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L ES CAPTEURS
C ORRIGÉS
Les capteurs, ouvrage écrit par Pascal Dassonvalle dont la deuxième édition est parue
en 2013 aux éditions Dunod (www.dunod.com), 9782100701674.
EXERCICES
7 Linéarisation aval
18 Interféromètre de Mach-Zender utilisé en capteur d’angle
19 Étude d’une thermistance en utilisation bolométrique pour la détermination à
distance de la température d’un corps
21 Capteur angulaire robuste
24 Photodiode à effet latéral unidirectionnelle
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 2 — #350
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26 E XERCICE :
Capteur à courants
de Foucault – Mesure
de résistivité
Corrigé détaillé
26.1 Le champ alternatif hautes fréquences créé par la bobine induit dans la plaque
métallique des courants de Foucault. Ces courants produisent à leur tour un champ
magnétique opposé au champ magnétique créé par la bobine. La superposition de ces
deux champs modifie l’impédance apparente de la bobine.
26.5 Dans le cas d’une cible constituée par un bon conducteur, soit pour R2 L2 ω
√
et avec M = k L1 L2 , (26.1) devient :
L1
r = R1 + k 2 R2 et L = L1 (1 − k2 ) (26.2)
L2
H1 (p) = =−
V1 (p) R
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 3 — #351
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Corrigé 26
26.9 La condition arg(H2 ( jωoscil ))=0 impose − jω3oscil RLC 2 + j(r+2R)Cωoscil =0.
Ceci fournit la pulsation d’oscillation de l’oscillateur qui est donnée par
ω2oscil = (r + 2R)/RLC et qui compte tenu de (26.2) s’écrit encore :
2R + R1 + k2 R2 L1 /L2 2R + R1 k 2 L1 R2
ωoscil = = 1+
RCL1 (1 − k2 ) RCL1 (1 − k2 ) L2 (2R + R1 )
k 2 L1
= ω0 1 + R2 (26.4)
L2 (2R + R1 )
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 4 — #352
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Les capteurs
26.11 On a immédiatement :
R
3R21C + 2L1 (1 − k2 ) 3
= = 2,1 et ω0 = = 2.106 rad.s−1
R
L1 (1 − k2 ) CL1 (1 − k2 )
26.13 Le cuivre étant un bon conducteur, on peut estimer que ωoscil ω0 . La pro-
fondeurde peau et donc l’épaisseur testée par cette méthode de mesure est de l’ordre
de δ = 2/γω0 μ0 0,1 mm.
/R
ne permet plus de vérifier la
condition de Barkhausen et l’oscillateur décroche. Il faut donc réserver ce capteur à
la mesure de la résistivité de très bons conducteurs.
On peut inversement utiliser le capteur pour détecter des défauts structurels (cavités,
concentrations d’impuretés, etc.) situés sous la surface qui, en augmentant de façon
importante la résistivité apparente du matériau, font alors décrocher l’oscillateur.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 5 — #353
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E XERCICE :
Relation
mesurande-signal
27
de mesure
– Dérive thermique
Corrigé détaillé
On en déduit immédiatement :
Vmes (x,T )
x=
S r (T 0 ) · Valim · (1 + αS (T − T 0 ))
41 mV
= = 8 μm (27.3)
1 mV/μm/V · 5 V · 1 + 0,5 %◦ C−1 · (25 − 20)◦ C
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 6 — #354
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Les capteurs
27.5 a) On ne dispose que d’une seule valeur de la pression pour différentes va-
leurs de la température en tant que grandeur d’influence. On ne peut donc pas estimer
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 7 — #355
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Corrigé 27
la sensibilité de ce capteur qui par définition relie ici les variations de la tension de
mesure aux variations de la pression.
b) Par régression au sens des moindres carrés, en considérant qu’à pression constante
la tension de mesure s’écrit Vmes = aT + b, on obtient a = 0,275 mV/◦ C et
b = −2,850 mV.
c) Si on désire que Vmes (p0 ,T 0 ) = 0 où T 0 désigne la température de référence, la
tension de mesure doit s’écrire :
Vmes (p,T ) = S (T ) · (p − p0 ) + CDT Z · (T − T 0 ) (27.9)
En p0 , on a simplement Vmes (p0 ,T ) = CDT Z · (T − T 0 ) que l’on doit identifier à
Vmes (p0 ,T ) = aT + b. On en déduit :
⎧
⎪
⎨ CDT Z = a = 0,275 mV/ C
⎪ ◦
⎪
⎪
⎩ T 0 = −b/a = 10,38 ◦ C
(27.10)
27.6 a) L’étendue de mesure du capteur peut être adaptée à celle du courant en éloi-
gnant plus ou moins le capteur du conducteur puisque le champ créé est inversement
proportionnel à la distance pour un conducteur rectiligne.
b) Compte tenu des informations fournies, la tension de mesure s’écrit :
Vmes (B,T ) = S (T 0 ) · (1 + αS ΔT ) · B + αV0 · ΔT (27.11)
c) On a :
ΔVmes = S (T 0 ) · B − S (T 0 ) · (1 + αS · ΔT ) · B + αV0 · ΔT
= − S (T 0 ) · αS · B + αV0 · ΔT
= − 1,3 mV/G · 0,2 %◦ C−1 · B − 1 mV/◦ C · ΔT (27.12)
Cette dernière expression est extrémale pour B = −900 G et T = −20 ◦ C soit
ΔT = −45 ◦ C et vaut ΔVmes = 150,3 mV.
d) En terme de valeur de champ ceci conduit à une erreur ΔB de l’ordre de :
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
ΔVmes
ΔB = 116 G (27.13)
S (T 0 )
e) L’erreur relative commise est :
ΔB 116
= −13 % (27.14)
B −900
Ceci constitue une erreur bien trop importante pour une mesure de qualité. Il est donc
nécessaire soit de mesurer la température et de corriger la réponse de la dérive ther-
mique soit d’inclure le capteur de champ dans un montage ad hoc avec un capteur de
température judicieusement dimensionné afin de compenser la dérive thermique.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 8 — #356
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30 E XERCICE :
Résistance
thermométrique
en montage
potentiométrique
Corrigé détaillé
30.1 Sans avoir poussé plus loin l’étude, on choisit T 0 au milieu de l’étendue de
mesure pour a priori minimiser les non-linéarités, soit T 0 = +20 ◦ C.
