TRÖÔØNG ÑAÏI HOÏC SÖ PHAÏM KYÕ THUAÄT TP.

HOÀ CHÍ MINH

KHOA CÔ KHÍ CHEÁ TAÏO MAÙY
BOÄ MOÂN CÔ ÑIEÄN TÖÛ
--------------------

BAØI GIAÛNG

KYÕ THUAÄT

ÑO LÖÔØNG VAØ CAÛM BIEÁN

TP. HCM 2006

(LƯU HÀNH NỘI BỘ)
Chương 1: Những khái niệm và đặc trưng cơ bản của kỹ thuật đo lường và
cảm biến................................................................................................................. 2
1.1 Một số định nghĩa và đặc trưng........................................................................ 2
1.2 Phân loại cảm biến.......................................................................................... 11
1.3 Các đại lượng ảnh hưởng................................................................................ 15
1.4 Mạch đo lường và gia công thông tin đo........................................................ 16
1.5 Sai số phép đo và gia công kết quả đo lường ................................................. 17
1.6 Chuẩn cảm biến .............................................................................................. 19
1.7 Độ nhạy........................................................................................................... 20
1.8 Độ tuyến tính .................................................................................................. 21
1.9 Độ nhanh-Thời gian hồi đáp........................................................................... 22
1.10 Giới hạn sử dụng cảm biến........................................................................... 23
1.11 Các mạch giao diện điện tử của các bộ cảm biến......................................... 24

Chương 2: Các chuyển đổi đo lường sơ cấp..................................................... 30

2.1 Khái niệm chung............................................................................................. 30
2.2 Các chuyển đổi điện trở.................................................................................. 33
2.3 Các chuyển đổi điện từ ................................................................................... 43
2.4 Các chuyển đổi tĩnh điện ................................................................................ 58
2.5 Các chuyển đổi nhiệt điện .............................................................................. 73
2.6 Các chuyển đổi hóa điện................................................................................. 84
2.7 Các chuyển đổi điện tử và ion ........................................................................ 96
2.8 Các chuyển đổi lượng tử................................................................................. 99

Chương 3 Cảm biến thông minh..................................................................... 105

3.1 Sự ra đời của cảm biến thông minh.............................................................. 105
3.2 Vi điện tử hóa các chuyển đổi sơ cấp........................................................... 105
3.3 Xử lý sơ bộ kết quả đo trong cảm biến thông minh ..................................... 106
3.4 Cấu trúc của cảm biến thông minh ............................................................... 109
3.5 Một số ví dụ về cảm biến thông minh .......................................................... 110
3.7 Thiết bị đo thông minh và linh hoạt ............................................................. 113

Tài liệu tham khảo..................................................................................................

1
CHƯƠNG 1:
NHỮNG KHÁI NIỆM VÀ ĐẶC TRƯNG CƠ BẢN
CỦA KỸ THUẬT ĐO LƯỜNG VÀ CẢM BIẾN

1.1. MỘT SỐ ĐỊNH NGHĨA VÀ ĐẶC TRƯNG

1.1.1. Định nghĩa:
Trong thực tế đời sống và sản xuất, việc nắm bắt các thông tin trong quá
trình hoạt động của các hệ thống, thiết bị là vô cùng quan trọng và cần thiết. Chỉ
khi nắm bắt được các thông số của chúng, nói cách khác là đánh giá định lượng
được chúng, chúng ta mới có thể làm chủ được hoàn toàn các thiết bị và hệ thống
đó trên phương diện điều chỉnh, điều khiển. Các thông số này thường được thể
hiện qua các đại lượng vật lý đặc trưng tương ứng như nhiệt độ, áp suất, lưu
lượng... Vì vậy, không có cách nào khác là chúng ta phải có các phương pháp
tương ứng để đo lường giá trị của các đại lượng vật lý này.
♦ Đo lường: là một quá trình đánh giá định lượng đại lượng cần đo để có kết
quả bằng số so với đơn vị đo. [1]
(Như vậy, không phải đại lượng nào cũng có thể đo được một cách trực tiếp
vì không có đơn vị mẫu của đại lượng đó để thực hiện so sánh, ví dụ: ứng suất cơ
học… Khi đó người ta phải chuyển đổi đại lượng vật lý này sang dạng khác để
thực hiện phép đo, ví dụ: chuyển sang dạng điện loadcell cảm biến lực căng và so
sánh bằng tương quan điện)
♦ Đo lường học: là ngành khoa học nghiên cứu về các phương pháp để đo các
đại lượng khác nhau, về mẫu và đơn vị đo. [1]
♦ Kỹ thuật đo lường: là ngành kỹ thuật nghiên cứu và ứng dụng các thành quả
của đo lường học vào phục vụ sản xuất và đời sống. [1]
Cảm biến chính là một trong những sản phẩm quan trọng nhất của Kỹ thuật
đo lường. Các đại lượng vật lý cần đo được cảm biến biến đổi thành một đại lượng
điện tương ứng ở đầu ra. Đại lượng điện này phản ánh các thông tin cần thiết liên
quan đến đại lượng cần đo.
♦ Cảm biến: là một thiết bị chịu tác động của đại lượng cần đo m không có
tính chất điện và cho ta một đặc trưng mang bản chất điện (điện tích, điện áp, dòng
điện hoặc trở kháng…) ký hiệu là s. Đặc trưng điện s là hàm của đại lượng cần đo:
s = F(m).[2]
Rõ ràng rằng, với mỗi loại cảm biến thì mối quan hệ hàm số này sẽ có một
dạng biểu thức hàm khác nhau. Nó phụ thuộc vào các yếu tố cấu thành của cảm
2
biến như: cấu trúc, vật liệu, môi trường … Tuy nhiên để đơn giản trong việc đo
lường và xử lý tín hiệu, người ta thường cố gắng chế tạo các loại cảm biến sao cho
quan hệ hàm đó là một hàm tuyến tính tức là có hệ số tỷ lệ hằng và đơn trị. Hệ số
tỷ lệ đó thường được gọi dưới tên gọi là độ nhạy của cảm biến, ký hiệu S:

ds ∆s
S= =
dm ∆m
(1.1)
Hệ số S thường phụ thuộc vào các yếu tố:
+ Sự biến thiên giá trị của đại lượng cần đo (độ tuyến tính của đồ thị biến đổi
đại lượng cần đo) và tần số thay đổi của nó (dải thông).
+ Thời gian sử dụng của cảm biến (độ già hoá)
+ Ảnh hưởng của các đại lượng vật lý khác (nhiễu từ môi trường xung quanh)
1.1.2. Các đặc trưng của kỹ thuật đo lường:
Kỹ thuật đo lường bao gồm các đặc trưng sau:
1.1.2.1. Đại lượng đo (hay tín hiệu đo):
♦ Theo tính chất thay đổi của đại lượng đo có thể chia thành đại lượng đo
tiền định và đại lượng đo ngẫu nhiên:
a, Đại lượng đo tiền định: là đại lượng đo đã biết trước được quy luật
thay đổi của nó theo thời gian nhưng có một hoặc một số thông số cần phải đo. Đó
thường là tín hiệu một chiều, xoay chiều hình sin hay xung vuông với các thông số
cần đo là biên độ, tần số, góc pha…
Ví dụ: đo độ lớn biên độ của tín hiệu hình sin.
b, Đại lượng đo ngẫu nhiên: là đại lượng đo có sự biến đổi theo thời
gian một cách không có quy luật, nếu lấy bất kỳ giá trị nào của tín hiệu thì đó đều
là giá trị ngẫu nhiên.
Ví dụ: độ ẩm của không khí.
Trong thực tế đa số các dạng tín hiệu đo đều là ngẫu nhiên. Tuy nhiên ở một
chừng mực nào đó ta có thể giả thiết rằng trong suốt quá trình diễn ra phép đo, đại
lượng đo là tín hiệu thay đổi chậm hoặc không đổi hoặc thay đổi theo quy luật đã
biết.
Trong trường hợp đại lượng đo ngẫu nhiên biến đổi theo một tần số rất lớn
thì không sử dụng được các phép đo thông thường mà phải đo bằng phương pháp
đo lường thống kê.

3
 ♦ Theo cách biến đổi tín hiệu đo có thể chia thành tín hiệu đo rời rạc (số)
và tín hiệu đo liên tục (tương tự):
a, Tín hiệu đo liên tục (tương tự): là biến đổi tín hiệu đo thành dạng
tín hiệu khác tương tự với nó. Ứng với nó là các thiết bị đo tương tự.
Ví dụ: ampemet có kim chỉ đo cường độ dòng điện.
b, Đại lượng đo rời rạc (số): là biến đổi tín hiệu đo thành tín hiệu số.
Ứng với nó là các thiết bị đo số.
♦ Theo bản chất của đại lượng đo có thể chia thành:
a, Đại lượng đo năng lượng: là đại lượng đo mà bản thân nó mang
năng lượng như sức điện động, điện trường, từ trường, công suất, …
b, Đại lượng đo thông số: là các thông số của mạch điện như điện
trở, điện cảm, điện dung hay hệ số từ trường …, hoặc các đại lượng đo vị trí, kích
thước …
c, Đại lượng đo phụ thuộc thời gian: chu kỳ, tần số, góc pha …
d, Đại lượng đo không điện: để thực hiện đo được bằng phương pháp
điện đòi hỏi phải có sự chuyển đổi chúng về dạng tín hiệu điện bằng bộ chuyển đổi
đo lường sơ cấp.
1.1.2.2. Điều kiện đo:
Các thông tin đo lường bao giờ cũng gắn chặt với môi trường sinh ra đại
lượng đo. Khi đo phải đảm bảo loại bỏ được các ảnh hưởng của môi trường đến
thiết bị đo (những yếu tố khiến cho phép đo không thực hiện được trong điều kiện
tiêu chuẩn đã định), đồng thời bản thân thiết bị đo cũng không được gây ảnh
hưởng đến (làm biến đổi) đại lượng đo.
1.1.2.3. Đơn vị đo:
Là các giá trị mẫu chuẩn về một đại lượng nào đó đã được quốc tế quy định
chung cho mọi quốc gia phục vụ cho việc so sánh với giá trị đo được để phép đo
đưa ra được thông số cụ thể.
Hệ thống đơn vị quốc tế SI gồm 2 nhóm đơn vị:
+ Đơn vị cơ bản: được thể hiện bằng các đơn vị chuẩn với độ chính xác cao
nhất mà khoa học và kỹ thuật hiện đại có thể thực hiện được. Các đơn vị cơ bản
được chọn sao cho với số lượng ít nhất mà có thể suy ra các đơn vị kéo theo cho tất
cả các đại lượng vật lý.
+ Đơn vị kéo theo: là đơn vị có liên quan đến các đơn vị cơ bản theo những
quy luật xác định bằng công thức.

4
 Bảng 1.1: Bảng đơn vị cơ bản và các đơn vị kéo theo.

STT Các đại lượng vật lý Tên đơn vị Ký hiệu

Các đại lượng cơ bản:

Độ dài Met m
Khối lượng Kilogram kg
Thời gian Giây s
1
Dòng điện Ampe A
Nhiệt độ Kelvin K
Số lượng vật chất Mol mol
Cường độ ánh sáng Candela Cd

Các đại lượng cơ học:

Tốc độ Mét trên giây m/s
Gia tốc Mét trên giây bình phương m/s2
2 Năng lượng và công Jun J
Lực Newton N
Công suất Watt W
Năng lượng Watt giây W.s

Các đại lượng điện:

Điện lượng Culông C
Điện áp, thế điện động Vôn V
Cường độ điện trường Vôn trên mét V/m
3
Điện dung Fara F
Điện trở Ôm Ω
Điện trở riêng Ôm mét Ω.m
Hệ số điện môi tuyệt đối Fara trên mét F/m

5
 Các đại lượng từ:
Từ thông Webe Wb
Cảm ứng từ Tesla T
4
Cường độ từ trường Ampe trên mét A/m
Điện cảm Henry H
Hệ số từ thẩm Henry trên mét H/m

Các đại lượng quang:

Luồng (thông lượng) ánh sáng Lumen lm
Cường độ sáng riêng (độ chói) Candela trên mét vuông Cd/m2
5
Độ rọi Lumen trên mét vuông lm/m2
Năng lượng Lumen giây (hay lux)
lm.s

Bảng 1.2: Bảng các bội và ước số thường dùng của đơn vị cơ bản.

Tên của tiếp Giá trị ước số Ký hiệu Tên của tiếp Giá trị bội số Ký hiệu
đầu ngữ đầu ngữ

pico 10-12 p deca 101 da

nano 10-9 n hecto 102 h
micro 10-6 µ kilo 103 k
mili 10-3 m Mega 106 M
centi 10-2 c Giga 109 G
dexi 10-1 d Tera 1012 T

(Các thông tin kỹ hơn về chuẩn quốc gia, mẫu và một số thiết bị tạo mẫu cho việc
đo lường – tham khảo thêm trong tài liệu [2])
1.1.2.4. Thiết bị đo và phương pháp đo:
Thiết bị đo: là thiết bị kỹ thuật dùng để gia công tín hiệu mang thông tin đo
thành dạng tiện lợi cho người quan sát. Chúng có các tính chất đo lường học tức là
các tính chất ảnh hưởng đến kết quả đo và sai số của phép đo.

6
 Phương pháp đo: là cách thức thực hiện quá trình đo, nó phụ thuộc vào
phương pháp nhận thông tin và các yếu tố khác như độ lớn đại lượng đo, điều kiện
đo, sai số yêu cầu … (xem thêm mục I.1.3)
1.1.2.5. Người quan sát:
Đó là người đo và gia công kết quả đo. Nhiệm vụ của người quan sát khi đo
là nắm vững phương pháp đo, am hiểu về thiết bị đo mà mình sử dụng, kiểm tra
điều kiện đo, phán đoán khoảng đo để chọn thiết bị phù hợp, chọn dụng cụ đo phù
hợp sai số yêu cầu và môi trường xung quanh, biết điều khiển quá trình đo để có
kết quả mong muốn, nắm được phương pháp gia công kết quả đo để tiến hành gia
công kết quả đo. Biết xét đoán kết quả đã đạt yêu cầu hay chưa, có thể đo bằng
phương pháp thông thường hay bằng phương pháp thống kê…
Có thể nói, sự phát triển của máy tính và kỹ thuật cảm biến ngày nay đã
giảm thiểu rất nhiều công việc của người quan sát về quá trình đo và xử lý dữ liệu
một cách tự động. Tuy nhiên, kinh nghiệm trong ứng dụng của người quan sát vẫn
vô cùng quan trọng trong việc lựa chọn thiết bị và đánh giá độ tin cậy của các thiết
bị đo lường đó trong thực tế làm việc.
1.1.2.6. Kết quả đo:
Kết quả đo ở một chừng mực nào đó có thể coi là chính xác và giá trị như
vậy được gọi là giá trị ước lượng của đại lượng đo (giá trị được xác định bằng thực
nghiệm bởi thiết bị đo). Giá trị này gần với giá trị thực ở một điều kiện nào đó có
thể coi là thực.
Để đánh giá độ lệch giữa giá trị đo được và giá trị thực, người ta đưa ra khái
niệm sai số của phép đo (trị tuyệt đối hiệu của 2 giá trị này). Đây chính là thông số
cho phép đánh giá phép đo hay thiết bị thực hiện phép đo có đạt yêu cầu không.
1.1.3. Phương pháp đo:
Các phương pháp đo có thể phân loại như sau:
1.1.3.1. Phương pháp đo biến đổi thẳng:
Sơ đồ cấu trúc của phương pháp này có dạng biến đổi thẳng, tức là không
có phản hồi:

X
X Nx Nx/N0
BĐ A/D SSsố
X0 N0
X0

Hình 1.1: Sơ đồ đo biến đổi thẳng

7
Trong đó: X: tín hiệu cần đo
X0: tín hiệu mẫu (dùng để chia vạch đơn vị trong thang đo)
Nx: thông số quy đổi giá trị độ lớn của tín hiệu cần đo
N0: thông số quy đổi giá trị độ lớn của đơn vị đo
BĐ: bộ biến đổi
A/D: bộ chuyển đổi tín hiệu tương tự sang số
SSsố: bộ so sánh số
Giá trị đo được là: X = X0.(Nx/N0)
Loại dụng cụ đo biến đổi thẳng thường vấp phải nhược điểm là sai số
bằng tổng các sai số của các khâu vì vậy thường chỉ dùng ở các nhà máy, xí
nghiệp để đo các thông số và kiểm tra các quá trình sản xuất với độ chính xác
không cao.

1.1.3.2. Phương pháp đo kiểu so sánh:

Sơ đồ cấu trúc của phương pháp này có dạng vòng kín có phản hồi:

X ∆X Nx
SS BĐ A/D

Xk
D/A

Hình 1.2: Sơ đồ đo kiểu so sánh

Trong đó: X: tín hiệu cần đo

Xk: tín hiệu phản hồi (là tín hiệu so sánh có giá trị tỷ lệ với đại
lượng mẫu)
Nx: thông số quy đổi giá trị độ lớn của tín hiệu cần đo
BĐ: bộ biến đổi
D/A: bộ chuyển đổi tín hiệu số sang tương tự
A/D: bộ chuyển đổi tín hiệu tương tự sang số
8
 SSsố: bộ so sánh
Phép đo sẽ diễn ra cho đến khi tín hiệu phản hồi Xk có giá trị bằng với
giá trị của đại lượng cần đo X.
Thiết bị đo kiểu này gọi là thiết bị đo kiểu so sánh hay thiết bị bù.
Tùy thuộc cách so sánh mà ta có thể phân chia phương pháp đo này
thành:
1.1.3.2.1. Kiểu so sánh cân bằng:
Là phép so sánh tiến hành sao cho luôn giữ giá trị sai lệch ∆X = 0.
Khi đó giá trị đo được của tín hiệu là:
X = Xk = Nk.X0. (1.2)
Ví dụ: Điện thế kế dạng cầu đo cân bằng.
1.1.3.2.2. Kiểu so sánh không cân bằng:
Là phép so sánh tiến hành sao cho luôn giữ giá trị sai lệch ∆X =
const ≠ 0.
Khi đó giá trị đo được của tín hiệu là:
X = ∆X + Xk (1.3)
Như vậy, độ chính xác của phép đo sẽ phụ thuộc vào phép đo ∆X:
giá trị ∆X càng lớn so với X thì độ chính xác đó càng thấp. (khi ∆X = 0,1X thì
chính xác thấp hơn khi ∆X = 0.01X).
Ví dụ: ứng dụng trong các phép đo các đại lượng không điện như
nhiệt độ, ứng suất (dùng mạch cầu không cân bằng)…
1.1.3.2.3. Kiểu so sánh không đồng thời:
Quá trình đo diễn ra như sau: ban đầu cho tín hiệu cần đo X tác động
vào hệ thống đo, sau đó lấy 1 tín hiệu mẫu Xk tác động vào hệ thống đo và điều
chỉnh Xk sao cho tín hiệu đầu ra cũng giống hệt đối với X, khi đó X = Xk.
Kiểu đo này có độ chính xác chỉ phụ thuộc vào phép đo Xk. Ưu điểm
của phương pháp này là khi thay tín hiệu đầu vào ta vẫn giữ nguyên các điều
kiện làm việc của hệ thống đo và do đó loại bỏ được các ảnh hưởng ngoại lai.
Ví dụ: ứng dụng đo dòng điện xoay chiều thông qua dòng điện 1
chiều dựa trên tác dụng hiệu dụng trung gian là tác dụng nhiệt (ampemet nhiệt).
1.1.3.2.4. Kiểu so sánh đồng thời:
Phép so sánh này đo đồng thời giá trị của X và Xk, căn cứ vào rất
nhiều các cặp điểm trùng nhau để suy ra giá trị cần đo.
9
 Ví dụ: Đo quy đổi chiều dài của 1 inch sang mm: ta đặt 2 thước đo
song song có gốc 0 trùng với nhau. Đọc được giá trị các điểm vạch chẵn trùng
nhau tiếp theo là: 127mm – 5inches; 254mm – 10inches; 381mm – 15inches;
… Từ đó suy ra:
1 inch = 127/5 = 254/10 = 381/15 = 25,4 mm
Phương pháp này dùng để thử nghiệm các đặc tính của các cảm biến hay
của thiết bị đo để đánh giá sai số của chúng.
1.1.4. Hàm truyền của cảm biến:
Quan hệ giữa đáp ứng và kích thích của bộ cảm biến có thể cho dưới dạng
bảng giá trị, graph hoặc biểu thức toán học. Hàm truyền của cảm biến là biểu
diễn toán học của mối quan hệ này. Đó có thể là quan hệ tuyến tính:
s = a.m + b (1.4)
(a là độ nhạy của cảm biến, b là hằng số bằng tín hiệu ra của cảm
biến khi kích thích vào bằng 0)
hoặc dạng hàm mũ, hàm loga, hàm luỹ thừa… (các dạng hàm toán học sơ cấp):
s = a.ekm (1.5)
s = 1 + a.lnm (1.6)
s = a0 + a1.mk (1.7)
(k là hằng số)
Các dạng hàm phi tuyến thường không có dạng hàm toán học sơ cấp nhưng
có thể gần đúng bằng các hàm đa thức bậc cao. Ở các hàm phi tuyến, độ nhạy của
cảm biến phụ thuộc từng điểm làm việc và có giá trị bằng giá trị của đạo hàm
hàm truyền tại điểm làm việc:
ds
a= (1.8)
dm m0

1.1.5. Độ lớn của tín hiệu vào:

Độ lớn của tín hiệu vào là giá trị lớn nhất của tín hiệu vào đặt vào bộ cảm
biến mà sai số không vượt quá ngưỡng cho phép. Đối với các bộ cảm biến có đáp
ứng phi tuyến, ngưỡng động của kích thích thường được biểu diễn bằng dexibel
(bằng logarit của tỷ số công suất hoặc điện áp của tín hiệu ra và tín hiệu vào):
P2 u
1dB = 10 lg = 20 lg 2 (1.9)
P1 u1

10
 Bảng 1.3: Quan hệ giữa tỷ số điện áp và tỷ số công suất tính theo dexibel

Dexibel 0,1 1,0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

Tỷ số công
1,023 1,26 10 100 103 104 105 106 107 108 109 1010
suất

Tỷ số điện áp
1,012 1,12 3,16 10 31,6 100 316 103 3162 104 3.104 105
(dòng điện)

1.2. PHÂN LOẠI CẢM BIẾN

Cảm biến có thể được phân loại thep nhiều cơ sở khác nhau:
1.2.1. Theo thông số của mô hình mạch thay thế:
Cảm biến là một phần tử của mạch điện mà theo nguyên lý chế tạo ta có thể
chia ra làm 2 loại cảm biến là cảm biến thụ động và cảm biến tích cực.
1.2.1.1. Cảm biến tích cực:
Là loại cảm biến có nguyên lý hoạt động là biến đổi các dạng năng lượng phi
điện nào đó thành năng lượng điện với tín hiệu ra là dòng điện, điện áp, điện tích có tỷ
lệ tương quan với đại lượng cần đo. Cảm biến loại này dựa trên các hiệu ứng biến đổi
sau:
1.2.1.1.1. Hiệu ứng nhiệt điện:
Cặp nhiệt điện: 2 đoạn dây kim loại có bản chất hoá học khác nhau được
hàn dính cả 2 đầu với nhau tạo thành một vòng kín. Khi nhiệt độ ở 2 đầu nối
chênh lệch sẽ xuất hiện một sức điện động tương ứng tỷ lệ trong vòng dây.
Tín hiệu này sẽ được đưa vào mạch điện gia công tín hiệu phía sau.
1.2.1.1.2. Hiệu ứng hoả điện:
Sử dụng khối tinh thể hoả điện (Sulfat triglycine) tức là khi nhiệt độ 2 bề
mặt của khối tinh thể này chênh lệch nhau thì điện tích 2 bề mặt sẽ trái dấu và
có độ lớn tỷ lệ thuận với độ phân cực điện hay độ chênh nhiệt độ. Độ chênh
lệch điện tích này sẽ được đưa vào mạch điện gia công tín hiệu phía sau dưới
hình thức điện tích trên 2 bản cực của tụ điện. (dùng trong việc đo thông
lượng bức xạ ánh sáng)
1.2.1.1.3. Hiệu ứng áp điện:
Vật liệu áp điện (thạch anh) có tính chất là khi bị lực tác dụng làm biến
dạng thì sẽ tạo ra các điện tích trái dấu trên các mặt đối diện có độ lớn tỷ lệ
với độ lớn của lực. Độ chênh lệch điện tích này sẽ được đưa vào mạch điện
gia công tín hiệu phía sau dưới hình thức điện tích trên 2 bản cực của tụ điện.
11
1.2.1.1.4. Hiệu ứng cảm ứng điện từ:
Khi một dây dẫn kín chuyển động trong từ trường không đổi (hoặc
khung dây đứng yên trong một từ trường biến thiên) sẽ xuất hiện một suất
điện động trong vòng dây tỷ lệ với lượng từ thông cắt ngang vòng dây trong
một đơn vị thời gian, nói cách khác là tỷ lệ với tốc độ dịch chuyển của dây
dẫn. Độ chênh lệch điện tích này sẽ được đưa vào mạch điện gia công tín hiệu
phía sau. (ứng dụng trong đo tốc độ dịch chuyển của vật)
1.2.1.1.5. Hiệu ứng quang điện:
Dựa trên nguyên tắc: dưới tác dụng của bức xạ ánh sáng hoặc bức xạ
điện từ có bước sóng ngắn hơn giá trị bước sóng ngưỡng của vật liệu, các vật
liệu sẽ giải phóng ra các hạt dẫn tự do tạo ra dòng điện dẫn kích hoạt các phần
tử tiếp theo trong mạch gia công tín hiệu đo. (ứng dụng trong cảm biến quang
bật sáng đèn chiếu công cộng)
I.2.1.1.6. Hiệu ứng quang phát xạ điện tử:
Dựa trên hiện tượng các điện tử được giải phóng thoát khỏi vật liệu và
được thu gom bởi điện trường để tạo ra dòng điện. Tín hiệu này sẽ được đưa
vào mạch điện gia công tín hiệu phía sau.
1.2.1.1.7. Hiệu ứng quang điện trong chất bán dẫn:
Khi chiếu sáng vào một lớp tiếp giáp P-N thì sẽ làm phát sinh các các
cặp điện tử và lỗ trống chuyển động dưới tác dụng của điện trường của lớp
chuyển tiếp làm thay đổi hiệu điện thế giữa 2 đầu của lớp chuyển tiếp. Tín
hiệu điện áp này sẽ được đưa vào mạch điện gia công tín hiệu phía sau.
1.2.1.1.8. Hiệu ứng quang điện tử:
Dựa trên hiện tượng: chiếu bức xạ ánh sáng và từ trường B (nam châm)
vuông góc với nhau đồng thời lên một vật liệu bán dẫn thì sẽ hình thành một
hiệu điện thế theo phương vuông góc với mặt phẳng tạo bởi phương bức xạ
và phương từ trường. Hiệu điện thế này sẽ được đưa vào mạch điện gia công
tín hiệu phía sau. (ứng dụng để đo các thông tin chứa đựng trong ánh sáng)
1.2.1.1.9. Hiệu ứng Hall:
Một vật liệu bán dẫn dạng tấm mỏng có dòng điện chạy qua khi đặt
trong từ trường B có phương tạo với dòng điện I một góc θ, sẽ làm xuất hiện
một hiệu điện thế VH có phương vuông góc với mặt phẳng tạo bởi I và B.
Hiệu điện thế này sẽ được đưa vào mạch điện gia công tín hiệu phía sau.
Độ lớn của VH được xác định theo công thức:

