titi den = Cong nah tép L he dp rap thit a ee (Cac tit bi ign te (TV, PC, may do...) = Thi6t kB he theng [Cong nghé ket noi ~ Gia cong két ndi he thing, ‘ac he théng (Cac he théing cign tr Hinh 4.10, Méi quan hé gia céc finh vye dién ti, Cong Nghe micro va sano div 301.6. MOT SO HUONG PHAT TRIEN CHINH TRONG LINH VUC MICRO. VA NANO DIEN TU HIEN NAY ~ Giim céc kich thude cdc linh kign trong ede mach 16 hop xuéng t6i kich thudc (6i han (16i vai nghin angstrom) ‘ang mat dd cla cdc mach 16 hop siéu c& én (ULSD) ding trong may tinh va cdc thiét bi dién tir (SRAM, DRAM, MRAM). — Tin t6i ché' tao ngay cing nhiéu céc mullichip modun. ~ Trin khai ché tao cdc he théng trén chip (SoC — System on Chip). — Ché tao cdc linh kién hoat déng véi tée dé nhanh (tn s6 siéu cao). ~ Tich hop céc chtic nang vio dién thoai di dong (bao gém viéc goi dign, nghe nhac, MP3, chup anh, tivi, internet...). — Diy manh vige nghien eitu ché tao céc linh kien quang dign tt, soi quang, cée laze long = Phat méy tinh long tit — Trign khai cdc thé hé linh kign trén co sé dac tinh spin (van spin, sen- sor, MRAM...) ~ Trién Khai phat trién dign tr phan ti * — Trién khai nghién ctfu ché tao dign tit sinh hoc nano. ~ Tich hgp céc cong nghé khéc nhau dé ché tao he théng. — Nghién cu ché tao céc vat ligu mdi cho dién tir nano. — Nghien cu che’ qo céc linh kién, mach 16 hgp tren céc vat litu méi hu trén céc hop chat bén dan, chat siéu dan, Oxit kim loai, trén vat ligw phan tir hia co, ditn tir sinh hoc Nghién etm che tao céc linh kign cém bin, vi cdm bign, nand cim bign y sinh hoc, cdc ché pham y sinh hoe, dan thuée dén chd cé mam bénh dé chita. — Nghién cifu céc dinh ludt vat If, hod hoc. sinh hoc trong ving kich thuée trung gian (mesoscopic size) = Tich hop cée nganh khoa hoc cong nghé tao nén mot khoa hoc cong nghé lign nganh. © Dinh ludt Moore va cdc gidi han cita kich thude Nam 1965, E. Moore di dua ra dinh luat vé su phat trién cia vi dign tir, duoc goi la dinh luat Moore. Noi dung cla dinh luat nay nhu sau: Khi mdr ” Chong 1dé linh kién trén mt chip cia mach 16 hop tang lén thi gid thanh ciia mach sidim xuding. Cit sau 18 thang thi mat do dé Iai tang lén gdp doi va gid thanh ctia mach gidm di khodng mt nita. Su bién thién cia mat dO linh kién trén chip tuan theo dinh luat Moore c6 thé nin thay trén hinh 1.11 Tuy nhien, khi tign t6i cong nghe nano digm tir thi dinh Twat tren con diing hay khong, dén nay chua c6 cau tra Ibi xac dang a 1000000000 TIEN TOI 1 TITRANZITO TRONG 2007 7. 40000000 10000000 86 x xc Pe sooonvo }88™ D) + 100000 10000 aod +000 1970 1975 1980 1985 1990 1995 2000 2008 2010 Hinh 4.14. Két qua vé tang mat d6 linh kién trén chip theo thal gian tuan theo dinh twat Moore. ‘© Dinh udt Moore trong tuong lai va cdc yéu t0'khdc c6 thé dnk hung Cfc nha khoa hoc vii tru cia My (L. Krauss va G. Starkman, nim 2004} 4H dy dodn ring, t6c do gian né cha vi tru sé c6 thé quyét dinh én gi6i han cita su phat trién tuong lai ctia cong nghé, nhat 1a cong nghé micro — nano dign tir va thong tin, Cac nha khoa hoe niyy da chi ra rang, sy tang tc c6 thé quyét dinh dén mot gidi han co ban vé s6 long tng cong cia thong tin c6 kha nang chifa va xir If trong tuong lai. Ho cing tinh todn dy don ring, dinh luat Moore néi vé su tang mat dé linh kién tren chip véi su gidm kich thudc va gidm gid thanh 4p dung trong Tinh vue micro va nano dign tit sé cn phi hop trong vong 600 nam nifa ! Mac dit céc chuyén gia lim vige trong link ‘vue cong nghé bin din hin dang rit bi quan va nghi ring dinh luat ndi téng fe sé khong cdn ding nifa trong mot hay hai thap ki tdi. Néu dinh luat nay ‘Cong nqhé micro vA Nano dien ry 32Khong cn diing nita, c6 nghia Ia kha nang gidm kich thuéc va tang mat dg cfc linh kign trong cdc mach vi dign tik siéu c@ 16n kéo theo gid thanh gidm G15 + 20 %/nam sé khong cdn duge duy tri. Bigu nay c6 nh husdmg lon dén te dd phat trign va gid thinh ca céc mach micro — nan6 dign tik, cdc thiet bi may tinh, truyén thong, kéo theo nhiéu nginh kinh té khéc cé lign quan. Tat nhién, kha nang kiém loi nhuan trong link wuc nay cling sé bi Anh hung, ding ké, kéo theo sur sut gidrn vé déu tu. Nhu chiing ta da biet, Iwong thong tin c6 thé xir If va hu gitt trong bat caf linh kién dien tir hay bd nhd nao sé bi gidi han boi céc dinh Iuat cita co hoc Iugng tit. Thé nhung, md vai nha khoa hoc (Krauss va Starkman) d& chi ra sang, ban chat tu nhién ciia chénh ban than vo tru sé quyét dinh céc gidi han bo nhé cia may tinh. C6 thé nhan thay rng, sé khOng c6 kha nang truyén va nhan thong tin dudi mot gidi han nao dé trong mot vii tru dang co t6c do dan ng nhw hign nay. Gia t6c cla vi try duge diéu khién bai mot luc than bi sigu nhan nao dé, ma luc nay cé dac tinh day hon 1a tuong téc trong truimg do sttc hit. Mac dit nang hong nay duge coi 1a nang lucng Wi bi an nhimg né cé thé chiém t6i khodng 2/3 6 nang luong cita vi try. Chua ai biét loai nang Iwgng nay né sinh ra tit dau. Nang luong bf an c6 thé bao gdm mot hing s6 va tru méi cing véi mot dai luong chia biét nao dé tao nen. Dé tinh todn Iuang téng cong théng tin cé kha di xir i duoc, ho gia thiét cing vii tru co nhiet do cuc tiéu, dudi nhiet do nay nang lang con khong dang ké (hose bang khong), do vay cfing khong chifa thong tin dé o6 thé thu nhan dugc. Li thuyét da dodn nhan rang, nhiét d6 cuc tiéu nay cé thé t6n tai néu nu vi tra C6 mot hang so va tru méi Mot s6 nha khoa hoc di néi : “diéu ding hu ¥ 1a, cdc ket qua nghien cfu vé vi tru ¢6 kha nang dua ra cdc giéi han vé ban chat cla cong nghé thém vao 46, cing c6 thé lu ¥ ring, céc dinh Iuat don gian vé vat Ii c6 thé dat ra cdc rang bude (robust) cho cude s6ng va cong nghé. tham chi khi chiing ta khong bict cong nghé d6 gidng cf gi, ban chat nhu thé nao. Krauss char dgi ring. viée nay sé tgo ra céc tranh luan mdi vé cdc sii han cia may tinh, tri tue nhan tao va mot s6 van dé Khdc 6 lien quan: 1.7. MOT S6 MOC QUAN TRONG LIEN QUAN TOI LINH VUC MICRO VA NANO DIEN TU Céc phat minh quan trong @ cdc Tinh vue khée nhau c6 lien quan dén t6i nganh dign tir c6 thé ligt ke nhur sau ic phat minh thudc nganh Vat If, Hod hoc, hode cée ng’nh khoa hoc tw nhien khéc, vi du nhu cae phat minh ra hieu ting vat Ii (hiéu tng tranzito) B Chuovg 1cla W.Schockley, higu tng xuyén him (tunnel), higu Josephson, higu img siéu dan nhiét dé cao, higu ting laze. ~ Cée phat minh sng ché' ra céc loai vat ligu mei nhur vat ligu bain din, vat ligu sigu dan, vat ligu vo dink hinh, hign nay #8 c&e vat ligu Cy, Ong nand cacbon, vat ligu polime, cdc vat ligu quang va cdc vat Tieu méi khiéc ‘ing dung trong cong nghiép dien tk. Céc phat minh sang che’ vé cong nghé nhur cOng nghé planar, cong nghé MOS, CMOS, BiCMOS, cdc cong nghe Kha (litograph), cdc cong nghé pha nguyén tir tap chat vao chat ban din, cong nghé gen, phuong phdp tiép can cong nghé tir dudi 1én (bottom-up). ~ Céc phat minh sing ché'vé céc Ki thut dign tir nhu céc Ki thuat digu ché, ki thuat tong ty, Ki thudt st, ki thuat vi ba, Ki thuat hong ngoai (IR), cae Xi thuat truyén dan. ~ Cée phat minh séng ché vé li thuyét mach, céc mach dign, vi dy ahu cdc mach dién tir thong minh, mach CMOS, mach BiCMOS... Cée phat minh séng ché ciing duge phan loai & mite do khéc nhau & trong timg linh vuc. Dudi day, chiing ta néu ra m6t vai méc dang linu § = Nam 1673, Lesbnit da timg vé luge 46 vé may tinh Nam (810, E,W. Herschel khim phé ra tia héng ngoai (IR). — Nam 1826, khi quat dinh lat Ohm vé mat toin hoc, Nam 1831, M. Faraday phat minh ra cdm ting dién ti, — Nam 1850, R, J. Clausins dua ra khdi nigm entropi va nguyen If nhiét dong hoc I = Nam 1852, G. G. Stokes phat hign ra tia cuc tim. Nam 1864, J. C. Maxwell thiet lap Ii thuyét tradmg dign ti. — Nam 1879, déu may dign dau tien ra dd ~ Nam 1879, Th. A. Edison phat minh ra béng dén day t6c cacbon. — Nam 1888, H. Hertz ching minh su t6n tai cia séng dign tir (Maxwell da dy doan true day) —Nam 1896, Antoine Henri Becquerel di phat hién ra hign twemg phong xa. — Nam 1897, J. 1, Thomson phat minh ra dién tira thanh phan cau thanh lia vat chat. Nam 1901, G. Marconi thye hién chuyén dién béo khong day qua Dai ‘Tay Duong (Atletic) ~ Nam 1904, J. A, Fleming phat minh ra dit chan khong mé dau cho thé hé linh kién chan khong. Coney nee micno varsina din 1G 34— Nam 1905, A. Einsten thiét lap If thuyét suong doi va phat minh ra higu ting quang dien. — Nam 1924 — 1926, W. K. Heisenberg, E. Schrodinger va Born dura ra Ki thuyét co hoc Iugng tir Nam 1924, P.R. De Broglie dua ra ludng tinh s6ng — hat ctia anh sang ‘Nam 1925, W. Pauli dua ra nguyen If Pauli, ~ Nam 1927,G. E, Uhlenberg va S, A. Goudsmith phat minh ra spin cita electron, — Nam 1927, P. A. M. Dirac dura ra co hoc lugng ti tuong di. — Nam 1931, quan sat thay tia ti vi try dé, fam 1935 —1939, phat minh ra rada. — Nam 1937, may sinh ty dong dau tign ra db — Nam 1938, ché tg0 ra détecta tinh thé Si (do nhu cdu phat trién rada). — Nam 1938, O. Hatin khém phé ra hign tong phan hach, Nam 1942, E. Fermi thyc hién phan dng hat nhan trong 10 phan tng — Nam 1946, phat minh ra té bao quang dién Si. — Nam 1947, phét minh ra tranzito tiép diém. — Nam 1948, H. Brattain, 5. Bardeen va W. Shockley phat minh ra wanzito, duge gidi thuéng Nobel vé vat If vio nam 1956. — Nam 1952, phét minh ra laze béi H. Townes, G. Basov, M. Prokhorov. — Nam 1959, mach té hop vé linh kién Ge va mach té hop sit dung cong nghé bé mat (planar) trén vat ligu Si ra ddi do Kilby va Nicola dé xudt va trinh dign. ~ Nam 1959, Richard Feynman néu ra y tuéng ddu tién hudng cac nghién cau vao khoa hoc va cong nghé nan6. Nam 1965, E. Moore dua ra dinh tuat ndi tigng vé sur phat trign cba vi dien tir— dinh lug Moore, — Nam 1972, J. Berdeen, L. Cooper va J. Schricffer nhan giai thuémg Nobel vé Ii thuyét situ dan, ~ Nam 1973, 1. Giaever, L. Esaki, B.D. Josephson nhan gidi thuémg Nobel vé vat If cho céc nghién cifu xuyén hém. — Nam 1974, Norio Tangiguchi dua ra khdi nim vé cong nghé nano (nanotechnology) dé chi cau tnic céc linh kién nhd hon 100 nanomét Nam 1979, cong nghigp bin dn dat mic 10 ti USD. » Chuang, 1Nam 1981, Heinrich Rohler va Gerd Karl Binning dua ra tinh dién kinh hign vi quét xuyeén ham (STM). — Nam 1981, IBM, Intel, Microsoft nghién cifu ché tao may tinh PC. = Nam 1985, Yoshida dua ra ¥ tuéng Tinh kién nand & Nhat Ban. Nam 1986, cong nghé CMOS | 1m dua vao sin sudt dai tra — Nam 1986, kinh hién vi nguyen tit lye (AFM) ra dai — Nam 1986, K. Eric Drexel xudt ban “ Engines of Creation” chta dung ¥ tu’mg vé cong nghé nano phan tit m 1987, Theodore A. Fulton va Gerald J. Dolan cong 66 vé tranzito ‘mot dign tir déu tin. — Nam 1990, cong nghiép ban din dat mic 50 ti USD. — Nam 1991, éng nano cacbon durge phat hign 1a mot phn két qua trong, chuong trinh ERATO & Nhat Bin, — Nam 1994, cong nghiép bin din dat 100 ti USD. — Nam 1995, cong nghiép ban din tang t6c dén khoang thoi gian hai nam mot chu ki — Nam 1997, cée cdlu kign co nano dya tren ADN duge thiét Lap. — Nam 1999, M, Reed va J. M. Tour ché tao chuyén mach phan tir dign ti. ~— Nam 2000, cong nghiép ban din vuot qua doanh thu 200 ti USD. — Nam 2000, CMOS 30 nm duge dua ra trinh dién. Nam 2001, 6ng nano cacbon duge dua vao ting dung Nam 2004, vi mach duge dinh gid 1a thanh qui cé anh hung to 1én nhait trong thé ki qua, xép hang tren céc phat minh lén khéc (do Hang CNN lay ¥ kign danh gid), — Nam 2007, hai nha khoa hoc 18 A. Fert va P. Grinberg 4 duge nhan gidi thudmg Nobel vé vat 1icho cfc cong trinh nghién cu vé ti tro khéng 16 (GMR). tim 2007, cde nude tién tign déu trign khai cong nghé nand va cong ngh¢ nano dign tit, du tur cho Tinh vue nay 44 len 161 hang tram ti USD. Cong nghé nano n6i chung vA cong nghe nano dién ti néi rieng duoc dur dodn sé am thay déi nhiéu finh vac trong cudc séng con ngursi, nhumg trong né cing, chia dung nhiéu mat trdi rét nguy hai cho moi trutng va con ngudi néu Khong duge khong ché dé phat trién ding hudng vi loi fch cia con ngud. — Nam 2008, Osamu Shimomura, Martin Chalfie va Roger Tsien 3 duoc nhan giai thudmg Nobel vé hod hoc cho su phat hign ra chat protein huynh quang xanh (GFP), chat nay gitt vai trd nhu mot cng cu quan trong rong nghién cifu sinh hoc va cong nghé nano sinh hoc. Cong nghe micno va nano diew wy 38(C fucong 2 ; CONG NGHE MICRO DIEN TU TREN Si CAC CONG DOAN THIET KE, CHE TAO MAT NA VA CHE TAO VAT LIEU BAN DAN KHOI 2.1. CONG NGHE MICRO DIEN TU VA MOT S6 CONG DOAN CONG NGHE CHINH Cong nghé micro dién ub la cong nghé ding dé che tao vat ligu, link kign bain dén va mach 16 hop co kich thudc Rhodng tit 100 um dén 0,1 um. Cong tn By, da va dang nghién citu trong giai doan phat trign, trén céc vat ligu khdc th) chusa phat trién manh. Trong chutmg 1, & phan cudi, ching ta da thay mot so méc quan trong trong qué trinh phat trién ca cong nghé micro dign tit. Trude nam 1960, nganh cong nghigp dign tit chit yéu ché tao cdc linh kin ri rac, d6 1a linh kign don chiéc c6 kich thuée khd I6n trong ving millimét xudng dén cd vai tram micromeét, C6 thé néi, cong nghé micro dién irda hinh thanh va phat trién kha hoan thign (va trong long né cing da chita dung thai ki phoi thai cia cong nghé nano dién tit) trong kho’ing thai gian tir 1960 ~ 1995. Sau dd, cong nghé micro dign tir chinh thic buéc vao giai doan tiep can dén gidi han. Mot thai ki méi, d6 1a cOng nghé micro dién tir v6i su t6 hop cia mot sé lien nginh khoa hoc cong nghé khdc nhu hod hoc phan tt, nand sinh hoc, trf tue nhan tao, vat ligu nano... da tao nén mot Tinh vuc chung Id Khoa hoc va cong, nghé nano — dién tir nano, Trén hinh 2.1 c6 thé nhin thay 16 trinh phat erin cita cong nghé micro dien tir trong giai doan tir 1957 ~ 2000. nghé micro dat duge thanh qua to 16n chi yéu trén vat ligu Si, A 7 Chuang 2som Ei D nexxxt gmp Ta} 3s tes aoe 8 i i ray thing § 10m BT ane seni Hinh 2.4. Lé trinh phat trién cba céng nghé micré dién tt tip theo a céng nahé nand dign ti ‘Tren hin 2.1, chiing ta c6 thé nhin thay dén nam 2000 kich thurée linh kién dat dén cd 100 nm, sau dé su gidm kich thudc linh kién bang céc cong nghé truyén th6ng gin nhu bio hoa. Trong vai thap ki déu cua the ki XXI, kich thude sé gidm xuding gia tri gidi han, Tren hinh ciing thé hign diém khdi dau cia cong nghé ché tao mach micré dién tit, dugc phat trign rat nhanh tir sau phat minh cia Nicola va Kilby vao nam 1959 — 1960 ahé nhitng thanh qua cé tinh tng dung cao. Tuy nhién, né da ké'thira ya phat trién cdc ching loai cong nghé ché tao cdc linh kign ban dan rdi rac trudc dé nhu didt, tranzito, thirito, sit dung mét céch c6 higu qua cdc cong doan cong nghé tao cdc vat ligu mang trong 46 quan trong nhat 1a céc mang céch dign, quang khic, pha lap bing cdc phuomg phap khuéch tan va cAy ion.... dac biét 1A sy phat hign ra lop SiO, va céc tinh chat céch dign ca né trén bé mat phign Si vao khong. nhimg nam 1950. Ti day, da dén hinh thanh phat trién cong nghé Jép mat (planar technology) trong giai doan tir 1950 - 1970. Ké tir d6 di tao ra mot budc tign nhdy vot vé ché tgo hang loat chip linh kién (di6t, tranzito Si, IC...) tren cing mot phién Si, ma & 46 mdi mot dot san xuat €6 thé bao gém hing tram phién Si tuy theo kha nang chét lugng va sir tién bO ca thiét bi cong nghé. Trén hinh 2.2 18 céc phign Si trén dé c6 rat nhiéu cic chip IC gidng inhau. Méi mot dot sin suat c6 thé dat khodng vai chuc dn vai trim phién Si gidng nhaw cay thudc vao do dai ving nhiét dé 16 (1 khuéch tn, lang dong pha hoi hod hoc, epitaxi...) cba thiét bi cong nghé. Cong nohe mice vA aN die 3BHinh 2.2. Cac phién Si da ché tao xong, én dé c6 hang tram chip IC gi6ng nhau. Cac 6 vudng cé mau den la cac 6 ding dé dinh vi lam tring khép