Rc (T ) = Rc (0)(1 + AT + BT 2 ) (30.1)
= Rc (0) 1 + A(T 0 + ΔT ) + B(T 0 + ΔT )2
= Rc (0) 1 + AT 0 + BT 02 + (A + 2BT 0 )ΔT + B(ΔT )2
⎛ ⎞
⎜ + ⎟⎟⎟
2 ⎜⎜ A 2BT B
= Rc (0) 1 + AT 0 + BT 0 ⎜⎜⎝1 + ⎟⎟⎠
0
ΔT + (ΔT )2
1 + AT 0 + BT 02 1 + AT 0 + BT 02
= R0 1 + αΔT + β(ΔT )2
30.3 On a immédiatement :
ΔRc = Rc (T ) − Rc (T 0 ) = R0 αΔT + β(ΔT )2 (30.2)
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 9 — #357
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Corrigé 30
30.6 On en déduit :
R0 + ΔRc R0
ΔVmes = Vmes (T ) − Vmes (T 0 ) = Vg − Vg
R + R0 + ΔRc R + R0
RΔRc
= Vg (30.5)
ΔR c
(R + R0 )2 1 +
R + R0
Le conditionneur du capteur est non-linéaire.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 10 — #358
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Les capteurs
⎧
⎪
⎪
⎪ Rc (T )
⎪
⎪
⎪ Vmes (T ) = Vg
⎪
⎪ R + Rc (T )
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎨ dVmes (T ) = R
V
dRc (T )
⎪
⎪ 2 g dT (30.13)
⎪
⎪ dT (R + Rc (T ))
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪ ⎡ 2 ⎤
⎪
⎪
⎪ d2 Vmes (T ) ⎢⎢⎢ 2 R (T ) ⎥⎥⎥
⎪
⎪
⎪ =
R
Vg ⎢⎢⎣(R + Rc (T ))
d c
−2
dR c (T ) ⎥⎥⎦
⎪
⎩ dT 2
(R + Rc (T )) 3 dT 2 dT
Il vient alors :
2
dRc (T )
2 2
dT T α
R= 0
− Rc (T 0 ) = R0 − 1 = 385,30 Ω (30.14)
d2 Rc (T ) β
dT 2 T 0
30.13 On a alors :
⎧
⎪
⎪
⎪ ΔVmes R β Vg
⎪
⎪
⎪ S cond = Vg = (α2 − β) 4 = 7,81 mV/Ω
⎪
⎪
⎨ ΔRc (R + R0 )2 α R0
⎪
⎪
⎪
(30.15)
⎪
⎪
⎪ ΔVmes RR0 β
⎪
⎪
⎩ S mes = ΔT αVg = (α2 − β) 3 Vg = 4,51 mV/◦ C
(R + R0 )2 α
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 11 — #359
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Corrigé 30
ΔVmes (V)
Optimisation de la sensibilité
0, 4
0, 2
−0, 4
−20 0 20 T (°C)
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 12 — #360
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31 E XERCICE :
Capteur de déplacement
capacitif – Non-linéarité
Corrigé détaillé
R3 Z1 − R4 Z2
Vmes = Vg (31.1)
(Z1 + Z2 )(R3 + R4 )
31.3 Les deux capteurs sont des condensateurs plans, de surface en regard S /2 et
d’entrefer e de permittivité ε. En négligeant les effets de bord leur capacité C0 dans
la configuration de la figure 31.2 dite de repos est C0 = εS /2e. Ces condensateurs
étant alimentés en sinusoïdal à la pulsation ωg , leur impédance dans la configuration
de repos est donnée par :
1 2e
Z0 = = (31.3)
jC0 ωg jεS ωg
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 13 — #361
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Corrigé 31
vient donc :
⎧
⎧ ⎪
⎪ Z0
⎪
⎪
⎪ ε S L 2Δx ⎪
⎪
⎪
⎪
Z1 =
⎪
⎪
⎪ C1 = + Δx = C0 1 + ⎪
⎪
⎪
2Δx
⎪
⎨ eL 2 L ⎪
⎨ 1+
⎪ soit ⎪ L (31.4)
⎪
⎪
⎪
⎪
⎪ ε S L 2Δx ⎪
⎪
⎪
⎪
⎪ Z2 =
Z0
⎩ C2 = e L 2 − Δx = C0 1 −
⎪ ⎪
⎪
⎪
⎪ 2Δx
L ⎩ 1−
L
On est en présence de deux capteurs non-linéaires fonctionnant en push-pull.
Z1 − Z2 Vg Δx
Vmes = = − Vg
Z1 + Z2 2 L
Grâce au fonctionnement push-pull des deux capteurs, la mesure est ici linéaire en
Δx bien que le conditionnement ne soit pas linéaire.
ΔVmes Vmes Vg
S mes = = =− = −1 V/mm
Δx Δx L
⎪
⎪
⎪ Z1 = , =
⎪
⎪
⎪ 1 + k1 (Δx L) + k2 (Δx/L)2 + k3 (Δx/L)3 D1
⎪
⎨
⎪
⎪
⎪
(31.5)
⎪
⎪
⎪ Z0 Z0
⎪
⎪ Z2 = , =
⎪
⎩ 1 − k1 (Δx L) + k2 (Δx/L) − k3 (Δx/L)
2 3 D 2
On en déduit : ⎧
⎪
⎪ −2Z0
⎪
⎪
⎪ Z1 − Z2 = k1 (Δx/L) + k3 (Δx/L)3
⎪
⎨ D1 D2
⎪
⎪ (31.6)
⎪
⎪
⎪
⎪ 2Z0
⎩ Z1 + Z2 = 1 + k2 (Δx/L)2
D1 D2
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 14 — #362
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Les capteurs
31.10 La non linéarité de la mesure est d’ordre 3 alors que celle des capteurs était
d’ordre 2.
