MAKALAH

MATA KULIAH SENSOR

SENSOR AKUSTIK

Disusun Oleh :

Mawar Santika (M0214034)

Mercuryta Dewi (M0214036)

PROGRAM STUDI FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN

ALAM

UNIVERSITAS SEBELAS MARET

2017
 SENSOR AKUSTIK

1.1 Pendahuluan
Gelombang akustik, adalah gelombang mekanik yang bisa diproduksi di
media padat, cair atau gas Telinga manusia mampu mendeteksi gelombang
akustik dari 20Hz sampai 20KHz (Suara). Gelombang akuatik di bawah 20Hz
disebut infrasonik dan di atas 20KHz disebut ultrasound.

Gambar 1.1

Sensor akustik pada dasarnya adalah sensor tekanan.Dengan berbagai jenis

sensor akustik disebut mikrofon. Digunakan di Militer, Otomotif, Industri,
Kedokteran. Menghasilkan pada biaya minimum dan konsumsi daya, berikan
presisi tinggi dalam berbagai frekuensi.

Sensor akustik untuk berbagai rentang frekuensi. Rentang yang dapat

didengar. Sensor umumnya disebut mikrofon; Namun, nama itu sering digunakan
sekalipun untuk gelombang ultrasonik dan infrasonik. Intinya, mikrofon adalah
transduser tekanan disesuaikan untuk transduksi gelombang suara melalui rentang
spektral yang luas umumnya tidak termasuk frekuensi yang sangat rendah di
bawah beberapa hertz. Mikrofon berbeda dengan sensitivitas, karakteristik arah,
bandwidth frekuensi, jangkauan dinamis, ukuran, dan sebagainya. Selain itu,
desain mereka sangat berbeda tergantung mediadari mana gelombang suara terasa.
Misalnya untuk persepsi gelombang udara atau getaran dalam padatan, sensor
disebut mikrofon.
2. Jenis-jenis Mikrofon Sensor Suara

2.1 Mikropon Resistive

Konverter tekanan resistif digunakan cukup banyak dalam mikrofon.

Konverter terdiri dari bubuk semikonduktif (biasanya grafit) yang resistivitas bulk
peka terhadap tekanan. Saat ini, kita akan mengatakan bahwa bubuk itu dimiliki
sifat piezoresistif Namun, perangkat awal ini memiliki dinamika yang cukup
terbatas, respon frekuensi yang buruk, dan kebisingan yang tinggi. Saat ini,
piezoresistif yang sama prinsip dapat digunakan dalam sensor micromachined, di
mana stres-sensitif Resistor adalah bagian integral dari diafragma silikon.

Mikrofon resistif atau mikrofon karbon, memiliki dua pelat logam, di

antaranya diisi butiran karbon. Satu piring sangat tipis, dihadapkan pada suara
masuk gelombang (diafragma). Tekanan pada butiran bervariasi, listrik resistensi
antara lempeng berubah Karena tegangan konstan, perubahan hasil resistansi
berubah saat ini.

Gambar 2.1 Diagram mikrofon resistive

Sebelum penguat tabung hampa pada tahun 1920an, mikrofon karbon

adalah satu-satunya cara praktis untuk memperoleh sinyal audio tingkat tinggi.
Banyak digunakan dalam sistem telepon. Kekurangan dari mikrofon ini : respon
frekuensi terbatas dan tingkat kebisingan tinggi (low SNR).

2. Mikrofon Condenser
 Diafragma berfungsi sebagai satu piring dari sebuah kapasitor. Gelombang
akustik menghasilkan getaran diafragma . Perubahan kapastansi dapat dihitung
𝑄
menggunakan persamaan C = 𝑉 dimana V konstan, oleh karena itu Q berubah, i =
𝑑𝑄
, sinyal arus yang dihasilkan. Kapasitansi tergantung pada jarak d antara
𝑑𝑡
𝑑
lempeng. Sehingga berlaku persamaan V = q dimana ɛ0 = 8.8542×10−12
𝜀0 𝐴

C2/Nm2 merupakan permitivitas konstan.

