Diane NANO DIEN TU (Cac cong nghé nédi tréi va mét sé van dé lién quan) | 287 Clwong 9 |( huong 9 MOT SO VAN DE CHUNG VE KHOA HOC VA CONG NGHE NANO 9.1. SU HINH THANH PHAT TRIEN KHAI NIEM VE KHOA HOC VA CONG NGHE NANO Dé hiéu duge mot so van dé vé cong nghé nano dién tir néi troi, ching ta cin hiéu khdi quat vé cong nghé nano néi chung. a) Sir hinh thanh khai niém vé khoa hoc va cong nghé nand C6 mét méc quan trong dén nay nhiéu ngudi van nhac dén va coi dé 1a su khdi dau vé ¥ tong hinh thanh cita cong nghé nand, dé 1a vao thang 12 — 1959, trong Hoi nghj thudng nién cia Hoi Vat i My dugc t6 chit & Vien Cong nghé Califomia, R. Feynman doc mét bdo cdo mang tinh tien doan, trong d6 c6 nhac t6i : “O phia duéi dang con nhigu ché trong” (There's plenty room at the bottom). Trong bai b4o dé ciing nhac téi thao tic va diéu khién mot s6 tinh chat & kich cd nhé xiu”. R. Feynman da tién dodn cho nhiing phat trién va ving dung rong 1én cia cong nghé nané, trong dé cé thé ké téi nhiéu link vuc khdc nhau : phuong phdp ché tao bing chim dien tir va chim ion, thao tac timg nguyén ti, dién tit hoc cdc hiéu tg lugng ti, dién ti hoc spin... Tuy cdc khai niém ban dau cén rat so luge, song cling da phic hoa ra con duéng di vao nghién cutu linh vuc kich thudc nhé ctia vat chat, r6i cong nghé micré dién tt va ngay nay 1a cong nghé nano dang duge trién khai. R. Feynman cing da chi ra rang viéc ché tao nhimg déi tuong 6 kich thuéc nhé 1a linh vue khi do c6n ft dugc thuc hién, nhung bén trong né ham chia rat nhiéu van dé 1én ma it nhat vé mat nguyén li ta cé thé ch4p nhan lam dugc. Mot s6 ngudi di di tién phong trong Tinh vuc nay, ho da dé cap dua ra mét s6 y tuéng nhu sau : 289 Chuang, 9~ Giam thiéu kich thuéc linh kién, thao tac nét viet... ~ Gidm thiéu kich thuéc may tinh va sit dung cdc cong nghé cao dé thyc hién ¥ tuéng nay. — Cong nghé gidm kich thude xudng t6i wu. ~ Nhu cdu phai thay ddi thiét ké do nhing hiéu tg gidm kich thudc tao ra. — Kha nang vi phau thuat va str dung thu6c chita bénh c6 hiéu qua nhat. — Ché tao cdc linh kién Iuong th, — Sir dung dac tinh ciia cdc nguyén tir don Ig. — Sir lin két giita Sinh hoc va Vat If hoc. Vé sau, R. Feynman cing da nhc lai tign trinh theo cdc hudng di nay trong cudc néi chuyén khdc vao nam 1983 tai Phong thf nghiém Stic day phan luc, & Pasadena (Texas, MY) cing nhu & trong nhiéu xudt ban phim khac vé sau cia 6ng (R. Feynman, 1993). Xu hudng lam giam kich thudc trong ché tao linh kién va thiét bi may médc duge coi 1a mot tiéu chi phat trién. b) Qua trinh phat trién khoa hoc va céng nghé nand Theo thoi gian, & trong timg thdi ki, su phat trién thuat ngit va khdi niém + vé cong nghé nano ciing da duoc nhiéu nha khoa hoc quan tam bé sung thém, tuy nhién viéc dua ra khéi niém lién quan va hiéu vé khdi niém dé cing rat khac nhau & mdi thoi diém céing nhu 6 méi nhém nghieén citu vé Tinh vuc nay : — Cong nghé nané dudng nhu cing da duoc hun diic béi Taniguchi. Nam 1974, tai mot hdi nghi vé san xuat cong nghiép 6 Tokyo, Taniguchi da dinh nghia né nhu Ja yéu cau ki nghé san xuat cin c6 dé dat dén do chinh xdc rat cao 6 nhing kich thuéc rat nhd ma diéu nay rat can thiét trong viéc san xudt cc sin pham vi nhy mach 16 hgp (IC), linh kién quang dién tir, cdc bd phan co cia céc loai bom, hé chuyén banh rang, bo nhé cla méy tinh va mot sé san phém khac... Taniguchi ciing da chi ra rang, dén mot thi diém nao dé, con ngudi cé thé ché tao mét cdch chinh x4c dén miic c6 thé “thém vao— bét di mot nguyen ti’. Dén nay thuc té nay trong cong nghé nano da cho phép thuc hién duoc. Ong da két luan ring, c4c ki thuat chim tia ion hodc chim tia phan tir... 14 trién vong hia hen rat Jon ddi voi cong nghé nano. Véi cach tiép can cha Taniguchi thi cong nghé nano duoc coi nhu 1a cong nghé “top-down”, nghia 1a mot cdch tiép can di tir mot kich thuée 1én, qua nhiéu Cong Nght mica vA nano dien TH 290cong doan cong nghé, sé din dén céc thanh phan co kich thuéc nhd hon nhiéu. ~ Linh vue vé khoa hoc nano dugc phat trién khé manh tirnam 1981 véi su ra déi cia hién vi quét xuyén ham, STM (Scanning Tunneling Microscope) phat minh ra bdi Heinrich Rohrer va Gerd K. Trong phong thi nghiém thudc Trung tam nghién ctu ca Hing IBM tai Zurich, Nam 1986, ho dugc trao giai Nobel vat lf. Thiét bi nay do nhitng dong dién yéu chay giita dau do cla hién vi va vi ui cia mau khi dugc quét qua. Dya theo théng tin thu dugc 6 méi diém sé tao duge hinh anh cita c&u tric bé mat mau & bac d6 1én timg nguyén tr. Sau thanh cong nay da phat minh ra nhing may ké tiép, nhu hién vi luc nguyén tir, AFM (Atomic Force Microscope). Cau tao cla AFM bao gém mot dau dé (kim) rat nhd, cé hinh thdp véi kich thudc tir 20 dén 30 nanomét, duoc tiép xtic truc tiép voi bé mat mau. Dau dd duge gin lén déu mot cdnh tay dén dan héi, c6 thé chuyén dong lén xudng tuong img khi nd di qua nhimg diém cao hay thap trén bé mat. Trén dau cin dugc gin guong phan xa dé cé thé lam léch mot tia laze khi cénh tay dén chuyén dong lén xuOng. Bang cach nay, cé thé phét hién dug nhimg chénh léch vé do cao cén nhé hon ca kich thudc cita déu dd. Vi dau nhon cia mot hién vi luc nguyén tir khong chi quét dugc cdc hat nand ma cén dich chuyén va sdp xép n6 vao nhimg khuén mau nhat dinh. Nhu vay, vai su ra dai cla STM, AFM da mé ra mét kha nang quan sat cau tric nand, do dac cau tric nané... tao nén m6t budc ngoat mdi cé tinh céch mang trong viéc nghién cttu vé cong nghé nano. ~ Khai niém vé cong nghé nané cing da duge quan tam nhiéu va di duoc chon lam huéng nghién cttu trién khai tai Phong thi nghiém Vat li Quéc gia Anh NPL (UK) vao nam 1983. Co quan quéc gia dau tién vé cong nghé nan6 da duge ra ddi vao nam 1986. Vao nam 1987, viéc dinh nghia thé nao 1a cong nghé nando cing da duge phat trién boi Franks, dé 1a: “Céng nghé nané la cong nghé ma 6 dé cdc kich thuéc hode cde su xé dich nam trong dai utkich thuée cha mét nguyén tit dén kich thuéc chiéu dai budc séng anh sang dong mét vai tré then chét” (kich thudéc c6 tir 0,1 nm dén 100 nm). — Nam 1986, Eric Drexler da néu ra mt cach tiép can mdi khac lién quan dén céng nghé nano, dé 1a phuong phap ché tao nhitng san phdm lon hon tit nhiing thanh phan phan ut hodc nguyén tit tao nén, nghia la dua ra khdi niém phuong phdp tiép can ché tao sdn pham tit nhé dén lin, ma dén an Chuangnay nguoi ta quen goi cach tiép can nay ux dudi lén (bottom-up). N6 nguoc lai vi cach ché tao mach vi dién tir, 6 dé ngudi ta ché tao linh kién tir mot phién Si rat lén réi dan dan qua nhiéu khdu cong nghé, két qua sé ché tao duoc hang tram triéu linh kién nhd bén trong phién bdn dan nay. Vao nam 1992, Eric Drexler di sir dung cum thuat ngit “ki nghé phan wi” (molecular engineering) va gis day thudng goi 1A “cong nghé phan tir’ (molecular technology) dé m6 ta cho cach tiép can van dé cla 6ng néu ra. Qua thai gian, khd nhiéu tign bo vé cong nghé va san phdm nano da dugc tao ra theo cach tiép can “botiom-up” hon [a theo cdch tip can kiéu “top-down”. — Mac di viéc diéu khién cdc dién tu riéng 1é 1A mot cong nghé dinh cao, sé cé thé duge chinh phuc trong twong lai, nhumg hien tai nhiéu nha khoa hoc da dua ra mét cach tiép can vé cong nghé dua trén co sd cila su ty sdp xép (self-assemble) cha cdc phan ti nh6 bé nhat sau d6, tu t6 chitc (self-organization) thanh m6t cdu tric linh kién hodc thanh mot mach dién én hon. Phuong phdp tiép can nay rat c6é ha hen, vi trong tu nhién cdc qua trinh tu sap xép, ty t6 chic da hinh thanh phat trién hoan thién tir hang triéu nam nay réi. Vi du cdc bao thai dong vat tit su két hop gitta gidng duc va giéng cai da tu phat trién va tu t6 chttc mot cach bi hiém ma dén nay con ngudi vin chua hiéu hét, T6i dén cdc té bao thuc vat cling vay. Dén nay, viéc trién khai theo phuong thiic tiép can cong nghé “bottom-up” cing da dat mot sé két qua, vi du dién hinh d6 18 su ti hop ca cdc phan tir, réi chting tu co cau sp dat dé tao thanh mang khu6n I6n hon theo dang da dinh truéc. Day 14 cdch kha pho bién duoc phat hién trong linh vuc hod hoc va sinh hoc va nhiéu Jinh vue lién quan dén hod hoc siéu phan tir. — Qua thdi gian, nhiéu khia canh khdc nhau ciing da duge phat trién, tao nén mot khai niém vé cong nghé nano ngay cang hoan thién hon. Nam 1999, Siegel va cong su dZ dua mot dinh nghia thuyét phuc hon, dé 1a: “Céng nghé nano la céng nghé ché tao va diéu khién truc tiép cdc vat liéu va linh kién & kich co phan ni va nguyén ne”. Dén nay, véi su da dang vé nhing khadi niém lién quan dén cong nghé nano cong véi sur da dang vé cdc Tinh vuc nghién céu phat trién cong nghé cao trong nhiéu linh vyc khéc nhau da din dén su hinh thanh ra mot khai niém mdi rong bao quat va mang tinh tich hgp cao, d6 1a Khoa hoc va cong nghé nano. — Mac di dén nay van thudng cé su nhdm J4n chua duge phan biét 13. gitta cdc thudt ngit khoa hoc va nhat 14 thudng cén cé cdc tranh luan vé ranh Cong nah micnd va nano diy ty 292gidi gitta cfc linh vuc nghién cttu khoa hoc, tuy nhién diéu dé khong cé gi dang ngac nhién khi thay quan diém vé cong nghé nan6 con nhiéu bat déng giita cdc y kién cha cdc chuyén gia. Co sé cla nhitng khac biét nay 14 do c6 rat nhiéu Tinh vue nghién cdu lién quan dén rat nhiév nganh khac nhau, trong d6 méi chuyén gia lai tiép can mot céch khéc nhau va nhin nhan vé kha nang ciia chiing 6 nhiing géc do khdc nhau. Va ciing do tinh da dang ciia cdc viin dé quan tam lién quan dén cong nghé nané nén thudng cé nhig quan diém khéng théng nhat, tham chf tr4i ngugc va con [an 1én trong du luan cla xa hoi vé ban chat cha cong nghé nand. Ngudi ta da thong nhat cin dé xuat ra mot chuong trinh tuyén truyén qudng bé rong rai nham tao ra nhan thtic chung, va cling dé lam 16 nhiing su hiéu biét sai lech nhdm tao ra su hiéu biét mét cach tuong déi thong nhat vé cong nghé nano, Nhimg doi hoi mdi ciing da duge dat ra dé dinh hinh sy hiéu biét nhan thite méi vé cong nghé nano. Sau mot thdi gian trong déi dai, trai qua qua tinh phat trién va qua cdc tranh luan khdc nhau, dén nay ngudi ta da dua ra duge mot khdi niém chung vé cong nghé nand mot cdch khdi quat hon nhu sau : Khoa hoc va cong nghé nané la khoa hoc va céng nghé ciia cae doi nuong nghién citu khéc nhau cé kich thuéc nanomeét (vat liéu, linh kién va hé thong, thao tac...). Khoa hoc va cong nghé nano hidu mét cdch tng quat la khoa hoc va cong nghé nham tao ra céc sin phdm nhu vat liéu. linh kién va hé thong... c6 cdc tinh chat mdi, néi 176i nko vdo su gidm kich thudc xudng nanémeét, ding thoi diéu khién duoc cdc tinh chai va chute ndng cia ching & kich thuéc nané. Tai ving kich thudc nané nam trong mién tit 1 nm dén 100 nm, ngudi ta con goi la mién kich thudc trung gian (mesoscopic region), cde tinh chdt var li, hod hoc, sinh hoc va mét s6 tinh chdt khde cita vat liéu cu mrtic nané hon toan khde cde tinh chat ctia doi tung lién quan cé trong vat liéu khdi hodc khde v6i cdc tinh chat cia vat liéu d trong hé vi mé chita mot nguyén tw, phan we. Tom lai, khoa hoc va cong nghé nano 1a mot Tinh vuc khoa hoc va cong nghé mdi, hién dai va lién nganh, 6 thé hiéu duéi cdc géc dd chuyén mon khac nhau. Khoa hoc va cong nghé nano hinh thanh trong qué trinh tich luy nhiéu thanh tuu khoa hoc cong nghé nhu ki thuat dau dé quét nand ma dién hinh 1a hién vi luc nguyén tis (AFM), hién vi quét xuyén ham (STM), hién vi quang hoc truéng gin (NOM), céc ki thuat khac dién tir, cdc vat ligu nand xudt hién vao cuéi nhiing nam 1980, 14 nhimg tién dé quan trong dé hinh 293 Chuone, 9thanh mét nganh khoa hoc va cong nghé méi. Chinh vi cé tinh tich hop cao cia nhiéu nganh khoa hoc va mang nhiéu nét mdi nén di tao ra mot bude ngoat ding ké cho qua trinh phat trién khoa hoc cong nghé hin nay. Né c6 thé tao ra cdc dién mao vé san phdm mdi cuc bé da tinh nang, tao ra cdc hanh vi méi (nhw ty lap ghép nhan ban chang han...), tao ra céc dién mao mdi, cdch séng méi bao gém ca nhiing diéu t6t dep va nhimg mat trdi c6 tinh téc hai I6n cho toan. x hoi. Ciing chinh vi céc nguyén nhan nay, ngudi ta con goi cong nghé nané la céng nghé cua thé ki XXI. 9.2. MIEN KICH THUGC CUA KHOA HOC VA CONG NGHE NANO Trong Tinh vuc vat lf da biét dén mot s6 khdi niem vé hé thong nhu sau : a) Hé thong vi mé (macrosystem) duoc hiéu 1a hé thong cé kich thude lén tk khoang milimét tro lén, dén cdc vat thé rat 1én bao gém ca cdc thién thé c6 trong vii tru, 6 d6 su van déng tuong tac cla ching thug tuan theo cac dinh luat co hgc cé dién cha Newton. b) Hé thong vi m6 (microsystem) la hé théng chita cdc d6i tugng c6 kich thuéc nguyen tir vi cdc loai hat co ban, chting c6 kich thuéc véi dd lén co 10A wa xudng. Su van dOng, tuong t4c cla ching thudng tuan theo cdc dinh luat cila Ii thuyét co hoc Iugng tu, If thuyét nay dugc hinh thanh va phat trién manh tix nhimg nam dau cha thé ki XX dén nay. ¢) Hé théng trung gian (mesoscopic system) : Tit nhing nam 1980 tro lai day, khi khoa hoc va cong nghé nané duoc hinh thanh va phat crién, nhiéu cau tric vat ligu, cu hinh tinh kién dién tir, linh kign phan tir cé kich thudée nam trong dai nanomét da dugc ché tao nghién cifu tuong déi nhiéu trong cdc phong thi nghiém tién tién. Ngudi ta da va ngay cang khdém phd ra nhiéu dac tinh méi la cia d6i tugng nghién ctu cé kich thudc trong dai tir 100 nm dén 1 nm. Vang kich thudc nay dugc goi IA mién kich thuéc nané hoac 1a mién kich thuéc trung gian (mesoscopic size region). Hé thong déi tuong nghién ctu nim trong dai kich thudéc nay thudng duoc goi 1a hé théng trung gian, Tinh chat cha hé théng nay rat phu thudc vao kich thudc cia déi tuong, nd c6 thé tuan theo mét sé dinh haat cé dién khi kich thuéc dit I6n va khi kich thudc cing nhé dan thi mot s6 hiéu tmg luong tit ngay cang néi trdi lén, cdc Cong nghé micno vA NaNO die ty 204hiéu mg bé mat cing cé vai trd dic biét quan trong. Dén nay, con ngud} con hiéu chua hét vé su biéu hién cia hé thong nay, n6 chita dumg nhiéu dac tinh chuyén tiép mang tinh hai mat cia hé vi mo va vi mo, phu thudc vao kich thudc hé thong ay, kich thuéc cha doi tuong nghién citu trong céng nghé nané cb vai 1rd quyét dink t6i rat nhiéu tinh chat cha ching. Kich thuée néi dén & day 14 kich thudc d6 dai mién tich cuc cia d6i tugng chit khéng phai 1a kich thude bat ki nao dé. Theo thang bac d6 dai thi gid tri cla } nanomét (nm) chuyén déi sang cac kich thudc d6 dai khdc sé c6 thit bac nhu sau : Tam = 103m = 1076 mm =10°9 m hoac tm = 103 mm = 106 pm =10? nm (9.1) Dé c6 khdi niém so sinh c6 thé néu ra mot s6 kich thuée cu thé sau : mot soi téc cé dudng kinh tr khoang 50 um dén 100 um, kich thudéc cla vi rut c6 70 nm va chiév day cha t gidy vist day cd 100 000 nm. 1 nm cé kich thuéc khodng 10 nguyén wt Si sap xép lai thanh hang véi nhau. D6i véi mot vat ligu mang mong thi kich thudcnané thudng dugc hiéu la chiéu day cia mang mong d6. D6i véi vat ti¢u hat thi kich thudc 6 day 14 kich thuéc hat hodc 1a dudng kinh cia hat, cdn déi véi mét linh kién dién tir c6 kich thuéc nano thi kich thuée 6 day dugc hiéu 1a kich thuéc cia céc mién tich cuc cia linh kién dién ti, cc mién nay cé tinh quyét dinh 161 dac mmg cia linh kién, chit khong phai 1a kich thuéc bat ki nao cua linh kién. Vi dy, d6i vi linh kign MOSFET chang han thi kich thude vé 46 dai kénh L va chiéu day dp oxit & cyc ctla cé tinh quyét dinh, chit khong phai kich thudc cia toan b6 déi tugng linh kién. Hinh’9.1 mo ta vé d6 1én cia’ kich thude nan6 so véi kich thude cha mot sé d6i tuong cu thé, vi du kich thud chiéu dai cla mot con kién khoang 5 mm, kich thude cia ADN c@ 0,5 + 2 nm. Mot cau hdi dat ra 14 kich thudéc nan6 cé bao gém ca mién kich thudc du6i nguyén tt khong ? Ngudi ta vin hiéu ving céng nghé nané dugc gidi han & kich thudéc 6 1 nm, nic dé 1én khoang 10 nguyén tir Si. Con khi gidm kich thuéc xuéng duéi nguyén tir thi nhiéu van dé vé vat li cong nghé dac biét cn dugc sit dung, nhu phai ding cdc phan tmg hat nhan dé dat cdc kich thudc nhé hon nguyén tit va nhu vay nhiéu van dé nan giai khdc khong thudc vé cong nghé nano c4n phai dugc dat ra dé gidi quyét. 295 Chuong 9tom 10 mm 1000000 nm 1mm Mure 0,01 mm Baer) vung tie Xmém 5 10° m s 2 3 ro) rere ia) Gein Cierny 10-7 m), kich thudc micromét (10-8 m + 10-4 m) va kich thu6c milimét (10-4 m + 10-? m)... so sénh véi kich thuéc cla mét sé cu tric tu nhién [Theo www.sc.doc.gov/production/bes/scale-of-things.htmi]. Cong nghe micno va nano diené 2969.3. HAI PHUONG PHAP TIEP CAN VE CONG NGHE DE CHE TAO CAU TRUC NANO Su phat trién cua cong nghé nano trong tuong lai con phu thudc nhiéu vao viéc liéu ching ta cé thé ché tao thanh cong dén miic d6 nao cdc cau tric kich cd nanomét mot cach dai tr, cé higu qua véi gid chdp nhan dugc. Dén nay, hién dang cé hai phuong phap tiép cn vé cong nghé trong ché tao nano, a) Phuong phap di tir trén dinh xuéng (top-down) Phuong phdp nay duoc hinh thanh va phat trién «ir khodng nhimg nam 1960 tro lai day. Phuong phap cong nghé nay da va dang duge ding dé ché tao cdc linh kién rdi rac va mach 16 hop cé kich thude micromét theo nguyén \: tir vat lieu khéi hay phién ban din én ban du, r6i trai qua nhiéu cong doan cong nghé cé thé ché tao thanh cdc chip, méi chip cé hang triéu linh kién dién tir c6 kich thudéc micromét hodc nandmét. Phuong phap cng nghé nay hién nay van dang chiém uu thé gan nhu tuyét doi va hi vong sé duge phat trién hoan thién dé cé thé tiép tuc duy tri trong cong nghé ché tao nand trén vat ligu Si. Véi phuong php nay, hién nay nhiéu hing én cing da ché tao thanh cong cdc vi mach 16 hop siéu cd 16n véi thé hé cong nghé 70 nm _ T6145 nm trén vat liu Si, thé nhumg khi kich thuéc giam nhé hon nia sé cang kh6 khan trong cong nghé ché tao, dac biét 18 cong nghé khac & kich thude nano van chua hoan thién, dan dén gid thanh hién nay con kh4 cao. b) Phuong phap di tir dudi day !