TEMA 3

MICROSCOPIA ELECTRONICA

MICROSCOPIO ELECTRONICO DE BARRIDO

Los microscopios electrnicos llevan casi 70 aos disponibles comercialmente y existen

en la actualidad en todo el mundo, siendo utilizados tanto en materiales biolgicos
como no biolgicos. El primer microscopio electrnico fue un microscopio de
transmisin (MET), sin embargo el microscopio electrnico de barrido (MEB) (en
ingls Scanning Electron Microscope (SEM) fue el que realmente revolucion la
microscopa electrnica. La principal diferencia entre ambos radica en que el MET
permite hacer observaciones de la morfologa interna de la muestra, mientras que el
MEB o SEM se utiliza para anlisis de la morfologa superficial. Estos aparatos
combinan la posibilidad de obtener imgenes de gran resolucin con el anlisis qumico
de pequeas reas del material, por ello se ha incrementado notablemente el campo de
aplicacin de esta tcnica. La tecnologa demanda cada da ms al cientfico e ingeniero,
capacidad en la obtencin de informacin acerca de la microestructura como en la
ultraestructura, el estudio a un nivel microscpico, para entender la interaccin que
existe y porque se forma determinada fase o reaccin orgnica e inorgnica1.

Por otro lado, tpicamente, la resolucin de la visin humana est limitada a 0,1-0,2
mm. (100-200 micrones). El lmite de resolucin para un microscopio ptico es 0,1-0,2
m. Este lmite es debido a la longitud de onda de una fuente de iluminacin. En este
caso, la longitud de onda de luz blanca visible es 2.000. Esto limita a reas de
observacin en muestras en el orden de 0,1-0,2 mm (100-200 m). El lmite de
resolucin puede disminuirse si emplea una radiacin con una menor longitud de onda
(vase la Figura 1).

Figura 1. Lmite de resolucin por la longitud de onda

1
Goldstein JI, Newbury DE, Echlin P, Joy DC, Fiori C, Lifshin E Scanning Electron Microscopy and X-Ray
Microanalysis, Plenum, New York, 1981
La resolucin de un microscopio se define como la menor distancia entre dos puntos en
una muestra que pueden ser diferenciados como objetos diferentes [2]. La ventaja que
tienen los electrones sobre otras partculas pequeas es que los electrones son
fcilmente acelerados mediante una diferencia de potencial y adems es posible, al estar
cargados, modificar su trayectoria en presencia de campos elctricos o magnticos.

1.1. Conformacin del El microscopio electrnico de barrido. Un MEB consta

esencialmente de las siguientes partes:
Una unidad ptica-electrnica, que genera el haz de electrones que se desplaza
sobre la muestra.
Una cmara de observacin, con distintos grados de movimientos para observar
mejor la imagen.
Una unidad de deteccin de las seales que se originan en la muestra, seguida de
un sistema de amplificacin adecuado.
Un sistema de observacin de las imgenes (tubo de rayos catdicos).
Un sistema de vaco, un sistema de refrigeracin y un sistema de suministro
elctrico, relativamente similares a los del microscopio electrnico de
transmisin.
Un sistema de registro fotogrfico, magntico o de video.

El principio operativo de un MEB se pue

de resumir de la siguiente manera:

Este equipo utiliza una fuente de electrones (con un voltaje operativo entre 0,1 y 30 kV
y lentes electromagnticas para enfocar, sobre una muestra recubierta (conductora), un
haz de electrones muy concentrado. Esta interaccin haz-muestra, arranca electrones y
radiacin de la muestra que son captados por detectores situados en la columna del
microscopio, como se muestra en la Figura 2. A partir de la informacin proporcionada
por estos detectores, el sistema de control del microscopio elabora una imagen en escala
de grises de la superficie de la muestra.

Figura 2. Interaccin entre el haz de electrones incidente y la muestra.

1.1.1. Unidad ptico-electrnica. Esta unidad incluye un can electrnico, un
sistema de barrido y un sistema de lentes electromagnticas que producen un haz
finamente colimado.

4.1.1.1 Can electrnico. La fuente emisora de electrones ms utilizada es un

filamento de tungsteno que se calienta al rojo-blanco por medio de una corriente
elctrica, en un vaco del orden de 10-6 Torr (Figura 3). Entre el nodo acelerador y el
filamento se coloca un electrodo adicional, llamado cilindro de Wehnelt o placa
catdica, que permite que los electrones emitidos por el filamento se focalicen en un
punto ligeramente por debajo del cilindro de Wehnelt [2].

Figura 3. Fuente de emisin de electrones de filamento de Tungsteno

Figura 4. Diagrama de lentes en un MEB.

