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Revue Phys. Appl.

21 (1986) 443 JUILLET 1986, PAGE 443

Classification
Physics Abstracts
06.30C 2013 07. 55

Etude dun capteur lectromagntique plat de proximit


A. Billat, A. Leclerc, J. C. Emond et G. Villermain-Lecolier
Laboratoire dApplications de la Microlectronique, Universit de Reims, B.P. 347, 51062 Reims Cedex, France

(Reu le 24 dcembre 1985, rvis le 25 mars 1986, accept le 8 avril 1986)

Rsum. La partie sensible des capteurs de proximit magntiques est souvent constitue dune bobine enroule
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autour dun noyau. Nous avons ralis une bobine dont la gomtrie est diffrente. Elle permet par son incorpora-
tion dans un oscillateur, la ralisation dun capteur de proximit peu coteux. Nous prsentons ici les caractris-
tiques physiques et lectriques de plusieurs chantillons. Cette tude constitue une premire approche doptimisa-
tion du capteur et de son lectronique associe. Nous montrons que lon peut dtecter correctement un bord de tle
ainsi que la prsence de trous dans une tle.

Abstract. The sensible part of magnetic proximity sensors is often constituted of a coil wound round a core. We
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have realized a flat coil of which geometry is different. On account of its incorporation into an oscillator, it allows
an inexpensive manufacturing of proximity sensors. We present here the physical and electrical characteristics of
different samples. This work is a first study of the sensor optimization and of its associated electronic. We demons-
trate that we can accurately detect a sheet metal edge and also the presence of hole in a sheet.

1. Introductioa oscillant utilis comme conditionneur permet dobte-


nir une relation frquence-distance.
La plupart des capteurs de proximit magntiques Le signal de sortie du capteur est alors analys par
actuellement commercialiss comportent une bobine un systme microprocesseur.
enroule autour dun noyau. On sait alors [1]que la
proximit dune pice mtallique peut tre dtecte 2. Bobines plates.
selon deux principes physiques diffrents.
La bobine produit dans lespace un champ magn- 2.1 TECHNIQUES DE RALISATION DES BOBINES PLATES.

tique variable. Si une cible mtallique non ferromagn- 2.1.1 Ralisation physique. -

Les bobines sont gra-


tique est place dans cet environnement, elle devient ves sur circuit imprim de 35 gm dpaisseur partir
le sige de courants de Foucault localiss dans une
dun masque. La plupart des chantillons ont t
couche superficielle dont lpaisseur est denviron
trois fois celle de leffet de peau. Ces courants ragissent
gravs sur support rigide en rsine poxy ou sur
sur limpdance de lenroulement si la modulation
support souple en capton. Le masque a la forme dune
en frquence est assez leve. La proximit dune sur-
spirale (Fig. 1). Il est ralis partir dun traceur de
courbes Benson 1202 pilot par un ordinateur IBM
face mtallique peut alors tre dduite dune mesure
srie 1. Il est impratif de tracer ce masque sur un
dimpdance. Si la cible est ferromagntique, au ph- support de grande stabilit (polyester Benson) puis-
nomne prcdemment cit, vient sajouter la varia-
tion de reluctance du circuit magntique cible-capteur
quil sera rduit dun facteur dix environ pour donner
le masque dfinitif. Les diffrentes tapes de ce travail
lors du dplacement relatif de ses lments.
doivent tre particulirement soignes et ralises
Malgr des caractristiques de sorties fortement non en atmosphre exempte de poussires.
linaires ces capteurs sont trs utiliss [2]. Leurs condi-
tions de fonctionnement optimum ont t dailleurs 2.1.2 Caractrisation gomtrique. La bonne qua-
-

abondamment dcrites [3-5]. lit physique des bobines plates est vrifie laide
Le travail que nous prsentons ici montre la possi- dune lunette binoculaire. Lpaisseur des traits et
bilit dutiliser comme lment sensible une bobine intertraits (Fig. 2) est mesure au microscope. Une
plate grave sur circuit imprim. Cette ralisation a largeur de trait ou dintertrait de lordre de 70 lim
lavantage dtre simple et peu cotuse. Un circuit apparat comme une limite raisonnable pour la

Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/rphysap:01986002107044300


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2 .1. 3 Caractrisation lectrique. - Linductance et


la rsistance de la bobine sont mesures laide dun
impdancemtre en utilisant un modle bobine rsis-
tance en srie ngligeant les capacits rparties. Ce
modle est justifi a posteriori par le trac dun dia-
gramme de Bode, caractristique dun circuit du pre-
mier ordre, obtenu partir dun filtre passe-bas
incluant la bobine plate (Fig. 3).