én (bottom-up) Dé 1a phuong phap tu két hop lép ghép cua timg nguyén ti hay phan tir riéng lé v6i nhau duéi mot tac nhan nao day thanh mot cau tnic linh kién nan6 én hon, sau d6 ching tu té chtic lién két lai thanh cau tnic c6 kich thudc Ién hon nifa dé tao thanh mot cau kien. Viéc ding phuong phap nay dé ché tao cdc hé cu tric nané theo y mudn da dat duge mdt sé két qua, song vé dai thé dang cdn trong théi ki phoi thai va dang con gap rat nhiéu khé khan. Ngudi ta hi vong cé kha nang hién thyc trong twong lai, Vay 1a it nha trong tuong lai gin phuong phap bottom-up sé chua cé thé thay thé duoc cho phuong phap top-down. Ciing chinh vi vay ma cdc né luc hién nay van dang duoc tap trung dé phat trién hoan thién phuong phap top-down trong link vuc ché tao micr6 dién tir mat d6 siéu c& 1én (ULSIC) trén vat liéu Si di theo hung céng nghé nano, Dén nay dé hinh thanh len ca mét nganh rieng : nganh cOng nghé nano dua trén vat liéu Si. Dén nam 2007, nhiéu gidi han luong tit va cong nghé cing da bj phd vo. Ngudi ta da thanh cOng trong viéc ché tao ra cdc chip mach té hop mat do sigu cB 16n c6 nhiéu Idi véi kich thude dat 45 nm va thap hon, dang din dén dua vao sir dung trong thuc té. 297 ‘Chuang 9Mot trong nhimg khé khan va théch thife chinh 1a chua hiéu rd cdc hien tugng vat li trong mién kich thuGc trung gian cé kich thudc tir | nm = 100 nm. Dén nay, con nguvi cing chua hiéu nhiéu vé “tu nhién” da hinh thanh cong nghé nané theo phuong phap bottom-up véi phuong thifc “ty t6 chifc — tu sip xép” nhu thé nao ti hang triéu nam qua. Dén mot hic nao dé ching ta sé hiéu duge nhiéu hon, c6 thé phat minh ra duge nhing phuong phép hitu hiéu dé cé thé diéu khién cdc nguyén tir, phan tir va cdc c4u tic sinh hoc mot cach hiéu qua hon, trén co sé d6 c6 thé ché tao dude mét s6 céu tic nand tuong tu nhu tu nhién da timg Am. 9.4. MOT SO LINH VUC CHINH CUA KHOA HQC VA CONG NGHE NANO VA SU TICH HOP CUA CHUNG TRONG TUONG LAI Cong nghé nano bao gém cic linh vuc da nganh va cé 1é v6i thdi gian né cang ngay cang phat trién va md rong, déng thdi cing ngay cang cé tinh lin két dé tao nén do tich hop ngay cang cao, Dusi day cé thé liét ké ra mot 86 Tinh vuc ma khoa hoc va céng nghé nané dang duge phat trién : — Linh vuc mo hinh hod va thiét ké ; — Linh vuc ché tao vat ligu nané ; — Linh vue thao tac, chuiin hod do luémg trong nano ; — Linh vue dién tir nano ; — Linh vuc hod hoe phan ti, hod hoc polime, hod hoc xtic tac... ; — Linh vuc sinh hoc nand, sinh hoc phan tt, cong nghé gen ; — Linh vuc hé théng vi co dién va nan6 co dién (MEMS — NEMS) ; ~ Linh vuc ché tao khu6n mau nano ; ~— Linh vuc y — sinh hoc va thuéc chtta bénh ; — Linh vyc may tinh luong tir (quang) ; — Linh vue nang luong va pin tich trit nang lugng ; — Linh vuc trong mdi trudng va bao vé moi trudng ; ~— Linh vuc hang khong, vi try, an ninh va quéc phong ; Sau day ching ta cé thé diém qua mot sé vai Tinh vuc néu trén. Cone, age micnd va nano diw 1) 298a) Trong finh vuc mé phéng bang may tinh dién tir (computer modelling) Day 1a mot dic diém néi bat tigu biéu vé su nghién cttu khoa hoc hién nay va dac biét né dugc trién khai khd manh mé va bai ban trong nganh hod hoc, ng&nh vat ligu cho duoc phdm. N6é duoc sit dung nhu mot cong cu thudng xuyéa béi cdc cong ty hod duge phdm véi cdc phan mém phong pht dé mo phéng hinh dang cau tric vat chat sir dung trong hod duge phém. Cac mo hinh hoa trén méy tinh hoat dong & cdc mifc khac nhau tit mic phan tir Jen dén céc thanh phan c@ vai ngan nguyén tr trong cdc c4u tic hat nand (nanoparticles). Huéng m6 phong dahg duoc phat trién rat manh vi cic phuong tién m6 phéng diva trén céc mo hinh I thuyét khdc nhau, dac biét 1a trong m6 phong vé vat liéu, cdc hiéu tng lugng ti va cau tric nané cing véi céc dac tinh cla chting. Cic cu tric nané va cdc qué trinh vat Ii va cong nghé ché tao ra cdc san phdm nano rat kh6 c6 diéu kién quan sat truc tiép, ngoai cdc phdng thi nghiém hién dai va mot sé co sd ché tao c6 cong ngh¢ cao, Do vay, linh vuc m6 phéng nham du dodn dua ra cau tric, mé phong hinh dang dé cé thé dodn nhan, nhén biét dugc hinh dang va mot s6 dac tinh ca cu tnic nan6, dén viéc cé thé dua hink anh 1D, 2D, 3D lén én man hinh dé c6 thé quan sat... 1a rat céin thiét, Trong linh vuc vi va nano dién th v6i mat dQ si€u cd 16n thi mo phong cong nghé (TCAD) va thiét ké cdc mach vi dién tir cé hang ti linh kién, né cén khé hon viéc thiét ké cdc thanh pho In tren thé gidi cé hang chuc triéu dan sinh séng, thi chi cé thé thuc hién duge trén méy tinh manh. @ day cén lua y thém rang, dé c6 thé mo hinh hod thi ngudi ta cin nam chic cdc kién thetc vé If thuyét, ton hoc, m4y tinh va ca cdc két qua thuc nghiém da thu duoc, trén co sé nay méi cé thé tng hop dung mo hinh m6 phong tinh todn, b) Trong inh vuc cac vat liu co cdu trie nand Nhimg d6i tugng nay cé thé chi cé kich c& nané trong mot chiéu nhur cdc mang mong nané, trong hai chiéu nhu cdc day 6ng nano, va trong cd ba chiéu nhu c4c cham Iuong tir va hat nand. Ching da duge ché tao ra béi cdc ki thuat khdc nhau véi m6t loat cdc thudc tinh kh4c nhau. Céc cau tric nando c6 thé dugc six dung riéng biét dé khai thac nhimg dac tinh mdi rat la thudng. Linh vuc ché tao cdc vat ligu méi c6é cau tric nand 1a mot linh vuc rat rong, linh vuc nay duge coi 1a linh vuc co ban cé tinh xudt phat diém va c6 tim quan trong dac biét, vi néu khong cé vat liéu nan6 thi khéng thé cé cdc san phdm nano tiép theo. Linh vuc vat liéu n6é bao trim nhiéu Linh vue vat liéu m6i trong cdc chuyén nganh khac nhau. Day 1a mét Hinh vuc hét stfc da dang cdc vat liu kich thudc nané va cé nhiéu tinh chat méi do hiéu tmg gidm kich thudéc gay ra. Day 14 cdc vat liéu tinh thé, v6 co, hin co, vat liéu y sinh, céc 299 Chuang 9vat ligu gen, p6lime, kim loai hodc 6xit don pha hodc da pha, vat ligu cacbon 60 (C60), dng nand cacbon vita cé tinh chat co hoc siéu bén, vita cé cdc tinh chat din dién, din quang ; cdc cham Iuong tir 1a mot bO phan cfu thanh cha tranzito don dién t dau dé nan6 (nano-tip) bing cdc soi lugng ur ding dé din cdc nguyén tir; vat liéu dan xudt thudc, thudc vién nané cé kha nang hap thu vao co thé cao hon nhiéu so véi thuéc vién binh thudng dang cé hign nay dén cdc vat ligu siéu déo, siéu nhe, chiu duge cdc nhiét do cao ding trong cong nghiép vii tru... ¢) Linh vuc thao tac nand D6 1a Tinh vuc con ngudi cé thé truc tiép tac dong vao déi tugng, hoac ché ra cc dung cu, thiét bi dé quan sat, diéu khién, do, thao tdc tren cdc cu hinh cé kich thudc nano... Vi du dién hinh 1a kinh hién vi Ive nguyén tir (AFM), kinh hién vi xuyén ham quét (STM) véi céc dau dd c6 kich thude nano c6 thé quan sat, do, chup anh céc déi tong cé kich thudc nando. Cac dung cu “kim gap, di chuyén cdc nguyén tit, phan ti, sap xép chting lai voi nhau, cdc thao téc cat tach cdc phan ti hitu co... déu thudc nhom nay. Vic ché tao ra cdc linh kién nano ddi hdi nhiéu cong cu tinh vi (vi du nhu cong cu thao téc nané (nanomanipulation), hién vi quang hoc trudng gin (NOM) c6 d6 phan giai nané do han ché dugc higu tmg giao thoa, cé kha nang phan cuc cdc nguyén ti) ding dé din céc nguyén tir trong qué trinh cdy ghép nguyén tr ciing nhu ding dé thuc hién cong nghé khac v6i d6 phan giai nando. Céc cong cu quét dau dd nané (SPM) dua trén cdc higu img luc, tit, dien, nhiét, quang, hod... 1a nhiing cong cu khong nhiing cho phép quan sat nhan iét hinh thai vat chat cla n6, ma cdn biét vé thanh phan, nhiét do, tham chi ic qué trinh tao thinh cu tric trong cdc 1€ bao sinh hoc hoac trong cdc cham luong tir. d) Linh vue dién tir nand Linh vue dién td nan6 trong dé bao gém ba Tinh vuc xuong song, dé 1a : — Nganh dién ni nano trén co sé vat liéu Si: Nganh vi dign tir da dat duge nhimg thanh tuu I6n lao vé giam kich thudc, tang mat dé linh kién, tang t6c dO hoat dong va gidm gid thanh trén mot chip theo dinh luat G. Moore. Cac kich thuéc kénh trong mot MOSFET dén nay da dat toi 45 nm va du dodn sé dang giam nhanh nifa theo théi gian. Su giam kich thudc trong vi dién tircé lién quan truc tiép dén cac thanh tuu vé céng nghé khac, nhdit 1a cdc thanh qua vé cong nghé khac bang tia cuc tim cuc ngan, khac bang chim tia dién tir hoac khdc bang tia X... nhu da ban ki trong phan cong nghé micrd dién tir. D6 phan giai cia cong nghé khac dang dugc ngudi ta phan dau giam dén 10 nm vao khoang nam 2010. C4c thanh qua than ki cia né da lam thay ddi dién mao xa hdi. Cong nghe micné vA Nano dieu tU 300— Neganh dién ut phan ut (molecular electronics) : Nganh nay di va dang rat duoc chi ¥ tir nhimg nam 1980 tré lai day va ngudi ta dang cé nhiéu ki vong vé cdc ket qua cia né trong tuong lai. — Neadnh dién ut nané sinh hoc (bionanoelectronics): Nganh nay dua trén cdc dac tinh cla cdc cau tric sinh hoc, nhat 1a cdc cu tric gen, ching c6 nhimg dac tinh rat dac biét dé lam ra cdc linh kién cam bién thuc hién mot s6 chifc nang thudéc linh vuc dién cr nhu : déng ngat, Luu tri thong tin, chuyén hoa nang lugng, dién tu thong minh gém cdc loai cam bién va ngudi may (robot)... Ngudi ta dang ki vong Tinh vuc nay sé mang lai cdc thanh qua to J6n than ki, c6 tdc dong 1én dén nhiéu mat cha x3 hoi. e) Trong linh vuc nghién ctu khoa hoc co kich thude c4u truc trung gian (mesoscience) ‘Trong mot vai thap ki tré lai day, cac nghién cifu d6i tugng c6 kich thude trung gian nam gitfa vi m6 va vi m6 dugc quan tam rat nhiéu. Khoa hoc nghién citu cdc déi turgng nay c6 tén chung tiéng Anh la Mesoscience. Hé nay ~ rat da dang, né cé thé chi bao gdm mot nhém cé mot vai nguyén tir hoc phan tw, ching c6 kich thude du nhd, khong mang day dui cdc dac tinh cia mot pha vat chat xdc dinh nhu pha ran hay pha léng... ching han. Cac trang thai lugng th trong cdc cau triic meso tao nén cdc thudc tinh quang, tir va dién tr mdi. Va nhu vay, nhiéu vin dé khoa hoc bao gém nhiéu hiéu ting mdi chua duge khdm pha va hiéu 16, nhat 1a cdc hé chita mot sé ft cdc phan tit, G day cdn luu ¥ mot diéu 1a ranh giéi cua cdc hé trung gian mes6 va hé vi mo nhiéu khi con dan xen vao mhau, khong thé phan biét dugc r6 rang. Linh vuc vdt li nand quan tam chi yéu nghién ctru cdc dinh luat vat li trong cdc hé c6 kich thuée trung gian. Ngudi ta goi cdc dinh luat vat Ii ndi trdi trong viing nay 12 var li mién trung gian (mesoscopic physics). Hién nay, con ngudi con hiéu biét it vé cdc dinh luat vat If trong mién nay vi né con chia dung tinh phifc tap mang cA dac tinh cia hé vi mo va hé vi m6, phy thuc vao kich thudc ciia d6i tuong. Tuy nhién, dé nghién ctu khém pha ra cdc quy Iuat trong mién nay thi trudc hét can phai ché tao ra duge cdc cu tric tuong déi hoan chinh dé nghién citu, diéu nay dang con cé nhiéu han ché va gap nhiéu khé khan. f) Trong linh vuc hoa hoc Viéc nhan thitc vé céc hé th6ng hoa hoc kich thudéc nan6 véi mot vai phan tir da va dang duoc nghién citu dé hiéu 1 hon, né sé 1am tién Jé phat trién va dan hoan thién cdc cong nghé vé ché tao mang, vé xtc tac, phi ma, ché tao linh kién cam bién mdi, linh kién dién tir phan tir... dua trén kha nang lien két va cdu tric ving nang luong (band tailor) & mie do phan tir va nguyen cir, 701 Chuasg 98) Trong linh vuc sinh vat hoc 6 6, cdc hé c&u mic sing c6 kich thude siéu phan tir nim gitta micromét VA nanomét va cdc hé nay c6 thé duge két hop véi céc nguyén ligu phi thé song cé c4u tric nané dé tao nén nhitg thyc thé méi. h) Trong linh vuc co khi Viéc ché tao khudn miu cé d6 chinh xdc cao bang may méc Ia rat can cho khoa hoc va cong nghé nané. Thanh qua vé d6 chinh xc t6t nhat da dat duge bing cong nghé co khi déi véi céc dung cy, may méc, hoac khuon miu... vao khoang 100 nm véi dé min bén mat cé thé dat dugc khodng 3 nm. Cfc cong cu dac biét ding cho viéc tao khuén mau voi kich thudc hiu han c6 thé dat dugc mau chinh xc vao khong 10 nm véi dO phang bé mat vai nanomét. i) Trong linh vuc hé théng vi co dién (Micro-Electro-Mechanical System — MEMS) Céc Ki thuat ché tao cita vi dién tir da ngay cing duge 4p dung dé tao ra céc linh kign ba chiéu véi su két hop ciia cc cong nghé vi co hien dai, cong nghé vi (micro) va nané dién tir, cong nghé vi quang hoc... Sy khic biét co ban ciia céc MEMS dé 1 mot hé thong bao gém nhiéu ching loai linh kién duge ché tao bang nhiéu cong nghé khdc nhau (cong nghé vi co, cong nghé an mon, cong nghé vi dién tit...) trén cdc phign dé bin dan véi cdc mang méng duge ché tao bing céc cong nghé khdc nhau. Tiép sau hé thong MEMS la hé thong nano co dién (Nano-Electro-Mechanical System — NEMS), 6 46 kich thudc cia déi tuong ché tao ra nam trong ving nanomét, dé tién toi che tao dugc cdc hé théng nay con cé nhiéu khé khan thach thitc. k) Su tich hop eta cac nganh khoa hoc va céng nghé nand Cong nghé nand d& va dang duoc trién Khai trong rat nhiéu chuyén nganh khac nhau, hodc trong cing mot linh vuc lai cé cac khia canh rat khic nhau, ching dang tich hgp Iai voi nhau va dan dan rat khé nhan biét dau ia tanh gidi. Tuy nhién, néu xét téng thé thi cé thé nhan thay céng nghé nand duge trién khai chi yéu trong ba Tinh vue chinh, d6 1a: Linh vue ki nghé cong nghé mach ran tao ra boi phuong phap cong nghé top-down, n6 chia dung cdc nghién ctu cong nghé lién quan dén vat rin, nhat 1a vé cdc hiéu tng vat li lugng tit, cdc cong nghé ché tao linh kién ban din va vi mach ; dink vuc sinh hoc tit hang ngan dai di va vin dang phét trién theo céc co ché tu Lip rp, tu té chifc, né da cé trong tu nhién hang triéu nam nay va vin dang phat trién, né da dang t6n tai 6 cdc dang nhan (cells), dang phan tit hay mét sé phan ny lién két lai véi nhau tao nén cdc phan tir 1én hon ; link vuc hod Cong nglhé sticno va navo din W302téng hop, bao gém ca hod hit co va v6 co, cn nghién citu dé c6 thé téng hop lai theo céch cita tu nhién da lam ti hang triéu nam nay va theo cd cdch nhan tao nifa theo phuong thifc cong nghé tir day lén (bottom-up). Mich thude ef tric vat f 7 {Cong ane] Kich thuée lon ign 0.1 mm Ben 7 Cac ung dyng dign tir cia céng nghé nand Kich thud mieré [Sinh hoe Thai “TSinh hoe | L vat ligu té bao. CSc risa ng] O1ym [Sint hoe lwgng tir Cac khém pha | phan ty Cae linh kign ign tie tich hop vé 4 FTnidt ke phan tif C8 nh kin quang tr] nguyén ti sinh hoc, Kich thuée nané chire nany Sensor cc dinh luat vat li, Biochip 8c tinh chat hoa hoe [roatee | Hoa hge |] _Hoa hoe | Hod hee || thop |[sieu phan te oan POS 1380 1980 Hiénnay =» -2020 2040 cam Hinh 9.2. Suhdi nhap cua ba finh vuc : vat li hoc, hod hoc va sinh hoc dé tao ra cac san phdm trong céng nghé nané din dén nhiéu ing dung quan trong trong tuong lai. [Theo M. C. Roco, Journal of Nanoparticle Research, 2001} Hinh 9.2 biéu thi su h6i tu chi tiét hon vé cdc Jinh vuc trong cong nghé nan6 theo thdi gian va du dodn su tich hop cdc linh vuc trong cong nghé nand thanh mot Iinh vuc khoa hoc t6 hop da nganh cé lién quan mat thiét véi nhau, khong thé tach rdi vao nhiing thap nién dau cita thé ki XXI. 9.5. MOT SO KET QUA CUA CONG NGHE NANO, NHUNG DY KIEN SAN PHAM MOI VA CO HOI 9.5.1. MOT SO HIEU UNG LUONG TU DA PHAT HIEN KHI GIAM K/CH THUGC XUONG NANOMET ~ Khi gidm kich thude xudng cé nanomét thi mot so higu ting luong tir mdi ty nhién néi troi ma khong céin thay déi chanh phén hod hoc, vi du nhu 303 Chuong 9mau sac, nhiét d6 néng chay, Mot s6 higu ting Iuong tir lien quan dén dac tinh nhiét, dién, tir, quang... c6 thé ndi toi ma trude dé chua xuat hién, vi du hat TiO, 6 kich thudc nanomét c6 dac tinh quang xc téc cé thé diét khudn, khir khi déc, hat cat tu nhién bing chay khi 6 kich thudc nanomét.... — Khi giam kich thudc thi ti s6 gitta bé mat va thé tich kh6i tang lén va két qua 1a cc hiéu tmg bé mat chiém uu thé, cdc tuong tac hod hoc, xtic tac, dy trit nang luong, tong tic véi moi truéng, kha nang hoat hod trong thudc chia bénh ciing tang lén. ~ Khi kich thudc vat liéu nho sé din dén vat liéu ding dé ché tao ra san pham can rat it, nang luong tiéu thu it, luong chat thai it di. Nhu vay, cong nghé (ao ra cdc sin phém sé khong anh hudng déng ké toi moi trudng. — D6i véi céc linh kign va hé thong dién tir & kich thudc nanomét sé rat nho bé va do vay din téi quang dudng bay cua hat tai rat ngan, thoi gian bay rat ngan, hay téc do hoat dong rat nhanh, tin s6 hoat dong sé rit cao. — Kich thuéc linh kién bé dan t6i cé thé ché tao dutoc mat do linh kién cao hon, nang long tiéu hao rat it, gid thanh s4n phdm sé ha xuéng. — Trong mién kich thuéc trung gian, “kich c6 mes6”, thi cdc tinh chat cla vat chat khong bi vat li cd dién va ciing khong bi co hoc lugng tir diéu khién, chting bi anh hudng va mang dac trmg hén hop cita cd hai thé gidi vi m6 (microscopic) va thé giéi vi m6 (macrocopic). Hién nay ching ta da co thé ché tao duoc nhimg c4u tric nan6 ti mot vai nanomét dén mot tram nanomét, Kich thuéc nay vin cdn Ién so véi mét phan tir. Trong mién kich thudc trung gian meso nay, thudng rat khé nghién city vé hanh vi thé hién cila vat chat, vi mot mat 86 cdc nguyén tir chtta trong dé Ta qua lén dé c6 thé mo ta chting qua cc dinh luat cia co hoc lugng tir, mat khac nhimg hé nay Jai chua dit 16n dé c6 thé 4p dung cdc dinh luat cha vat Ii cé dién. Trong thé gidi mes6 nay, cdc hé cé thé biéu hién nhimg tinh chat rat khdc thudng, khong theo cdc quy luat da biet. Cho dén nay, bic tranh vat li ciia thé giéi nand con nhiéu diéu chua duge nghién cit. Tuy nhién trong thdi gian gén day, mdt sé nguyén Ii co ban, hoan toan méi lién quan dén tinh chat cha thé gidi mes6 da dugce nghién cttu, nd da cho thong tin r6 ring hon. 6 day cé thé néu mot s6 vi du nhu sau : — Nam 1987, mét nhém cdc nha nghién cif tai Trudng Dai hoc Téng hop Delft (Ha Lan) da sang ché ra mét cdu tric ban din mdi. Trén cdu tric nay, ngudi ta di phat hién ra do dan dién cda cu tnic bin déi theo nhing bac nhat dinh. Khoang cach gitta cdc bac thang ti lé v6i binh phuong cila dién Cong nahe micro va NaNO dien W304tich ; hang s6 ti lé nay chinh bang x (h la hang s6 Planck). Diéu nay ching t6 do dan dién trong cdu tric nané da bi luong tix ho. Tai Dai hoc Cambridge (Anh), David Wharam va Michael Pepper ciing quan sat duge hiéu img nay. Cho dén nay, nhiéu nha khoa hoc da hiéu r6 tinh chat dac trmg nay, d6 1a dae tinh vé su lugng tit hod dé dan dién. — Céc hiéu tg don nguyén tir sé chiém um th€ trong céc linh kién c6 kich thudc mes6, vi du nhu “dao” phong toa Coulomb (Coulomb blockage). Dao phong tod Coulomb 14 mot linh kién cé cdu tric nand. Cau tnic nay dang dugc hi vong sé trd thanh m6t linh kién tranzito mot dién tt thudc thé hé méi. Khi ngudi ta dua mot dién tit riéng lé Jen m6t dao phong toa Coulomb, nhimg hiéu ting vat li xay ra cang manh hon néu dao nay cang nhd. Nguoi ta da du dodn rang, dén khong nam 2014, kich thudc nhimg tranzito nhé nhat trong cdc chip my tinh sé nit xuéng chi cdn 20 nm. O d6, méi qua tinh déng mo ca tranzito sé chi lién quan t6i dién tich cha khoang 8 dién tit. Nhu vay, dé thiét ké mot linh kién nhu thé, phai hiéu biét ki vé cdc hidu tng mot dién tit. — Dén nam 1987, tai phong thi nghiém cia Hang Bell (hién mang tén la Lucent Technologies), ngudi ta da ché tao thanh cong chiéc tranzito mot dién ti dau tien va ngudi ta da quan sat thay hi¢u tmg don nguyen tir thé hién & nguéng thé nang cla mot dién ti cé vai trd rat dac biét trong viéc tao ra dong dién cing nhu ding dé chudn dién tich ma tude dé chua biét rd, Dén nay, ngudi ta da ché tao ra cdc ddo phong tod Coulomb 6 nhimg hinh dang khac nhau. Trong cdu tric nay, ln dau tién ho cé thé diéu khién chuyén dong cia mot dién tt riéng lé theo ¥ muGn. Trong thiét bi nay dong dién chay qua cdc tiép giap xuyén him khéng phai 1 dong lién tuc ma c6 thé diéu khién timg dién tir dé di qua tiép giép xuyén him vao dao phong tod Coulomb. Linh kién nay duge coi 14 mot loai sensor siéu nhay ding dé do dién tich. Vay linh kién don nguyén tir 1a mét thé Joai linh kién hoan toan mdi. Viéc tiép theo Ia lam sao c6 thé ché tao ra céc linh kién nan6 c6 tinh én dinh, cé thé tich hop véi cdc linh kién khdc trong mach t6 hgp, 46 chinh 1 nhing thach thitc 16n ma Tinh vuc mé6i ca dién tt hoc phan tir phai d6i mat gidi quyét trong tuong lai. ~— Tirnam 1990, Bell - Laboratories 6 New Jersey da bat dau nghién ctu manh vé su chuyén tai dién tir trong chat ban d4n kich thudc