31.11 Compte tenu du modèle utilisé pour les capteurs (polynôme d’ordre 3 en
Δx/L), l’expression de la variation de la tension de mesure donnée par (31.7) de-
vient linéaire en Δx/L si on réalise k3 = k1 k2 soit encore en utilisant le résultat de la
question 31.8, k3 = 2k2 . ΔVmes s’écrit alors :
Δx Vg Δx
ΔVmes = −k1 = − Vg
L 2 L
31.12 On a :
Δx(t) Δx
ΔVmes (t) = − Vg (t) = − cos ωt · Vg cos ωg t
L L
Δx
= − Vg cos(ωg − ω)t + cos(ωg + ω)t
2L
Le spectre de ΔVmes (t) est donc constitué des pulsations ωg − ω et ωg + ω. L’infor-
mation est donc véhiculée sous forme d’une modulation d’amplitude sans porteuse.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 15 — #363
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Corrigé 31
Le spectre de ΔVmes (t) est constitué des pulsations ωg −ω, ωg +ω, ωg −3ω et ωg +3ω.
L’information est toujours véhiculée sous forme d’une modulation d’amplitude sans
porteuse.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 16 — #364
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37 E XERCICE :
Capteur de débit à tube
Venturi – Tension
de mode commun
Corrigé détaillé
37.1 Le liquide étant parfait, la vitesse du liquide est identique en tout point d’une
section droite du tube. On appelle respectivement v1 et v2 les vitesses du liquide au
travers des sections droites situées à l’endroit des deux capteurs, on a : QV1 = πr12 · v1
et QV2 = πr22 · v2 . Le fluide étant incompressible, ces deux débits sont égaux et on
les notera QV . On obtient finalement, en notant S 1 = πr12 et S 2 = πr22 les aires des
sections droites à l’endroit des capteurs :
QV QV
v1 = et v2 = (37.1)
S1 S2
ρ 2 ρ S 12 − S 22 2 p1 − p2
p1 − p2 = v − v1 =
2
Q2 soit QV = S 1 S 2 (37.4)
2 2 2 S 12 S 22 V ρ S 12 − S 22
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 17 — #365
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Corrigé 37
Vs = =
K1 1 1 R1 R1 (1 + Ad ) + R2 1
1+ − −
K1 Ad 2τ R1 Ad 2τ
Compte tenu des valeurs numériques de R1 , R2 , τ et Ad , on a :
R2 Vmc
Vs − Vmes − = −0,9 V (37.10)
R1 τ
Comparant (37.6) et (37.10), on constate qu’un facteur de réjection du mode com-
mun fini fausse la valeur de la tension de sortie du montage puisque l’erreur relative
commise est de 10 %. La valeur V s donnée par (37.10), interprétée pour en extraire
p1 − p2 donnera finalement selon (0.4) une valeur fausse de la mesure du débit.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 18 — #366
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Les capteurs
(e+ − e− )
VA
= Ad (e+ − e− ) + Amc (37.11)
2
D’après le schéma de la figure 37.3, on a :
⎧
⎪
⎪ V
− VB RG R
⎪
⎨ e− = VB + RG A = VA
+ VB = KG VA
+ KVB
⎪
⎪
⎪ R + RG R + RG R + RG (37.12)
⎩ e+ = V
A
Amc 2K + KG 1 +
1
2KAd + KG Ad + 2τ
VA − VB = 2 (VA − VB ) = (VA − VB )
Amc 1 1
1 + KG Ad − + KG 1 −
2 Ad 2τ
2K + KG 2R
(VA − VB ) = 1 + (VA − VB )
KG RG
Pour VA
+ VB
, on obtient :
K 1
+ KG 1 +
τ 2τ
VA + VB = (VA + VB ) (VA + VB )
1 1
+ KG 1 −
Ad 2τ
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 19 — #367
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Corrigé 37
VA
et VB
sont les tensions d’entrée du deuxième étage de l’amplificateur d’instru-
mentation de la figure 37.3, étage étudié à la partie II. Par identification, on a donc :
VA
+ VB
2R (VA + VB )
V s − (VA − VB ) − − 1+ (VA − VB ) +
τ RG τ
2R Vmc
=− 1+ Vmes −
RG τA
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 20 — #368
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5 P ROBLÈME :
Capteur résistif
non linéaire
Corrigé détaillé
I. Capteur résistif
5.1 L’écart à la linéarité est le plus grand écart sur l’étendue de mesure entre la
caractéristique réelle et son approximation linéaire, valeur ici obtenue pour m = 0 ou
m=2:
δRc = max Rc − Rc,lin m∈[0;2] = 0,19 Ω (5.1)
ΔRc
Sc = = b
= 10,6 Ω/unité de m
Δm
5.4 Il vaut mieux choisir comme point de référence le milieu de l’étendue de me-
sure, soit ici m0 = 1, afin de disposer de la même excursion de chaque côté et
par la suite, diminuer la non-linéarité. D’après les données du tableau 5.1, on a
Rc (m0 ) = Rc0 = 110,30 Ω.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 21 — #369
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Corrigé 5
Rc Rc0 + ΔRc
Vmes = Vg = Vg
Rc + R Rc0 + ΔRc + R
5.7 On a simplement :
5.9 L’approximation linéaire ΔVmes,lin de ΔVmes est simplement donnée par le dé-
veloppement au premier ordre de ΔVmes en Δm, soit :
BVg
ΔVmes,lin = Δm
4Rc0
5.10 Sous cette approximation, la sensibilité réduite de la mesure est donnée par :
1 ΔVmes,lin B
Sr = = = 24 mV/unité de m/V
Vg Δm 4Rc0
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 22 — #370
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Les capteurs
ΔVmes,lin = BΔmIg
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 23 — #371
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Corrigé 5
A
ΔRc Vg BΔm 1 + Δm Vg
Vmes = ΔVmes = = B
ΔRc 2 AΔm + BΔm
2 4R c0
2Rc0 1 + 1+
2Rc0 2Rc0
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 24 — #372
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Les capteurs
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 25 — #373
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Corrigé 5
BVg BVg
Δm − Δm
AΔm2 2Rc0
2Rc0 1 +
Rc0 AΔm2
ε4 = =−
BVg Rc0
Δm
AΔm2
2Rc0 1 +
Rc0
Cette expression est maximale aux extrémités de l’étendue de mesure donc pour
Δm = ±1 et donne ε4 = −0,27 %.