gida céc qué trinh céng nghé quang khdc khde nhau. ‘én nay, c6 thé khing dinh ring, cong nghé lp mat (planar) 14 mot cong nghé chit yéu quan trong nhat dé ché 4g0 cc mach 16 hop 6 mat do nhd (Small Scale Integrated Circuit — SSIC), trung binh (Medium Scale Integrated Circuit — MSIC), c@ ln (Large Scale Integrated Circuit ~ LSIC) va siéu co 16n (Very Large Scale Integrated Circuit ~ VLSIC) trong giai doan sau. Trén hinh 2.3 1 su phan chia mot céch khai quét vé thdi gian phat trién, kich thud linh kign didt voi mach t6 hgp c& 16n (LSIC), siéu c& 16n (VLSIC) va cong nghé nano trong thé ki XXI di v6i ho IC CMOS. Tuy theo mite do phife tap cia mot mach t6 hop (IC) ma s6 buée cong nghé ché tao ra chiing 6 thé bao g6m tir 30 d€n 150 bude cong nghé don Ié khéc nhau, thé gian ché tao mdi dot thutng phai kéo dai trong vong 1 dn 2 thang. Viec xay dung nganh cong nghigp ché tao ban dan (bao gém ca ché tao vat li¢u va linh kién ban dia, vi mach) trong cong aghiép dign tit cfin duge xem xét can nhac ki, nhit 1a lwgng {i chinh dau ar vao day, nén cong nghiep hign c6 cita mot dst nude va kha nang tiew thy, canh tranh n phim... Hien nay, chi c6 mot s6.nuée gidu nhy My, Nhat Ban, Anh, Phép, Dttc, Ha Lan... dang c6 nhing déu tu lén va 6 canh tranh 16n trong link vue nay. Tuy nhién, nhing nude c6 nén cong nghiep tién tién khong thé khong phat trién cong nghiép dign tir trong d6 c6 Tinh vue ban dn. ” Chong 2roy pues eo Hinh 2.3. Anh vé c&u tric bén trong ca mét chip diéu khién bien 6 va pha 16 kénh phéténic véi kich thude 8.5 x 8 mm?. [Theo WWW.dimes. tude} 2.2. CAC DIEU KIEN CAN THIET CHO CHE TAO MICRO VA NANO. DIEN TU a) Vi tri nha xuéng phong thi nghiém : Nha xuing sin xuat va phdng thi nghiém lien hoan & noi thfch hgp, thudng & noi e6 khong khi ngoai 6 hogc trong thung Iting turmg d6i cach xa thanh phd, c6 cde diéu kign an toan dim bao. Kh nha xuéng chia ra cée ciip dé sach khée nhau : vf du noi sin xudt chip tuy theo chat Iugng chip sin xudt ma c6 cae phdng sach thich hop, tiép den 1a cc khu ©6 dO sach & cap thap hon nhu trong cdc xu; cde phong tht nghiém kiém tra do ludng sau khi da hodn thign déng v6 six phdm, cdc kho tang cling kh6ng cén céc d9 sach cao. b) Hé théng cung cp nude : Bao g6m hé thong muse sach Va dac bit he théng cung cp he nuée khit ion cao Om lién hoan ti trung tam dén cf phong thi nghim ché to chip theo tieu chun. Vigc tgo ra duge he théng nude khir ion cao 6m rat t6n kém. Vi trong aude c6 rat nhiéu kim loai nang (Fe, Na, K, Ni, Cu, Ca...) va rt nhiéu cc hat hdu es, vi khudn, cin nén muse ban dé 1am sao dién tré cfnm dat la 18 MQ. C6 nhu vay, khi rita xit 1 cdc phién ban diin, cdc chip sau cdc khdu cong ngh¢ thutmg duge lam sach khit ion, Ig Cong Neh siicno va nano ditw rd 40thi céc kim logi nang, cdc bin méi khong bam vio bé mat phién bin din gay sai héng trong qué trinh san sua ©) He théng cung cp khi : He thing kh{ sach bao gém hé thong céc méy nén r6i hé théing loc Khong khi sach dugc loc sach rat cong phu, sau d6 6 hé thong Ong din vio céc phing thi nghiém, mot phén ding dé théi sach dung cy Jam thi nghiém, théi kho miu, mot phin durge lam sach tigp & mie cao hon r6i méi dura vao ce phdng sach, cdc phdng thi nghiem. He thong khi con bao gém rat nhigu céc loai khi rt sach, kho theo tiéu chudn duoc ché tao hay mua tir nude ngodi dura vao céc phOng thi nghiém, vi du nhu cdc khi Ny, 0), Ar, He, NH, SiH,Cl,, SiH,, PH,, SiCl,, N, He long... cling véi vige dim bao cc quy' dinh an toin vé chay né nghiém ngat d) Cac héa chat sach : Céc hod chat c6 a6 sach rat cao, BO sach hos chat diing 9 day 1a sach dign tir (electronic pure), khong ding do sach PA (Pure Analyis). Cac hang ché tao linh kign bin din va vi mach thudng mua céc hod chat tir mot sO hang ti¢u chudn tren thé gidi nhu Hang Merck, Kodak, Dorwcorning, e) Cac vat ligu sach va cac dung cy sach : C6 tdi hing tram loai vat ligu khéc nhau (nh Au, Pt, Al, Si...) va cde dung cu nhu panb, c6c, gié thuyén thu’mg lam bang thach anh, nhya teflon hay thép khong gi, chiing ciing cn 6 dd sach nghiem ngat theo quy dinh. ) Hé thdng phong sach : He thong phdng sach (clean room) theo cp 0 wong ting cho méi b6 phan sin xuat thé nghiém. M¢i trudng sin xudit bao g6m cdc loai phdng sach la dac biét quan trong. Phan Ién {di sin phim do bui trong moi trutng sin xuat gay ra. Vi dy, mot hat byi roi lén mot mach vi dign tir c6 thé gay ra sai hong nhiéu inh kign trén mach IC, néu c6 nhigu bui sé lam héng nhiéu linh kién. Trong ché to nano, mot hat bui c6 kich thude | um c6 thé gay sai héng hang tram linh kien kich thuée nano. Céc vat ligu, dung cy va may méc trong phdng phai sach, con ngudi lam trong 46 phai mac quin do, di giay sach khong cé bui. Sé lugng hat bui trong | m* khong hi sé quyét dinh c&p do cia phong sach, ngoai ra cae thong s6 vat If khée nhur nhiet do, 46 aim, van t6c ding khi, long Oxi va nung dong nén... cing cin dim bao theo tiéu chudn US (cdn goi 18 chudin Mj). a Chiang, 210000, Pa gee “SL séinat byiban dé 228 1000 £53 ee 185 rong khéng kh gee ~\@ trong phong Bee 100 “= BPE (3500) ~ 223 @ a BPE i Dee (350) No, Zee 4 Ess 05) Bae os —& easy fi 100 ich thuée hat bul (um) Hinh 2.4, Phan loai phéng sach theo kich thuéc hat bui trong 1m? ding trong ché tao cac linh kign ban dan va vi mach. Tren hinh 2.4 c6 thé nhin thay s& hat byi trong mot foot khoi (s6 viét trong ngodc 1a s6 hat bui trong | m? khong khi). Ching ta c6 thé nhin thay phong sach 6 caip do 100 (class 100) chi duge phép chtta khong 700 hat bui cé kich thuéc I um, Duimg dit nét la s6 hat bui cé trong mot mét khoi khong khi thong thuding, cu thé c6 chifa t6i 35000 hat bui os kich thuée 10m. Cac nha may ban dn hign dai trén thé gidi thudmg c6 phdng sach tit vai tram mét ‘wong téi hang nghin mét vudng cé6 cap do sach 1000 va 100. Trong ché tao nano thi thudng ding phong sach cp dd 100 hodc cap 6 10, tham chi cap 46 1, cap d6 sach nay chi cho phép t6n tai nhiéu nhat 35 hat bui vdi kich thudc 0,5 um trong | m*). 6 diy, cdn Iau ¥ rang viée xy dung cde phong sach 1a rat tn kém. Con ngudi khi lam viée trong phng sach cin trang bi quan do, giay dép, gang tay va mii sach theo tiéu chudn ciia phong sach nhy trong hinh 2:5 a) va b), Cong nig micnd vA nano din 42Hinh 2.5. Trang phuc sach bao gm quan ao, giay, ma, khdu trang, ging tay, dung cu... cho ngudi lam vigc trong phong sach a) va b) 2.3. MOT SO CONG DOAN CO BAN DUNG TRONG CHE TAO MICRO VA NANO DIEN TU Cong nghé vi dién tir Khoi dau tir nam 1957 dén 1960, n6 dit c6 bé day c@ mot nifa the'ki, trong thé gian nay né da déin duge hon thign va hién nay chiém mot vi tri rat dac biét, nhat 1& cong nghé micro din tir trén vat ligu Si Cac dau tur vao day cling rat lén, khong dé gi cé thé bé di dé thay thé bang. “a (Cluvong 2cde cong nghé khac Iai chua dugc hoan thign, Ngudi ta dy doan ring, cong nghé Si sé duge hoan thién va bude sang giai doan méi la cong nghé nano trén co sé cong nghé micro dign tit Si va sau mot vai thap ki c6 thé dat dén gidi han luong tir vao khoang nam 2015 va tip tue duy tri sin xuat bang cic cong nghé da dat duoc trong khodng mot s6 thap ki nifa true Khi mot toai cong ngh¢ mdi vu viet hon thay thé, vi dy cong nghe tir day lén (bottom-up) dang rat duce quan van phat trién hién nay theo cach ma tf nbign vn Jam. Ngudsi ta dang hi vong n6 c6 thé thay th cong nghé tir rén xudng trong mot 86 thap ki tdi, Tuy nhién, cho dén nam 2008 vin chisa thay mot cong nghe nao néi troi han, phuong ph4p cong nghé tir dudi len (bottom-up) cing con dang & thoi diém khéi thao va con rit so khai, Ché tao mach vi dién tir thuéng bao gém rat nhiéu khau cong nghé khéc nhav. Vi du, ché tao mot tranzito lung cuc (npn) hodc MOSFET don 06 khong 30 bude cong nghé, cdn ché tao mt vi mach thi dy mach BICMOS cé mat do t8 hop cao nhu hién nay c6 thé len t6i hon tram buéc cong nghé, tuy nhién néu phan ra thimh mot sé giai dogn cong nghé thi chi chiém khodng 5 giai doan chinh, Diéu nay c6 nghia 18 c6 nhiéu qué trinh cong nghe duge lap di lap lai trong qué trinh ché t20. ‘Vi dy, mot mach t6 hgp c6 7 mat na (mask) thi cén lam 7 cong doan vé quang khic, trong d6 mdi cong doan cé nhiéu khau cong nghé lap lai wrong doi gidng nhau, hoac vi du cé 3 cong doan pha tap thi cing cé nhiéu buse cong ngh¢ gidng nhau. Dudi day Ia céc giai doan cong doan cong nghe chinh, méi giai doan bao gém nhiéu cong doan cong ngheé co ban : a) Giai doan thiét ké mach IC bat nguén tir cé nhu cau cia thi tring ve sin phdim mi va cling can dua trén khd nang thiét bi cng nghé may méc c6 sin dé c6 kha nang thyc hign durge viec ché tao. b) Giai Goan thiét ké mat na va ché tao mat na bang ldp cin quang hay dung mang kim loai (Cr....), sav d6 ché tgo mat na me va cdc bn sao mat ng cho san xuat, ©) Giai doan ché tao vat ligu khdi tir khau nuoi don tinh thé dgn cat > Bone a Sees AG Hinh 2.7. Thigt ké hinh dang tranzito mét va nbiéu cyc E a) va ‘thi6t ké edu truc 48 ché tg0 b). al a ») Hinh 2.8. Thiét ké hinh dang dign trd ché tao bang l6p khuéch tan a) va edu trile dé ché tao b). Cong nit ion va nano din 1G 4BTir so 46 mach dién da thiét ké t6i wu, vi du nhu tren hinh 2.6, can thiet ké hinh ding cita méi linh kign tranzito mot va nhiéu cue phat E nhu tren inh 2.7a) va thiét ké cau tric ding dé ché tao mot tranzito mot cyc E nh trén hinh 2.7b). Tuong tu nibis vay thiét ké cho dign tr vA cau tric cia dién tri nh trén hinh 2.8a), b). Ce vép tuc Lam nh vay cho tated cdc chiing loai inh kign. Néu s6 linh kién len dén hang tram trigu céi thi vige thiét ke rat phiéc tap, Itic nay c6 thé phan chia thinh nhiéu lép, mdi nh6m linh kién nm trong céc lép khdc nhau, sau dé thiét ké téng thé sur sdp xép cita chiing tren, mot chip. Dé cho don gidn trong thiét ké va ché tgo, ngudi ta thutmg chon ctu hinh cla mot loai linh kién (tranzito, dian tré, didt,...) 06 trong mach 6 ‘hop 1a gidng nhaw. Vi du vé mot so dé mach dién nhu trén hinh 2.6 ¢6 11 tranzito va 9 dién a cling céc day din két n6i gitia céc linh kien, sav khi thiet ké tng thé c6 su sap xép cdc linh kién tren mt chip nhu trén hinh 2.9. ‘Tren d6 c6 ghi 19 cdc dién tris trong mach va vi tri cée tranzito, ——a Uo al ie Hinh 2.9. Thiét ké sy sp xép cc linh kign theo mach trén mét chip, 86 06 cc dign tr va tranzito cing cac cau tric chi it ding 48 ché tao. {Theo R.T.C La Radilo technique.Compelec, 1970] a Chong 2Mot mach t6 hop ngay nay rat phuic tap c6 t6i hang cram trigu linh kien, vie thiét ké ching cn phitc tap hon vige thiét kE mgt thanh phé c6 hang chuc trigu dan cut véi day di cdc cin nha, dudmg xé giao thong, cong vien cay c6i. Vigc thiét ké ngay nay duge tin hanh chi yeu tren cde may tinh én, Sau khi thiét ké xong cling chay thir md phdng (rn may tinh trude khi dura ra sin xuat chit nghiém. Viec nay tiet kiém duge rét nhiéu kinh phi sin xuat vi g6p phan gidm gid thanh dang ké 2.5. CONG DOAN THIET KE MAT NA VA CHE TAO MAT NA Sau khi thi¢t ké xong chip mach #8 hop nhu trinh bay & tren thi ngudi ta thiét ké' cdc b mat na ding 4é ché tao chip mach td hop. BO mat na sé duge ding trong cic cong doan quang khac dé ché tao mot loai linh Jién ban dan, IC chinb Ja mot bo gém cae tzim kinh quang hoc trong sust trén dé 66 cic phiin cu hinh IC theo timg lép thutmg theo thif tu tir dudi lén tren. Cac cat. inh c6 tren mat na tuy theo ding cin quang am hay duong ma cé thé cé mat ng 4m bin hay duong ban. Céu hinh cn quang c6 trén mat na chudmg 1a 6p can quang bang polime hogc mang kim Joai Cr... Tare day, mot bo mat na 6m c6 bin mat na ding cho ché tao mot tranzito lung cuc npn vao nhing nam 1970 ~ 1990, trong d6 c6 mot mat na mé cita sé dé khuéch tan mign cue g26¢ B, mot mat na mé cite s6 cuc phat E, mot mat ng mé cita s6 dé boc bay mang kim loai Him dign cue va mot mat na mé cita s6 dé Udy céc kim loai thira sau khi da gitt lai phéin day ndi. Ngdy nay, mot bd mat na ding dé che tao cdc mach té hap VLSIC BiCMOS cé thé len t6i 10 tim mat na hoac nhiéu hon nifa véi khoang mot tram buéc cong nghe. 6 day, cén lau ¥ ring cée mat ng trong cac Ki thugt khic khae nhau (quang khac, khdc bing chim tia dign tir, ion hodc tia X..) thi yeu cu vé l6p can tia bute xa c6 trén mat na cling c6 su khac nhau, tuy nhién céc cong doan chinh ché' tao mat na cling cé nhiéu digm gidng nhau. Duéi day, dé tim vi dy minh hoa, chting ta sé xem xét ki hhon vé cc bo mat na ding trong ki thuat quang khic dé ché tao cde manh vi dien th, Céc cong doan ché t3o mat na chinh bao gém céc buée sau : = VE tren gidy vé mat na, cén phéng to len 200 Han (vé cng phng to khi thu nhd lai cang dim bao do chinh xéc cao). Hign nay, viée nay duge lam chit yéu trén may tinh véi do phong dai bat ki nén rat chinh xéc. — Néu 1a ban vé thi can chup Anh ban vé gidm xudng 10 lin, sau d5 c6 é gidm xu6ng kich thuée thuc hoac sau khi nhan mat na thi gidm xudng Cong, nghe wieno va nao dit wy 50kich thude thyc. Con néu da thiét ké tren méy tinh thi viéc phong to hay thu ahé 6 thé thyc hién dé dang. Tyén hinh 2.10 va 2.11 1a bén tim mat na sir dung cin quang am ding a8 ché tg0 mach t6 hop ¢6 so 46 nhu hinh 2.6 va cé thiét ké sy sap xép cdc linh kién trén chip nhu 6 hinh 2.9, Hinh 2.10, Mat na ma cla sé dé khuéch tan tap chat bo vao mién cuc g6¢ B va pha tap dé ché tea cac dign trd a): mat na ma cdc cia 86 dé pha tap tao cc cue phat E cia 11 tranzifo b) ; Mat na mé cla 86 dé béc bay mang kim loai tao tiép xc vao cat. dién cye B, Eva céc én a cia Gin td) ; mat na d Bn mon ca phan kim oa thi tao nén 1h thdng eae day dn n6i cd lnh kign & bén trong mach IC trancte d) [Theo R.T.C La Radio technique, Compelec, 1970} —Tuy theo viee che' tao mat na sir dung 6p cin quang 1a polime (nhu lop mang trén phim chyp anh) hic may goi IA mat na phOto (photomask) hoac sit dung mang kim loai Cr dé cn quang (lic nay goi 1a mat na crém (crom - mask)) ma quy trinh cong nghé ché tao mat na len kinh c6 khdc nhau a Chuorg 2— Ding thiét bi tha nhé ban vé 10 : 1 xudng kich the that I : 1, nhan Jen va dinh hinh theo cac hang doc — ngang dé c6 nhiéu nh gidng nhau len mot ‘mat ng, Bang céch nay, tren mdi mot mat na o6 rat mhiéu céc anh gidng nhau ve dia hinh cita mot l6p 6 trén chip & mdi cong doan quang khic khée nhau. Hinh 2.11. Thu nhd, nhan én 48 cb nhiéu ann ging nhau va dinh hinh hinh anh eda mot mat na len t&m kinh (tri) d8 diye mot mat na diing trong s&n xuat hang loat hoac cé thé thu nhé, nhan lén va dinh hinh trvc tip lén phin ban dn (phi) Nhu vay, phién bin din ding trong sin xudt c&ng to (hign nay phién Si 6 duving kinh 1& 30 cm) th? mat na ciing cing phai Ién dé phit kin phign bain din va sO chip tren mot phién Si sé cang nhiéu, st lam cho gidm gid thanh/chip, tuy nhién cling phai gidi quyét hing loat van dé kho khan vé khoa hoc cong nghé. Trén hink 2,12 Ia mot vi du vé {inh hai mat na don gidn cia tinh kign rbi rac. Hai mat na bén trén 1 mat na ding mang kim loai Cr va hai mat na phfa dudi ding mang polime. Mat na crom (Cr) c6 do bén va hém dinh t6t hon, c6 tuéi tho cao hon nhung gia thanh ché tao cao hon so voi mat ‘ang polime, Cong, nei wicnd vi nano dign 72Be Hinn 2.12. Vi du v6 hai loal mat na dan gin ding trong Ki thuat quang khdc : hai mat na ding mang Cr (trén) va hai mat na dung mang polime (dui). Cc 6 vudng ging nhau [a cac anh cla mot 16p cv nic cla mot chip ban dn. Cac 6 vuéng tréng & gia ding a8 ‘amt tring khi lam quang kha. ‘Thong thudng, ngudi ta ché tao mat na me sau d6 sao copy ra céc bin sao dé sit dung bin sao trong ché tao linh kien va vi mach. Mat na sme duge luu gitt can than dé ding sao ra trong nhimg lén sau. Thong thudng, mot bo mat na chi sit dung duoc mot s6 lin trong san xudt tuy theo moi trubng co nhiéu bui hay (t bui va tuy theo Ki thudt thao