12
 VH = KH.I.B.sinθ. (1.10)
KH là hệ số phụ thuộc vật liệu và kích thước hình học của mẫu.
Hiệu ứng Hall được ứng dụng trong cảm biến xác định vị trí của một vật
chuyển động. Người ta gắn một thanh nam châm lên vật đó. Vị trí của vật (và
do đó vị trí của thanh nam châm) sẽ xác định giá trị của từ trường B và góc
lệch θ tương ứng. Như vậy, VH là một hàm phụ thuộc vào vị trí của vật trong
không gian.
Chú ý rằng cảm biến vị trí kiểu này không chuyển đổi năng lượng (từ vị
trí sang giá trị điện áp) mà năng lượng để tạo tín hiệu điện áp ra là nguồn của
dòng điện I chứ không phải là đại lượng cần đo (vị trí).
Cảm biến kiểu hiệu ứng Hall là cảm biến tích cực vì thông tin ra liên
quan đến sức điện động.
1.2.1.1.10. Các hiệu ứng khác:
Ngoài ra còn có các hiệu ứng biến đổi tín hiệu kiểu sinh học như: biến
đổi sinh hoá, hiệu ứng trên cơ thể sống, phân tích phổ…
1.2.1.2. Cảm biến thụ động:
Là loại cảm biến hoạt động dựa trên nguyên tắc: đại lượng cần đo có tác động
ảnh hưởng làm thay đổi giá trị trở kháng của cảm biến và do đó làm thay đổi giá trị
kiến tạo mạch điện xử lý gia công thông tin đo phía sau một cách tương ứng. (ví dụ:
làm lệch cầu điện trở (vốn cân bằng khi chưa thực hiện phép đo)…)
Giá trị trở kháng này thường phụ thuộc đồng thời vào kích thước hình học của
mẫu đo và các tính chất điện của vật liệu như điện trở suất ρ, độ từ thẩm µ, hằng số
điện môi ε. Trong các phép đo, các thuộc tính này có thể có ảnh hưởng một cách riêng
biệt hoặc đồng thời đến trở kháng của cảm biến.
♣Thuộc tính kích thước hình học: thường có ảnh hưởng khi trong quá trình đo
vật di chuyển hoặc bị làm biến dạng.
+ Với vật di chuyển: cảm biến sẽ chứa phần tử động (lõi thép động trong
cảm biến cảm ứng, nắp lõi từ cảm biến điện thế, bản cực di động của tụ điện…) và khi
phần tử này di chuyển sẽ kéo theo sự thay đổi trở kháng tương ứng.
+ Với vật chịu biến dạng: cảm biến sẽ chứa phần tử biến dạng chịu tác dụng
trực tiếp hoặc gián tiếp của lực tác dụng hoặc các đại lượng dẫn đến lực (áp suất, gia
tốc). Ví dụ: bản cực di động của tụ điện chịu tác dụng của áp suất vi sai, cảm biến đo
ứng lực có liên quan chặt chẽ đến cấu trúc chịu tác động của ứng suất.
♣Thuộc tính tính chất điện: mỗi vật liệu đều có thể nhạy với các tác động của
nhiều đại lượng vật lý khác nhau như ánh sáng, nhiệt độ, áp suất,…Trong thực tế, khi

13
tiến hành đo cảm biến luôn chịu ảnh hưởng tác động của yếu tố môi trường, nếu các
vật liệu chế tạo cảm biến nhạy với quá nhiều đại lượng vật lý sẽ làm cho phép đo dễ
gặp phải rất nhiều sai số không mong muốn. Vì vậy, cảm biến luôn được chế tạo sao
cho chỉ một trong số các đại lượng trên có thể thay đổi trở kháng của nó trong khi
những đại lượng còn lại là không đổi. Chỉ khi đó ta mới có tương quan đơn trị giữa trở
kháng của cảm biến với giá trị cần đo.
1.2.2. Theo dạng kích thích:
Bảng 1.4: Bảng liệt kê các đặc tính của kích thích

STT Kích thước Các đặc tính của kích thích

1 Âm thanh Biên pha, phân cực, phổ, tốc độ truyền

sóng…

2 Điện Điện tích, dòng điện, điện thế, điện áp,

điện trường (biên pha, phân cực, phổ),
điện dẫn, hằng số điện môi…

3 Từ Từ trường (biên pha, phân cực, phổ), từ

thông, cường độ từ trường, độ từ thẩm…

4 Quang Biên pha, phân cực, phổ, tốc độ truyền,hệ

số phát xạ, khúc xạ, hệ số hấp thụ, hệ số
bức xạ…

5 Cơ Vị trí, lực, áp suất, gia tốc, vận tốc, ứng

suất, độ cứng, mômen, khối lượng, tỷ
trọng, vận tốc chất lưu, độ nhớt…

6 Nhiệt Nhiệt độ, thông lượng, nhiệt dung, tỷ

nhiệt…

7 Bức xạ Kiểu, năng lượng, cường độ…

1.2.3. Theo tính năng các bộ cảm biến:

14
 Bảng 1.5: Bảng liệt kê các tính năng của bộ cảm biến

STT Tính năng STT Tính năng

1 Độ nhạy 8 Độ trễ

2 Độ chính xác 9 Khả năng quá tải

3 Độ phân giải 10 Tốc độ đáp ứng

4 Độ chọn lọc 11 Độ ổn định (ngắn hạn và dài

hạn)

5 Độ tuyến tính 12 Tuổi thọ

6 Công suất tiêu thụ 13 Điều kiện môi trường

7 Dải tần 14 Kích thước, trọng lượng……

1.2.4. Theo phạm vi sử dụng các bộ cảm biến:

+ Cảm biến trong Công nghiệp
+ Cảm biến trong Nghiên cứu khoa học
+ Cảm biến trong Môi trường khí tượng
+ Cảm biến trong Thông tin, viễn thông
+ Cảm biến trong Nông nghiệp
+ Cảm biến trong Dân dụng
+ Cảm biến trong Giao thông
+ Cảm biến trong Vũ trụ
+ Cảm biến trong Quân sự…

1.3. CÁC ĐẠI LƯỢNG ẢNH HƯỞNG

Các đại lượng ảnh hưởng hay đại lượng nhiễu là các đại lượng có thể tác động đến
tín hiệu ở đầu ra của cảm biến đồng thời với đại lượng cần đo. Bao gồm:
+ Áp suất, gia tốc, dao động (rung): gây ra biến dạng và ứng suất trong một số
thành phần của cảm biến khiến tín hiệu hồi đáp bị sai lệch.

15
 + Độ ẩm: làm thay đổi tính chất điện của vật liệu như: hằng số điện môi ε, điện trở
suất ρ.
+ Nhiệt độ: làm thay đổi các đặc trưng điện, cơ và kích thước của cảm biến.
+ Từ trường: có thể gây nên suất điện động cảm ứng chồng lên tín hiệu có ích, làm
thay đổi tính chất điện của vật liệu cấu thành cảm biến.
+ Biên độ và tần số của điện áp nuôi (ví dụ ở biến thế vi sai) ảnh hưởng đến đại
lượng điện đầu ra.
Trong mọi phép đo, người ta luôn cố gắng tìm cách giảm thiểu nhiều nhất ảnh
hưởng của các yếu tố ngoại lai này bằng các biện pháp chống nhiễu trong đo lường
như:
- Sử dụng các biện pháp chống rung, chống từ trường, cách điện…
- Ổn định các đại lượng ảnh hưởng ở những giá trị biết trước và chuẩn
cảm biến trong các điều kiện đó (ví dụ: bình ổn nhiệt, nguồn điện áp có
bộ phận điều chỉnh…)
- Sử dụng các sơ đồ ghép nối cho phép cho phép bù trừ ảnh hưởng của đại
lượng gây nhiễu.
1.4. MẠCH ĐO LƯỜNG VÀ GIA CÔNG THÔNG TIN ĐO
Mạch đo bao gồm toàn bộ các thiết bị đo (kể cả cảm biến trong đó) cho
phép xác định chính xác đại lượng cần đo trong những điều kiện tốt nhất có thể.
Tín hiệu tác động vào đầu vào của mạch qua cảm biến (một cách trực tiếp
nếu là cảm biến tích cực và gián tiếp thông qua bộ chuyển đổi nếu là cảm biến
thụ động) đưa ra ở đầu ra của cảm biến tín hiệu điện mang thông tin của đại
lượng cần đo.
Tiếp theo, tín hiệu điện này có thể được khuếch đại hoặc tinh lọc, được xử
lý tổi ưu hoá … (ở những hệ thống đo đòi hỏi độ chính xác không cao có thể
không cần các thiết bị này), sau đó được chuyển đổi thành các dạng có thể đọc
được trực tiếp giá trị trước khi được đưa ra đầu ra của mạch. Đầu ra này có thể
được ghép nối với bộ hiển thị thông số, có thể ghép nối máy tính, vi xử lý…để
tiếp tục xử lý cho các mục đích điều chỉnh của hệ thống…
Việc chuẩn hệ đo đảm bảo cho mỗi giá trị chỉ thị ở đầu ra tương ứng với chỉ
1 giá trị đại lượng đo tác động ở đầu vào.
Dưới đây là một ví dụ sơ đồ khối cấu trúc của một hệ đo lường điện thế
trên bề mặt màng nhạy quang được lắp ráp từ nhiều phần tử: [1]

16
 MÁY IN
FC

D PC 5 ADC CPU
7

PA MÀN HÌNH

1 - Máy phát chức năng 2 - Cảm biến điện tích

3 - Tiền khuếch đại 4 - So pha lọc nhiễu
5 - Khuếch đại 6 - Chuyển đổi số tương tự
7 - Máy tính
Hình 1.3: Mạch đo điện thế bề mặt
1.5. SAI SỐ PHÉP ĐO VÀ GIA CÔNG KẾT QUẢ ĐO LƯỜNG
Sai số của phép đo là hiệu số giữa giá trị thực và giá trị đo được. Sai số phép
đo chỉ có thể được đánh giá một cách ước tính bởi vì không thể biết được giá trị thực
của đại lượng đo.
Sai số có thể chia thành các loại sau:
1.5.1. Sai số hệ thống:
Sai số hệ thống là sai lệch luôn luôn tồn tại giữa giá trị đo được trung bình
và giá trị thực của đại lượng cần đo mà không phụ thuộc vào số lần đo liên tiếp.
Sai số hệ thống có thể không đổi hoặc biến đổi chậm theo thời gian.
Sai số hệ thống có nguyên nhân do sự hiểu biết thiên lệch hoặc không đầy
đủ về hệ đo hoặc cũng có thể do điều kiện sử dụng không tốt.
Có thể chia sai số hệ thống theo các nguyên nhân sau:
1.5.1.1. Sai số do giá trị của đại lượng chuẩn không đúng:
Ví dụ: lệch điểm gốc 0 trên thang đo…
Sai số này có thể loại bỏ được bằng cách kiểm tra kỹ các thiết bị trước khi
sử dụng.
1.5.1.2. Sai số do đặc tính của cảm biến:
Ví dụ: sai số độ nhạy hoặc sai số của đường cong chuẩn, sai khác giữa các
sản phẩm cảm biến khác nhau ngay cả trong cùng loạt sản xuất, sự
già hoá của các cảm biến…

17
 Để giảm thiểu sai số này yêu cầu người sử dụng phải thường xuyên tiến
hành chuẩn lại cảm biến.
1.5.1.3. Sai số do điều kiện và chế độ sử dụng:
Ví dụ: cảm biến nhiệt độ có tốc độ hồi đáp khác nhau khi đặt trong chất
lỏng chảy liên tục và chất lỏng đứng yên; bản thân điện trở của cảm
biến làm ảnh hưởng đến giá trị điện trở của hệ thống được đo…
1.5.1.4. Sai số do xử lý kết quả đo:
Ví dụ: kết quả đo lệch khỏi tuyến tính trong khi sử dụng cảm biến giả thiết
là tuyến tính (giả thiết sai về sự biến đổi của đại lượng đo); độ dẫn
nhiệt của vỏ cảm biến và dây dẫn khiến nhiệt độ đo được của cảm
biến và nhiệt độ cần đo khác nhau…
1.5.2. Sai số ngẫu nhiên:
Sai số ngẫu nhiên là sai số có độ lớn, dấu và tần suất xuất hiện là không
tuân theo bất kỳ một quy luật biết trước nào.
Có thể chia sai số ngẫu nhiên theo các nguyên nhân sau:
1.5.2.1. Sai số do tính không xác định của đặc trưng thiết bị:
Với mỗi thiết bị đo lường thường thì giữa các nấc đo có một độ phân biệt nhất
định về độ lớn của đại lượng đầu vào. Nói cách khác, nếu tín hiệu vào không đủ một
độ lớn tối thiểu nào đó thì sẽ không gây ra sự biến đổi ở đầu ra của cảm biến. Như
vậy, đó cũng là một yếu tố gây nên sai số gọi là sai số linh động và giá trị lớn nhất của
mức sai số này chính bằng giá trị phân giải tối thiểu của cảm biến.
Một yếu tố khác là sai số do đọc sai dữ liệu, nguyên nhân là do chất lượng của
bộ chỉ thị (VD: độ mảnh của kim chỉ thị…) hoặc do thói quen của người thực hiện.
Sai số trễ là sai số xuất hiện khi trong mạch đo có chứa thành phần có độ trễ
(trễ từ, trễ cơ…)
1.5.2.2. Sai số do tín hiệu nhiễu ngẫu nhiên:
Là do các nhiễu nền gây nên kích thích nhiệt đến các hạt dẫn trong các điện trở
dẫn đến làm thăng giáng điện áp đầu ra, cũng có thể là sự tác động của cảm ứng ký
sinh do bức xạ điện từ gây nên sai số… Nói chung các thăng giáng này không thể
phân biệt với biến thiên của đại lượng đo.
1.5.2.3. Sai số do các đại lượng ảnh hưởng:
Trong quá trình chuẩn cảm biến đã có sự tác động của các đại lượng ảnh hưởng
từ môi trường vào cảm biến nên bản thân kết quả chuẩn cảm biến đó đã bao hàm
những sai số do các đại lượng ảnh hưởng đem lại.

18
 Biện pháp giảm sai số ngẫu nhiên: thường thực hiện bằng các biện pháp thực
nghiệm thích hợp: bảo vệ mạch đo bằng cách ổn định các thông số của môi trường
(như nhiệt độ, độ ẩm…), nối đất, che chắn các thiết bị đo điện, lọc tín hiệu…
(Về các loại nhiễu, nguyên nhân của nhiễu và các biện pháp khắc phục xem thêm
trong [3])
1.6. CHUẨN CẢM BIẾN
Chuẩn cảm biến có mục đích diễn giải tường minh, dưới dạng đồ thị hoặc đại
số, mối quan hệ giữa các giá trị m của đại lượng đo và giá trị s đo được của đại lượng
điện ở đầu ra có tính đến các thông số ảnh hưởng.
Các thông số ảnh hưởng này có thể là các đại lượng vật lý liên quan đến đại
lượng đo (mà cảm biến rất nhạy với những biến thiên của chúng), thí dụ như chiều
cao, tốc độ biến thiên của đại lượng đo. Chúng cũng có thể là các đại lượng vật lý
không liên quan đến đại lượng đo nhưng tác động đến cảm biến trong quá trình sử
dụng và làm thay đổi hồi đáp, thí dụ các đại lượng ảnh hưởng của môi trường như
nhiệt độ, độ ẩm hay các đại lượng ảnh hưởng của nguồn nuôi như biên độ, tần số, điện
áp làm việc của cảm biến.
Có thể chia việc chuẩn cảm biến thành các dạng sau:
1.6.1. Chuẩn đơn giản:
Chuẩn đơn giản là phép đo trong đó chỉ có một đại lượng vật lý duy nhất tác
động lên một đại lượng đo xác định và sử dụng một cảm biến không nhạy với các đại
lượng ảnh hưởng và cũng không chịu tác động của các đại lượng này. Đây là trường
hợp đặc biệt của các đại lượng đo tĩnh, nghĩa là các đại lượng có giá trị không đổi, thí
dụ đo khoảng cách cố định bằng một cảm biến mà chỉ thị của nó không phụ thuộc vào
nhiệt độ và các đại lượng ảnh hưởng, đo một nhiệt độ không đổi bằng một cặp nhiệt
điện…
Trong những điều kiện như vậy, chuẩn cảm biến chính là kết hợp của những giá
trị hoàn toàn xác định của đại lượng đo với các giá trị tương ứng của đại lượng điện ở
đầu ra. Việc chuẩn được tiến hành bằng một trong cách cách sau đây:
+ Chuẩn trực tiếp: các giá trị khác nhau của đại lượng đo lấy từ các mẫu chuẩn
hoặc các phần tử so sánh có giá trị biết trước với độ chính xác cao.
+ Chuẩn gián tiếp: sử dụng kết hợp đồng thời một cảm biến cần chuẩn với một
cảm biến so sánh có sẵn đường cong chuẩn được đặt cùng trong một điều kiện
làm việc như nhau. Khi tác động lần lượt lên các cảm biến bằng cùng một giá
trị của đại lượng đo sẽ thu được ở 2 đầu ra của 2 cảm biến các kết quả tương
ứng. Lặp lại với nhiều giá trị khác nhau và chỉnh dần sẽ tạo được đường cong
chuẩn cho cảm biến cần chuẩn.

19
 1.6.2. Chuẩn nhiều lần:
Khi cảm biến có chứa những phần tử có độ trễ (thường là trễ cơ hoặc trễ từ), giá
trị đo được ở đầu ra phụ thuộc không những vào giá trị tức thời của đại lượng cần đo
mà còn phụ thuộc vào giá trị trước đó của đại lượng này. Phương pháp chuẩn nhiều
lần sẽ được tiến hành với các trường hợp này. Trình tự như sau:
B1: Đặt lại điểm 0 của cảm biến: đại lượng cần đo và đại lượng đầu ra có
các giá trị tương đương với điểm gốc, m = 0, s = 0.
B2: Dựng lại đại lượng đầu ra: lúc đầu tăng giá trị của đại lượng cần đo ở
đầu vào đến cực đại, sau đó giảm giá trị đo. Các giá trị biết trước của
đại lượng cần đo cho phép xác định đường cong chuẩn theo cả 2
hướng tăng dần và giảm dần.
Các tính chất vật lý của vật liệu chịu tác động của đại lượng cần đo có thể là một
trong những thông số quyết định ảnh hưởng đến hồi đáp của cảm biến. Thí dụ điện
dung của cảm biến tụ điện đo mức chất lỏng không những phụ thuộc vào chiều cao
của chất lỏng mà còn phụ thuộc vào hằng số điện môi ε của nó. Điện trở của đầu đo
nhiệt độ bề mặt của một vật là một hàm của nhiệt độ bề mặt và bản chất của lớp vật
liệu nằm dưới bề mặt đó, sự dãn nở của lớp vật liệu này gây nên ứng lực cho cảm
biến. Trong những trường hợp tương tự như vậy, cẩn phải tiến hành chuẩn cảm biến
riêng biệt đối với từng loại vật liệu. [1]

1.7. ĐỘ NHẠY
Độ nhạy S xung quanh một giá trị không đổi mi của đại lượng đo được xác định
bởi tỷ số giữa biến thiên ∆s của đại lượng đầu ra và biến thiên ∆m tương ứng của đại
lượng đo ở đầu vào: [1]
⎛ ∆s ⎞
S=⎜ ⎟ (1.11)
⎝ ∆m ⎠ m =mi
Giá trị của độ nhạy phụ thuộc vào từng chế độ (điều kiện) làm việc của cảm biến
nên thường được nhà sản xuất cung cấp dưới dạng bảng kê thông số tương ứng với các
điều kiện khác nhau, nhằm giúp người sử dụng chọn lựa cảm biến một cách phù hợp.
Độ nhạy thường phụ thuộc vật liệu, kích thước, kiểu lắp ráp, điều kiện môi
trường, tần số biến thiên của đại lượng đo…
Người ta thường phân biệt độ nhạy ở 2 chế độ sau:
1.7.1. Trong chế độ tĩnh:
Độ nhạy trong chế độ tĩnh là tỷ số giữa gia số ∆s và số gia ∆m tương
ứng, đó chính là độ dốc của đặc trưng tĩnh ở điểm làm việc. Rõ ràng nếu đặc
20
 trưng tĩnh không tuyến tính thì độ nhạy không thể là hằng số, nói cách khác
nó có giá trị khác nhau ở những điểm làm việc khác nhau.
(BÀI TẬP: tính độ nhạy với đặc trưng tính là đường thẳng (chính là hệ số
góc của đường thẳng) và đường cong có phương trình cho trước (đạo hàm
và thay thông số si và mi ở điểm làm việc đó vào để suy ra Si))
Tỷ số chuyển đổi tĩnh ri là tỷ số giữa giá trị si đầu ra và giá trị mi
tương ứng của đại lượng đo ở đầu vào:
⎛s⎞
ri = ⎜ ⎟ (1.12)
⎝ m ⎠ Qi
Tỷ số chuyển đổi tĩnh không phụ thuộc vào điểm làm việc Qi và chỉ
bằng S khi đặc trưng tĩnh là đường thẳng đi qua gốc toạ độ. [1]
1.7.2. Trong chế độ động:
Độ nhạy trong chế độ động được xác định khi đại lượng đo là hàm
tuần hoàn của thời gian. Trong điều kiện như vậy, đại lượng đầu ra s ở chế
độ làm việc danh định cũng là hàm tuần hoàn của thời gian giống như đại
lượng đo. Trong chế độ động, sự phụ thuộc của độ nhạy vào tần số của đại
lượng đo S(f) xác định đặc tính tần của cảm biến. Nguyên nhân là do quán
tính cơ, nhiệt hoặc điện của đầu đo (của cảm biến và các thiết bị phụ trợ)
khiến chúng không thể đáp ứng được tức thời so với sự biến thiên của đại
lượng đo.
(trong trường đại lượng đo biến thiên, quá trình xử lý tín hiệu sẽ dính dáng
đến yếu tố tần số và do đó tất cả các thành phần quán tính cơ, nhiệt, điện
(từ trường cuộn dây, điện trường tụ điện) đều có liên quan đến độ nhạy của
cảm biến nên cần được xem xét một cách tổng thể khi xét độ nhạy)
1.8. ĐỘ TUYẾN TÍNH:
1.8.1. Điều kiện có tuyến tính:
Trong dải đo, nếu một cảm biến có độ nhạy không phụ thuộc vào độ lớn của
đại lượng đo. Độ tuyến tính thể hiện trong chế độ tĩnh là các đoạn đặc tuyến đáp
ứng có dạng đường thẳng của cảm biến. Trong chế độ động (quá độ), độ tuyến tính
thể hiện là sự không phụ thuộc vào đại lượng đo của đồng thời độ nhạy và các
thông số quyết định hồi đáp (tần số riêng f0 của dao động không tắt, hệ số tắt dần
ξ). (chế độ quá độ sẽ phân tích thành các thành phần dao động và có hệ số tắt dần
- giống trong điều khiển tự động)
1.8.2. Đường thẳng tốt nhất - độ lệch tuyến tính:

21
 Trong thực tế khi thử nghiệm cảm biến dù được cho là tuyến tính nhất thì
tập hợp kết quả cũng không bao giờ cho ta một đường thẳng. Nhưng theo lý thuyết
xác xuất thống kê ta hoàn toàn có thể tìm được một đường thẳng mô tả tập hợp
nghiệm đó (đáp ứng đường thẳng tốt nhất của cảm biến) bằng phương pháp cực
tiểu bình phương (phương pháp gia công số liệu):
s = a.m + b (1.13)
N .∑ si mi − ∑ si .∑ mi
với: a=
N .∑ mi2 − (∑ mi )
2

b= ∑ s .∑ m − ∑ s m .∑ m
i
2
i i i i

N .∑ m − (∑ m )2 2
i i

si , mi : là các cặp giá trị thực nghiệm tương ứng.

1.9. ĐỘ NHANH – THỜI GIAN HỒI ĐÁP:
Độ nhanh là thông số đặc trưng cho khả năng xử lý tín hiệu của cảm biến có
theo kịp sự biến đổi theo thời gian của đại lượng đo không.
Độ nhanh tr là thời gian từ khi đại lượng đo thay đổi đột ngột đến khi biến
thiên của đại lượng ra s của cảm biến chỉ còn khác giá trị cuối cùng một lượng giới
hạn quy định ε%. [1]
Độ nhanh được xác định thông qua thời gian hồi đáp. Giá trị thời gian này đặc
trưng cho tốc độ thay đổi của quá trình quá độ. Nó là hàm của các thông số gây xác
định chế độ này.

m
m0

0 t

S/S0

0,9

0,1
0 t
tdm tc tdm tc
Hình 1.4: Các khoảng thời gian đặc trưng cho chế độ quá độ
22
 1.10. GIỚI HẠN SỬ DỤNG CẢM BIẾN:
Bất kỳ cảm biến nào khi làm việc cũng cần được duy trì trong một phạm vi chịu
đựng nhất định. Phạm vi đó thường được quyết định từ yêu cầu về khả năng không bị phá
huỷ và tính chính xác của thông số đầu ra của cảm biến. Rõ ràng cảm biến sẽ không thể
làm việc được nữa khi nó bị phá huỷ về cơ hoặc mạch điện bên trong. Như đã nói trên,
trong quá trình làm việc, cảm biến luôn chịu các tác động nhiễu từ môi trường. Ở một
chừng mực nhất định thì những ảnh hưởng này là không đáng kể, nhưng khi chúng vượt
ngưỡng chịu đựng của cảm biến thì tín hiệu ra của cảm biến sẽ không còn đạt độ tin cậy
cần thiết nữa. Những ngưỡng giới hạn này, thường được quy định bởi nhà sản xuất, bao
gồm:
♦ Vùng làm việc danh định:
Đó là vùng giá trị ứng với những điều kiện làm việc bình thường của cảm
biến. Biên giới của vùng này chính là ngưỡng giới hạn mà các đại lượng đo, các
đại lượng vật lý liên quan đến đại lượng đo hoặc các đại lượng ảnh hưởng có thể
thường xuyên đạt tới mà không làm thay đổi các đặc trưng làm việc danh định của
cảm biến.
♦ Vùng không gây nên hư hỏng:
Là vùng vượt quá ngưỡng giới hạn của các đại lượng đo, các đại lượng liên
quan, các đại lượng ảnh hưởng nhưng vẫn chưa gây nên hư hỏng (về tính chính
xác) cho cảm biến. Ở vùng này, thông số ra của cảm biến không còn chính xác.
Nhưng khi điều kiện làm việc trở về vùng giá trị danh định thì thông số đầu ra của
cảm biến lại cho kết quả chính xác.
♦ Vùng không phá huỷ:
Là vùng mà các đại lượng đo, đại lượng liên quan và đại lượng ảnh hưởng
vượt ra ngoài giá trị ngưỡng của vùng không gây nên hư hỏng nhưng vẫn còn trong
vùng không phá huỷ. Khi đó thông số của chính cảm biến không còn khả năng tự
phục hồi trở lại khi điều kiện làm việc trở lại vùng giá trị danh định. Khi đó muốn
sử dụng lại cảm biến, ta phải chuẩn lại thông số của nó.
Dải đo của cảm biến được xác định bởi nhiều giá trị giới hạn của vùng đại
lượng đo mà trong vùng đó hoạt động của cảm biến đáp ứng được các yêu cầu đề
ra. Chính vì mức độ yêu cầu này là khác nhau ở mỗi ứng dụng nên dải đo có thể
hẹp hơn hoặc rộng hơn vùng giá trị danh định.