Vg − Vmes Rc Rc0 Vg
VA = Vmes + Rc = Vg + Vmes et VB =
Rc + Rc0 Rc + Rc0 Rc + Rc0 2
BVg
ΔVmes,lin = − Δm
2Rc0
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
1 ΔVmes,lin B
Sr = =− = −48 mV/unité de m/V
Vg Δm 2Rc0
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 26 — #374
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Les capteurs
Erreur
Montage Signal de mesure de linéarité Origine
maximale
Potentiomètre Variation autour Non-linéarités
alimenté de Vmes0 = Vg /2 : ε1 = −2,10 % du conditionneur
BVg
en tension ΔVmes,lin = Δm et du capteur
4Rc0
Potentiomètre Variation autour Non-linéarité
alimenté de Vmes0 = Vg /2* : ε2 = −2,91 % du capteur
BVg
en courant ΔVmes,lin = Δm*
2Rc0
Mesure différentielle, Non-linéarités
Quart de pont Vmes0 = 0 : ε3 = −2,10 % du conditionneur
BVg
ΔVmes,lin = Δm et du capteur
4Rc0
Demi-pont Mesure différentielle, Non-linéarité
push-pull Vmes0 = 0 : ε4 = −0,27 % du capteur
BVg
ΔVmes,lin = Δm
2Rc0
Quart de pont Mesure différentielle, Non-linéarité
actif Vmes0 = 0 : ε5 = −2,91 % du capteur
BVg
ΔVmes,lin = − Δm
2Rc0
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 27 — #375
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Corrigé 5
les montages potentiométriques sont donc à éviter. On peut montrer de plus qu’ils
sont particulièrement sensibles aux dérives de la source d’alimentation et au bruit
électromagnétique.
En ce qui concerne la sensibilité, toutes choses égales par ailleurs, elle est doublée
pour une alimentation en courant par rapport à une alimentation en tension.
Bien que le montage avec l’alimentation en courant constitue un conditionneur li-
néaire, on peut s’étonner que l’erreur de linéarité obtenue soit plus importante que
celle obtenue avec une alimentation en tension. Il se trouve qu’ici la non-linéarité du
conditionneur potentiométrique alimenté en tension se combine avec la non-linéarité
du capteur pour donner au final une mesure de non-linéarité plus faible.
Le premier avantage des mesures en pont est la suppression de la composante de
référence puisque celle-ci est fixée à zéro par l’équilibrage du pont.
Le montage en quart de pont présente la même sensibilité et la même non-linéarité
que le montage potentiométrique alimenté en tension. Le passage au demi-pont push-
pull augmente d’un facteur 2 la sensibilité et réduit très fortement la non-linéarité.
Le conditionneur est linéaire et le mode push-pull réduit d’un ordre la non-linéarité
propre du capteur.
L’utilisation du quart de pont actif est ici peu intéressante. Bien qu’il permette de
n’utiliser qu’un capteur contrairement au demi-pont push-pull, bien qu’il possède la
même sensibilité au signe près que le demi-pont et qu’il constitue un conditionneur li-
néaire, la non-linéarité du capteur n’est ici pas compensée par celle du conditionneur
et au total la non-linéarité de la mesure est supérieure à celle du demi-pont.
De plus, ce conditionnement en quart de pont actif isole le capteur de la masse ce
qui peut éventuellement être problématique avec certains capteurs. En revanche, la
tension de mesure se trouve référencée à la masse ce qui est un avantage en cas de
nécessité d’une amplification (pas d’amplification de mode commun).
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
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Les capteurs
5.1
1 3 2 5
m (USI )
0, 03
0 1 2
Figure 5.4 – Évolution des erreurs calculées pour les quatre montages
en fonction de l’évolution du mesurande
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P ROBLÈME :
Linéarisation aval 7
Corrigé détaillé
I. Calculs préliminaires
7.1 La tension de mesure est donnée par :
Rc R2 − R1 R3 (Rc + R1 )(R2 + R3 ) Vg
Vmes =
(Rc + R1 )(R2 + R3 ) Rc + R1 + R2 + R3 (R + R1 )(R2 + R3 )
3456 3456 Rg + c
Rc + R1 + R2 + R3
mesure différentielle impédance du pont 3456
courant délivré par la source
3456
tension aux bornes du pont
Rc R2 − R1 R3
= Vg (7.7)
(Rc + R1 )(R2 + R3 ) + Rg (Rc + R1 + R2 + R3 )
Rc0 ΔRc
Vmes = Vmes,0 +ΔVmes = Vg
3456 2Rc0 (2Rc0 + ΔRc0 ) + Rg (4Rc0 + ΔRc )
=0
ΔRc 1
= Vg (7.8)
4(Rc0 + Rg ) 2Rc0 + Rg
1+ ΔRc
4Rc0 (Rc0 + Rg )
k1 ΔRc
= Vg
1 + k2 ΔRc
Le conditionnement n’est pas linéaire et donc la mesure ne sera pas linéaire.
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Les capteurs
7.4 Sous une approximation linéaire comme pour un fonctionnement en faibles si-
gnaux, on a ΔVmes = k1 Vg ΔRc soit une sensibilité du conditionneur donnée par :
ΔVmes Vg
S cond = = k1 Vg = = 16,7 mV/Ω
ΔRc 4(Rc0 + Rg )
V s = k1 Vg ΔRc (7.10)
Cette expression est parfaitement linéaire. La sensibilité du conditionneur est donnée
par S cond = V s /ΔRc = k1 Vg = 16,7 mV/Ω. Cette sensibilité a la même valeur que
pour le fonctionnement en faibles signaux de la question 7.5.