téc. Trong phng sach, tuy d% rdtsach nhung vin c6 byi bam vao mat na hay phién ban din, trong qué trinh, ché tao chiing tra sat len mat na gay ra xuéc. Mat khéc, trong qué trinh thao tc di chuyén mat ng (dé lam tring véi cu hinh 6 trén phién ban dan da ché tao & cdc khau true) thudng gay ra rat nhigu vét xudc Fim cho bO mat na hong phai thay the InOn. Khi kiém tra thay c6 khoang 5% céc cu hinh tren mat na sai hong, bi xuGe thi ngudi ta bo bO mat na d6 di, sao mat ng me ra bo méi dé ding. Vie thiét ké va ché tao mat na thudmg 18 mOt bo phan rieng c6 nhing yeu cdu rieng rat nghiém ngat khong nim trong 69 phan ch€ tao chip. Ngay nay da c6 nhiing cOng ty riéng chuyen thiét ké va ché tao mat na durgc Fam V6i cc cong nghe hién dai tren may tinh én, vi vay cdc cong ty sin xuat chip 6 thé thué ché'tgo mat na va phn cong viée nay duge gidm di trong céc aha may ché tao chip. ” Clwwong 2Hign nay, dé gidm kich thude xudng ving nand céc ki thuat khic khéc nhau ludn duge phat trién hodn thign, vi du nhu khéc bing tia crc tim 6 bude song siéu tit ngoai tang cu’mg (EUV), khdc bing chiim tia dien tit, khic bing chim ion hay bang chim tia X... Trong cdc truding hop nay thi vat lieu dé Ham bo mat na va céc civ hinh lam trén d6 cling khde rat nhiéu, vi tuomg tac cita bite xa quan, cia chim tia didn tir, tia X lén mat ng va vat ligu bam chip cling kc nhau 2.6. CONG DOAN CHE TAO VAT LIEU BAN DAN KHOI CHO MICRO VA NANO DIEN TU Ki thuat nuoi don tink thé kh6i duge sir dung chit yéu dé tao ra céc théi tinh thé r6i ti d6 ct ra, mai dénh béng tao thanh céc phigh vat liéu gc Jam, phign dé dé ding trong ché tao linh kién bin dan quang dién tir. Dén nay, mot s0'vat liu ban dén khoi nhu Si, GaAs va cé thé coi cd vat liéu InP dd cd cong nghé nudi tinh thé khoi Kha t6t va hodn hao, Tuy nhién, con déi voi phén lon cdc ban dan khéc, cong nghé nudi dom tink thé van rdt khé khan, khé c6 the han duoc tinh thé cé6 dudng kink to dang ké va cé chat luong cao. Dén nay, ngudi ta da nudi thinh cong don tinh thé Si cé dutmg kinh tren 30 em véi chigu dai théi c& tren 100 cm ding dé ché tao céc Linh kién bén din Si va hai 1a cc vi mach mat do siéu cao v6i gid thanh ngay cing gidm dang ké. ‘D6i vdi cdc vat liu tinh thé ding dé ché tao cdc Linh kién quang ¢ién tir, tuy i c6 cc tién bo nhiéu, song dén nay van chua mudi duge tinh thé c6 kich thude Idn nhur tinh thé Si va dac biet 1a chua nudi duge nhiéu ching logi tinh thé. Day cfing I mot khé khan lén hign nay d6i véi viee phat trién céc linh ki¢n quang dién ei va vi quang. Dudi day, ching ta diém lai hai phuong phép chieh nudi dom tinh thé khéi, a) Phuong phap Czochralski Mot ki thuat quan trong dugc sir dung 12 ki thuat nudi don tinh thé bang. phuong phap Czochralski (CZ). Trong ki thuat nay, dung dich néng chay (vi dy 1a Si) 1a vat ligw da tinh thé Si chat lugmg cao duce gitt trong mot néi thing img. Bé mat phia tren cia dung dich néng chay gid Tam sao cho luon & tren nhiét dé néng chay. Mam tinh thé Si duge nhting trong dung dich néng chay va dura xudng rat cham ‘Vi nhiet tir dung dich néng chay chay ngaryc Ién mam Jam cho bé mat dung dich lan di va tinh thé bar ddu duce nudi, Mam dugc quay xung quanh true cia ng va tirtirkéo Ién vai t6e dé thich hop dé tao ra mot tinh thé c6 mat cat ngang 14 hinh tron. Su quay quanh truc sé han ché xu thé ty nhién cita tinh thé c6 thé nudi doc theo céc dinh huéng nao day dé tao ra mot tinh thé c6 nhiéu mat khong mong mudi. Ki thuat CZ. duge sit dung rong rai @é nugi tinh Cong neh wicnd vane diy ni 54thé Si, GaAs va InP. Doi véi vat ligu thdi Si c6 thé nuoi ti trong Iugng 100 kg. ‘Trong trudng hgp nudi tinh thé GaAs va InP thi Ki thuat CZ phai doi mat voi cic vain dé kh6 khan sinh ra do dp suat rigng phéin cia As va P tai nhiet do n6ng chay cita hgp chat. Khong chi khé khan d6i v6i buéng nudi tinh thé phai chiu véi dp suat lén ma cc nguy€n t6 As va P con bay tir dung dich néng chay len bam vao thinh néi. Dé loai trit van dé thi hai, ngudi ta phu kin len bé mat dung dich néng chay bing mot I6p vat ligu thit hai di nau chiy, thudng 12 oxit bo. Ki thuat sir dung nhwr thé nay duge mang ten 1d kT thudt Czochralski bao phit kin chat lng, viet tit 1 Ki thuat LEC (Liquid Encapsulated Coochralski). Trén hinh 2.13 18 luge 6 cita thiét bi kéo don tinh thé bing phuong phép CZ. cw woe els | | ! Mém g6o Mam Mat phan eéch trang thal ing ~ Néi slic ° 5 io V6 graphit ° ° ° + Day aot ° ° <>” Hinh 2.13. Luge d6 vé phuong php nu6i don tinh thé Czochralski (CZ), Phuong phép duge str dung réng dai trong nu6i don tinh thé Si, GaAs va InP. b) Phuong phap Bridgeman ‘Trong phuong php nay, vat ligu duge chia trong mot thuyén thach anh, Vat ligu c6 thé bao gém vat ligu da tinh thé chat Ivgng cao hole 1a mot lung vat ligu dinh truée di duge do cin than vé thanh phin c&c nguyen t6 dé tao ra ti lé thich hop. Ti l@ thanh phfin nay sé cé tinh quyét dinh tao ra tinh thé hop chat theo ¥ mucin sau khi nudi. Thuyén chifa vat ligu duge dot len cho w Chuang 2én khi vat ligu 06 trong thuyén néng chay ra va thm ngap vao mam dat & dau thuyén, Mim duge sir dung dé lam méi ket tinh tir dung dich ldng bang, céch ha thdp tir tir nhiét 4 cia thuyén bit d4u tir phia mdm. Trong phuong phdp lam lanh theo gradien, thuyén duge kéo vao trong 1d (dé lam néng chiy vat ligu) va kéo ra rit cham. Trong phuong phip Bridgeman, c6 khi thuyén cling 06 thé duge gitt dig yén, trong khi d6 nhiet dO cia 1d duge thay déi (C6 thé bang cach di chuyén bo d6t doc theo 1d) dé tao ra tinh thé. So 46 kh6i vé ce phuong phép c6 thé xem trén hinh 2.14. Trong thai ki ban dau, ngudi ta sir dung thuyén nim ngang, tinh thé ché tao ra thudmg c6 mat cét ngang hinh chit D.Dé tao ra mat cat ngang c6 dang hinh trdn, cic eau hinh thiét bj da duoc cai tin Va phat trién nhu hien nay dé nuoi tinh thé GaAs va InP. Ki thuat nhu da trinh bay 6 txén day c6 thé tao ra céc tinh thé khéi c6 do sach cao, nghia 1a tg0 ra céc vat lien loai n va loai p ding dé ché tao Tinh kién quang dien tit. Ring doi voi vat ligu Si, mot digu rat kho Ya ché tao ra duge vat lieu c6 dign tra sudt rit cao (gén ban din thudn) dé phuc vy cho myc dich lam vat ligu dé. S8 di 66 kh6 khan nay 1a do cée han ché cita chinh ki thuat nudi don tinh thé kh0i Si. Gid tri dign to suat cao thong thudng chi dat d lin dén c@ 104 Q.cm. Thé nhung trong céc bin din hop chat, sit dung céc tap chat lam by nhu crom (Cr) va sit (Fe) c6 thé tao ra vat ligu véi dién tré sudt co 10° Q.cm. Vige tao ra vat ligu dé c6 dien tré suat cao hay vat ligu ban céch di¢n 6 ¥ nghia dac biét quan trong d6i véi viéc lam 6p cach dién gitta céc linh kién trong mach vi dign tir va trong cong ngh¢ ché tao linh kién tn s6'siéu cao. Dé tao ra vat ligu loai p hay logi n, trong qué trinh nudi tinh thé ngudi ta can pha cic nguyén tir tap chat vao dung dich léng dé tao ra loai p hay n phi hgp. Trong trang hop nay cdc nguyen tit tap chat duge phan b6 tong, 46i déng déu trong toan khoi vat ligu. ng 16 , Day aot Vang néng ch | cccceeves oe paooodes inh ins Ko ———— “eo Mém Tinh thé Vatigu — N6i Mim Tinh thé rong chy a) 4 Hinh 2.14. Luge 46 nuéi tinh thé bang phuong phap Bridgeman ti dung dich Ing trong néi. Su két tinh rn duge hinh thanh ty mot du celia dung dich lang (phuong phap Bridgeman nam ngang a) ; va phuong hap néng chy, k8t tinh rn bang dich chuyén ving nhiét 46 b). | cou INGE MICRO VA NANO dity TH 56G day, cin hm ¥ ring nhu cau cé céc dé ban din 6 chat luong cao la rt 16m, rdt cén thiét cho céng nghé ché tao tat cd cdc inh kign ban din. Ngoai ‘cong nghé ché tao céc vat ligu Si, GaAs va InP, nhin chung cong nghé ché ‘tao vat ligu bin din khdc cin rt ft duoc phat trién do chua vir qua due cic Xh6 khan vé cong nghé. Nhin bao quat, cong nghe cl Khoi diing 1am dé cén rat non tré, chua dat duge nhiéu thanh qu: ing duge céc doi hdi cia cong nghé ché tao Tinh kien bén din néi chung va linh kign quang dign tit n6i riéng. Vi céc ki thudt nudi epitaxi sit dung cho céc linh kién di héi c6 sur wong thich trang lap vé hing s6 mang gitta vat ligu dé va vat ligu 16p mang epitaxi nudi tren dé. Sur khong cé sn cdc vat liéu dé dang 1a tre ngai kha nghiém trong t6i cong nghé che tao vat lieu ban din mang méng cfing nhur cong nghe ché tao inh kign hién nay. Day cing 14 mot nguyén nhan chinh trong sO nhiéu nguyen nhan Jam anh huémg téi su phat trign va ché tao rat cham cdc vat ligu c6 ving cam rong. Céc vat ligu nay lai uit cdi thiét cho céc linh kin dign tir hoat dong & niet 46 cao, cong suat cao va cdc laze hogt dong 6 bude s6ng ngin, Hi vong trong twong lai gan, véi tién bo khong ngig trong khoa hoc cong nghé vat Tigu, cdc khé khan néu tren sé duige gidi quyét tot. 2.7. CONG NGHE CAT MAI DANH BONG PHIEN VAT LIEU BAN DAN Sau khi cé thdi ban din don tinh thé, cén phai cét théi tinh thé ra timg 6 chiéu day thich hop c& tir 200 + 400 pm. Vi phién ban dan dom tinh thé 1a co sd ciia cong nghé linh kién ban dan vi dién tir va cong nghé linh kién quang dién tit, Phién tinh thé ban dan (Si, GaAs, InP...) thuimg dugc cét theo mot hudng nhat dinh, vi du theo hung bé mat phign 1a {100} hay {111}. Khi cat c6 thé tg0 ra su sai lech khodng vai do theo hudng tinh thé, Day cing 1a mot ciich c6 loi cho qué trinh nui l6p epitaxi vé sau. Sau khi cat ra cdc phign ban dan hinh tron, cdc phigh tinh thé ban dan duoc xit I hod hoc, mai tho, mai tinh va dénh bong. Dé béng ciia phigh ban din rat cao béng nhu guong, 6 d9 phing tt. Dé dinh dau hudng tinh thé va dé lam tring trong cde qué tinh ché tao vé sau, céc hang san xuat phién ban din thudng mai hay cat di mot hoac hai cung trdn nhé theo hudng nhat dinh trén chu vi ca phién bin din da danh bong. Ngudi ta goi ché cat nay 1a canh phang hay “flat”, Chd canh phing nay c6 vai trd rat quan trong. N6 dugc ding Tam dau hi¢u chinh chuan, dinh vj tho. Hinh 2.15 biéu thi mot s6 kigu cét danh dau trén phién tinh thé ban din, Vi du, khi quang khéc phan ct phing Iuén dé hudng vio phia long ngudi thuc higa cong nghé, hoac cdc 6 chip duoc ché tao tren phién tinh thé ban dan lun phai song song hay vudng géc véi canh flat nay dé khi cat nho- ra thanh cc chip nhd sé khng bi vo do céc canh ciia chip song song vi ” ‘Chung 2Ihudng tinh thé. Trén phigh bén dn c6 hai canh phing (flat), g6e gitta “flat” nhé va “flat” Ién cho biét thong tin vé hung tinh thé cia phién va tinh din cilia tap ch Mot théng s6 quan trong khéc cita phidn bén dn 1a do vénh (mite do phing). Bd venh c6 anh hudng truc tigp dén qué trinh quang khdc va mot s6 qua trinh cong nghé khdc, Chang han dé tao mt cau triic dai 1 jum thi bé mat phién ban dan trong dién tich 2. cm x 2 cm khong dugc chénh Iéch qué 1 jm v6i diéu kign 1A mat sau cita phién ban dn duoc gidt dit chat bang hit chan khong. Tuy nhién, khi phign bén din cang to theo xu huéng phat trién hien nay thi do venh cing lén, Khi cét phign bin din day Ién thi dd cong cé 1 giim di song lai khong phi hop cho nhiéu cong nghé. Thong thudng, véi trinh do cong nghé hign nay, do day phién ban dan tir 200 pum dén 400 pm. nh hign nay 1a hgp Ui. aw T a a5°|4 pring phdng hinh hint wat Loain (111) pidng Loaip (111) 180° 7 Mat onioa Th T phing T ane a, chin [Fon J enna wt a Losi n (100) Loai p (100) phu! Hinh 2.15. Mot s6 kidu cat danh déu trén phin tinh thé ban d&n st dung trong ché tao cdc linh kién ban dln va ban dn quang dién ti. 2.8. MOT SO VAT LIEU BAN DAN HOP CHAT QUAN TRONG SU DUNG TRONG MICRO VA NANO QUANG OIEN TU 2.8.1. VAT LIEU KHOI BAN DAN DON CHAT QUAN TRONG Bén dan don chét quan trong nhat 1a silic va gemani. Ban dan gemani da duge sit dung kha rong rai trong nhimg nam 1970 tr vé truéc, dén nay Cine, nghe sticné va nano din y58vin duge sit dung vao mot s6 cong nghé dac bigt nhur dé ché tao detect Ge sidu sach hay dé lim hgp kim SiGe... Ti nam 1970 tré lai day, héu nhu tat cd cdc linh kign bin din réi rac va vi mach cc loai «ar mat do thajp dén mat do siéu cao déu duge che tao tir vat ligu ban din Si. Céc Joai ban din don chit nay ¢6 ving cam khong thing, ching cé dae tinh phat quang thap, nén héu nhu khong duge ding dé ché’tao cdc linh kién phat quang, nhung déu cé thé sit dung tot dé ché tgo céc linh kien thu tin hiéu quang. Vi du, cae photodiot Si logi PIN hay APD déu c6 thé ding dé thu céc tin higu quang trong ving nhin thay Va héng ngoai gin, dén bude séng cB 1 um, wong khi dé cée photodiot Ge c6 thé thu duge tin higu c6 bude s6ng cB 1,6 um. Ngdy nay, vi cong nghé cao, mot sé linh kign hoat dng 6 tn s6 dnb sing c6 thé ché'ta0 bai vat ligu 16 hop gitfa SiGe hay v6i mot s6 ban din khdc, vi der nhur trong tranzito ludmg cuc dj chat (Hetero-Bipolar Tranzito - HBT} trén cot sé SiGe ; hode cau tnic [II-V HEMT trén co s6 SiGaAs, céit tnic gigng Iuong tir tren vat ligu GeSi... 2.8.2. VAT LIEU BAN DAN HOP CHAT Phan nay gidi thigu khdi quat mot s6 vat lieu bin din hgp chat hai, ba, bon thinh phén da dang sit dung trong cong nghé micré dién tir va nand dien tirhign nay. Trong tuong lai gin, cdc vat ligu, bin din nay ngay cang c6 vai 1rd trong nano din tir a) Cac ban dan hai thanh phén Hop chat ban din hai thanh phn duoc hinh thanh bai 16 hgp gitta mot nguyen t6 nhém III (vi du nhu Al, Ga, hay In) voi mot nguyén t6 nhém V (nhu P, As, hay Sb). C6 9 hop chat bin din hai thanh phan 1a 16 hap cia ba nguyén t6 bin din nhém IIT va ba nguyén 16 bén din nhém V. Cé thé xem cc thong s6 vé 45 rong ving cm va hing sé mang trong bing 2.1. Véi 46 rong ving cam 1 E, thi bude séng cat 2, 6 thé tinh duoc nur sau : dhe ay C6 khd nhiéu hop chat bin din hai thanh phn duoe si dung dé ch€ tao cdc linh kign thu quang va phat quang. Vat ligu bén dan hai thanh phéin quan trong nhat déi vdi linh kign quang dign tir! GaAs. ” Chong 2Bang 2.1. Mot s6 hop chat ban dan hai thanh phan va mdt sO thong: 6 quan trong. vattieu | Dordng vangcim | Bube song edt | Dac diém ving cm F,(eV) Ae (urn) Ge 0,665 1.88 khong thing Si Lu 15 khong thing Ae 245 052 khong thing AlAs 2.16 07 khong thing Als 138 0775 khong thing GaP. 2.26 05 khong thing GaAs 1.42 087 thing GaSb 073 470 thing ne. 1.35 092 thing InAs 0.36 350 thing Insb oT 7.30 thing Han thé nifa, hgp chat bén din GaAs ngay cing tr nén quan trong so v6i bin din Si vi né 1 co sé cita céc linh kign va cde vi mach hoat dong & We dO cao, cdc linh kign quang dién tit va cdc vi mach quang dién ti (OEIC) trong tuong Iai Hinh 2.16. T8 hop cia 6 nguyén 16 tao thanh 9 hap chdt ban dn hai ‘thaan phan, Cong nghe wicRo va nano din 1 60b) Cac hop ch&t ban dan ba thanh phan Cie hop chat nay dugc hinh thanh tir hai nguyén t6 cita nhém III voi mot nguyen 16 ciia nhém V, hoac tir mot nguyén t6 cla nhém III va hai nguyén 18 ciia nhom V (xem trén hinh 2.17). ) ___@ Hinh 2.17. Cu hinh cla ban dn ba thanh phan. Ban dn hop chat ba thanh phan nhu Al,Ga,., As 1a mot hop chat ¢6 céc tinh chat nim gitta céc hgp chat ban din AIAs va GaAs phu thudc vao ti lé trOn céc thanh phin x, véi x 1a ti s6 cba cdc nguyén tir Ga & trong GaAs 4% duge thay thé bdi cae nguyen tit Al. Nang Iugng ving cim E, d6i véi loai vat ligu may thay d6i gida 1,42 eV (Ia ciia GaAs) va 2,16 eV (cia AIAs). T6 hop Al,Ga,,,As/GaAs c6 vai trd rt quan trong trong cong nghé laze ban din va LED. ¢) Ban dan hop chat bén thanh phn Céc hop chat bin din nay duge hinh thanh tit hop hai nguyén t6 nhém III véi 16 hop hai nguyen t6 nhém V. Ban din bén thanh phan cé su t6 hop mOt cach dé dang hon (xét vé cach thiic téng hop vat ligu véi cic tinh chat mong mudi), t6t hon so véi bén din ba thanh phan, vi chiing cung cfip mot 49 ty do lon hon. Mot vi du duge néu ra di voi hop chat b6n thanh phén 1a (In,Ga, ,) (As, ,P,), & d6 nang lugng ving cém cia hgp chat nay thay déi gitfa 0.6 cV (cua InAs) va 