trung gian (mesoscopic system). Phai dén nam 1992, cdc nha khoa hoc & Vien Cang nghé California tai Pasadena va Dai hoc Uta (University of Uta) méi sang ché duge cdc thiét bi dé truc tiép do ddng nhiét chay trong cdc c4u tric nan6é véi viéc ting dung cia vat ligu siéu dan. Nhiing két qua cho thay, dong xuyén hdm chi yéu do dong phat xa nhiét gay ra va mot van dé dat ra 1a phai c6 305 ‘Chong 9mot long ut truyén nhiét t6n tai, nghia 1a nhiét lugng toi da dé c6 thé chuyén tai tao ra mot dao dong co hoc dang s6ng lan truyén et dau nay sang dau kia cha mot c4u tric nand. Trong vat Ii, dao dong da luong wy hod gitf vai trd chuyén tai nhiét trong vat li¢u chinh Ia phdndn. Luong tit nay 1a mot dai Ivong quan trong ciia dién tit hoc nand. Né thé hién su gidi han cla cong suat mat mdt, dé la mot van dé I6n rat can ban cha nganh Dién tw hoc. Khi cdc linh kién dién ti hoat dong, déu cdn mot lugng nang lugng oi thiéu nhat dinh, Khi lam viéc, nhiét thudng xuyén toa ra va dé ching 1am viéc én dinh thi phai chuyén luong nhiét luong dé ra ben ngoai cang nhanh cang t6t. Mat 46 trong vi mach cang !6n va tn sé nhip cang 1én, su lam lanh cdc mach té hop cng tré nén quan trong. Tir cdc vi du trén, c6 thé nhan thay, ching ta chi mdi 6 giai doan ban déu kham pha ra m6t s6 tinh chat mdi, phttc hop va mang tinh da dang cha cic hé nano. Su phat minh ra cdc lugng ur dan dién, din nhiét va mot s6 dac tinh cia dao phong toa Coulomb da dua chting ta cé mot su hiéu biét mdi va 6 day ngay ca phuong phap tiép can cing phai rat khdc. Hién nay, chting ta con chua cé nhiéu sé liéu thong tin dé coi dé 1a cdc quy luat co ban, nhung chac chan rang viéc lugng tir hod do ddn dién va din nhiét, va cdc hieu tmg don nguyén tir cé thé coi 14 nhig hiéu umg co ban trong cong nghé nano. Trong tuong lai gan, chac chan chiing ta cdn gap nhiéu hién trong mdi, tuy nhién ching ta cin phai vuot qua nhiéu thach thtic mdi cé thé hiéu hon vé khoa hoc va cong nghé nano. 9.5.2. VEMOT SO CHUNG LOAI SAN PHAM HIEN DANG DUQC QUAN TAM CUA CONG NGHE NANO Trong giai doan dau nghién ctu va phat trién cong nghé nano, da cé kha nhiéu sin phdm rat da dang. Tuy nhién, duéi day chting ta c6 thé thong ké san phdm vao m6t sé Tinh vuc chinh nhu sau : — Loat sin phdm vé dién tir nano — quang dién tir : gém cdc cau hinh linh kién mot dién tir, tranzito mot dién ti, bO nhé vai dién tit, cham lugng tu, laze chém luong ttr va photédétecto, ULSIC, MEMS, cdc vat li¢u ban dan cdu tric nando, cdc siéu mang... ~Trong cong nghiép hod hoc : cdc vat ligu ding trong xtic tac, chat mau, bién déi mau, ki thuat in laze, ché phdm thudc, chat din xuft... — Trong céng nghé nang lugng : cdc vat liéu tich trix nang luong, pin hidré, pin Li (liti), pin Mat Tri... Cong nqhié micno va avo dien © 308— Trong y sinh : thudc chita bénh, m6 nhan tao, cdc phuong tién chudn doan, quan sat, diéu tri, céc loai ché phdm sinh hoc, cdc phuong phap chudn dodn va chita bénh (noi soi, vi phdu thuat...). — Trong hang khong ~ vii tru : vat liéu siéu bén, siéu nhe, chiu nhiét cao, chju biic xa... — Trong cong nghé cam bién (sensor) : cam bién nhay khi doc & dang mii dién tit, mat dién tl, cam bién sinh hoc, robot... — Trong cong nghé moi trutmg : nhiéu san phdm co thé img dung trong cong nghé xt {i m6i trudng, vi du : bot nan6 TiO, dudi tac dung cia tia cuc tim cé thé diét khudn, khir khong kbf 6 nhiém, chéng dinh nhu hiéu ting hoa sen... Dy kién cong nghé nané trong tuong lai gan sé mang lai loi nhuan hang nam nhu sau : ~ Cong nghiép dign tir: 300 ti USD — Nganh dugc phdm : 180 i USD — Nganh hod hoc (xtic téc, dau khi) : 100 ti USD — Cong nghé moi tnring cé thé giam 10% nang lugng, nhu vay cé thé tiét kiém duge 100 ti USD. 9.5.3. NHUNG HUONG PHAT TRIEN VA CO HOI TRIEN KHAI CHO CONG NGHE NANO Huéng dén cong nghé nané cdc nha khoa hoc va cong nghé hoc da thay duge nhiéu Tinh vuc cé co hdi dé 1am thay ddi cin ban nhimg qua trinh va nhing thiét bi hién tai nhim dé tao ra cdc b6 phan cong nghiép hoan toan méi. Cc Tinh vuc c6 co hoi phat trién c6 thé ké ra nhu sau : a) Vé Tinh vuc dién tr — Nhimg hé thong luu trit dir ligu duoc t6i thiéu hoa voi dé én dinh lau dai va kha nang luu tri rat lén dua trén cdc vat liéu va linh kién méi (spin- tronics, MRAM...), 6 téc dé cuc nhanh, cé thé so sénh duoc véi kho lwu trit cha cdc thu vién quéc gia. — Nhimg may tinh trong twong lai gan cé cdc 6 cimg rat nhé vdi dung lugng rat lon nhd tg dung cdc cong nghé dién tir spin, ching c6 dung long ngang vdi cd mot trung tam may tinh ngay nay. Nhitng dia tir mini ma cé thé chtta dung tat ca cdc ban nhac cé dién, 307 Chuang 9— Nhing chip dién tir mini cé kha nang chifa dung phim anh di chiéu trong hon 1000 gid lién. — Trén co sé cdc thanh qua vé cdc chip nan, cdc chip duge san xuat véi sy tich hgp cia nhiéu Joai cong nghé khdc nhau cé thé chita dung rat nhiéu linh kién khdc nhau, d4n dén qué trinh tao nén cdc hé thong thuc thi cdc nhiém vu trén cing mét chip (system on chip) v6i mitc dé t6 hop rat én. Tren co sO nay, ngudi ta dang hi vong trong tuong lai gin nhimg thiét bi trayén thong nhu dién thoai di dong sé duge tich hop hau hét céc chitc nang nhw : dam thoai thong tin qua dién thoai, nghe nhac MP3, chup anh vi do phan gidi cao, xem tivi, truy c4p internet, xem phim tryc tuyén... trén mét thiét bi rat bé nhé nhu dién thoai di dong. — Cong nghé nan6 da duge tré thanh du dn san xudt nhuong quyén, hang nam tri gié khoang 30 ti USD cho nganh cong nghiép ban dan va du kién trong véng 10 + 15 nam tdi sé cho viéc ban IC tich hgp toan cdu. b) Vé finh vuc y té — Cac cam bién siéu nhay dé do céc thong sé m6i trudng, do cdc thong 86 trong thuc ph4m va trong co thé ngudi. ~ Cong nghé nano da va dang tao ra cdc kha nang kham va chita bénh méi c6 hiéu qua cao, sé gitip kéo dai tuéi tho, cai thin chét long cudc song, va mé rong nhimg kha nang vé thé luc cua con ngudi. — Huyét thanh va duoc phim cé kha nang diéu tri dai ngay va cd thé ding qua duémg ung, khong can dua qua con dudng tiém vao co thé ngudi. — Su thay thé cho cdc mé hoac cdc van sinh hoc 6 tinh tuong thich vio bén trong co thé ngudi tro nén ngay cang dé dang va thuan loi. — Céc chip chn dodn ré tién va c6 thé tai sir dung trong xét nghiém y hoc du phong. ~ Kha nang vo tring khi ding mang vat li@u nan6 (vi du mang TiO,) voi hieu tmg quang xtic tac dé bao vé, chéng nhiém khudn d6i véi cdc dung cu yté ©) Trong linh vuc san xudt ché tao — Nhiing nguyén liéu cé trong lugng siéu nhe khong bi an mon voi suv 6n dinh co hoc cao, chiu nhiét rat lén sé ra doi va duoc ting dung rong rai. Cong iicrd VA NaNO dien E308— Cac mang kinh 16n duge phi mang TiO, trong cdc céng trinh kién tric véi kha nang ngan chan su bam dinh gan nhu khong cé mot giot mua hay mot hat bui lot vao. — Ché tao thay tinh véi céc Iép hoa van trang trf khong cé doc tinh nhu hién nay (do ding mot sd loai bot kim loai déc dé tao mau sac). ~ Nhimg t4m cira sé nhua trong luong nhe véi cdc 6p bao vé cing trong sudt hodc cdc vat chiu ma sdt t6t ma khong c4n dén dau nhét bdi tron danh cho cong nghiép 6t0. d) Trong linh vuc nang lugng — Nhimg kha nang t6n trit hidro ré, stt dung c4c nguén nang luong tai sinh... am co sé thic day nhiéu nganh san xudt phat trién véi gid thanh ha. — Cc té bao pin Mat Trdi duoc cai tién trén nén tang cha su quang hop tu nhién. — Nhiéu tinh ton khdc nhau da duoc thuc hién vé nhiing lgi ich kinh t€ do cong nghé nan6 mang lai, nhung nhimg toi ich kinh té nay can duoc can nhac can than véi mot sé diéu kién cy thé thich hop. e) Trong Iinh vuc hoa hoc va dugc phdm — Sé c6 khodng mot nia trong sO tét ca cdc qué trinh san xuat thudc sé dya trén cong nghé nano trong vong mot vai thap ki toi. — Trong khoang 10 + 15 nam téi, nhimg chat xtc tac c6 cau tric nand vdi cdc tmg dung kha rong rai vao cdc cong nghiép xir If dau mo va hod chat sé dugc san xudt véi doanh thu hing nam khodng 100 ti USD. f) Vé méi truong Trong khoang 10 + 15 nam 16i, nhiéu dy dn nghién cifu chi ra rang, viéc chiéu s4ng cao c4p dua trén cong nghé nano cé tiém nang lam giam sw tiéu thu nang lugng toan cdu xudng khoang 10%, mang lai su tiét kiém duoc khoang 106 ti USD hang nam, sé Jam giam tuong img su phat ra khoang 200 triéu tan CO,. Co thé ndi, mot sé thanh qua méi dugc tao ra béi cong nghé nané trong tuong lai gan c6 thé lam thay déi dién mao mét sé finh vuc trong dai séng xa hoi, va khi d6 thi nhiéu khai niém méi céing sé ra doi, nhiéu loai hinh cong ty méi mang dac thi cia nén san xudt bang cong nghé nané cing ra ddi vA phat trién. 309 Chuang %9.6. MOT SO DOI HOI CAP THIET DE PHAT TRIEN VA CAC THACH THUC a) Ddi hoi phat trién vé do juong nané va dua ra cac tiéu chudn Hé théng do Luang va cdc tiéu chudn nané sit dung trong ché tao nano, citing nhu trong thuong mai hod cong nghé nané dang cé cdc doi hoi cap thiét, 1a yéu t6 cé vai trd then chét trong viéc phat trién cong nghé nano va ché tao cdc sin phim nané mang tinh quy chudn, tuy nhién trong Tinh vuc nay dén nay van chua duoc phat trién nhiéu, chua dap img duge cdc yéu cau hién tai. Ngudi ta dang cé dé xuat lay hé don béi gen (anometrology) su dung 1am cong cu do cho viéc phat trign cla cong nghé nano. Tuy nhién, nhimg thach thife cén rat to 1én 6 rat nhiéu Tinh vuc trong viéc xay dung va phat trién mot hé tiéu chudn hia hiéu chung dé cé thé dude cong nhan 1am tiéu chudn cho cong nghé nand. Vi du, viée xéc dinh kich thude nano cia mot d6i tong véi 6 chinh xdc nhé hon I nm so véi mau chuén 1a mot van dé rét khé khan hién nay. Dac biét, né cén gap nhiéu khé khan hon nhiéu trong viéc trién khai va diéu khién cdc qué trinh san xudt, ché tao ra cdc sin phdm kich thuéc nano, vi cdc qué trinh san xuat cing can phai tuan theo cdc quy chuan nghiém cla hé tiéu chudn nané, trong khi d6 cdc quy chuan trong cong nghé ché tao cing lai chua duge phat trién hoan thién. Dén nay cdc mau vat ligu chudn tham chiéu trong Iinh vuc nano cing chua cé san dé cé thé kiém chudn ddi voi cdc san phdm lam ra. Hién nay, di c6 mot s6 nude dang xtc tién manh trong linh vuc phat trién cac hé do lung tiu chudn nand, trong dé phdi ké dén Vien Quéc gia vé Tiéu chudn Cong nghé clla Mf (National Institute for Standard Technology ~ NIST), 6 d6 c6é mot sé diéu kién tot dé trién khai ché tao Hand v6i cdc tieu chudn guy chudn, Cac nha khoa hoc trong Tinh vuc nay ciing dang ban va dua ra mot sé muc tiéu vé tiéu chudn c4n dat dugc trong vong 5 = 10 nam tdi, cu thé : — Hoan chinh réi dua ra cdc mau kich thuéc khic chudn 6 dang mu tiéu chudn c6 kich cd 3 nm, 10 nm va 30 nm dé lam tiéu chudn cho ki nghé khac nano. — Cai thién cdc phuong phdp do ludng nano cho c4c mau kich cd nano. ~ Lugng tir hod viéc truyén din cac hat tai trong cu tric nand dac trung. Tuy nhién, 6 day c4n luu y rang, cdc tiéu chudn hay mau chuan can cé cA tinh dac thi riéng, song cing cén cé tinh thong dung va hitu ich dé nd cé thé dugc cong déng quéc té chap nhan. Cac hé tiéu chudn sé déng vai tro Cong nghe micro va nano div 1d 310quyét dinh trong viéc 4n dinh cdc tiéu chudn san xuat cha nguyén vat liéu, quy trinh ché tao va ca cdc ki thuat kiém tra do luéng. Cong nghé nané tao ra nhiéu co hoi dé tao lap nén mot nén tang mdi hoac tao ra céc chudn thit cp. Vi du, tirnam 1990, cdc dién tro Hall da lung hod duge sit dung trong cdc phéng thi nghiém chudn quéc gia dé biéu thi tre khang. Nhimg dién tré nay Khi lam lanh dén 1 K (d6 kelvin) hodc thap hon trong tu trudng c6 vai tesla, gid tri cua dién tro hau nhu khong thay déi ding ké. Mot vi du khac : Vién Quéc gia vé Tiéu chun Cong nghé cla MY dang tien hanh nghién ctu chién luge dé phat trién vé do lutng va cc mau chudn nham hé tro chuong trinh “Séng kién quéc gia vé cong nghé nano”. Cac muc tiéu chinh cua chuong trinh bao gém : ~— Chuan nhiing phép do vé do dai 6 dai nguyén tir, chudn vé khéi luong, vé cdu tnic hod hoc va cdc thude tinh khdc. — Nhiing cong nghé ché tao mdi 6 ving kich thude nano dé six dung cho cong nghiép trong viéc ché tao cdc linh kién mdi 6 mic phan tt hoac nguyén tir. — Nhiing phuong phdp san xuat méi. cdc dit ligu va nguyén vat liéu dé chuyén giao qua tiéu chudn cha NIST dén cdc nganh cong nghiép va dé dam bao vé chat lugng cia cdc san pham thong mai méi dua trén nén san xuat cla cong nghé nano. b) Van dé gido duc va dao tao nguén nhan luc Khi cong nghé nano phat trién va hdi tu lai, trong dé mang tinh da nganh, thi cdc nganh hoc khong cdn mang tinh tach biét ring ré nhw trudc day, chting cé su dan xen vao nhau, nén viéc soan lai cdc gido trinh giang day 6 cdc tnrdng hoc fir phé thong lén cdc bac dai hoc, sau dai hoc cing cén cé su thay d6i. Do cé cdc sy dan xen lin nhau nén cdc truéng hoc hoac hoc vién sé phai quyét dinh nhimg su thay ddi can thiét dé gia tang su tuong tac, dan xen lin nhau gida nhing nganh hoc. Su thach thifc sé dat t6i ca chiéu rong va chiéu sau dé tao ra con ngudi cé kha nang hiéu biét da nganh, hiéu rd cdc khdi niém méi, nganh nghé mdi lién quan dén céng nghé nano va san pham cilia n6. Cac khod hoc vé vat ligu mdi, vé khoa hoc bé mat, dong hoc phan ti, cdc higu img luong tir trong ving trung gian mesé va ché tao vat chat 6 mite phan tt cé thé gitp cho viée dao tao t6t hon, cé higu qua hon so véi cdc phuong phap dao tao truyén thong. Dén khi d6 mdi cé thé d4p ting 6 mot mic dQ nao d6 vé dao tao nguén nhan luc theo cdc tiéu chi mdi cia khoa hoc va cong nghé nano. m Chuang ¥6 cc nude cé nén kinh té nhé va con kém phat trién, 6 dé chua cé tiém nang tai chinh manh dé trién khai khoa hoc va cong nghé nano 6 dién rong, thi viée gido duc va dao tao cfing vn cé nhu cdu tao ra nguén nhan lute o6 su hiéu biét kién thite da nganh va ca tinh chuyén sau nita dé c6 thé nam bat dugc cdc xu thé phat trién vé cong nghé mdi, sin phdm méi, va nguén nhan luc dy & mtfc dO nao day cfing cé thé thuc thi dugc nhimg nhiém vu hay thao téc theo yéu cau cla cong nghé nano. M6 hinh vé céch tiép can c6 thé trién khai duge Ia tao ra cde trung tam cong nghé cao thich tng trong pham vi 6 cdc trudng dai hoc va ri sir dung nhimg trung tam nay dé lién két vi cdc nganh cong nghiép. Cc trang tam cOng nghé nano cé thé cung c4p mot moi trudng voi cdc diéu kién nghién ctw va cdc nhém nghién ctu vé hoc thuat mot cach da dang dé tir dé cho phép dao tao mot thé hé moi cdc nha khoa hoc cong nghé tré. Tuy nhién, viée trién khai manh mé hinh nay khong phai la dé ding, con gap rat nhiéu khé khan thdch thttc, mac dit vay, viéc gido duc va dao tao ra mot thé hé cdc nha khoa hoc tré va cdc cong nhan Tanh nghé vé cong nghé nano [8 rat céin thiét, khong thé khong lam. c) Van dé vé dau tu tai chinh cho cong nghé nand Nhiéu chinh pha da nhan thay tiém nang cla cong nghé nano, nén di i trg dic biet cho finh vuc nay. Phan 1én céc quéc gia phat trién tren thé gidi da nhan thdy vai trd quan trong cla cong nghé nané trong tuong lai, mdt sé quéc gia da déu tu rat manh, rat nhiéw nudéc & chau Au, chau A..., dang chi y la cdc nuéc nhu Nhat Ban, My, Anh, Duc, Trung quéc, Han Quoc... di cd cdc chuong trinh quéc gia trong diém nghién citu vé cOng nghé nando. Cu thé, nhu & Nhat, mot s6 bo nganh da dng ho tai chinh cho cdc churong trinh tai tro dai hoi vé nhiéu linh vuc cha cong nghé nano. Tai Anh, da c6é mot dé dn “Sdng kién quéc gia vé cong nghé nan6” duoc tng ho manh dé nghién ctu vA tuyén truyén nham 1am gia tang su nhan thi vé cong nghé nano trong cong nghiép. O MY, “Sang kién quéc gia vé cng nghé nan6” cing phat trién yat manh, lam gia tang manh mé viéc tai tr¢ cho cdc co quan va cdc B6 nganh thudc Chinh phi M¥. Toan bo sé tién tai tro cho hoat dong trén 6 Mf da tang rt nhanh ty 116 trigu USD nam 1997 dén 422 tri¢u USD nam 2001 va hién nay van dang dau tu rat Ién cho linh vuc nay. O chau Au, hau hét cdc quéc gia déu c6 mét hoac nhiéu chuong trinh nghién ctu danh cho cong nghé nané. Mang luéi nghién cttu chung dang duoc phat trién thong qua Lién Cong aghe Micro vasano din ni 312minh chau Au BU va nhiéu chutong trinh cong téc nghién cifu khdc. Mot s6 nuéc Bac Au nhu Phan Lan, Dan Mach ciing dau tr cho cong nghé nano dat dén 120 trigu EURO vao nam 2010. Céc nuéc khéc & chau A, dac biét 1 Trung Quéc, Han Quéc va Dai Loan ciing dat su chi trong manh mé dén viéc nghién ctu vat liéu c4u tric nano. Tai Han Quoc, su tap trung chu y chinh 1a vao viéc ting dung vat ligu nano trong cong nghé tin hoc. Vat ligu linh kign nané, nhat 1a vat liu quang hoc va mot s6 Tinh vuc truyén thong khdc da duge khdi dong tir chinh phi va cdc tap doan tu nhan. d) V4n dé cing hop tac va chia sé chung cdc nguén d4u tu dé phat trién cong nghé nand Nhiing méi quan tam vé viéc xay dung phat trién co sé ha ting cho cong nghé nano da rat dugc chu trong, vi du nhu dau tu xay dung cdc diéu kién ha tang co sé can thiét, ddu tu dé thay ddi co ban nhitng phuong phdp tiép can nghién ctu va dao tao, tang nh§n thie cdc chuong tinh danh cho cong nghiép, tang su nhan biét cc co hdi trong cong nghé nan6... Doi véi cdc nude cé nén kinh té chua phat trién thi lién két v6i nhau cing déu ty, cling khai thac 1a rat cin thiet. 