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Corrigé 7
VN KV KΔVmes
V s = 10 = 10 = 10
VD KV + Vg KΔVmes − Vg
Kk1 ΔRc
= 10
Kk1 ΔRc − (1 + k2 ΔRc )
k2 2Rc0 + Rg
K= = = 2,5
k1 Rc0
2Rc0 + Rg
V s = −10Kk1 ΔRc = − 10ΔRc (7.13)
4Rc0 (2Rc0 + Rg )
Ce qui conduit à la sensibilité :
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
2Rc0 + Rg
S cond = −10 = −41,7 mV/Ω
4Rc0 (2Rc0 + Rg )
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Les capteurs
7.1
En toute rigueur, ces techniques de linéarisation peuvent très bien être utilisées
sur des montages de type potentiométrique. Il suffit que le conditionnement
donne une variation de la tension de mesure de la forme de l’équation (7.8).
Il faut être vigilant à ce que la correction des non-linéarités entraînées par le
conditionneur peut parfois être un pis-aller. En effet, il se peut que dans le cas
d’un capteur non linéaire, non-linéarité du capteur et non-linéarité du condition-
neur se compensent. La correction de la non-linéarité du conditionneur entraînera
alors une non-linéarité sur la mesure plus importante.
Considérons un capteur dont l’évolution de la résistance en fonction de son me-
surande m est donnée par ΔRc = aΔm2 + bΔm.
D’après (7.8), la tension de mesure est donnée * par Vmes = k1 ΔRc Vg /(1 ++ k2 ΔRc ). En
développant ceci en Δm, on obtient Vmes k1 Vg bΔm + (a − k2 b2 )Δm2 + · · · .
La tension de mesure linéarisée par exemple par la méthode de multiplication-
sommation est donnée par (7.10), soit V s = k1 Vg ΔRc = k1 Vg (aΔm2 + bΔm).
Il est clair que dans ce cas si a k2 b2 , la non-linéarité du capteur compense celle
du conditionneur et que vouloir linéariser le signal va augmenter au final la non-
linéarité.
C’est ce qu’illustre la figure 7.4 où, en utilisant les données numériques du pro-
blème, sont tracés les écarts de Vmes et de son expression linéarisée V s par rapport
à la meilleure droite V approchant au sens des moindres carrés Vmes . On a pris
b = 1 Ω/unité de m et a = k2 b2 = 4,167.10−3 Ω/(unité de m)2 .
(V)
0, 05
Vs V
Vmes V
0, 01
0
m (USI )
0, 01
10 0 10
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P ROBLÈME :
Interféromètre
de Mach-Zender utilisé
18
en capteur d’angle
Corrigé détaillé
18.1 Le chemin optique étant identique selon les deux trajets, il n’y a pas de dé-
phasage entre les deux ondes arrivant sur la photodiode, Δφ = 0. L’éclairement sur la
photodiode est donc maximum et uniforme.
18.2 Les deux lames étant identiques, elles introduisent des variations identiques
des deux chemins optiques de (n − 1)e. Le déphasage reste donc nul et l’éclairement
maximum.
e
r
J
I H
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n
1
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Les capteurs
18.4 La loi de la réfraction de Descartes (sin θ = n sin r) donne aux petits angles :
θ = nr. Il vient :
1 r2 θ2
1+ 1+ 2 (18.15)
cos r 2 2n
2
1 θ2 n − 1
et cos(θ − r) cos θ 1 − 1+
n 2 n
En utilisant (18.15) dans (18.14), on obtient au premier ordre non nul en θ :
n−1 2
ΔL eθ (18.16)
2n
La figure 18.3 montre que l’erreur relative engendrée par cette approximation reste
inférieure à 1 % tant que l’angle θ reste inférieur à 0,2 rad.
1%
18.5 Le déphasage Δφ entre les deux ondes sur la photodiode est alors donné à
partir de (18.16) par :
2π 2π n − 1 2
Δφ = ΔL eθ (18.17)
λ λ 2n
18.6 L’éclairement de la photodiode est le résultat de l’interférence de deux ondes
cohérentes, isochrones, de même polarisation et de même amplitude si on consi-
dère les lames séparatrices identiques. Le coefficient de transmission énergétique des
lames étant de 50 %, l’intensité résultante sur la photodiode est de la forme :
I0 I0 πn−1 2
I(θ) = 1 + cos(Δφ) 1 + cos eθ (18.18)
2 2 λ n
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Corrigé 18
θ (10−2 rad) 0 4,36 6,16 7,55 8,72 9,74 10,67 11,53 12,33 13,07
θ (◦ ) 0 2,50 3,53 4,32 4,99 5,58 6,12 6,61 7,06 7,49
I(θ)/I0 1 0 1 0 1 0 1 0 1 0
18.8 L’angle θmax doit être tel qu’il n’entraîne qu’une différence de marche
ΔL(θmax ) faible devant la longueur de cohérence temporelle lc de la source laser.
D’après (18.16), il vient :
n−1 2
ΔL(θmax ) eθmax = 0,3 μm lc = 10 μm
2n
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Les capteurs
est égal à l’unité (par exemple pour θ = 0). La puissance recueillie est donc égale à
la puissance émise par la diode laser pondérée du rapport de la surface active de la
photodiode à la section du faisceau au niveau de cette photodiode, soit :
π∅2p /4 ∅ 2
p
P p, max = Pd = Pd = 1,97 mW
π∅/4 ∅
Avec une sensibilité S p = 0,85 A.W−1 , ceci correspond à un courant maximum donné
par imax = S p P p, max = 1,68 mA.