23
 1.11. CÁC MẠCH ĐIỆN TỬ GIAO DIỆN CỦA CÁC BỘ CẢM BIẾN:
Đáp ứng đầu ra của các bộ cảm biến nói chung là không phù hợp với tải (phía sau
nó) về điện áp, công suất,… (do thường tín hiệu ra của các bộ chuyển đổi chỉ là các tín
hiệu điện rất nhỏ và thay đổi tuỳ theo sự biến thiên của đại lượng đo). Chính vì vậy, cần
phải có mạch giao diện hay gia công về mặt năng lượng điện nằm giữa đầu ra của cảm
biến và tải (ở đây tải trước hết chính là hệ thống xử lý dữ liệu phía sau). Công việc này
được gọi là chuẩn hoá tín hiệu.
(Tổng trở của mạch giao diện (và các mạch điện tử nói chung) là thương số giữa giá trị
điện áp và dòng điện phức ở đầu vào của nó).
Các mạch giao diện thường được xây dựng trên cơ sở các bộ khuếch đại thuật toán.
Bộ khuếch đại thuật toán có các đặc điểm sau:
+ Hai đầu vào: một đầu đảo (-) và một đầu không đảo (+)
+ Tổng trở vào rất lớn (hàng trăm MΩ hoặc hàng GΩ)
+ Điện trở ra rất nhỏ (vài phần chục Ω )
+ Điện áp lệch đầu vào e0 rất nhỏ (cỡ vài nV) nên thường được coi bằng 0
VN = VP (1.14)
+ Dòng điện phân cực đầu vào i0 rất nhỏ (cỡ pA) nên thường được coi bằng
0 i0 = iv = 0 (1.15)
+ Hệ số khuếch đại mạch hở rất lớn (A0 = 100000)
+ Dải tần làm việc rộng.
+ Hệ số suy giảm theo cách nối chung CMRR (Common Mode Rejection
Ratio) (là tỷ số hệ số khuếch đại thuật toán đối với các tín hiệu sai lệch và
hệ số khuếch đại theo cách nối chung của cùng bộ khuếch đại thuật toán)
thường vào khoảng 90dB.
+ Tốc độ tăng hạn chế sự biến thiên cực đại của điện áp tính bằng V/µs.

1.11.1. Bộ khuếch đại đo lường IA: (Instrumentational Amplifier)

Hệ số khuếch đại của IA không cao (< 100), tín hiệu ra tỷ lệ với hiệu hai điện áp
đặt ở 2 đầu vào:
Ura = A(U+ - U-) = A∆U (1.16)
Đầu vào vi sai đóng vai trò rất quan trọng trong việc khử nhiễu ở chế độ chung và
tăng điện trở vào của khuếch đại thuật toán. Điện áp trên Ra phải bằng điện áp vi sai đầu
vào ∆U và tạo nên dòng điện i = ∆U/Ra. Các điện áp ra từ khuếch đại thuật toán U1 và U2
24
bằng nhau về biên độ nhưng ngược pha nhau. Khuếch đại thuật toán U3 biến đổi điện áp
vi sai thành điện áp đơn cực ở đầu ra của nó.

⎛ 2R ⎞ R 3
A = ⎜⎜1 + ⎟
R a ⎟⎠ R 2
Hệ số khuếch đại tổng: (1.17)
⎝
U1
U_ + R2 R3
-

R1
U3
-

+
Ra Ura

U2 R1
- R2
U+ +

R3

Hình 1.6: Mạch khuếch đại đo lường IA

1.11.2. Mạch khử điện áp lệch:
Trong thực tế, khuếch đại thuật toán luôn có một độ lệch điện áp nhất định ở đẩu ra,
nguyên nhân là do các điện áp bên trong nên tạo ra một điện áp nhỏ ở đầu vào của khuếch
đại thuật toán ngay cả khi hở mạch. Trị số điện áp này vào khoảng vài mV nhưng khi sử
dụng mạch kín, điện áp này được khuếch đại và tạo nên điện áp lệch đầu ra. Vì vậyđể khử
điện áp lệch này người ta gắn thêm biến trở R3 như trong sơ đồ sau.Bằng cách điều chỉnh
biến trở này sẽ đưa giá trị điện áp lệch về 0 (một trong các thao tác chuẩn cảm biến):

25
 +9V

7
Uv 3 +
6 Ura
2 - 741

R2

4
1
5
R3
-9V

R1

Hình 1.7: Mạch khử điện áp lệch

1.11.3. Mạch lặp điện áp:
Đây là một trong những ứng dụng rất thường gặp của khuếch đại thuật toán nhằm
tăng điện trở đầu vào dùng để ghép nối giữa 2 khâu trong mạch đo. Hệ số khuếch đại của
mạch bằng +1. Tín hiệu vào được đưa trực tiếp vào đầu vào không đảo còn đầu vào đảo
được nối trực tiếp với đầu ra (phản hồi 100%).
+9V
7

3 +
6
Uv 2 -
Ura
4

-9V

Hình 1.8: Mạch lặp lại điện áp

1.11.4. Nguồn điện áp chính xác:
Để chuẩn các dụng cụ đo chính xác cần 1 nguồn điện áp chính xác. Pin mẫu
Weston tạo nên điện áp chính xác 1,018V được dùng như điện áp mẫu, tuy nhiên do pin
có điện trở cỡ 1-2K nên sẽ không còn chính xác nếu dòng điện cỡ µA. Chính vì vậy để
khắc phục người ta kết hợp pin với mạch lặp điện áp có điều chỉnh điện áp lệch offset để
tạo ra bộ pin chính xác có dòng ra lên đến 5mA do trở kháng ra gần bằng 0. Dòng điện
cấp từ pin cho khuếch đại thuật toán chỉ cỡ 0,03µA.

26
 Pin Weston
+9V

7
1,018V 3 +
R1
6
2 - 741 Ura
1,018V

4
1
5
R2
-9V

Hình 1.9: Mạch cấp nguồn điện áp chính xác

1.11.5. Mạch cầu Wheatstone:

Cầu Wheatstone gồm 4 điện trở hoạt động như cầu không cân bằng, dựa trên việc
phát hiện điện áp qua đường chéo của cầu. Điện áp ra là hàm phi tuyến nhưng với biến
đổi nhỏ ∆<0,005 có thể coi là tuyến tính.
R3: là điện trở có giá trị biến đổi theo sự biến thiên của đại lượng đo.
R4: là biến trở dùng để chỉnh định trạng thái cân bằng của cầu khi chưa tiến hành
đo.
Điện áp ra của cầu có biểu thức:

R3 R4
Vout = Vcc =
R2 + R3 R1 + R 4
(1.18)
R 0 (1 + x) R4 kx
Vcc = Vcc
R 0 k + R 0 (1 + x) R4 + R4 (1 + k )(1 + k + x)

R1 R 2
Cầu cân bằng khi Vout = 0 : = =k (khi đó R3 = R vì x = 0)
R4 R
Độ nhạy của cầu là:
dVout d ⎛ kx ⎞ k
S= = Vcc ⎜⎜ ⎟⎟ = Vcc (1.19)
dx dx ⎝ (1 + k )(1 + k + x ) ⎠ (1 + k + x ) 2
Độ nhạy của cầu đạt cực đại khi:
dS d ⎛ k ⎞ 1+ x − k
= Vcc ⎜⎜ ⎟ = V =0 ⇔ k = 1+x (1.20)
dk ⎝ (1 + k + x ) 2 ⎟⎠
cc
dk (1 + k + x ) 3
27
 3
R1 R2
Vcc 2 4 3 +
6
2 - Vout
R4 R3 = R(1+x)

1
Hình 1.10: Mạch cầu Wheatstone
1.11.6. Mạch bù nhiệt độ của các cầu điện trở:
Mạch cầu Wheatstone thường được sử dụng trong các mạch đo nhiệt độ, lực, ứng
suất, áp suất, từ trường… Trong nhiều trường hợp điện trở này nhạy với nhiệt độ nên cần
phải bù nhiệt ảnh hưởng của nhiệt độ lên điện trở. Một trong số các phương pháp thường
dùng là nối trực tiếp mạch bù nhiệt độ lên cầu điện trở. Có thể sử dụng các sơ đồ như sau:
A, Sử dụng nhiệt điện trở:
+E

Ura

Hình 1.11: Mạch bù nhiệt độ dùng nhiệt điện trở

B, Sử dụng điện trở cố định:

+E
Rc
Vo

Ura

Hình 1.12: Mạch bù nhiệt độ dùng diện trở cố định

C, Sử dụng nguồn áp khống chế theo nhiệt độ:

28
 +E
Vc

Vo

Ura

Hình 1.13: Mạch bù nhiệt độ dùng nguồn áp khống chế

D, Sử dụng nguồn dòng khống chế theo nhiệt độ:

+E
Ic

Vo

Ura

Hình 1.14: Mạch bù nhiệt độ dùng nguồn dòng khống chế

E, Sử dụng 4 điện trở nhiệt:

Hai điện trở tx dùng để đo nhiệt độ.
Hai điện trở t0 dùng để bù nhiệt độ môi trường.
3

Rt Rt
2
to to 4
Vcc
tx tx
Rt Rt
1

Ura

Hình 1.15: Mạch bù nhiệt độ dùng 4 nhiệt điện trở

29
CHƯƠNG 2:
CÁC CHUYỂN ĐỔI ĐO LƯỜNG SƠ CẤP

2.1. KHÁI NIỆM CHUNG:

2.1.1. Các định nghĩa:
2.1.1.1. Chuyển đổi đo lường:
Là thiết bị thực hiện một quan hệ hàm đơn trị giữa hai đại lượng vật lý với
một độ chính xác nhất định.
(như vậy nói chung thì chúng chuyển đổi từ đại lượng vật lý này sang đại
lượng vật lý khác (không nhất thiết là điện) và có quan hệ hàm có thể là phi
tuyến, tuy nhiên để nâng cao độ chính xác người ta luôn cố gắng tạo hàm tuyến
tính)
2.1.1.2. Chuyển đổi đo lường sơ cấp:
Là các chuyển đổi đo lường mà đại lượng vật lý vào là không điện nhưng
đại lượng ra là đại lượng điện.
2.1.1.3. Đầu đo:
Chuyển đổi sơ cấp được đặt trong một vỏ hộp có kích thước và hình dáng
rất khác nhau phù hợp với chỗ đặt của điểm đo để tạo thành một loại dụng cụ gọi
là đầu đo hay bộ cảm biến hoặc sensor.
Các đầu đo có thể được chế tạo riêng rẽ thành thiết bị bán trên thị trường
hoặc đi liền với các thiết bị đo hay hệ thống đo.
Nói chung, độ nhạy, độ chính xác và độ tác động nhanh của các thiết bị
này đều phụ thuộc rất nhiều vào công nghệ chế tạo ra chúng và các thành tựu khoa
học hiện tại trong các lĩnh vực vật lý liên quan.
2.1.2. Các đặc tính của chuyển đổi sơ cấp:
Phương trình của chuyển đổi sơ cấp có dạng:Y = f(X, Z) (2.1)
Trong đó: X là đại lượng không điện cần đo
Z là tác động từ môi trường xung quanh
Thực tế thì để có được đặc tính này người ta phải tiến hành thực nghiệm. Và
thông thường thì các đặc tính thu được đều là phi tuyến. Song người ta luôn cố gắng
tìm cách tuyến tính hoá nó bằng các mạch điện tử hoặc bằng các thuật toán xử lý
thông số trong quá trình gia công thông tin đo. Để đảm bảo độ chính xác cho quá trình
chuyển đổi ta phải luôn tính đến điều kiện Z.
30
 Khi đánh giá một chuyển đổi hay phải so sánh chúng với nhau ta cần phải chú ý
các đặc tính cơ bản sau:
1. Phải xét đến khả năng có thể thay thế được của các chuyển đổi: tức là khi chế
tạo một loại chuyển đổi ta phải tính đến khả năng chế tạo nhiều chuyển đổi với
các đặc tính như nhau đã cho trước. Như thế mới có thể thay thế khi bị hư hỏng
mà không mắc phải sai số.
2. Chuyển đổi phải có đặc tính đơn trị: tức là với đường cong hồi phục của chuyển
đổi, ứng với mỗi giá trị của X chỉ tương ứng một giá trị của Y mà thôi.
3. Đường cong của chuyển đổi phải ổn định: tức là không được thay đổi theo thời
gian.
4. Tín hiệu ra của chuyển đổi yêu cầu phải phù hợp cho việc ghép nối vào dụng cụ
đo, hệ thống đo và máy tính.
5. Đặc tính quan trọng của chuyển đổi là sai số:
+ Sai số cơ bản: là sai số gây ra do nguyên tắc của chuyển đổi, sự không hoàn
thiện của cấu trúc , sự yếu kém trong công nghệ chế tạo.
+ Sai số phụ: là sai số gây ra do sự biến động của điều kiện bên ngoài khác
với điều kiện chuẩn.
Để nâng cao độ chính xác của phép đo hay dụng cụ đo người ta thường cố
gắng nâng cao độ chính xác của các chuyển đổi sơ cấp vì đây chính là khâu
cơ bản nhất trong thiết bị mà độ chính xác của nó phụ thuộc rất nhiều vào
bản chất vật lý của chuyển đổi.
6. Độ nhạy của chuyển đổi: là một yếu tố quan trọng, nó có tác dụng quyết định
cấu trúc của mạch đo để đảm bảo cho phép đo có thể bắt nhạy với những biến
động nhỏ của đại lượng đo.
7. Đặc tính động của chuyển đổi: khi có tín hiệu tác động vào chuyển đổi thì luôn
gây nên quá trình quá độ ban đầu trong chuyển đổi, quá trình này diễn ra nhanh
hay chậm hoàn toàn phụ thuộc vào dạng chuyển đổi. Đặc điểm này được gọi là
độ tác động nhanh của chuyển đổi. Nếu độ tác động nhanh mà chậm thì phản
ứng của tín hiệu ra của chuyển đổi có sự trễ so với sự thay đổi của tín hiệu vào.
8. Sự tác động ngược lại của chuyển đổi lên đại lượng đo: có thể làm thay đổi đại
lượng đo và tiếp đến gây ra sự thay đổi của tín hiệu ở đầu ra của chuyển đổi.
9. Kích thước của chuyển đổi: về mong muốn là phải nhỏ để có thể đưa đầu đo vào
những nơi hẹp, nhỏ, nâng cao độ chính xác của các phép đo.
2.1.3. Phân loại các chuyển đổi sơ cấp:
Có thể phân loại theo các phương pháp chính sau:

31
2.1.3.1. Theo nguyên lý của chuyển đổi:
a, Chuyển đổi điện trở: là chuyển đổi trong đó đại lượng không điện X biến
đổi làm thay đổi điện trở của nó.
b, Chuyển đổi điện từ: là chuyển đổi làm việc dựa trên các nguyên tắc về lực
điện từ. Đại lượng không điện X làm thay đổi các thông số của mạch từ như điện
cảm L, hỗ cảm M, độ từ thẩm µ, từ thông Φ.
c, Chuyển đổi tĩnh điện: là các chuyển đổi làm việc dựa trên các hiện tượng
tĩnh điện. Đại lượng không điện X làm thay đổi điện dung C hay điện tích của nó.
d, Chuyển đổi hoá điện: là các chuyển đổi làm việc dựa trên các hiện tượng
hoá điện. Đại lượng không điện X làm thay đổi các thông số điện dẫn Y, điện cảm,
sức điện động hoá điện…
e, Chuyển đổi nhiệt điện: là các chuyển đổi dựa trên các hiện tượng nhiệt
điện. Đại lượng không điện X làm thay đổi sức điện động nhiệt điện hay điện trở của
nó.
f, Chuyển đổi điện tử và ion: là các chuyển đổi trong đó đại lượng không điện
X làm thay đổi dòng điện tử hay ion chạy qua nó.
g, Chuyển đổi lượng tử: dựa trên hiện tượng cộng hưởng từ hạt nhân và cộng
hưởng từ điện tử.
2.1.3.2. Theo tính chất nguồn điện của chuyển đổi:
a, Chuyển đổi phát điện: là chuyển đổi có đại lượng ra là điện áp V, sức điện
động E, dòng điện I và đại lượng vào là đại lượng không điện cần đo. (chính là dạng
Cam biến năng lượng)
Ví dụ: Chuyển đổi cảm ứng, cặp nhiệt điện, chuyển đổi áp điện …
b, Chuyển đổi thông số: là các chuyển đổi có đại lượng ra là các thông số điện
như điện trở R, điện cảm L, hỗ cảm M,… như các chuyển đổi điện cảm, điện dung,
hỗ cảm. (chính là dạng cảm biến thông số)
2.1.3.3. Theo phương pháp đo của chuyển đổi:
a, Chuyển đổi trực tiếp: là chuyển đổi mà qua đó đại lượng không điện được
trực tiếp biến đổi thành đại lượng điện.
b, Chuyển đổi bù: đại lượng không điện cần đo X được bù bởi đại lượng cùng
loại Xk do chuyển đổi ngược tạo ra:
Xk = β.Y (2.2)
Độ sai lệch ∆X giữa X và Xk được chuyển đổi thuận biến thành đại lượng Y:
Y = K(X - Xk) = K.X – K.β.Y (2.3)
32
 Suy ra:
K
Y= .X (2.4)
1 + Kβ

Nếu Kβ>>1 thì:

Y = (1/β).X (2.5)
Từ biểu thức này ta thấy Y chỉ phụ thuộc vào độ chính xác của chuyển đổi
ngược. Do đó chuyển đổi thuận có thể rất phức tạp qua nhiều lần biến đổi, sai số có
thể lớn, song nếu bảo đảm hệ số biến đổi K rất lớn thì độ chính xác của chuyển đổi
bù chỉ phụ thuộc vào độ chính xác của chuyển đổi ngược. Chuyển đổi ngược thường
là chuyển đổi trực tiếp có độ chính xác cao nên chuyển đổi bù thường cũng sẽ có độ
chính xác cao.
2.2. CÁC CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TRỞ:
Là loại chuyển đổi biến sự thay đổi của đại lượng không điện cần đo thành sự thay
đổi giá trị điện trở của nó. Có 2 loại sau:
2.2.1. Chuyển đổi biến trở:
2.2.1.1. Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi biến trở là một biến trở gồm:
+ Một lõi bằng vật liệu cách điện (gốm, sứ, bakelit… hoặc nhôm, đồng mà có
phủ lớp cách điện) ở hình dáng rất khác nhau.
+ Trên lõi quấn liên tiếp các vòng dây điện trở (bằng manganin, niken, crom,
constantan, wolfram) được tráng sơn emay cách điện (nên có thể xếp xít nhau).
Đường kính dây khoảng 0,02÷0,1mm, điện trở của dây có thể thay đổi từ vài chục Ω
đến vài KΩ.
+ Trên lõi dây quấn có con trượt chế tạo bằng hợp kim platin-iridi hoặc platin-
berin để có độ đàn hồi và tiếp xúc tốt, lực tì giữa con trượt và lõi rất nhỏ chỉ cỡ
0,01÷0,1N.
Dưới tác dụng của đại lượng vào con trượt sẽ bị dịch chuyển. Quan hệ giữa đại
lượng ra và đại lượng vào có dạng:
R = f(XV). (2.6)

33
 Hình 2.1: Chuyển đổi biến trở

2.2.1.2. Độ nhạy và độ chính xác:

Chuyển đổi biến trở chỉ cho ta phát hiện sự biến thiên điện trở bằng điện trở
của một vòng dây tương ứng với một di chuyển bằng khoảng cách giữa 2 vòng dây.
Như vậy, nếu điện trở toàn phần của chuyển đổi là R với số vòng dây W thì điện trở
nhỏ nhất có thể phát hiện được (độ phân giải) là:
R0 = R/W (2.7)
R0 là ngưỡng nhạy của chuyển đổi.
Nếu chiều dài của biến trở là l thì độ di chuyển tối thiểu có thể phát hiện được
sẽ là:
X0 = l/W (2.8)
Sai số rời rạc của chuyển đổi với cuộn dây quấn như nhau:
∆R min l
γ= = (2.9)
2R 2W
Trong đó:
∆Rmin là điện trở toàn phần của 1 vòng dây
R là điện trở chuyển đổi
W: số vòng dây của biến trở
Sai số phi tuyến từ 0,1÷0,03%

34
 Sai số nhiệt độ 0,1% trên từng 10oC.
2.2.1.3. Mạch đo:
Có thể dùng các mạch đo sau:
a, Mạch biến trở:
U U
I= = (2.10)
R x + R CT x
R CT +R
l

Dòng điện trong mạch tỷ lệ nghịch với điện trở cần đo Rx.
Nhược điểm của mạch là quan hệ giữa I = f(x) không tuyến tính, dòng điện
không biến thiên được từ 0 trở đi.

Hình 2.2: Sơ đồ mạch đo kiểu biến trở

b, Mạch phân áp:

Hình 2.3: Sơ đồ mạch phân áp

U
I= (2.11)
RxRv
R - Rx +
Rx + Rv

35
 RxRv U RxRv
U x = I. = . (2.12)
Rx + Rv RxRv Rx + Rv
R - Rx +
Rx + Rv

RvRx
nếu Rv >> R thì ¡Ö R x và do đó:
Rv + Rx
x
R
U.R x R x
Ux = = U. x = U. l = U (2.13)
R − Rv + Rx R R l

Quan hệ giữa Ux và x là tuyến tính, Ux biến thiên từ 0 đến U khi Rx biến

thiên từ 0 đến R (thường Rx ≥ (10÷20)R).

c, Mạch cầu:
Nếu R1 = R2 = R3 = R và Rg >> R thì ta có:
U ∆R
Ug ≈ . (2.14)
4 R
∆R
Trong đó là lượng biến thiên điện trở tương đối khi biến trở di chuyển.
R

Hình 2.4: Sơ đồ mạch cầu

d, Mạch logomet:
R: là biến trở
R1, R2: là điện trở cuộn dây logomet
R3, R4: là điện trở phụ xác định theo thông số của chuyển đổi logomet. Khi
Rx thay đổi làm dòng điện I1 và I2 thay đổi và góc quay α = f(I1, I2) = f(R1, R2) = f(x).
36
 Hình 2.4: Sơ đồ mạch đo dùng Lôgômét
2.2.1.4. Ứng dụng:
Chuyển đổi biến trở thường dùng để đo các di chuyển thẳng (2–3mm) hoặc di
chuyển góc của các đối tượng đo.
Ngoài ra còn dùng cho các dụng cụ đo lực, áp suất, gia tốc hoặc các chuyển đổi
ngược trong các mạch cầu và điện thế kế tự động.
Chuyển đổi biến trở chỉ có thể dùng đo các đại lượng biến thiên với tần số
không lớn (<5Hz).
2.2.2. Chuyển đổi điện trở lực căng:
2.2.2.1. Nguyên lý tác dụng, cấu tạo và các quan hệ cơ bản:
Khi dây dẫn chịu biến dạng cơ khí thì điện trở của nó cũng thay đổi. Hiện
tượng đó gọi là hiệu ứng tenzô. Chuyển đổi điện trở làm việc dựa trên hiệu ứng này
được gọi là chuyển đổi điện trở tenzô hay chuyển đổi điện trở lực căng. Chuyển
đổi điện trở kiểu này được chia làm 3 loại:
+ chuyển đổi điện trở lực căng dây mảnh
+ chuyển đổi điện trở lực căng lá mỏng
+ chuyển đổi điện trở lực căng màng mỏng
Phổ biến nhất là loại chuyển đổi điện trở lực căng dây mảnh: Trên một tấm giấy
mỏng bền, người ta dán 1 dây điện trở theo kiểu hình răng lược có đường kính
khoảng 0,02÷0,03mm. Dây được chế tạo từ vật liệu constantan, nicrom, hoặc hợp
kim platin-iridi. Hai đầu dây được hàn với lá đồng dùng để nối với mạch đo. Phía
trên lại được dán một lớp giấy mỏng để cố định dây. Chiều dài l0 của “răng lược” là
chiều dài tác dụng của chuyển đổi.

37
 Hình 2.5: Cấu tạo của chuyển đổi điện trở lực căng kiểu dây mảnh
Thông thường l0 = 8÷15mm. Khi cần có kích thước nhỏ l0 = 2,5mm. Chiều
rộng a thay đổi từ 3÷10mm. Điện trở dây thay đổi từ 10÷150Ω. Khi chiều dài tác
dụng không bị hạn chế, l0 có thể đạt 100mm. Điện trở 800÷1000Ω.
Khi đo biến dạng ε1 = ∆l/l, chuyển đổi được dán trực tiếp lên đối tượng đo. Lúc
đối tượng đo bị biến dạng chuyển đổi sẽ biến dạng theo và điện trở của chuyển đổi
thay đổi một lượng εR = ∆R/R.
Ta có: ∆R/R = f(∆l/l) (2.15)
hay εR = f(ε1)
Ta biết rằng R = ρl/s (s là tiết diện, l là chiều dài, ρ là điện trở suất của
dây)
∆R ∆ρ ∆l ∆s
do đó: = + − (2.16)
R ρ l s
hay εR = ερ + εl - εs
trong đó:
εR = ∆R/R: là sự biến thiên tương đối của điện trở chuyển đổi khi bị biến
dạng
εl = ∆l/l : là sự biến thiên tương đối theo chiều dài dây dẫn
εs = ∆s/s : là sự biến thiên tương đối theo tiết diện dây dẫn, đặc trưng cho
sự thay đổi kích thước hình học của chuyển đổi.
ερ = ∆ρ/ρ: là sự biến thiên tương đối của điện trở suất, đặc trưng cho sự thay
đổi tính chất vật lý của vật liệu chuyển đổi.
Trong cơ học đã biết:
εs = - 2Kpεl (2.17)
(Kp là hệ số poisson)

38
 nếu lại đặt ερ = m.εl (2.18)
với m là hệ số tỷ lệ,
thì ta có: εR = εl(1 + 2Kp + m) = K.εl (2.19)
đó là phương trình biến đổi tổng quát của chuyển đổi biến trở lực căng.
Độ nhạy của chuyển đổi là: K = εR/εl = 1 + 2Kp + m (2.20)
♣ Đối với vật liệu lỏng (thuỷ ngân, chất điện phân):
Khi thể tích v = l.s không thay đổi trong quá trình biến dạng, hệ số Kp = 0,5
và bỏ qua m vì m rất nhỏ thì:
Kvậtliệulỏng = 1 + 2.0,5 = 2 (2.21)
♣ Đối với vật liệu kim loại rắn:
Ta có Kp = 0,24 ÷ 4 nên độ nhạy:
Kvậtliệukimloạirắn = 1,5 ÷ 4 (2.22)
Do ứng suất có ở trong chi tiết cần nghiên cứu có liên quan với module đàn hồi
E của vật liệu chi tiết do đó: σ = E(∆l/l) và phương trình biến đổi của chuyển đổi lực căng
có thể biểu diễn dưới dạng:
∆R k
= σ (2.23)
R E
Ứng suất cơ của chi tiết và của dây chế tạo chuyển đổi không được vượt quá
giới hạn biến dạng đàn hồi vì điều đó có thể dẫn đến sự thay đổi đặc tính của nó. Ứng suất
cơ học trong các chi tiết được giới hạn trong khoảng 20 ÷ 30 % giới hạn đàn hồi.
2.2.2.2. Tính chất của các chuyển đổi điện trở lực căng:
Để các chuyển đổi điện trở lực căng làm việc tốt trong thực tế, yêu cầu vật liệu
chế tạo chuyển đổi có độ nhạy lớn để độ nhạy đạt được cao. Mặt khác, hệ số nhiệt độ
của chuyển đổi điện trở lực căng (α) cần bé vì trong kim loại độ biến dạng tương đối
εl trong giới hạn đàn hồi không lớn hơn 2,5.10-3, do đó εR vào khoảng (1,25 ÷ 10)
tức là sự thay đổi điện trở tương đối không vượt quá 1% khi đối tượng đo chịu áp
suất lớn nhất.
Trong khi đó, sự đốt nóng điện trở cũng có thể làm điện trở của chuyển đổi
thay đổi một lượng cũng gần bằng lượng điện trở do biến dạng. Vì vậy, hệ số nhiệt
độ của dây điện trở càng nhỏ càng tốt, cần phải bù nhiệt độ cho mạch đo.
Vật liệu chế tạo dây điện trở cần có điện trở suất lớn để kích thước của chuyển
đổi nhỏ.