Fig. 1. -

Bobine plate ralise sur circuit imprim.


[Flat coil realized in printed circuit on epoxy resin support.]
Fig. 3. -

Diagramme de Bode.

[Bode diagram.]

Nous prsentons dans le tableau 1 lvolution res-


pective des valeurs de linductance et de la rsistance
en fonction de divers paramtres physiques et gom-

triques. Ces rsultats concernent un ensemble repr-


sentatif dchantillons raliss au Laboratoire. La
lecture du tableau 1 appelle quelques remarques.
a) Le facteur de qualit dune self est fonction de
L03C9/r. Nous avons donc ralis quelques chantillons
sur circuit imprim double face. Dans ce cas la rsis-
tance est la somme des rsistances et linductance est
donne par L L, + L2 +
=
k,JLIL2
o k est un
coefficient de couplage. Si celui-ci est satisfaisant, la
rsistance r crot moins vite que linductance L.
Le tableau 1 montre quun capteur de 50 gm
dpaisseur permet dobtenir un coefficient de cou-
plage maximum.
b) Le procd de fabrication des bobines est trs
fiable. A partir dun masque ayant une largeur de trait
et dintertrait fix, on peut tirer un grand nombre de
circuits sans que la prcision obtenue sur la largeur
des traits et intertraits soit fortement altre. Elle est
de lordre de 4 %.

2.2 MODLISATION EN ABSENCE DE CIBLE.

Fig. 2. -

Dtail des traits et intertraits.


2.2.1 Carte du champ. Une simulation effectue
-

[Detailed part of a flat coil.] partir du logiciel Flux 2D montre quon peut par-
faitement assimiler la spirale une distribution uni-
technologie utilise. Le diamtre des bobines que nous forme puisque les courbes prsentes sur les figures 4
fabriquons est variable. Il est fonction de la taille ainsi et 5 sont pratiquement superposables. En fait cette
que de la nature de lobjet-cible. approximation nest valable que si la distance AA
445

Tableau 1. -

lectriques de quelques chantillons.


Caractristiques physiques et

[Physical and electrical characteristics of some flat coils.]

Fig. 4. -

de linduction le long
Composante normale Bz Fig. 5. Composante radiale Br de linduction le long dun
-

dun rayon de la bobine. Distribution uniforme de rayon de la bobine. Distribution uniforme de cou-
courant. Bobine constitue de 44 spires.
------
rant. Bobine constitue de 44 spires.
-------

[Normal component of induction Bz along one radius of the [Radial component of induction Br along one radius of the
coil. Uniform current distribution; 44 turns
------
coil. Uniform current distribution; 44 turns
------

coil.] coil.]

sparant le plan des spires du point o on mesure le Soit :


champ est au moins suprieure 10 fois la largeur
de lintertrait de la bobine plate.
Si lon tient compte de cette simplification, on peut
obtenir partir de la loi de Biot et Savart les formes
littrales de linduction magntique cre par la
bobine dans un plan parallle celle-ci.
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et

o ri et y-j sont les rayons des spires.


p est le rayon du conducteur constituant la spire.
o Pour des raisons de simplification nous prenons ici
Br est la composante radiale de linduction une section circulaire plutt que la section rectangu-