2.26 eV (cia GaAs) vi ti I¢ tron céc thanh phan x vay thay d6i gitta 0 va 1 @) © i Hinh 2.18. Cu hinh cia ban dan bén thanh phan. or Chuang 22.8.3. MOT SO UNG DUNG CUA VAT LIEU BAN DAN HOP CHAT TRONG MICRO VA NANO DIEN TU ‘Trong ché tao linh kign quang dign tit, che'tao céc linh kign dac bigt nhur cham Iuong tir, cae linh kién nano méi... phuc vu trong thong tin quang thi cc vat ligu bin dan hgp chit hai thanh phén, ba thanh phén, bén thanh phan duoc sir dung va ngay cing gid vai (rd chi dao. Mdt sé vat ligu bin dan quan trong ding trong ché tao laze va photddétecto cing véi cdc thong so nhu dd rong ving cm, hang s6 mang va nbiéu tinh chat khée da duge tinh bay khé chi tiét trong ede phu Iyc & cudi cud séch nay. Trong s6 cde vat ligu thu quang thi InGaAs, c6 do rong ving cm c6 thé thay déi duge, c6 hing 56 mang tong thich véi InP va la vat ligu Ii tuéng cho thong tin quang duimg, dai, Vat ligu AlGaSb c6 d6 rong ving cam cé6 thé thay déi duoc. Vat liu nay 6 céc tinh chat quang rat tt, dng dung nhiéu trong thong tin quang duimg, dai, tuy nhién cong nghé ché tao vat ligu nay khong don gin, rat khé thuc hign. InGaAsP cing 1a vat liéu pha hop cho thong tin quang dudng dai & buée séng 1,3 rm va 1,55 um. Vat ligu 06 thé trig lap tot vé hang s6 mang vai vat lieu dé TnP. Vat ligu ban dln hop chat HgCdTe [a vat ligu c6 do rong ving céim €6 thé thay ddi duoc, 1a vat lieu rit wt dé img dung trong viee thu céc tin higu héng ngoai, nhait 1a trong ki thuat nhin dém va anh niet, Hign nay, Ki thugt may dang duoc phat trién manh va da c6 céc két qua tng dung tot, dac biét Ia trong, finh vue quan su nhur quan sat, dinh vi muc tiéu ban dém, phuc vu cho cic muc dich quan su. Vat ligu Si cé do rong viing cam [a 1,11 eV, dé 1a ban dan 6 ving cam khong thang, c6 46 hip thy quang ~ héng ngoai é mép ving caim rat tha, c6 6 nhan hat tai & trang dign cao rat lén, do vay vat ligu nay c6 thé sit dung, dé ché tao cde photodidt PIN, photddidt thac Iti (APD), cic diot nay c6 tng dung t6t trong thong tin mang dia phuong (LAN), khong thé ting dung trong, thong tin quang dudng dai & bude séng 1,3 um va 1,55 wm. Vat ligu Ge cé 0 rong ving cam 1a 0,7 eV, c6 do hap thu quang ~ héng ngoai 6 mép ving cedim rit thép, c6 d@ nhan hat tai & trugng dién cao khé 16m. Vat lieu ni thé sit dung dé ché tao céc photodiot ting dung t6t trong thong tin mang dia phuong (LAN), va cd trong thong tin quang dutmg dai 4 bude séng 1,3 um ‘va 1,55 um. Vat ligu GaAs 1a vat ligu c6 ving cm thing, khong phi hop cho ché tgo cde photodiot théc li vi cé do nhan hat tai dign tir va 15 trdng ngang bing nhau. Vat ligu nay hdu nhurkhong duge tng dung trong thong tin dutng dai va trong céc ting dung mang LAN. Cong solee mcd va nano din nd 62Cie 3 CONG NGHE LOP MAT VA MOT SO CONG NGHE CHE TAO MANG MONG KICH THUGC MICRO VA NANO 3.1. VE CONG NGHE PLANAR TRONG CHE TAO CHIP LINH KIEN BAN DAN Si VA MACH TICH HOP DUA TREN KHA NANG CHE CHAN CUA LOP SiO, ‘Cong nghé planar 1a cong nghé ché tao cc linh kign trong vi mach trén mot lép mat, c6 chiéu day khoang 10 um trén mot phién dé ban dan Si day mot vai tram micromet. Muc dich chinh cia phan nay 1a trinh bay mot céch can ban ngin gon mOt s6 cong doan cong nght, dé ngudsi doc 1am quen véi guy trinh ché'tgo mach tich hap twong tw (IC). Ngudi vé thigt ke’ va ngudti im ‘mat ni (mask) thi cing phai biét khd tung tan timg bude ctia mot quy trinh ché tao. Thong thudng cong nghé ché tao Ta mot Tinh vuc ma d dé cong nghé Juén thay déi rat nhanh. Vi vay, diéw bat bude déi vdi mot ngudi thigt ké va cdc nha cong nghé la cén phai hiéu rd dac diém, nam bat duoc su thay déi thurong xuyén vé cong nghé va 1am chi dugc nhiing bude cong nghé co ban moi c6 thé dat duge thanh cong trong qué trinh phat trién. Tren thuc 16, c6 khé nhiéu cic quy trinh cong nghe rigng ré dé ché tao 4c linh kign réi rac, IC. Tir nam 1959 tré vé truée, Tink vue dign tit ban dn chi yéu sir dung val ligu Ge (germanium), va cong nghé di kém theo la cong nghé hop kim. Nghia 18, dé ché tao ra diot pn hay tranzito pnp Ge ngudi ta ding mot hay hai vién bi (In) Indium nhd tgo hgp kim lén dé Ge loai bin din n d€ tgo ra mot hoac hai tigp gidp. Ngoai ra, cong nghé ché tao chuyén tie pn bing cong nghé nudi don tinh thé cing da durgc phat trién sit dung. Vé sau trén co sa phat hign ra nhigu dac tinh 161, dic bigt cia lép SiO, trén bé mat phign Si, quy trinh cong nghé 16p mat phing (planar technology process) dé ché tao céc linh kién ban din rai rac va IC da ra di phat trign va chiém wu 6 Cheavg Fthé tuy@t d6i tir nm 1960 dén nay. Ngay sau khi cong nghe I6p mat ra di, mach t6 hop micro dién tir tren Si da ra doi va da thay déi nhanh chéng, Vat ligu bin dn Si tré thanh vat ligu bin din chi yéu tir mhimg nam 1960 dén nay. Vay, dc diém cita lop SiO, 1a gi ? D6 1a vat ligu c6 cu tric vO dinh hinh nhu biéu thi & hinh 3.1, 6 d6 xung quanh céc nguyen ti Si (cham den) c6 cae nguyen tir Oxi lien két va khOng lign két tao thanh mot mang cau tric. SiO, ¢6 mat dO 1a tgo, = 2,25 gm/em? va trong Iuemg phan tir gam (GMW) bang 60, trong khi dé Si cé mat do rg, = 2,3 gm/cm’, GMW = 28. Trong tr nhién, dang cu tic hoan hio ca n6 e6 thé bit gap o vat ligu thach anh. Neudi ta c6 thé pha mot lugng thach anh c@ tir 5 + 30% vao thuy tinh dé tao nen céc sin phdm pha le. Hinh 3.1. Anh m6 phéng cu tric cilia dp SiO,, 6 46 vong tron trang la nguyen tis dxi tao cu néi, vang & trong e6 gach chéo la nguyén tt Oxi khong tao céu néi, chm den la nguyén tir Si, cac vong tron to va 6 vubng la cdc tac nhan tao nén mang nhém hidrdxit. Vat lieu Si khi duge tiép xiic voi khong khf, ngay cd & nhiet do phong, én bé mat hinh thanh mot l6p Oxit SiO, méng cé chiéu day cB chuc nanomét. Lép Oxit silic duge nudi mot céch nhanh véi chiéu day thich hop, bang cach Oxi hod nhiét tim silic trong dong khf Oxi kho hay trong dong Oxi dm chifa hoi nuée & nhiét 6 cao trong mot thdi gian nhéit din, N6 duge coi Ja chia khod cho sy ra ddi ca quy trinh cong nghé planar sit dung lop Oxit silic (SiO,). Lép nay c6 phiéu tinh chat hoa If rt dac biét : Thi nhat, 16p Oxit silic tao thanh mot bé mat tro cho phién silic, va bio vé n6 khdi céc su nhiém ban, nhiém dm tir moi trang bén ngoai ; thif hai, khi chiéu day dit lén, né Cong NGhE micro vi nano die rie 64Go thanh mot rao chin khong cho su khuéch tin nguyen tit tap chit vio silic : Unt ba, bang cach an mon Idp SiO, mot s6 vj tr dia phuong véi sutra gitip cla qué trinh quang khdc 6 thé tyo ra cdc cita sé (windows) trén bé mat phigh Si, dé sau d6 ngudi ta c6 thé Khuéch tan mot Iuong nguyén tir tap chat xdic dinh qua cita s6 di md trén phién tinh thé silic dé tao nén chuyén tiép pn hoae dé tao cde cau hinh dac biét theo ¥ mudn. Tat c& cde dac tinh dac biet nay ciia 16p SiO, déu c6 ich giip che viec ché tao céc Linh kién bén din hay mach 16 hgp trén mot lop mat cla phigh Si. Lép bé mat cé chifa cac linh ki¢n hoac thach 6 hgp thubng c6d9 day c 2+ 10 pm, chinh vi vay cong nghe ch€'tgo linh kign ban dan theo céch nay la cong nghé l6p mat. Dén nay, cong nghe 16p mat c6 tinh céch mang én lao trong may thap ki qua, Ia cong nghé quan trong dac biét. N6 chi c6 thé thye hién duoc dé dang trén val litu Si, con céc vat ligu bin din khéc, cA c&c vat ligu bin din hop chat (vi dy nhur GaAs...) cing kh6 tgo ra mt lép Oxit céch dign c6 tinh chit tuong tu gidng nhu SiO,. Quy trinh cong nghé lop mat ding dé ché'tao cdc chip linh kien ban dan ri rac va chip IC, bao x6m rat nhigu khau cong nghé khdc nhau, Chuong nay sé trinh bay mot s6 phuong phdp cong nghé ché tao mang mang cach di¢n, mang ban din, kim loai dong trong cong nghé micro va nano dién ti 3.2. CHE TAO LOP SiO, TREN BE MAT PHIEN Si BANG OXI HOA NHIET 3.2.1. TINH CHAT CUA LOP SiO, ~ Khi phién Si da dénh bong hay Si néi chung ma tigp xtic véi khong khi thi n6 tao ra mot 16p Oxit silic (SiO,) cdch dign ngay trén bé mat cha né véi chiéu day vai chuc angstrom (A ). Lép oxit nay 1a mOt lép chat tro, tuy nhién lép ny khé méng nén khong thé ting dung trong cong nghé ché ta0 IC, tham chi mot s6 trudng hgp né cn gay rat nhigu phién todi. Dé c6 l6p SiO, ai day, ngudi ta cn tién hanh Oxi hod & nhiét dO cao trong moi truimg Oxi, Trong vige ché' tao mach tich hgp, lép Oxit nay c6 mot s6 vai trd co ban sau : — N6 tgo nén mot hang rao nga su khuéch tin va chi cho phép Khuéch tan lua chon nguyén tit tap chai vao tinh thé Si qua mot cita s6 dd ma trén 16p nit. Hé s6 khu€ch tin cia hdu het céc tap chat trong lép Oxit SiO, ©6 46 lon nhé hon hai dén bén lan so vdi hé so khuéch tin ca cdc hat tap chat tuong ting trong Si. Chiéu day ti thiéu cn thigt cha l6p oxit dé ngan mot so os Chuang ¥nguyen tit tap chat ty thuge vao céc dc inmg ritng ciia céc qué trinh khuéch t4n, nhur Ja loai tap chat duge ding, sw tap trang bé mat, nhiét do Khuech tan Né bio ve lép tiép gidp khdi su tiep xvic véi moi tru’mg khong hi, cing nhu céc tap chat trong dé, 1am gidm cdc anh hudng ding ké téc dong cha moi tratmg, nhur lam tang dong dd qua bé mat. ~ Cic day din dign (metal interconnection) c6 thé dugc tao ra trén 16p cch dién d6 dim bdo tinh cach dién t6t dé noi céc linh kién vai nhau. ~ L6p oxit SiO, con duge ding nhu la lép dign moi cia ty dien hoac cia cuc cita (gate) ciia cau tric MOS. Lép oxit SiO, c6 thé duge tao ra tren bé mat silic bing nhiéu céch, nhu Oxi ho# nhiét, lang dong nhigt phan, va oxi hod khi plasma (gas plasma oxidation). Trong céc phuong phap d6, phuong phdp xi hod nhiét dugc sir dung rong rai nhat 3.2.2. THIET B] OXI HOA NHIET TAO LOP SiO, Oxi hod nhiét 18 qué trinh Oxi hoa xay ra giifa nguyén tr Oxi 06 trong moi trudng va nguyen tr Si c6 trén phign dé Si nhiét dO cao, tao nen l6p SiO,. Dai nhigt do oxi hod thudng nam trong ving tir 900°C + 1500°C. Luge 6 ciia thigt bi ding dé oxi hod nur trén hinh 3.2. Oxi hod trong méi truéng 6xi kho Ngudi ta da Oxi kh6 tix binh khi qua hé thong dng do cé van dé c6 thé digu chinh chinh xic duge luu lugng khi dura vao 13. Trong moi trudng Oxi kho, phién Si tip xtic trac tip v6i Oxi. Laie ban déu qué trinh oxi hod tao nen 16p SiO, xy ra nhanh, sau ¢6 cham din, Co ché oxi hod xiy ra bing céch nguyen ti Oxi phan img voi nguyen tit Si c6 ngay trén bé mat phién Si, sau 6 dain dan Oxi phai khuéch tén qua lép SiO, da hinh thanh trudc 46 vao bien phan céch Si - SiO,. Cac phan ting hod hee tiép tue xay ra 6 d6. Tai bé mat tigp gidp gida khi O, va SiO, Iugng nguyen tit Oxi tdi bé mat phu thude vio dang khf chay trong ong thach anh, nhigt 49 trong 18 va dp suat riéng phan bao quanh tsi silic. D9 thdm thau cia Oxi qua lép SiO, '8 rat thaip va phan bo theo ham mii gidm din tir mat vao. Sau khi hap thu trén bé mat SiO,, Ox! bi ion hod tao thinh ion oxi va I6 trong, chting khuéch tan t6i tigp gidp Si SiO). Tai bien phin cach Si ~ SiO,, phan wing hod hoc xay ra nhu sau Qf" + 4h go, + Sig = SiWOF (= SiO) G1) Cone Gh micno vi nano diew 166Ce phién Si trén thuyén Hut khi do xa ra ngoal Ong knuéch'tn Ce van ki thech anh Nauén tng Bo diéu khién inetd Hinh 3.2. Luge &é ata thiét bj ding dé Oxi hoa nhiét va khuéch tan theo phuong phap éng hd. ‘Trong qué trinh tren, cit mot phan tir O, ket hop v6i mot nguyen tir Si sé cho mot phan tir SiO,. Oxi hod nbiet trong moi trudmg Oxi kho sé cho chat luong I6p SiO, t6t nhung téc do oxi hoa rat cham. Dé oxi hod dat mot lép SiO, day c& 0,5 um trong 6xi kho phai mat vai gid. Oxi hod trong méi trudng hoi nude Negudi ta thutmg lam 6xi hod trong xi dm chita hoi nude, cé thé pha them mot ft HCl, bing c4ch nay cé thé tao dugc 1ép SiO, mot cdch nhanh hon nhung chéit lung khong nhu Oxi hod trong Oxi kho. Hé thiét bi vin ging nhu trén hinh 3.2, chi them mot binh nudc khir ion cao om dugc dun va én nhigt tai mév nhiét do 6 dinh, thudmg 1a khong 70 + 80°C, hai nude c6 thé tu bay vao trong buéng 16 hoac cé thé suc khi Oxi kho qua dé. Nhu vay, trong buéng 16 ¢6 chifa hoi nuéc. Dau tien, hoi nude phan tmg véi oxi cé trong cau Inc silicat dé tao g6c hidroxit (OH) H,0 + Si-O-Si_ ——> Si - OH + OH - Si (3.2) Tai bién phan cach, cac géc hidroxit lai phan ting véi Si theo phan img sau si-OH Si-O-Si +Si-Si > +H, 3.3) Si- OH Si-O-Si 1, thira ra tir phan img trén, di vio l6p Oxit sili tip tue phan tng vi céc ion Oxi trong lép silicat tao chanh géc hidrOxit méi. Cif nhur vay, qué trinh 67 Chuang >‘xi hod In Iuot xdy ra, Trong qué trinh nay cit hai phan tir HO méi tao thanh, mot phan tir SiO,. Chiéu day thye t€ cia 16p SiO, theo phuong phép niet thug ding trong viee ché tao IC 6 vao khoang 500 + 20000 A. 3.2.3. VE DONG HOC CUA QUA TRINH OXI HOA NHIET Qué trinh Oxi hod nhiét tao i6p SiO, trén bé mat silic dugc thyc hién theo ba giai doan chinh sau day NONG 00, koi | Lep Oxit Hinh 3.3. Qua trinn 6xi hos niet trén phign Si x2y ra bei sy khuéch tan cia xi t6i bién phan cach sau dé tg0 ra phan tng hod hoc 8 day. — Giai doan a : Su vin chuyén cia kh{ Oxi hod (Oxi hodc hoi nusc) 16 bien phan céch khf— bé mat l6p Oxit. ~ Giai dogn b : Sut van chuyén cia khi Oxi hod dudi dang ion qua lép SiO, t6i bien phan cach Si - SiO, ~ Giai dogn c : Phin img hod hoc xiy ra tai bién phan céch Si SiO,. ‘Thong Iuong vat chit F, trong giai doan (a) tuan theo dinh Iuat sau : F,=h(N*-N°) G4) 8 d6, h la hé sO chuyén chat trong pha khi theo néng 46 trong chat rin, N° la néng d6 Oxi trén bé mat SiO,, N° 1 néng do can bing trong l6p Oxit véi ap sudt rigng phan da cho. ‘Thong hugng Oxi trong giai dogn (b) twan theo dinh lugt Fick T, vi chiéu day I6p SiO, 1a rat ming, do vay 6 thé viét gin dting nhu sau : N°-N, Do. x G5) Cong neji micro va wand den tG 68.6 d6, D, 1a he s6 khuéch tén cia Oxi, N; 1 néng 40 nguyen tir Oxi tai bien phan cach Si— SiO,, X 14 chiéu day SiO,. Tai bé mat Si, Oxi két hop v4i silic igo nén SiO, véi thong long nhy sau : F,=GN, 3.6) 6 d6, G la te do phan ting. Khi & cn bang thi F Gi sé C6 F, sau khi bién pe Don? x.Do G7 G ‘Néu ta coi n 1a $6 phan tit cia chat Oxi hod cé trong dom vi thé tich, doi Gi Oxi kho n = 1,2.10% phan tir SiO,/em?, d6i v6i Oxi hod trong hoi mudee c6 Bip Adi s6 trén. Toc 6 thay déi cha do day lép Oxit duge biéu thi bing phuong trinh sau : 8) it =Ovax=0,tac6: eee (ecard ay G Don 3.9 Khi thai gian oxi hod la nha, Vaan gain diing sé c6 : Nes x2 NS, (3.10) n Trong thiii sian du, chiéu day lop dxit tang 1 thugn voi thoi gian, Khi thoi gian dxi hod 1d lan, a6 day axit sé 1a wep, Nr Gl) Trong giai doan sau, chiéu day lép dxit rang ti Ié vai cain bac hai cila thai gian oxi hod. G day, cling can hau ¥ rang qué trinh nudi lép Oxit thi mot phan nguyén tr Si tham gia vao céc qua trinh phan (mg, Phién Si mat di mot phan chiéu day, 60,44 phn chiéu day cia lop SiO, 3 nudi, do mang Si bi a Chuang ¥xi hod Ian vao phfa bén trong. Cho dén nay, ngudi ta da hiéu khé rd vé phan img xay ra tai bien phan céch Si - SiO,. Cac nghien ci bing thuc nghiém a ching minh rang khi céc ion hode nguyén ti Si dur thita trong phan img oxi hod, thi chiing s€ tiem trich vao trong lng Si, chiing c6 thé tu dém tao thanh cac sai héng ty diém (Schracking faults). Trong cc cong nghé hién dai ché tao mot s6 tinh kién c6 chat lugng cao, dé han ché cde Schracking faults gay ra do cdc xen ké Si gay nén, ngudi ta c6 thé sit dung 16p silic nitrit (SigN,) dé 1am mang che chin, thay vi ding l6p SiO). 