6 day, diéu can luu y dé 1a viéc dau tu trong diém sé 1a yéu (6 quyét dinh, tuy nhién, ngay dén nhiéu nén kinh té manh nhit ciing sé khong dui kha nang trang trai dé c6 dugc nhiéu cum phong thi nghiém nghién cifu manh, di kha nang trién khai cdc nghién cifu vé cong nghé nano... Do d6, viéc chia sé giita cdc phong thi nghiém trong mét quéc gia hay giita mot 6 quéc gia 1a rat cén thiét dé tao ra cdc co sé nghién cifu di manh. Viéc lap ra céc phdng thi nghiém chung nhu thé c6 thé cung cap cdc dién dan rat tot cho viéc hoa déng céc ¥ tuéng tir mot nganh nay sang nganh Khdc, va ciing nham chia sé thanh qua phat trién cua cong nghé nané 6 dién rong hon, mang tinh da quéc gia hon. e) Van dé thuong mai hoa trong céng nghé nano DE ném duge cdc loi thé va nhimg co hdi trong céng nghé nano, nhiéu cng ty va nganh cong nghiép trong c4c linh vuc kinh té sé cn phai thay déi mét cach can ban cong tac quan li, nhiing cach tiép can va cdc chién luge mang tinh truyén théng theo Iéi ci khéng cén thich hop. Mét cudc hi thao 6 Australia vio nam 2001 vé “Cong nghé nané doi véi cdc nganh cong nghiép cua Australia” di néu ré cdc van dé véi céch tiép can mdi cla cong nghiép tdi cong nghé nano ddi véi cdc nén kinh té san xuat nhd trong cong téc hoach dinh cdc nganh cong nghiép chia dung tém nhin xa. Hién nay, 313 Chuang 9ngay ca trong nhimg nén kinh té c& 1én cé tiém luc cing van cé nhimg véin dé vé tm nhin xa va hiéu biét chua diing mic. Mot 6 hang c6 tiém luc phat trién hon, tuy cing da nhan ra tiém nang Ién cla cong nghé nano dudng nhu 1a vO tan, song cdc hang nay ciing kha ling ting vé déu tu vao dau, dau 1a thang loi cba cong nghé, nhiig van dé khé khan va lim sao nhan dang duce ching. Mot su can tr khdc 1a mot s6 don vi dang han ché céc chife nang nhiém vu cla minh thay vi phai di sau mé rng tich hop nhiéu linh vue dé cé cdc lién két rong nhu cong nghé nano doi hoi, Nhing nén kinh té nhé khac cing phai chiu chung nhiing cdi nhin han ché’cta nhiing nha lanh dao vé cong nghiép. Va két qua 14 cdc dau tu tai chinh cho cong nghé nano tir cong nghiép con dang & mite do han ché, dé dat. Tuy nhién 6 Mf va chau Au, noi c6 nhiéu cng ty cong nghé cao, nhiéu nha nghién ctu tim huyét voi nhiéu thanh qua nghién citu méi mé da dat dugc 6 d6, da xuat hién nhiéu t6 chite tai tr lun sin sang dng hd cdc xu hudng méi mé. Két qua 1a, céc xi nghiép c@ vita va nhé vé cong nghé nano da duoc phat trién kha manb. Ho lién két chat ché vdi vién nghién ctu 6 céc trudng dai hoc nhaém thuong mai hod céc thanh tuu cong nghé nano dat duoc. Méi quan hé gitfa céc nba doanh nghiép va truGng dai hoc cong nghiép c6 thé manh da tao nén mot su nang dong va dac biét quan trong trong nhiéu su thanh cong cia cdc hang méi. TRINH THUONG ING NGHE NAN CAC VIEN NGHIEN CUU |CAC TRUONG BAI HOC (Khoa noc céng nghé méi, ‘(Nghién cd co ban, | Yat ligu, cc dc tinh...) kkhoa hoe, I thuyt méi.) 5 econ o? Noe Hinh 9.3. Mé hinh lién két gita nghién city phat trién san xuat va thuong mai trong céng nghé nand duge Hiép héi cc nha khoa hoc 46 xuat cho tugng lai gan. [Theo Technology Roadmap for Nanoelectronics (2003) va Nano technology Business Roadmap) Cong xGhe micro vA nano diew 1! m4Hinh 9.3 thé hién 16 trinh nghién ctu phat trién cong nghé nané. qua trinh ché tao va thuong mai hod da duge dua ra rat chi tiét boi Hiép hoi Dé xuéng Thuong mai Cong nghé nané, NBCI (Nanotechnology Business Creation Intiative), Nhat Ban trong nam 2003. L6 trinh nay ciing da dua ra 8 Tinh vuc co thé thuong mai hod trong cong nghé nano dén nam 2020, dé 1a: — Nané dién tir; — Cong nghé sinh hgc va mi phém ; — Cac pin tich tri nang luong ; — Moi trudng : — Ché tao nano cé d6 chinh xdc tinh vi; — Vat ligu xtic tac, tim phil va compédit ; — San phdm trong hang khong, van tai ; ~ San phém do ludmg nané va céc thiét bi do danh gid. Trong mdi Iinh vuc cing dua ra cdc 16 trinh chi tiét vé thuong mai, wi du trong linh vuc nané dién tir, cdc san phdm du kién sé 1a cdc vat ligu mdi, cong nghé ché tao vat ligu mdi, cdc linh kién nan6, cém bién nano va cdc man hinh chi thi sé dugc trién khai 6 dang thuong mai vao nhing nam 2010. Con cdc san phdm vé cong nghé sinh hoc va mi phdm sé trién khai 6 dang thuong mai vao nhiing nam 2015, cdc san phdm vé pin nhién liéu trién khai manh vé thuong mai vao nhimg nam 2020. Nghién cifu phat trign chién luge trong cong nghé nano, & dé dang cé sur fim kiém mdi mé va ngay cang cé nhiéu thanh tyu mdi, dang rt dude quan tam. Cac nha phat minh cén co su gitip dé tat trg dé cé thé nhanh chéng nhan dién duge ¥ tuéng méi nham chuyén giao nhanh cdc thanh qua nghién cu méi & dang cc san phim. f) Cac thach thac Cong nghé nané hién nay méi dang 6 thdi ki hinh thanh phat trién ban dau, bao gém tir viéc hinh thanh cc y tudng dén viée trién Khai cdc thi nghiém, danh gid két qua, phat trién cong nghé... déu 1a cdc linh vue cén dang rat mi mé, chua tich Inj duige nhiéu kinh nghiém, Ciing chinh vi thé, khoa hoc va cong nghé nan6 con khé mdi la, chtta dumg nhiéu khé khan thach thiic chua doan hét dugc. 5 Chuong 9© Cac khé khan thach thitc 6 tdm vi mé cé thé néu khdi quat nhw sau : — Céng nghé nano méi dang 6 giai doan dau, vi vay con dang gap nhiéu khé khan thach thitc vé cong nghé, vé do ludng, quan sat, thao tac, tiép can va gan két voi thé gidi vi mé nham dua ra tmg dung rong rai. Con dudng nay con dai va kha khé khan. ~— Hién nay dang con rat thiéu nhan luc, su hiéu biét ciing con khd han ché, cin dao tao dé cd mot luc Iugng cdn b6 khoa hoc cng nghé dit manh. ~ Can cé kinh phi di én dé dau tu c6 quy mo hon, mang tinh déng bd dé c6 thé trién khai nghién cfu va san xuat. — Cn cé cdc nghién citu co ban dén dau, cén nim bat cdc ¥ tuong, uién Khai va lam chi cong nghé cao, ddy manh cdc nghién ctu phat trién va nghién cifu wing dung. — Cn cé thiét bi cong nghé déng bé va hién dai, cn cé nén cong nghiép hé tro di manh, hién nay con rat thié ~ Can cé méi quan hé hop téc quéc té rong rai va hiéu qua. — Cin c6 ddi hdi, nhu céu cia thyc té va cé dinh huéng phi hop, nhat 1a cdc nuéc chua c6 nén kinh t€ manh. © Mot sé khé khan théch thitc cu thé c6 thé néu ra nhu sau : ~ Hién nay, con ngudi phan Ién chua nhan thitc duce dting vé ban chat cing nhu tiém nang that su cia cong nghé nand. Thé gidi nané tuy vo tan nhung doi khi con ngudi nhin nhan vé ching con chua ding tiém nang, hoac nhin thay cd nhiéu khé khan v6 han khong thé nam bat duoc. Hai xu hudng danh gid, nhin nhan nay thudng tén tai song song hién nay. Thyc chat thé gidi nano cing phai tuan theo mot s6 quy luat nhat dinh, tuy nhién, dén nay chiing ta con chua cé thé phat hién ra duge nhiéu quy luat khong ché ching. — Doi tuong nghién cfu nho bé nén tic dong cia mdi trudng xung quanh \én d6i tugng rat lon, dan téi van dé nghién cuu tré nén rat phitc tap. Dén nay, con ngudi cing da lam dugc khé nhiéu viéc, vi du nhu: da giai ma duoc bo gen ngudi, di ché tao ra mot sé thiét bi khé tinh vi (hé théng vi — nan6 co dién MEMS — NEMS), da ché tao ra cém bién cé thé “can” timg nguyén tr hoac phan tir... Tuy nhién, trong thuc t€, van dé lai khong don gian nhu vay. Vi du, ching ta khong thé dé mot nguyén tir doc nhat cla mot chat nao day lén thiét cam bién dé do ma khong bi tac dong boi moi trong xung quanh. Cone, NGie micro va nano dieu rh 316Khi d6i tugng nghién cif cang nhé (6 ving nan6mét) thi anh hudng cia m6i trudng cang ldn va nhiéu cing lén, do dé van dé nghién ctu sé cang trd nén phic tap va rat khé giai quyét. — Kich thuéc, cau tric cia déi trong nand qué nhé bé nén khé cé thé quan sat va thao tac truc tiép. Con ngudi khéng thé nhin thay truc tiép, khong thé s& m6 vao déi tugng duge ma phai quan sét qua kinh hién vi phéng dai hang nghin lan hoac quan sat ching 6 dang cu hinh mo phong trén man hinh my tinh, cdc thiét bi nay lai rat dit tién nén khong phai ai ciing c6 thé tiép cAn duoc. Day la diéu khé khan théch thie khong nhé cho nhing nha nghién cifu rand, cing nhu d6i v6i nhiing ngudi si dung san phim nano, Chinh vi diéu nay, nén hién nay viéc m6 phong cdc cdu tnic nand, m6 phong dac tinh hodc qué trinh hoat déng cla cdc cfu kién nan6é dang rat dugc quan tam nhdm mé ta lai cdc dac tinh cha chting dé nhiéu ngudi cé thé quan sat dugc trén man hinh may tinh. — C&c Joai tin hiéu trong cau kién nand qué nhd bé nén rat khé do dac, xir Ii, dénh gid. Khi cdc tin hiéu rat bé thi cin c6 cdc thiét bi tinh vi, c6 do nhay rat cao dat trong mot moi trudng If tudng, khong cé cdc yéu t6 lam anh hudmg dén cdc thong sé cia cdu tric nané thi mdi cé thé do, daénh gid duoc chinh x4c. Day 1a mt thdch thiic khong nhé vi muén cé thé do, dinh gid duge cdc dac tinh cha cau kién nano thi phai dau tu rat én. Trong cdc cfu tric nan6 ]u6n tén tai nhing dao dong nhiét mang tinh ngdu nhién lién quan dén cdc phonon — tao nén mot mic nhiéu nén khong thé loai trir. Trong thuc tién, nguéi ta da si dung bd khuéch dai tin higu véi vai bac 46 16n, nhung mitc tin hiéu nay van cén rat bé. Diév nay sé mang dén nhiéu khé khan cho cc qué trinh xtr If tin hiéu. ~ Thach thitc vé viéc gidi quyét nguén dién cung cdp cho cdc cu tic nano: Vi tin hiéu rat bé nén su tiéu hao nang luong cla c4u tic nané lai rat ft, chi c& pW 12 c6 thé duy tri duge su hoat dong cia ching. Do vay, hién nay dang cé cdc ddi hoi 16n vé phat wién ché tao cdc pin nhién ligu nhé bé dé cung cap nang lugng cho chung. Tuy nhién, nhu trén da ndi, dén khoang nam 2020 thi du dodn cdc pin nang lugng méi sé cé cdc sin phém thuong mai va lc d6 van dé ciing sé dugc gidi quyét. — Khé tiép can diéu khién nén viéc tao ra giao dién giita thé gidi vi mo va thé gidi nan 1A mot thdch thitc 1én céin duge gidi quyét. NEMS nhé t6i mifc khé tudng tugng va chuyén déng cila ching con xay ra & kich thudéc nhd 7 Chuang ?hon nhiéu. Vi du, mot cau tic “thanh nan6” khi dugc gift chat hai d4u sé rung theo mot dao déng diéu hoa thudn nhat khi chiéu dai cua thanh nané bang sé nguyén Jin nira budc song dao dong, tuy nhién dé c6 thé do hay nhin nhan su dao dong nay thi ngudi ta cdn mo phdng no cho to ra hay phai khuéch dai dao dong Ién hang van ldn trong moi tru’ng khong cé nhiéu 1én lam anh hudng dén tin biéu, 16 rang day 1a mot théch thitc khong nhé can vuot qua. Néu nhu con ngudi ché tao dugc cdc hé giao dién dé chuyén tiép cdc tin hiéu trong hé cau tric nando sang hé cau tric lén vi mé hién cé, thi chic sé c6 nhiéu thuan tién hon trong viéc tng dung vao thuc tién. — Hiéu tmg bé mat ndi troi trong cdu tric nano din dén phai doi mat va gidi quyét them mét so van dé mdi. Vi du. khi hé thong vi co dién (MEMS) chuyén sang hé thong nano co dién (NEMS) thi bé mat cla cdu hinh sé cang tang lén, cdc tinh chat cé 6 vat liéu Khoi khong con ding nifa va tinh chat ca d6i tuong cing ngay cang duoc quyét dinh béi hi¢u img bé mat. Ltic nay nhiéu hiéu tmg méi xudt hién can phai gidi quyét. Nhu vay, dang lé cau tric nay cé thé hoat déng hon hao 6 kich thuéc 1én, nay do hiéu tmg bé mat lai néi trdi va su mat mat nang luong qua bé mat so sdnh theo ti 1é sé }on hon nén dan tdi ciiu tric cing chua chic hoat déng hoan hao nhu mong muén. = Khi mot hiéu img m6i duge dua ra tmg dung cing cén phai giai quyét nhiéu van dé mdi cé lién quan, 1am cho van dé tro nén phitc tap. Dén nay, nhiéu phat hién da chi ra ring, nhiéu cau tric tinh thé cé kich thudc nano déu c6 hinh dang Sng, khong phai chi cé 6ng nand cacbon. Cac céu inic dang 6ng, cla nhiéu vat liéu tinh thé hét stic thich hop véi viéc ché tao ra cic bé vi dao dong ma con ngudi dang rat quan tam. Cac nguyén nt trong cdu trac 6ng cé cdc méi lién két véi nhau lien tuc, khép kin, khong bi ditt doan nhu céc nguyén tt trén bé mat vat ligu khéi, Diéu nay c6 thé hi vong tinh chat cia ching sé khong bi anh hudng bdi cdc nguyén ti trong mdi trudng xung quanh (vi du nhu cdc nguyén tir khi, ion hoi nuGc...). Tuy nhién, trong thuc t€ lai khong phai nhu ching ta suy nghi. Thuc té dd chimg minh céc éng nando chi c6 cdc tinh chat If tuéng khi chting & trong méi trudng chan khong siéu cao, Cdn mét khi ching chiu téc dong bai khong khi va hoi nuéc, nhiig tinh chat dién ty cla chting thay déi hoan toan. Ca tinh chat co cia chung ciing thay déi rat nhiéu. Cac thay déi nay déu do vai trd cia bé mat quyét dinh. Vay hiéu tmg bé mat c6 tinh hai mat : tao ra ca cdc tinh chat tot va tinh chat khéng tot. Ching ta cin nhan thtic vin dé thuc té dé d6i mat va biét si dung Cong nghe micno va nano dienty HIBcAc mat loi, déng thdi tim cach khdc phuc nhiing diéu khong loi. Hién nay, c6 khong ft cdc nha khoa hoc khéng tudng dang ki vong vao nhiéu diéu tot dep, ma quén di cdc diéu bat loi, khong thay nhimg mat tr4i mang tai hoa cho con ngudi nhu nhiéu ngudi da canh bdo. — Thach thiic vé viée ché tao cic thiét bi do quan sat kham phd thé gidi nan6 : Nhitng tién b6 trong linh vuc nané con phu thudc vao cdc thiét bi do, phan tich dac tinh va quan sat déi tugng nan. Chiing ta déu biét, cac thiét bi do lu6n theo sau cdc tién bd khoa hoc. Cac kinh hién vi dau dd quét cho phép thiét lap hinh anh nguyén ur, do dugc nguyén tit nhumg chi trén bé mat. Ching ta khong biét nhiéu thong tin vé dudi lép bé mat do. Chi khi cd nhiing théng tin chinh x4c va day di mdi cé thé c6 nhiing dét ph4 quan trong trong cong nghé ché tao cdc thiét bi nand. Véi cdc hé thdng sinh hoc lai cang gap kh6 khan vi cdc hé théng nay cé lign két yéu va dé bi phd huy khi hp thu nang lugng va cén phai ghi hinh lai tat cd qué trinh chuyén déi sinh hoc nay. Diéu nay ddi hdi phai cé thiét bi do phd hgp v6i do phan gidi dudi 1 nm ma vin khong gay anh huéng dén déi tuong do. Digu nay khong phai 1 moe vain dé don gian. Dé thiic ddy céng nghé nano phat trién, ddi hoi cdc ki thuat do ludng, quan sit, thao tac cing cn cé cdc bus tién 16n, di trude mot bude. 9.7. MOT SO ANH HUONG TOI SU PHAT TRIEN XA HOI CUA CONG NGHE NANO Cho dén nay, c6 thé khang dinh rang nhimg kham phd khoa hoc ndi chung da cé anh hudng to I6n cé tinh quyét dinh dén sy phat tién timg mat cita xd hdi loai ngudi. Céc cudc cach mang khoa hoc cong nghé kéo theo céc cuéc cdéch mang san xudt da thiic day xd hdi Joai ngudi phat trién nhanh chong. C6 thé ndi, hiéu biél cha con ngudi thé hé hién nay (cdn cé thé c6 cdc thé hé ngudi truée day rat thong minh) vé thé gidi xung quanh con rat han ché, M@i khi c6 mot phat minh khoa hoc cong nghé mdi dugc khm pha, Itc d6 nhan thitc cla con ngudi méi lai séng ra mot chtit. C6 thé néu ra vi du dé minh chimg diéu nay : phdi mai dén khi nha bac hoc Kopernik cing mot sé _ nha khoa hoe khéc dua ra luan diém “Trai Dat 1a mot qua céu quay xung quanh Mat Troi”, sau 46 qua dau tranh quyét liét véi nha thd, nhan thitc cba con ngudi mdi thay déi. Hodc cong nghé nand ma ching ta dang ban trong x9 Chuang ¥cudn séch nay thi “thé gidi ty nhién” da lam hang trigu nam nay réi, bay gid con ngudi thé hé nay moi bat ddu hiéu chit it va dang c6 gang Jam theo ! Khi khoa hoc cong nghé nano ra déi va sé duoc hoan thién din dan trong mot vai (hap ki nffa thi nhiéu mha khoa hoc da dy dodn rang, khoa hoc cong nghé nay sé mang Jai nhing anh hudng vo cing to 1dn, hon rat nhiéu ln so véi cdc két qua.khoa hoc cong nghé da khdm phd trudc day. Khong 16 101 tién dodn nay c6 dugc théi phéng lén khong ? én nay, céc nha khoa hoe cé thé tam thoi khang dinh ring, céng nghé nay da va sé x4m nhap vao rat nhiéu mat cla cugc sOng con ngudi, nghia 1 n6 rat da dang va cé thé lan ra 6 dién rat rong, chirné khong cé tac dung don lé nhu mot sé thanh qua khdc, va nhu vay, n6 c6 thé co tac dung rat rong rai trong nhiéu Jinh vuc trén pham vi toan cau, Vi du, khi cdc nha dude hoc sit dung thanh qua cia cng nghé nano thi c6 thé chita mot s6 bénk rat cd hiéu qua, két qué nay khong dimg lai 6 mot quéc gia hay mot khu vuc. Mot vi du khdc, khi céng nghé gen phat trién thi viéc 4p dung chting c6 thé mang lai cdc két qua kh6 danh gid dugc : cdc san pham bién déi gen, cac cau tric sinh hoc nhan tao... khé cé thé khéng ché trén mét dién r4t rong, ching han nhu ngudi ta cé thé tao ra mt sé Loai vi sinh hoc ma 6 nhiét do nay khong phat trién song & mot nhiét do khac nao d6 né c6 thé phat trién rat nhanh dé ph4 hoai moi trudng va cé thé gay tén - hai hodc tiéu diét cdc sinh vat khdc, ké cd con ngudi, trong mot khu vuc khd rong 1én ma kho 6 thé kiém soat dugc... Su anh hudng cia cong nghé nano cdn phu thudc nhimg ngudi str dung céng nghé nané vao muc dich nhan dao hay khéng nhan dao. Khi nguéi ta sit dung cdc thanh qua cla cong nghé nano vao cdc muc dich khong nhan dao thi tac dung cia né cling rat to 16n, c6 tinh huy diét & dién rat rong. O day cAn luu y mot dién, cing giéng nhw cdc cudc céch mang khoa hoc c6ng nghé truéc day, su phat trién cong nghé nano sé phai trai qua nhiéu giai doan véi mét théi gian nhdt dinh trudc khi dat dén thanh qua cao, cé tac déng dén nhiéu mat trong x4 hdi : Luc du ta su hinh thanh cdc ¥ tuéng, sau dé san phdm mdu va nhimg dich vu ma G d6 nhing khdch hang sdn sang chap nhan sit dung véi chi phi cao hon, tiép dén cong nghé nan6 dan dan dugc hoan thién réi phat trién ra 6 dién rong, cdc ung dung ngay mét nhiéu va ngay cang c6 anh huong to I6n trong x4 hoi, x4 hoi chap nhan va cong nghe nay tro thanh phuong thifc san xudt méi. Nhu vay, diéu chdc chan 14 cong nghé nano sé cing song song t6n tai trong mot thdi gian dai véi cdc cong nghé truyén Cong nghe micro va NANO diene 320théng cil, réi né néi troi 1én va chiém han vi tri uu thé trong twong lai, du doan khoang sau 20 + 50 nam nifa. Trong qué trinh phat trién sé con nhiéu diéu méi mé ma dén nay con ngudi chua nh4n ra va nhu vay ching ta cing cén c6 nhiéu co héi dé dénh gid thém tiém nang cla cong nghé nano voi nhimg tac dong lién quan dén x4 hOi va dao dite. Tuy nhién, ngay bay gid da c6 nhiéu vin dé kha gai géc cla cong nghé nané dang cé nguy co gay anh hudng nhiéu den con ngudi va x4 hdi, nhat 1a trong Tinh vuc cong nghé gen va sinh hoc, C6 thé nhan thay duoc mot vai su téc dong khdi quat cia cong nghé nan6 toi xd hi nhu sau : ~ Sé cé Anh hudng ti dién rong trong xa hi vé rat nhiéu mat khdc nhau. ~ Anh hudng tdi cdc muc tiéu cla x4 hOi, dén tinh dinh huéng trong san xudt, téi phuong thiic san suat va nhiéu hoat d6ng trong cudc séng con ngudi. — Anh huGng tdi cau tnic x4 hoi : Du doan nhiing don vi kinh té xa hdi cé thé sé phai thay déi theo phuong thifc sin xudt méi cha cong nghé nano, trong d6 cé nhing don vi kinh té va cdc vién nghién ctu chuyén giao cong nghé 1a giao dién mat thiét gitta nghién ctu img dung, chuyén giao cong nghé va trién khai san xudt. — Anh huéng t6i an ninh, quéc phong : Do nhimg ting dung day hifa hen cla cong nghé nano, hién cdc nuséc phat trién dang tang cutmg dau tu vio linh vuc nay. Gidi quan su cing dang dac biét quan tam dén c6ng nghé nano, mot s6 thanh qua cha cong nghé nay sé duoc tng dung, vi du nhu 1am “do gidp chéng dan” bang vat liéu siéu cimg, cdc hé thong quan sét “v6 hinh” (cdc camera thu thap tin tinh béo va dau dé do khi déc...), may bay khong ngudi 14i c& nhd hodc tén lita duge goi 1a “thong minh”. Nhimg thiét bi ki thuat siéu nhé cé thé tré thanh vi khi nguy hiém hon cd bom nguyén tit, Voi mot d6i quan v6 hinh va su nhan ban, rébét siéu nho co thé tiéu diét ké thi: chi trong chép nhodng. Nhiéu t6 chitc quéc té di Jen tiéng, yeu cdu cong déng quéc té phai dé ra nhimg quy dinh nghiém ngat déi véi su phat trién khoa hoc cong nghé nano dé tranh nhing diéu ding tiéc. Tom lai, cong nghé nané da va dang cé nhitng anh hudng to lén dén nhiéu mat trong xa hdi, né sé lam cdch mang hod trong san xuat, y 1@, cham s6c stic khoé, cung ting nang luong, truyén thong va cé 1é cA quéc phong, rdi dén Nic né sé lam thay déi ca hinh thie lao dong va moi trudng lim viéc, hé 71 Chuang 9thong y té, nhimg co so ha ting nang lugng, giao thong van tai va ca quan doi. Tuy nhién, cAn phai nhin nhan su phat trién ludn cé tinh hai mat : tich cuc va tiéu cuc va dé cé thé ngan ngira nhing van dé khong tich cuc c6 thé xay ra trong tuong Jai, ngay tir bay gid can thiét phdi dé ra cdc rng budc vé cong nghé nan6 ca vé mat tich cuc cing nhu mat tiéu cuc. 9.8. MOT SO MAT TRAI CUA CONG NGHE NANO Moi su viéc déu cé tinh hai mat, ching cé dac tinh tr4i nguoc, doi lap hau : mat trai — mat phai, phia trén — phia dudi, mat x4u — mat tét, den — trang,... Viéc dénh gid nhin nhan vé tinh hai mat, tuy & timg géc canh khdc nhau va 6 nhiing khéng gian, thoi gian khdc nhau, c6 thé khéc nhau nhat 1a cdc van dé lién quan dén cfc khdi niém x4 hdi hoc. Moi van dé trong khoa hoc cong nghé ciing twan theo quy luat chung, ce phdt minh khoa hoc cing khong nam ngoai quy luat 46, ching déu chita bén trong tinh hai mat. Vi du, sau khi Alfred Nobel — mot nha hod hoc, nha cong nghiép cita Thuy Dién phat minh ra thuéc né thi no da duge str dung phuc vu cho cuéc séng con ngudi nhu 1am né cdc chudng ngai vat, dang dé dao ham, dé khai théc d4, khai thc trong ham mé... Tuy nhién, ngudi ta cing da ding thud né dé lam thuéc sting, Iam