39
 Độ nhạy của các chuyển đổi loại dây mảnh không giống độ nhạy của vật liệu
chế tạo nó vì trong quá trình chế tạo hình răng lược, phần bị uốn không chịu biến
dạng theo hướng cần đo, làm độ nhạy giảm 25 – 30 %. Muốn vậy, phải tăng độ dài
tác dụng l0, mặt khác các phần uốn lại chịu lực tác dụng vuông góc với trục của
chuyển đổi gây sai số trong quá trình đo.
Hệ số nhiệt độ của chuyển đổi α, khác với hệ số nhiệt độ α của đối tượng đo,
khi nhiệt độ thay đổi gây biến dạng phụ trong quá trình đo.
Ngày nay, để giảm kích thước của chuyển đổi, tăng điện trở tác dụng của nó
cũng như có thể chế tạo được chuyển đổi có hình dạng phức tạp hơn, người ta chế
tạo chuyển đổi kiểu màng mỏng và lá mỏng.
+ Chuyển đổi lá mỏng: được chế tạo từ một lá kim loại mỏng với chiều dày
0,004 ÷ 0,012mm. Nhờ phương pháp quang khắc, hình dáng của chuyển đổi có thể
được tạo thành một cách rất khác nhau.

+ Chuyển đổi màng mỏng: được chế tạo bằng cách cho bốc hơi kim loại lên
một khung có hình dạng định trước.
Ưu điểm của 2 loại chuyển đổi này là điện trở lớn, kích thước nhỏ, tăng được
độ nhạy.

Hình 2.6: Cấu trúc chuyển đổi điện trở lực căng dạng lá mỏng và màng mỏng
♦ Ngoài ra các vật liệu bán dẫn như silic, germany, asenua,… cũng được sử dụng để
chế tạo các chuyển đổi điện trở lực căng. Các loại chuyển đổi lực căng dùng vật liệu
này có độ bền cơ học kém, song có các ưu điểm là:
+ hệ số độ nhạy lớn K = (-200 ÷ +800)
40
 + kích thước nhỏ (2,5mm)
+ nhiệt độ làm việc từ -250oC đến + 250oC
Keo dán dùng để dán các chuyển đổi lực căng cũng là loại keo dán đặc biệt như
BΦ-2, BΦ-4, axetolxeluloit…
2.2.2.3. Mạch đo:
Thông thường chuyển đổi điện trở lực căng được dùng với mạch cầu một chiều
hoặc xoay chiều và mạch phân áp.
Khi mạch cầu chỉ có một nhánh hoạt động, tức là chỉ có 1 chuyển đổi hoạt
động, vấn đề bù nhiệt cần được đảm bảo. Người ta sẽ dùng một chuyển đổi cùng loại
dán lên chi tiết không làm việc cùng vật liệu với đối tượng đo và đặt trong cùng 1
nhiệt độ.
Khi cầu không làm việc sẽ có trạng thái cân bằng:
RT R3
= =K (2.24)
R2 R4
Khi đối tượng đo làm việc RT thay đổi thành εRRT, cầu mất cân bằng và điện áp
ra:
(1 + ε R ) R T R 3 − R 2 R 4
U a = U. (2.25)
[(1 + ε R )R T + R 4 ](R 2 + R 3 )
Nếu R2 = R3; R4 = RTo (RTo là điện trở chi tiết dán trên chi tiết không biến dạng)
thì ta có:
Ua ≈ 0,25.U.εR (2.26)
Thuận tiện hơn là sơ đồ hình 7.9b trong đó 2 nhánh cầu được dán chuyển đổi
tenzô và cùng hoạt động. Điện áp ra của mạch cần tăng gấp 2 lần và bù nhiệt độ tốt hơn:
sai số nhiệt độ bị loại trừ.

41
 Hình 2.7: Một số kiểu mạch đo của chuyển đổi điện trở lực căng
Với cầu 4 nhánh hoạt động, điện áp ra của mạch cầu là lớn nhất tăng gấp 4 lần,
sai số nhiệt độ cũng bị loại trừ.
Ngoài mạch cầu còn có thể dùng mạch phân áp:
Mạch trên dùng để đo biến dạng động với tần số > 1000Hz, ví dụ biến dạng do
va đập. Điện áp ra đo được trên RT mắc nối tiếp với điện trở R. Để loại trừ thành
phần một chiều người ta mắc thêm tụ C.
RT
Điện áp rơi trên tenzô: UT = U (2.27)
RT + R
Khi có biến dạng với tần số ω:
R T (1 + ε R sin ωt )
U T = U. (2.28)
R + R T (1 + ε R sin ωt )
Với εR << 1 thì ta có:
R T ε R sin ωt RT
U T ≈ U. + (2.29)
R + RT R + RT
Điện áp ra chỉ lấy với thành phần xoay chiều:
RT
U a ≈ U. ε R sin ωt (2.30)
R + RT

42
 2.2.2.4. Sai số và phạm vi ứng dụng:
Sai số của thiết bị đo dùng chuyển đổi Tenzô chủ yếu do độ chính xác khắc độ
của chuyển đổi. Không thể khắc độ trực tiếp đơn chiếc mà chúng được chế tạo hàng
loạt và được chuẩn sơ bộ.
Khi sử dụng cần phải có công nghệ dán chuẩn và chọn vị trí chính xác. Sai số
về điều này có thể đạt tới 1 – 5%.
Khi chuẩn trực tiếp chuyển đổi với mạch đo sai số có thể giảm đến 0,2 – 0,5%
khi đo biến dạng tĩnh và1 – 1,5% khi đo biến dạng động. Ngoài ra còn có sai số biến
dạng dư của keo dán khi sấy khô, do sự dãn nở khác nhau giữa chuyển đổi và chi tiết
dán.
Các chuyển đổi loại này dùng để đo lực, áp suất, momen quay, gia tốc và các
đại lượng khác nếu có thể biến đổi thành biến dạng đàn hồi với ứng suất không bé
hơn (1÷2)107 N/m2.
2.3. CÁC CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TỪ:
Chuyển đổi điện từ là nhóm các chuyển đổi làm việc dựa trên quy luật điện từ. Đại
lượng không điện cần đo làm thay đổi điện cảm, hỗ cảm của chuyển đổi hay từ thông, độ
từ thẩm của lõi thép. Chuyển đổi điện từ được phân thành: chuyển đổi điện cảm và hỗ
cảm, chuyển đổi cảm ứng, chuyển đổi áp từ.
1. Chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm:
A, Chuyển đổi điện cảm:
Là một cuộn dây quấn trên lõi thép có khe hở không khí (mạch từ hở). Thông số
của nó thay đổi dưới tác động của đại lượng vào Xv.

43
 Hình 2.8: Một số dạng chuyển đổi điện cảm
1-Lõi sắt từ; 2-Cuộn dây; 3-Phần ứng di động được; δ-khe hở không khí
Dưới tác động của đại lượng đo, phần ứng sẽ di chuyển, khe hở không khí δ thay
đổi từ trở của lõi thép do đó điện cảm và tổng trở của chuyển đổi cũng thay đổi theo.
Nếu bỏ qua điện trở thuần của cuộn dây và trở từ của lõi thép ta có:
W 2 W 2µ os
L= = (2.31)
Rδ δ

Trong đó: W: số vòng dây của cuộn dây

Rδ = δ/(µos): từ trở của không khí
δ: chiều dài khe hở không khí
µo : độ từ thẩm của không khí
s: tiết diện thực của khe hở không khí
Với W = const ta có:
∂L ∂L
dL = ds + dδ (2.32)
∂s ∂δ
Với lượng thay đổi hữu hạn ∆s và ∆δ ta có:
W 2µ o W 2µ os o
∆L = ∆s − ∆δ (2.33)
δo ( δ o + ∆δ ) 2

trong đó: so và δo là các giá trị ban đầu của s và δ (khi đại lượng vào Xv = 0)
Độ nhạy của chuyển đổi điện cảm với khe hở không khí thay đổi Sδ (giữ s = const):
44
 ∆L Lo
Sδ = =− (2.34)
∆δ ⎡ ⎛ ∆δ ⎞ ⎤
2

δ o ⎢1 + ⎜⎜ ⎟⎟ ⎥
⎣ ⎝ δ o ⎠⎦
Độ nhạy của chuyển đổi điện cảm với tiết diện không khí thay đổi Ss (giữ δ =
const):
∆L L o
Ss = = (2.35)
∆s s o

W 2µ os o
trong đó: L o = là giá trị điện cảm ban đầu của chuyển đổi
δo

Khi δ = δo, s = so và tổng trở Z của chuyển đổi:

ωW 2 µ o
Z = ωL = (2.36)
δ
Độ nhạy tương đối của chuyển đổi khi tính tổng trở Z với khe hở không khí thay
đổi:
∆Z / Z o 1
S 'δ = =− (2.37)
∆δ / δ o ⎡ ⎛ ∆δ ⎞ ⎤
2

⎢1 + ⎜⎜ ⎟⎟ ⎥
⎣ ⎝ o ⎠⎦δ

trong đó Zo là giá trị tổng trở ban đầu khi Xv = 0

Từ biểu thức (2.35) thấy rằng tổng trở của chuyển đổi là một hàm tuyến tính với
tiết diện khe hở không khí s và phi tuyến (hypebol) với chiều dài khe hở không khí.
Nói cách khác, độ nhạy của chuyển đổi khi độ dài của khe hở không khí thay đổi
không phải là hằng số mà phụ thuộc vào tỷ số ∆δ/δo.
Độ nhạy của chuyển đổi khi tiết diện của khe hở không khí thay đổi là hằng số và
không phụ thuộc vào lượng thay đổi ∆s.
Trong các chuyển đổi điện cảm với khe hở không khí thay đổi giá trị ∆δ/δo không
vượt quá 0,2 đối với chuyển đổi đơn và 0,4 đối với chuyển đổi mắc kiểu vi sai, với giá
trị trên độ phi tuyến của chuyển đỏi không vượt quá 1%.
Tuy nhiên nếy đo tổng dẫn Y = 1/Z, độ nhạy của chuyển đổi sẽ tuyến tính đối với
độ thay đổi độ dài khe hở không khí (khi đó dòng điện I chạy qua cuộn dây với điện
áp U cho trước tuyến tính) do:
U
I= ( δ o + ∆δ ) (2.38)
ωW 2 µ o s

45
 Đặc tính của chuyển đổi điện cảm khi độ dài khe hở không khí δ thay đổi Z = f(∆δ)
thường phi tuyến và đặc tính Z = f(∆δ) phụ thuộc tần số của nguồn kích thích. Tần số
dòng kích thích càng lớn độ nhạy càng cao.
Để tăng độ nhạy chuyển đổi và tăng đoạn đặc tính tuyến tính làm việc, người ta
thường dùng chuyển đổi điện cảm mắc theo kiểu vi sai.

Hình 2.9: Đặc tính của chuyển đổi điện từ

B, Chuyển đổi hỗ cảm: (chuyển đổi biến áp)
Cấu tạo của chuyển đổi hỗ cảm cũng giống như chuyển đổi điện cảm chỉ khác ở
chỗ có thêm cuộn dây đo. Khi chiều dài hoặc tiết diện khe hở không khí thay đổi làm
cho từ thông của mạch từ thay đổi và xuất hiện sức điện động e.
Từ thông tức thời:
iW1 W1µ o si
Φt = = (2.39)
Rδ δ

46
 trong đó: i là giá trị dòng tức thời trong cuộn dây kích thích W1.

Hình 2.10: Các chuyển đổi kiểu hỗ cảm

a) Các chuyển đổi đơn; b) Các chuyển đổi mắc kiểu vi sai
Sức điện động tạo thành trong cuộn dây đo W2 (số vòng dây của cuộn dây đo là W2):
dΦ t W .W µ s di
e = − W2 =− 2 1 o (2.40)
dt δ dt
Khi làm việc với dòng xoay chiều i = Imsinωt
W2 .W1 µ o s
Ta có: e=− ωI m cos ωt (2.41)
δ

47
 Và giá trị hiệu dụng của sức điện động:
W2 .W1µ o s s
E= ωI = K (2.42)
δ δ
trong đó: I: là giá trị hiệu dụng của dòng điện
K = W1W2µoωI
Biểu thức (2.41) là phương trình của chuyển đổi hỗ cảm. Với các giá trị W2, W1, µo,
ω, I là hằng số ta có:
∂E ∂E
dE = ds + dδ (2.43)
∂s ∂δ
∆s ∆δ
hay ∆E = k − ks (2.44)
δo ( δ o + ∆δ ) 2

Độ nhạy của chuyển đổi với sự thay đổi chiều dài khe khí δ (s = const)
∆E ks Eo
Sδ = =− = (2.45)
∆δ ⎛ ∆δ ⎞
2
⎡ ⎛ ∆δ ⎞ ⎤
2

δ o2 ⎜⎜ 1 + ⎟⎟ δ o ⎢1 + ⎜⎜ ⎟⎟ ⎥
⎝ δ o ⎠ ⎣ ⎝ δ o ⎠⎦
Còn độ nhạy khi tiết diện khe khí thay đổi (δ = const):
∆E k E o
SS = = = (2.46)
∆s δ o S o

kso
trong đó: E o = là sức điện động hỗ cảm ban đầu trong cuộn dây đo W2 khi xv =
δo
0.
So sánh biểu thức (2.45) và (2.46) với các biểu thức (2.34) và (2.35) ta thấy rằng độ
nhạy của chuyển đổi hỗ cảm khi I và ω không biến đổi chỉ khác với độ nhạy của chuyển
đổi điện cảm ở giá trị Eo và Lo.
Ngoài ra độ nhạy của chuyển đổi hỗ cảm Ss và Sδ tăng khi tần số nguồn cung cấp tăng.
Đối với chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm, trên các đoạn sắt từ của mạch từ có tổn hao
từ trễ và dòng xoáy làm thay đổi từ trở và do đó tổng trở cũng bị thay đổi. Tín hiệu ra sẽ
thay đổi cả biên độ và pha. Tuy vậy sự thay đổi về pha có thể khắc phục nếu chuyển đổi
được cung cấp với điện áp ổn định cho trước. Do vậy trong mạch cầu chỉ cần cân bằng
với thành phần biên độ.
Để đảm bảo chế độ điện áp cho trước, điện trở của chỉ thị chỉ không RCT trong mạch
cầu cần nhỏ hơn điện trở của các nhánh 5 ÷ 10 lần.

48
 Nếu lõi sắt từ làm bằng vật liệu đặc thì sẽ gây nên hiệu ứng bề mặt và độ nhạy của
chuyển đổi sẽ là một hàm khá phức tạp.
Khi chế tạo các chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm cần phải tính đến lực cơ điện tác dụng
lên phần động của lõi thép:
+ Khi chiều dài khe khí thay đổi:

Fδ =
1 ∂ 2
2 ∂δ
( )
I L (2.47)

+ Khi tiết diện khe khí thay đổi:

Fs =
2 ∂s
( )
1 ∂ 2
I L (2.48)

Nếu dòng điện I là không đổi thì một cách gần đúng ta có:
1 2 ∂L 1 ∂L
Fδ = I và Fs = I 2 (2.49)
2 ∂δ 2 ∂s
Giá trị tức thời của lực thay đổi với tần số gấp 2 lần tần số của nguồn cung cấp (xem
lại trong [9]). Vì vậy cần tránh tần số cộng hưởng riêng của lõi phần động không được lớn
bằng 2 lần tần số nguồn cung cấp.
Đặc tính động của chuyển đổi hỗ cảm và điện cảm được xác định chủ yếu ở hệ thống
cơ của phần động.
Tần số làm việc của loại chuyển đổi này rất rộng, tuỳ theo cấu trúc của phần động có
thể đo được các đại lượng biến thiên từ 500Hz ÷ vài kHz.
C, Mạch đo:
Thường thì người ta dùng mạch cầu không cân bằng với nguồn cung cấp xoay chiếu
có một nhánh hoạt động (chuyển đổi đơn) hoặc 2 nhánh hoạt động (chuyển đổi mắc kiểu
vi sai).
Ví dụ mạch cầu hình 2.11. Đó là mạch cầu với chuyển đổi mắc kiểu vi sai (cầu 6
nhánh):

49
 Hình 2.11: Mạch đo của chuyển đổi điện từ kiểu cầu vi sai 6 nhánh

+ Điện trở Rc và C dùng để cân bằng thành phần ảo (góc pha). (cơ cấu tạo sớm trễ
pha)
+ Điện trở Ro cân bằng thành phần thực (biên độ): Ro << R
+ Chỉ thị là dụng cụ từ điện.
Đối với các chuyển đổi hỗ cảm thì người ta thường dùng phương pháp đo điện áp
xoay chiều. Khi cần thiết xác định dấu của đại lượng đo có thể dùng chỉnh lưu nhạy pha.
Công suất ra của chuyển đổi hỗ cảm thường lớn (vài chục Watt) nên trong nhiều
trường hợp không cần mạch khuếch đại.
D, Sai số và ứng dụng:
Các chuyển đổi điện cảm làm việc với mạch cầu không cân bằng, nguồn cung cấp
cho mạch cầu cần ổn định.
+ Nếu điện áp cung cấp thay đổi 1% thì có thể gây ra sai số 1%.
+ Nếu tần số của nguồn cung cấp thay đổi 1% gây ra sai số 0,2% (với mạch cầu
cân bằng sai số có thể giảm tới 0,5 ÷ 1%).
+ Khi nhiệt độ môi trường thay đổi làm cho độ từ thẩm của mạch từ và điện trở
thực của cuộn dây thay đổi cũng có thể gây ra sai số. Sai số trên được khắc phục khi sử
dụng chuyển đổi mắc kiểu vi sai.
Chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm có thể đo các đại lượng không điện khác nhau tuỳ
theo cấu trúc của từng loại chuyển đổi:
50
 - đo di chuyển từ vài chục µm đến hàng chục cm;
- đo độ dày lớp phủ;
- đo độ bóng của chi tiết gia công; …
- đo lực từ 0,1N đến hàng chục, hàng trăm N;
- đo áp suất với dải đo từ 10-3 N/m2 đến hàng chục ngàn N/m2;
- đo gia tốc từ 10-2g đến hàng trăm đơn vị gia tốc trọng lượng.
2. Chuyển đổi áp từ:
A, Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi áp từ là một dạng của chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm. Khác với hai
loại trên, mạch từ của chuyển đổi áp từ là mạch từ kín. Nguyên lý làm việc của chuyển
đổi áp từ là hiệu ứng áp từ.

Hình 2.12: Các chuyển đổi áp từ

Dưới tác dụng biến dạng đàn hồi cơ học, độ từ thẩm µ và các tính chất khác của
vật liệu sắt từ thay đổi. Chuyển đổi áp từ dựa trên hiệu ứng áp từ có thể là chuyển đổi
áp từ kiểu điện cảm, hoặc chuyển đổi kiểu hỗ cảm. Dưới tác dụng của ứng lực cơ học
làm cho lõi thép bị biến dạng, độ từ thẩm µ thay đổi và từ trở của mạch từ Rµ thay đổi
làm cho điện cảm L hoặc hỗ cảm M thay đổi theo.
Nếu bỏ qua tổn hao dòng xoáy và từ trễ, điện cảm của chuyển đổi từ sẽ là:
W 2 W 2 .µ .s
L= = (2.50)
R l
trong đó: +W số vòng cuộn dây
+R từ trở của mạch từ

51
 + s, l tiết diện và chiều dài của mạch từ
+µ độ từ thẩm của lõi thép
Tổng trở của chuyển đổi:
ωW 2 µs
Z = ωL = (2.51)
l
Từ biểu thức (2.50) nếu W = const ta có:
∂L ∂L ∂L
dL = dµ + dl + ds (2.52)
∂µ ∂l ∂s

với lượng thay đổi ∆µ, ∆s, ∆l ta có:

⎧ ∆ µ ∆s ∆ l 1 ⎫
∆L = L o ⎨ + − 2⎬
(2.53)
⎩ µ s l [1 + (∆l / l )] ⎭

Lo là giá trị điện cảm ban đầu khi chưa có lực tác động.
∆L ⎧ ∆µ ∆s ∆l 1 ⎫
Suy ra: =⎨ + − 2⎬
Lo ⎩ µ s l [1 + (∆l / l )] ⎭

giả sử rằng ∆s/s = -Kp∆l/l (Kp là hệ số Poisson) và ∆l/l << 1 trong giới hạn đàn hồi,
ta có độ nhạy tương đối của chuyển đổi khi biến dạng là:
∆ L / L o ⎡ ∆µ / µ
SL =
∆l / l
=⎢ ( ⎤
) ( )
− K p + 1 ⎥ = Sµ − K p + 1 (2.54)
⎣ ∆l / l ⎦
∆µ / µ
trong đó Sµ = là độ nhạy áp từ, đặc trưng của lõi thép vật liệu.
∆l / l
Đối với loại thép Pecmatôi Sµ có thể lên đến 200 hoặc lớn hơn, do đó Sµ >> Kp + 1.
Với độ chính xác tương đối có thể coi chuyển đổi tương đối:
∆µ / µ
SL = = Sµ (2.55)
∆l / l
Độ nhạy thực của chuyển đổi khi tính đến tổn hao trên lõi thép, điện trở của cuộn
dây sẽ giảm so với độ nhạy áp từ.
Từ biểu thức (2.51) ta thấy độ nhạy của chuyển đổi đối với độ thay đổi của tổng trở
Z bằng độ nhạy áp từ của nó:
∆Z / Z
SZ = = SL = Sµ (2.56)
∆l / l

52
 Trong thực tế người ta dùng khái niệm độ nhạy tương đối Sσ đối với ứng suất cơ học
σ:
(2.57)
trong đó σ = E(∆l/l); E là module đàn hồi.
B, Mạch đo:
Mạch đo của chuyển đổi áp từ tương tự mạch đo của chuyển đổi điện cảm và hỗ
cảm.
Đặc tính động của chuyển đổi áp từ được quyết định chủ yếu bởi mạch đo, có thể
làm việc với các đại lượng biến đổi lên đến hàng chục kHz.

Hình 2.13: Cấu tạo của chuyển đổi áp từ kiểu vi sai và mạch đo
C, Sai số và ứng dụng:
♦Sai số của chuyển đổi áp từ có thể gồm các yếu tố sau:
+ Sai số hồi sai do hiện tượng áp từ trễ không trùng lặp trạng thái từ khi tăng tải và
khi giảm tải. Khi tăng tải và giảm tải đạt đến 10%. Sau khi lặp lại chu trình tăng
tải và giảm tải nhiều lần, sự phân tán giảm xuống đến 1% và sai số do hiện tượng
áp từ trễ không giảm nữa.
+ Sai số gây bởi sự dao động của dòng điện từ hoá, làm thay đổi độ từ thẩm ban
đầu và thay đổi độ lớn của hiệu ứng áp từ. Để giảm sai số này người ta chọn giá
trị dòng điện như thế nào đó để lõi thép làm việc với cường độ từ trường tương
ứng với độ từ thẩm lớn nhất. Sai số sẽ không lớn hơn 0,3 ÷ 0,4% khi điện áp
nguồn dao động 1%.

53
 + Sai số gây bởi sự dao động nhiệt độ của môi trường: Khi nhiệt độ thay đổi làm
điện trở thực của cuộn dây, độ từ thẩm ban đầu và hiệu ứng áp từ của chuyển đổi
thay đổi. Sai số do nhiệt độ môi trường thay đổi từ 0,5 ÷ 1,5% trên 10oC.
♦Ứng dụng:
+ Chuyển đổi áp từ thường dùng đo lực lớn 105 ÷ 106 N và đo áp suất trong các
điều kiện khó khăn.
+ Mặc dù độ chính xác thấp (3 ÷ 5%) nhưng do có cấu trúc đơn giản, độ tin cậy
cao nên được sử dụng nhiều ở bên ngoài hiện trường để đo áp suất, momen xoay
trong các máy khoan đất, đo lực cắt trong quá trình gia công kim loại…
3. Chuyển đổi cảm ứng:
A, Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi cảm ứng là chuyển đổi gồm có nam châm vĩnh cửu (hoặc trong một
số trường hợp là nam châm điện) và cuộn dây.
Khi từ thông Φ thay đổi, móc vòng qua cuộn dây sẽ sinh ra một sức điện động:
dΦ
e = −W (2.58)
dt
Từ thông thay đổi do vị trí của cuộn dây di chuyển trong từ trường hoặc do từ trở
của mạch từ thay đổi khi vị trí của lõi thép thay đổi. Hình sau thể hiện cấu tạo một số
loại chuyển đổi cảm ứng thường gặp.

Loại chuyển đổi Di chuyển thẳng Di chuyển góc

Cuộn dây di chuyển

54
 Lõi sắt từ di chuyển

Lõi sắt từ bị biến dạng

(dựa trên hiệu ứng áp
từ)

Hình 2.14: Một số dạng của chuyển đổi kiểu cảm ứng

Hình 2.14a là loại chuyển đổi cảm ứng có cuộn dây di chuyển. Khi cuộn dây di
chuyển, từ thông Φ móc vòng trong cuộn dây tạo ra một sức điện động cảm ứng:
dΦ dx dx dx
E=− = − Bl = − BDWπ =S (2.59)
dt dt dt dt
trong đó: B: là độ từ cảm của khe hở không khí
l = πDW: là chiều dài thực của cuộn dây
D: là đường kính trung bình của cuộn dây
W: số vòng dây
x: sự di chuyển của cuộn dây
S = -BDWπ: là độ nhạy của chuyển đổi
Chuyển đổi cảm ứng với cuộn dây di chuyển theo góc quay (hình 2.14b). Sức điện
động sinh ra khi cuộc dây quay một góc α là:
dx dα
e = −B α l hoặc e = −B αs α (2.60)
dt dt
trong đó: Bα: là cảm ứng từ của khe hở không khí
l = πDW: là chiều dài thực của cuộn dây

55
 D: là đường kính trung bình của cuộn dây
sα = πD2W/4 là tiết diện thực của cuộn dây
x, α: tương ứng là độ dịch chuyển thẳng hay góc của cuộn
dây
Đối với chuyển đổi cảm ứng có lõi thép di chuyển (hình 2.14c,d), sức điện động
cảm ứng bằng:
dΦ d⎛F ⎞ WFM dR M
e = −W = − W ⎜⎜ M ⎟⎟ = 2
(2.61)
dt dt ⎝ R M ⎠ RM dt

trong đó FM : là sức từ động của nam châm.