1 SSS ae f ttt “Heel é i” sn 3 = : a a a av toe 108 107 10° 107 a 10" Thai gin (6) Trai gin (9) a) >) Hinh 3.4. Chiéu day cla lép SiO, phy thudec vao thai gian va nhigt 46 ‘trong dxi khé a) ; va trong hoi 4m béc hoi tif nudc tai 95°C ap suat riéng phéin tai 640 Torr b). (Theo S.M.Sze, 1981] 3.2.4. VE QUA TRINH PHAN BO LAI NGUYEN TU TAP CHAT TAI BIEN PHAN CACH ‘Trong qué tinh oxi hod, néu dé phigh bin din cé phan b6 tap chat cao trén bé mat thi sé c6 qué trinh phan b6 Iai. Vi du, khi khuéch tn bude hai trong moi trumg Oxi hod, hé s6 khuéch tén cla bo (B) trong SiO, khong thé bd qua So vGi he s6 khuéch tn bo trong Si, do vay bo ¢6 xu hudng thost ra Cong nah micnd va nano dif 1G 70ngoai Iép SiO, gay ra sy thay déi vé phan bo néng do. Ngudi ta goi qua winh nay 1A qué trinh phan bé tai. Thuc chat bai todn nay mo ta qué trinh khuéch tin, Oxi hod c6 bien chuyén dong rat phifc tap, chiing ta khong ban Iuan & day. Nguiii ta dinh nghia hé s6 phan ii tai bién phan céch nhu sau 1_N@,t) m N(0',t) G.12) 6 d6, K 1a hé s6 phan li cia bo tai bién phan céch, N(0~,t) 1a néng do tap chat tai bé mat cita tap chat trong SiO, N(O*, t) Ia néng a6 bé mat cia tap chat trong slic. Trong thuc té, vide xéc dinh K la viée kha khé khan ca vé phuong dign giai b&i todn dé tim Tdi gidi thich va ca thuc nghiém. 3.3. MOT SO CONG DOAN CONG NGHE CHE TAO MANG VAT LIEU BAN DAN, MANG DIEN MOI, MANG KIM LOAI TRONG MICRO VA NANO DIEN TU Hien nay c6 nhiéu phuong phap tao mang vat ligu bin din, dign moi va kim loai thuding dugc ding trong cong nghé micro va nand dién tit, C6 thé phan ra thanh mot so nhém cong nghé chinh tuy theo tinh chat : tao mang bang phuong php ling dong pha hoi hod hoc (Chemical Vapor Deposition — CVD, trong 46 bao gém oxidation, LPCVD, PECVD), tao mang bing phuong phdp lang dong vat If (béc bay, sputtering), bang spin-on glass (SOG), bing ma va nhiing... Dudi day sé xem xét mot $6 phuong phép va img dung. 3.3.1 PHUONG PHAP LANG DONG PHA HO! HOA HOC DE CHE TAO MANG VAT LIEU BAN DAN SILIC Khai niém : Phuong phép ling dong pha hoi hod hoc la phuong phip tg0 ‘mang vat ligu dya tren cac phan ting hod hoc & pha hoi trong mot budng 10 <6 nhiét do 4p suat nhat dinh. Trong qué trinh phan tng, mot s6 vat li¢u can. ché tao sé Ling dong lén tren bé mat cia dé vat ligu hoac ling dong vao céc cau hinh dink sén nh&m phuc vu cho ché tao vat fiéu linh ki¢n mach td hop. Céc digu kign vé thiét bi, nhiet 46 trong budng 16 va dp sust s€ anh hung truc tiép t6i cdc thong s6 vé cu tic mang, tinh chat dién — nhiét — quang, tinh déng déu cia mang... n Chuang, 5Phén loai : Ngutsi ta thug chia ra mt s6 loai lang dong pha hoi hos hoe nhur sau: — CVD nhiet thong thudmg xay ra trong viing nhigt do ti 400 = 100°C. = CVD & 4p suat thap (LPCVD) ti 0.01 + 0,1 torr. ~ CVD @ dp suat khf quyen (Atmospheric Presure CVD - APCVD). — CVD trong moi trudmg plasma tang cudmg & nhiét 46 thép (Plasma Enhanced CVD - PECVD). CVD cim timg béi photon. Khi nay, photon duge tao ra bai den cue tim (UV) hay laze. Chigu huéng phat trién cla CVD ngay nay [a thyc hin CVD nhigt nhanh (Rapid Thermal CVD - RTCVD) va lam CVD tong méi trudng plasma mat d6 cao (High Density Plasma Enhanced CVD - HDPCVD). Qué trinh Ling dong hos hoc lén dé thug c6 nhimg yéu céu khéc nhau = mot s6 phuong phdp chi don thud Ling dong tao mot lp mang méng len dé €6 40 bim dinh (6t (nhur Ling dong L6p Oxit, tao mang kim loai len dé...), mot s6 phuong phép khic lai c6 yeu cau khée nhu céin nudi mot mang ban din len dé ban dn 6 cau tric tinh thé theo mot huéng nhét dinh, c6 cdc thanh phan hod hoe xdc dink, Céc phuomg phap sau thuge nhém cée phuong phép go mang bang epitaxi. Hign nay, c6 rat nhigu loai thigt bi CVD fam 6 niet d9 khde nhau, 4p sudt khdc nhau, d6i tuong vat liéu ché tao ra lai rét da dang khdc nhau. Phin du6i day chting 16i trinh bay nhing diém chung cita cae phuong phip, sau 46 néu ra mot s6 ac diém riéng khi ché tao mot s6 vat ligu dac thi, Daic diém thiét bi CVD : Cau tao cia hé 18 CVD, thong thudmg 6 mot buéng 18 ia mot dng thach anh chju dugc nhiét d6 cao. Tuy timg nbiat do yeu céu dot cao hay thap ma ngudi ta dot bing nang lugng nhiet (dung day dign tr Kantal, thanh graphit...) hay bang nang luong cao tin, Buéng 1d c6 he théng dua cdc khi & pha hoi dé tgo phan ting vao trong buéng 18 vai he thong do Iu tung khi c6 thé digu chink duge mot céch chinh xéc va c6 he thong dua hiit khf thai ra ngodi mot céch an toin. CAc hé CVD céin tao 4p suat thaip hoc tao chan khong cao & trong budng 1d thi con cé hé thdng bom sq cp, bom khuéch (én véi nhiéu bo phan hé tro khdc nhu bay nite, céc he théng chong khé do... Cac hinh tir 3.5 dén 3.8 A céc luge 46 vé mot s6 he CVD trong mot sé diéu kien khéc nhau. Cong agli sicno va nano ditn ni 72Ra th hot 0 Thuyén graphit TD ding kind hep Ny Hy HO SICH, Maps, @ stb Ang rnéng lugng cao tén RF Hinh 3.5. Luce 48 cla mét hé CVD ché ta0 lép epitaxi tai ap suat khéng khi (APCVD), thudng duge ding 48 ché tao mang ban d&n lén 8 ban din 3 nhigt 46 cao. Hién nay dén dan it dugc sit dung. Cam bign ap suat Y Céc phin bén dn some) L L455 Hat chan khong r= / Cita By ra ‘Sng thach anh Cho khi vio So dé hé théng LPCVD thanh ng néng rat thdng dung hién nay. Hé nay ding 48 lng dong lép SiO. Si,N, va mang Si da tinh thé ‘So 66 toan hé LPCVD. [Theo Mikael Ostling, VLSI Technology Spring, 2005) B Chuang ¥L6i vio cng sudt RF if Bion ove Plasma : Cac phién ont " i Li vo kh Bom khi ra SiH,Oz Hinh 3.7. Hé Gng Io PECVD dang thong dung hién nay. [Theo Mikael Ostling, Technology Spring, 2005) Hinh 3.8. Anh aia hai thiét bi CVD hién dai dling 46 ché tao vat igu mang. Cac hinh ti 3.5 dén 3.8, mo ta edfu tao 10 King dong hos hoc pha hoi & 4p suai thaip (LPCVD) thong dung. Céc phién ban din duoc x€p dig tren thuyén thach anh, trong 16 dé sensor do 4p suat. Ap suat chan khong trong cdc 10 nay cd 10 + 10~ torr. Ld o6 hé théng Ong van khf bang thép dé din khi vao. Toan bo cae phién bin din dugc dat trong mot ving nhiét do én dinh v6i ki thuat 3 ving nhiét 40. LO cdn duge néi véi he théng hiit chan khong go 4p suat thap trong 1d. Céc khf doc duge din ra r6i xi vao noi an toan. Néu phign vat ligu d& khong cho phép lam vige & tai mhigt dO cao tren 300 + 400°C, thi ngudi ta phai tign hanh phan tng nu Cong nolit mticnd vA nano diy ri 74plasma. Hinh 3.7 14 mot kiéu 10 Ling dong PECVD. G mot diéu kign nhat dink, su tuong téc cia dien tit va phan tir kh cia chat phan ting sé tao ra céc ion, nguyén tir, ion phan tir wr do duéi dng plasma. Khoi plasma nay duge din dén bé mat vat ligu dé va duge hap thy 6 46. Nhiét do cn cho phin tng trong trudng hgp nay thdp hon nhigt 49 trong phuong php CVD thong thutng rat nhiéu, Nhd c6 he thong ECR, phuong phép PECVD c6 thé tao ra nhiing 16p c6 chit Iuong cao tai ahiet dO thap va t6c dO Ket tia tuong d6i nhanh. Diém dac biét cla phuong phdp nay 1a vi trf cach biét gidfa noi tao ra plasma (véi s6ng vi ba c6 tn 96 2,45 GHz, néng d6 plasma cao, ap suat thip) va ld phan ting dé tg0 mang. ‘Cac qud trinh Icing dong xdy ra trong qud trinh Iding dong CVD Qué trinh ling dong hod hoc pha hoi thuding xay ra céc bude sau : = Su van chuyén cita céc thanh phin mang chat phan ‘mg vao trong, budng 1d 66 & mot nhiét dé cao nao day, 6 dé cé6 céc phién vat ligu dé da duge sip xép trén thuyén graphit hay thach anh. — Sy van chuyén ciia cdc chat tham gia phan img c6 trong déng khi hoac sin phim cia céc phan img hod hoc qua lép bién dén bé mat cdc phién ban din. = Su hap thy cita céc thanh phan phan tng trén bé mat phign bén dan. ~ Céc qué trinh hod If xay ra trén bé mat phigh ban din nhu qué trinh dich chuyén, két hgp tao thinh céc sin phdm vat chat mong muda, dinh vj trén bé mat phién... ‘Su hap giai va qué trinh van chuyén céc sin pham du thita, phu (ahu hi thai ti phan tmg hod hoc chang han) dura khf thai Khoi bé mat vat ligu dé 16i dua ra ngoai (1) Mo hin Volmer= Weber hinh thanh céc dao } (2) Mé hinh Frank - Van der Merwe hinh thanh l6p epitax’ tung (3) M6 hinh Stranski- Krastanov hinh thanh cic 6p va cic ado. Hinh 3.9. Mét s6 mo hinh inh thanh Iép mang trong phuong phap CVD. Clwong 3Hign nay, c6 nhiéu m6 hinh gidi thich qué trinh hinh thanh sp mang duge ling dong trén bé mat vat ligu dé : Mo hinh Volmer ~ Weber giai thich su hinh thanh ting dao riéng biet sau dé lan ra khép bé mat (1), m6 hinh Frank Van der Merwe giai thich su hinh thank theo timg Ip trong trudng hop ‘nudi lép epitaxi If tuéng (2) va mo hinh ca Stranski - Krastanov gidi thich su hinh thanh 16p lng dong bat ddu bai sy hinh thinh cac dio déng thai su inh thanh cd mang nifa (3) (Hinh 3.9). Tuy nhién, hai co ché cho qué trink hinh thanh mang méng ma dén nay ngudi ta c6 thé chap nhan 1 : Du tién hinh thinh 4c dio nhé tai nhing noi ma cdc hat vat liga céin nudi dé xam nhap vao duoc (do nhiéu nguyén nhan phan bé thé nang nhiét 46, dd phing hhoac sai héng c6 trén bé mat), sau dé s6' dio ngay cang nhiéu trén bé mat thi do céc qué trinh tong t4c qua lai sé tao nén cdc kénb gitta cdc dao, tren cc kenh nay 1ép vat ligu dan hinh thanh rdi phi kin bé mat. Trong qué trinh nay c6 thé c6 su ty sip xép trong céiu tric mang, tai mt sé vi tri c6 thé hinh thanh_ mt s6 sai héng do céc sai hong géc trong vat litu dé gay nén hay do qué trinh tuong téc trong qué trinh King dong gay nén. 3.3.2, MOT SO PHUONG PHAP EPITAXI TAO MANG MONG BAN DAN a) Vé cng nghé epitaxi nudi mang Siva mot s6 dac diém Nuoi mot mang méng ban dan lén dé ban dan tix pha hoi cing thudc phuong phép CVD nhu trinh bay @ trén. tuy nhién vi mot sO dac tinh quan trong cita chiing nén duge trinh bay chi tiét hon & day. Phin ban din sau khi 4 duoc mai dénh béng {t khi duoc diing tr tigp vio qué tinh ché'tg0 linh kign bin din‘mach 6 hop, vi dign trd suat cia chiing thutng khong thich hgp, mat khac dé lai rét day, néu ding truc tip sé €6 dién tr néi tiép Ion, Thong thuimg, ngudi ta cén nudi mot lop ban dan mang méng Ién tren dé vat ligu 46. Phuong phép epitaxi cdn duoc ding dé nui céc mang bin din don va hgp chat khdc nhau trong qué trinh ché tao linh kin va mach t6 hgp. Phuong phép epitaxi (chit epitaxi 18 chit ghép ciia 2 tir g6e Hi lap : “epi” 1a “len trén” va “taxi” 18 sp xép c6 thes ty, nghia Ia sp xép c6 the ty lien tue Jen trén dé) cé thé ché tao mot Iép mang ban din méng xdc dinh dé tao ra mot ldp vat ligu c6 dign tré suat thich hgp, cé chiéu day cd vai lép nguyen tir én vai micromét én trén tim dé dé Jam linh kién ban dn nano va micro didn tit. Trong vige nudi cdc mang ban din méng thi diéu quan trong nhat 1a phai kh6ng ché dugc t6c do nudi. Day 1a mot van dé khé khan vé ma cong nghé. Dén nay, nguti ta da nugi duge L6p mang méng véi m6t s6 lép nguyén Cone, nee mice vA Nand diew ny 76‘tit bing phuwong php MBE, MOCVD, ket qua nay lam tién dé cho vige ché ‘go céc linh kién nano. Duéi day, ching ta trinh bay mdt s6 cong nghé chinh dé tao mang méng ban din. Cée mang ban din Si da duge nudi bing phuong phip epitaxi & ca ving nhiet dO cao (900 + 1250°C) va ving nhiét d6 thép (T < 800°C). Mot s6 hod. ‘chat ban d4u sir dung trong nudi epitaxi 1A Silicon Tetrachloride (SiCI,), ‘Trichlorosilane — TCS (SiHCI,), Dichlorosilane - DCS (SiHCI,) hoic Silan (SiH). Ngudi ta dua céc khf néu trén cing khf hidro va khi mang khéc vio ‘buéng 1d nhu trén hinh 3.5 dén 3.8. ‘Thutng cé hai loai 1d ding trong cong nghé nudi lép Si epitaxi, loai 10 c6 budng phan (mg nim ngang va budng phan tmg thang dig. He khi trong hai loai 1d nay 1a giéng nhau. Trong budng 1d nim ngang, luéng Khf tiép xtic ‘v6i mat cdc phign Si mot géc nhé xéc dinh c6 trén thuyén graphit, thuyén nay dat trong 1d véi mot do dé thich hop 48 hig ludng khi di vo. Nhu vay, mot 86 phién Si hing ludng khf & phfa duéi buéng 19, cdn mot sO tim Si hing luéng khf é gitta va phfa tren budng 1d (hinh 3.10). y Hinh 3.10. Higu (mg nghéo dong khi d thanh ng phia duti, do vay thuyén cn 48 nghiéng déc vai mét géc xéc dinh doc theo luéng khi. Do dong hoe cita ding khi hinh thanh nhu vay, nén t6c dO nudi ming gilla cdc phign Si c6 thé khic nhau chit ft tuy theo timg vi trf cha d€ Si tren thuyén graphit. Loai buéng phan tmg thang dimg thi dong khf di vao vuéng. ” Chuang ¥g6c v6i bé mat cdc phign Si hay song song véi truc cla phién Si, ngoai ra thuyén gid phién duoc gin lén mot truc c6 thé quay véi mot van te charm xéc dinh trong qui trinh nudi, nhu vay céc phigh Si tren thuyén déu c6 co hoi ip xtic voi dong khi déu hon va do déng déu vé 09 day trén phién Si sé t6t hon. Tuy nhién, do cu triic don giin cia hé Gng phin img nim ngang cho nén hé budng phan tng nim ngang vin duoc ding thong dung hon. C6 mot 86 yéu céu co ban cén dim bio cho qué trink nuoi epitaxi cd trong bung phan tg nim ngang va buéng dig nhw sau : — Cn gitt cho thanh buéng 13 mét, vi vay thuémg ngudi ta dét lén nhiet 49 cao bang nang Iugng s6ng cao tan va nhu vay qué tinh van chuyén cic vat chat fa tir thanh Ong dén phién Si hau nhur bj loai trt. Thuyén tren dé chia im Si 1a din dien (susceptor). do vay thuyén cing duge dét én nhiet d0 cao bing nang lugng s6ng cao tén. Thuyén thutng duoc Lam tir khdi graphit sau 6 phi lén trén mot hay nhiéw lép graphit nhiet (pyrolitic graphit), cacbua silic (siliconcarbide — SiC), bo mitrua (BN) hoac thach anh dé tranh nhiém ban tir budng phan ting. ~— Khi SiCl, duoc dua vao buéng 1d bang cch thdi khi Hc nhiét do c6 dink vio bé mat khé SiC1, 43 hod long. Nhiét do nay nim trong khodng tir 0 = 30°C. day 1a khoang nhiét dQ thich hop €é diéu chinh 4p suat hoi. Trong, hé khi c6 bo phan kh chia tap chat, thong thuong ding kh* diboran (B,H,) 4€ pha tap loai p va khi photphin dé pha tap loai n vio lép epitaxi silic. Khdc voi cong nghé khuéch t4n, budng phan tng dé pha tap cn loai tri ho’n toln N, va O, dé nhim loai tri su inh thanh 16p silic nitrua hoac lép oxit trong, qué trinh nudi lép epitaxi. Khi HCI cling duge dua vao buéng phan tng dé ding trong cdc bude lam sach trude khi nui mang epitaxi. Hé can co hé thong hut va xa khi ra ngoai that dim bdo, an (oan. Ki thuat nudi epitaxi pha hoi nay chi yéu duge ding cho qué trinh epitaxi don mang, nghia la khong can cdc thiét bi phu tro nhur trong qué trinh, nudi epitaxi di chat, Phuong phap quan trong nhat dé san xuat mang epitaxi silic cing ¥& phuong phép ling dong pha hoi. Trong hé thong nay, kh silan (SiH) hay diclosilan (SiH,C1,) dugc din vao hé théng buéng 1d trong dé 6 sip xép cdc tam silic dé. Céc phién silic duoc dot néng len 161 mot nhiet 46 cao, trong khoang tit 1250°C dén (300°C va gitt cho nhigt do dn dinh, Qua tinh nudi I6p epitaxi duoe thy hign véi cde phan ting hod hoc xdy ra nhu sau : SiCl,+ 2H, <——> 2SiC1,+ 4HCI (3.13) 28iCl, ——> Si+SiCl, Glad) Cone, nglt micro va NANO diene 7BKhi dén gn bé mat dé Si, & 6 nhiet do thudng cao hon, thanh phén SiCI, trong phan dng (3.13) bi hap thy lén bé mat Si va phan tmg (3.14) sau sé xy ra. Sin phdm SiC1, sé lai tham gia vao ding khf trong Ong Id, Nhu vay. phan tmg chung cla qué trinh c6 thé viet nhu sau : SiCl, + 2H, <——> Si+4 HCI G.15) Qué tinh nay 1a qua trinh thugn nghich. Cac nguyen tit silic trong phan, ting (3.14 va 3.15) roi vé phia bé mat dé Si. Do céc qua trinh tuong téc phite tap xdy ra gidta tm hat nhan Si trén dé véi cdc nguyén ti Si sinh ra trong phan ung, nén c&c nguyén tir Si cé thé it nhiéu di chuyén tren bé mat dé Si cho dén_ khi chiing tim thy vit thich hgp dé ling dong Iai va qua trinh nuoi sé dan dan xy ra. Tor céc tam d3 hinh than hic ban diu nay sé lan ra cdc phia ben canh theo chiéu ngang cho dén khi hinh thn, cd mot lp nguyen ti trén bé mat (inh 3.10). Khi da c6 mot l6p nguyén tir hinh thinh, céc tam hat nhan méi Jai duoc hinh thanh 6 trén Iép nay va cdc qué trinh moc tai bat déu tir cdc tm hat nhan méi nby tao lén 16p thir hai. Qué tinh tiép din ct lap di 1ap lai nbiéu lin dé tao thinh timg tp nguyen tit, cho dén khi tao thanh mot lop epitaxi c6 chiéu day nhu mong mudn, Nhu vty, trong truémg hop Ii tuéng, céc lép nguyén tir duge moc theo cau tnic tinh thé va thee hudng ciia phién dé Si. Trong buéng 18. néu chéing ta cé mét loai phan ti 6 dang thé Khi vai 4p