vi khi dé ti¢u diet con ngudi. Day la mat tri cla thudc nd, Chinh vi thay tac hai cia thudc nd, cé thé gay bao tac hai cho con ngudi, nén Alfred Nobel da lap nén gidi Nobel, vi ng da thay tén thuong do phat minh ra thudc né cha ong duge ngudi ta sit dung cho muc dich da man. Ong muén gidi thang Nobel phuc vu cho nhan loai vi muc dich nhan dao. Trong ban di chic cia minh, Alfred Nobel da danh 94% tri gid tai sn va lay lai hang nam dé trao 5 gidi Nobel cho “nhiing ai, trong nhimg ndm trudc khi gidi dugc trao dé, da dua dén nhitmg loi ich nhdt cho con nguoi.” Mot vi du dién hinh nia 1a mat trai cha phat minh khoa hoc vé nang luong nguyén tir. Nang luong nguyén tir c6 thé phuc vu cho muc dich nban dao hoic cing cé thé dugc sit dung lam vii khi huy diét loai ngudi. Mot tham hoa ma lodi ngudi cén nhé mai dé 1a su kién My ném hai qua bom nguyen tir xuéng Nhat Ban vao thang 8 nam 1945, lam khoang hang van ngudi chét, bi thuong va bi nhiém phéng xa, hau qua van con kéo dai dén tan ngay nay. Cong nejhe micno va nano diew 1 322Dé loai ngudi mi khi nhac dén lai thay dé 1a mot ndi dau, cdn di véi cac nha khoa hoc chan chinh phan dau vi muc dich hanh phiic cita loai ngudi thi lai thay hé then, tii nhue vi da gép phén tao ra tham hoa cho con ngudi. Mot diéu khiing khiép hon nifa 14 sau hon 60 nam tri di nhung cho dén nay da cé hang chuc nude da va dang tang trit sit dung va tiép tuc phat trién vii khi hat nhan 6 cdc dang khdc nhau. V6i cdc kho vi khi hat nhan hién cd, néu chang may chién tranh bang vi khi hat nhan xy ra thi cé thé huy diét ca Trai Dat, ngoi nha chung ma ca loai ngudi dang sinh séng. Va cho dén nay, nhiéu ngudi nhin nhan rang, nam 1945 1a mot cdi moc khdi dau mang tinh bude ngoat vé khoa hoc cong nghé ma khé cé thé khong ché néi tac hai, né cé thé mang dén tham hoa Ién — c6 thé huy diét ca Trdi Dat. Cong nghé nano 1a mot buéc tin bd vuot bac clia cong nghé hoc, nhung dang dat ra nhiéu cau héi chua timg duoc biét tdi trudc day. Ban than cong nghé nano cting chita dumg hai mat : mat tich cue dé 1a c6 thé tao ra cdc san phém mdi phuc vu cho con ngufdi, tuy nhién cdc mat trai cba cong nghé nano cing co thé rat da dang va rat to én khong thé ludng hét, n6 cé thé gay ra cc tac hai khting khiép cho loai ngudi. © Cac mat trai chinh cé thé ké dén dé la: — Ngudi ta c6 thé déng thdi tao ra cdc Joai vi sinh vat bao gém ca mot 86 loai virut cé thé gay ra céc bénh dai dich cho con ngudi ma vdi kha nang cla con ngudi hién nay khé cé thé khéng ché va han ché. — C6 thé tao ra cdc vi khi sinh hoc, tac hai hon nhiéu so véi vai khi nguyén tw. lai khong thé dé dang khéng ché dugc, né cé thé gay nguy hiém cho su s6ng trén toan Tr4i Dat. ~ Ngudi ta c6 thé tao ra cac loai thude, ché phdm 1am bién déi gen cua con ngudi, gay téc hai lau dai cho noi gidng, mot kiéu nhu chat doc mau da cam, song tinh nang cua ching manh hon hang triéu 14n, tao ra cdc loai thuéc Jam mt tri nhd, tdy nao, tham chi tao ra céc nguti nhan tao mang mot sé gen dc phuc vu cho cdc muc dich xau... — Khi cong nghé nano phat trién thi mdi trudng séng cé thé sé bi 6 nhiém nang bdi cdc hat nano, kh6i bui nand... do cdc nha méy thai ra. Phan tunand do phuong tién giao thong va khdi cong nghiép thai ra, sau khi duoc hit vao co thé, sé lot thang vao mu va tuy xuong, no lam anh hudng truc tiép dén stic khoé con ngudi. Ong nano cacbon dang rat dugc ua chudng va 323 Chuang 9quang cdo manh, tac hai cla né cdn cé thé nguy hai hon ca soi — hat amiang doc hai... Ngay viée thir nghiém céc hat nan6 véi tu ciich 1a chat din thuéc trong méu dé diéu trj ung thu va mot s6 bénh khdc cho thay, chting c6 thé dé dang phat tdn doc 16, anh hudng x4u dén nao bd, cé thé gay ung thu. — 76 chite mé6i trubng Canada (ETC) ciing canh bao vé cdc loai thifc an sit dung céng nghé nano trong tong lai. Chting co thé thay d6i mau sac, mdi vj va budc moi ngudi phai tiéu hod hang triéu, hang ti hat nand, Hon nifa, voi kich thudc nhd, cdc hat nané lot gua h4u hét cdc b6 loc va cling khong thé nhin thay dugc. Cac thiét bi dd tim va b6 loc sé kh6 ma kiém sodt hét dugc. Nganh cong nghiép thuc phdm dang cé cdc dé 4n nghién cttu cdc loai thudc c6 cAu tric nané tri dich hai. Tuy nhién, cdc nghién citu nay cing bao ham jun ca nguy co gay 6 nhiém. Nhiéu cOng trinh nghién ctu da chi ra rang, phan tirnané cé thé tich hop vio day chuyén ché tao thuc phdm théng qua vi khudn va tich tu trong gan cdc loai dong vat thf nghiém. Nhiéu di biét té bao, ké ca cdc di biét gay tir vong, da dugc quan sat thay trén ca va cdc loai gidp xéc nhé. Ong nand cacbon cé 46 bén cao hon 100 lan va d6 nhe hon 6 lan thép. N6 rat nguy hai : hit thé nano cacbon gay déc va viém phdi, c6 thé xam nhap vio mdu hoac nao. ~ Cac nha nghién ctu mi trudng My cing @4 nghién ctu anh huéng cua cdc hat Oxit titan c6 kich thudc nano dén viéc nudi cily cfc té bao cha chuot. Ho phat hién ra rang, cdc hat nay cé tac dung kich thich té bao san xuat nhiing chat hoa hoc cé t4c dung bao vé trong mot théi gian ngin, nhung sé cé nguy co lam tén thuong néu duge duy tri trong thoi gian dai. — Mot van dé thudc mat trai nita cing can phai xem xét mot céch hét sttc cdn than : Dé 1a kha nang nhan ban cia mot s6 san phdm nano (vi du, tuong ty nhu cdc virut may tinh, dén nay mét s6 nha khoa hoc van coi né la gidi han ciia té bao s6ng va té bao chét). Ching c6 kha nang nhan ban, phat tn va pha huy rat manh. Trong tuong lai, cdc day chuyén san xudt hang loat v6i sdn phim Ia vat cht nano véi céc méy méc dang nand c6 kha nang nhan ban, tu nhan ban, ching cé thé c6 kha nang tao ra mdi nguy hiém khong thé luéng trudc hét dugc ddi vdi con ngudi. — Dac tinh khong kiém sodt — kh khong ché duoc ngay cAng gia tang cia cong nghé nano. Vi du, nhimg nam téi day, cdc thanh tw Khoa hoc ki thuat quan su mdi trong cong nghé nano sé tao ra nhiing mdi de doa ding gim déi vai viéc bao mat théng tin do viéc xuat hién hang loat nhing nguyén Cong ngjhe wicno va navo dies W324ligu, cam bién, phuong tién tinh todn va truyén thong... V6i bude phat trién ca céng nghé nano, cdc thiét bi va phdn mém gin diép cé thé xam nhap dé dang va kin déo vio moi ngéc ngdch cia cdc 16 chtic, xi nghiép. Viéc phd bién cdc loai dién thoai cé trang bi camera, céc may tinh bé tui c6 két ndi hé thong mang van phéng dang 1a mot van dé héc bia dat ra d6i véi bo phan an ninh cia nhiéu cong ty. Mot s6 dugc phadm dua trén cong nghé sinh hoc nano gitip cdc binh linh hay digp vién nang cao dugc kha nang vé tam sinh Ii trong thdi gian dai. Tuy nhién, hién nay cdc nghién ctu vé img dung cha cong nghé nano “dé tay ndo”, lam quén tri nhé cha mot ngudi, hodc bién ho tra thanh ngudi cé cdc dac tinh x4u nhu giét ngudi cing cé thé dugc tién hanh. — R6 rang 14 cu6c cach mang cOng nghé nano da tao ra nhimg van dé méi vé an ninh téng hgp. N6 doi hdi mdi quéc gia cing nhu méi xi nghiép phai c6 nhig chuyén gia thé hé méi nim ving nhing kién thiic sau rong vé khoa hoe, vé kha nang cita cdc phuong tién ki thuat hién dai va cin phai cap nhat thong tin thuéng xuyén. — Khi nhiing thé luc chinh tri phi nhan dao sir dung cdc thanh qua cia céng nghé nano thi cé thé bién chting thanh cdc loai vii kh rat tinh vi 6 dién rat rong, rat khé hoac khéng cé kha nang kiém soat va khéng ché. Khi ching lot vao tay cdc thé luc khiing 66 thi hau qua rat khon ludng. Hién nay 6 nhiéu nuGc, trong d6 cé Chinh phi My, da dac biét coi trong cdc phuong thitc phong tranh cdc mat trai cla cong nghé nano, 9.9. MOT SO HUONG PHAT TRIEN VA DU KIEN SAN PHAM CUA CONG NGHE NANO TRONG MOT VAI THAP NIEN TOI a) Phat trién cong nghé nané trén vat liéu Si dya trén nén tang cla céng nghé micré Si Cong nghé micr6 Si dang phat trién téi gidi han cda nd, ngudi ta xdc dinh can tap tung phat trién cong nghé nand trén vat liéu Si “silicon nanotechnology) mét céch manh mé dé lam tién dé dé phat trién tich hop véi cdc loai linh kién khdc. Thuc té hién nay, hau hét cdc linh kién trén vat liéu phan tt va sinh hoc da va dang dua trén cdu kién MOSFET va cdc cau kién 325 Chuang 9khac cla linh kién Si. Diéu dé khong ngac nhién, vi nhu ta da biét, cong nghé micré dién tir trén vat liéu Si da dat duoc cdc thanh tuu rat to 16n, ruc rd, két qua nay cé anh hudng sau sac dén su phat trién cla xa hoi trong nita thé ki qua. Viéc dau tu trong thi gian qua cla con ngudi vao linh vuc nay cing rat to l6n. Dén nay, da cé co sé ha tang thiét bi rdt manh cho nganh cong nghiép nay. Ngudi ta da ché tao hang loat cdc chip Si rat hoan hao (@ kich thudc 100 nm vao nhimg nam sau 2000 va dén nam 2008 da dat dén kich thudéc nhd hon 45 nm (d6 rong kénh MOSFET)). Tuy nhién, néu trién khai san xuat cdc mach t6 hop hay linh kién véi kich thuéc nhé hon mot cach 6n dinh va dai tra thi con dang gap rat nhiéu khé khan. V6i tiém nang san cé nhu vay, con ngudi khong dé gi khong tan dung ma lai bé di dé di tim mot hudng méi tir dau, lai chua c6 kinh nghiém gi nhiéu. Chinh vi vay. cong nghé nané dua trén vat liéu ban ddn Si van dugc coi la cé trién vong nhat dé dua ra sdn xudt hang loat. Cac linh kién chinh trong cong nghé nano Si, dang 1a trong tam dé cdc nha khoa hoc quan tam giam kich thuéc, dé 1a : — Linh kin MOSFET va té hop ctia chting nhu CMOS, BiCMOS — Cfc cau hinh khdc nhau (ao nén cdc thé hé céu tnic linh kién méi, cac loai b6 nhé Yano, bé nhd flash véi mat d6 rat cao dua trén cdc mach té hop Si... c6 cc thong s6 nhu thdi gian truy cap nhanh, thdi gian luu gilt lau ; — Phat trién céc linh kién chuyén hod nang Iuong va ing dung ; — Phat trién cdc linh kién mdi trén céc nguyén li mdi, nhu linh kién trén cau tric chém luong tir, RTD, trén cau tric dio phong téa Coulomb ; — Phat trién ché tao va hoan thién linh kién hay hé thong MEMS, NEMS cé mat do 6 mic thap va trung binh. b) Xu hutng tich hop gn két lan nhau trong mét sé link vuc. Hién nay, céng nghé nano dang rat duoc quan tam, song dé 1a mot inh vuc ma con ngudi dang hiéu biét va phat trién 6 giai doan ban dau. Xu huang tich hop gan két lén nhau trong mét sé tinh vuc la diéu tat dang xdy ra hién nay va sé phat trién manh trong tuong lai. Vi du, trong céng nghé nano dién tu dé la su tich hop gitta ba linh vuc chinh : nané dién uktrén u Si, dién it phén ti va dién tt nano sinh hoc. Dé lam dugc viéc nay thi cn trién khai nghién cttu, ché tao cdc hé théng 6 dién rong, c6 tinh dan Cong, wqhe wicnd va nano diew nt 326xen nhau giita c4c nganh ca vé vat li . linh kién phan tit va sinh hoc tich hop vio cong nghé vat ligu inh kién Si kich thuéc nand, c6 su hé trg cita cdc ki thuat nhu m6 phong dé tao ra cdc loai hé théng trén chip (SoC). c) Su dinh huong ra cac thé hé cia cong nghé nano va ké hoach phat trién trong timg giai doan Cac nha khoa hoc trong Jinh vuc cong nghé micré va nano tir trén thé gidi da lap ra cc hiép hdi hay t6 chifc dé nghién ctu danh gia vé vai tro cla céng nghé nay trong twong lai va dinh hudng néu ra cdc giai doan phat trién trong mét sé nam tiép theo. Dén nay, ngudi ta da chia ra nam giai doan phat trién hay con goi 1a nam thé hé phat trién cha cong nghé nano, dé ia : © Giai doan hinh thanh ban dau cia cong nghé nano (1980 - 2000) : Trong thdi gian nay 43 hinh thanh, phat trién len cdc khdi niém, phat kién ra phat minh méi trong vat liéu, linh kién khi giam kich thudc cia ching xudng (i nandmét, déng thdi cing khém pha ra mot sé dinh luat cla mién trung gian (mes6). Cac két qua con mang tinh rdi rac, chua tao nén cdc hé théng 16n cé tfnh lién két dan xen lin nhau. © Thé’hé phat trién thit nhdt tao ra cdc cdu tric nano thu dng, théi gian kéo dai trong khodng tit ném 2000 dén 2005 : San phdm trong giai doan nay 1a cdc san phim rdi rac, thu dong (khdi niém tuong tu nhu linh kién thu déng), dé 1a cdc vat li¢u nan6 bao g6m mot 86 kim loai, polime, g6m va vat ligu compédit cé cau tric nano..., vi du nhu hat nano TiO, c6 tinh chat hoat hod v6i tia cuc tim dimg trong xt If mdi tudng, mot sé vat liu cham lugng tir CdS ding dé danh dau, hoc phat hién, ché tao ra Ong nané cacbon (CNT) cé dac tinh rat dac biet nhu do cig rat cao, rat nhe. Cac hat hay vat ligu nano thudng ding trong phun phi tao ra lép bé mat dé bao vé va lam tang tinh chat cia vat ligu. Viéc sir dung ching budéc dau méi chi tao ra mot cau (ric thu dong nhim Khai thac cdc dac tinh cha ching dé str dung vao mot s6 muc dich dic biét. « Thé hé sain phdm thit hai, thei gian khodng tit ndm 2005 dén 2010, tao nén cdc hé thong cdu tric nano tich cuc (active nanostructures) : Trong giai doan nay, ching ta hiéu 14 c6 thé tao nén cdc cau trtic tich cuc mang mot s6 tinh chat tinh nang tuong wr nhu mot sé linh kién tich cuc hay 327 Chuang 9hé théng c6 cu inic don gidn, thuc hién dugc mot vai chifc nang dién tit. Vi du, c6 thé ché tao ra céc cam bién nané, céc ddu dé cé thé cam nhan do duge mét sé dac tinh cia méi trvdng, nhu do khi doc ; cdc loai tranzito, bd nhé mot dién ti, cdc bO khuéch dai..., pin nhién lieu ; hodc vi dy nhu chat dan xudt thuéc dén vi tri cn chita bénh, cdc lép mang médng cé cau tric nand. 6 thé chuyén hod, Iuu trit duge nang luong Mat Trdi. Hé thong MEMS, NEMS don gidn cé thé cam nhan do dugc mot sé tinh chat nhu do nén, do bign dang... © Théhé san phdm tht ha, thoi gian khodng wit nim 2010 dén 2015 : Cac hé thong nano va t6 hop mét s6 hé théng nano thanh cdc hé thong nano cé cau tnic 1én hon, phic tap hon, kiéu nhu cdc hé thong MEMS — NEMS, cic hé vi diéu khién, vi robét... Digéu nay doi hdi mot s6 ki thuat tao hé thong, tich hop mot s6 céng nghé thanh hé théng trén mot chip (SoC), lap rép hé thong, hinh thanh va hoan thién céng nghé, trong d6 cé ki thuat ty lap rip, tu t6 chic cing da duge trién khai. Céc loai vat liéu sinh hoc, sinh théi c6 thé ra doi. Mét s6 hé thong NEMS voi mot sé chttc nang dac biét cd thé tim ra mot sé mam bénh, mdm té bao ung thu, réi cdc qua trinh dan xvat thudc dén cdc noi cé ung thu dé chita tri, han ché su lay lan — di can cla bénh ung thu. Mot s6 qua trinh tu lap rap, nhan ban sinh hoc hoac tai tao lai cdu tric xuong trong té bao con ngudi cé thé dat dugc cdc thanh cong. Céc cau hinh méi vé céc hé th6ng nané theo cau tnic méi cling cé thé duge phat trién manh, tao nén cde sin phdm vé hé théng robot thé hé mdi, san phdm vé hé thong sinh hoc, hé théng cong nghé thong tin thé hé mdi cing sé duoc nghién cttu, ché tao ra, © Thé hé san phdm thit wu, thai gian khodng tit ndm 2015 dén 2020 : Trong giai doan nay, cdc hoat déng va san phdm bao gém tir viée thiét ké cdc linh kién phan ti, thiét ké he thong thong minh chita dumg céc linh kién nguyén ti hay phan tir véi cdc chttc nang méi néi troi nham muc dich tao ra.va c6 thé diéu khién duoc cdc khéi chic nang co ban cla hé thong ty nhién va hé thdng nhan tao. Cac nghién citu vé tuong tac giita 4nh sang va vat chat & mite sau, nghién ctu vé giao dién gitta ngudi va mdy, diéu khién sip xép cdc nguyén tir va cdc phan tir theo thiét ké truéc cing s€ dugc tién khai manh. Ngudi ta cing dodn nhan rang, sé cé mét sé nghién cttu tao cdc Cone, nGhé micno va nano diew ry 328phan tir cé da chtic nang tham gia vao céc qué trinh téng hop xtic tdc, bat chuéc cdu tric tu nhién nham tao ra hé thong phic tap hon, bao g6m ca viéc diéu khién ching. Céc san pham nan6 cé thé tham gia dang ké vao viéc xi li cdc qué tinh doc hai trong moi trudng, nhiéu linh kién cam bién cé thé duc cay vao trong co thé ngudi dé theo dai cc qué trinh sinh hod, cdc qua trinh sinh bénh va chita bénh hodc cé thé han ché tac dung cia cdc ADN Khuyét tat c6 thé sinh bénh. Cac hé thong mdy tinh thé hé mdi sé cé nhiéu chic nang mdi, tham chi c6 thé doc duge céc séng nao ngudi. © Thé hé sdn phd thit nam, sau nam 2020 : Negudi ta dy dodn, thoi ki nay 18 thdi ki phat trién manh véi rat nhiéu cac san phdm nano, hé thong nané va lic ay né anh hudng dang ké t6i cdc hoat dong cua con ngudi 6 trén rat nhiéu phuong dién nhu : nhan thitc, céch séng, c4ch sinh hoat, qué trinh san suat, diéu khién moi trudng va cd cach hudng thu lan qué trinh sinh san nita. Lic dé, c6 thé c6 Cac thé hé may tinh mi, cac loai robot thé hé méi cé nhiéu hoat déng gidng con ngudi va lam duge rai nhiéu viéc thay con ngu’i. N6i cdch khdc, céc hé thong méy méc thong minh sé duoc phat trién manh dé cé thé giai quyét duge nhiéu viéc phic tap ma con ngudi khé lam duoc nhu trong giai doan hién nay. G day, ching ta can luu y rang, trén day chi 1a mot sé du dodn vé bude di cla cong nghé nano trong tuong Iai, con thuc té dat dén dau con phy thudc vao rat nhiéu yéu t6 nhu : dau tu dén dau, trién khai nghién ctu theo cach thife nhu thé nao, nhat 1a con ngudi cé thé kham pha va hiéu vé cong nghe nano c6 san trong “tu nhién’” dén dau, cé thé bat chudc 1am theo “tu nhién” dugc khéng. d) Dir kién mét s6 16 trinh cu thé Hoi déng chung chau Au cing dua ra nhiéu 19 trinh vé cdc phuong dién cha cong nghé nan6, trong d6 cé 16 trinh cha cong nghé ché tao micro va nané trong giai doan tir nam 2007 dén 2013. Trong 16 trinh nay, mat sé huéng phat trién cita timg Linh vuc ciing di duge phac hoa, nhu linh vuc ché tao cdc linh kién micr6, ché tao cdc cau kién cé céu tric bé mat phitc tap, ché tao vat ligu nano va té hop cha chiing dé tao nén cdc hé thong micré — nand, 329 Chuang 9céng déng chung 6 va nané cia én véi su t8 hgp cia chting. [Theo Micro and Nanomanufacturing Roadmap, 2003) chau Au (EU) véi cac huéng phat trién trén timg finh vuc trong giai Hinh 9.4, L6 trinh vé ché tao micr doan 2007 — 2013, sau dé la su phat tri 330 Cong nghe micro vA NaNO dien Tu(C fucong 10 TOM LUOC MOT SO HIEU UNG VAT Li VA LUONG TU QUAN TRONG LIEN QUAN DEN CONG NGHE MICRO VA NANO DIEN TU Cong nghé micro dién tir duoc phat trién manh mé trong hon nia thé ki qua, néi tiép né 1a cong nghé nano dién ti da va dang hinh thanh, phat trién rét nhanh dua trén cdc hiéu tmg vat li va hiéu img luong ur cé tinh dot phd duoc phat minh trong gén mot thé ki qua. Dé gdp phdr hiéu 16 vé khoa hoc va cong nghé nano, bao gém ca cong nghé nan6 dién tr ndi riéng, trong chuong nay ching ta diém lai mdr cach hét stfc tom tat vé mot sé hiéu ing vat li vA hiéu img luong ur chinh cling mét sé phat minh cé lién quan. Xin luu ¥ rang, cdc hiéu ting ién quan cé rat nhiéu, song & day ching tdi chi néu mot sO hiéu ting cé tac dong 16n mang Jai nhimg budéc nhay vot c6 tinh cdch mang. Thi tu néu cdc hiéu tg trong chuong nay cha yéu xép theo thdi gian, khong phai theo tht tw vé vai tr6 anh hudng cia ching trong cong nghé nano. 10.1. HIEU UNG QUANG DIEN Nam 1905, mot hién tuong hoi khdc thudng d3 duoc phat minh : Khi chiéu mot chim tia sing vao ban cuc tich dién 4m dat trong moi truéng chan khéng cita té bao quang dién, ngudi ta di do dugc mot dong dién chay qua né. Dong dién nay chinh la dong cdc dién ti da do dugc trong mach dién néi voi hai cuc cia dén chan khong. Tir hién tuong nay, cé thé gidi thich chic chan rang. chim nh sang da gidi ph6ng ra cdc dién tir tir bé mat kim loai cia dién cuc 4m. Cac dién ti nay, ching duoc cuén sang phia cuc duomg anot bdi dién trudng (sinh ra tir dién