Dasar untuk pengoperasian mikrofon kondensor dapat dikategorikan

sebagai mikrofon "kapasitif". Dengan demikian, sebuah mikrofon kapasitif secara
linear mengubah jarak antar pelat menjadi voltase listrik yang bisa diperkuat lebih
lanjut. Perangkat pada dasarnya membutuhkan sumber muatan listrik q yang
besarnya secara langsung menentukan sensitivitas mikrofon. Sumber listrik bisa
disediakan baik dari catu daya eksternal yang memiliki tegangan dalam jangkauan
20 sampai 200 V atau dari sumber internal yang mampu menghasilkan nilai
semacam itu. Lapisan electret built-in yang merupakan kristal dielektrik
terpolarisasi.

Gambar 2.2 Diagram mikrofon condensor

Saat ini, banyak mikrofon kondensor dibuat dengan diafragma silikon,

yang berfungsi sebagai : untuk mengubah tekanan akustik menjadi perpindahan
dan untuk bertindak sebagai pelat yang bergerak dari sebuah kapasitor. Untuk
mencapai sensitivitas tinggi, tegangan bias harus sama besar mungkin, sehingga
menghasilkan defleksi statis diafragma besar, yang dapat menyebabkan
penurunan resistivitas syok dan rentang dinamis yang rendah. Selain itu, jika
celah udara antara diafragma dan backplate sangat kecil, hambatan akustik dari
celah udara akan mengurangi sensitivitas mekanik mikrofon pada frekuensi yang
lebih tinggi. Misalnya dicelah udara 2 μm, frekuensi cutoff atas hanya 2 kHz telah
diukur. Salah satu cara untuk memperbaiki karakteristik mikrofon kondensor
adalah dengan menggunakan umpan balik mekanis dari keluaran penguat ke
diafragma.

Ganbar 2.3A Menunjukkan diagram rangkaian dan Gambar 2.3B adalah

gambar elektroda interdinasi dari mikrofon Elektroda melayani tujuan yang
berbeda: Salah satunya adalah untuk konversi perpindahan diafragma ke tegangan
pada masukan amplifier A1 dan yang lainnya elektroda adalah untuk mengubah
tegangan umpan balik Va menjadi defleksi mekanis dengan cara kekuatan
elektrostatik. Umpan balik mekanis jelas meningkatkan linieritas dan rentang
frekuensi mikrofon; Namun, secara signifikan mengurangi defleksi, yang
menghasilkan sensitivitas yang lebih rendah.

Gambar 2.3A Diagram Rangkaian dan 2.3B Elektroda Interdinasi

2.3 Mikrofon Fiber Optic

Pengukuran akustik langsung di lingkungan yang tidak bersahabat, seperti

turbojet atau roket, dan mesin, membutuhkan sensor yang bisa menahan panas
tinggi dan getaran yang kuat. Itu Pengukuran akustik dalam kondisi sulit seperti
itu diperlukan untuk komputasi validasi kode dinamik fluida (CFD), uji akustik
struktural, dan pengurangan kebisingan jet. Untuk aplikasi seperti itu, mikrofon
interferometri serat optik bisa sangatcocok. Salah satu desain tersebut [6] terdiri
dari suhu mode tunggal yang tidak sensitif Interferometer Michelson dan
diafragma pelat reflektif. Monitor interferometer defleksi pelat, yang secara
langsung berhubungan dengan tekanan akustik. Sensornyaadalah air didinginkan
untuk memberikan perlindungan termal untuk bahan optik dan untuk
menstabilkan sifat mekanik diafragma. Untuk memberikan efek interferensi antara
cahaya masuk dan keluar balok, dua serat disatukan dan dibelah pada daerah
runcing minimum Gambar 2.4. Serat dimasukkan ke dalam tabung stainless steel,
yang didinginkan dengan air. Ruang internal di tabung diisi dengan epoksi, dan
ujung tabung dipoles sampai serat optik diamati. Selanjutnya, aluminium secara
selektif disimpan pada satu dari ujung serat menyatu berakhir untuk membuat
cermin permukaannya reflektif. Serat ini berfungsi sebagai lengan referensi
mikrofon. Inti serat lainnya dibiarkan terbuka dan berfungsi sebagai lengan
penginderaan. Ketidakstabilan suhu diperoleh dari jarak dekat referensi dan
penginderaan lengan perakitan.