Bz est la composante normale laire de la bobine relle; lincidence sur le rsultat


rl et r2 sont respectivement les rayons intrieur et du calcul reste faible condition de considrer des
extrieur de la bobine surfaces sensiblement gales. Les valeurs de k et k
z est la distance du plan de la bobine au plan de sont les suivantes :
mesure
7 est lintensit totale du courant dans la nappe
h est labscisse du point de calcul le long du rayon
Bz et Br sont des fonctions de rl, r2, z, h et L
Nous avons crit un logiciel permettant deffectuer J1 et J2 sont les intgrales de Legendre de coefficient k
ou k [6].
le calcul de 1 et II. Nos rsultats ont t compars
Dans le tableau II, on peut comparer les valeurs
ceux obtenus partir de FLUX 2D.
mesures de linductance celles calcules partir du
Nous donnons comme exemple (Fig. 6) le rsultat
du calcul de la composante normale BZ de linduction programme dcrit ci-dessus. Les bobines plates consi-
dres ici ont toutes un diamtre extrieur de 75 mm
magntique cre par la bobine le long de droites et lpaisseur de cuivre sur le support en rsine poxy
radiales parallles son plan situes 0,5 ; 1 et 5 cm.
est de 35 gm. On peut constater que laccord entre
Dans ce calcul les constantes rl, r2 et I ont respective-
les valeurs exprimentales et thoriques est trs cor-
ment les valeurs 2 cm, 5 cm et 1 A.
rect. En outre, il ressort de lensemble des calculs
numriques effectus que linfluence de la largeur du
trait sur la valeur de linductance est trs faible. On ne
modifiera cette variable de faon exprimentale qu
des fins doptimisation de lensemble capteur-condi-
tionneur.

Tableau II. -

Valeursexprimentales et calcules du
coefficient de self-induction.
[Experimental and calculated values of the self-induc-
tioncoefficient.]

Fig. 6. -

Composante BZ daprs nos calculs.

[The Bz component from our calculation.]

Une tude systmatique de la rpartition de B.


et Br en fonction de diffrents paramtres gom-
triques est en cours. Elle sera publie ultrieurement.
2.2.2 Calcul du coefficient de self-induction. Le -
3. Montage en capteur.
calcul du coefficient de self-induction de la bobine est
indpendant du prcdent. On considre cette fois que 3 .1 RALISATION ET CARACTRISATION.
la bobine est constitue dun ensemble de N spires
3.1.1 Oscillateurs. - Le conditionneur du capteur
circulaires concentriques. Le calcul de linductance L
mont partir de la bobine qui vient dtre dcrite est
consiste ajouter les coefficients de linductance de
un oscillateur. Ceux que nous avons utiliss ont t
ces N spires isoles aux N 2 coefficients dinduction
tous raliss partir des circuits intgrs commer-
mutuelle de chaque spire sur les spires voisines. On
ciaux suivants :
calcule donc :
a) TDA 0159 - Thomson-EFCIS (rsistance nga-
tive). Bien que ce circuit soit plus spcialement conu
pour utiliser sa sortie TTL, il permet de raliser un
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oscillateur stable en temprature qui donne satisfac- Nous travaillons habituellement avec un dplace-
tion ; ment lmentaire des vis micromtriques de 20 lim.
b) TCA 305 - Siemens (oscillateur Meissner). Une acquisition de frquence est faite aprs chacun
Le TCA 305 autorise la mise la masse dune extr- de ces dplacements lmentaires, et le fichier obtenu
mit de la bobine. En outre une entre de rfrence peut ensuite tre trait par microordinateur.
permet dagir sous certaines conditions sur lamplitude
des oscillations [7]. 3.2 RSULTATS
c) MC 1550 - Motorola (contre-raction). 3.2.1 Relation frquence-proximit. Les figures 8
-

Ce circuit a la particularit de donner accs au col- et 9 montrent les courbes caractristiques de la


lecteur dun des transistors de ltage diffrentiel [8]. rponse du capteur en fonction de la distance cible-
De plus on peut agir sur lamplitude des oscillations capteur. La cible est une tle dacier de forme carre
de par lentre AGC (correction automatique de gain). (200 x 200 mm2) et dpaisseur 1 mm. Les bobines
Ces trois montages diffrents permettent tous simple face (44 spires) et double face (2 x 44 spires)
dobtenir une gamme de frquences doscillations ont un diamtre de 23,5 mm.
comprise entre 0,8 et 1,5 MHz qui correspond nos Sur ce type de courbe (Fig. 8) ou, pour une plus
frquences de travail. Celles-ci rsultent videmment grande prcision, partir du fichier de donnes cor-
dun compromis dans lequel interviennent la capacit respondant, on peut dfinir des paramtres qui per-
de loscillateur et les caractristiques de la bobine. mettent une comparaison objective des diffrents
Les limitations sont en fait de deux ordres : lments sensibles.
-

la capacit de loscillateur ne doit pas tre trop a) La frquence note FMAX est dfinie par extra-
faible si on la compare lordre de grandeur des polation pour x 0. =

capacits parasites des bobines de diamtre important, b) Fo est la frquence vide cest--dire en
-

la frquence de travail doit tre suffisamment labsence de cible. KT est le rapport FMAX sur Fo.
leve pour que la sensibilit du capteur reste dans un c) Labscisse xL correspond au point dintersection
domaine acceptable. de la tangente la courbe au point (FMAX, 0) avec