Giả sử rằng: RM = RMo + kRMoX và coi ∆RM << RMo
(RMo là từ trở của mạch từ khi X = 0, và k là hệ số phụ thuộc vào cấu trúc của
chuyển đổi)
thì ta có phương trình:
kWFM dx dx
e= =S (2.62)
R Mo dt dt

kWFM
với: S= là độ nhạy của chuyển đổi (2.63)
R Mo

x: là đại lượng đo
Nếu lõi sắt từ quay quanh trục (hình 2.14d) theo quy luật hình sin tức là khe hở
không khí giữa các đầu cực từ theo quy luật hình sin (2 lần cho 1 vòng quay). Một cách
gần đúng ta có từ trở của mạch từ và từ thông sẽ thay đổi theo dạng hình sin:
⎛ Φ + Φ min Φ max − Φ min ⎞
Φ l = ⎜ max + ⎟ sin 2ωt (2.64)
⎝ 2 2 ⎠
Sức điện động trong cuộn dây:
dΦ(t )
e = −W = − WωBs α cos 2ωt (2.65)
dt
trong đó: Φmax, Φmin là giá trị từ thông lớn nhất và nhỏ nhất
sα: là tiết diện của cuộn dây
Đối với chuyển đổi cảm ứng loại thứ 3 (hình 2.14e,f):
Đoạn 1 - 1 của mạch từ chịu lực tác động theo thời gian fv (hoặc mômen Mv biến
thành lực fv như ở hình 2.14f), do hiệu ứng áp từ làm cho từ trở của đoạn đó thay đổi, do

56
đó từ thông móc vòng quanh cuộn dây cũng thay đổi và sinh ra lực điện động cảm ứng tỷ
lệ với tốc độ thay đổi của lực fv, quan hệ trên được biểu diễn bởi phương trình:
dl 1−1 df
e = Sµ = S 'µ v
dt dt
(2.66)
trong đó: l1-1: là chiều dài đoạn mạch từ biến dạng
Sµ , S’µ : là độ nhạy tương ứng khi thay đổi l và khi thay đổi fv
Từ đó ta thấy rằng đối với chuyển đổi cảm ứng, phương trình biến đổi chung có
dạng:
dx
e=S (2.67)
dt
trong đó: S: là độ nhạy của chuyển đổi cảm ứng phụ thuộc vào cấu trúc của nó
x: là đại lượng vào của chuyển đổi (di chuyển thẳng hoặc góc hay
lực)
Khi sử dụng các chuyển đổi cảm ứng cần chú ý đến sai số do tần số thay đổi. Mạch
điện tương đương của chuyển đổi cảm ứng như hình 2.15.

Hình 2.15: Mạch điện tương đương của chuyển đổi cảm ứng
Trên sơ đồ RL và L là điện trở thực và điện cảm của cuộn dây
Rt là điện trở tải
Ứng với điều kiện ban đầu độ nhạy toán tử của mạch có dạng:
Ur SR t p τp
S(p) = = = So (2.68)
X R t + R L + pL 1 + τp

L
trong đó: τ= là hằng số thời gian của mạch
RL + Rt

SR t
So = là hệ số tỷ lệ của chuyển đổi khi ωτ >> 1.
L

57
 Qua công thức (2.68) cho thấy chuyển đổi cảm ứng là khâu vi phân.
Từ các dạng cấu trúc khác nhau ta thấy rằng các chuyển đổi cảm ứng có cuộn dây di
chuyển (hình 2.14a,b) có đặc tính tuyến tính và có độ chính xác cao hơn. Các chuyển đổi
có lõi thép di chuyển (hình 2.14c,d) có đặc tính phi tuyến và từ trễ do đó chỉ sử dụng
trong các mạch điều tần hoặc điều pha.
B, Mạch đo:
Từ các phương trình đặc trưng của chuyển đổi ta cũng thấy rằng sức điện động ở đầu
ra tỷ lệ với tốc độ biến thiên của tín hiệu vào (đặc điểm của khâu có tính chất vi phân), do
đó muốn đo tín hiệu phải lắp thêm bộ tích phân ở đầu ra của chuyển đổi.
dx
U = ∫ edt = ∫ S = Sx (2.69)
dt
C, Ứng dụng:
+ Các chuyển đổi cảm ứng có cuộn dây di chuyển dùng đo tốc độ quay và mômen
quay như các tốc kế.
+ Các chuyển đổi có lõi thép di chuyển dùng trong phép đo các di chuyển thẳng, di
chuyển góc quay, đo biên độ rung (vài phần trăm milimét đến vài milimét)
+ Tín hiệu ra của các chuyển đổi điện cảm đạt được cao (vài phần V đến hàng chục
V) nên mạch đơn giản không cần khuếch đại
+ Độ nhạy cao của chuyển đổi cho phép đo được các di chuyển nhỏ, đo tốc độ, gia
tốc và các đại lượng khác với tần số đến 15 ÷ 30 kHz.
+ Sai số của chuyển đổi với nam châm vĩnh cửu và cuộn dây di chuyển đạt được từ
0,2 ÷ 0,5%.
2.4. CÁC CHUYỂN ĐỔI TĨNH ĐIỆN:
Các chuyển đổi tĩnh điện được phân chia thành 2 loại:
1. Chuyển đổi áp điện (chuyển đổi piezô):
A, Nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi áp điện dựa trên hiệu ứng áp điện. Có một số vật liệu khi chịu
tác dụng của một lực cơ học biến thiên thì trên bề mặt của nó xuất hiện các điện
tích, khi lực tác dụng ngừng thì các điện tích trên cũng biến mất, hiện tượng đó gọi
là hiệu ứng áp điện thuận. Ngược lại, nếu đặt các vật liệu trên trong điện trường
biến thiên thì điện trường tác động lên chúng làm chúng bị biến dạng, hiện tượng
đó gọi là hiệu ứng áp điện ngược.
Các chuyển đổi làm việc dựa trên hiện tượng áp điện gọi là chuyển đổi áp
điện.

58
 Vật liệu dùng chế tạo các chuyển đổi áp điện là tinh thể thạch anh (SiO2),
titanatbari (BiTiO3), muối xenhét, tuamalin…

Hình 2.16: Cấu trúc tinh thể thạch anh

Hình 2.16a là cấu trúc của một tinh thể thạch anh, nó có 3 trục chính: trục
quang Z, trục điện X và trục cơ Y.
Nếu cắt tinh thể áp điện thành các hình khối có 3 cạnh ứng với 3 trục quang,
điện và cơ thì ta được chuyển đổi áp điện (hình 2.16b).
+ Lực Fx tác dụng theo hướng trục điện X gây ra hiệu ứng áp điện dọc với
điện tích:
qd = d1Fx
(2.70)
Điện tích sinh ra không phụ thuộc vào kích thước hình học của nó mà chỉ
phụ thuộc vào độ lớn của lực. Dấu của điện tích thay đổi với sự thay đổi dấu của
lực Fx.
+ Nếu tác động một lực Fy theo trục cơ Y thì sẽ gây ra hiệu ứng áp điện
ngang với điện tích:
qng = -d1(y/x)Fy (2.71)
Điện tích này phụ thuộc vào kích thước hình học của chuyển đổi.
d1: là hằng số áp điện (còn gọi là module áp điện)
y, x: là kích thước của chuyển đổi theo trục Y, X
Dấu của điện tích q với hiệu ứng áp dọc và ngang là ngược nhau nghĩa là
lực Fx nén làm xuất hiện các điện tích cùng dấu với lực Fy kéo và ngược lại.
+ Khi tác dụng lực theo hướng của trục quang Z không xảy ra hiện tượng áp
điện.

59
 Trường hợp các cạnh của chuyển đổi không song song với các trục chính
hoặc lực tác động không song song với các trục, điện tích sinh ra sẽ bé hơn.
Hình2.17 là các dạng biến dạng của các chuyển đổi áp điện.

Hình 2.17: Một số hình dáng biến dạng của chuyển đổi áp điện

B, Tính chất của một số vật liệu áp điện:

Thạch anh: là vật liệu tự nhiên hoặc tổng hợp, có tính chất sau:
- Hằng số áp điện: d1 = 2,1.10-12 C/N (Ở nhiệt độ 200oC, d1 không
phụ thuộc vào nhiệt độ; từ 200oC đến 500oC thì d1 thay đổi nhưng không
đáng kể; với 573oC tính chất áp điện bị phá hủy)
- Hằng số điện môi: ε = 39,8.10-12 F/m
- Ứng suất cho phép: σ = 70 ÷ 100 N/mm2
- Điện trở suất: ρ = 1016 Ω/m (nhưng phụ thuộc nhiều vào
nhiệt độ và có giá trị khác nhau ở các chiều trục khác nhau).
TitanatBari(BaTiO3) : là loại vật liệu tổng hợp có tính chất sau:
- Hằng số áp điện: d1 = 107.10-12 C/N (Module áp điện d1 không
phải là hằng số, trong nhiều trường hợp giảm 20% trong 2 năm. Do có
hiện tượng trễ nên đặc tính q = f(F) không tuyến tính, song loại vật liệu
này có tính bền cơ học cao, rẻ tiền, chế tạo được hình dáng bất kỳ nên
được dùng rộng dãi)
- Hằng số điện môi: ε = 1240.10-11 F/m
- Module đàn hồi: E = 115.103 N/mm2
Các tính chất của TitanatBari không phụ thuộc độ ẩm nhưng phụ thuộc
nhiều vào tạp chất, công nghệ chế tạo và điện áp phân cực.
60
 Gần đây người ta đã tìm ra các loại Titanat Chì (PbTiO3) và Ziriconat
Chì (PbZnO3) có module áp điện lớn hơn TitanatBari gấp 4 lần.
C, Mạch đo và đặc tính tần của chuyển đổi áp điện:
Chuyển đổi áp điện dùng để đo các đại lượng biến thiên trong đó.
Giới hạn dưới của tần số được quyết định bởi các tham số điện của chuyển
đổi và của mạch đo, công suất ra của chuyển đổi rất bé vì vậy tổng trở vào của
mạch đo, phải rất lớn, cỡ 108 ÷ 1014Ω. Dây nối từ chuyển đổi vào mạch đo cần
được bọc kim để chống điện tích rò.
Hình 2.18 là sơ đồ cấu tạo của một chuyển đổi áp điện dùng để đo lực fx.
Hai phần tử áp điện được đặt sao cho điện tích phân cực ngược nhau khi va đập.
Điện tích được lấy ra trên thanh dẫn 2 ở giữa hai phần tử 1, dây dẫn là dây bọc
kim 3.

Hình 2.18: Chuyển đổi áp điện đo lực

Khi có tác dụng lực hình sin F = Fmaxsinωt, điện áp ra sẽ là:

R . 1 / jω C R
Ur = I = jωd 1F (2.72)
R + 1 / jωC 1 + jωCR

và độ nhạy phức của chuyển đổi:

Rd 1 d jωτ
S( jω) = = 1 (2.73)
jRCω + 1 C 1 + jωτ

RoR2
với τ = RC = (Co + C 2 ) là hằng số thời gian của mạch và chuyển
Ro + R2
đổi Ro, R2, Co, C2 là các điện trở và điện dung thực của chuyển đổi và khuếch đại.
(hình 2.19)

61
 Hình 2.19: Mạch đo của chuyển đổi áp điện

Từ biểu thức trên cho thấy rằng chuyển đổi áp điện là một khâu vi phân.
Sai số tần số của nó sẽ không đáng kể nếu tần số của tín hiệu tương đối cao:
ωτ>>1 (đường cong 1 hình 2.20).
Để giảm sai số tần số ở dải tần thấp cần tăng hằng số thời gian của mạch đo
vì tổng trở vào của mạch khuếch đại rất lớn. Nhưng nếu tăng hằng số thời gian
bằng cách tăng điện dung C sẽ dẫn đến giảm tín hiệu ra.
Trong thực tế lực tác động lên chuyển đổi không phải là lực Fx mà là lực F
(trong đó kể cả lực gây biến dạng cơ học và lực điện).
Với lực tác dụng F, phương trình được biểu diễn dưới dạng:
d 2 ∆x d∆ x
m 2
+P + C o ∆x = F (2.74)
dt dt
Đưa về dạng toán tử ta có:
mp2 + Pp + Co∆x = F
trong đó m, P, Co là khối lượng, hệ số cản dịu và hệ số phản kháng của phần
tử áp điện.
Mặt khác lực Fx = sE.∆x/x với s, E, x là diện tích, module đàn hồi và chiều
dày của phần tử áp điện, quan hệ giữa Fx và F có dạng:
sE F
Fx = (2.75)
x mp + Pp + Co
2

Độ nhạy của chuyển đổi tính với biến dạng cơ học:

sE 1
S c ( jω) = (2.76)
mx ωo − ω + j2βωω o
2 2

Co
trong đó: ωo = là tần số dao động riêng cơ học
m

62
 P
β= là mức độ cản dịu
2 mC o

Độ nhạy của chuyển tính với cả lực điện và lực cơ:

d 1 sE 1 jωτ
S c ( jω) = (2.77)
C x ω o − ω + j2βωω o 1 + jωτ
2 2

Đặc tính độ nhạy của chuyển đổi được biểu diễn trên hình 2.20 trong đó
đường cong 1 là đặc tính điện, 2 là đặc tính cơ và 3 là đặc tính cơ điện.

Hình 2.20: Đặc tính tần số

Từ biểu thức trên ta thấy rằng đặc tính biên - tần thực của chuyển đổi áp
điện do tính chất quán tính cơ nên khác nhiều so với đặc tính của khâu vi phân.
Độ nhạy của chuyển đổi sẽ không phụ thuộc vào tần số của quá trình đo với
điều kiện ωo >> ω >> 1/τ, lúc đó độ nhạy cơ điện của nó sẽ là:
d1 sE 1
S cd = S cd ( jω) = (2.78)
C mx ωo2

Khi sử dụng chuyển đổi áp điện cần tính đến hiệu ứng dây cáp vì trong điều
kiện bị rung bản thân dây cáp cũng sinh ra điện tích do đó làm sai lệch kết quả đo.
Trong thực tế với độ rung ở tần số 60 ÷ 80 kHz điện tích do dây cáp rung
sinh ra có thể lớn hơn điện tích của bản thân phần tử áp điện vì vậy phải sử dụng
loại cáp đặc biệt chống rung (ví dụ loại ABK).
D, Ứng dụng:
Chuyển đổi áp điện được dùng để đo lực biến thiên (đến 10000N), đo áp
suất (100 N/mm2) và gia tốc (tới 1000.g) trong dải tần từ 0,5 đến 100kHz.
Ưu điểm của chuyển đổi loại này là cấu trúc đơn giản, có kích thước nhỏ,
độ tin cậy cao, có khả năng đo các đại lượng biến thiên nhanh.
63
 Nhược điểm của nó là không đo được lực tĩnh, khó khắc độ.
Phần tử áp điện và mạch đo cần phải chống ấm tốt. Phần tử áp điện có trễ và
đặc tính phi tuyến (do module áp điện d1 phụ thuộc lực và áp suất).
Ngoài việc sử dụng các hiệu ứng áp điện thuận của chuyển đổi áp điện,
người ta còn sử dụng hiệu ứng áp điện ngược để chế tạo các chuyển đổi ngược đo
di chuyển và các thiết bị kích thích dao động siêu âm ở tần số dao động cơ (ví dụ
dao động ký cơ học).
Nếu đặt phần tử áp điện trong điện trường có cường độ Fx dọc trục X, nó sẽ
bị biến dạng tương đối theo hướng trục này một lượng ∆x/x = d1Ex; còn theo
hướng trục Y là ∆y/y = -d1Ex. Biết rằng Ex = Ux (điện áp đặt lên phần tử áp điện),
ta có:
∆x = d1Ux ; ∆y = -(y/x)d1Ux (2.79)
Nhược điểm của loại chuyển đổi này là độ biến dạng của phần tử điện áp rất
nho, vài phần micromet.
2. Chuyển đổi điện dung:
A, Tính chất chung và các dạng cơ bản của chuyển đổi điện dung:
Nguyên lý làm việc chung của các chuyển đổi điện dung là dựa trên sự tác
động tương hỗ giữa 2 điện cực, tạo thành một tụ điện. Điện dung của nó được thay
đổi dưới tác động của đại lượng đầu vào. Hình 2.21 là cấu tạo của một số loại
chuyển đổi điện dung cơ bản.
Chuyển đổi điện dung có thể chia thành 2 nhóm lớn: chuyển đổi máy phát
và chuyển đổi thông số.
+ Đại lượng ra của chuyển đổi điện dung máy phát thường là điện áp ra
của máy phát. Đại lượng vào là sự di chuyển thẳng, di chuyển góc của
bản điện cực động của chuyển đổi. Loại này thường dùng đo các đại
lượng cơ học.
+ Đại lượng vào của các chuyển đổi điện dung thông số là các di chuyển.
Đại lượng ra là sự thay đổi điện dung C của chuyển đổi.
♠ Phương trình của chuyển đổi điện dung phát điện (hình 2.22) có thể nhận
được từ biểu thức sau:
Nếu điện áp U đặt vào 2 điện cực của tụ điện, điện áp này liên quan đến các
thông số như sau:

q δ
U= = q (2.80)
C εs
64
 trong đó: q: điện tích trên bản cực ; C = εs/δ
ε: điện môi giữa 2 bản cực
s, δ: diện tích của bản cực và khoảng cách giữa chúng

Hình 2.22: Chuyển đổi điện dung và sơ đồ tương đương

Lực cơ F tác động lên bản cực động gồm 2 thành phần:
+ Lực tác động do điện tích tương hỗ:
1 2 εs 1 q 2
Fd = U 2 = (2.81)
2 δ 2 εs
+ Lực đẩy cơ học Fc = S(p)δ gây nên bởi cực động và bằng:
(
Fc = mp 2 + pP + C o δ ) (2.82)
và lực tổng hợp:

F = Fd + Fc =
1 q2
2 εs
(
+ mp 2 + pP + C o δ ) (2.83)

Từ biểu thức trên ta thấy rằng chuyển đổi điện dung có tính chất phi tuyến
vì vậy phương trình biến đổi của chuyển đổi có thể viết dưới dạng:
∂U ∂U δ q 1
dU = dq + dδ = dq + dδ = dq + E o dδ (2.84)
∂q ∂δ εs εs Co

∂F ∂F q
dF = dq + dδ = dq + S(p )dδ = E o dq + S(p)dδ (2.85)
∂q ∂δ εs

trong đó: m: là khối lượng của cực động

P: là hệ số cản dịu
Co: là hệ số phản kháng (là điện dung ban đầu tương ứng với
khoảng cách δo giữa 2 bản cực)

65
 Uo q q
Eo = = o = : là cường độ điện trường ban đầu của tụ
δ o C o δ o εs
điện

66
 Khe hở khôgn khí δ thay đổi Tiét diện s thay đổi Hằng số điện môi thayy đổi Với sự thay đổi tổn

Đơn Vi sai Đơn Vi sai Đơn Vi sai hao điện môi

Hình 2.21: Một số dạng chuyển đổi điện dung thường gặp

67
 Nếu chuyển đổi làm việc trong khoảng di chuyển nhỏ phương trình sẽ được
biểu diễn dưới dạng thay đổi ∆δ:
E o ∆q
∆δ = = k o ∆q (2.86)
p m + pP + C o
2

Từ biểu thức (2.79) ta thấy rằng hệ số ko của chuyển đổi điện dung phát
điện là một hàm tuyến tính với điện áp U (điện áp trên 2 bản cực):
Uo q
k o = kEo = k =k o (2.87)
δo Co δ o

♠ Phương trình của chuyển đổi điện dung thông số biểu diễn như sau:
Với một tụ điện phẳng C = εs/δ, khi một trong 3 đại lượng δ, ε hay s thay
đổi, điện dung cũng thay đổi theo, với một sự thay đổi rất nhỏ của điện dung ta có:
∂C ∂C ∂C
dC = dε + ds + dδ (2.88)
∂ε ∂s ∂δ
Đưa về dạng sai phân ta được:
so ε ε oso
∆C = ∆ε + o ∆s − ∆δ (2.89)
δo δo (δ o + ∆δ )2
Sự biến thiên tương đối của điện dung:
∆C ∆ε ∆ s 1 ∆δ
= + − (2.90)
Co εo so ⎛ ∆δ ⎞ δ o
2

⎜⎜ 1 + ⎟
⎝ δ o ⎟⎠

trong đó: εo, δo, so là các giá trị ban đầu của điện môi, tiết diện và
khoảng cách giữa hai bản cực
Co là giá trị điện dung ban đầu khi không có tín hiệu vào.
Với sự thay đổi của khoảng cách giữa 2 bản cực khi ε = const và S = const ta có độ
nhạy của chuyển đổi điện dung:
∆C / C o 1
Sδ = =− (2.91)
∆δ / δ o ⎛ ∆δ ⎞
2

⎜⎜ 1 + ⎟
⎝ δ o ⎟⎠

Khi diện tích của bản cực thay đổi (nhưng vẫn giữ δ = const, ε = const) thì ta có:
∆C / C o
Sδ = =1 (2.92)
∆s / s o

và khi hằng số điện môi thay đổi (nhưng vẫn giữ δ = const, s = const) thì ta có:
68
 ∆C / C o
Sδ = =1 (2.93)
∆ε / ε o

Nếu xét đến dung kháng X = 1/ωC với ω = const ta có:

∂X c ∂X c ∂X c
dX c = dε + dδ + ds (2.94)
∂ε ∂δ ∂s
Với sự thay đổi hữu hạn ∆s, ∆δ, ∆ε ta có các độ nhạy tương đối:
∆X / X o
S 'δ = =1 (2.95)
∆δ / δ o
∆X / X o 1
S 'ε = =−
∆ε / ε o ⎛ ∆ε ⎞
2

⎜⎜ 1 + ⎟⎟
⎝ ε o ⎠
∆X / X o 1
S 's = =−
∆s / s o ⎛ ∆s ⎞
2

⎜⎜ 1 + ⎟
⎝ s o ⎟⎠

với Xco là giá trị dung kháng ban đầu.

Từ các biểu thức trên ta thấy rằng sự biến thiên tương đối của chuyển đổi điện
dung là hàm tuyến tính khi tiết diện bản cực và hằng số điện môi thay đổi, nhưng phi
tuyến khi khoảng cách giữa 2 bản cực thay đổi.
Ngược lại, sự biến thiên tương đối giá trị điện kháng của chuyển đổi điện dung là
hàm tuyến tính khi khoảng cách giữa 2 bản cực thay đổi và phi tuyến đối với tiết diện bản
cực và hằng số điện môi thay đổi.
Trị số biến thiên tương đối ∆s/so và ∆ε/εo thường đạt từ 0,15 ÷ 0,2 đối với chuyển
đổi đơn và 0,4 đối với chuyển đổi mắc kiểu vi sai.
Khi khoảng cách ∆δ thay đổi, sự biến thiên điện kháng ∆Xc của chuyển đổi sẽ tăng
khi δo giảm đi và điện áp ra của mạch đo tăng lên. Tuy nhiên giảm khoảng cách δ giữa 2
bản cực chỉ thực hiện đến 1 giá trị nào đó để tránh điện áp đánh thủng cách điện. (Ví dụ:
đối với không khí, cường độ điện trường không được lớn hơn 10KV/cm).
Mặt khác giữa 2 bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ sinh lực hút:
U 2 εs
Fh = − (2.96)
2 δ2
Lực này cần phải nhỏ hơn đại lượng đo. Đối với chuyển đổi mắc kiểu vi sai, lực
hút giữa 2 bản tụ có module bằng nhau nhưng ngược chiều nên bù lẫn nhau.

69
 Trong thực tế, do có điện dung ký sinh Cks hình thành ở dây nối và bản thân cấu
trúc của chuyển đổi làm độ nhạy của nó giảm đi.
∆Ctd ∆C o / C o
= (2.97)
Ctd 1 + (Cks / Co )

Ctd là điện dung tác dụng

Độ nhạy có kể đến điện dung ký sinh sẽ là:
∆XCtd / XCtd 1
S 'δ = = (2.98)
∆δ / δ o C
1 + ks
Co

∆X Ctd / X Ctd 1 1
S 'ε = =−
∆ε / ε o 1 + (∆ε / ε o ) C
2
1 + ks
Co

∆XCtd / XCtd 1 1
S 's = =−
∆s / s o 1 + (∆s / s o ) C
2
1 + ks
Co

Độ nhạy sẽ càng giảm nhiều khi tỷ số Cks/Co càng lớn.

B, Mạch đo:
Thông thường mạch đo dùng với chuyển đổi điện dung là các machj cầu
không cân bằng cung cấp bằng dòng xoay chiều. Mạch đo cần phải thực hiện các
yêu cầu sau:
+ Tổng trở đầu vào (tức là điện trở của đường chéo cầu) phải thật lớn
+ Các dây dẫn phải được bọc kim loại để tránh ảnh hưởng của điện trường
ngoài
+ Không được mắc điện trở song song với chuyển đổi làm giảm tổng trở của
nó
+ Chống ẩm tốt
+ Tần số nguồn cung cấp cần phải cao để tăng công suất ra của chuyển đổi
có thể tới hàng chục MHz.
Hình 2.23 là một số sơ đồ mạch đo dùng với chuyển đổi điện dung:
Hình 2.23a là sơ đồ mạch đo của chuyển đổi điện dung vi sai mắc theo kiểu
mạch cầu với 2 điện trở R1 và R2. Các điện dung ký sinh Cks1, Cks2, Cks3 song song
với hai điện trở và chỉ thị nên có trị số bé không đáng kể.

70
 Do điện dung của tụ nhỏ (chục µF) để đảm bảo công suất ra lớn người ta
dùng một khuếch đại có độ nhạy cao.
Cung cấp cho mạch cầu là một máy phát tần số lớn (MF). Hình 2.23b là sơ

đồ mạch cầu biến áp với 2 nhánh điện cảm, trong sơ đồ này điện dung ký sinh Cks1
và Cks2 là rất nhỏ do nối song song với 2 cuộn sơ cấp biến áp.
Hình 2.23: Các mạch đo thường dùng với các chuyển đổi điện dung

Để đo đại lượng biến thiên, cùng với mạch cầu người ta còn dùng mạch đo dòng 1
chiều. Nếu bỏ qua điện dung ký sinh của phụ tải Ct song song với điện trở Rt thì ta
có:
1
CU o = iCR i + ∫ idt
C∫
U o = iR i + idt hay (2.99)

Vi phân phương trình trên theo thời gian ta được:

dC di dC
Uo = R t Co + iR t +i (2.100)
dt dt dt
trong đó: Co là điện dung ban đầu, coi là hằng số.
Nếu gọi: iRt = Ur và Ridi/dt = dUr từ phương trình (2.92) ta có:
dC dU r dC U r
Uo = Co + Ur + (2.101)
dt dt dt R t

Với sự di chuyển nhỏ ∆δ << δo một cách gần đúng có thể viết:

71
 dC εs o dδ Co dδ
= 2 = (2.102)
dt δ o dt δ o dt

đặt giá trị dC/dt vào công thức (2.94) ta có:

dU r τ dδ
τ + Ur = 2 (Uo − Ur ) (2.103)
dt δo dt

với τ = RtCo là hằng số thời gian của mạch

Với điều kiện ∆δ << δo và Ur << Uo ta có phương trình gần đúng của
chuyển đổi dưới dạng:
dU r τ dδ
τ + Ur = 2 Uo
dt δo dt

Viết dưới dạng toán tử ta có:

τ
( τp + 1)U r = U o pδ (2.104)
δo

Độ nhạy toán tử:

U r U o τp
S( p ) = = (2.105)
δ δ o 1 + τp

và độ nhạy phức:
U r U o jτω jτω
S= = = S 'o (2.106)
δ δ o 1 + jτω 1 + jτω

với So’ = Uo/δo.