18.10 Compte tenu de la linéarité entre courant et puissance reçue sur la photo-
diode, on a :
imax πn−1 2
i(θ) = 1 + cos eθ (18.19)
2 λ n
En différentiant l’expression (18.19), on obtient :
di(θ) πn−1 2 π n − 1 2 dθ
=− eθ sin eθ
imax λ n λ n θ
En passant aux accroissements finis autour de θ = θmax /2, tous calculs faits il vient :
√
Δi(θmax /2) Δi π 2 Δθ
= =
imax imax 4 θmax
On en déduit la résolution angulaire Δθ du système au voisinage de θmax /2 :
Δi 4 Δi 4 n λ
Δθ = √ θmax = √ = 7,85.10−4 rad = 2
42
imax π 2 imax π 2 n − 1 e
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Corrigé 18
18.1
M1 P
DL S2 Zone d’action
M2
du mesurande
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19 P ROBLÈME :
Étude d’une thermistance
en utilisation bolométrique
pour la détermination
à distance de la
température d’un corps
Corrigé détaillé
t en ◦ C R(T) en Ω
25 5000,00
26 4811,17
27 4630,65
28 4458,05
29 4292,95
30 4135,00
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Corrigé 19
P J = Ka (T − T a ) = Ka ΔT a (19.24)
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Les capteurs
P
Ka = = 0,032 W.K−1 (19.26)
Δta
t en ◦ C R(T) en Ω PJ (t) en mW Δt a en ◦ C
25 5000,00 5,00 0,16
26 4811,17 4,90 0,15
27 4630,65 4,81 0,15
28 4458,05 4,71 0,15
29 4292,95 4,61 0,14
30 4135,00 4,52 0,14
P + φa
T − T a = ΔT =
Ka
Les calculs précédents ont montré que l’on pouvait considérer que
P J P̄ J = 4,76 mW. Grâce à ceci, il est possible de découpler l’échauffement
dû à l’absorption du rayonnement de l’auto-échauffement par effet Joule et on a
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Corrigé 19
Une fraction φa de φcn , ne dépendant que de la géométrie, est absorbée par la thermis-
tance et provoque un déséquilibre Vmes = −250 mV du pont. De (19.22), on déduit
immédiatement la résistance présentée par la thermistance, soit R(T ) = 4512,20 Ω et
de (19.20), l’échauffement total Δt = 2,68 ◦ C. Le résultat (19.28) permet d’en déduire
la puissance absorbée à savoir φa = Ka (ΔT − ΔT a ) = 81,12 mW.
, elle émet une puissance
19.12 La température de la paroi étant maintenant de tcn
de rayonnement par unité de surface φ
cn = σ T cn
4 dont la fraction φ
est absorbée par
a
la thermistance provoquant la nouvelle déviation du pont Vmes
= −100 mV. Les cal-
culs étant similaires à ceux de la question précédente, on trouve : R(T
) = 4801,98 Ω,
Δt
= 1,05 ◦ C et φ
a = 28,86 mW.
= T (φ
/φ )1/4 = 751,60 K soit t
= 478,45 ◦ C.
On en déduit que T cn cn a a cn
L’hypothèse faite sur le fait que la paroi peut être considérée comme un corps noir
n’est pas une nécessité. Le résultat serait le même si on postulait simplement que son
émissivité est constante dans l’intervalle des températures considérées.
19.1
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Les capteurs
Ces caméras commencent à être utilisées pour des mesurandes primaires qui
s’accompagnent de production de chaleur donc d’une évolution de la tempé-
rature. Des expériences ont déjà abouti, permettant d’étudier les contraintes
mécaniques subies par des structures. Par effet thermoélastique, le champ de
contrainte dans la structure, lié à une excitation extérieure, s’accompagne d’une
très faible augmentation de la température locale proportionnelle à la somme des
contraintes principales. Comme ces variations de température sont très faibles,
on cycle de façon périodique l’excitation sur la structure et on synchronise la
prise d’images thermiques sur cette excitation. Un traitement des images permet
de n’extraire que les variations locales de température en phase avec l’excitation
∗ D’après Uncooled amorphous silicon technology enhancement for 25 μm pixel pitch achievement
E. Mottin, A. Bain, J.L. Martin, J.L. Ouvrier-Buffet, S. Bisotto, J.J. Yon (LETI/CEA-DOPT/LIR) et J.L.
Tissot (ULIS).
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Corrigé 19
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P ROBLÈME :
Capteur angulaire
robuste
21
Corrigé détaillé
21.1 À partir de l’étude des figures 21.4 et 21.5, les variations des forces électro-
motrices s’écrivent aux premiers ordres en θ, x, y et z :
Δeb1 = −kθ θ + kx − k
y − kz z Δeh1 = −kθ θ + kx − k
y + kz z
Δeb2 = +kθ θ + kx + k
y − kz z Δeh2 = +kθ θ + kx + k
y + kz z
Δeb3 = −kθ θ + k
x + ky − kz z Δeh3 = −kθ θ + k
x + ky + kz z
Δeb4 = +kθ θ − k
x + ky − kz z Δeh4 = +kθ θ − k
x + ky + kz z
Δeb5 = −kθ θ − kx + k
y − kz z Δeh5 = −kθ θ − kx + k
y + kz z
Δeb6 = +kθ θ − kx − k
y − kz z Δeh6 = +kθ θ − kx − k
y + kz z
Δeb7 = −kθ θ − k
x − ky − kz z Δeh7 = −kθ θ − k
x − ky + kz z
Δeb8 = +kθ θ + k
x − ky − kz z Δeh8 = +kθ θ + k
x − ky + kz z
k, k
, kθ et kz représentent les dérivées partielles des forces électromotrices induites en
fonction des variables de déplacement. Elles dépendent de la géométrie des bobines,
de la différence des rayons du stator et du rotor, du nombre de spires des bobinages. . .
21.2 D’après la forme des variations des forces électromotrices, il est clair qu’il
suffit de réaliser avec les bobines indicées h la même configuration que celle réalisée
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
avec les bobines indicées b puis de connecter ces deux ensembles en série pour que
la variation ΔVmes de la tension de mesure aux bornes de l’ensemble soit indépen-
dante de la variable z. On peut donc se limiter à l’étude du branchement des bobines
indicées b en éliminant provisoirement la variable z.
Sous forme matricielle on a alors (Δeb1 , · · · ,Δeb8 ) = (θ,x,y) · K où la matrice K est
donnée par :
⎡ ⎤
⎢⎢⎢ −kθ +kθ −kθ +kθ −kθ +kθ −kθ +kθ ⎥⎥⎥
⎢ ⎥
K = ⎢⎢⎢⎢ +k +k +k
−k
−k −k −k
+k
⎥⎥⎥⎥ (21.29)
⎣
⎦
−k +k +k +k +k −k −k −k
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Les capteurs
On doit connecter entre elles les différentes bobines de telle façon que la tension V
aux bornes de cet ensemble subisse une variation ΔV maximale et uniquement fonc-
tion de θ. Ceci revient à résoudre :
En généralisant à tout le spectre utile de Vmes (t), le spectre du signal v(t) peut être
schématisé comme à la figure 21.9.