suat riéng phdn Ta p thi te €6 cdc phan tit ing dong F len trén bé mat vat Jigu d& duoc cho bai phuong trinh sau : Pp eS 3,5.10"P(torr) 2xMk,t M(g)T(K) moV/cmn’.s (3.16) trong 46 M 1a khoi lwong phan tit, T Ia nhigt do cia buéng 16, ky 1a hang so Boltzman. D6i véi phdn lén, céc tinh thé c6 mat do nguyen tir bE mat co 7.10! cm™, Néu céc nguyen tir hay phan tir ctia mot chat nao day, vi du Si ching han, roi tir pha hoi xudng va ling dong len dé trong mot thi w xée dinh thi qué trinh nudi tinh thé epitaxi duce thuc hign. Ngudfi ta c6 thé uée tinh te do nudi Lép epitaxi nhu saw : Gid thiét c6 dai Iuong Ny 1A néng 6 ciia cic phan tit tong téc trong pha khi va khi dén bé mat néng do cita dai lugng nay 1a No, goi h ¥& hé s6 truyén khoi [ong trong pha khi. ky Ta hang 86 t6c dd phin ing bé mat. Goi thong luong dén bé mat Si la J, (day 1a s6 nguyen tir hoc phan tir— tong téc trén dom vi ditn tich trong don vi thoi gian) thi I, sé 1a J. WON, = N))= KN, G47) ” Chuang 3Gia thiét dinh Juat Henry (vé phdn tram Iwong mol cita thanh phan ‘khong tan trong Khf tai mot nhiet 49 ndo day 1a ti le véi Ap suai rieng phn sinh ra bdi thinh phan tham gia trong phan tng tai nhigt d9 46) c6 thé ing dung trong truéng hop nay, ngoai ra coi phan dng ca cc hat tai bé mat Si [a tuy€n tinh. Goi Ng 14 néng do Si trong mét don vi thé tich (Ng = 5.10 guyen tifem*). Tai ving nhiét dO thap, he s6 ky gitt vai trd quan trong, va khi d6 t6c 49 nudi cita lop epitaxi & ving nhiet do thap s8 cho mét céch gain ding nhw sau : aX _ Jy _ ky dt Ns Ny (3.18) Tai ving nhiet 49 cao, (6c 49 nudi epitaxi duoc xdc dinh bai he s6 van chuyén kh6i luong trong pha khi, hé s6 nay khong phu thuge vao nhi¢t 46, lic nay t6c do nudi dugc tinh gan diing theo phuong trinh saw : aX dt (3.19) 1 Pha khi Fy Hinh 3.11. Mé hinh va t6c 46 nudi epitaxi dla ra bdi Grove, cae thong lugng va néng d6 khi trong qua trinh vn chuyén kh dén bé mat phién i 48 nu6i I6p epitexi MOt s6 tac gid dua ra biéu thiic vé tc 40 nudi theo cic céch khdc nhau, ‘Theo Grove vige nudi ming duge gidi han béi qué trinh truyén vat chat va phan ting tai bé mat phién ban din. Thong lugng chuyén tai vae chat trong pha khi duge viét nu sau : F 1s(C,—C,) (3.20) Cong nee micnd vi nano dien rb 8O-Qué trinh phan ting tren bé mat duge viet béi phuong trinh sat KC, G20 6.d6, h, 1a hé s6 van chuyén pha hoi, k, 18 hang s6 phan ting bé mat, cic ai huemg khéc o6 thé xem trén hinh 3.11. Khi trang thai cin bing thi F,= Fy We d} mudi cé thé tinh nhur sau : ar G22) 6 dé, C, 14 86 nguyen tir Si/em3, C, Gla téng 56 phan tir khifem?. Toc do nudi Yop epitaxi duge xdc dinh chung cho tering hop téng quat (3.23a) va cho timg truang hop dic bigt do phin img bé mat (3.23b) va do van chuyén vat chat (3.23c) nhu sau : vei (3.238) kK (3.23b) ¢ veh) . KG yy (3.23c) 1270°0 T6ed6 mudi it phat iéu kién nudi cbng nghigp ac nang Nubi The mn T6e 46 mudi mang (umiphit) at 02 03 ‘Thanh phén nudiy Hinh 3.12. Téc a6 nudi epitaxi Si phy thudc vao y la ti (é gitta néng SiCI, va H,. Nhu vay tai mot gié ty xd¢ dinh thi hign tugng an men dé Si sé xay ra. [Theo VLSI technology 1, Spring, 2005) a1 Chuang F6 day, c6 mot qué trinh rat quan trong thudng xay ra va rat cin lu ¥, 6 1 su an man dé Si bai khf HCL. Cé thé nhan thy qué trinh nubi lép Si epitaxi thurng chi c6 thé xay ra khi chon duge qué trinh cong nghé thich hap, néy khéng, mot qua trinh 4n man dé Si cing c6 thé xay ra do sy xuat hién cia HCI 1a san phim cia céc phan img hod hoc nhu néu ra 6 trén. Nhu vay, vige Iya chon chinh xéc tiIé phn mol “y”” cia SiCl, trong khf H, quyét dinh qua trinh nudi 16p epitaxi hay 4n mon Si sé ndi troi. Kinh nghiém thuc 1 cho thay ti 1é phan mot cda SiCl, trong khi H, c6 tir 0,05 dén 0,25 vii téc do nudi c& khong trén dui 1 am/phuit 6 nhiét do 1270°C thudng dat lép Si don tinh thé c6 chat Iuong tt, Dé tranh qué trinh an mon, ngoai vide chon ding ti le phan mol, thudng ngudi ta cdn C6 mot s6 thi that cong nghé dé trénh qué ‘tinh an mon, vi du edn phai da ahanh khf HCI ra khdi buéng 1d, hoc dura cde qu trinh Lam sach bé mat vio buéng 1d theo mot chit ty cong nghé nhat dinh. Pha nguyén ti¢tap chat vao lép epitaxi : Trong qué trinh nuoi epitaxi cén phai pha mot Iwong tap chat xéc dinh vao lép cin nubi, vf du Logi p (B, In, Al...) hay vao céc tap loai n (P, As, Sb...). Thong thuing, ngudi ta ding khi B,H, chia tap chat bo dé pha tap loai p va ding khi photphin (PH,) chifa tap photpho hodc khi AsH, chita tap As dé pha tap loai n. Két qua 1a mot lép don tinh thé silic c6 chiu day thich hgp, c6 loai din, ¢6 hung tinh thé duoc hinh thanh véi vige lua chon ché do cong nghé thich bgp. b) Su phan bé Jai tap chat trong qua trinh nudi epitaxi ‘Trong qué trinh nudi epitaxi len mot dé nhat dinh, lay dé Si login lam lu, thong thudmg trong dé Si 43 duge pha tap déng déu véi fnot néng do photpho (P) nao d6. Trong mot s6 trudng hop, true khi mudi mang, ngui ta a 1am mot lop n* véi tap chat As vao dé dé tao lop an (buried layer) nhim lam gidm dign tr néi tip trong céc linh kién ciia mach t6 hop. Mat khéc, trong qué trinh nudi Iép epitaxi ciing c6 thé pha nguyén tir tap chat c6 cing Joai din véi dé (6 day 1a loai n) hay khdc loai din te loai p. Mot qué tinh phan b6 tai tap chat wen bién phan cach gida dé va \ép epitaxi luon xdy ra tuy theo tuomg quan loai dan vi do lén néag do tap chat cao hay thap di duce pha vio phigh dé va pha vao I6p epitaxi. Thong thutng, néu dé va I6p epitaxi 1a cing loai din thi & ving n&o cé néng d6 tap chat cao hon sé xdy sa mot qué trinh khuéch tén sang mién néng do thap hon, cdn trong ining hop dé va l6p epitaxi khéc loai din thi cé su bi crit néng dé tap chat tao nén mot tiep gidp pn, Nhu vay, trong cé hai truimg hop dé va lép epitaxi c6 cing loai hay Khdc loai din déu c6 sy phan b6 Iai tap chat, nghia 18 tai bién phan céch sit phan b6 tap chat hdu nhu khong tén tai & dang chuyén tip dot bien nia. Cong neg micro wa wand diew ui 82‘Vi qué trinh nudi epitaxi c6 18 do nhanh, trén 0,2 um/phuit, thi su phan bd Yai tap chat N(x, 1) qua bé mat tigp gidp duge viet gén ding theo ham erfe nbu sau Now Sore xe 3 aa) a trong dé: N,, {8 nGng 49 tap chat trong dé, D 1a he s6 khuéch tn cba tap chat va 1A thdi gian nu6i 16p epitaxi, Téng Iuong tap chat khuéch tén qua bé mat iép gidp trong qua trinh nudi c6 thé tinh tich phan ots duimg cong phan bé khi biet mot s6 thong s6 nhu Dt, N,,, x ©) Kiém tra chat tugng cua lép epitaxi Dim bio chat lung tot cia lép epitaxi ¥ yeu céu s6 mot, néu khong, khong thé ché tao inh kin hoac cdc vi mach trén l6p nay. Lép epitaxi t6t Sop c6 chiéu day déng déu, tap chat phn bé déu, hdu nhu khong c6 sai hong 4G bat caf dang nao, khong c6 céc dio ket tha hay oxit & bat cit dang nao. Trong thuc 16, khd c6 thé dim bio céc yéu cia tren. Dé dim bao chat luong cin tién hanh mot s6 thi thuat nhu gidm thiéu tat cd cdc nguén gc c6 thé gay sai hdng trén bé mat dé Si trade khi nudi cpitaxi. Ngudi ta c6 thé dura H, kh6 Van budng ld 6 & nhiet do cao kho’ng 1200°C dé hoat hod bé mat phién Si, Logi é céc trang thai oxit c6 tren bé mat, sau dé cé thé dita vao Id c& 1 + 5% mol néng do khi SiCl, nham tao ra véi ti Ie thich hgp dé phan img nudi epitaxi (phuong trinh tir 3.13 dén 3.15) xay ra, tuy nhién cn tranh qué tin an mon a Si xiy ra bi HCI. é dim bio chat lung eén chon diing nhiet 46 ca binh chifa khi hod long SiCl,, thuimg & 0°C, chon néng do SiC1, da vao 1d thich hop, chon nhiét dé dé ban din thumg tir 1250°C dén 1300°C, va néng do khi pha tap thich hop. Sau khi nu6i lép epitaxi, cin danh gid chit luong céc thong s6 sau cca 16p epitaxi : — Do do map mo ten ton 16p bang kinh ign vi quang hoc, kinh hién vi tuong phan Normaski, kinh hién vi nguyen tit luc (AFM), SEM... ~ Bo chiéu day cla mang va néng d6 pha tap bang phuong phap phd khdi long ion thi’ c&p (SIMS) va phuong phdp phd héng ngoai bién 461 Fouurier (FTIR), ~ Do cae thong s6 caiv tric cita mang bing nhiéu xa tia X phan gid cao. = Do danh gi cdc dang sai hdng khéc nhau dic biét 14 sai hong Stacking Faults. as Chuang ¥Do mot s6 thong s6 nhu dién sé vung, phan b6 tap chat trén bien phan cach gida dé va l6p epitaxi do qué trinh phan bé lai gay ra, do thai gian sng hoae d0 linh dong cia hat tai Lép mang epitaxi sitic 1A mot mang vat liu co bin c6 rat nhiéu img dung quan trong, chiing duge ding dé ché tao héu hét trong céc linh kin ban dan, céic mach IC, CMOS tir mat do thap dén m4t a9 cao siéu co 16n. 3.3.3. PHUONG PHAP CVD Dé CHE TAO MANG Si DA TINH THE VA SiGe a) Hé thiét bj CVD dung dé ché tao Si da tinh thé vé co bin ciing gidng bur cdc he thiét bi da mé ta tren cde hinh tir 3.5 dén 3.8. Tuy nhién, c6 mot 86 diém khéc vé vat ligu mang cn nuoi, vf dy nhut chang od dp suat riéng phan khée nhau, kéo theo viéc thay d6i vé gradien nhigt d9 va dp suit trong, budng {0 cang khae, Phin ting trong buéng 1d dé tao mang nh sau SiH, ——> Si+2H, (3.25) Viéc nuoi mang polysilic thudmg duge tién hanh trong ving 600+ 700°C tai 4p suat khi quyén thanh Ong lanh voi 5% silan trong H, tc d nudi c6 thé dat c& 0,5 wm/phiit. Mang potysilic ciing c6 thé nudi bing phuong phép LPCVD v6i ap suat tir 0,1 + 1 torr, 610 thanh néng (hot wall) véi thanh phan tir 20 +100% thanh phén silan, t6c 4 nudi sé dat co khodng [00 nm/phit Hinh 3.43, M&t s6 hinh dnb SEM, TEM ca mang polysilic Si nudi & hnhigt 46 625°C, khdng c6 pha tap (cét bén tral) va sau khi & nhigt tai 100°C, 06 sy thay 4éi vé kich thuéc hat (cét bén phai). [Theo VLSI technology Il, Spring, 2005} ‘Trong qué tinh king dong, nhiét dO ma cing thp thi hat cang nhé. ‘Trong khi nhiét do 630°C tao ra hat 16n khosing 10 + 50 nm thi iép silic lang dong dudi nhiet do 590°C ga miu vo dinh hinh. Say tai 100°C, héu nhur Cong Nghe MicRO VA NANO diew Ti 84kh6ng lam thay déi hinh dang cia silic da tinh thé cé6 cau tgo hat nhd, vo dinh hinh cing nhu c6 mat do tap chat thap (hinh 3.13). Neuge lai, silic c6 ediu tao hat Ién va mat do tap chat cao (>10?° cm™3) dé dang chuyén thanh silic don tinh thé tai nhiet do 800°C. Hat silic 16n len va lan kin todn chiéu day lép silic da tinh thé, Kich thude hat mang polysilic rat phy thudc vio qua trinh cong nghé tiép theo sau 46, vi du sau khi nuoi ma tiga hanh khuéch tén photpho tai 900°C véi this gian 20 phtit sé cho hat 6 kich thude 1 um, hoa Oxi hod & 1050°C sé cho hat 6 kich thudte I = 3 um, ign e468 Kenn p Kénh n Kenhn | Kénhp 1 1 K ia, 1 1 1 Mién toh out, nt nguéaimang * nguénimang ‘ Be Dienclc cing” ) Misnp —=L— Miénn a) v £60 POW Lap polyp ‘Lop poly nt ») Mang poly-Si a Hinh 3.14. Vi du vé ing dung cila Si da tinh thé trong vi mach CMOS {46 lam vat ligu céng e6 phi Kp éxit a) va trong edu tric tranzito lveng cuc ding mién E va mién B la vat ligu polysilic b). [Theo VLSI technology I!, Spring, 2005) ‘Qué trinh pha tap c6 thé thuc hign trong qué trinh nudi (in situ-doping) ngwbi ta diing khé B,H, chia tap chat bo dé pha loai p va ding kh PH, chia tap chat photpho hoac AsH, chifa tap chat As dé pha tap loai n, pha tap trong qua trinh nudi co thé Lim tang hay gidm t6c do nudi mang tuy theo loai tap pha 1a loai p hay loai n. Qué trinh pha tap c6 thé thuc hién sau khi nudi mang bang khuéch tan hay cay ion. Ung dung cla mang Si da tinh thé ciing rat da dang trong micro va nan6 din tit (hinh 3.44), ar Chuang, 3b) Cong nghé ché tao mang SiGe tng dung trong micro va nané dign tir efing git vai tr rat quan trong, nat 18 trong Tinh vuc ché' tao cae cham luong tir SiGe va linh kién ludng cue di chat (Hetero Bipolar Transistor — HBT). Ngudi ta thudmg ding he 1 UHVCVD (Ultra High Vacum Chemical ‘Vapor Deposition) do Hang IBM phat trién dé nudi epitaxi khong lua vat ligu SiGe 6 trong dai nhiét 46 thaip 500 + 600°C. Bazo 42 i stl 2 1000" 2000 3000 chigu sau Hinh 3.15. Mot s6 cng dung cia mang SiGe trong tranzito va trong MOSFET. [Theo VLSI technology 1, Spring, 2005} ‘Tuy nhien, viée ché tao mang SiGe cén ddi hdi cée yéu cau khong ging v6i céc he CVD khac. Hé CVD ché tao vat ligu SiGe cfin dim bio chan khong rat cao, Trén hinh 3.15 a, b) Ia hinh anh cia vige img dung vat ligu mang SiGe lam mién cuc géc B trong HBT va lam vat li¢u kénh bién dang (strain) trong linh kién MOSFET, Phan bé néng do cé thé nhin thay trén hin ben phai. Cone, ight wierd va nano dign wi 863.3.4, PHUONG PHAP EPITAX! PHA LONG (LPE) Ngoai phurong php epitaxi néu tren cin c6 mot s6 phuong phép hign dai khée thudng duge sir dung 48 to mang bin dn don tinh thé. Mot trong céc phuong phép nay la phuong phdp epitaxi pha long. Epitaxi pha ling (Liquid Phase Epitaxy — LPE) la mot ki thuat nuoi epitaxi duge sit dung tir nhimg nam 1970, N6 da c6 céc wu diém thay thé mot sO Ki thuat khdc trong thé gian d6. Cho dén nay, ki thuat LPE van cdn dugc sit dung 4€ nudi tinh thé, vi du nudi vat liu HgCdTe cho ché tao detecto thu buée s6ng dai va AIGaAs 446i v6i laze dj thé kép. LPE 1a mot ki thuat gén can bang, 6 d6 vat ligu dé duoc dat trong mot thuyén bang thach anh hay graphit va phi bang mot dung dich long tinh thé sé duge nudi nhu trén hinh 3.16. GaAs Néng chy AlGaas Nong chay 6 GaAs Hinh 3.16. Sg 66 cia phutong phdp LPE nudi AlGaAs va GaAs. Thanh trugt di chuyn 48 trong 13,8 ting vi trfnhdt dinh 6 cdc dung dich tng kkhdc nhau va o6 thé thy hién dugc tao tiép xtc voi cic dung dich ling 120 ra tip giap di chat. Dé GaAs dé trén mot thanh trugt, r6i duge day vao trong khudn 16. Trén Khuon ©6 céc 6 chifa vat liu AlGaAs néng chay va GaAs néng chay. Toan 9 thanh iruot va khuon nhur tren hinh 3.16 dé vao trong 1d thach anh véi moi trudng khi phi hgp véi h¢ vat ligu cén nuoi & tai nhigt do hay gradien nhigt do cn thiét. Trong dung dich ling ¢6 chita nguyén tir tap chat cn pha vio vat ligu theo ké hoach dinh trudc. LPE thuting duge sit dung dé nudi hop kim 6 tai nhigt do ma gidn d6 pha long ~ rin 6 trang thai can bang. Véi su diéu khién chinh xéc thanh phan chat léng va nhi¢t 9, 06 thé diéu khién duge thanh phén hgp kim. Vi ki thuat LPE 1a mot ki thuat lam viée & gén trang thai a7 Chuang 5can bing, do vay c6 thé nuoi mot he vat ligu hén hgp, tham chi a nudi mot mang vat ligu chita mot s6 nguyén t6 hay dé pha tap vao qué trinh nuéi tinh thé (hinh 3.17), Vi LPE 1a mot Ki thuat nudi vat ligu ré tién nén né duge ding rat rong rai trong nhigu tng dung o6 tinh thuong mai. 3.3.5. EPITAXI CHUM TIA PHAN TU Phuong phép nudi mang epitaxi bing chim tia phan ti, MBE (Molecular Beam Epitaxy) 1a mot trong nhimg phuong phép hien dai, quan trong nhit tao ra tiép gidp di thé dé ché tao ra cdc linh kien micro va nano dign tt. Hinh 3.17 1a luge 6 cita thiét bi MBE. Cong nghé MBE yéu cu 6 budng chan khong rat cao, c& 10-!! torr. Dé vat ligu duge dot néng len dén mot nhiet dQ cén thiét. Trong busing thiét bi c6 mot s6 bung dém chita céc vat ligu khéc nhau dé phuc vu cho qué tinh nudi mang. MBE cé t6c do nudi rat nhd, cd mot lép nguyen tir tren giay, va voi sy thay déi tim che chan ben trong thiét bj ngudi ta c6 thé thay d6i cdc lép vat ligu khée nhau cén nudi len dé, nghia 1a c6 thé nudi mang vat li¢u cu tric c6 nhiéu 16p thay déi nhau, 6 néng dd pha tap va do day theo ¥ mud. ‘khoang chita No ‘Sing Rheed lng 48 lam lan C8 mang phin Cita quan sat ban din saphia Gaugo ion hoa Van vo ef as Thay mu khos ce ona KN a quan sat ‘Man phat ne Bn mote ob Cac cia dong mo 42S 16-40 thay di Beacbudng a an va nguén 66 nena: 68 quang dign Hinh 3.17. So d6 cia budng nudi epitaxi bing chim tia dign tit (MBE) Nhu vay, MBE cé thé cho phép ngudi ta digu khién rit chinh xée cde ich thuéic vat ligu doc theo chiéu nudi. Vi khong c6 phan ting hod hoc xy ra trong ki thudt MBE, nén qué trinh nudi Ia rt don gidn so voi céc ki thuat Cong nce micro va nano dtu ry 88‘nudi epitaxi, song