Gambar 2.4 Mikrofon interferometri serat optik. Gerakan diafragma tembaga

dikonversi menjadi intensitas cahaya di detektor.
 Cahaya dari sumber laser (dioda laser yang beroperasi mendekati panjang
gelombang 1,3 μm) masuk salah satu inti dan menyebar ke arah ujung yang
menyatu, di mana ia digabungkan ke sisi yang lain inti serat. Saat mencapai ujung
inti, cahaya di inti referensi tercermin dari cermin aluminium menuju sisi input
dan output sensor. Porsi cahaya yang menuju input hilang dan tidak berpengaruh
pada pengukuran, sedangkan bagian yang masuk ke output menyerang permukaan
detektor. Bahwa Bagian cahaya yang bergerak ke kanan di inti penginderaan,
keluar dari serat, dan menyerang diafragma tembaga Bagian cahaya tercermin dari
diafragma belakang menuju serat penginderaan dan menyebar ke ujung keluaran,
bersamaan dengan rujukannya cahaya. Bergantung pada posisi diafragma, fase
cahaya yang dipantulkan akan bervariasi, sehingga menjadi berbeda dari fase
lampu referensi.

Saat bepergian bersama ke detektor output, referensi dan lampu

penginderaan mengganggu satu sama lain, menghasilkan modulasi intensitas
cahaya. Oleh karena itu, Mikrofon mengubah perpindahan diafragma menjadi
intensitas cahaya. Secara teoretis, rasio signal-to-noise pada sensor semacam itu
dapat diperoleh pada orde 70-80 dB, sehingga menghasilkan dalam perpindahan
diafragma minimal yang dapat dideteksi minimal 1 Å (10-10 m). Gambar 2.5
menunjukkan plot khas intensitas optik pada detektor versus fase untuk pola
interferensi. Untuk memastikan fungsi transfer linier, operasi Titik harus dipilih di
dekat tengah intensitas, kemiringannya paling tinggi dan linearitas adalah yang
terbaik. Kemiringan dan titik operasi bisa diubah menyesuaikan panjang
gelombang dioda laser. Penting bagi defleksi untuk tetap tinggal dalam
seperempat panjang gelombang operasi untuk mempertahankan input
proporsional. Diafragma dibuat dari foil 0,05 mm dengan diameter 1,25 mm.
Tembaga dipilih untuk diafragma karena konduktivitas termalnya yang baik dan
relatif modulus elastisitas rendah. Fitur terakhir memungkinkan kita untuk
menggunakan diafragma yang lebih tebal, yang memberikan penghilangan panas
lebih baik sambil mempertahankan frekuensi alami yang dapat digunakan dan
defleksi. Tekanan 1,4 kPa menghasilkan defleksi tengah maksimum 39 nm (390
AA), yang berada dalam seperempat panjang gelombang operasi (1300 nm). Itu
frekuensi akustik maksimum yang bisa ditransfer dengan mikrofon optik terbatas
pada sekitar 100 kHz, yang jauh di atas kisaran kerja yang diinginkan untuk
pengujian akustik struktural.

Gambar 2.5 Plot khas intensitas optik pada detektor versus fase untuk pola
interferensi.

2.4 Mikrofon piezoelektrik

Efek piezoelektrik dapat digunakan untuk desain mikrofon sederhana.