3.1.2 Banc de mesures. Nous utilisons un banc


-

de mesures Microcontrle pour relever les diff-


rentes caractristiques du capteur. La cible et llment
sensible (bobine) sont disposs dans deux plans paral-
lles. Trois vis micromtriques permettent des dpla-
cements selon les axes x, y, z (Fig. 7). Le mouvement
de ces vis est assur par des moteurs pas pas contr-
ls par un systme microprocesseur qui dlivre
tout moment sur les deux ports dun PIA la position
relative capteur-cible. La frquence de loscillateur
est lue sur un frquencemtre quip dune carte IEEE
par un microordinateur Goupil III. Celui-ci gre
lensemble de lappareillage dacquisition, la proc-
dure de poigne de mains avec le systme micropro-
cesseur ; il contrle le bus IEEE auquel est reli le
frquencemtre et un traceur de courbes.

Fig. 7. -

Position relative du capteur (a) et de la cible (b). Fig. 8. -

Rponse dun capteur simple face.

[Relative location of sensor (a) and target (b)]. [Characteristic of proximity-frequency for a one face coil.]
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Le tableau III donne les valeurs des paramtres


qui viennent dtre dfinis pour quelques chantillons
de capteurs fabriqus au Laboratoire. Les deux
bobines du tableau IV sont ralises partir dun mme
masque dont on a plus ou moins obtur la partie
centrale au tirage. Si on admet que la sensibilit
AF/Ax est une bonne reprsentation du pouvoir
de dtection, on peut considrer que de ce point de vue
les deux capteurs ont la mme efficacit. Ceci montre
que le rle des spires centrales de la bobine est ngli-
geable et justifie donc la fabrication dchantillons
dont le diamtre intrieur est diffrent de zro.

3.2.2 Grandeur dinfluence. -

Lensemble bobine
conditionneur est sensible la temprature.
Les condensateurs utiliss dans les diffrents
a)
types doscillateurs ont leur dilectrique constitu
de verre. Leffet de temprature peut donc tre nglig
puisque la variation relative de la capacit 0394C/C ne
dpasse pas 150 x 10-/OC. La drive en frquence
du capteur est donc principalement due linfluence
de la temprature sur lensemble constitu par la
.
bobine et les autres composants et circuits de loscilla-
Fig. 9. -

Rponse dun capteur double face.


teur.
[Characteristic of proximity-frequency for a two face coil.] b) Une tude globale du comportement du systme
a t faite en fonction de la temprature. A titre indi-
catif, nous donnons ici les valeurs numriques cor-
lhorizontale Fo. La xL
frquence correspondant respondant une bobine (N = 40, L 109 yH, =

est FL. KL est le


rapport FMAX sur FL. R = 11 03A9, l/Jext 75 mm, Oin, 34,5 mm) en absence
= =

d) La sensibilit du capteur dfinie comme le rap- de tle. La drive en frquence due lensemble du
port AF/Ax est calcule partir dun fichier dune systme est infrieure 0,3 kHz/OC pour une rponse
bobine par une mthode de moindres carrs. Elle peut de 930 kHz, ceci autour de la temprature ambiante.
tre calcule en tout point de la courbe. Un capteur en prsence de tle dacier (paisseur

Tableau III. -

Valeurs numriques des paramtres caractristiques dun chantillon.


[Numerical values of main-coil parameters.]

Tableau IV. Influence du nombre de spires sur la dtection.


-

[Influence of the number of turns on the detection.]


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1 mm, dimensions grandes devant le diamtre de b) Dtection dun trou circulaire. Nous utilisons
llment sensible) et soumis une variation de tem- le mme montage que ci-dessus. Les centres du trou
prature peut prsenter une erreur Ox lors dun posi- et de la bobine sont aligns sur un mme axe qui sera
tionnement statique. Cette erreur fonction de la dis- pris comme origine. La figure 11 montre les courbes
tance cible-bobine crot lorsquon sloigne de la tle. caractristiques (puits de frquence) obtenues partir
Nous donnons ici pour quelques valeurs de x (dis- du mme capteur. La profondeur et la forme de la
tance cible-bobine) les limites suprieures correspon- courbe de rponse dpendent du rapport relatif des
dant ex. diamtres de la bobine et du trou, ainsi que de la
distance capteur-tle. En particulier, on peut obtenir
des courbes prsentant une absence de pic mdian (0
trou plus grand que 0 capteur).

c) Les utilisations que nous dveloppons au labo-


ratoire pour ce capteur font appel des mesures dyna-
miques. Pour un positionnement absolu, avec une
grande prcision on doit videmment envisager un
tarage.