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Corrigé 21
RI gVmes , f RI gVmes , f
Amplitude
4E 4E
RI gVmes , f
2E
0 u 2 g u 2 g 2 g u
1 H(0)
H(p) = − = (21.33)
1 + 3RC p + kR2C 2 p2 2ξ p2
1+ p+ 2
ω0 ω0
√ √
Par identification, on a immédiatement ω0 = 1/ kRC et ξ = 3/2 k.
√
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|H(0)| |H(0)|
G(ω) = |H( jω)| = =
ω ω
2 √ ω ω2
1 + j2ξ − 1 + j 2 −
ω0 ω20 ω0 ω20
G0 G0
= ⎛ ⎞2 =
4
⎜⎜⎜ ω 2⎟
⎟
⎟ ω 2 ω
⎜⎜⎝1 − ⎟⎟⎠ + 2 1+
ω20 ω20 ω0
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Les capteurs
21.7 Le filtre étant du second ordre, une perte de −80 dB correspond à 2 décades.
On a donc en première approximation ωc /2ωg 1/100 soit fc = 2 kHz. Avec
√
fc = f0 = 1/2π kRC, il vient C = 37,5 nF.
RIg
v s (t) Vmes (t) (21.34)
2E
Le plus grand écart Vmes,lin − Vmes est de 12,52 mV pour θ = +40◦ . L’erreur de linéa-
rité est donc de 12,52/((105,63) − (−105,74)) 6 % de l’excursion de Vmes .
Le signal de sortie v s étant proportionnel à Vmes (facteur de proportionnalité
RIg /2E = 2, voir (21.34)), la sensibilité de la mesure est de 5,90 mV/◦ et l’erreur
de linéarité de 6 % de l’étendue de mesure.
La figure 21.10 présente la caractéristique réelle du capteur et la droite des moindres
carrés.
∞
v s = a0 + a1 θ + a2 θ2 + · · · = an θn
n=0
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Corrigé 21
∞
θ = b0 + b1 v s + b2 v2s + · · · = bn vms (21.35)
m=0
∞
v
s = Kθ = K b0 + b1 v s + b2 v s + · · · = K
2
bn vms
m=0
(mV)
300
Caractéristique réelle
(°)
300
30 0 30
f
D’après le montage 21.8, l’amplificateur opérationnel étant idéal, on a :
R 3 R 5 v s + R 3 R 4 vm R1 v
s
e+ = et e− = (21.37)
R3 R4 + R3 R5 + R4 R5 R1 + R2
La contre-réaction amène compte tenu de R1 = R3 :
R1 + R2 R3 R4 R1 + R2 R3 R5
v
s = vm + vs
R1 R3 R4 + R3 R5 + R4 R5 R1 R3 R4 + R3 R5 + R4 R5
(R1 + R2 )R4 v3s (R1 + R2 )R5
= + vs (21.38)
R1 R4 + R1 R5 + R4 R5 Vre f R1 R4 + R1 R5 + R4 R5
2
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Les capteurs
En identifiant (21.38) et v
s = Kθ = K(Av3v + Bv s ), il vient :
(R1 + R2 )R4
= KAVre
2
f = A
R1 R4 + R1 R5 + R4 R5
(R1 + R2 )R5
= KB = B
(21.39)
R1 R4 + R1 R5 + R4 R5
K = 100 mV/◦ , en résolvant (21.39), on obtient :
(R1 + R2 ) − R1 (A
+ B
)
R4 = = 3,235 kΩ
R1 A
(R1 + R2 ) − R1 (A
+ B
)
R5 = = 4,350 kΩ
R1 B
(V)
4
vs
0
v s ,lin
4
θ( )
40 0 40
Figure 21.11 – Tension de sortie du système de mesure
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Corrigé 21
21.1
Le capteur angulaire inductif étudié ici fonctionne sur le même principe qu’un
potentiomètre inductif dont on aurait multiplié le nombre de primaires et de se-
condaires de façon à le rendre insensible aux grandeurs d’influence que sont
les déplacements parallèlement l’un à l’autre et l’un sur l’autre des axes des
bobinages primaires (rotor) et secondaires (stator). Ces déplacements parasites
existent à cause de l’absence volontaire de liaisons mécaniques entre le rotor et
le stator.
Pour résoudre le problème posé, une autre solution aurait consisté à utiliser un
aimant permanent et une série de sondes à effet Hall à l’image des capteurs
angulaires développés ces dernières années.
(a)
(b)
(c)
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 52 — #400
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24 P ROBLÈME :
Photodiode à effet
latéral unidirectionnelle
Corrigé détaillé
I. La photodiode – Sensibilité
24.1 L’éclairement E étant la densité surfacique de flux lumineux, la puissance re-
çue φ0 est simplement le produit de l’éclairement E par la surface de réception S , soit
φ0 = ES .
24.3 L’énergie d’un photon étant hν, le nombre dn de photons absorbés par
la tranche d’épaisseur dz à l’abscisse z et par unité de temps est donné par
dn = −dφ(z)/hν (comme d’après (24.40) dφ(z) est négatif, il convient de prendre la
valeur opposée de dφ(z)/hν de façon à obtenir un nombre dn positif).
24.5 Le nombre total n phot de photoélectrons créés par unité de temps dans la zone
de déplétion d’épaisseur totale lZD s’obtient en intégrant l’expression précédente. Il
vient :
ηφ0
n phot = (1 − R) exp(−αlP ) 1 − exp(−βlZD ) (24.41)
hν
24.6 Si on considère que l’épaisseur de la zone de déplétion est importante, c’est-
à-dire lZD 1/β, (24.41) devient :
ηφ0
n phot (1 − R) exp(−αlP )
hν
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 53 — #401
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Corrigé 24
ΔIr 2eη
S phot = = λ(1 − R) exp(−αlP ) = 0,4 A/W (24.42)
Δφ0 hc
Le courant inverse étant proportionnel à la puissance lumineuse, la photodiode consti-
tue un capteur linéaire.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 54 — #402
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Les capteurs
1000
S phot (1000 nm) = S phot (670 nm) 0,6 A/W
670
S phot en A W
0,6
0,4
en nm
400 800 1200
24.20 On a Imax /I s = (I phot + I s )/I s 120, on peut donc négliger le courant d’obs-
curité et écrire I1 + I2 I phot . En utilisant le résultat de la question 24.18 et en posant
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 55 — #403
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Corrigé 24
V. Électronique de conditionnement
24.22 Les amplificateurs opérationnels étant idéaux, position et puissance lumi-
neuse étant constantes, on a simplement V1 = −Rc I1 et V2 = −Rc I2 . L’étage d’entrée
du conditionneur réalise donc une conversion courant-tension.