thé) d2 duge mac vao hai dién cuc cia té bao quang dién, tao nén dong dién. Néu dua theo Ii thuyét cé dién, thi khi cing a Chuong 10chiéu anh sang voi cudng do manh hon thi cé thé thu dugc dong dién cing Jon, tuy nhién & day khong phai vay. Cudng 46 dong dign hdu nhu khong déi khi cuéng dé chim sdng tang. Mat khdc, ngudi ta lai nhan thay rang déng dién rat phy thudc vao chiéu dai bude séng A cha anh sang : khi 2 cing ngan (bude séng ctia tia tim) thi dong dién cang I6n, va khi thay déi 2 cang dai (bude séng tix tia dé sang héng ngoai) thi dong dién cing yéu va sau dé khéng con dong dién. Einstein da gidi thich thanh cng hién tugng quang dién nay bang nguyén li co hoc \uong wr. Theo Einstein, anh s4ng bao gdm nhimg hat luong tir, duge goi 1A cdc photon. Diéu nay cing minh chimg cho tinh chat hat, mdt trong hai tinh chat séng — hat cia anh sang. Méi photon cé mot nang lung xdc dinh tai mét budc séng xac dinh. Nang lugng cha céc photon séng ngan thi 16n, con nang lugng cla cdc phOtén séng dai hon thi bé hon, theo cong thtic : E = hf. Dé giai phéng mot dién ti ti bé mat tam kim loai 6 cuc 4m phai c6 mot nang lugng nguéng tdi thiéu. Cac photon c6 bude song ngan cé nang Iuong 1én hon nén cé kha nang gidi phong ra cdc di¢n tr dé hon, cdn cac photon cé bude séng dai hon thi cé nang Iugng yéu hon nén kh6 hodic khong thé lam bit dién tit ra khoi bé mat kim loai. Viée phat trién Ii thuyét va giai thich tudng minh vé hiéu tg quang dién, bao ham ca viéc minh ching xac thuc tinh chat hat cla photon da mang lai gidi thuéng Nobel vé vat Ii cho Einstein. Higu img nay da mé ra cdc img dung rit rong 16n dé la viée ché tao ra cdc thiét bi do nang Iuong anh sang, ché tao cac loai photédétecto. Cac loai pin quang dién bién déi nang luong Anh sdng thanh nang luong dién déu dua trén co sé hiéu tmg nay. Hién nay, cdc ching loai linh kien photodétecto hién dai dua trén co sé cu tric giéng lugng tit, day luong tir dé thu bite xa quang dai rong tir cuc tim dén héng ngoai, pin mat trdi thé hé mdi cing nhu cdc cau tnic linh kién mdi trén co sd céng nghé nano dang phat trién rat manh va tmg dung ngay mot nhiéu trong khoa hoc cing nhu trong cudc séng hang ngiy. 10.2. NGUYEN Li LUONG TINH SONG - HAT VA HE THUC DE BROGLIE Cac dinh luat dau tién cia vat Kf luong tir lién quan dén luong th hod nang lugng duge Plank va Einstein phat minh ra nam 1900 va 1905, trong da cé thém mét hing sé vii tru nifa dé 1a hing so Plank h dugc dua vao cing véi cdc hang s6 vi tru khdc nhu téc do anh sang c, hang sé trong luc G, va luong tir dién tich e. Gid tri cla hang sé Plank va hang s6 Plank chudn hod cé gid tri nhu dudi day : Cong xGhe micno va NANO ditw1y 332h = 6,6260687652.10-4 J.s (10.1a) hae 1,05457159682.10-“ Is (10.1b) 7 va nang lugng cia photon, lugng tir anh sang, c6 tan s6 18 f hay tn sO géc 1 @ = 2nf, duoc tinh béi biéu thie sau : E=hf =hw (10.2) Nhing nam sau (1906), Einstein da 4p dung luong tt hod nang luong nay dé giai thich mot so hién tuong khong phai la anh sdng (vi du : gidi thich cdc nguyén tir dao dong trong qué trinh nghién ctfu nhi t dung riéng cila chat rin), dic biét cdc phan tich ciia Bohr vé cdc trang thai dimg cia nguyén tir hidro da chimg minh sy quan trong thuc su dé hiéu khong nhimg vé tudng phat xa ma ca vé vat chat nia. Cang véi cdc cong trinh cia Heisenberg va Schrodinger vio nhiing nam 1925 va 1926, Ii thuyet vé vat If wong tir hien dai di ra doi, né 14 co sé dé gidp con ngudi c6 thé hiéu dude nhiéu van dé vé thé gidi thuc. Trong d6, mét trong nhiing khai niém trung tam cia vat li Luong tir 1a tinh chat lvéng tinh séng — hat. Trong thé gidi vat chat, cdc déi tuong vat chat t6n tai & dang cdc hat co ban (nhw dién ti, photon va cac lepton, hadron va trudng hat...), ching déu mang tinh hai mat séng — hat. Tai mot thdi diém chting mang ca hai dac tinh song — hat, tuy nhién trong mot kién thi dac tinh hat néi troi va 6 mot so diéu kién khdc thi dic tinh s6ng lai ndi troi. Chung ta rat kho hoac tham chi khong thé giai thich va hiéu rd rang hién tuong 4 quan sat dugc, néu ching ta chi gan cho d6i tuong nghién ctu mot trong hai dac tinh séng — hat dé 1i gidi. De Broglie — nha khoa hoc ngudi Phap da néu ra rang, cdc hat chuyén dong trong khng gian tuan theo mot dang séng nhat dinh. Day 1a y tong lam co sd cho dac tinh hai mat s6ng — hat cia vat chat. De Broglie da dua ra hé thitc biéu thi moi quan hé giita déng lugng p cla hat va budc séng 2. hodc sé song k (k = 2m/A) nhu sau : p=—=fik (10.3) Day 1a mot hé thitc biéu thi mdi quan hé gitta hai tinh chat s6ng va hat cua vat cl goi 1a hé thite de Broglie. Ngay sau khi dua ra hé thifc trén, nhiéu tac gid da dua ra cdc bang chimg vé su t6n tai tinh hai mat séng — hat, 333 Chong 10vi du nhu anh vé nhiéu xa dién tir, hiéu iting quang di€én, va sau dé Schrodinger da dua ra phuong trinh s6ng chimg minh co so toan hoc cho hé thiic de Broglie. Ngay nay, khong cén ai nghi ngév vé ban chat s6ng ciia hat cfing nhu tinh chat hai mat cla né. Nhiéu bang ching thuc nghiém da minh chimg diéu dé. Trong thuc té, tat ca cdc hiéu biét cia chiing ta vé vat chat trong thé gidi vi mo déu dua trén su t6n tai va thong tin cua tinh chat hai mat s6éng — hat nay, Tinh hai mat séng — hat ciing da duge thiét lap tir co sé ving chic cila toan hoc. a a) b) Hinh 10.1. Mat hat chuy8n déng véi téc d6 v doc theo truc x a), va mét b6 s6ng cé tém cling chuyén déng giéng nh chuyén dong cia hat vi mot van téc nh6m xac dinh b). 10.3. NGUYEN Li LOAI TRU PAULI Nguyén If loai trir Pauli (Pauli exclusion principle) khang dinh rang, trong cling mét thdi gian, khéng thé cé hai dién ni ton tai trong cling mot trang thai nang lwong hodc trong cing mét cdi hinh bén trong ctia mot nguyén tit, Pauli da dua ra nguyén Ii nay vao nam 1925, sau dé duge nhan gidi thuéng Nobel vé vat If. Day 1d nguyén If khai quét hod chung cho nhiéu loai hat, trong ¢6 dién ti 1a mot vi du. Déi véi cdc hat bé hon nguyén tit, chia lam hai loai dua trén cdc dac tinh th6ng ké cia chting : cac hat tuan theo nguyén Ii Pauli la cdc hat nhu fecmion, va céc hat khong tuan theo nguyén If Pauli nhu cac hat b6zon. Trong mét hé thong déng kin, vf du mot nguyén tr trong d6 c6 cdc dién ur hofic mot hat nhan trong d6 cé cdc proton, notron va fecmion, thi tai mot thdi diém, & mot trang thai nang luong da cho chi cé mot hat chiém ché. Cac hat tuan theo nguyén 1f Pauli bao gém ca gid tri dc trung cla spin (hoac dong lugng géc riéng dac trumg — intrinsic angular momentum) vi du spin cha dién tir la s = 1/2. Theo céc quan diém cita vat li hién dai vé nguyen ti thi khong gian bao quanh hat nhan cé thé bao gém cde quy dao, hoae cae mién, trong méi mién nay chi bao gém hai trang thai khdc nhau. Nguyén Ii Pauli chi ra rang, néu mot trong nhting trang thai nay chiém git bdi mot dién tir c6 spin 1a 1/2 thi dign tir khac sé chiém gitt mot trang thdi c6 Cong nee micro vA Nano diew 1G 5B4spin tréi nguoc 1a -1/2. Mot quy dao cé mot cap dién tir véi céc spin tréi dau duac lap day. Sé khong cé cdc dién ti khdc bude vao quy dao chimg nao mot trong hai dién tit trudc dé chua chay bat ra khdi quy dao. Mot hinh thai khac cia nguyén Ii Pauli co thé 4p dung cho cc trang thai dién tr trong nguyén tr la khong cé hai dién nk cd thé’ c6 cdc gid tri s6 luong nt gidng nhau (trong s6 b6n sé luong ti). Nguyén If Pauli cé mot vai trd dac biét, nd di md dudng va lam sdng t6 nhiéu van dé trong If thuyét co hoc Iuong tir. 10.4. NGUYEN Li BAT DINH HEISENBERG Nam 1927, nha vat If ngudi Dic Werner Heisenberg. mot trong nhiing nha khoa hoc sang lap nén Ii thuyét vé co hoc lugng ty, duge nhan giai thuéng Nobel vé vat If, di dua ra nguyén lf bat dinh mang tén 6ng (Heisenberg uncertainty principle), Nguyen li nay da khang dinh rang, trong trudng hop cu thé, vi du vi tri va toc do cla mot vat thé trong mot hé toa d6, ca hai dai long khong thé do dugc mot cach chinh xdc tai mét thdi diém xdc dinh, tham chf trong li thuyét cing khéng xdc dinh duoc chinh xdc ca hai, Chtnh ban than cdc khai niém vé vi i chinh xdc cing vi t6¢ dé chinh xdc, trong thuc té khong c6 ¥ nghia thuc tién. Khai niém mot cach bao quat hon c6 thé phat biéu nhu sau : Hai thong s6 cé lién quan bil trir cho nhau nhu vi tri va dong luong, nang ludng va théi gian, dong luong géc va dich chuyén géc... (chting tao cap vdi nhau) khéng thé biét mot c4ch chinh xdc tuyét cd hai, néu biét cing chinh xdc thong tin cha mot dai lugng nay thi sé biét cang it thong tin hon vé dai long kia. Bat ctf mot suc géng nao dé do chinh xdc téc do cla mot dién ur trong nguyén tir chang han thi sé cang khé nhan biét vé vi wf cla nd, c6 nghia 1a cdc su c6 ging dé do chinh xac déng thoi vi tri va t6c dO sé khong thuc hién duoc. Diéu nay n6 bat nguén tir ban chat ww nhién cé Jién quan dén dic tinh lung tinh song — hal nhu da trinh bay 6 trén. Ti hinh 10.1 & trén, gia thiét rang hat nam tong khodng Ax va dong lugng clia hat trong khodng nay 1a Ap, méi quan hé rat co ban gitta khoang vi tri khéng xdc dinh Ax va khoang dong lugng Ap cé thé xdc dinh nhu sau : Ax.Ak 2 1 (10.4) Khi nhan hai vé voi hing sé A ching ta sé duoc hé thitc bat dinh Heisenberg rat néi tiéng nhu sau : Ax.Ap> hi (10.5) 35 Chirong 10Trong truéng hop 6 gidi han lugng wy, nghia 1a 6 trang thai co ban thi bat phuong trinh trén tré thanh m6t hé phuong trinh, di xa hon nia lic d6 Ax dugc thay thé bang mot do dai dac trumg 1a x,, va Ap sé trd thanh dong lung dac trung p,. Hé thitc bat dinh trén tré thanh : (10.6) Nguyén li bat dinh 1a mot nguyén {i trung tam cha co hoc luong ti, nd con c6 vai tr dac biét va 14 co sé dé gidi thich, 1am sang to nhiéu hién tong trong qué trinh xay dung va phat trién mot mo hinh If thuyét théng nhat vé vii tru hién nay. 10.5. AP SUAT LUONG TU Chiing ta c6 thé xem xét va hiéu ngay trong ban chat sng (cla mot hat co ban, vi du hat dién tt) trong hé thttc de Broglie, tir day cé thé nhan thay cé su xudt hién cia dp suat luong tir. Khi ching ta tuéng tuong c4n 4p dat mot hat vao trong mét hinh hép lap phuong cé canh 1a L. Nhu vay, theo diéu kién bién ca bai toan 1A ham séng tai cdc véch tudng cia hinh lap phuong va ca & bén ngoai hinh lap phuong cé gia tri bing 0, ¥ = 0. Diéu nay cd nghia la ham song bi dén ép va bi nhét hoan toan vao bén trong hop. Chiéu dai {én nhat cla bude séng 6 trong hop A, max S€ C6 gid tri thoa man diéu kién bom L. Dong nang nhé nhat cia hat 6 trong hinh lap phuong duge cho béi phuong trinh sau : Py PE 3 hy 3h 2m 2M Ang 8M? (10.7) Tir d6, suy ra : Eyj, —? 00 Khi L > 0. Nhu vay, chting ta phai chap nhan khai niém “ép nang lugng” cla hat vio mOt thé tich hinh lap phutong c6 canh L rat bé. Khi kich thuéc hinh lap phuong cang bé thi mat do nang lugng cing cao. Diéu nay bat budc din dén phai dua vao mot khdi niém luong th mdi nifa 1a dp sudt wong ti, Nhu vay, hat (vi du dién uh) & trong hop cé mot 4p suat rat cu thé tac dung lén khong gian thé tich chia dung hat, lén cd cdc thinh cia hop lap phuong. Ap sud? Cong, nghe micno va nano diy ty 336nay chinh la dp sudi luong tk. Day Ya mot khdi niém méi c6 vai trd quan trong trong vat If hién dai. Cé nhiéu van dé mdi xuat hién lién quan dén dai luong nay. O day, c6 thé néu ra mét vai van dé méi, vi du nhw : dai luong nay sé x4c dinh kich thudéc cia nguyén tu 14 bao nhiéu ? Toc dO ca am thanh trong cdc vat ran sé bi anh hudng nhu thé nao ? Chiéu cao ciia cdc ngon nit trén Trai Dat co bi anh hudéng khong va ca kich thuéc cdc sao notron nia sé nhu thé nao khi xét dén ca khdi niém nay ? Vi Ej, ~ L? va L~? = V4, do vay dp sudt luong tir cé thé viét nhu sau : coke 2E.. aan = ayy = (10.8) Nhu vay, cé thé suy ra ring 4p suat lung tr va luc tinh dién cé trong nguyén tir sé xdc dinh ban kinh nguyén ti. Ap dung cho nguyén ti hidro (H) va sir dung nguyén If Heisenberg véi x, = a, viét va thay vao biéu thiic nang lung theo If thuyét cé dién ching ta sé c6 : el 2 E(a)= pe = 2m 4ne,a 2ma 4re, a (10.9) Néu thay gi tri a bang ban kinh Bohr, ay = 0,053 nm, ching ta sé tinh duge nang luong [a Ey = ~13.6 eV. Gid tri nay trang voi két qua da tinh truée day. 10.6. KHAI NIEM CAU TRUC VUNG NANG LUQONG 10.6.1. MANG TINH THE TUAN HOAN Nhu ching ta da biét. tinh thé ban dan [a tinh thé c6 cau tric ma 6 dé cdc nguyén tir duoc sdp xép trong cdc khdi co sé cé tinh tudn hoan lap lai giéng nhau theo ba chiéu. Méi khéi cé mot hay mot nhém nguyén tir. Trong cdc tinh thé tw nhién, sur déi xing tinh thé 1a dic diém mang tinh ban chat. Dé hiéu va xdc dinh tinh chat cita tinh thé tuén hoan cfn hiéu 15 cdc khai niém vé mang tinh thé vd 6 co sd. Mang tinh thé tao nén bdi mét loat cac diém nuit mang trong khong gian, mang nay cé c4u trdc tudn hoan. Mdi diém nit mang khong gian trong mang cé moi truéng bao quanh giéng nhau. Mot khéi cu thanh tir cdc nguyén oY tao nén mot cu hinh nhé nhat cé dac tinh lap di lap lai dugc goi 1a 6 co sé. 6 co sé cia mot mang tinh thé nao day 1a a7 Chuang 10mét 6 c6 thé tich nhé nhat dai dién cho mang tinh thé. Canh cia 6 co s0 1a hang s6 mang. Dinh cua 6 co sé goi la mit mang. C6 ba vecto co sé géc 1a ay, ay, a; m6 ta mot tinh thé rdn sao cho cu tic tinh thé duoc git khong thay déi khi c6é su bién déi qua bat ctf vecto nao, ma vecto nay 1a t6ng cha mot s6 lan cla cdc vecto co sé. Néi cdch khdc, cdc vi trf mang truc tip cd thé dinh nghia nhu sau : R = ma, + ma, + ma, (10.10) trong d6 m,, m,, m, 1a cdc sO nguyén. Mang tinh thé 1 c4u tric tinh thé bao g6m cdc 6 co sd mac ndi tiép nhau theo ba chiéu, n6é chita dung c4c nguyén tir dugc sip xép tudn hoan trong mét tinh thé, Phan Jdn cd¢ ban dan quan trong cé cau tic mang kim cuong hodac gia kém (zinc blende), cdc mang nay cé khéi tit dién, nghia 14 méi nguyén tir dugc bao quanh béi bén nguyén th gén nhat twong ting, nhimg nguyen tir nay nam tai cdc dinh cba tr dién. Mang téng thé cé kha nang tao ra bdi chon t&t cd cdc t6 hop cé thé cha cdc 36 nguyén m,, m,, m3. Cau tric tinh thé hay goi 14 mang tinh thé dugc tao ra bai su két ndi timg 6 co 36 c6 cdc diém mang lai voi nhau. Trong thuc té, dé cho thu4n Igi trong gidi vi biéu dién mot s6 bai toan, nhat 1A bai todn vé ving nang lugng, ngudi ta dua vio khdi niém mang ddo va str dung mang dado trong tinh todn. N6 duoc dinh nghia nhu sau + G = nal + nay + na, (10.11) 6 day : ny, ny, ny cdc sO nguyen, Véi cdc vecta co sé da cho, cdc vects dio 6 thé viét nhu sau : a = Ins, a’, = 2: oa ay eT a,(a,*a3) a,(a, x as) eran (10.12) sao cho 48) =2n; a 0; G.R = (2m x s6 nguyén), timg vecto cla mang dao 1A vuéng géc véi mét loat cdc mat phing trong mang truc tiép (mang khéng dao). Thé tich cia 6 co sé mang dao 1a nghich dao cla thé tich 6 co sO mang truc tiép. Thé tich 6 co sd mang truc tiép va thé tich 6 co sé mang dao duoc viét nhu sau : I =“—*,, trong dé V, =a,(a,xa,) (10.13) Cong nqhe micro va NANO dign TG 33810.6.2, KHAI NIEM CAU TRUC VUNG NANG LUQNG TRONG CHAT BAN DAN D6i véi mot nguyén tir cdch li, mifc nang long cdc di€n tit chia nguyén tr chi 14 cdc mifc rdi rac, vi du nguyén ti hidr6 cach li, ta cé hai mic nang luong rdi rac 18 E,y, = 13,6 eV (khi s6 lugng tin = 1) va Ey, =-3,4 eV (khi n = 2). Khi cdc nguyén tir sip xép canh nhau thi cdc dién tir tuong téc 1an nhau. Cac mite nang lugng cia cdc nguyen tir c6 thé tao thanh céc ving nang lugng. C6 thé ding mdt s6 phuong phap tinh todn nhy phuong phap lién két yéu, phuong phap séng phang truc giao, phuong phdp nhiéu loan k, p... dé tinh va nhan Idi giai cho cdc mifc nang lugng. Cac Idi gidi thu dugc mo ta nang luong cia dién tr 14 mot him cua s6 séng k. Cau tric viing ndng luong ctia mét chat ran tinh thé chinh la méi quan hé giita nang luong va dong lugng, vé mat todn hoc c6 thé biéu dién bang biéu thitc E(k). Cau tric ving nang lugng thudng nhan duoc khi gidi phuong trinh séng Schrodinger cho bai todn mot dién ti gn dung. Dinh If Bloch, mot trong nhing dinh Ii quan trong nhat lam co sé cho cau tric ving nang lugng, khang dinh rang néu nang Suong thé nang V(r) a cé tinh chu ki theo sy tudn hoan cha mang tinh thé thi phuong trinh s6ng Schrodinger va li gidi ©, (r) trong trudng hop sé cé dang sau : rn [Ev -vn eo -ev (10,14) trong dé: Y,(r)=e™.U,(K.0), trong dé U,(K,r) c6 tinh tuan hoan theo khong gian r cling véi su tudn ho’n cia mang tinh thé, n Ia ki higu cba dai ving nang luong thi n. Tu dinh li Bloch, ngudi ta da chi ra rang nang Inong E, 1a tudn hoan trong mang dao, nghia Ja : Ey = Eye (10.15) trong d6 G 1a vects dao cho béi phuong trinh (10.11). Déi véi mot ving nang luong xdc dinh, nghia la véi gid tri n xdc dinh, dé ki hiéu nang luong déc nhat, c6 mét cach biéu dién rat tién loi 1a chting ta si dung dai lugng k — vecto s6ng trong 6 co sd cla mang dao dé biéu dién, Gid tri cla k c6 thé xde dinh theo cong thttc k= = mY Cheong 10Nang lugng Nang lveng a) b) Hinh 10.2. Nang ludng 1a ham cila vectd séng k adi vai mat dién te tudo a) ; va nang luang bién déi theo vectd séng déi véi mot dién tz trong mang tinh thé tudn hoan cé hang sé mang {a a, b). Theo quy uéc chudn, c4n sit dung 6 co sé Wigner — Seitz trong mang dao. O nay dugc goi Ja ving Brillouin hay ving Brillouin thi nhat. Chung ta c6 thé bién déi bat ki gid tri dong lugng k nao trong mang dao vé mot diém trong ving Brillouin, 6 d6 bat cit trang thai nang lugng nao sé duge cho boi mot ki hiéu trong gidn dé ving da bién déi nay. Mot song truyén trong tinh thé sé bi phan xa Bragg. Xdc suat dé tim thay hat tai trong mot vi tri nao dé cé thé tinh duge tir phuong trinh Schrodinger. Tai ché xay ra cdc phan xa Bragg, 10i gidi cha phuong trinh Schrodinger sé khdng tén tai. Diéu kién Bragg la: (G+k)? =k’, trong khéng gian mot chiéu diéu kién 46 c6 dang sau: bus a k= (10.16) trong dé n = J, 2 ,3..... vaa la hang s6 mang. Phan xa Bragg dau tién va ving nang lyong thir nhat c6 tai n = 1. Nhu vay, khe nang lugng E, trén hinh 10.2 b) lién quan dén phan xa Bragg ddu tién tai bién ving Brillouin dau tién khi n= | (trong cong thttc (10.16). Cac phan xa Bragg tai cdc bién viing sé tao nén cdc séng diing trong tinh thé. Cone Nghe micro va Nano dien ni 340Mat 46 xac sudt Séng dung 1 oe dung 2 Hinh 10.3. Phan bé mat d6 xdc suat vé thé n&ng tudn hoan ctia séng ding 1 va séng dung 2. [Theo hitp:/vww.mtmi.va.lt/ptkfunke_diariniai /quant_mech/ C6 hai song dimg khdc nhau cing tén tai (hinh 10.3) : mOt séng sinh ra 1a ket qua ciia hiéu hai s6ng (mot s6ng c6 chiéu huéng truyén tir ben phai va mot séng cé chiéu hung truyén ty bén tri), mot séng dimg khdc xudt hién 1A két qua ciia téng hai séng (mot song cé chiéu hudng truyén tir bén phai va mot song cé chiéu hudng truyén tir bén tdi), Higu nding luong giita hai sing diing sé cho gid tri ctia khe nang luong, nite gid tri dé lén ving cam E,. Day cling la ban chdt ctia su hinh thanh khe nding luong. Cdu wic ving nang luong c6 mdi lién hé truc tiép ti cdu tric tinh thé cia vat lieu. Viéc tinh ton cau tic ving nang luong cia mang tinh thé thuc rat phifc tap, nhat 14 viéc xdc dinh dang thé nang tudn hoan trong tinh thé 6 dang nao. Dé cho don gian