diéu quan trong nhét & day 18 qué trinh nudi c6 thé digu Khign duoc hoan toan theo ¥ mudn, Tuy nhien, tao mang vat ligu bing MBE, cén chan khong rat cao nén viéc han ché khong dé cho khf do vao buéng chan khong cao la van dé khé khan nhat. Thanh budng chan khong thutmg duoc Jam lanh bing N, dé dim bao cho chan khdng cao va trénh cho cde nguyén tiifphan tir c6 thé lot vao tir thanh buéng. Ngudi ta c6 thé quan sét qué tinh, nudi tinh thé qua hé théng do kiém tra phan tich tiie thai. Vi du, sir dung ki thugt nhigu xa dign tir nang lung cao phin xa (RHEED) va mot so ki thuat hac 06 thé quan sat cA chat lugng nudi tinh thé (vf du cau tric mang chang han...), chiéu day vi qua trinh nudi cdc 1ép khic. 3.3.6, TAO VAT LIEU MANG BANG MOT SO PHUONG PHAP VAT LI Phuong phap béc bay trong chan khong \4 mot phuong phdp tung d6i £6 dién duge phat trién tir nhimg nam 1950, va sir dung dé ché tao céc 16p mang din dign kim loai hay mang silicit. B6c bay nbiét trong chan khong (Vacuum Themal Evaporation ~ VTE) va béc bay chim tia dién tir 8 hai phuong php thong thug nhdt. Ngoai ra, cdn cé phuong php epitaxi chim tia phan tir MBE nhu d3 tinh bay & trén va phuong phép béc bay cao tin (RF). Phuong phap béc bay RF ciing hay gap trong ché tao céc chi tigt vi quang. Dé ling dong mot isp céch dien hay 1ép bao phi bio vé cén nguén dot xoay chiéu cao tin (khoing 13,56 MHz) thay cho nguén mot chiéu. gun mot chiéu hay xoay chiéu déu chi cho phép mot t6e 9 lang dong gidi han. Néu trong thiét bi c6 them tirruing din cing véi dign trutmg sin c6, dien tir & trong moi trudng plasma phii di theo céc quy dao xoan. Dudng di cla dign tir dai hon va vi the x4c suat va cham giita dien tit va phan tir kl tang len ré rét, viée nay lam cho s6'lugng ion cing tang dang ké. Voi phuong phap nay t6c d6 tao mang 6 thé dat duoc khoing 1 ym/phiit. Phuong phdp sputtering 1a mot trong nhing phuong phép ling dong, quan trong theo nguyen If vat If. Cau inéc buéng phun gém hai dien cue nim d6i dien nhau, BE mat catot duoc che phii bang vat ligu céin tao mang, Cuc not 1a vat Tigu cén doe phi mang lén. Buéng phun chia khi tro, thudng 1a agén véi dp suat rat thaip. Dudi tic dong cia dign trudmg, mot phan agon bi ion hoa. Nhimng ion nay duge tang téc va ban vao bé mat catol. Cae nguyén tir bay ra khoi bé mat catot dén anot véi nang higng khodng 10 eV. Nang luomg nay giim dan xuding 1 + 2 eV tren dug dén andt do va cham véi plasma agén. Két qua 1a trén bé mat anot mot, mang vat ligu nh mong muén duge tao ra. Phuong php nay thudmg chi dugc ding ché' tao céc 6p mang din ign, Céc l6p mang tg0 ra bang phuong phép King dong vat If (PVD) so véi ay ‘Chuang 5phuong phap lang dong pha hoi hod hoc (CVD) sé c6 do phi nai gée — canh kkém hon, dac bidt tai cc rnh sau tao ra bai quang khac, vic bao phii khong kin sé lam ho phdn vat ligu dé gay nén nhiéu phién toi cho céc khau cong nghe tiép thea. Phuong php nay con goi Ia phil di hudng vi khong phi duoc by tudmg rinh sau. Dé tang chat Iuong phi ria canh ngudi ta cfn 4p dung mot s6 ki thuat dae bigt nhurthay déi khodng cach gitta hai cue, gidm 4p suat thép hon hay sis dung mot cau hinh t6 ong (collimator) nam gitta hai dién cuc. 3.3.7. PHUONG PHAP EPITAXt DI CHAT CANG MANG Tnise day, ngudi ta hay 4p dung qué trinh nuoi mang epitaxi bin dan c6 vat Tigu ching loai bin dan véi phien dé. Nhu vay, hing s6 mang cia mang nguyen tit gitta dé va mang epitaxi khong khac nhau, Trong thyc té, c6 mot 36 truimg hap cn nudi mot lép epitaxi c6 vat ligu khée voi vat ligu bin din 8 dé ta0 1a tip gidp di chat, Nhu vay, hing s6 mang cia l6p epitaxi va cha dé thudng la khéc nhau, diéu nay tao ra sur cling, bién dang mang, Phuong phap nudi epitaxi kiéu nay goi 1a epitaxi dj chat bién dang (strained heteroepitaxy). Bay 1 mot phuong phdp rit quan trong cén dugc xem xét. Dong luc thiic day d6i véi epitaxi di chat bao gém hai muc dich : a) Dé tao ra su bién dang cang & bén trong. Khi lép epitaxi nudi day rét méng cé hang so mang khdc v6i dé thi thutmg xay ra sy bién dang, sir cing trong 16p méng ciia mang epitaxi. Sy bién dang mang nay c6 thé c6 cdc hiéu tmg mdi quan trong vé tinh chat quang dién cita vat ligu dé phat trién céc linh kign méi. Cé mot sé cach thyc hign viée may nhu sau : 6 chiéu — Lap nguyén tir nui len dé c6 hing s6 mang a, 16n han hay nhd hon hing s6 mang ag l6p dé (hinh 3.18). Khi cé 6 lop nguyen tir trén tring véi 7 lép nguyen tir & lop dudi hay ngugc lai 7 lop nguyen tr tren tring vi 6 lép nguyén tic dudi. Céc sai hdng dudmg s8 hinh thinh tai cae noi hai lép nguyen tir khong tring nhau (hinh 3.18b). = Khi hai l6p c6 sy khac nhau chit it, 8 c6 sy Cang mang, song vé co ban khong phat sinh ra sai hang dudng (Hinh 3.18c).. b) DE tham dé cdc kha nang mdi vé tinh kha thi khi sit dung cdc dé bin dn khéc nhau. Nhu chting ta biét, cdc ban din dugc sit dung rat nhigu 1a Si, GaAs va InP... phn 1én céc bn din khong cé hing s6 mang phi hop vii cdc bin din nay, Van dé dat ra 1a 6 thé nuoi duoc céc Iép epitaxi tren cc dé ban din khdc nhau khong ? Néu gidi quyét dugc van dé nay sé mé ra céc Cong nah micro va nano diew ty 90kha nang méi vé cng nghe ban din trén c4e dé khde nhau, hic 46 s€ gidi quyét duge rit nhigu khé khan vudng mac nhu hién nay va dura cong nghé ban dan phat trién len giai doan méi, Hinh 3.18 biéu thi so dé vé céc truémg hop 6 thé xay ra trong thu té. Viée nui cde mang ¢6 sir eang mang nay dén nay vn 1 mot thir thach 16n ma céc nha cOng nghé céin nghien citu gidi quyét. a) Lop 66 Lop a6 6 16p ° So p Hinh 3.18. Cac khé nding tring lp khi nudi mot ep mang mang len lép 48 voi cc hang s6 mang cia lép cén nudi va vat lidu dé 1a khac nhau. n Chuang ¥3.3.8. PHUONG PHAP CVD DE CHE TAO MANG DIEN MOI SiO, VA SiN, a) Tao mang méng oxit SiO, bang CVD Phuong phép thutmg ding dé tao mang méng oxit ding dé bzo phi, ngan cich, cach dién gitia cc linh kién tich cue trong ché tao linh kién ban din va vi mach Ja phutong phép CVD, vi phuong phép nay cé thé tiga hanh & nhigt do thap hon, khong [am anh huémg nhiéu dén chat Iuong mach t6 hop dang ché tao, khong nhing thé’ cin c6 thé ché' tao mang oxit c6 cde yeu ciu khac nhau. Khéc véi phucng phép oxit nhiet, 16p Oxit Ling dong duoc tao ra tir lang dong pha hoi trong buéng 1d réi duge tg0 ra trén lop dé hoae vao cée vi tri cn bao phi. Thiet bi CVD tao ming oxit ciing giéng nhu thiet bi duge mo td tren cdc hinh tir 3.5 dén 3.8 & phan tren. Ngui ta 06 thé ding phuong phép APCVD, LPCVD va PECVD trong khi plasma TEOS dé ché tao lép SiO, tuy theo nhigt 49 nudi cho phép. Ngoai phutong phdp CVD, l6p oxit con C6 thé duge ché tao bang mot sé phuong phép khdc nhu phil Ii tam (spi glass). Cac phan mg trong buéng 1d duoc thuc hién nhu sau : a SiH, +O, "4" 5 10, + 2H, (LPCVD) (3.26a) Si(OC,H,), “4 Si0,+Gas (LPCVD) (3.26b) Si(OC,H,), +O, —“>Si0, + Gas (3.26) SiH,Cl, +2N,0 —“*4Si0, + Gas (3.26d) SiH, +4N,0-—*"5Si0, + Gas (PECVD) (3.262) Mot s6 mang oxit tao bing CVD & nhigt do thap c6 do xp nhat dinh. bigu nay c6 thé gay nén su thdm thau do dm hay tap chat... Do vay. thutmg, ngudi ta phai nhigt & nhiét do cao hon sau khi tao mang dé cai thign tinh chit ciia chiing gén nhw lop oxit nhiét, mat khdc ldp Oxit x6p cn cé6 thé gay ra cdc ting suat co dan, vi thé can rat Iuu tam dén vain dé nay. Cac 16p Oxit Ting dong duoc diing cho céc cong doan bao phi bé mat song dae biet cin chi y 6 truémg hop bao phi céc cay hinh cira sé c6 thinh cao, khi nay viéc bao phi déng déu céc canh 18 rat quan trong, nha 1a cée phia canh sic hay canh cé géc vudng. Trong céc mach t6 hgp c6 hang trigu linh kign tich cue, Cong nee micro va wand dive 92viée ngan céch gitta chiing rat quan trong. Nhu vay, 66 cdc I6p cach dign ngdm, d6 1a cdc lép ngan céc tranzito luGng cye hay MOSFET béi nhing viinh cach li. Ranh nay dugc an mén trong silic don tinh thé va duge phii boi ‘mot vat ligu cach dign, Phuong phép TEOS tao dp SiO, rat thich hop véi qué tinh phi nay, ngay cd vao cdc ranh di khdc c6 cu hinh rat hep & kich thude iano. © day, cn hum ¥, viée ngan cach cdc linh kién con c6 thé ding phuong phdp phan thé higu ngugc d6i véi chuyén tiép. Thong thudmg, mang ludi day din trong mach t6 hop rat manh c6 kich thudic micro hoge nano va dan xen nhau rat phitc tap, ngudi ta c6 thé 1am linh kign theo timg lop r6i ket nd lai v6i nhau va gidta ching cling phai céch dién. Trude day va hién nay, thong thuéng ngutsi ta diing vat ligu nhom (Al) hoac cé khi ding vang (Au) béc bay Jen chip, sau dé dimng quang khic an man di céc ché khong edn thiét, céc 6p nay hay gia cc ranh day din thutmg duce phi lén lép céch dién SiO,. Vi Si tgo hop kim véi nhom tai 570°C (va Si tao nén hgp kim véi vang 6 377°C) nen nhiet d6 xir lf doi véi cdc chip da qua cdc bude tao Al (Au) cn duge gitt dudi cdc nhigt do nay. Do vay, lép céch dién SiO, gita ting nhom thi nhat va ting nhom thif hai chi c6 thé King dong bing céc phuiong phap, LTO va PECVD. b) Tao mang méng Si,N, bang phuong phap CVD Mang Si,N, 6 uu diém so véi mang SiO, & ché : né ngan chin duge cd cc tap chat c6 he s6 Khuéch tén manh, vi du nguyen tir gali dé dang khuéch én qua l6p SiO, nhumg Si,N, hodn to’n cé thé ngan chan duge. Si,N, chong duge céc ion tap chat t6t hon SiO,. Do 46, né thudng xuyen duoc ding nhur 1816p phii bé mat IC, lim gidm céc tée nhan lam ban bé mat. Dac biét khi tao I6p Si,N, khong 6 hién tuong tiém nguyen tik Oxi hodc c&e nguyen tir Si sinh ra trong céc phan tng Oxi hod nhu trong Oxi hod nhiét. Lép nay dac bigt duge sit dung nhiéu cho céc IC hoae céc linh kign lim vige & tin higu cao tin. ‘Trong mot s6 trudmg hgp, cdn dugc ding bé tre cho I6p SiO, tao bai qua trinh Oxi hod. Trong c4e ting dung, I6p Si,N, c6 do day khong 1000 A , 1a mot lop duge dat nim gitta hai lép SiO,. Ching duoc phis tren bé mat dé tang kha nang bao ve. Lép SiO, thit hai dugc phi trén lp Si,N, thudmg duge t20 ra bai phuong phap ling dong nhiét phan, Lép 46 c6 tac dung nhu Ta mat na trong qué trinh an mon cita s6 qua l6p-nitric hod. Silic nitric c6 hang so dign moi cao gp doi (e, = 7.8) hang s6 dién mdi cla SiO. Vi vay, Si,N, lam di¢n moi cho tu dign ciia cdc vi mach tich hop rai 161 % Chong 3Bang 3.1. Mét sé tinh chat ciia mang Si, ‘Lang dong i LPVCD Nhigt do (°C) 700800 ‘Thanh phn chat SiNAH) Tile SiN 0,75 % Nguyen tit H 438 He 6 phain xa 2.01 Mat do (g/em") 2,9+3,1 Hang s6 dign moi 637 Dien tre sudt (cm) 10" Do céch ditn (10% V/em) 10 3 Vang eaim nang luong (eV) 5 455 Bign dang nén (10” dyne/c 10T 2C+5T (Theo VLSI Techn p.26) ‘Thiét bi ding trong ch tgo mang SiO, nhw tren inh 3:5, hinh 3.7 o6 thé sit dung dé ché tao mang silic nitric, Hign nay, phuong php tao mang tai nhigt cao (HTO) va phuong phap tao mang trong moi trudg plasma (PECVD) 1a hai phuong phép thudng duge sir dung. Lop mang SiN, duce tgo ra bang mot qué trinh nhiet phan, 6 nhiet do khong 800 + 100°C. Né phan huy SiH, va NH,, tgo ra khi H, theo phuong trinh phan img sau : 3SiH, + 4NH, —> Si,N, +12H, 27) Phuong phap CVD 6 4p sudt thép (LPCVD) tao mang nay tai nhiet do cao, sit dung phuong trinh phan img sau : 3SiH,Cl, +4NH, ——> Si,N,+Gas (LPCVD) (3.28) Day [a mot phuong phdp thudmg duge sit dung nhat. Con trong truimg hgp tao mang trong moi trudmg plasma, sé sir dung phan img sau : 3SiH, +4NH, ——> SiN, + 12H, (PECVD) 3.29) Cong cht micro vA mand diew 194Ngoai ra, silic eding c6 thé phan img truc tip trong moi trudng NH, tai nhiét do cao, vi du dé tao dutge mot mang silic nitric day 7 nm, ta can nhiet 46 cao c& 1200°C, hic nay phan ving hod hoc duge mo ta nhur sau 3Si +4NH, ——> Si,N, + 6H, (3.30) Silic nitric duge dig rat hitu higu cho ki thuat Oxi hod cuc bo (Local Oxidation of Silicon - LOCOS) trong céc vi mach CMOS, 3.3.9. CHE TAO MANG KIM LOAI BANG PHUONG PHAP LANG DONG PHA Hol HOA HOC (MOCVD) ‘Trong vigc ché tgo céc linh kign ban din va mach 16 hgp, rat nhiéu kim loai, trong d6 c6 kim loai quy hiém duge sit dung rat rong rai nh Al, Cu, Au, Pt, Mo, W, Ni, Ta, Sn... Chiing khong chi duge ding & dang sach nguyén chat dé béc bay, ma dé lam dign cye ma cdn ding & cac dang hop kim, & dang silicit vao cic mec dich ché tao linh kién. VE tinh chat cia cae kim loai c6 thé xem trong cdc sich chuyén khdo. Phén nay chi trinh bay tom luge vé phan che tao mot so mang kim loai va silicit bing phuong phap CVD ding trong qué trinh ché tao cong nghé micro va nano dién tir. Mot sO phutong phap béic bay trong chan khong hay phun xa (sputterung) cing duce trinh bay & mot phiin trong chuong nay. a) Ché tao mang W, Al, Cu ‘Mang tungten thudng lam lop tigp xtic va day dan dién. Dé trénh phin Gg gitta tungten va silic, thutmg ding them mot mang ngan gitta ching, vi dy ding mang Ti - TiN 18 lop tip xc cing nb lép ngan giita silic va tungten. Qué trinh CVD duge thyc hign theo hai buéc : Dau tién, két tha mot Ip mang méng (~ 50 nm), sau mdi két tia 1ép tungten chinh (~ 0,5 4m), Nhiing phan «ing xy ra trong ld CVD tai ving niet do 300 + 500°C, trong buéng 1 tung !anh nhu sau : WF, +SiH, “53 w+ Gas (3.3la) WE, +H, 55 W+ Gas (3.31b) Mang W cé dac tinh pha canh t6t, né con duoc ding lam Iép din vi dién tro riéng cia CVD — tungten 1a 9 1O.cm chi thdp hon nhom (Al) ba lin. Tungten cé 1gi thé hon nhiéu so vdi nhom vi kha nang chiu dugc nhiet d6 rit cao va kha nang tai cudmg dé dng dién Ién trong mach t6 hop. Ung dung cia 7 Choong ¥ming W lim ign cuc tai céc linh kién tich cuc trong mach té hgp, tuy nhién 9 bam dinh cia W len SiO, thudng khong t6t nén céin c6 mot lép dem TN nim 6 dudi, ‘Trude day, mang Al phin én dugc béc bay nhiét, tuy nhién gdn day mang Al ciing duge ché tao bing phuong phip LPCVD tai ving nhiet do khoang 200 + 300°C sit dung dung dich Tri - Isobutyt ~ Aluminum (TIBA) ‘V6i tc dO nudi mang cd vai chuc nm/phiit, duéi ming Al thudmg cO mot mang silicit dé tang do bam dinh, xO) i Poly Si inh. mat ct ‘SEM a) b) Hinh 3.19. Ché tao mang nhOm kam vay dn dudi c6 1ép 48m silicit (TiSi,) 48 tang d6 bam dinh va lam gidm dign tr tiép xc a) va mang lust day din lam bang kim logi Cu dang duge sit dung ngay cng nhiéu b). [Theo Radiability Considerafionh for advanced microolectronics, INL. Bohr, 1995, IEDM) Mang kim loai déng (Cu) trade day chua duge ding nhiéu trong cée mach t6 hgp siéu c@ 16n, tuy nhién tir nam 1995 tré lai day, Cu ngay cing duge sit dung nhiéu va c6 kha nang thay thé Al tir nhimg nam dau thé ki XX1 tro di. Ngudi ta ché tao mang Cu bing phuong phép LPCVD tai ving nhiet 0 khoding tir 100 + 200°C. Cu c6 nhing wu diém hon so véi Al, d6 1 Cu c6 dign tré sudt nhé hon Al gén hai lin (v6i ti Ié 1,7/3,2). Khi lam ede day dn Cu sé Lim giim gid tri hang s6 thoi gian RC va rat Igi cho cde mach 6 hop hoat dong véi t6c dd cao, c6 thé Lim tang mat dQ linh kién trong mach, tuy nhién c6 nhuge diém 1a nguyén tit Cu & tai mot nhiet dO cao c6 thé khuéch tin vao mot s6 mién cia linh kien tich eye, vi vay cén lam hang rdo dé che chan su khuéch tan cia nguyen tir Cu. Neudi ta dinh gid chi 6 Cu méi thod min phiin Idn cdc diéu kign dé ding cho céc th€ h¢ linh ki¢n méi trong cée thap nién tigp theo cia thé ki XX nay (hinh 3.19). Cong nc end vA wand Gens 96b) Ché tao mat sé mang silicit — Mot so mang silicit nhir TIN, WSi,, TaSi, va TiSi, c6 thé ché tao bing a6 s6 phutong phép MOCVD, LPCVD, PECVD... Céc phan tng hod hoc xy ra trong budng 10 nhur sau: TiLN(CH, ), |, +9H 255 TIN+ Gas (3.32a) SiH, + 2WF, “5 2WSi, + 1211F + 2H, (3.32b) ASiH,Cl, +2TaCl, "> 27 aSi, +18HC1 (3.320) 2SiH, +TiCl, "59 TiSi, + 4HCl+ 2H, (3.324) Dien tro rieng ca CVD — TIN (104 pQ.cm) ion, nd han ché duoc mot 86 higu tng bat Igi gay ra. TIN khong chi lam Ip ngan ma con duge ding lam t6p chéng phiin quang trén Al khi quang khdc, Tuong ty céc