Mạch đo trên có tính chất là một khâu vi phân, để tăng độ tuyến tính của
chuyển đổi và tăng độ nhạy của mạch ta có thể dùng mạch như hình 2.24 ở hai chế
độ làm việc:

Hình 2.24: Sơ đồ mạch đo dòng một chiều

72
 - Đo biên độ rung: Trong trường hợp này hằng số thời gian τ = RtCt phải
lớn bằng cách tăng Rt (tăng điện trở vào của khuếch đại)
- Đo tốc độ (đạo hàm của di chuyển) thì ngược lại hằng số thời gian τ phải
nhỏ.
Thiết bị dùng chuyển đổi điện dung với dòng điện 1 chiều chỉ có thể khắc độ ở chế
động.
C, Ứng dụng:
+ Loại có khe hở không khí thay đổi được dùng đo những di chuyển nhỏ (từ
vài µm đến vài mm)
Nếu dùng chuyển đổi điện dung trong mạch cung cấp băng điện áp một
chiều có thể đo được tốc độ, độ dịch chuyển biến thiên và các đại lượng khác có
thể biến đổi thành di chuyển (lực, áp suất, gia tốc).
+ Loại có diện tích bản cực thay đổi dùng đo các di chuyển lớn (hơn 1cm)
và di chuyển góc (đến 270o).
+ Chuyển đổi có điện môi ε thay đổi dùng để đo độ ẩm (vải, chất dẻo), đo
mức nước, chiều dày của các vật cách điện, đo lực.
+ Chuyển đổi có tổn hao điện môi thay đổi (mạch đo dùng đo góc tổn hao
tgδ của tụ trong mạch xoay chiều) dùng để xác định các tham số vật lý của vật liệu
nào đó đặt giữa 2 bản cực…
2.5. CÁC CHUYỂN ĐỔI NHIỆT ĐIỆN:
Chuyển đổi nhiệt điện là những chuyển đổi dựa trên các quá trình nhiệt như đốt
nóng, làm lạnh, trao đổi nhiêt,… Thực tế khi đo lường các đại lượng không điện theo
phương pháp điện thường dùng 2 hiện tượng: đó là hiệu ứng nhiệt điện và hiệu ứng thay
đổi điện trở của dây dẫn hay chất bán dẫn khi nhiệt độ thay đổi. Tương ứng với 2 hiệu
ứng này ta có 2 loại chuyển đổi cặp nhiệt điện và chuyển đổi nhiệt điện trở.
1. Chuyển đổi cặp nhiệt điện:
A, Nguyên lý làm việc:
Nguyên lý làm việc của cặp nhiệt điện dựa trên hiện tượng nhiệt điện: nếu 2 dây
dẫn có bản chất hoá học khác nhau nối với nhau tại 2 điểm 1 và 2 tạo nên vòng dây
kín (hình 2.25) và tại một trong hai điểm được đốt nóng hơn so với điểm kia thì sẽ
xuất hiện một sức điện động và do đó hình thành nên dòng điện trong vòng dây. Sức
điện động đó được gọi là sức điện động nhiệt điện, là hiệu số của các hàm số nhiệt độ
của 2 điểm nối:
ET = f(t1) – f(t2) (2.107)
Mạch điện như trên gọi là cặp nhiệt điện hay cặp nhiệt ngẫu.
73
 Hình 2.25: Cặp nhiệt điện

Điểm được đốt nóng gọi là đầu công tác, điểm còn lại gọi là đầu tự do. Nếu giữ
nhiệt độ của điểm tự do (điểm 2) là hằng số f(t2) = C = const thì ta có:
ET = f(t1) – f(t2) = f(t1) – C = f*(t1) (2.108)
Đây chính là biểu thức cơ sở cho phép đo nhiệt độ bằng cặp nhiệt điện. Theo
phương pháp này, việc đo nhiệt độ (t1) sẽ dẫn tới việc đo sức điện động của cặp nhiệt
điện khi giữ cố định nhiệt độ ở đầu tự do của nó. (hình 2.25)
Vật liệu dùng để chế tạo cặp nhiệt ngẫu cần đảm bảo các yêu cầu sau:
• quan hệ giữa nhiệt độ và sức điện động nhiệt điện là một hàm đơn trị
• tính chất nhiệt điện không thay đổi
• độ bền hoá và cơ với nhiệt độ phải cao
• dẫn nhiệt tốt
• có trị số sức điện động nhiệt điện lớn
Bảng 2.1: Một số cặp nhiệt điện thông thường

Giới hạn nhiệt độ trên oC

Sức điện động nhiệt điện
TT Tên cặp nhiệt điện
với 100oC (mV)
Đo lâu dài Đo ngắn hạn

1 Platin – Platin Rôđi (90% Pt + 10% Rh) (ΠΠ) 1300 1750 0,64

Crômmel (90% Ni + 10% Cr) – Alumel (95%

2 900 1300 4,10
Ni + 5% Al) (XA)

3 Crômmel – Côpei (56% Cu + 44% Ni) (XK) 600 800 6,95

4 Đồng – Côpei 350 500 4,75

74
5 Đồng – Constantan 350 500 4,15

Vonfram (5% Reni) – Vonfram (20% Reni)

6 1800 2500 1,33
(BP - 5/20)

Hình 2.26 là một số dạng khác nhau của các chuyển đổi cặp nhiệt điện.

Hình 2.26: Sơ đồ mạch đo dòng một chiều

Cặp nhiệt điện được nối với nhau bằng phương pháp hàn và đặt trong thiết bị bảo
vệ tránh bị ăn mòn hoá học. Thiết bị này được chế tạo từ vật liệu dẫn nhiệt tốt, bền cơ
học, không thấm khí.
Thiết bị trên thường là các ống được chế tạo bằng thép đặc biệt. Đối với cặp nhiệt
điện quý, ống chế tạo được bảo vệ bằng thạch anh và gốm. Để cách điện người ta
dùng amiăng (300oC), ống thạch anh (1000oC) hoặc ống sứ (1400oC).
B, Những nguyên nhân gây sai số và cách hiệu chỉnh chúng:
Ta biết rằng phương trình biến đổi của cặp nhiệt điện trong trường hợp chung, một
cách gần đúng, có thể viết dưới dạng:
ET = At + Bt2 + Ct3 (2.109)
trong đó: ET: sức điện động nhiệt điện
t: hiệu nhiệt độ giữa đầu công tác và đầu tự do.
A, B, C: là các hằng số phụ thuộc vào vật liệu của dây làm cặp nhiệt
điện
Và độ nhạy của chuyển đổi này sẽ là:
75
 dE T
ST ≈ = A + 2Bt + 3Ct 2 (2.110)
dt
Độ nhạy không phải là hằng số mà phụ thuộc vào nhiệt độ.
Do vậy các cặp nhiệt điện công nghiệp thường cho trước một bảng sức điện động
ứng với các nhiệt độ khác nhau trong khoảng 1oC với nhiệt độ ở đầu tự do là 0oC.
Các nguyên nhân chủ yếu gây ra sai số đối với cặp nhiệt điện là:
a, Sai số do nhiệt độ đầu tự do thay đổi:
Khi khắc độ các cặp nhiệt điện, đầu tự do được đặt trong môi trường có
nhiệt độ 0oC, nhưng trong thực tế sử dụng, nhiệt độ đầu tự do đặt trong môi trường
khác 0oC.
Khắc phục sai số trên có thể có nhiều cách:
• Hiệu chỉnh hệ số k trên từng đoạn của đường cong đặc tính ET = f(t).
Hình 2.27 là đường cong biểu diễn quan hệ giữa ET = f(t) với nhiệt độ
đầu tự do 0oC.
Giả sử rằng cặp nhiệt điện có thể đo ở nhiệt độ t với nhiệt độ đầu tự do t’
> to, lúc đó:
Sức điện động E(t,to’) sẽ nhỏ hơn sức điện động E(t,to) một lượng:
∆ET = E(t,to) – E(t,to’)

ET

EX
α ∆E
EX’

ET α ∆E t
to to’ tX’ tX

Hình 2.27: Đường cong quan hệ ET = f(t)

Theo hình vẽ ta có:

76
 (t – t’) = (to’ – to)tgα/tgα’ = (to’ – to )k

k = tgα/tgα’ : gọi là hệ số hiệu chỉnh nhiệt độ đầu tự do, nó là hàm số

của t và do đó ở mỗi đoạn đường cong là khác nhau. Trong khi khắc độ,
đường cong được phân chia thành nhiều đoạn, ứng với mỗi đoạn là 100oC,
mỗi đoạn có 1 hệ số hiệu chỉnh K, và được lập thành bảng. Đối với cặp
nhiệt điện đặc tính là tuyến tính thì hệ số k bằng đơn vị.

Có thể coi k = 0,8 ÷ 1 đối với cặp nhiệt điện bình thường và k = 0,5 ÷
0,6 đối với cặp nhiệt điện quý.
• Dùng thiết bị hiệu chỉnh nhiệt độ tự động nhiệt độ đầu tự do:
Trường hợp này có thể mắc một mạch cầu trong đó 3 nhánh làm bằng
điện trở không thay đổi theo nhiệt độ (manganin) và một nhánh điện trở
thay đổi theo nhiệt độ (đồng, niken)

Hình 2.28: Cầu bù nhiệt độ tự động

Cầu được tính toán cân bằng ở nhiệt độ 0oC, mắc nối tiếp với đầu tự do
của cặp nhiệt điện. Khi điện trở của môi trường thay đổi điện trở (đồng,
niken) thay đổi theo, cầu mất cân bằng, trên đường chéo cầu xuất hiện một
điện áp ∆U. Điện áp này bù cho lượng ∆E bị giảm khi môi trường có nhiệt
độ khác 0oC. Ngoài ra, người ta còn dùng dụng cụ điện thế kế tự động tự ghi
để đo nhiệt độ của cặp nhiệt điện. Thiết bị này sẽ tự động bù nhiệt độ của
đầu tự do.
b, Sai số do sự thay đổi điện trở của đường dây, cặp nhiệt và chỉ thị:
Cặp nhiệt điện thường được đo sức điện động bằng milivonmét hoặc điện thế
kế điện trở nhỏ điều chỉnh bằng tay hoặc tự động với giới hạn đo đến 100mV.
Khi đo sức điện động bằng milivonmét, dòng điện chạy trong mạch là:
ET
I= (2.111)
R CT + R ND + R d

trong đó: ET: sức điện động nhiệt điện

77
 RCT: điện trở của chỉ thị milivonmét
RND: điện trở của cặp nhiệt điện
Rd: điện trở của đường dây dẫn
Điện áp rơi trên milivonmét là:
E.R CT
U CT = E'− I( R ND + R d ) = (2.112)
R CT + R ND + R d

Từ công thức trên ta thấy cần giữ cho RND và Rd không thay đổi. Khi khắc độ
thường được tính (RND + Rd) bằng 5Ω. Nguyên nhân gây ra sai số chủ yếu là do điện
trở của milivonmét thay đổi vì vậy điện trở của nó chọn có trị số lớn hơn 40 đến 50 lần
điện trở của cặp nhiệt điện để giảm sai số.
c, Ngoài các sai số trên còn có : sai số gây nên do đặt cặp nhiệt điện không
đúng vị trí cần đo, không đúng hướng và diện tích tiếp xúc của cặp nhiệt điện với đối
tượng đo quá nhỏ. Những sai số trên cần được khắc phục.
C, Ứng dụng:
Ứng dụng chủ yếu của cặp nhiệt điện là để đo nhiệt độ, ngoài ra còn được dùng để
đo các đại lượng không điện và điện khác như: đo dòng điện (ở tần số cao), đo hướng
chuyển đổi và lưu lượng của các dòng chảy, đo di chuyển, đo áp suất nhỏ (độ chân
không) …
2. Nhiệt điện trở:
Nhiệt điện trở là chuyển đổi có điện trở thay đổi theo sự thay đổi nhiệt độ của nó.
Tuỳ theo tác dụng nhiệt của dòng điện cung cấp chạy qua nó người ta phân ra:
nhiệt điện trở đốt nóng và nhiệt điện trở không đốt nóng.
Trong nhiệt điện trở không đốt nóng, dòng điện chạy qua nó rất nhỏ không làm
tăng nhiệt độ của điện trở và nhiệt độ của nó bằng nhiệt độ của môi trường. Nhiệt điện
trở loại này dùng để đo nhiệt độ và các đại lượng cơ học như đo dịch chuyển.
Trong nhiệt điện trở đốt nóng, dòng điện qua nó rất lớn làm nhiệt độ của nó tăng
lên cao hơn nhiệt độ môi trường, nên có sự toả nhiệt ra môi trường xung quanh. Nhiệt
điện trở loại này được dùng để đo lưu lượng, lưu tốc của dòng chảy và phân tích các
chất hoá học…
Nhiệt điện trở được chế tạo có thể bằng dây hoặc chất bán dẫn. Yêu cầu đối với
các vật liệu chế tạo là: có hệ số nhiệt độ lớn, bền hoá học khi có tác dụng của môi
trường, điện trở suất lớn, khó nóng chảy.
Để giảm tổn hao nhiệt dẫn, chiều dài điện trở phải lớn hơn đường kính dây gấp
nhiều lần (ví dụ 200 lần)

78
 A, Nhiệt điện trở dây:
Chuyển đổi nhiệt điện trở dây thông thường được chế tạo từ đồng, platin và niken,
đường kính dây từ 0,02 ÷ 0,06 mm với chiều dài từ 5 ÷ 20 mm.
♦ Nhiệt điện trở đồng:
Dải nhiệt độ làm việc của nhiệt điện trở đồng trong khoảng –50 ÷ 180oC. Phương
trình đặc trưng của nó được biểu diễn dưới dạng:
RT = Ro(1 + αt) (2.113)
trong khoảng nhiệt độ từ 0 ÷ 100oC
α: hệ số nhiệt độ của nhiệt điện trở, α = 4,3.10-3 1/oC
t: nhiệt độ
Ro: điện trở của chuyển đổi ở 0oC.
Nếu không biết giá trị của Ro ta dùng biểu thức:
RT2 = RT1(τ + t2)/(τ + t1) (2.114)
với: RT1, RT2 là các giá trị điện trở ứng với các nhiệt độ t1 và t2.
τ = 1/α là hằng số, phụ thuộc vàp loại vật liệu (τ = 234 với
đồng)
Khi tính điện trở R2 ở nhiệt độ t2 chỉ cần biết điện trở R1 ở nhiệt độ t1 bất kỳ.
♦ Nhiệt điện trở platin:
Platin có thể chịu được nhiệt độ lên đến 1200oC mà không bị ôxi hoá hoặc nóng
chảy.
Phương trình đặc trưng của nó được biểu diễn dưới dạng:
+ trong khoảng nhiệt độ từ 0 ÷ 660oC:
RT = Ro(1 + At + Bt2) (2.115)
+ trong khoảng nhiệt độ từ -180oC ÷ 0oC:
RT = Ro[1 + At + Bt2 + C(t – 100)3] (2.116)
với Ro: là điện trở ở 0oC
A, B, C: là hằng số
Đặc tính của có dạng phi tuyến. Với nhiệt độ > 660oC và < -180oC quan hệ giữa RT
= f(t) được chuẩn hoá và cho dưới dạng bảng.

79
 Nhược điểm của chuyển đổi nhiệt điện trở Platin là đặc tính phi tuyến, không dùng
được trong môi trường ôxi hoá khử, nhưng do độ bền hoá học cao, tính dẻo lớn, người
ta có thể chế tạo thành sợi rất mỏng (đến 1,25µm) nên được sử dụng rộng rãi.
♦ Nhiệt điện trở Niken:
Niken có thể sử dụng đến nhiệt độ 250 ÷ 300oC, ở nhiệt độ cao hơn quan hệ RT =
f(t) không còn đơn trị. Trong khoảng nhiệt độ từ 0 ÷ 100oC, α ≈ 5.10-3 1/oC. Tính chất
điện của Niken phụ thuộc nhiều vào tạp chất và quá trình nhiệt luyện. Ưu điểm cơ bản
của Niken là điện trở suất cao (gấp 5 lần đồng), hệ số nhiệt điện lớn cho phép chế tạo
được các chuyển đổi có kích thước nhỏ.
Hình 2.29 và hình 2.30 cho ta thấy một số loại nhiệt điện trở thường dùng trong
công nghiệp.
Hình 2.29 là sơ đồ cấu tạo của nhiệt điện trở trong đó dây nhiệt điện trở được luồn
vào 2 hoặc 4 ống sứ (2) và được bọc ngoài bằng bột ôxit nhôm (3) (ôxit nhôm cách
điện tốt, bén nhiệt và dẫn nhiệt tốt).
Hình 2.30 là cấu tạo của loại chuyển đổi nhiệt điện trở dùng trong công nghiệp,
chúng gồm có: dây (1) đặt trong ống sứ, bên ngoài là thiết bị bảo vệ (2) được chế tạo
bằng loại thép tốt không gỉ, để gắn chuyển đổi lên đối tượng do người ta dùng ổ đỡ
tĩnh hoặc động (3) và hộp đầu ra (4). Đối với loại không có hộp đầu ra như hình 2.30b.

Hình 2.29: Một số loại nhiệt điện trở thường gặp

1) Dây điện trở; 2) Vỏ bảo vệ; 3) Bột ôxit nhôm

80
 Hình 2.30: Một số loại nhiệt điện trở thường gặp
1) Dây đặt trong ống sứ; 2) Vỏ bảo vệ; 3) Ổ đỡ; 4) Hộp đầu ra

B, Nhiệt điện trở bán dẫn:

Nhiệt điện trở bán dẫn được chế tạo từ một số oxit kim loại khác nhau như CuO,
CoO, MnO v.v… Quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ của nó được biểu diễn bởi biểu
thức:
RT = AeβT (2.117)
Trong đó: A: là hằng số phụ thuộc vào tính chất vật lý của chất bán dẫn,
kích thước và hình dáng của nhiệt điện trở.
β: là hằng số phụ thuộc vào tính chất vật lý của chất bán dẫn
T: là nhiệt độ tuyệt đối
e: hằng số logarit tự nhiên
Hệ số nhiệt độ α của chất bán dẫn mang dấu âm và có giá trị từ 0,02 ÷ 0,08 1/oC,
lớn gấp 8 ÷ 10 lần kim loại và phụ thuộc nhiều vào nhiệt độ. Điện trở suất lớn do đó
kích thước của nó nhỏ.
α = -β/T2 (2.118)
Cấu tạo của nhiệt điện trở bán dẫn có thể ở dạng thanh, dạng đĩa và hình cầu.
Nhược điểm của các nhiệt điện trở bán dẫn là đặc tính nhiệt độ không tuyến tính,
khó khắc độ.
Bảng sau cho thấy những thông số của một số nhiệt điện trở dây và hình dáng
cấu tạo, thông số cơ bản của nhiệt điện trở bán dẫn.

81
 Bảng 2.2: Thông số của một số nhiệt điện trở dây

Sai số tương
Vật Khoảng Sai số tuyệt đối∆t (oC)
Điện trở đối ∆Ro/Ro
liệu nhiệt độ
Ro (Ω)
dây (oC)
Cấp I Cấp II Cấp I Cấp II Cấp III

0 ÷ 650 10 ÷ 46 ±0,05 ±0,1 ±(0,15±3.10-3t) - -

Platin
-200 ÷ 0 100 ±(0,15±4,5.10-3t) ±(0,3±6.10-3t) -

-50 ÷ 53 ÷ ±(0,3±6.10-
Đồng ±0,05 ±0,1 - ±(0,3±3,5.10-3t) 3
180 100 t)

Bảng 2.3: Cấu tạo và thông số một số nhiệt điện trở bán dẫn

Loại điện trở Hệ số nhiệt Điện trở Nhiệt độ làm Hằng số thời gian Ứng dụng
điện trở, bán dẫn việc lớn nhất trong không khí
%/oC o
C (s)

-2,4÷-3,4 1÷200 +120 85÷115 Đo nhiệt độ

Hiệu chỉnh
-2,3÷-3,4 0,01÷5 +120 85÷115
nhiệt độ

82
 -4,5÷-60 0,5÷3,0 +120 - Đo nhiệt độ

Đo nhiệt độ
biến thiên
- - - 1÷10 của chất khí
không xâm
thực

C, Mạch đo:
Mạch đo của chuyển đổi nhiệt điện trở có thể dùng mạch bất kỳ để đo điện trở
của nó. Thông thường người ta hay dùng mạch cầu không cân bằng có chỉ thị là
lôgômét hoặc cầu tự động ghi. Để giảm sai số của điện trở đường dây có thể dùng
mạch cầu 3 dây như hình 2.31.

Hình 2.31: Mạch đo dùng với chuyển đổi nhiệt điện trở
a) Mạch logomet; b) Mạch cầu 3 dây dùng logomet; c) Mạch cầu 3 dây

83
 Sai số của nhiệt kế điện trở chủ yếu là do điện trở đường dây khi nhiệt độ môi
trường thay đổi. Điện trở đường dây có thể đạt tới 5Ω trong khi đó điện trở của bản
thân nhiệt điện trở vào khoảng 40 ÷ 100Ω, do đó khi điện trở đường dây thay đổi sẽ
gây nên sai số đáng kể.
Ngoài ra, dòng điện chạy qua nhiệt điện trở gây nóng cũng làm cho điện trở tăng
gây sai số. Mặt khác, nhiệt điện trở được bọc ngoài bằng một vỏ thép nên bị tổn hao
nhiệt và gây sai số.
D, Ứng dụng:
Chuyển đổi nhiệt điện trở dùng đo nhiệt độ, đo các đại lượng không điện như đo
độ di chuyển, đo áp suất và dùng để phân tích thành phần, nồng độ của một số hợp
chất và khí.
2.6. CÁC CHUYỂN ĐỔI HOÁ ĐIỆN:
1. Nguyên lý làm việc của chuyển đổi hoá điện:
Chuyển đổi hoá điện là những chuyển đổi dựa trên các hiện tượng hoá điện xảy
ra khi cho dòng điện đi qua bình điện phân hoặc do quá trình ôxi hoá khử các điện
cực. Các hiện tượng này phụ thuộc vào tính chất của các điện cực, bản chất và nồng
độ của các dung dịch. Do đó chuyển đổi hoá điện thường là một bình điện phân chứa
một dung dịch nào đó, có 2 hay nhiều cực để nối với mạch đo lường. Giống như phần
tử của một mạch điện, chuyển đổi hoá điện có thể được đặc trưng bằng sức điện động
mà nó sinh ra, sụt áp khi dòng điện qua nó hoặc là các phần tử điện trở, điện cảm, điện
dung. Nguyên lý làm việc của các chuyển đổi này là dựa vào quan hệ giữa các thành
phần, các tính chất các dung dịch với các thông số điện nói trên. Quan hệ này phụ
thuộc vào rất nhiều yếu tố như nhiệt độ, áp suất, tốc độ dịch chuyển, các thông số khác
của dung dịch và của điện cực, do vậy phương trình biến đổi của các chuyển đổi hoá
điện là các hàm rất phức tạp.
Khi tăng một sự phụ thuộc này và giảm đến mức thấp nhất các sự phụ thuộc khác
có thể chế tạo ra các chuyển đổi hoá điện không chỉ để xác định thành phần, nồng độ
các dung dịch mà còn dùng để đo nhiều đại lượng không điện khác như các di chuyển,
áp suất, tốc độ, gia tốc…
Để hiểu được nguyên lý làm việc của các chuyển đổi hoá điện cần hiểu được các
hiện tượng điện hoá cơ bản sau:
A, Hiện tượng phân ly:
Khi hoà tan vào nước hoặc các dung dịch khác các hợp chất muối, axit, bazơ…,
phân tử của các chất này sẽ phân ly thành các ion điện tích dương (cation) và các ion
điện tích âm (anion) tạo thành dung dịch có khả năng dẫn điện. Sự chuyển động của
các hạt mang điện trong chất điện ly hay giữa chất điện ly và các điện cực chỉ diễn ra
dưới dạng chuyển động của các ion hoặc tách ion trên các điện cực.
84
 Nồng độ của dung dịch càng lớn thì điện dẫn của các dung dịch càng tăng. Điện
dẫn của nước tinh khiết bằng 0, điện dẫn của dung dịch bất kỳ được tính bằng công
thức:
γ = λfc = λa (1/Ωm) (2.119)
trong đó: c: là nồng độ tương đương hay nồng độ phân tử (gmol/lit)
f: là hệ số hoạt động của dung dịch (f = 1 ở dung dịch loãng,
giảm khi nồng độ tăng)
a = fc: là độ hoạt động của dung dịch
λ: là hệ số, còn gọi là điện dẫn tương đương.
Hình 2.32 là đặc tính của một số dung dịch.

Hình 2.32: Đặc tính của một số dung dịch

Điện dẫn của các dung dịch phụ thuộc nhiều vào nhiệt độ. Hệ số nhiệt độ của các
dung dịch điện dẫn khác nhau vào khoảng 1,5 ÷ 2,5% trên 1oC.
B, Điện thế cực:
Khi nhúng một điện cực kim loại vào nước hay dung dịch, giữa các điện cực và
dung dịch xuất hiện một điện thế gọi là điện thế cực. Điện thế cực này được tạo ra do
các ion dương kim loại đi vào dung dịch. Khi đó xác lập một trạng thái cân bằng động
giữa kim loại và dung dịch, trên bề mặt kim loại xuất hiện một điện thế nhảy cấp,
chính là điện thế cực. Khi nồng độ dung dịch thấp, các ion kim loại đi vào dung dịch
nên điện cực có thế âm hơn so với dung dịch. Ngược lại ở nồng độ cao, các ion kim
loại được tách ra bám vào bề mặt điện cực làm cho điện cực có điện thế dương so với
dung dịch. Điện thế cực không chỉ xuất hiện trên các điện cực kim loại mà còn xuất
hiện trên các điện cực phi kim loại. Người ta lấy điện cực hyđro làm điện cực chuẩn,
điện thế cực của nó bằng 0.

85
 Điện thế cực của các chất khác nhau đối với điện thế cực chuẩn không vượt quá
±3V. Ví dụ: điện thế cực Kali EoK = -2,92V; Kẽm EoZn = -0,76V; Đồng EoCu = +0,34V
(Eo là điện thế cực chuẩn với nồng độ 1g-mol/l và nhiệt độ 18oC).

+ Điện thế cực ở nhiệt độ và nồng độ bất kỳ:

RT
E = Eo + ln a (2.120)
nF

trong đó R: là hằng số khí, R = 8,3178/C

T: nhiệt độ tuyệt đối oK

n: hoá trị ion

F: hằng số Faraday, F = 96522 C/g-mol

+ Nếu hai điện cực nhúng môi trường, trên các điện cực sẽ xảy ra các phản ứng
ôxi hoá khử và tạo thành một phần tử ganvanic, sức điện động của nó bằng hiệu điện
thế giữa 2 điện cực. Mỗi điện cực gọi là bán phần tử.

RT a 1
E 12 = E1 − E 2 = E 01 − E 02 + ln (2.121)
nF a 2

Ngoài điện thế cực ra, trên biên của hai dung dịch cũng có một hiệu điện thế gọi
là điện thế biên sinh ra do độ cơ động của các ion trong 2 dung dịch khác nhau. Điện
thế biên cỡ vài milivon đến vài chục milivon.
C, Hiện tượng điện phân và sự phân cực:
Nếu cho một dòng điện chạy qua dung dịch thì sẽ xảy ra hiện tượng điện phân,
đó là quá trình biến đổi hoá học tách vật chất ra khỏi dung dịch. Để tách một gam
tương đương một chất bất kỳ ra khỏi dung dịch cần có một lượng điện tích bằng
96522 culong. Nguyên lý làm việc của các chuyển đổi điện phân dựa trên hiện tượng
này.
Hiện tượng phân cực là hiện tượng thay đổi điện thế cực do sự thay đổi nồng độ
ở gần điện cực khi có dòng điện chạy qua bình điện phân. Dựa trên hiện tượng phân
cực người ta chế tạo các thiết bị dùng để phân tích định tính và định lượng dung dịch,
thiết bị đó gọi là phân cực ký.
Nếu dòng đi qua bình điện phân là dòng xoay chiều thì điện áp phân cực cũng sẽ
biến thiên, điện áp và dòng điện lệch pha nhau một góc 90o.

86
 Điện áp rơi trên bình điện phân bao gồm điện áp rơi trên điện trở dung dịch và
điện áp phân cực trên các điện cực ∆U.
Khi đo điện trở dung dịch bằng dòng một chiều, sai số do phân cực bằng ∆U/U
và có thể đạt tới 10% nếu điện áp trên 2 cực U = 20V. Đối với dòng điện xoay chiều
sai số sẽ giảm nhiều khi ∆U << U và bằng0,5∆U/U2, vì điện áp rơi trên điện trở bình
điện phân và điện áp phân cực lệch pha nhau 90o.
2. Chuyển đổi điện dẫn dung dịch:
A, Nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi điện dẫn dung dịch hoạt động dựa vào sự phụ thuộc của điện dẫn
dung dịch với thành phần và nồng độ của chất điện phân cũng như khoảng cách l và
tiết diện s của điện cực. Một cách gần đúng phương trình của chuyển đổi có dạng:
1l 1 l
R= = (2.122)
γ s λfc s
B, Mạch đo:
Chuyển đổi điện dẫn dung dịch thường dùng với mạch cầu. Hình 2.33 là sơ đồ
chuyển đổi điện dẫn dung dịch đo nồng độ. Nó gồm: vỏ (1), điện cực Platin (2), bình
đo (3) có lỗ (4) để lắp chuyển đổi vào. Các bình này cho phép đo nồng độ dung dịch
đang chảy hoặc nhờ bơm cao su (5) để khuấy dung dịch.