ngudi ta thudng tinh cau tric ving nang luong vdi gid thiét sir dung thé nang tun hoan cé dang hinh vudng véi viée sit dung gid tri tién tdi gidi han, vi da cho 1a chiéu cao rao thé (Up) tién t6i v6 han va cho d6 rong ca rao thé nang tién tdi 0, Nic nay rao thé sé tién dén dang cdc ham Delta. Cac doc gia cé thé gidi bai todn nay hay tham khao lai gidi G mot sO sach chuyén khdo kinh dién. Dé minh hoa, ching toi néu ra Idi gidi vé edu tric viing nang lwong biéu thitc E(k) cua vat liéu ban dan rat thong dung hién nay, dé6 14 Si va GaAs, nhu sau : PEK . E(k) = += d6i véi Si (10.17) 2m, 2m) Wk EQ-s ddi voi GaAs (10.18) m yar Chong 10trong d6 k,, k, va, _m;,m) 1a sé s6ng va khdi lugng theo chiéu doc va chiéu ngang, m; =0,98mp, m; = 0,19mp, m*= 0,067m, (mp 1A khéi Luong nghi cla dién tir). E wb © a. < i aby} ob of ay} >= of ° S11 1 i ii) ii) Hinh 10.4. Gian 46 vé su hinh thanh cdc mic nang lugng trong truténg hgp thé nang la mét giéng vdi chiéu cao 14 Vo (trudng hap i) ; su hinh thanh cdc ving nang Ivang E khi c6 mot va ba giéng thé nang bién déi tudn hoan a), b) (trudng hap i) ; gidn dé nang lung E(k) trong trudng hgp thé néing cé ba giéng véi dé rong Ia a (truéng hop ii) ; hai séng dting tao nén do phan xa Bragg tai cac bién ving, higu nang lugng cla hai séng nay tao nén 40 réng ving cam (truding hop iii) ; luge 46 cau tric ving nang lugng duve vé vai su luu y vé dang lugng eta cdc loai hat tai theo cae chiéu khac nhau (trudng hgp iv). [Theo http://www. mimi.vu.lt/pfk/funke_diariniai /quant_mech), Cau tric ving nang luong ciia ba vat liu ban din Ge, Si va GaAs duge mo ta nh trén hinh 10.5. Trong d6 cau tric ving nang lugng cia Ge, Si la cau tric ving khong thing, nghia la cuc tiéu cha ving dan khéng cing véi cuc dai cia ving hod tri trén cing mot gid tri k, con cau tric ving nang luong cia GaAs 18 c&u triic ving nang long thang, trong dé cuc tiéu cla ving din va cuc dai cia ving hod tri cing nim trén cing m6t gid tri k. Bang cac tinh todn chi tiét, ngudi ta cé thé xdc dinh duge hinh dang cdc mat nang lugng Cong nGhE micro va wand dig ry 342khong déi 3D cia cdc vat ligu Ge, Si, GaAs, chting duoc thé hién trén hinh 10.6. V6i cdc két qua hiéu biét vé cau tric ving nang lugng va cdc img dung cita vat liéu cé cau tric ving nang lugng thang (c6 tinh chat quang tot dé ché tao cdc linh kién quang dién tit) va vat liéu cé cau tric ving khong thang (nhu Si c6 tinh chat phat quang kém), ngudi ta da ngay cing hiéu rd cc tinh chat dién — nhiét — quang cha vat liéu ban dan lam co sé dé ché tao cdc linh kién ban dn, cdc mach té hgp micro va nano dién tt. L {ttt} P {100} X L (1t} P (100) x L (111) T {100} x Ge si GaAs Hinh 10.5. C&u tnic ving nang lugng cla ban din Ge, Si va GaAs. {001}, vay (S10 {111} Ge Si GoAs Hinh 10.6. Hinh dang cc mat dang nang cila Si, Ge va GaAs. 343 Chuoxg 10Ngay nay, trén co sé hiéu r6 cdc dac tinh vé c4u tric ving nang luong, mot s6 cdc cong nghé ché tao vat ligu méi cling da duoc phat trién va hoan thién, vi du nhu cong nghé va ving (bandtailer) (con duge goi 1A cong nghé ché tao vat ligu cé cau tnic ving dinh truéc), cong nghé cang mang, cong nghé ché tao day luong tir, cham Ivong ti va nhiéu céng nghé khic... cdc cong nghé nay lam tién dé ché tao ra cdc thé hé laze, détecto hién dai, c4c mach micro, nano dién tir, cdc t6 hgp MEMS, NEMS... 10.7. PHUONG TRINH SONG SCHRODINGER VA DANG LO} GiAt TRONG MOT SO TRUONG HOP DON GIAN Evin Schrodinger 1a mot trong sé nhimg nha khoa hoc di dau cé déng g6p lon trong viéc phat trién Ii thuyét cothoc Iwong tix. Ong da dua ra phuong trinh séng m6 ta su chuyén d6ng cita hat dién ti trong mang tinh thé vao nam 1927, dé 1a phuong trinh séng Schrodinger va Idi giai cha phuong trinh véi diéu kien bién va ban déu x4c dinh sé m6 ta ham séng cha mot dién tir chuyén d6ng trong tinh thé xdc dinh, Day 1a mt phuong trinh co ban dat nén méng dé giai nhiéy bai todn vé hat trong co hoc lvgng ti, giéng nhu he phuong trinh Maxwell da dat nén méng cho If thuyét séng dién ti. Nhu ching 1a da biét rd, ham sdéng trong khéng gian ba chiéu cha mot dién th tu do cé thé viét nhu sau : (r,t) = Aexp(ikr).exp(-iat) (10.19) trong d6 A 1a hang sé, K 14 vecto song, k = 2/2, vi i La bude séng de Broglie. Quan hé giita dong Iugng va vecto séng dugc viet nhu sau: p=hk. Ham s6ng trén thoa man phuong trinh sau : ny? a oNa5 jo on (10.20) Khi mot hat chuyén dong trong mot khong gian cé mot thé nang tuan theo mét ham nao 46, vi du theo ham U(r), 6 dé r 1a vecto khong gian, phuong trinh trén sé cé dang sau RV? ry m OD I> = iA — 10.2 + UM) i at ( 1) Cong nqhe micro va nano diéw TG 344Phuong trinh (10.21) goi la phuong trinh song schrodinger. Vé mat toan hoc phuong trinh nay 14 mot phuong trinh dao him tuyén tinh bac hai véi cdc hé s6 phi tuyén d6i véi mot ham phtic & (r, t). Ching ta c6 thé tim nghiém cia phuong trinh nay & dang sau : Ort) = V(r)exp(-iwt) (10.22) Thay (10.22) vao phuong trinh (10.21), sau 46 chia hai vé cha phuong trinh moi thu duoc cho exp(—ict), ching ta sé nhan duge + Av? f 2 ™m, + UNM (9) = EF) (10.23) trong d6 E = hw . Phuong trinh (10.23) goi la phuong trinh sing Schrodinger khong phu thuéc vao théi gian. Day cing chinh 1a phuong trinh (10.14) nhu da néu ra ban 6 phan trén. Ham séng khong phu thudc vao théi gian V(r) va dao ham cia né tuong ting véi mot hé truc toa d6 khong gian xdc dinh 1a mot ham lién tuc. Nhiing doi hoi vé diéu kién bién trong truéng hop cu thé 1a cdc doi hdi bat budc khi gidi phuong trinh Schrodinger khong phu thudc vao théi gian. Dudi day, ching toi néu ra mét vai Idi gidi cia bai todn trong mot sé trudng hop. 10.7.1. TRONG KHONG GIAN TY DO Nhu ching ta da biét, trong khong gian tu do thi nang lugng thé nang bang khéng, U = 0, phuong trinh Schrodinger sé duoc viét dudi dang sau : 2492 FX w= Ev) (10.24) 2m Gia thiét dién tir chuyén dong theo mét chiéu x, khi nay todn ui cé thé viet V2 = d?/dx?. Vi nang lugng E 1a mot ham cua k c6 dang sau : | |. be hk (10.25) 2m 2m sau khi thay thé vio phuong trinh (10.24), bién déi ta sé c6 : 2 : Px) =-k (x) (10.26) dx 345 Chong 10Chiing ta cé thé giai phuong trinh trén mot cdch dé dang va nghiém cila né dude viét & dang sau : W = A, exp(ikx) +B, exp(-ikx) (10.27) Trong trudng hop nay, cAn uu ¥ rang, vi nang lugng dién tr E c6 trong phuong trinh (10.24) 1a khong déi, do vay (10.27) trang véi him séng de Broglie d6i v6i dién ur tu do. Thay (10.27) vao phuong trinh (10.22), bién déi chiing ta sé nhan dugc ham s6ng trong trvdng hop nay, né dugc viet dudi dang sau : @ =A, expli(kx —at)] +B, exp[-i(kx -t)] (10,28) Chuyén dong cha dién tt tu do dugc mé ta bdi mot séng phang. Méi quan hé gitra nang lugng va tn s6 cing gidng nhw déi vai photon, nd duoc viét 6 dang E= hw. 10.7.2. DOI VOI TRUONG HOP GIENG THE NANG MOT CHIEU TUAN HOAN CO DANG HINH CHU NHAT VOI CHIEU SAU VO HAN Gia thiét thé nang cé dang mot chiéu nhu 6 hinh (10.7), n6 duge cho boi dang sau : Us« (= U,), khix <0 U=0,khi0a Bén trong long giéng thé nang vi U = 0 nén nghiém cia phuong trinh s6ng 1a mot ham séng ‘Y cé dang nhu phuong trinh (10.27). Trong cdc mién gigng ma U = Uy c6 do 16n vo cing «, thi ¥ = 0. Vi theo diéu kien bién cha bai todn nhuw trén da ban thi Y = 0 khi x = 0 va ¥ = Okhi x =a. Sit dung cdc diéu kién bién nay réi thay vao phuong trinh nghiém (10.27), chting ta cé thé tinh duoc cdc hang so : A, =~ B, va do dé : Cong xGhE Mico va nano dient 346W = AP ,sin(kx) : (10.29) trong dé d6 1én cita k tir phuong trinh (10.25) cé thé viét duéi dang sau : c= 22ME va =2iA, (10.30) hi L Hinh 10.7. Mé hinh thé nang vuéng tuan hoan mét chiéu. =(ate)—b 0 a arb Dé thod man diéu kign bién, ham séng phai bing 0 tai bien : YW = 0 khi x =a, lc nay ddi hdi cn dam bao diéu kién sau : sin(ka) = 0, nghia 1a cin dim bio tén tai : ka = nz, ti day c6 thé nit ra: k = (nm)/a, Thay gid tri nay vao biéu thie nang lugng (10.25) 6 phia trén chting ta sé c6 : rk (ony whn? Soman =E,= 2 (10.31) 2m 2ma trong dé n 14 s6 nguyén duong, goi 1A sé luong tr, 6 don = 1, 2, 3, 4... Tr bidu thifc (10.31) c6 thé rit ra mot s6 két Iwan rat quan trong, d6 Ia : nang lugng cia dién tir trong giéng thé ndng la cde mic roi rac, n6 ti 1é thuan v6i binh phuong cia sé lugng tt va ti 1é nghich véi binh phuong cia dé rong giéng thé nang. Khi s6 lugng ttr cang 16n thi dO tach giita cdc mic cang xa, va khi do rong cba giéng cang hep thi d6 tach nang lung gitta céc mifc cang ion. Diéu nay rat quan trong d6i véi cdc linh kién cé cu tric nané nhu giéng luong ti, day luong tir hay cham luong wt... Hang sé chudn hod A wong phuong trinh ham séng (10.29) cé thé xdc dinh duge tiy phuong trinh sau : jJesn(2xf 347 Chong 10 Jivoof dx = ff dx =1 (10.32)Biéu thitc nay thé hién xac swat tim thdy hat dién tir c6 trong giéng Iuong tir 1a bang 1, St dung phuong tinh (10.32), chting ta xéc dinh duge hang sé chudn hod A = (2/a)"*. Thay vao ham séng trong phuong trinh (10.29), chiing ta sé nhan duge ham s6ng trong trudng hop nay : 2)\2_. (mn v.00-(2]'a0(225} sow Nhu vay, ta cé thé rit ra két luan : ham s6ng trong giéng phy thudgc vao s6 luong tn va d6 rong a cha giéng thé nang. Vi mot gid tri a vA n xdc dinh, sé c6 mot séng tuong tng véi mot gid tri nang Wong da lugng tir hod hoac mOt mic nang lugng xdc dinh cé trong giéng. Y (x) Nor E, n=3 n=2 n=1 Hinh 10.8. Cac séng trong gigng Iugng tir tai cc mic n’ing luong khac nhau d@i véi truéng hop gigng thé nang cé chiéu sau vd han. Trén hinh 10.8 thé hién céc dai luong ham séng ‘¥(x) va binh phuong cia ham séng |¥(x)[° (tic xde suat tim thay hat trong giéng). Tir biéu thitc (10.33), chting ta thay khi a, 1a d@ réng cla giéng, thay déi thi kich thudc gi€ng sé hep hay rong va nhu vay ca cdc mite nang luong va dang ham séng sé thay di, Hinh 10.9 thé hién su thay déi cdc dang ham s6ng va su téch cac mife nang luong trong giéng khi chiéu rong cia giéng 1a a thay ddi tir gid tri bé dén gid tri 16n hon. Cone, Nqhé micro vA Nano die Ty 48Ye Hinh 10.9..Su thay d6i dang cdc séng cé trong giéng va su tach cdc mifc nang luong khi dé réng celia giéng thay déi. Khi giéng cang hep thi sy tach mic cng ldn, s6 séng (hay trang thai cia hat) cang it. [Theo http:/avww.mtmi.vu.llipfidfunke_diariniai quant_mech). Ngudi ta cling di nghién ctu khi giéng thé nang khong s4u vo han ma cé dO sau hitu han thi cdc ham séng cing bién déi nhu trén hinh 10.10. W (x) n Hinh 10.10. Sy thay 46i céc mite nang luong va trang thai sng khi d6 sau cla giéng thay déi. Ngay cd mét giéng thé nang rt néng (kd << 1) cing c6 it nhat mét trang thai ning lugng va mot ham séng. 549 Chuong 1010.7.3. TRONG TRUONG DANG THE NANG PARABOL - DAO DONG LUONG TU DIEU HOA Trong thuc té, dang thé nang trong c4c mang tinh thé khong phai cé dang chit nhat li tuéng va cé chiéu sau v6 han nhu ching ta xét trong truéng hop 6 tren. Tuy nhién, dé xét va giai tuéng minh bai todn trong thuc té 1a rat phitc tap, rat khé c6 thé thyc hién duge. Ching ta hi vong véi su hiéu biét sau hon, v6i su phat trién ca mot s6 phuong phap giai tich hay phuong phdp gidi sO mdi va nhat Ja vdi su tro gitip cha cac may tinh 1én trong tuong lai gan chting ta cé thé giai duoc cdc bai todn phitc tap sét vi thuc té hon. 6 day, ching t6i tém luge mot sé két qua van tat vé ham séng trong giéng thé nang parabol. Day 18 mét bai ton da dugc quan tam nhiéu, n6 cé nhimg diém tuong tu nhu bai todn dao dong diéu hda. G day, ta cé thé t6m tit mot sé két qua chinh ma cdc nha khoa hoc da dat duoe nhu phan du6i day. Gia sir dién tit cé khoi trong m thuc hién dao dong diéu hoa trong hé thé’ nang cé dang parabol. MGi quan hé giita luc va tén sé dao dong diéu hoa cé thé viét Jai nhu sau : F(x) =— kx (10.34) Tan sé cla dao dong diéu hoa : ky o-{5] (10.35) Goi ham thé nang 1a V(x) cé dang parabol, n6 duoc viét dudi dang sau : Voy = 7S* (10.36) Phuong trinh cia dao dong diéu hoa dugc viét dudi dang sau : hod? | mo’x* : a +—— | =E,, ( mee 2 a(x) =E, F(x) (10.37) Nang luong cha hat dién tir tao nén dao dong diéu hoa 1A cdc gid tri ri rac duoc biéu thi nhy sau : E, =(n+ Yio (10.38) Cong xqhe micro vA nano ditn 350Y (x) Moo]? Hinh 10.11. Dang séng (‘¥(x) va ['¥(x)|2) va cde mife nang lugng trong giéng thé néing parabol. Pez woo? peo? Er a) b) ¢) Hinh 10.12. Xdc suat ciia hat |‘¥(x)[? trong 6 thé ning hinh chit nhat 6 chiéu sau v6 han a), trong giéng thé nang dang parabol b), va trong hé thé nang cé dang tugng ty nhu ctia hat nhan trong mang tinh thé c). (Theo hitp://www.mtmi.vu.lt/pfk/unke_diariniai /quant_mech}. Chiing ta c6 thé giai phuong trinh (10.37) véi cdc diéu kién thich hop, giéng nhu phuong phap giai bai toan tong trudng hop 6 trén, sau d6 vé cdc ham s6ng chting ta sé thdy c6 dang nhu trén hinh 10.11. Hinh 10.12 thé hin xd suat cia ham séng |‘¥(x)|’ trong trudng hop thé nang c6 dang hinh chit nhat, dang parabol va dang géin giéng v6i thé nang trong mang tinh thé, vA Chvong 1010.8. HIGU UNG XUYEN HAM LUONG TU 10.8.1. VE HIEN TUONG XUYEN HAM Bai toén xuyén ham cia hat tdi néi chung trong vat If chat ran, trong linh vwuc siéu dan, trong mot sé tiép gidp ca linh kién dién tir, micré va nano dién tir thudng xuyén xay ra va day 1a vin dé khé phé bién va phitc tap. Nha li thuyét co hoc luong tir ra dii va phat trién manh, nhat 1a tir nhimg nam 1960 tré lai day, ma cdc phuong dién nghién cttu thuc nghiém cling din duge hoan thién hon, do vay bai todn vé xuyén ham luong tir trong nhimg moi trudng khdc nhau cing da duge xem xét nghién cura manh va cing dat nhiéu két qua thuc nghiém quan trong. Viéc phat trién dua ra li thuyét xuyén ham, giai thich nhiéu hién tugng vat If khé Ii giai trudc day, da dua linh vuc vat If chat rin ndéi chung va co hoc lugng ti néi riéng tién mot bude dai va nhat 1a cdc img dung cua ching trong linh vuc nghién ctu ché tao cdc linh kign dién tir micr6 va ngay nay 1a dién tt nano da va dang dat duge cdc thanh qua mdi. Bai todn xuyén ham vé co ban duoc nghién citu dé dua ra li thuyét nham lam r6 co ché xuyén hdm qua mét rao thé nang ca hat hodc hat tdi dién dudi dang song — hat cé nang luong thugng nho hon chiéu cao rao thé nang voi xdc sudt chui qua mot rao thé’ néng cé hinh dang xdc dinh. Rao thé nang dugc nhac dén 6 day dugc tao nén do sy chénh léch vé nang Ivong hay cau tric ving nang luong khi c6 hai hay nhiéu vat liéu tiép xtic voi nhau tao nén tiép gidp déng chat hay di chat. Ngudi ta thudng xét qua tinh xuyén hdm tao nén dong dién khi cé tac dung cla cdc diéu kién bén ngoai dat vao, vf du nhu dién trudng, tir trudng, nhiét dd, dp sudt va cdc kich thich khac, Nang lugng E cilia hat dang xét nhé hon chiéu cao rio thé nang da duoc tao ra, trong mot 86 truéng hgp cing cé ca truéng hop hén hgp : trong mot tap hop hat, mot so hat chui xuyén ham qua rao thé nang, mot s6 khdc lai chay vugt qua dinh rio thé nang tao nén dong dién. Két qua cila viéc khdo sat bai todn xuyén ham thudng can phai dua ra cdc biéu thitc vé xd4c suat xuyén ham cia hat tai & dang ham séng, xac dinh d6 truyén qua rao thé nang, dO phan xa cha ham song 16i 6 tai bé mat rao thé nang, sau &6 can tinh dua ra biéu thitc vé mat d6 ddng dién xuyén ham hoac té hop co ché xuyén ham v6i mat s6 co ch€ khac (vi du co ché phat xa nhiét...) 1a ham cia cdc thong sé cla rao thé cha hé thong cing nhu cdc thdng s6 tuong tac dat vao hé théng. Cong aqhe Micno va NANO dién TU 352Hiéu ting xuyén him cé thé xay ra 0 rat nhiéu tiép gidp khdc nhau. Dudt day o6 thé liét ké mot sé cau hinh tiép gidp chinh, & dé thudng xdy ra hiéu ting xuyén him, cy thé nhu sau : — Trong tiép gidp kim loai ban dn, nhat la khi phia bén din cé pha tap manh tao ra rao thé nang mong hep (trong tiép xtic 6mic) ; ~ Trong tiép gidp pn, hai phfa déu pha tap manh nhu trong trudng hop didt Zener, diét Tunnel... ; ~ Trong tiép gidp di chat don hay tiép giap dj chat kép, thutng 6 trong cc cu hinh laze ban dan, céc détecto ; — Trong cdc c&u tric nan6, cau triic giéng lugng tir, da giéng luong tir, trong linh kién dao phong tod Coulomb ; ~ Trong cau mic siéu mang ; ~ Trong cu tric cé tiép gidp kim loai — Oxit — ban din (MOS, MIS) ; — Trong céc cau tric véi 1iép gidp 1 vat ligu situ din — dién moi — vat ligu siéu dan dui tac dung cha dién tir trudmg bén ngoai. O trong cau tric nay, mdt sé co ché xuyén h4m via ham song mot dién ti, hoac co ché xuyén ham cua hai hay nhiéu ham s6ng duéi diéu kién cia dién tir trudng 6 cdc diéu kién khdc nhaw tao nén cdc dang hiéu ung Josephson & dong bang khong, & dong dién hitu han hodc tai thé DC, AC; — Cau tric chém lugng tr, dao phong toa Coulomb ; — Trong cdc linh kién nand céng hudng xuyén hdm (Resonance Tunnel Diode — RTD). 10.8.2. CAC CO CHE XUYEN HAM QUA MOT RAO THE NANG BAT Ki Cac co ché xay ra xuyén ham cé thé rat khdc nhau, phy thuéc vao hinh dang cia rao thé nang, nang lugng cia hat tai, va vao vat liéu tao nén tiép gidp sinh ra rao thé nang, trang thai bé mat tai noi tiép gidp va cdc diéu kién bén ngoai tac dong kich thich vao hé nhu nhiét d6, 4p suat, dién tir wudng, anh séng... cod Chuong 10Ey Mién dign tich khong gian Hinh 10.13. Mat s6 co ché co ban vudt qua rao thé nang cia tiép giép MS khi phan cue thuan, ‘Lién quan dén dang rao thé, dén nay ngudi ta da xem xét nghién ctu gidi bai todn cho mét s6 dang rao thé nang chudn : dang rao thé nang wuéng goc, dang tam gidc, dang parabol, dang hinh thang va nghién ctu tinh ca cho dang rao thé nang bat ki vi mot s6 diéu kién t6i gidn. C6 thé néu ra ba co ché" chinh tao nén déng xuyén h4m. Dé cho don gian, 4 day chting ta xét qué trinh xuyén hdm cho truéng hop rao thé nang cla tiép gidp kim loai ban din nhu trén hinh 10.13, trong d6 M [a phia kim loai, $ 1a mién ban din c6é mép ving dan 1a E, va mép ving hod tri 1a E,, mu Fermi 1a E,. Ngudi ta thudng néu ra mot sé co ché xay ra trong tiép gidp kim loai — ban dan (trong d6 dugc coi cé hai co ch€ xuyén hdm chinh) nhu sau : — Co ché phat xa nhiét (1) (Thermo Emission — TE), Wc nay tuy nang long cia hat nhé hon nang luong chiéu cao cila rio thé nang, hat van cé thé vugt qua dinh rao th€ nang sang bén kia, gop phdn tao nén dong dién ; — Co ché phat xa trudng (2) (Field Emission — FE), ham song cia hat tai c6 thé chui qua ro thé nang sang bén kia g6p phan tao nén dong dién. Co ché nay thudng xay ra khi ban dan pha tap chat cao, rao thé nang cé chiéu day mong. Day 18 co ché xuyén ham rat quan trong thudng xay ra trong rat nhiéu linh kién nané hién dai nhu RTD, linh kién mot dién ti nhu dao phong toa Coulomb... ; Cong nqhé mica va nano dit ru 354~ Co ché khuéch tn (Diffusion Theory — DT) (3) ; — Co ché phat xa nhiét ~ cing co ché khuéch tan (4) ; ~ Ca ché hén hop, nghia la dong xuyén hém bao gdm mét sé co ché don 1é, vi du mot s6 hat tai vuot qua rao thé nang theo co ché TE va mot sé hat tai xuyén qua rao thé nang bang FE sang bén kia, gop phdn tao nén dong dién. Co ché hon hop nay thudng xdy ra va néi tréi hon so véi mét trong nhing co ché don lé ké trén. Viéc din dat cdc biéu thiic vé mat do ding dién 6 mdi truéng hop cé thé xem chi tiét trong cdc sdch chuyén khdo (nhu S. M. Sze, physics of semiconductor devices). 