Kristal piezoelektrik adalah konverter langsung dari tegangan mekanik menjadi
muatan listrik. Bahan yang paling sering digunakan untuk sensor adalah keramik
piezoelektrik, yang dapat beroperasi sampai batas frekuensi sangat tinggi. Inilah
alasan mengapa sensor piezoelektrik digunakan untuk transduksi gelombang
ultrasonik (Bagian 7.6 Bab 7). Namun, bahkan untuk rentang yang dapat
didengar, mikrofon piezoelektrik digunakan cukup ekstensif. Aplikasi tipikal
adalah perangkat yang diaktifkan suara dan alat pengukuran tekanan darah dimana
suara Korotkoff arteri harus terdeteksi. Untuk aplikasi akustik seperti
nondemanding, desain mikrofon piezoelektrik cukup sederhana (Gbr.12.4). Ini
terdiri dari disk keramik piezoelektrik dengan dua elektroda yang disetel pada
masing-masing sisinya. Elektroda dihubungkan ke kabel baik dengan epoxy
elektrik konduktif atau dengan penyolderan. Karena impedansi keluaran mikrofon
semacam itu sangat besar, diperlukan penguat impedansi masukan tinggi. Film
piezoelektrik [polyvinylidene fluoride (PVDF) dan kopolimer] digunakan
bertahun-tahun sebagai pickup akustik yang sangat efisien dalam instrumen musik
. Salah satu aplikasi pertama untuk film piezoelektrik adalah sebagai pickup
akustik untuk biola.

Gambar 12.4. Mikrofon piezoelektrik

Gambar 12.5. Foldover pickup akustik piezoelektrik (A) dan susunan hidrofon
film piezoelektrik (B).

Film diperkenalkan untuk jajaran gitar akustik sebagai pickup jembatan

pelana yang dipasang di jembatan. Ketepatan yang sangat tinggi dari pickup
membawa jalan ke keluarga aplikasi penginderaan getaran dan akselerometer:
dalam satu pickup gitar, desain tebal, kompres (di bawah sadel); Yang lainnya
adalah accelerometer murah, dan yang lainnya adalah desain pikap setelah pasar
yang ditempelkan pada instrumen. Karena bahan Q yang rendah, transduser ini
tidak memiliki resonansi otomatis pickup keramik keras. Perisai dapat dicapai
dengan desain foldover seperti ditunjukkan pada Gambar.12.5A. Sisi
penginderaannya adalah elektroda yang sedikit sempit di bagian dalam flip.
Teknik foldover memberikan pickup yang lebih sensitif daripada metode perisai
alternatif karena perisai dibentuk oleh salah satu elektroda. Untuk aplikasi dalam
air, film dapat digulung dalam tabung, dan banyak tabung semacam itu dapat
dihubungkan secara paralel (Gambar 12.5B).

2.5 Mikrofon Electret

Electret adalah kerabat dekat bahan piezoelektrik dan piroelektrik.

Akibatnya, mereka semua adalah electrets dengan piezoelectric yang
disempurnakan atau sifat pyroelectric. Electret adalah bahan dielektrik kristal
terpolarisasi elektrik permanen. Aplikasi pertama dari electrets untuk mikrofon
dan earphone di mana digambarkan pada tahun 1928 [8]. Mikrofon electret adalah
transduser elektrostatik yang terdiri dari electret metal dan backplate yang
dipisahkan dari diafragma oleh celah udara (Gambar 12.6). Metallization bagian
atas dan backplate logam dihubungkan melalui resistor R's V di mana ia dapat
diamplifikasi dan digunakan sebagai sinyal output. Karena electret adalah
dielektrik elektrik yang terpolarisasi secara permanen, kerapatan muatan σ1 pada
permukaannya konstan dan menetapkan medan listrik E1 di celah udara. Bila
gelombang akustik menempel di diafragma, yang terakhir membelok ke bawah,
mengurangi ketebalan celah udara s1 untuk nilai delta s Di bawah kondisi sirkuit
terbuka, amplitudo a bagian variabel dari tegangan output menjadi. Di bawah
kondisi sirkuit terbuka, amplitudo bagian variabel dari tegangan keluaran menjadi
 Mikrofon Foil-electret (diafragma) memiliki fitur yang lebih diinginkan
daripada jenis mikrofon lainnya. Di antaranya rentang frekuensi sangat lebar
mulai dari 10-3Hz hingga ratusan megahertz. Mereka juga menampilkan respons
frekuensi datar (dalam ± 1dB), distorsi harmonis rendah, sensitivitas getaran
rendah, respon impuls yang baik, dan ketidakpekaan terhadap medan magnet.
Sensitivitas mikrofon electret berada dalam kisaran beberapa milimeter per
microbar. Untuk operasi di kisaran infrasonik, mikrofon electret memerlukan
lubang pemerataan tekanan miniatur pada pelat belakang. Bila digunakan dalam
kisaran ultrasonik, electret sering diberi bias tambahan (seperti mikrofon
kondensor) selain polarisasinya sendiri. Mikrofon electret adalah sensor
impedansi tinggi sehingga membutuhkan input elektronik dengan input tinggi.
Sebuah transistor JFET telah menjadi masukan pilihan selama bertahun-tahun.
Namun, amplifier monolitik baru-baru ini mendapat popularitas. Contohnya
adalah LMV1014 (National Semiconductors), yang merupakan penguat audio
dengan konsumsi arus sangat rendah (38 μA) yang dapat beroperasi dari catu daya
baterai kecil yang berkisar antara 1,7 sampai 5 V.