3.2.3 Dtection de bord de tle et de trous. a) Bord


-

de tle. La bobine se dplace suivant laxe z dans un


plan parallle la tle. La distance x entre les deux
plans est constante.
La figure 10 montre une courbe type F f(z),
=

obtenue avec nos capteurs pour la dtection de bord


de tle avec xo 2,4 mm. Il sagit ici dun chantillon
=

double face dj cit (2 x 44 spires 0 23,5 mm). La


variation maximum de frquence (en prsence de tle
et hors tle) est de lordre de 140 kHz. La partie
linaire de la courbe correspond une sensibilit
AF/Az de lordre de 15,6 kHz/mm.

Fig. 11. Prsence dun trou dans une tle dacier.


-

diamtre du trou 20,1 mm;


-. -. -. -. diamtre du
--------

trou 15,2 mm; diamtre du trou 10,0 mm.

[Frequency variation observed according to the location


of the sensor with regard to the hole. -.... The hole
diameter is 20.1 mm; The hole diameter is 15.2 mm;
-------

The hole diameter is 10.0 mm].

Une asymtrie plus ou moins marque peut aussi


reflter le paralllisme imparfait entre les plans de la
tle et la bobine.
Ces caractristiques nous ont pouss dvelopper
des algorithmes de dtection et de position automa-
tique au centre dun trou ou sur le bord dune tle [9].
Les travaux dtaills concernant la prcision de ces
positionnements seront publis ultrieurement. On
10. Dtection dun bord de tle dacier.
peut cependant indiquer rapidement que lon sait
Fig. -

reconnatre la position de laxe dun trou de quelques


[Detection of an edge of iron sheet.] centimtres de diamtre, avec une imprcision Ax
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toujours infrieure 10 gm, (distance tle-capteur =


de telles bobines plates intgres un oscillateur pour
3 mm). Ceci sans prendre de prcaution particulire la dtection et la localisation dune cible mtallique.
quant la temprature. La mthode de mesure est ici Ce procd outre quil est bon march est trs facile
une mthode dynamique. raliser industriellement.
Les logiciels correspondants ont t implants Le faible poids de la bobine autorise lincorporation
sur carte microprocesseur. de llectronique de traitement et de commande au
sein du capteur, Lensemble pourrait par exemple tre
4. Conclusion plac lextrmit dun bras de robot.
Nous travaillons dvelopper et optimiser de tels
Ltude prcdente montre quil est possible dutiliser capteurs pour diverses applications industrielles.

Bibliographie

[1] ASCH, G., Les capteurs en instrumentation industrielle [6] DURAND, E., Electrostatique et Magntostatique (Mas-
(Dunod, Paris) 1982. son, Paris) 1953.
[2] GARRAT, J. D., J. Phys. E. : Sci. Instrum. 12 (1979) 563. [7] STREHLE, G., ZULAUF, J. M. Exemple dapplication
[3] PLACKO, D., Dispositif danalyse de profil utilisant des N 9. Rfrence B 9.102, 1978. Siemens S. A.
capteurs courant de Foucault. Thse de 3e cycle. Division composants B.P. 109, 93203 Saint-Denis.
Orsay, 1984. [8] FLOUTIER, D., Electron. Appl. 50 (11) (1979) 79.
[4] KAPLAN, B. Z., MISHAL, R., FETMAN, A. and GRESSEL, [9] VILLERMAIN-LECOLIER, G., BILLAT, A., SENSOR852014
C., Rev. Sci. Instrum. 49 (11) (1978) 1583. Transducer-Technik. Karlsruhe. Conference Pro-
[5] CLERGEOT, H., MONTEIL, F., PLACKO, C., DETRICHE, ceedings (4) 1985, 621.
J. M., Dispositif danalyse de profil utilisant des
capteurs courant de Foucault. AFCET Besanon,
1983.