10.8.3. HIEU UNG XUYEN HAM QUA MOT RAO THE NANG DANG HINH VUONG Trong co hoc luong ti, ngudi ta da dua vao mot ham séng, d6 1a ham song Y, ham séng nay thé hién duge ca thoi gian va cd cdc vi tri cha hat trong khong gian khao sat, ham nay 14 nghiém cla phuong trinh séng schrodinger nhu da trinh bay 6 phan trén. Trong thuc té, ngudi ta thudng sit dung biéu thic ¥'Y"= (VP? hon 1a si dung chinh ban than him séng ‘7. Vi trén co sé nay, c6 thé biét x4c suat tim thdy cdc hat trong khong gian xdc dinh hay trong mét thé tich 6 co sé V = dxdydz duge cho béi biéu thitc IV? dadydz = 1. Tu biéu thitc nay, c6 thé x4c dinh dugc mét sé thong sé lién quan hay hang s6 c6 trong phuong trinh. Bay gid ching ta xét bai todn xuyén ham cia hat tai qua mét rao thé nang hinh vudng. Nhiém wu 1a phai x4c dinh duoc thanh phan xuyén hdm qua ro thé nang tao nén dong dién, xdc dinh thanh phdn s6ng phan xa tai bé mat rio thé nang. Khi cdc hat tai chuyén déng dén bé mat cha mot rao thé nang cé mot do rong L, theo If thuyét co luong ti, du dodn sé cé hiéu tng xuyén ham cha hat tai chui qua rao thé nang, hiéu img nay dd khong dugc ban téi trong vat If cé dién. Gia thiet ring rao thé nang déi véi cdc dién tir, vé mat todn hoc c6 thé dc trung nh sau : UZ) =0 khi <0 U(@Z)=U0) — khi. OS ZL U@)=0 khi z>L 359 Chuang 10Ue) Hinh 10.14. Chiéu cao rao thé nang hinh vuéng va dang ham séng dién ti ¥ tai cdc mién khéng gian khac nhau doc theo truc z. Gia thiét rang, ham song dién ti chuyén dong dén bé mat rao thé nang cé nang lugng E (dudng chém chém trén hinh 10.14) nhé hon chiéu cao rao thé nang, Ug. Hinh 10.14 thé hién rao thé nang hinh vudng cé6 chiéu cao 1a Uy va ham s6ng ¥ cita dién tir dén bé mat bi phan xa lai, né bi suy gidm di & ben trong rao thé nang va mot ph4n cn lai tiép tuc chuyén dong sau khi qua rao thé nang. Dé tim so b6 biéu thitc cla ham séng trong timg mién khong gian, chting ta viét cdc phuong trinh séng Schrédinger 6 ba mién nhu sau : Witk?¥,=0 khiz<0 (a) Wh+ky,=0 khiOb (c) trong 46k, = 2ME va y= mo h h khong gian tuong img, ‘Y" Ja dao ham bac hai cha ham séng. Nghiém cia phuong trinh s6ng trong mién z < 0, la tong cia séng tdi va thanh phdn séng phan xa, c6 dang sau : Y, = exp(ik,z) +a exp(-ik 2) (10.40) 1a cdc veco séng & cdc mién Nghiém téng quat cla phuong trinh song ben trong rao thé nang trong mién 0 < z L, tfc 1a sau khi cdc hat tai chui qua rao thé nang, cé dang sau : ‘Y, = bexp(ik,z). (10.42) Céc hang sé a, b, c, d dugc x4c dinh ti cdc diéu kién bién cla ham song Y va dao ham bac nhat cla nd W' tai z= 0 va z= L. Hé sé truyén qua rio thé nang T duge dinh nghia 1a ti s6 cla mat d6 thong luong xdc sudt cdc dién tir da truyén qua rio thé nang I, trén mat d6 thong lugng cdc dién tir dén bé mat Tho thé I,,. Vé mat todn hoc c6 thé viét 6 dang sau : eo Hel (10.43) He sé phan xa tir bé mat rao thé nang R duoc dinh nghia 1a ti s6 cha mat do thong luong xdc suat cdc dién tir da phan xa lai tir bé mat rao thé nang I; trén mat do thong Iyong cac dién tir dén bé mat rio thé I;,- (10.44) Sau khi tinh todn dugc thita s6 truyén qua va phan xa thi cdn kiém tra lai xem qué trinh xuyén him va phan xa c6 thod man biéu thtic dinh luat bdo toan dién tich khong, nghia 1a thoa man : T+Re=l (10.45) Xét mot cach ti mi hon : Trong trudng hop ching ta dang xét thi ti sé truyén qua bing binh phuong ham s6ng tai vj tri z> L, vi ring bien do séng dén bé mat rao thé nang tai 2 = 0 dugc gid thiét 1a bang 1 va cd hai vecto séng dén va da truyén qua tring nhau 18 k,, do vay : “i : 1(k, ky qo T=bb* = [e woe EE] sh to] (10.46) 1 Ke Nu kjL >> 1, thi cd hai ham s6 ch(k,L) va sh(k,L) 6 thé lay gan ding bang exp(k,L)/2 va phuong trinh trén sé c6 dang sau : : 2L T(E) =Ty cxe( 5 Pm] (10.47) 7 Chuoxg 10trong d6 Ty duge viét nhu sau : a cS Cetarall (10.48) 1k, Nhw vay, viéc tim loi gidi giai tich cba hé s6 truyén qua rao thé nang hinh vuong 1a kha don gidn. Trong trudng hop téng quat d6i véi mot rio thé’ nang cé hinh dang bat ki thi sé khong c6 ldi gidi giai tich cho hé s6 truyén qua khi rao thé cé hinh dang phitc tap. Tuy nhién, khi céc thong sé cla mot bai toan thoa man diéu kién gia cé dién thi hé s6 truyén qua ciing c6 thé tinh gén ding duoc & dang téng quat. 10.8.4, HIEU UNG XUYEN HAM QUA MOT RAO THE NANG DANG BAT KI, TINH HE SO TRUYEN QUA SU DUNG GIA THIET GIA C6 DIEN Trong trudng hop gia cé dién, diéu nay ngu ¥ néi rang chiéu dai bude song de Broglie 4 cla hat tai 1a nhd hon chiéu dai dac tung L xdc dinh cdc diéu kién cia bai ton. Diéu kién nay noi lén rang. bude séng cia hat khong thay déi dang ké vé do Ion, 6 nghia 1a : W oes (10.49) dz trong 46. @ =A/2n va theo chiéu z thi A(z) = 2nh/p(z) 18 bude song de Broglie cla hat tai duge biéu thi bing dong \wong p(z) cia hat theo li thuyét cé dién. Diéu kién (10.49) con cé thé viét 6 dang sau : (10.50) trong dé F = — dU/dz theo Ii thuyét cé dién 1 luc téc dung lén hat tai khi hat cé trong mot dién trudng ngoai dat vao. Ching ta thay luc nay vio, sé nhan duge : mF > <<1 (10.51) Tir bat dang thifc nay co thé thay phép gn ding gia cd dién khong con ding khi dong lugng cla hat qué nhé, dac biét la & cdc vi tri trong dé hat tai chuyén déng yéu gin nhu co thé phai dimg lai, sau d6 chuyén dong theo Cong nghe micro vi Nano den ts 358chiéu ngugc lai. Cac diém nay dugc goi 1a cdc diém dao lai. Vi tr cia ching duge xdc dinh ti diéu kién E = U(z). 6 day cing nén nhdn manh mot diém : diéu kién nhu (10.51) chi cé chinh ban than nd tén tai thi khong cé vai trd dang ké, cin phai c6 them mét diéu kién di theo 1a chiéu cao rao thé khong duoc phép thay d6i dang ké vuot qué chiéu dai dac tg L. Gid thiét cdc hat chuyén d6ng trong mot khong gian nhu chi ra trong hinh 10.15, trong d6 mot rao thé nang dang U(z) bat ki cé dang nhu trén hinh vé. Nang lugng cia hat 1a E nho hon chiéu cao rao thé nang va bai todn thoa man cdc diéu kién gia cd dién nhu da néu trén. Trong trudng hgp nay, z, va z, 1a cdc diém hat sé bi tac dong manh, cé thé chuyén huéng hay bat lai. fue) Zp Zz Hinh 10.15. Rao thé nang c6 dang bat ki. Phép gan diing dé gidi phuong trinh Schrodinger trong trudng hop nay da duge dua ra bdi cdc nha khoa hoc Wentzel, Kramers va Brillouin khi cac diéu kién gia cé dién déu thoa man. Phép gdn ding nay goi Ja phép gan ding WKB kha néi tiéng duoc nhiéu ngudi biét dén, hay con cé mot tén goi khdc la phuong phap luong tir gid c6 dién. Ching téi khong dan dat dua ra céch gidi cu thé, doc gid cé thé doc trong mot sé séch chuyén khao. Ther ty tinh toan gan giéng nhw trudng hop rao thé nang vudng géc da duoc trinh bay 6 trén. Két qua tinh todn cho thita sé truyén qua trong tridng hop dang rao thé nang bat ki duac viét gan dung & dang sau : 1) <9|-3 [RITA E]dz zt (10.52) Néu so sénh két qua hé s6 truyén qua & phuong trinh (10.47) déi vai rao thé nang hinh vuéng va phuong trinh (10.52) cho rao thé nang bat ki thi chting cé dang gan gidng nhau. Hé sé truyén qua trong ca hai truéng hop ddu bién déi theo ham mii va déu giam theo chiéu rong clia rao thé nang. 59 Chong 1010.9. HIEU UNG KHUECH DAI DONG TRONG TRANZITO 10.9.1. NGUYEN Li CAU TAO CUA TRANZITO ‘Tranzito la mot linh kién co ban cé tém quan trong dac biét trong ho cdc linh kién ban dan va vi mach ludng cuc dua trén vat liéu ban din, né da dugce phat minh boi ba nha khoa hoc W. Shockley, J. Bardeen va W. H. Bratain va da dugc nhan giai thuéng Nobel vio nam 1956. Tranzito thudc ho linh kién ludng cuc, c6 hai loai hat tai dién cing tham gia dan dién dé 1a dién ar va 16 trong. Tir tranzito bat ngudn tv hai tir tiéng Anh 1 transfer resistor, c6 nghia la “chuyén 46i dién tro” gitta dién mW dau vao va dién tré dau ra. Tranzito duoc sir dung rat rong rai, chiém uu thé trong nhing nam ti 1950 dén nhimg nam 1980, sau dé céc MOSFET cé mot s6 tinh nang néi tri nén viéc sit dung cdc tranzito luéng cuc khong con chiém dia vi déc ton nita, tuy nhién day van 1a mot linh kién co ban trong cong nghé micrd va nano dién ti hién nay va ca trong tuong lai. Dudi day sé néu ra m6t sé dac tinh quan trong cla qué trinh khuéch dai dong trong tranzito pnp (hoac npn). Dé hiéu duge chi tiét, doc gia cé thé tham khdo them trong cdc sdch gido trinh vé tinh kién ban dan hodc xem trong cudn : “Var liéu va linh kién ban dén quang dién tit trong théng tin quang”, Dao Khic An, Nha xuat ban Dai hoc Quéc gia Ha Noi, 2004. Cau tao cia tranzito gém ba \ép tuong ting véi ba mién p*-n—p (hoac n*—p-n) tao nén hai tiép gidp pn. Cac mién nay 1a mién émito (goi 1a mién phat £), mién bazo (goi 14 mién géc B) va mién colecto (goi 1a mién gép C). Cc dién cuc tong tmg 6 ba mién goi 1a cuc phat (E), cuc géc (B) va cuc g6p (C). Hinh 10.16 m6 ta c4u tric cta hai loai tranzito p*np (hodc n*pn). Mién cuc phat (E) cé néng dé tap chat cao nén ngwdi ta thu’mg ki hiéu them dau “+", Mién cuc géc (B) c6 néng do tap chat cao vita phai véi chiéu day rt méng. Tinh chat cha lép cuc géc nay quyét dinh t6i hoat dong ca tranzito. Mién cuc gép bao gém mot lép ban din véi néng do tap chat thap, thong thudng lép nay dugc nudi trén phién vat lieu ban din dé c6 nong do ban dan cao dé giam gid tri dién trénéi tip. Ngay nay da c6 nhiéu cong nghé hién dai dugc dp dung dé ché tao cdc tranzito c6 dac tinh rat tt. Gong Ght micro va nad din ry 360MIEN PHAT MIEN PHAT w 6c MIEN GOS Nea GOP \ ae GOP Ir Ic le Ie a) | ess Yla fr CyeE Cue Cue ES Cue C O ») Cyc B Ki higu tanzito ptnp Mign gic. Hinh 10.16. Cau tric cia hai loai tranzito p*np va n*pn a) ; ki cia ching b) ; ché dé phan cule, cing nhu cdc dang dién va thé hiéu trong cac tiép gidp tranzito p*np c). 10.9.2. TRANZITO HOAT DONG TRONG MODE TICH CUC Trong mode tich cuc cia tranzito p'np, tiép gidp cuc phat - cuc géc (E-B) luén duge phan cuc thuan, tiép giép cuc géc — cuc gép (B-C) luén duoc phan cuc ngugc nén 6p nghéo lan rong ra hon, ltic nay c6 mot déng lon 16 tréng chay ti mién E sang mién B, déng thdi cdc dién ti ciing dugc tiém ty mién B sang mién E. V6i cdc diéu kién cha didt If tudng, gia thiét khong c6 qua trinh phat sinh tai hop 6 trong Idp nghéo, thi hai ddng nay tao nén dong emito téng cong (1,). 361 Chuong 10Tin higu ra a) b) 4) Hinh 10.17. Tranzito hoat déng 6 trong mode tich cue 66 cue B chung ndi dat, Cau tric va céch phan cuc a), 46 1én phan bé tap chat va do rong lp nghéo (mién gach chéo) b), phan b6 dién truéng c) va gidn dé nang lugng ctia tranzito d), Tiép gidp C—B duge phan cuc nguoc, do vay cé mot dong dién bao hoa (con duge goi la dong nguge) tuong déi nhé chay qua tiép gidp nay. Tuy nhién, néu mién cuc géc (B) c6 do day kha mong so v6i do dai khuéch tan cua hat tai thiéu s6 thi cdc 16 trong tiém tir mién cuc phat (E) c6 thé khuéch tan qua mién cuc g6c (B) dén canh mién nghéo cia tiép gidp B-C, vi nhu vay dong tiém 16 tréng (I,,) sé duge cudn qua ti€p gidp B-C phan cuc nguge Cong Nghe micnd vA Nano ditn i = 362nay dé dén cuc g6p (C). Néu phan In cdc 16 trong tiém chich dat téi cuc gop (C) ma khong bi ti hgp véi dién ti & trong mién cuc g6c (B) thi dong 16 trong cuc gdc sé gin bing véi dong 16 trong cuc phat, nghia 1a I, = Tp. Do vay, dng dién cla cic hat tai co ban da tiém chich tir tiép giép E-B, qua mién B r6i di qua tiép gidp phan cyc nguge B-C, vin c6 mé6t gid tri rat lon tai cue gop C. Day 1a mot diéu can luu ¥ va n6 cé vai trd quan trong trong qué trinh khuéch dai dong. Tuy nhién, két qua nay chi c6 thé dat duge khi hai tiép gidp E-B va B-C 1a rat gan nhau, tic 1a mién B rat mong. Con néu nhu mién cue géc khong mong thi cdc 16 tréng da duge tiém tir émito sang bazo sé bi tai hgp phan 16n 6 trong mién cuc géc B trudc khi dat tdi tiép gidp B-C. Liic nay hiéu tig cia tranzito khong néi tri, céu triic pnp 6 cau hinh tuong ur nhu hai dit rdi rac mac déi chiéu vao nhau, su khuéch dai dong khong cén néi trdi nita. 10.9.3. HIEU UNG KHUECH DAI DONG TRONG TRANZITO Emito (p*) | Baz (n) | Colecte (p) Cue phat (E)! _ Cye gb (B) Cuc gop (C) T by Dong 16 tréng ———> Dong dién tl (nguee voi hudng dich va huang dich chuyén) chuyén ting 4 - Hugg dich chuyén cua dign ke Hinh 10.18. Cac thanh phan dang chay trong tranzito va huéng dich chuyén clia cdc hat tai khi tranzito hoat déng & mode tich cuc. Hinh 10.18 chi ra cdc thanh phan dong khac nhau trong tranzito pnp li tudng hoat dong trong mode tich cutc. Cac 16 tréng tiém chich tit mién émito sang tao nén dong Tsp» dong nay 1 16n nhat trong tranzito duge thiét 363 “Chuang 10k€ t6t. Mot phan 16 tréng bi tai hop trong mién cuc géc (thanh ph4n cé mili tén ré nhdnh trong B). Cén phan Ién cdc 16 tréng da dugc tiem chich vao B sé dat t6i mép cha tiép gidp B-C va bi cu6n sang cuc gép C tao nén thanh phan dong Top: C6 3 thanh phan dong dién ti G trong cuc géc duoc ki hiéu la Tgp: Igy Va Ic, Thanh phan I, tuong ting vi dong sinh ra tir cdc dién tir duge tiém tir mién B vao mién E. Thanh phan dong dién nay khong mong mudn xay ra. Dong nay c6 thé dugc giam thiéu khi pha tap trong mién émito cao hoac khi sir dung tiép giap E-B di chat. Thanh phén dong I, tuong ting voi cdc dién ti, chting duoc cung cap béi cuc géc dé thay thé cdc dién tit da bi tai hap vi 16 wrong da duge tiém chich v0 (Ig = Igy ~ gq). Thanh phan déng I,, sinh ra & phia tiép gidp (B-C) va do dién tir chay tir cuc C téi cuc g6c B. Trén hinh 10.18 co biéu thi chiéu dich chuyén cia dién tit (dudng dit nét) va chiéu cla dong dién tlt (dung lién nét). Ching 1a c6 thé biéu thi méi quan hé gitta céc dong dién trong tranzito nhu sau : Te= Teg + len (10.53) To = Tey + Jen (10.54) Ty = Tp — Te = Tey + (gp — Igy) — Ley (10.55) Mot thong s6 quan trong vé dac tinh cia tranzito 1a hé sé khuéch dai dong cuc géc chung, kX bieu 1a Gg. Dai lvong nay dugc dinh nghia nhu sau : I ae (10.56) I Thay cac dai luong tuong tmg cé trong cdc phuong trinh tir (10.53) dén (10.55) vao phuong trinh (10.56) va bién déi, ta sé c6 : ' Wf Gy co | Tee] too (10.57) J Tey Leg + Ten | Tep + Een Thita s6 thir nhat 6 bén vé phai duge goi la hiéu sudt émito, ki hiéu la y, thong sé nay biéu thi ti sé dong 16 trong di tiém chich dat tdi cuc colecto so voi dong émito téng cong, hoc 6 thé viét 6 dang sau : Ts, +1 (10.58) Tey * Ten 1 Ep a Cong aghe micno va nano dix ty 384Thita sO thit hai duoc goi 1a thita sé trung chuyén bazo (base transfer factor), ki higu I ay : Cede (10.59) Nhu vay, hé so khuéch dai dong khi cuc géc chung néi dat sé 1a : Ay = 7a, (10.60) Doi v6i cdc tranzito thiét ké toi wu va ché tao t6t, ca hai thita s6 y va a, cé gid tri gan bing 1 va ay rat gén voi 1. Ching ta c6 thé biéu thi dong colecto bang biéu thitc sau : ] To = Hop + Len = Orgy — Len ~ | fy = Ogle +c, (10.61) i trong dé, dong I¢, tuong ting voi dong dign tir qua tiép gidp B-C khi cuc émito dé hd (I, = 0). Bay gits ching ta ki higu dong Ic, 1a Iego, Voi hai chit dau CB 1a biéu thi cho hai cuc tiép giép cdn chit “O” biéu thi cho trang thai chan thit ba dé hd khong n6i vao dau. Nhu vay, dong dién [ogo biéu thi dong nguogc gitta B-C khi cuc E dé hd mach. Déng colecto téng cong 6 trong cfu hinh cuc bazo chung duoc biéu thi dudi day : Te = Ogle + Iea0 (10.62) Chiing ta ciing cé thé din ra nhiéu biéu thitc lién quan khdc d6i véi tranzito pnp hoat dong 6 trong mode tich cuc. Song dc gia c6 thé tham khao trong mot sé s4ch nhu da néu 6 trén. Trong phan dudi day, ching ta c6 thé néu ra mot s6 biéu thitc vé cdc thanh phan dong dién phu thudc vio phan bé tap chat va phy thuéc vio kich thudéc hinh hoc cla cdc mién cé trong tranzito. Dé tinh cdc thanh phén dong cé trong cdc cong thitc tir (10.57) dén (10.61), truéc hét chung ta phai biét phan bé hat tai, dac biét 1a phan bé hat tai thiéu so trong mién cuc géc (B) trung hoa vi viéc gidi phuong trinh lién tuc trong trang thai dimg khong co dién trudng dat vao dé tim ra cdc phan bo hat tai tai cdc bién ving nghéo cia tiép gidp E-B va B-C. Tuy nhién, ching ta cn phai sir dung mt s6 gia thiét chfnh sau : Su tiém chich hat tai trong 365 Chuong 10tranzito 8 mic thap, khong c6 thanh phn dong dién phat sinh t4i hop trong mién nghéo, bé qua céc dién tré ndi tiép & trong linh kién. Sau khi tinh todn aaa Ww : a : d6i vdi trugng hop L <1, chting ta cé thé nhan duge mét sé thanh phan a dong dién gan ding nhu sau : AD. 2 Vey AD. z 2 GARE fe tat 4 Wo (10.63) N,W N,W Dang 16 trong thu duge & tai cue gop C tai diém x = W sau khi lay gan ding, chting ta c6 thé viét 6 dang sau : 2 Me 2 ~ GAD, (1) + gAD,n, Ww = wi Mees 10.64 CoNwe Nw OL, Cee . Dang dién I, duoc tao nen béi dang chay dien tr tir mién B sang mién E va dong dién I,, gay ra béi dién tir chay tx C sang mién B duge viet nhu sau : aon 1, = saat ("1 (10.65) 6 Teg = sAP ct (10.66) c trong dé : A 1A tiét dién cita tranzito ; W 1a do rong mién cuc géc : Dp va De la do dai khuéch tan trong mién E va mién C ; Ny 1a néng dé cla tap chat tai mién dé colecto ; Lp 18 do dai khuéch tén cita hat tai thigu s6 trong mién bazo ; Lg va L, 1a d6 dai khuéch tin trong mién E va mién C ; nla néng d6 hat tai thudn tai nhiét 40 T da cho ; ky 1 hang sé Boltzmann ; Vp, 1a thé higu roi ten tip gidp E-B ; mp vA nog la néng do dign tit can bing trong mién E va C tuong img. Tir cdc két qua 6 trén, ching ta nhan thay rang cdc thanh phan dong dién 6 trong ba cyc cia tranzito cé lién quan mat thiét voi phan bd hat tai thiéu so trong mién B, Doi véi cdc tranzito thiét ké tot thi dong dién I, va dang dién Ig sé ti 1¢ vi gradien hat tdi thiéu s6 (dp/dx) tai x = 0 vax = W. Khi biét cdc thanh phin dong dién trong cdc biéu thifc tir (10.63) dén (10.66) thi higu sudt émito biéu thi trong phuong trinh (10.58) cé thé viét Cone, ngiHe micno va nano dieu 1s 766duoc duci dang phu thudc vao cdc thong sé cu tric (hay con goi 1a thong so cong nghé) nhu sau : D,Pro Tey WwW 1 Sn a 10.67 Dena, ee w Dy Poo Le hoac sau khi thay ngg (néng dé di¢n tt can bing trong mién E) va p,o (néng d6 16 tng can bang trong mién B) bang néng d6 tap chat c6 trong mién E va B, ta sé c6 biéu thitc sau: (10.68) trong d6, Ny = n,/pjo 1a néng dO tap chat d trong mién B va Ng = 12/ng 1a néng dé tap chat 6 trong mién E. Ta thay r6 rang rang, dé thu dugc hiéu suat émito cao, chiing ta cdn gidm ti sé N,/Np. Nghia 1 cdn phai pha tap mién E 6 néng dé tap chat cao hon trong mién B. Diéu nay ciing giai thich nguyén nhan vi sao phai str dung néng d6 pha tap pt trong mién émito. Thira sé trung chuyén bazo bay gid cé thé viét 6 dang phu thudc vao céc thong s6 cau tric nhur sau : (10.69) Dé nang cao higu suat az, cin dim bio ti s6 W/L, c6 gid tri nhé nhat 6 thé, thé nhung L, thong thudng cé gid tri khong d6i trong cdc diéu kién x4c dinh, cho nén chi cé thé gidm W sao cho (6i wu. 10.9.4. HE SO KHUECH DAI KHI TRANZITO CO CUC E NOI DAT Tuy theo mot cuc nao dé cia tranzito duge néi dat 1am cuc chung ma nd. cé dac tuyén I — V dac trung tinh riéng biét. Mét trong nhig dic tinh quan trong nhat cia tranzito 1a lam nhiém vu khuéch dai tin hiéu. Su khuéch dai tin hiéu 16n nhat thu duoc 1a 4 cau hinh cuc phat E chung ndi dat. 367 Chuong 10