Gambar 12.6. Struktur umum mikrofon electret. Ketebalan lapisan dilebih-

lebihkan untuk kejelasan. (Setelah Ref. [9].)
2.6 Detektor Akustik Solid-State

Saat ini, penggunaan sensor akustik lebih luas daripada mendeteksi suara.
Secara khusus, mereka menjadi semakin populer untuk mendeteksi getaran
mekanik secara padat untuk pembuatan sensor seperti mikroba dan perangkat
permukaan akustik-gelombang (SAW). Aplikasi berkisar mengukur pemindahan,
konsentrasi senyawa, tegangan, gaya, suhu, dan sebagainya. Semua sensor
tersebut didasarkan pada gerakan elastis pada bagian sensor yang solid dan
penggunaan utamanya berfungsi sebagai bagian pada sensor lain yang lebih
kompleks, (misalnya detektor kimia, akselerometer, sensor tekanan, dan lain-lain).
Dalam sensor kimia dan biologi, jalur akustik, di mana gelombang mekanis
merambat, dapat dilapisi dengan senyawa selektif kimia yang hanya berinteraksi
dengan rangsangan bunga. Alat eksitasi (biasanya sifat piezoelektrik) memaksa
atom-atom solid bergerak bergetar tentang posisi ekuilibriumnya. Atom-atom
tetangga kemudian menghasilkan kekuatan pemulihan yang cenderung membawa
atom-atom yang terlantar kembali ke posisi semula. Pada sensor akustik,
karakteristik getaran, seperti kecepatan fasa dan / atau koefisien atenuasi,
dipengaruhi oleh stimulus. Dengan demikian, pada sensor akustik, rangsangan
eksternal, seperti ketegangan mekanis pada sensor yang solid, meningkatkan
kecepatan propagasi suara. Pada sensor lain, yang disebut gravimetri, penyerapan
molekul atau pelekatan bakteri menyebabkan reduksi kecepatan gelombang
akustik.

Dalam detektor lain, yang disebut sensor viskositas akustik, kontak cairan
kental daerah aktif dari sensor gelombang elastis dan gelombang dilemahkan.
Gelombang akustik yang menyebar di padatan telah banyak digunakan di
perangkat elektronik seperti filter listrik, delay line, microactuators, dan
sebagainya. Keuntungan utama dari gelombang akustik dibandingkan dengan
gelombang elektromagnetik adalah kecepatan rendahnya. Kecepatan tipikal dalam
padatan berkisar antara 1,5 × 103 sampai 12 × 103 m / s, dan SAW praktis
menggunakan kisaran antara 3,8 × 103 dan 4,2 × 103 m / s [12], yaitu kecepatan
akustik adalah lima urutan yang lebih kecil. dibandingkan gelombang
elektromagnetik. Hal ini memungkinkan untuk pembuatan sensor miniatur yang
beroperasi dengan frekuensi hingga 5 GHz.