Con un diseo adecuado y un potencial convenientemente elegido, se puede lograr un

punto de cruce (crossover) de dimetro menor que el dimetro de la zona emisora de
electrones en el filamento. En efecto, mientras esta ltima es del orden de 90 m, la
zona o punto de cruce puede llegar aproximadamente a unos 40 m. El voltaje de
aceleracin de los electrones puede variar entre 0,5 y 30 kV, dependiendo de las
caractersticas del microscopio electrnico de barrido y la muestra a observar. La
intensidad de la corriente del haz de electrones flucta entre 10-7 y 10-12 Ampere. Es
posible obtener una fuente electrnica ms brillante y de mayor duracin utilizando un
ctodo de hexaboruro de lantano (LaB6), pero requiere un vaco mayor, de
aproximadamente de 10-8 Torr.

4.1.1.2. Sistemas de lentes electrnicas. El microscopio electrnico de barrido

emplea dos, tres o cuatro lentes electromagnticas, cuya funcin es disminuir el
dimetro del haz de electrones de aproximadamente de 50 m en su origen, a valores
comprendidos entre 25 y 10 nm al incidir sobre la muestra como se muestra en la Fig. 4.
As se obtiene un haz de electrones extremadamente fino y, de acuerdo con el voltaje de
aceleracin, penetra un poco en el espcimen, determinando un volumen de interaccin
haz/muestra de una forma aproximada, de donde se desprenden electrones secundarios,
retrodispersados y rayos X, adems de otras radiaciones (ver figura 2).
La resolucin de un microscopio electrnico de barrido est directamente relacionada
con las dimensiones de la zona de muestra que es excitada por el haz primario. La
intensidad de las seales emitidas est influida por las dimensiones de las zonas de
donde ellas se generan, y por la absorcin por la muestra misma, lo que a su vez est
determinado por la composicin de la muestra y la energa de los electrones del haz
incidente.

4.1.1.3 Sistema de barrido. Este sistema consiste en un campo de deflexin

simple o doble, que puede ser electrosttico o electromagntico, y que produce el
desplazamiento del haz electrnico sobre la superficie de la muestra. Este campo se
localiza cerca de la ltima lente condensadora, mal llamada objetiva, en algunos
casos.

El haz de electrones se mueve en lneas rectas superpuestas, barriendo la superficie del

espcimen en un rea rectangular. La misma seal que se aplica a las bobinas
deflectoras, se utiliza para barrer en forma sincronizada el haz del tubo de rayos
catdicos, producindose as una correspondencia punto a punto, entre la superficie de
la muestra, que es barrida por el haz de electrones y la pantalla donde se observa la
imagen. Este sistema es similar al de la televisin, pero con velocidades de barrido ms
bajas. El tiempo de barrido oscila entre 0,5 y 500 segundos, indicando con estos valores
el tiempo que demora el haz parar barrer verticalmente la zona de la muestra que se est
observando en la pantalla.

4.1.1.4. Portamuestra. La cmara del portamuestra est situada en la base de la

columna del microscopio y en lnea con el haz electrnico. La pieza o platina que
sostiene el espcimen permiten varios movimientos:
a) Desplazamiento en coordenadas rectangulares (ejes X e Y) en un plano a lo largo de
la superficie observada de la muestra.
b) Movimiento de rotacin sobre el propio plano de la muestra (en 180) y
movimiento de inclinacin en el plano horizontal entre (-5 y +45).

Esto permite inclinar el espcimen, tomando como eje cualquier punto que se est
observando. Tambin es posible inclinar el espcimen sin necesidad de variar el
enfoque, lo que es indispensable si se desea tomar un par estereoscpico de
micrografas.