Hình 2.33: Chuyển đổi điện dẫn dung dịch đo nồng độ

87
 Hằng số k = l/s trong khoảng 30 ÷ 70 1/m, được xác định bằng thực nghiệm với
sai số ±1%. Chuyển đổi được cung cấp bằng điện áp xoay chiều 50Hz ÷ 1000Hz để
loại trừ sai số do hiện tượng phân cực.
Trong công nghiệp, khi cần đo nồng độ các dung dịch người ta dùng chuyển đổi
có điện cực dạng 2 hình trụ đồng tâm và cho dung dịch cần đo chảy qua. Tuỳ theo bản
chất của dung dịch, điện cực có thể được làm bằng graphit, platin, thép không nung
hay các vật liệu khác không tương tác với dung dịch.
Để loại trừ sai số do sự phân cực, cùng với việc cung cấp bằng điện áp xoay
chiều, người ta còn dùng chuyển đổi 4 điện cực hình 2.34 trong đó có 2 bản điện cực
dòng (1 và 2) cung cấp bằng dòng điện xoay chiều ổn định và 2 điện cực áp (3 và 4)
dùng để đo điện áp.

Hình 2.34: Sơ đồ chuyển đổi dùng 4 điện cực

Để loại trừ hiện tượng phân cực và các tác dụng tương hỗ không mong muốn
khác giữa các điện cực và dung dịch, người ta dùng chuyển đổi điện dẫn không tiếp
xúc (hình 2.35).

Hình 2.35: Chuyển đổi điện dẫn không tiễp xúc

88
 Tuỳ theo tần số cung cấp cho chuyển đổi mà phân thành chuyển đổi tần thấp và
chuyển đổi cao tần.
Hình 2.35a là một chuyển đổi âm tần kiểu biến áp có cuộn dây ngắn mạch (đó là
một ống thuỷ tinh chứa dung dịch cần đo). Dòng điện trong cuộn dây sơ cấp phụ thuộc
vào tổng trở của mạch thứ cấp. Bản thân mạch thứ cấp lại có tổng trở phụ thuộc vào
nồng độ dung dịch cần đo. Chuyển đổi này dùng để đo nồng độ dung dịch có điện trở
suất trong khoảng γ = 0 ÷ 50 (1/Ωm)
Nhược điểm là kết cấu phức tạp do phải chế tạo vòng đựng chất lỏng. Gần đây để
đo các nồng độ nhỏ người ta dùng các loại chuyển đổi điện dẫn không tiếp xúc cao tần
(vài MHz).
Hình 2.35b là loại chuyển đổi điện dẫn kiểu điện dung, gồm một ống thuỷ tinh
hoặc chất dẻo có đặt các điện cực bằng kim loại ở phía ngoài.
Các chuyển đổi cao tần kiểu điện cảm (hình 2.35c) trong đó các điện cực được
thay bằng dây quấn quanh ống.
Các chuyển đổi cao tần được nối với mạch cộng hưởng do một máy phát cao tần
cung cấp (hình 2.36)

Hình 2.36: Mạch cộng hưởng cao tần

Để đo nồng độ dung dịch nhỏ có thể dùng mạch 7.32a, mạch cộng hưởng gồm
các phần tử được mắc song song với nhau. Với nồng độ lớn hơn, người ta dùng mạch
gồm các dụng cụ mắc nối tiếp. Dụng cụ được khắc độ theo mẫu có nồng độ đã biết.
C, Ứng dụng:
Chuyển đổi điện dẫn dung dịch được sử dụng rộng rãi để đo nồng độ của dung
dịch R khi giữ l và s không thay đổi:
1
R = f (γ ) = k. (2.123)
λ
89
hoặc đo các đại lượng có R = f(l/s) khi nồng độ dung dịch không đổi.
3. Chuyển đổi gavanic:
A, Nguyên lý làm việc:
Chuyển đổi Gavanic hoạt động dựa vào sự phụ thuộc của điện thế cực theo nồng
độ, và thành phần của dung dịch. Gavanic thường được dùng rộng rãi để đo hoạt độ
của các ion Hyđrô, qua đó xác định được thành phần và tính chất của dung dịch cần
nghiên cứu.
Sự phân ly của nước diễn ra như sau:
H2O = H+ + OH –
Nếu gọi aH+ và aOH- là hoạt độ của các ion H+ và OH – thì K = aH+.aOH- là một
hằng số gọi là hằng số phân ly ở nhiệt độ 25oC, K = 10-14.
Với nước sạch hoặc dung dịch trung hoà: aH+ = aOH- = 10-7
Với dung dịch axit: aH+ > aOH-
Với dung dịch kiềm: aH+ < aOH-
Trong thực tế để tiện cho việc tính toán và ghi chép, người ta dùng đơn vị pH = - lg
aH+. Vì aH+ thay đổi từ 100 ÷ 1014 nên pH nằm trong khoảng 0 ÷ 14.
Các dụng cụ đo pH được gọi là pH-mét, trong đó có chuyển đổi Gavanic. Chuyển
đổi Gavanic gồm có bán phần tử Calômen (1) và điện cực đo lường thuỷ tinh (2).
(Hình 2.37)

Hình 2.37: Cấu tạo chuyển đổi Gavanic

Điện cực bán phần tử Calomen là một ống thuỷ ngân trong đó có dung dịch
Calomen bão hoà khó hoà tan (Hg2Cl2). Sự tiếp xúc điện của bán phần tử với dung
dịch thí nghiệm cần được thực hiện qua dung dịch KCl (khoá điện ly) để giảm điện
thế khuếch tán, do trên biên của dung dịch KCl điện thế khuếch tán có trị số nhỏ.

90
 Điện cực thuỷ tinh (2) là một bình thuỷ tinh có thành mỏng (chứa Natri). Khi
nhúng bình thuỷ tinh vào dung dịch các ion Natri từ thành bình sẽ đi vào dung dịch
còn các ion Hyđrô từ dung dịch vào chiếm chỗ của chúng do đó bề mặt của lớp thuỷ
tinh được làm bão hoà bởi các ion Hyđrô và điện cực thuỷ tinh có tính chất như điện
cực Hyđrô.
Để lấy điện thế ở bên trong điện cực thuỷ tinh, bình được đổ đầy dung dịch mẫu có
pHm đã biết. Trong bình thuỷ tinh có điện cực Clorua bạc (3).
Với độ pHx cần đo, sức điện động E của chuyển đổi Gavanic có thể biểu diễn dưới
dạng:
E = Eo + b.pH (2.124)
Trong đó Eo: là suất điện động của chuyển đổi khi pH = 0
b: là hệ số phụ thuộc vào nhiệt độ và loại điện cực sử dụng.
B, Sai số:
Sai số của chuyển đổi Gavanic chủ yếu do ảnh hưởng của nhiệt độ môi trường và
điện thế biên. Sự thay đổi nhiệt độ dẫn đến sự thay đổi điện thế cực và điện trở của
chuyển đổi. Để giảm sai số này có thể dùng mạch hiệu chỉnh nhiệt độ. (xem mạch cuối
chương 1)
Sai số động của chuyển đổi có điện cực thuỷ tinh phụ thuộc vào chiều dày của
bình. Với thành bình rất mỏng (0,05mm), thế của điện cực thuỷ tinh thay đổi tức thời
theo sự thay đổi của độ pH trong dung dịch.
Khắc độ được tiến hành theo dung dịch mẫu có độ pH ổn định và có thể đạt được
với sai số tuyệt đối ±0,01pH.
C, Mạch đo:
Do tín hiệu ra của chuyển đổi Gavanic rất nhỏ (tổng trở ra lớn) nên mạch đo cần có
tổng trở vào lớn (108 ÷ 1012Ω).
Khi đo sức điện động của chuyển đổi Gavanic thường dùng mạch đo kiểu bù có
thiết bị tự động hiệu chỉnh sai số nhiệt độ.
D, Ứng dụng:
Các pH-mét công nghiệp có thể đô được độ pH của dung dịch và bùn ở nhiệt độ từ
0 ÷ 100oC với sai số cơ bản 0,02 đơn vị pH. Các pH-mét trong phòng thí nghiệm với
điện cực thuỷ tinh có màn chắn và có thiết bị hiệu chỉnh nhiệt độ đạt được sai số
không lớn hơn 0,01 đơn vị pH và dải làm việc trong khoảng từ 0 ÷ 100oC.
4. Chuyển đổi điện phân (chuyển đổi Culong):
A, Nguyên lý làm việc:

91
 Chuyển đổi điện phân hoạt động dựa trên hiện tượng điện phân. Theo định luật
Faraday, quan hệ giữa điện lượng Q và lượng vật chất tách ra trên điện cực được biểu
diễn theo phương trình:

m.n.F
Q = ∫ idt = (2.125)
A
trong đó m: khối lượng chất được giải phóng
n: hoá trị ion
A: trọng lượng nguyên tử chất
F: hằng số Faraday (F = 96522 C/g-mol)
Chuyển đổi điện phân là một khâu tích phân, đại lượng vào có thể là điện lượng Q
hoặc sự thay đổi dòng điện với thời gian t. Đại lượng ra có thể là khối lượng chất giải
phóng hoặc sự thay đổi chiều dài, điện trở của điện cực, độ trong suốt quang học của
điện cực và dung dịch.
B, Sai số và ứng dụng:
Chuyển đổi điện phân đơn giản nhất là đồng hồ thời gian hình 7.34a, dùng để đo
thời gian làm việc của các thiết bị. Nó gồm có vỏ thuỷ tinh (1) đặt 2 điện cực bằng
đồng Anốt (2) và Catốt (3). Catốt nằm trong ống mao quản, dọc theo ống mao quản có
thang chia độ 5. Dung dịch chứa trong bình là sunfat đồng CuSO4. Khi có dòng điện
một chiều đi qua sẽ xảy ra hiện tượng điện phân. Anốt tan vào dung dịch còn Catốt
được bám vào một lượng đồng làm tăng độ dài của nó.

92
 Hình 2.38: Chuyền đổi điện phân và sơ đồ mắc một chiều, xoay chiều

Với dòng điện không thay đổi, độ dài của cực Catốt khi tăng một lượng ∆l có thể
viết dưới dạng:
A I
∆l = . .t = k .t (2.126)
δnF s
trong đó δ là mật độ dòng điện
s là tiết diện Catốt
t là thời gian đo
Hình 2.38b và 2.38c tương ứng là sơ đồ mắc của đồng hồ với dòng điện một chiều
và xoay chiều. Đồng hồ thời gian trên được chế tạo với giới hạn đo 5 ÷ 10000h với
dòng chảy từ 0,01 ÷ 1mA. Sai số khoảng 5% khi cân Catốt và 20% khi tính theo thang
chia độ.
Ngoài đồng hồ thời gian, chuyển đổi điện phân còn được chế tạo thành các dụng cụ
để đo điện lượng khi phóng nạp ắcquy và các điện trở điều khiển dùng trong các mạch
điều khiển và mạch điều chỉnh.
5. Chuyển đổi Khimôtrôn:
A, Nguyên lý làm việc:

93
 Khimôtrôn là một chuyển đổi điện hoá, nguyên lý làm việc của nó (tương tự như
điốt và tranzito bán dẫn), dựa trên việc sử dụng lớp “khoá”, đó là lớp môi trường làm
nghèo đi các hạt mang điện tích. Chuyển đổi Khimôtrôn là một bình điện phân chứa
đầy dung dịch IottuaKali được duy trì dưới dạng ôxi hoá và dạng khử của một loại ion
nhất định. Các điện cực được làm bằng kim loại không tương tác hoá học với chất
điện phân (vàng, bạch kim…)
Khi ở dạng dung dịch, IottuaKali phân ly thành:
KI = K+ + I-
Nếu ta đặt vào hai điện cực Anốt và Catốt một điện áp cỡ 1V. Các ion sẽ chuyển
động và dẫn điện. Điện dẫn của dung dịch chủ yếu là do các anion I-, còn cation K+
không tham gia dẫn điện vì Catốt có điện thế âm cỡ -2V (trong khi đó điện thế thoát
của K+ khoảng –1,8V)
Dưới tác dụng của điện trường giữa Anốt và Catốt, các ion I- di chuyển đến Anốt
và cho Anốt điện tử để tạo thành I-3:
3I- → I-3 + 2e
Các ion I- giảm liên tục và rất nhanh cho đến khi dòng điện giảm đến không (I = 0)
do I- biến hết thành I-3. Nhờ sự khuếch tán trong dung dịch, các ion I-3 chạm vào cực
Catốt, chúng nhận được điện tử để tạo thành dòng khuếch tán:
I-3 + 2e → 3I-
Dòng điện khuếch tán này rất nhỏ cỡ 10µA ở nhiệt độ bình thường. Bằng phương
pháp nào đó người ta đẩy các ion I-3 về điện cực Catốt, các ion I-3 nhận điện tử để biến
thành 3I- và dòng điện tăng lên rất nhanh.
Dòng điện I phụ thuộc chủ yếu vào lượng chuyển động của ion I-3 về phía Catốt,
tức là phụ thuộc vào tác động của đại lượng cơ học nào đó.
B, Sai số:
C, Ứng dụng:
Ứng dụng chủ yếu của chuyển đổi Khimôtrôn là dùng trong các dụng cụ đo áp
suất, gia tốc và tạo thành điốt điện hóa.
Hình 2.39 là ví dụ về một loại chuyển đổi Khimôtrôn được chế tạo thành thiết bị
đo áp suất và đặc tính Von-Ampe của nó (hình 2.40). Thiết bị gồm có bình (1) được
gắn kín bởi 2 màng đàn hồi (2).
Bên trong bình gồm có cực Catốt làm bằng Platin (3) có lỗ ở giữa để dung dịch đi
qua, hai Anốt (4) được đặt ở hai phía của Catốt, đó là những tấm lưới Platin, bên trong
bình chứa dung dịch KI. Khi các điện cực được mắc với nguồn điện ngoài, dung dịch
ở trạng thái đứng yên, dòng điện chạy trong mạch rất yếu và chủ yếu là dòng khuếch
94
tán (hình 2.40). Dưới tác dụng của áp suất bên ngoài, màng đàn hồi ép dung dịch KI
có các ion I-3 qua lỗ của Catốt (3). Các ion I-3 nhận điện tử tạo thành 3I- và dòng điện
tăng lên.
Dòng chảy của dung dịch qua lỗ càng nhiều, dòng càng tăng nhanh nhưng các
đường cong đặc tính hình 2.40.

Hình 2.39: Chuyền đổi Khimôtrôn

Hình 2.40: Đặc tính Vôn-Ampe của chuyền đổi Khimôtrôn

95
 Hình 2.41: Chuyển đổi đo gia tốc góc
1) Bình chứa dung dịch; 2) Ống chứa dung dịch

Các đường cong này tương tự như đặc tính Von-Ampe của tranzito. Hình 7.36 là
sơ đồ nguyên lý của chuyển đổi đo gia tốc góc. Trong chuyển đổi này không có màng
đàn hồi, bình chứa dung dịch có dạng ống tròn. Dưới tác dụng của gia tốc góc, dung
dịch bị di chuyển qua lỗ của cực Catốt và dòng điện thay đổi theo sự thay đổi gia tốc.
2.7. CÁC CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TỬ VÀ ION:
1. Phân loại:
Nhóm các chuyển đổi điện tử và ion là nhóm gồm nhiều loại chuyển đổi khác
nhau. Nguyên lý làm việc của các loại chuyển đổi này dựa vào sự thay đổi dòng ion và
dòng điện tử dưới tác động của các đại lượng đo. Người ta chia các chuyển đổi điện tử
và ion thành 2 loại: chuyển đổi điện tử và chuyển đổi ion hoá.Trong các chuyển đổi
điện tử, chúng được phân thành: chuyển đổi tự phát xạ điện tử, chuyển đổi phát xạ
nhiệt điện tử và chuyển đổi phát xạ quang điện tử.
2. Chuyển đổi tự phát xạ điện từ là các đèn 2 cực:
Dưới tác dụng của điện trường mạnh (với điện áp trên Anốt và Catốt cỡ 3000V),
các điện tử bắn ra khỏi Catốt. Trên đường đi chúng ion hoá các phân tử khí tạo thành
các ion dương và ion âm. Dòng điện chảy từ Anốt đến Catốt thay đổi theo mật độ
không khí trong đèn 2 cực.
Ứng dụng nguyên lý trên người ta chế tạo các thiết bị đo áp suất thấp còn gọi là
các chân không kế. Ví dụ: chân không kế loại BM B-1 của Liên Xô cũ đo độ chân
không 2.10-6 ÷ 8.10-4 mmHg.
3. Chuyển đổi có phát xạ nhiệt điện tử:
Các loại chuyển đổi này được chế tạo dưới dạng đèn điện tử hai cực và ba cực. Do
Catốt bị đốt nóng, các điện tử bắn ra khỏi nó và dưới tác dụng của điện trường, các
điện tử chuyển động từ Anốt đến Catốt. Trên đường đi của điện tử, chúng làm ion hoá

96
không khí tạo thành các ion dương và ion âm, cũng như loại chuyển đổi tự phát xạ
điện tử, chuyển đổi loại này dùng đo độ chân không tới 10-6 mmHg.
Nếu giữ cho đèn có độ chân không ổn định , dòng điện chạy trong mạch phụ thuộc
vào khoảng cách giữa 2 cực Anốt và Catốt. Ứng dụng hiện tượng trên, người ta chế
tạo các thiết bị đo các đại lượng cơ như đo độ dịch chuyển, đo áp suất…
4. Chuyển đổi có phát xạ quang điện tử:
Dưới tác dụng của các dòng ánh sáng với bước sóng thích hợp chiếu vào Catốt,
điện tử từ Catốt bị bật ra tạo thành dòng điện. Chuyển đổi quang điện được phân thành
3 loại:
+ Tế bào quang điện: là phần tử quang điện sử dụng hiệu ứng quang điện
ngoài. Đó là một đèn chân không hay có khí mà Catốt của nó sẽ phát ra các điện tử
dưới tác dụng của dòng ánh sáng.
+ Quang điện trở: là loại chuyển đổi quang điện dựa vào hiệu ứng quang
điện trong. Điện trở của một vài chất bán dẫn thay đổi dưới tác dụng của dòng ánh
sáng. Các chất có hiệu ứng quang điện trong mạnh là Selen, muối Sunfit Cadimi, hợp
chất của Tal, Bismut hoặc chì với lưu huỳnh.
+ Phôtô điốt (Van quang điện) là chuyển đổi quang điện, dưới tác dụng của
ánh sáng, lớp khoá của một số mặt ghép các chất bán dẫn sẽ trở thành nguồn dòng
điện.
5. Ứng dụng của chuyển đổi quang điện:
Chuyển đổi quang điện dùng để đo các đại lượng không điện khác nhau. Chúng rất
khác nhau về kết cấu và hệ thống quang học, điều đó xác định tác dụng của dòng ánh
sáng lên phần tử quang điện. Song về cơ bản có thể phân các chuyển đổi quang điện
thành 2 nhóm:
+ Nhóm 1: gồm các chuyển đổi làm việc trong chế độ điều biến biên độ,
dòng quang điện phụ thuộc vào đại lượng không điện cần đo. Do đó, chúng đòi hỏi
các đặc tuyến không bị phụ thuộc vào thời gian và tác động của các nhân tố bên ngoài
(như nhiệt độ, điện áp nguồn dao động…).
+ Nhóm 2: gồm các chuyển đổi làm việc trong chế độ điều biến tần số (điều
tần), dòng quang điện không phải là hàm của đại lượng cần đo.
Hình 2.42 là ví dụ các phương pháp sử dụng các chuyển đổi quang điện để đo các
đại lượng không điện.
Hình 2.42a: đối tượng A là nguồn sáng, dòng ánh sáng của nó di chuyển đến
chuyển đổi quang điện làm thay đổi đặc tính của đèn. Ứng dụng nguyên lý trên người
ta chế tạo các thiết bị như hoả quang kế cường độ sáng để đo nhiệt độ bằng phương
pháp không tiếp xúc.
97
 Hình 2.42b: đèn sợi đốt hay nguồn sáng bất kỳ đóng vai trò là nguồn phát sáng,
dòng ánh sáng khi đi đến phần tử quang điện phải qua đối tượng đo A và bị hấp thụ
một phần, mức độ hấp thụ nhiều ít phụ thuộc vào tham số cần đo của bình A. Đó là
các thiết bị so màu dùng để đo độ đục và độ trong suốt của dung dịch và môi trường
khí.
Hình 2.42c: nguồn sáng (đèn Đ) chiếu sáng đối tượng A và được phản chiếu trở lại
đến phần tử quang điện. Khả năng phản xạ của đối tượng A phụ thuộc vào chất lượng
và trạng thái bề mặt và có thể là hàm số của đại lượng cần đo, ví dụ dụng cụ đo độ
bóng chi tiết, đo tốc độ quay của trục quay…
Hình 2.42d: nguồn sáng Đ đến phần tử quang điện bị chắn bởi lá chắn A. Mức độ
chắn tuỳ thuộc vào vị trí của lá chắn tức là tuỳ thuộc vào độ di chuyển của nó. Đó là
cơ sở của dụng cụ đo độ di chuyển, các bộ đếm…

Hình 2.42: Các phương pháp sử dụng các chuyển đổi quang điện

6. Chuyển đổi ion hoá:

a, Nguyên lý làm việc:
Dưới tác dụng của các tia phóng xạ và tia Rơnghen, chất khí sẽ bị ion hoá. Nếu
bình ion hoá được đặt một điện áp thì các điện tử và ion sẽ chuyển động có hướng tạo
thành dòng điện ion.
Dòng ion phụ thuộc vào điện áp đặt lên bình, tính chất của tác nhân ion, môi
trường ion hoá, vật liệu của thành bình và các vật thể khác nằm trên đường đi của các
tác nhân ion hoá. Các tác nhân ion hoá là các tia phóng xạ như tia α, tia β, tia γ và tia
Rơnghen.

98
 Chuyển đổi ion hoá có nhiều loại khác nhau, song bất kỳ loại nào cũng cần có
nguồn phóng xạ và thiết bị thu các sản phẩm của quá trình ion hoá để tạo thành dòng
điện.Thiết bị đó gọi là bộ thu bức xạ.
b, Bộ thu bức xạ:
Có nhiệm vụ biến đổi năng lượng bức xạ hạt nhân thành điện năng. Bộ thu bức xạ
dựa vào hiện tượng ion hoá chất khí khi cho tia phóng xạ đi qua nó hoặc dựa vào hiện
tượng phát quang của một số chất dưới tác dụng của năng lượng bức xạ hạt nhân.
Có 3 loại bình thu bức xạ:
+ Bình ion hoá
+ Máy đếm phóng điện trong chất khí
+ Máy đếm nhấp nháy.
Hình 2.43a là đặc tính Von-Ampe của bình ion hoá và hình 2.43b cấu tạo của một
bình ion hoá bằng tia α. Dòng quang điện thường rất nhỏ (cỡ 10-3 ÷ 10-7 µA). Điện áp
đặt lên điện cực cao áp (vỏ bình) cỡ hàng nghìn Von, dòng điện ion lấy qua cực lưới
được khuếch đại bằng bộ khuếch đại đo lường.

Hình 2.43: Cấu tạo và đặc tính Vôn-Ampe của bình ion hoá
Để tránh dòng điện dò, cách điện giữa cực lưới và vỏ (cực cao áp) phải đạt tới
(10 ÷ 1013 MΩ), vì thế điện cực lưới được bọc bởi cực bảo vệ nối đất với mạch đo
8

lường để thu dòng điện dò từ cực cao áp.

Ứng dụng của các chuyển đổi ion hoá dùng để đo các đại lượng không điện như
chiều dày lớp phủ bề mặt các chi tiết, đo di chuyển, đo áp suất (100 kN/m2 ÷ 0,1
N/m2), tốc độ dòng khí, tạp chất trong không khí…
2.8. CÁC CHUYỂN ĐỔI LƯỢNG TỬ:
99
 Là loại chuyển đổi dựa trên hiện tượng vật lý hạt nhân nguyên tử. Ta hãy xét sau đây
một loại chuyển đổi lượng tử phổ biến nhất, đó là chuyển đổi dựa trên hiện tượng công
hưởng từ hạt nhân. Trong những năm 1960, giáo sư S.A.Spektor ở trường đại học Bách
khoa Pêtecbua đã sử dụng hiện tượng cộng hưởng từ hạt nhân vào kỹ thuật đo lường. Nhờ
đó việc đo cường độ từ trường cũng như các đại lượng khác có quan hệ với nó chẳng hạn
như dòng điện lớn đã nâng cao được độ chính xác lên rất nhiều lần.
1. Nguyên lý làm việc của chuyển đổi:
Ta biết rằng nhiều hạt nhân nguyên tử có chứa một mômen từ được gọi là dipol khí
hiệu là µ và mômen khối lượng chuyển động được gọi là spin p. Tỷ số của các mômen ấy
là γ=µ/p gọi là hệ số thuỷ từ của hạt nhân. Nó là một hằng số mà đại lượng của nó không
phụ thuộc vào các điều kiện bên ngoài.