Bila sensor akustik solid-state dibuat, sangat penting untuk menggabungkan

rangkaian elektronik dengan struktur mekanisnya dimana gelombangnya
merambat. Efek yang paling nyaman untuk digunakan adalah efek piezoelektrik.
Efeknya reversibel (Bagian 3.6 dari Bab 3), yang berarti bekerja di kedua arah:
Tekanan mekanis menyebabkan muatan polarisasi listrik, dan medan listrik yang
diterapkan menekankan kristal piezoelektrik. Dengan demikian, sensor umumnya
memiliki dua transduser piezoelektrik pada setiap ujungnya: satu pada ujung
transmisi, untuk menghasilkan gelombang akustik, dan ujung lainnya pada
penerimaan, untuk konversi gelombang akustik menjadi sinyal listrik. Karena
silikon tidak memiliki piezoelektrik. efek, bahan piezoelektrik tambahan harus
diendapkan pada gabah silikon dalam bentuk film tipis [12]. Bahan piezoelektrik
khas yang digunakan untuk tujuan ini adalah seng oksida (ZnO), aluminium
nitrida (AlN), dan yang disebut solid- sistem larutan oksida timbal-zirkonit-
titanium Pb (Zr, Ti) O3 yang dikenal sebagai PZTceramic. Saat menyimpan film
tipis pada bahan semikonduktor, beberapa sifat utama harus dipertimbangkan:

1.Kualitas adhesi ke substrat

2.Ketahanan terhadap faktor eksternal (seperti cairan yang berinteraksi dengan
penginderaan permukaan selama operasi)
3. Stabilitas lingkungan (kelembaban, suhu, shock mekanik, dan getaran
4. Nilai kopling elektromekanik dengan substrat
5. Kemudahan pengolahan dengan teknologi yang tersedian
6. Biaya
Kekuatan efek piezoelektrik pada perangkat gelombang elastis bergantung
pada konfigurasi elektroda transduksi. Bergantung pada disain sensor, untuk
eksitasi massal (ketika gelombang harus merambat melalui ketebalan penampang
melintang sensor), elektroda ditempatkan pada sisi yang berlawanan dan
daerahnya cukup besar. Untuk SAW, elektroda eksitasi diinterdinasi.
 Permukaan pelat yang relatif tebal. Dalam kedua kasus tersebut, ruang
antara pasangan elektroda kiri dan kanan digunakan untuk interaksi dengan
stimulus eksternal, seperti tekanan, cairan kental, molekul gas, atau partikel
mikroskopis.

Gambar 12.7. Sensor mode pelat flextural (A) dan sensor mode pelat akustik
permukaan (B).

Gambar 12.8. Diferensial SAW sensor

 Sirkuit aplikasi khas untuk SAW mencakup pelat SAW sebagai alat
pengatur waktu dari osilator frekuensi. Karena banyak faktor internal dan
eksternal dapat berkontribusi pada propagasi gelombang akustik dan, selanjutnya,
untuk mengubah frekuensi osilasi, penentuan perubahan stimulus mungkin
ambigu dan mengandung kesalahan. Solusi yang jelas adalah menggunakan teknik
diferensial, di mana dua perangkat SAW yang identik digunakan: Salah satu alat
untuk merasakan rangsangan dan yang lainnya adalah referensi (Gambar 12.8).
Perangkat referensi terlindungi dari stimulus, namun dikenai faktor umum, seperti
suhu, penuaan, dan sebagainya. Perbedaan perubahan frekuensi kedua osilator
sensitif hanya pada variasi stimulus, sehingga membatalkan efek faktor palsu.

3. Kesimpulan

Sensor akustik untuk berbagai rentang frekuensi. Rentang yang dapat

didengar. Sensor umumnya disebut mikrofon. Berbagai jenis mikrofon dari
berbagi sistem dan diafragma yang digunakan. Penggunaan