silicit khic a4 néu ten, n6 cing e6 nhimg um diém rat ndi troi mhus c6 do bam dinh tot, dan dign t6t, 1am lop dém.... nén ngay cing duoc str dung nhiéu trong ché tao cde mach 16 hgp. ©) Ché tao vat lieu mang mong ban dan bang MOCVD Phuong phép ling dong pha hoi hod him es kim logi (Metal Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD) 1a mot phuong php quin ‘rong ting dong d& ché tao tiép gidp di thé, Gidng nhu phuong phip MBE, phuong phap nay cing c6 thé misi mang bin dan véi su diéu khién chinh x4c mot lop don nguyen tir v6i cde phan cach dot bitn 3 A theo chiéu nuoi. Kha nang diéu khign nay 1a rat quan trong doi véi qu trinh che tao mot s6 linh kign c6 cau ude di chat duge ding rit rong rfi trong linh vye quang dién ti. Khong ging nhvs trong Ki thuat MBE, trong phuong phip MOCVD, cdc khi duge sir dung khong phai & dang nguyén t6 don chat ma & dang hén hop phan ut phitc, fe khf nay chifa cdc nguyen tir cd raOii mang tinh thé (vi du nguyen tir Ga hay As). i | 7 Che veg 5Prin tog fee poe er go ae age 461 néng dé tng dong ‘Goks hay AAS cO thé digu thin 4 ete sng et mon 1 {imam ‘onde "onda "ong (Biéu knién ) [ethers | _ > oon a astuee9 Povey IMGa : Hop chét hou co chia Go IMAI: Hop chat hau co chua Al ASH, : Hop chat chua As Hinh 3.20. Luge 46 cla phuong phép lng dong pha hoi hod hoc hau co kim loa, Qué trinh tao mang thutng xy ra trén dé di duge dét néng dé tang ‘cutmg qué trinh phan tng. Hinh 3.20 Ia so 46 cia phuong php MOCVD. Vi du, khi nudi GaAs tir triethyl gallium va arsine s€ c6 phiin tng sau : Ga (CH,), + AsH, > GaAs +3CH, (3.33) Mot wu diém cits qué trinh nudi theo phuong phip nay 1a qua phan tmg hod hoc ngudi (a cé thé diéu khién nhiét 46 theo chiéu ngang dé thyc hign hudi tai mot vi trf dia phuong nado day tren dé. Ding laze c6 thé thye hin duye vige gia nhiét tai vi tri cue bo dé nudi mot sé vat lieu theo ¥ mudn va chinh vi e6 kha nang nay nén cé thé sit dung phuong phap nay dé ché tao mot 86 edu tnic linh kign méi, Kiéu nuoi tinh thé dia phuong nhu thé nay khé the hien & trong phuong phip MBE Coney nce sino va wand dieyn 98Hinh 3.21. Anh thigt bi King dong pha hol hoa hee hiu ed kim loal (MOCVD) hoat déng 4 chan khéng thp, cdc khi dling thuéng i TMG, TMI, TMA, AsH, va PH, [Theo www. Technological semicon ductor equipment} C6 mét s6 loai cau hinh vé buéng MOCVD : nhu MOCVD & ap suat thuting va MOCVD 6 dp sust thap, & day o6 t6c 49 nudi nhut trong MBE. Khi van hank MOCVD cén dam bao an toan nghiém ngat vi céc hod chat sit dung cling nh khf thai ra 6 day rat doc. Trong thuc té, c6 kha nang t6 hgp mot sO gi diém vé ki thuat cia hai phutong phép MBE va MOCVD lai thanh phuong phap MOMBE dé cé thé nudi mang tinh thé t6t hon. 3.3.10. CHE TAO MANG MONG VAT LIEU HUU CO DUNG TRONG MICRO VA NANO DIEN TU Phin 16n cae mang méng sit dung trong cOng nghé micto dign tit héu nhw dy trén cc lép mang vO co. Tuy vige ché tgo cae I6p hitu co ré tién hon. bang phyong php phit li tam, song n6 vin khong duoc diing phé bién. So di hu vay vi l6p hitu co ¢6 kha nang chiu nhiet kém va tinh chat dien khong én dinh. Mac dit vay, polyimit va phi: li tam spin-on-glass 1a hai phuong phép vain duge img dung thung xuyén trong cong nghé micro dién tir, Céc I6p mang hau co phiin I6n 6 vai trd tr9 gitip trong quy trinh san xudt IC. Hai tng dung co bin 1a tao phim cém quang va phii chong dm bé mat chip vi mach sau khi di hin day vang (Au), truée khi déng v6 nhya cho IC, C6 mot vai phuong php ch€ tao mang hiu co nhu sau ” Chuang‘@) Ché tao mang hau co bang phuong phap spin-on-glass : Nguyen liga co si 1a silicontetraacetat trong dung moi. Dung dich nay sau khi duge phii li tam len mat phigh ban din va sty tai 200°C sé tao nén mot lép phi 06 mot s6 dac tinh gidng nhw Iép SiO, nhung x6p hon so véi cdc 1ép Sxit nhigt hay Oxit to bai CVD, Lep mang ché tao bing spin-on-glass 6 nhuge diém sau : Tinh bam vao dé kém, do vay thutmg céin mot lép phy tro. ~ Khi két ria thi khong cn céc de tinh nhu mong mun, thudmg téch Ya khdi dung moi ~ Khi bi co ngét thi 1ép phii bi bién dang, c6 thé dan nit ~ Céch dign kém so v6i Oxit nhiet hay Oxit tao boi phuomg phdp CVD. b) Ché tao mang vat lidu polyimit : Vat lieu ia mot dung dich chia cdc thanh phan hi co. Cong nghé ché tao khdi dau bing viec phi li tam, sau d6 dé dung moi bée hoi tai nhiét db 100°C va hinh thanh I6p tién polyimit. Sau 46 gia nhi¢t dé hinh thanh polyimit tai niet do tir 300 dén 400°C. Sau qua trinh nay, thong thutmg chiéu day 16p phi bj co lai. Dé tao ra cae cfu hinh cita s6 theo mong mudn, ngudi ta ding ba phuong phap dé tao cau hinh tren polyimit An mén wot l6p tién polyimit bing dung dich kiém. — An man kho l6p polyimit (v6i lép che chan bing SiO, hay Si,N,). ~ Hoa chat cim quang vao dung moi va diing phuong phép quang khac 4é tgo cu hinh theo mong mudi axe 100C fuong 4 CONG NGHE XU Li HOA VA AN MON TRONG MICRO VA NANO DIEN TU 4.1. CAC QUA TRINH XU Li SACH TRONG CONG NGHE MICRO VA NANO DIEN TU 4.1.1. KHAI NIEM CAC NGUON TAP BAN VA XU Li SACH Qué trinh xi¢li sach trong micro va nand dign tit la qué trink cong nghé rat co ban nhdm loai tdi ed cae chat che thiva khong mong mudn c6 trén bb ‘matt phiéin hay trong cdc ctia 86, cdc edu hinh c6 trong link kign ban dén va mach vi dién riz. Xir If sach tren bé mat cau hinh linh kign hay trén toan bo phign ban dan bing mot 56 phuong phdp xit Ii an mn hos hoc, con lm sach ben trong Jdng phien phai ding phuong phép hod li, dé 1 phyong phép ‘gettering”, nghia [a cn “hit” céc ion tich dién (Na*, Cut, Fe'...) khong mong mucin c6 trong Tong phién ban din chay ra phia bé mat r6i c6 dinh, lam mat téc dong cia n6 dén céc tinh kign ¢6 trong vi mach. a) Cac nguén tap ban thong cé trén bé mat phién ban dan ‘Trong qué tinh ché tgo céc inh kign ban din va mach 16 hop ty duge Tam trong ede phdng sach (clean room) véi do sach rt cao nhumg Iuén xuat hien céc foai chat ban tir nhiéu ngudn, vi nhurtirkhOng khf chwra xir Ii het bui in, tir quan do cia ngudi fam trong phong, tir dung cu, thiet bi va dic bigt tit civ dung dich hoa hoc v6 cava hi co ding dé thyc hign cdc khdu cong nghé trude 46. Cac Ioai chét bin bui thudng gap cé trén phién ban din c6 thé 13: — Céic hat bui trong khong khf bim trén bé mat phigh bin dan tir quin 4éo, dung cu moi trudng Iam vide con sét lai. — Cie vét t6n dong hitu ca tis céc dung dich hitu co di sir dung trong cae khau cOng nghé tnréc dé, wi du cde vét con sét lai cla lip cin quang (photoresist) ding trong qué trinh quang kivic hoac tham chi c6 cA cc hat, vi sinh vat, dau ma cn sét lai wor Cheong, 4— Cée vet tén dong, tap biin tir cic dung dich hod vo co ding truéc dé, trong dé rat quan trong Ia cdc kim loai nang nhu Fe, Cu...va céc ion kim log kiém Nat, Kt... — Cic 16p oxit méng hoa cae dio Oxit khong mong muGn cdn sé6t lai trén bé mat sau khi an mOn Rode {6p Oxit SiO, tw nhien ludn xuait hien tren ‘bé mat Si cn phai tly di trade khi thao téc cé¢ qué trinh trén bé mat Si. b) Xitli sach Xit If sach cée phién bin din va tat ci cdc vat ligu, dung cu ¢6 lien quan én ch€ tao vat ligu Tinh kign bén dan trong micr6 vi nano din tir fa mot qué trinh co ban khong thé thiéu. Téng s6 cdc buéc xit If sach trong toan bO mot guy trinh cong nghé ché tao mach 18 hgp luon chigm khodng 20% dén 30% trong tng so bude cOng ngh¢ cén thyc hién. Hau nhu trudc hoac sau. bat cit mot cong doan cong nghé nao déu phai xit If sach. Qua dé, c6 thé thay tém_ quan trong cila cdc qué trinh xir If sach nhur thé nao, Hinh thie xir If cing rat Khéc nhau gitta cdc cong doan cong nghé tiy viéc théi bui bing khi sach, rung rita siéu am trong nude khit ion, théi kho phién bin din bing khf sach, dén xir lf bing cach dun trong cae dung dich hod chat dé tly rita cae chat bin bam trén bé mat va trong céc cau hinh cita sé c6 trén phién bin din. Hinh 4.1. Kigm tra vé 66 sach phién ban dan du6i énh dan. BS mat sach khong cé mét vét gon, béng nhu guong, hién c hinh mat ngudl len phién dé. Cong nqht micnd vA nano dix ny 102Céic qué tinh xit If sach cin duge dae bigt cht 9 Ham rat edn than trude khi thuc hin cée qua trinh gia cong nhigt 46 cao, vi néu c6 bin byi hay chat tén dong hitu co, hoi nuéc trén bé mat phién bin din thi chting cé thé bj chdy khi gia nhiet, tao céc vet bain to loang ra trén bé mat gay anh hudng, Khong nhé cho chat luong cac linh kien va mach té hop, Jam cho higu sudt ché tao gidm dang ké, Néu chang may co mot hat bui c6 kich thude khoang 1 um, & nhiét do cao n6 £6 thé chdy hodc loang ra, chim vao bé mat phé huy hang nghin linh kign don xung quanh hat buyi, diéu nay sé lam gidm dang ké higu swat ch€ tao ra thanh phim. ©) Kiém tra sau khi xirli sach Day 1A buée bat bude. Kiém tra dd sach bing phuong phdp don giin nhur nhin bang mat thutmg duéi 4nh sdng doi vao phign ban dén (hinh 4.1), dén vige ding phuong phap hign dai phic tap nhur quan sit duéi kinh hién vi quang hoc ph6ng dai tit vai Min dén vai tram Tn, kiém tra chup anh trén edie ‘kinh hign vi dign tir SEM, AFM ... va thuc hién céc phép do dac quang dign phan tich khéc nhau, 4.1.2, MOT SO PHUONG PHAP XU Li a) Phuong phép loai bé cac hat bui ban tn dong trén bé mat — Loai cdc hat bui trén bé mat bang cach thdi mot ludng khi N, Kho sach, véi dp suat cao vao bé mat phign ban din dang cho quay véi t6c dé cao. i sach bing nuéc : Ding mot loai ban chai dic biét min cho quay Gi mot t6c dd xéc dinh va phun nude khit ion, khi céin nude Khir ion c6 thé pha them mot s6 chat ty rita (detergent) vao réi phun lén bé mat phién bin din dang quay trén. — Théi bing tia nufée Khir ion nko manh véi dp suat cao 2000 + 4000 psi. Dang dong nude dang chay dé loai bi cc hat nhé bam trén bé mat b) Phuong phap loai bé cac tén dong hi co — Cé nhiéu loai him co tir céc dung dich haw co cdn t6n lai néu khong thuc hién t6t theo cong nghé chudn, tuy nhién cdc hop chat c6 cacbon va dac biet 1a ddu ma tir cdc vet ng6n tay ngudi cé thé vO ¥ tao ra trén vé mat phién 1a nguy hai nhat. Trong cong nghé, tay luon phi di gang tay va ding cap chuyen dung bang inéc hoac nhya dé cp phién ban dan cing nhu céc vat lige sach khdc. — Loai bé cae t6n dong hiu co trong céc bé rita ding cae dung dich cén hay axeton, 103 Chuang 4©) Téy rua cac tén dong v6 co Cé thé ding cac loai dung dich khdc nhau dé tdy rita céic tén dong v6 co nhu axit sunfuric (H,SO, ), axit sunfuric (H,SO, ) + H,0,, hoae ammonic. ) Xir li sach bang quy trinh RCA Ti nhing nim déu cita nhimg nam 1960, khi cong nghé Iép mat phat trién, cdc ki su cla Hang RCA di phat trién mot phuong phap xit Ii sach kha chun xac da duge dua ra tg dung rat rong rai cho dén tan ngay nay. Quy tinh xit If bao gém hai cong doan xir If loai bd cae chat tn dong v6 co va hiu co trén bé mat hoac cdu hinh phiga bin din = Quy trinh chudn Jam sach J (Standard Clean !~ SC-1) cae dung dich hu sau (theo ti 1é thé tick) 5: nue DI (khit ion) 1: hidré peroxit (H,0,) 30% J: amoni hidroxit (NH,OH) 29% Xit Ii i 70°C trong vong 5 phi — Quy trinh chuzin lam sach 2 (Standard Clean1, SC-2) (ti Ig theo thé tich) : 6 : nuée DI (khit ion) 1 : hidro peroxit (H,0,) 30% 1: axit clohidric (HCI) 37% Xir If ai 70°C trong vong 5 = 10 phiit 4.2. CAC QUA TRINH AN MON 4.2.1. DINH NGHIA, PHAN LOAI VA CAC THONG SO. a) Qua trinh an men (etching process) Qué tinh an mOn 18 qué trinh Jogi bé mot phiin vat Tiéu khong mong mun c6 trong cdc cau hinh dinh sin hoac an man toan bo phn vat Tigu khong cin thiét bing cac phuong phap hod hoc riéng lé hay két hop gitta phuong phap co ~ hod ~ If véi cae diév kign xe dinh (dung dich an mon, plasma an mon, nhiét dd, 4p suat an mon, ti 1é an man...) b) Phan loai Co nhidu cach phan loai vé an mon, C6 thé phan logi theo dac tinh cia chat an man nh Cong, silt sien va nave din a WORAn mon trong dung dich long, goi [4 an mon uct (wet etching) — An mon trong moi trutng khf plasma (an mon kh). Nguoi (a cling thudng phan loai theo nguyén If an mon, nhir: An mn hod hoc trén ca si turong tac hod hoe, bao gém : an mon wt va an mon khd. — An mon vat Ii, bao gém : an mon do bin phd (sputter etching) va an mon bang bao ion (ion milling) = An mdn hod 1f, bao gém : an mon bing chim tia ion kém theo véi cic nguyén li hod hoc (Chemically Assisted Ion Beam Etching ~ CAIBE) va an min ion phan img (Reactive lon Etching ~ RIE), ©) Phan foai huéng an mon: Negus ta chia ra lam hai loai —An mdn dang huémg, nghia 1 téc nhan an mon tuong téc an mon theo moi huéng véi tc do an mon nhur nhau. Hinh 4.2a) bigu thi anh vé an mon dang hudng. G day, chat an mon khong nhing an mon theo chiéu sau ma ci n mon ca theo chiéu ngang theo t6c do gidng nhau. Ain mon dj huéng khong hoan ho, nghia 1A chi yéu an mon theo chiéu sau, tuy nhign c6 mot phin cing an mon theo chiéu ngang nhung nhd, c6 the nhan durge nhu hinh 4.2b) ~ An mén di huéng hodn hdo, nghia la tic nhan an mon chi an mén theo mot hung xéc dink (hinh 4.2c). Day 1A mot phuong phap a hao, tuy nhién trong thy t¢ khé dat duce nhu hinh 4.2c). Lulge 8 hinh vé mé td vé an mon dng huéng a) ; an man di uring mat phan b) va ain mon di huéng hoan ho c) Hinh 4.3 1 an mon dinh huéng chon loc c6 thé tao nén cae cy hinh co hinh dang dic biét dimg trong cong nghé vi co dign, MEMS, NEMS. 105 Clu se,{Huon bd mat (100) Se an Sil _Hurang bd mat (140) z LS Sie Hinh 4.3. Lugc 46 hinh vé vé an man dang huéng hon toan theo cée huéng tinh thé dé tao cde cau hinh v6i cdc kich thudc chinh xde cao trong ki thuat vi co. M61 sO thong sd chink ciia qué trinh dn man : Nhiing tham s6 chinh dac tung cho qua trinh an mon nhur sau : ‘T6c dO an mon tinh bang chiéu day }ép vat li¢u da an mon chia cho thi agian an mon, diéu nay chi diing khi t6c 46 an mon 1a déng déu. aot tt R at) ‘Tuy nhien trong thuc ¢€, thuéng lai khong nhu vay, vi du tai bé mat lic dau te d an mon nhanh, sau 46 gidm dan. Do vay, ngudi ta dua vao gis tri t6c 49 an mon trung binh duc biéu thj bang gid tri trung binh gitla 16¢ 9 an. ‘mon nhanh nhs va cham nht nhur sau Rau +Rae 2 BO chénh léch tuong d6i lén nhat vé tc dO an mén khong déng déu duge tinh nhw sau: (4.2) 43) ‘Trong mot phign bin din bao gém céc cau hinh khée nhau va mot s6 vat ligu da tao lén tren 46. Néu dung dich an mén chi an mén mot loai vat li¢u Cones neh wierd vA nano dign 1 106xae dinh, khong an mdn cic vat ligu khéc 6 trén phién 46 thi téc nhan an mon nay ¢6 tinh an mon lua loc cao. C6 thé xiy ra vige tée nhan an mon ‘khong chi an mén mot loai vat ligu duy nhat ma c6 thé an mon mot hai vat Jigu cing mot lic, khi nay téc nhan an mon khong c6 tinh Iya Igc cao, Ching ta.c6 thé dua ra dO an mdn hy loc S gitta ching nhu sau : (4.4) trong d6 R, va Ry 1a t6e dd an mon d6i v6i hai vat ligu trén cing phién dé ban dan (vi dy an mén doi véi ca Si va SiO, nhw hinh 4.4), ‘Budng an mon a) ») Hinh 4.4. Luge 46 vé 46 an mon chon loc : sau kh cu hinh sau khi n mon, khéng chi an mon, I6p SiO, ma cdn an mon ca silic b). 4.2.2. CAC PHUONG PHAP AN MON a) An mon uot Day 1A loai an mon ma mot vat liéu rin (phién ban din) duoc nhting trong dung dich an mon hoa hoc. G tai mot nhiét 6 xéc dinh va ti le thanh phan xéc dinh cia dung dich hod hoc an mon sé c6 mot t6c d9 an man tuong 6; xée dinh. Phign ban dan tren dé 06 céc eau hinh cn duge an mon uét thudmg dge nhiing trong bé, doi khi dugc nhé hay phun hod chat an mdn len vi trf céin an mén. Phuong phdp nay thudng an mon ding huéng, nghia 1a dung dich an ‘mon vat ligu theo moi hung déu nhau. Do vay, mot s6 hung khong mudn an mon ciing bi anh huéng. Cac dung dich an mon thudng Ia céc dung dich axit hay kiém manh. Trong phan In céc ting dung, an mon uot dugc ding dé an mén toan bé mat hay an mOn mot phan Iép vat liéu mang. An mdn uér cd nihiing wu diém sau : 107 Chuang 4