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2 2
+ 2 = Equao elptica
x 2
y
2
=0 Equao parablica
x 2
t
2 2
+ 2 =0 Equao hiperblica
t 2
x
Pr-processamento
Anlise
Ps-processamento
Pr-processamento (70% do tempo)
ns ns
Elemento
Elemento triangular
quadriltero
Elementos
Elemento tridimensional bidimensionais
Biblioteca de Elementos
Anlise ou Solucionador (Solver) (10% do tempo)
Construo do modelo
Exemplo 1
FEA
MEF Teoria Diferena
3.976x10-6 in 4x10-6 -.6%
Exemplo 2
Exibindo o resultado
Exemplo 2
FEA
MEF Teoria Diferena
-2.61x10-4 in -2.65x10-4 .1.6%
Exemplo 3
Exibindo o resultado
Exemplo 3
Plotando a
tenso mecnica
Alguns Conceitos Importantes na Anlise por MEF
0,15
P=25MPa
B
0,02
0,05
0,1 0,02
0,04 0,04
0,15
P=25MPa
Dispositivos Inerciais
Comb-Drives & Atuadores trmicos
Transdutores de Presso Eletromagntica
Fluida
Eletrosttica
Estrutural
Lab-on-a-chip
Tecnologia de Impressoras Ink Jet
Eltrica
Tecnologia de Microespelhos
Sistema de Unidades
Unidades MKS (S.I.) no so teis para MEMS;
Conjunto de unidades consistentes foram desenvolvidas tendo
como base o micrmetro;
Introduo de dois novos sistemas de unidades:
uMKSV (micrometro, kilograma, segundo, volt, pico-ampre)
uMVSfA (micrometro, volt, segundo, fento-ampre, grama)
Geometria dada em m e propriedades de materiais so
escaladas.
Modelagem Simplificada
Mecnico Eltrico
COMB14, COMB39, MASS21 CIRCU124
Transdutor
Modelo
TRANS126
Slido de
Elementos
Finitos
Potencialidades
A seguir so mostradas algumas potencialidades do MEF na
simulao de MEMS atualmente.
Vista de um espelho
rotacionando em ar
Caracterizao de Amortecimento Fluido- Estrutura
Amortecimento de um Comb-driver
120 m