4.1.1.5 Sistema de deteccin. La emisin secundaria surge cuando el haz

primario tiene energa de varios de cientos de electrn voltios. Si bien en un principio la
corriente secundaria es proporcional a esa energa, llega un momento que nuevos
incrementos energticos del haz primario saturan la superficie emisora, estabilizndose
la salida de electrones, e incluso disminuyendo si la energa aumenta excesivamente.
Cada muestra presenta un coeficiente de emisin secundaria () que es caracterstico, y
que se define como la relacin entre los electrones emitidos por la superficie respecto a
los primarios que la impactan.
Los electrones secundarios son de menor energa que los primarios, y por esta razn,
aun cuando se produzcan una penetracin profunda por el haz, slo pueden abandonar la
muestra los que se generan muy superficialmente (< 50 ).
Los electrones secundarios que se desprenden de cada punto, se detectan mediante un
cristal de centello, cuya superficie se mantiene a un potencial positivo de 10 a 12 kV.
Este cristal est unido al extremo de un bastn de Lucita, que tiene el otro extremo
descansando contra la ventana del tubo fotomultiplicador. As, los electrones
secundarios colectados alcanzaran un centellador, donde se origina una seal luminosa
que, amplificada por un fotomultiplicador, se convierte en una cascada de fotones. Estos
fotones inciden en el fotoctodo, que es parte del fotomultiplicador, y se genera
finalmente una seal elctrica amplificada, capaz de modular el haz de un tubo de rayos
catdicos, obtenindose de esta forma un punto correspondiente de la imagen.
El alto voltaje que se aplica a la rejilla o grilla del detector hace que los electrones
secundarios, de baja energa, recorran una trayectoria curva al dejar la superficie de la
muestra. Esto permite obtener seales an de regiones muy inclinadas con respecto al
detector, adems de acelerarlas en direccin a l. Esto no sucede en el caso de
electrones retrodispersados, que viajan en lnea recta produciendo imgenes de contraste
muy marcado con efectos de luz y sombra bien definidos. Tantos electrones secundarios
como retrodispersados pueden ser captados por un mismo detector.

4.1.1.6. Sistema de proyeccin o visualizacin de las imgenes. Las imgenes

se proyectan en dos tubos de rayos catdicos de alta resolucin, que funcionan en
sincronizacin con el barrido electrnico de la muestra. Uno de ellos, para observacin
visual, tiene una pantalla de gran resistencia. Fijando el tiempo de barrido en 10
segundos, se obtiene una imagen de 500 lneas. La pantalla del segundo tubo es azul,
para registro de micrografa y de baja resistencia. Adosada a esta segunda pantalla va la
cmara fotogrfica. Aqu se utiliza un barrido ms lento, de 1.000 o ms lneas. Cuando
mayor sea el nmero de lneas en la pantalla fotogrfica, mayor ser la resolucin de la
imagen final.
Las dos pantallas pueden tener el mismo tamao, siendo ste el tamao mximo de la
imagen, la cual puede reducirse hasta un mnimo de 10x10 mm, en cualquier parte de la
pantalla fluorescente.
Al modular la intensidad del tubo de rayos catdicos con la seal elctrica dada por los
detectores, se obtiene en la pantalla una especie de imagen de la muestra. Es decir, en la
pantalla se describe la variacin de un tipo dado de emisin producida por la superficie
de la muestra barrida por efecto del haz primario.
El aumento lineal de la imagen (A) obtenida con un sistema est dado por la relacin
entre el ancho de la pantalla de observacin y la amplitud de la zona barrida por el haz
primario:
largo pantalla
A = largo de la regin barrida

Para altos aumentos, la regin barrida del espcimen es muy pequea comparada con la
regin rastreada en la pantalla fluorescente. El MEB permite un rango de aumentos que
va desde 15 a 300.000 veces, dependiendo del MEB, la naturaleza y la forma del
material examinado.

4.2 Microanlisis y distribucin de elementos por rayos X.

Cuando el haz de electrones del MEB bombardea la muestra, se producen rayos X que
son caractersticos de los elementos especficos alcanzados por este haz (ver Figura 2),
lo que se denomina en la literatura como Espectroscopia de rayos X por dispersin de
energa (EDX). Se pueden adaptar, tanto en el MET como en el MEB, detectores que
capten esos rayos X, y mediante analizadores apropiados determinan la identidad de
cada elemento.
De manera que, con accesorios y detectores adecuados, los MET y los MEB se pueden
convertir en herramientas de anlisis que permitan descubrir la presencia de elementos
qumicos, siempre que su nmero atmico sea superior a 4.

El detector de rayos X por dispersin de energa (EDX), recibe el espectro total emitido
por todos los elementos de la muestra a la vez. Para cada fotn de rayos X incidente el
detector genera un impulso elctrico cuya altura ser proporcional a la energa del fotn.
Los distintos impulsos elctricos generados son separados y almacenados en funcin de
su valor con ayuda de un analizador de altura de impulsos multicanal. El espectro de
radiacin de rayos X emitido para cualquier material puede ser utilizado para hacer un
microanlisis qumico semicuantitativo, mediante espectrometra de dispersin de
longitudes de onda. Los electrones incidentes excitan los tomos de la muestra y
provocan la emisin de rayos X cuya longitud de onda es caracterstica de los elementos
presentes en la muestra y, cuya intensidad, para una determinada longitud de onda es
proporcional a la concentracin relativa del elemento. Normalmente se obtiene un
anlisis cualitativo de los constituyentes mayoritarios y minoritarios de pequeas reas
(1 mm). Sin embargo, en muestras planas y bien pulidas es posible hacer anlisis
cuantitativos al comparar la intensidad de los rayos X a cualquier longitud de onda con
la producida en una muestra patrn de composicin conocida.