V2 V N − V1
e+ = e− =
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
et
2 2
L’amplificateur étant idéal et muni d’une contre-réaction (e+ = e− ), on en déduit :
I1 − I2
V N = V2 − V1 =
Rc
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 56 — #404
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Les capteurs
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 57 — #405
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Corrigé 24
Scheimpflug) et que la parallèle à la trace du plan objet passant par le centre optique
de la lentille, la trace du plan focal image et la trace du plan image se croisent au
même point H (règle de Hinge).
Cette construction géométrique permet de déterminer la relation entre la position X
(point de réflexion du faisceau laser sur la surface cible) et la position x, point de
focalisation sur la PSD de la lumière se réfléchissant sur la cible et collectée par la
lentille de focalisation.
On pose do = O
Ω, di = ΩO et f la focale de la lentille.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 58 — #406
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Les capteurs
Plan image
Plan de la lentille
A
B
x
O Fo Fi O
X B
Plan objet H
On applique la formule de conjugaison des lentilles minces entre les points conjugués
O
et O. Il vient :
1 1 1
+ = (24.45)
di do f
De même, on applique la formule de conjugaison aux projetés de X et x sur l’axe
optique, repérés par les mesures algébriques po = −do − X sin α et pi = di + x sin β
par rapport à Ω, on obtient :
1 1 1
− = (24.46)
pi po f
En résolvant (24.45) et (24.46) en x, il vient :
1 f 2 X sin α
x= (24.47)
sin β ( f − (do + X sin α)) (do − f )
Selon la règle de Scheimpflug, on doit avoir di tan β = do tan α. Ceci permet de dé-
duire l’expression de sin β :
(do − f ) tan α
sin β =
f 2 + (do − f )2 tan2 α
L’expression (24.47) de x en devient :
f 2 f 2 cos2 α + (do − f )2 sin2 α
x=− X (24.48)
(do − f )2 (do − f + X sin α)
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 59 — #407
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Corrigé 24
X (cm)
0,6 0 1
24.36 On pratique sur les données précédentes une régression linéaire au sens des
© Dunod. Toute reproduction non autorisée est un délit.
moindres carrés. Sur l’étendue de mesure, l’approximation linéaire de Vmes est, pour
Vmes en volt et X en centimètre, Vmes,lin = −10,358X + 0,004.
L’écart à la linéarité, plus grand écart entre la caractéristique réelle et son approxi-
mation linéaire au sens des moindres carrés, est donné pour X = 1,075 cm et vaut
ε = 759,93 mV.
L’erreur de linéarité donnée par ε/(max(Vmes ) − min(Vmes )) s’en déduit aisément, elle
a pour valeur 3,80 %.
Cette erreur de linéarité n’est pas négligeable et il est intéressant dans ce cas de nu-
mériser Vmes et de construire une table de conversion dont la sortie est le déplacement
X corrigé des effets de non-linéarité.
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“dassonvalle_70167” (Col. : Science Sup 17x24) — 2013/10/3 — 15:46 — page 60 — #408
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Les capteurs
24.1
Le faisceau réfléchi par la cible a une certaine extension latérale. En raison des
défocalisations possibles au point de focalisation sur la PSD, l’intensité lumi-
neuse du faisceau est moyennée sur l’extension latérale de l’image par la PSD.
Ceci entraîne des non-linéarités particulièrement sensibles lorsque l’on se trouve
en limite de l’étendue de mesure. Une des résistances R1 ou R2 du problème est
faible, ce qui entraîne que les approximations faites dans le problème traité ici
ne sont plus valables comme par exemple le fait de négliger les impédances de
contact semiconducteur-électrode collectrice. De plus, à la limite une partie du
faisceau illuminant une électrode ne contribue plus au photocourant. Ces effets
sont d’autant plus importants que l’extension latérale du faisceau est impor-
tante. C’est pourquoi on obtient une bien meilleure résolution avec les capteurs
utilisant la réflexion spéculaire où par définition, le faisceau réfléchi a la même
extension que le faisceau incident.
Pour corriger en partie cet effet, certains capteurs à triangulation utilisent main-
tenant comme photodétecteur une CCD à la place de la PSD. Si on s’intéresse à
la résolution, une PSD a communément une résolution de quelques micromètres.
Une CCD a des pixels de surface de l’ordre de 7 μm × 7 μm, et donc une résolu-
tion de 7 μm si on néglige l’espace isolant entre deux pixels. Le faisceau réfléchi
ayant une extension latérale, il est focalisé sur une surface supérieure à la taille
des pixels. Plusieurs pixels sont donc illuminés par le faisceau réfléchi. Par traite-
ment mathématique de l’intensité lumineuse mesurée par chaque pixel, notam-
ment en calculant simplement le centroïde de cette répartition, on peut atteindre
une résolution de quelques dixièmes de micromètres.
Cette amélioration de la résolution du capteur s’accompagne malheureusement
d’une baisse de la rapidité du capteur. Si on peut atteindre une fréquence de
coupure de l’ordre du mégahertz avec une PSD, l’utilisation d’une CCD ne per-
met qu’une fréquence d’échantillonnage de quelques kilohertz.
Pour conclure, citons que des PSD bidirectionnelles existent et qu’elles peuvent
donc être utilisées pour la détermination des coordonnées en x et y du point
d’impact d’un faisceau lumineux.
Faisceau incident
I x2
I y2
Figure 24.12 –
Principe d’une PSD
à deux dimensions
(type duo-lateral) I x1
I x1 I x 2
I y1 x
I y1 I y 2 I x1 I x 2
y
I y1 I y 2
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