100
 Hình 2.44: Chuyển đổi lượng tử

Nếu ta đặt vật liệu (ví dụ: nước nặng) trong một ống thí nghiệm. Sau đó đặt cả ống
nghiệm vào trong một từ trường đều (hình 44a) có độ từ cảm B thì các mômen từ µ sẽ
quay xung quanh vectơ B (hình 44b). Lúc đó mômen lực M tác dụng lên các mômen từ µ
được thể hiện bằng phương trình:
M = µB (2.127)

còn phương trình chuyển động sẽ có dạng:

dP
= M = µB (2.128)
dt
Nhưng mặt khác:
dP
= Pω (2.129)
dt
ω - là tần số quay của mômen từ xung quanh B.
Từ đó ta có:
µB = Pω

µB
Suy ra: ω= = γB (2.130)
P
Nếu trong mặt phẳng vuông góc với từ trường B ta tạo ra một từ trường xoay chiều
G
B ′ có tần số cao cùng quay với mômen dipol thì khi vectơ B ′ quay đồng bộ với các
mômen từ dipol µ sẽ gây ra sự thay đổi của từ trường cao tần và sẽ xuất hiện mômen tác
101
động lên dipol µ làm cho góc ϕ giữa B và µ thay đổi. Khi có sự cân bằng giữa tần số
quay ω của mômen từ µ xung quanh B và tần số quay của vectơ B ′ sẽ sinh ra cộng
hưởng. Đó là hiện tượng cộng hưởng từ hạt nhân.
Như vậy có thể xác định B theo giá trị tần số cộng hưởng ω và hệ số thuỷ từ γ. Hệ số γ
đối với mỗi chất có thể xác định chính xác đến 0,001% còn sai số đo ω có thể đạt đến
0,001% bằng tần số kế chỉ thị số. Cho nên nếu sử dụng loại chuyển đổi này có thể đo độ
từ cảm của từ trường với độ chính xác cao hơn hẳn các phương pháp thông thường khác.
2. Sai số:
Sai số của phép đo từ trường này phụ thuộc các yếu tố sau:
+ Sai số do tần số có thể đạt đến 0,001%
+ Sai số do việc xác định hệ số thuỷ từ là 0,001%
+ Sai số do việc tìm điểm cộng hưởng có thể đạt 0,05 ÷ 0,1%
Do đó phép đo từ trường này có thể đạt đến sai số 0,1 ÷ 0,2%. Trong khi đó bằng các
phương pháp thông thường sai số cỡ 1,5 ÷ 2%.
3. Mạch đo:
Một ống nghiệm (1) chứa một chất (ví dụ nước nặng D) đặt vào trong một cuộn dây
(2). Cuộn dây này cùng với điện dung C (có thể thay đổi được) tạo thành một máy phát
cao tần LC. Ống nghiệm và cuộn dây được đặt trong một từ trường đều có độ từ cảm cần
đo Bx của nam châm vĩnh cửu (4). (hình 2.45)
Hình 2.45: Mạch đo của chuyển đổi cộng hưởng từ hạt nhân

102
 Khi xảy ra hiện tượng cộng hưởng từ hạt nhân là lúc mà tần số quay của prôtôn (hạt
nhân Hyđrô) bằng tần số của máy phát cao tần ở một giá trị nào đó của độ từ cảm B. Ở
trạng thái đó sẽ xảy ra sự mất mát năng lượng làm giảm biên độ dao động của máy phát.
Để nhắc lại hiện tượng cộng hưởng và nhận được tín hiệu liện tục, từ trường không thay
đổi Bx được điều chế bởi một từ trường xoay chiều có tần số thấp 50Hz bằng một cuộn
dây phụ (3) đặt trong từ trường. Như vậy điện áp cao tần của máy phát cũng bị điều chế.
Sau đó vào khuếch đại cao tần qua tách sóng vào khuếch đại âm tần và đi đến 2 bản cực Y
của dao động ký điện tử.
Mặt khác ta đưa tín hiệu điều chế 50Hz qua bộ điều chỉnh pha vào 2 bản cực Y của
dao động ký.
Quá trình này được biểu diễn ở hình 2.46a tín hiệu điều chế 50Hz có chu kỳ là TM.
Cứ mỗi chu kỳ TM điều kiện cộng hưởng được nhắc lại 2 lần. Vì khi tín hiệu điều chế đi
qua điểm “0” giá trị B tại đó có cộng hưởng sẽ nhắc lại. Như thế trên màn hình của dao
động kế sẽ xuất hiện 2 tín hiệu (hình 2.46b).
Điều chỉnh pha của tín hiệu điều chế vào 2 cực X của dao động ký ta có thể tách
thành 2 tín hiệu như hình 2.46b. Điểm giao nhau ở giữa Đ sẽ là điểm cộng hưởng. Khi
điểm Đ đạt vị trí ở giữa màn hình của dao động ký thì ta đo tần số cao tần bằng tần số kế
chỉ thị số. Từ đó theo công thức (2.123) ta tính được giá trị độ từ cảm Bx cần đo.

Hình 2.46: a, Tín hiệu cộng hưởng từ hạt nhân

b, Tín hiệu cộng hưởng trên màn hình dao động ký điện tử

103
 4. Ứng dụng:
Phương pháp kể trên được dùng để đo độ từ cảm của từ trường đều từ 0,005T trở đi.
Giới hạn đo phụ thuộc vào hạt nhân nguyên tử của chất mà ta sử dụng.
Ví dụ: Nếu hạt nhân là Hyđrô (H2) thì ta có thể đo từ trường đến 0,5T
Nếu dùng Li7 thì đo từ 0,5 ÷ 1,0T
Nếu là nước nặng D thì có thể đo được từ 1,0T trở đi.
Ngoài việc đo từ trường, phương pháp này còn được sử dụng rộng rãi trong thực tế
để đo dòng điện lớn. Trong lĩnh vực Y học, người ta sử dụng loại chuyển đổi này để chế
tạo máy chụp cắt lớp (TURBOGRAPH) là loại máy hiện đại để phát hiện các khối u trong
não hoặc trong cơ thể thay cho việc sử dụng tia X độc hại.
5. Chuyển đổi cộng hưởng từ điện tử:
Ngoài chuyển đổi cộng hưởng từ hạt nhân người ta còn sử dụng chuyển đổi cộng
hưởng từ điện tử. Trong chuyển đổi này phương pháp và thiết bị để tìm cộng hưởng giống
như đối với chuyển đổi cộng hưởng từ hạt nhân.
Hệ số thuỷ từ điện tử được tính theo công thức sau:
e
γ dt = (2.131)
2m e C

Trong đó: e: điện tích của điện tử

me: khối lượng của điện tử
C: tốc độ ánh sáng
So sánh với cộng hưởng từ hạt nhân thì cộng hưởng từ điện tử có:
+ Hệ số thuỷ từ lớn hơn gấp 103 lần và tần số cộng hưởng cũng lớn hơn cỡ 3 lần.
+ Tín hiệu cộng hưởng từ điện tử cũng lớn hơn tín hiệu cộng hưởng từ hạt nhân vì
thế mà có thể đo Bx nhỏ hơn (từ 1.10-5 ÷ 5.10-4T) mà phương pháp cộng hưởng từ
hạt nhân khó có thể đạt được.
+ Sai số của phương pháp cộng hưởng từ điện tử lớn hơn cộng hưởng từ hạt nhân vì
độ rộng của cộng hưởng khá lớn do vậy mà việc tìm cộng hưởng vấp phải sai số
lớn hơn.
+ Cộng hưởng từ điện tử cũng sử dụng để đo từ trường đều và các đại lượng liên
quan đến từ trường đều.

104
CHƯƠNG 3:
CẢM BIẾN THÔNG MINH

3.1. SỰ RA ĐỜI CỦA CẢM BIẾN THÔNG MINH

Cảm biến làm nhiệm vụ biến đổi từ đại lượng đo phi điện thành điện trong
các hệ thống thông tin đo lường và điều khiển. Đây là khâu cơ bản nhất quyết định
sai số của hệ thống đo hay dụng cụ đo. Việc cải tiến các đặc tính kỹ thuật của cảm
biến nhằm giảm thiểu các sai số của chúng vẫn luôn được quan tâm và nghiên cứu.
Một trong những cách làm đem lại nhiều hiệu quả nhất hiện nay chính là việc áp
dụng các thành tựu của công nghệ vi điện tử và tin học trong đo lường. Với những
tính năng ưu việt mà các bộ vi xử lý, vi điều khiển (khi kết hợp chúng với các bộ
cảm biến khác nhau) đem lại như: khả năng tự động chọn thang đo, tự động xử lý
kết quả đo, thông tin đo và bù sai số... đã khiến cho xu hướng này được nhanh
chóng ứng dụng một cách rộng rãi trên thế giới. Ngoài ra, với sự phát triển mạnh
mẽ của kỹ thuật chip điện tử, giá thành của chúng cũng không quá đắt thậm chí
làm cho giá thành của các bộ cảm biến thông minh tăng lên không đáng kể so với
các cảm biến thông thường khác.
Việc kết hợp vi xử lý với các cảm biến thông thường tạo nên cảm biến
thông minh với các ưu điểm vượt trội điển hình như:
• Sử dụng đa chức năng, có thể đo nhiều đại lượng khác nhau với các
khoảng đo khác nhau.
• Có khả năng chương trình hoá với ý nghĩa là quá trình đo có thể theo
một chương trình định trước, chương trình này có thể thay đổi bằng các
thiết bị ghi chương trình.
• Tự động xử lý kết quả đo: tự động khắc độ, tự động chọn thang đo, tự
động bù sai số hệ thống và ngẫu nhiên, tự động bù ảnh hưởng các yếu tố
khác nhau, tự động truyền kết quả đo lên cấp trên.
3.2. VI ĐIỆN TỬ HOÁ CÁC CHUYỂN ĐỔI SƠ CẤP
Để nâng cao tính năng của các cảm biến, người ta đã cố gắng đưa công nghệ vi
điện tử vào các chuyển đổi đo lường sơ cấp điển hình hoá chúng và nâng cao đặc tính kỹ
thuật của chúng làm phần tử cơ bản của cảm biến thông minh.
1. Chuyển đổi điện trở:
Người ta đã làm ra các nhiệt điện trở chính xác và thậm chí các cầu đo bằng
kỹ thuật vi điện tử. Người ta cũng đã chế tạo ra các chuyển đổi điện trở lực căng
bằng công nghệ này, nuôi cấy đa tinh thể trên đơn tinh thể được ứng dụng trong
các cảm biến đo trọng lượng (cân), các áp kế (đo áp suất) và các hiệu áp kế (đo lưu
105
 lượng). Người ta cũng đã chế tạo cả các điện trở bù nhiệt độ ngay trên các cảm
biến để loại trừ ảnh hưởng của nhiệt độ lên kết quả đo.
Nhiệt độ, áp suất, lưu lượng là ba đại lượng thường gặp nhất trong các hệ
thống tự động hoá quá trình sản xuất. Các chuyển đổi điện trở lực căng này được
nuôi cấy trên màng kim loại, vì thế không bị ảnh hưởng của hiện tượng trượt gây
nên bởi công nghệ dán điện trở.
2. Chuyển đổi quang điện:
Phôtô điốt, ôptrôn, ống dẫn quang với công nghệ vi điện tử sẽ đạt được kích
thước nhỏ và hiệu quả cao. Optron kết hợp với cáp quang làm tăng hiệu quả của
các phương pháp đo quang điện.
Ví dụ: thiết bị đo tốc độ (optron tachometic) các quang kế, quang phổ kế,
các máy so màu đo độ đục đã có kích thước giảm một cách đáng kể, dẫn đến giảm
bớt kích thước mẫu thử và thậm chí có thể thực hiện phép đo tại chỗ trong cơ thể.
Các cảm biến được kết hợp với khả năng xử lý của máy tính đã trở thành các thiết
bị phân tích thông minh.
3. Công nghệ màng bán thấm có chọn lọc:
Công nghệ này tạo ra được các chuyển pHmét với các khuếch đại bán dẫn
trường ở đầu vào đạt kích thước không quá 1mm, cho phép linh hoạt hoá các phép
đo pH với các yêu cầu khác nhau.
Trong phân tích nồng độ vật chất, màng lọc có chọn lọc trở thành những bộ
phận rất quý, các máy phân tích khí hậu hiện đại có độ chọn lọc cao với nồng độ
thấp.
Nghiên cứu các cảm biến đa chức năng với chuyển đổi sơ cấp điện tử là một
nội dung của việc nghiên cứu để tạo ra các cảm biến thông minh.
3.3. XỦ LÝ SƠ BỘ KẾT QUẢ ĐO TRONG CẢM BIẾN THÔNG MINH
Trong các cảm biến thông minh, người ta sử dụng khả năng tính toán của
các bộ vi xử lý để nâng cao các đặc tính kỹ thuật của bộ cảm biến như: nâng cao
độ chính xác, loại trừ sai số phi tuyến, bù ảnh hưởng của yếu tố môi trường...
3.3.1. Tự động khắc độ:
Quá trình tự động khắc độ tiến hành như sau:
Ban đầu, tiến hành đo các giá trị của đại lượng vào chuẩn để ghi vào bộ
nhớ, sau đó đo các giá trị của đại lượng cần đo và bằng các công cụ toán học (thuật
toán) có thể so sánh, gia công kết quả đo và loại trừ sai số. Công việc này được
thực hiện cho từng cảm biến. Khi mắc cảm biến vào hệ thống, vi xử lý làm nhiệm
vụ điều khiển tín hiệu chuẩn thay đổi, bộ nhớ sẽ ghi lại các giá trị ở đầu ra y của
cảm biến một cách tương ứng.

106
 Khi đo, đại lượng đo x tác động vào cảm biến tương ứng với giá trị nào của
x thì bộ nhớ sẽ đưa ra giá trị tương ứng của tín hiệu chuẩn đã được ghi từ trước.
Với cách làm đó, chúng ta có thể loại trừ được các sai số phi tuyến của đặc tính
của cảm biến mà các dụng cụ số thông thường không làm được. Phương pháp này
đòi hỏi các cảm biến phải hoàn toàn giống nhau để trong trường hợp hỏng hóc cần
thay thế sẽ không gây ra sai số đáng kể. Nếu không, khi thay thế cảm biến mới
không hoàn toàn giống thì phải tiến hành khắc độ lại.
3.3.2. Xử lý tuyến tính hoá từng đoạn:
Trường hợp đặc tính của tín hiệu x sau cảm biến là một hàm phi tuyến của
đại lượng đo ξ, tức là x(ξ) là một hàm phi tuyến. Thay vì khắc độ đặc tính đo vào
bộ nhớ như trên, ta có thể thay thế đặc tính x(ξ) bằng một đường gấp khúc tuyến
tính hoá từng đoạn với sai số εo cho trước tức là sai số xấp xỉ hoá không vượt quá
εo. Đó chính là phương pháp nội suy tuyến tính.
Thuật toán lưạ chọn đoạn tuyến tính hóa như sau:
• Ở giá trị ξo của đại lượng đo đường cong x(ξ) cho tương ứng một giá trị
xo.
xo được lưu lại trong RAM của vi xử lý
• Ở giá trị ξ1 của đại lượng đo đường cong x(ξ) cho tương ứng một giá trị
x1.
x1 được lưu lại trong RAM của vi xử lý
• Ở giá trị ξ2 của đại lượng đo đường cong x(ξ) cho tương ứng một giá trị
x2.
x2 được lưu lại trong RAM của vi xử lý
• Tính tỷ số các số gia bậc một của đa thức nội suy Lagrange x *1 (ξ ) đi qua
x2 − xo
2 điểm xo, x1: ∇ (ξ 2 , ξ o ) =
ξ2 − ξo

• Tính giá trị của đa thức nội suy ở điểm ξ1:

x *1 ( ξ 1 ) = x o + ∇ ( ξ 2 , ξ o )(ξ 1 − ξ o )

• Tính độ sai lệch ở điểm ξ1:

ε 1 ( ξ 1 ) = x 1 − x *1 ( ξ 1 )

• So sánh ε1(ξ1) với sai số đã cho εo. Nếu ε1(ξ1) < εo thì giá trị tín hiệu sẽ
không được chấp nhận.

107
• Ở điểm ξ3 ta có x3
• Giá trị của x3 được lưu trong RAM
• Tính tỷ số các số gia bậc một của đa thức nội suy Lagrange x *2 (ξ) :
x3 − xo
∇ (ξ 3 , ξ o ) =
ξ3 − ξo

• Tính giá trị của đa thức nội suy ở các điểm ξ1, ξ2:
x *2 ( ξ 1 ) = x o + ∇ (ξ 3 , ξ o )(ξ 1 − ξ o )

x *2 ( ξ 2 ) = x o + ∇ (ξ 3 , ξ o )(ξ 2 − ξ o )

• Tính độ sai lệch ở điểm ξ1, ξ2:

ε 2 ( ξ 1 ) = x 1 − x *2 ( ξ 1 )

ε 2 ( ξ 2 ) = x 2 − x *2 ( ξ 2 )

⎧ ε 2 (ξ 1 ) < ε o
• So sánh ε2(ξ1) và ε2(ξ2) với sai số đã cho εo. Nếu ⎨ thì giá trị
⎩ε 2 ( ξ 2 ) < ε o
tín hiệu sẽ không được chấp nhận và không được coi là điểm cuối của
đoạn tuyến tính hoá.
• Ở điểm ξk nào đó ta có xk và đa thức nội suy sẽ là:
x *k −1 (ξ j ) = x o + ∇(ξ k , ξ o )(ξ j − ξ o )

xk − xo
∇ (ξ k , ξ o ) =
ξk − ξo

mà ta có ε k −1 (ξ j ) = x j − x *k −1 (ξ j ) ≥ ε o

đối với một điểm j nào đó, thêm vào đó 0 < j < k.
• Khoảng nội suy lúc đó sẽ bằng:
108
 ∆∇ξ k = ξ k − ξ o

Lúc đó giá trị xk sẽ được chấp nhận như là điểm cuối của đoạn thẳng của
đường xấp xỉ hoá từng đoạn.
• Với phép nội suy tuyến tính, quá trình hồi phục sẽ được tiến hành bằng
cách nối liền các điểm bằng các đoạn thẳng:
xk − xo
x * (ξ ) = x o + (ξ − ξ o )
ξk − ξo

Đoạn thẳng tiếp theo sẽ đi qua điểm ξk và giá trị của quá trình tuyến
tính hoá từng đoạn.
Một cách tổng quát: đoạn thẳng thứ i của đường gấp khúc có dạng:
x i +1 − x i
x *k (ξ) = x i + (ξ − ξ i )
ξ i +1 − ξ i

Để phục hồi các giá trị đo ta chỉ việc tính x *i (ξ) theo đối số ξ là các
đại lượng đo được từ cảm biến. Các giá trị tính được theo đường nội suy
tuyến tính luôn luôn đảm bảo sai số cho phép là εo.
3.3.3. Gia công kết quả đo:
Khi tính toán sai số ngẫu nhiên, người ta thường sử dụng các đặc tính của
chúng, đó là kỳ vọng toán học và độ lệch bình quân phương. Các đặc trưng thống
kê này để đánh giá sai số của kết quả đo. Việc tính các đặc tính số này là nội dung
cơ bản trong quá trình gia công kết quả đo.
Để tính kỳ vọng toán học và độ lệch bình quân phương ta phải có số lượng
các phép đo rất lớn. Tuy nhiên trong thực tế số lượng các phép đo n là có hạn, vì
thế ta chỉ tìm được ước lượng của kỳ vọng toán học và độ lệch bình quân phương
mà thôi. Thường các ước lượng đối với các lượng đo vật lý có các tính chất cơ bản
là các ước lượng có căn cứ không chệch và có hiệu quả.
3.4. CẤU TRÚC CỦA CẢM BIẾN THÔNG MINH
Qua những phân tích về chuyển đổi sơ cấp, về các nội dung phải xử lý trong các hệ
thống đo lường các đại lượng vật lý có thể suy ra cấu trúc của cảm biến thông minh sẽ
bao gồm:
• Các chuyển đổi sơ cấp dùng để biến đổi đại lượng cần đo thành đại
lượng điện. Các đại lượng này có thể chính là đại lượng chủ cần thiết
cho phép đo, cũng có thể là đại lượng ảnh hưởng dùng để loại trừ sai số
do ảnh hưởng của chúng.
• Các đại lượng điện sau đó được đưa qua các khâu chuyển đổi chuẩn hoá.

109
 • Sau cùng được đưa vào bộ dồn kênh MUX và qua chuyển đổi A/D trước
khi vào vi xử lý.

Có 2 loại công nghệ:

+ Nếu các chuyển đổi là loại chuyển đổi sơ cấp bình thường thì các đầu ra của
chúng được đưa vào một vi mạch công nghệ lai gồm các biến đổi chuẩn hoá, MUX, A/D
và vi xử lý trong một khối có đầu nối liền máy tính cấp trên và bộ ghi chương trình cho
EPROM.
+ Nếu các chuyển đổi là loại chuyển đổi thực hiện bằng công nghệ vi mạch thì cả
chuyển đổi lẫn các phần tử gia công phía sau được để trong một khối công nghệ mạch lai.
Các cảm biến thông minh dạng trên đã phát triển vì thế việc hệ thống hoá các cảm
biến, chọn cấu trúc thế nào cho có tính linh hoạt cao, việc chương trình hoá được dễ dàng,
đây là các nội dung cần nghiên cứu về cảm biến thông minh.
3.5. MỘT SỐ VÍ DỤ VỀ CẢM BIẾN THÔNG MINH
3.5.1. Cảm biến đo áp suất thông minh 4301:
Cảm biến đo áp suất thông minh 4301 là một cảm biến áp suất đo từ xa, có thể sử
dụng để đo cả áp suất, mức, lưu lượng (kết hợp với các bộ biến đổi khác). Cảm biến thông
minh được chế tạo từ cảm biến điện dung. Thiết bị được chế tạo bằng công nghệ cao và
tin cậy. Kỹ thuật số được áp dụng cho 4301 tạo ra khả năng truyền dữ liệu đi xa và dễ
dàng ghép nối với các thiết bị ngoại vi giữa đối tượng đo và phòng điều khiển trung tâm
của xí nghiệp công nghiệp.
Sơ đồ khối của cảm biến thông minh được biểu diễn ở hình dưới đây. Cảm biến
được sử dụng là cảm biến điện dung kiểu vi sai. Ở cảm biến này áp suất P1, P2 tác động
lên 2 phía của cảm biến CH, CL (ở đây P1 ≥ P2). Khi P1 > P2 màng đàn hồi của cảm biến bị
đẩy sang phía P2 tạo sự chênh lệch điện dung của 2 phía. Một phía điện dung tăng lên CH
còn phía kia điện dung bị giảm CL. Đó là cảm biến kiểu vi sai.
Sau khi mắc cảm biến vào mạch đo chuẩn hoá (MĐCH) tín hiệu phát ra dưới dạng
tần số. Qua mạch cách ly bằng phôtôđiốt tín hiệu được đưa vào CPU. MUX được cài đặt

110
để ngoài tín hiệu đo còn đưa tín hiệu nhiệt độ môi trường vào để hiệu chỉnh sai số qua
một cảm biến nhiệt độ sau đó qua A/D để đưa vào vi xử lý, RAM... trong CPU. CPU làm
nhiệm vụ quản lý mọi thao tác của tất cả các khâu trong bộ cảm biến như tuyến tính hoá
từng đoạn đường cong của cảm biến và truyền thông tin đi xa qua MODEM hoặc vào
máy tính.
Chương trình được cất giữ ở PROM bên trong vi xử lý khi thu thập số liệu, thông
tin được nhớ vào RAM. Thông tin trong RAM sẽ bị mất khi ngắt nguồn vì vậy CPU có
chứa thêm EEPROM để lưu trữ thông tin này. Ví dụ về thao tác này là quá trình khắc độ,
sắp xếp và nhận biết cho ra số liệu đo.
Một bộ EEPROM khác cũng được lắp đặt để ghi và đọc thông tin về độ chênh lệch áp
suất và nhiệt độ môi trường. Bộ đầu ra OUTPUT thực hiện nhiệm vụ đưa thông tin ra
dưới dạng tương tự (qua D/A-126A) dưới dạng dòng một chiều DC 4 – 20 mA hoặc ra chỉ
thị số, hoặc truyền đi xa hay vào máy tính (thông qua MODEM EELL-202). Sử dụng
MODEM để điều hcế tần số dạng mã ứng với mức “1” là tần số 1200Hz và ứng với mức
“0” là tần số 2200Hz khi truyền tần số hoặc truyền dòng điện 1 chiều DC 4 – 20 mA.
Nguồn cung cấp có dòng là 3,9mA.
Tuỳ thuộc vào cách sử dụng, bộ cảm biến thông minh có thể có các chức năng sau:
+ Đo trực tiếp đại lượng đo x: sử dụng trong trường hợp đo áp suất, độ chênh áp
suất và đo mức.
+ Đo căn bậc 2 của x ( x ): trong trường hợp đo lưu lượng với các chuyển đổi áp
suất kiểu vi sai.

+ Đo căn bậc 2 của x3 ( x 3 ): sử dụng cho trường hợp đo lưu lượng một kênh nước
mở có tiết diện hình thang.

+ Đo căn bậc 2 của x5 ( x 5 ): sử dụng cho trường hợp đo lưu lượng một kênh nước
mở có tiết diện hình chữ V.
+ Tín hiệu áp suất được sắp xếp theo bảng biểu có 16 điểm hay biến đổi thành mức
của một bể chứa hình trụ.
+ Quá trình diễn ra luôn được so sánh với một giá trị đặt trước (Setpoint). Sự sai
lệch so với giá trị đặt sẽ được đưa vào điều khiển bởi thuật toán PID.
+ Quá trình hiệu chỉnh được thực hiện cho không những mức cao, mức thấp mà
còn cho các chức năng khác như: đầu vào, đầu ra, các dạng thao tác, chỉ thị, điều chỉnh
giá trị đặt, điều chỉnh các thông số của bộ PID... một cách tự động hoàn toàn.
+ ...

111
 3.5.2. Cảm biến đo áp suất vi sai thông minh:(SMART 3000 - Honeywell)
Đây là cảm biến áp suất vi sai (DPS - Differential Pressure Sensor) kết hợp với
cảm biến áp suất tĩnh (SPS - Static Pressure Sensor) và một cảm biến nhiệt độ (TS –
Temperature Sensor). Hai loại cảm biến sau để phân tích và phản ánh các đại lượng ảnh
hưởng đến phép đo và hiệu chỉnh đại lượng cần đo là áp suất vi sai. Toàn bộ 3 cảm biến
này nằm trong một hộp tiêu thụ dòng điện khoảng 4 – 20 mA. Việc trao đổi giữa cảm biến
và nhân viên vận hành nhờ bàn phím. Sơ đồ như vẽ:

112
 Khối cảm biến ở đây gồm 3 cảm biến DPS, SPS, TS; tiếp theo là bộ điều biến độ
rộng xung PWM dùng để chuẩn hoá tín hiệu đo. Tiếp đến tín hiệu tương tự thu được sẽ
được số hoá và xử lý thông qua bộ vi xử lý, vi điều khiển và bộ xử lý tín hiệu DSP
(Digital Signal Processor) (bộ xử lý chuyên dùng này thường được dùng ở những nơi cần
tăng cường khả năng tính toán. Chương trình của chúng thường chứa nhiều lệnh số học
hơn các lệnh di chuyển dữ liệu hoặc xử lý vào ra).
3.6. THIẾT BỊ ĐO THÔNG MINH VÀ LINH HOẠT
Cũng trên cơ sở của cảm biến thông minh người ta đã chế tạo ra các thiết bị đo linh
hoạt và thông minh. Các thiết bị đo thông minh thường được dùng vào các hệ thống thông
tin đo lường sau:
• Hệ thống tự động nghiên cứu khoa học
• Hệ thống tự động kiểm tra xuất xưởng và kiểm tra tiếp nhận hàng hoá
• Hệ thống tự động phân tích nồng độ vật chất trong công nghiệp, sinh
hoá, sinh học
• Hệ chuẩn đoán kỹ thuật.
Trong các hệ thống trên người ta đã giải quyết các vấn đề sau:
1. Menu hoá các chế độ đo lường:
2. Chuẩn độ tự động thiết bị:
3. Tự động lập chương trình thử nghiệm:
Các thử nghiệm đều tuân thủ một trình tự thử, thu thập kết quả, xử lý và báo
cáo theo một mẫu nhất định. Với một menu nhất định máy tự động lập trình thử,
lấy số liệu và in kết quả đo.
Các ví dụ thực tế về máy đo thông minh:
1. Máy TOC-5000: (hãng Shimadzu, Nhật Bản)
Máy hoạt động dựa trên nguyên lý đốt và phân tích khí kiểu hồng ngoại.
Khoảng đo 4.10-9 đến 4.10-3, sai số không vượt quá 1% đến 2% tuỳ theo chế độ
làm việc.

113
 Máy có các khả năng đo lường sau:
• Phân tích TC (nồng độ cacbon toàn phần)
• Phân tích IC (nồng độ cacbon vô cơ)
• Phân tích TOC (nồng độ cacbon hữu cơ toàn phần)
• Phân tích NPOC (nồng độ cacbon hữu cơ không sục)
Trên cơ sở tín hiệu phân tích có thể thực hiện các nhiệm vụ:
+ Tự động hoá điều khiển van, lò, motơ... để thực hiện phép đo theo menu.
+ Tự động chọn chế độ tối ưu cho việc phân tích
+ Tự động chọn đường cong khắc độ thích hợp nhất cho việc phân tích
+ Tự động chọn khối lượng chất thử nghiệm thích hợp cho việc thử
(4÷2500µl)
+ Tư động lặp lại phép đo 10 lần xử lý gia công ngẫu nhiên
+ Tự động tính toán diện tích các xung pick nhọn để suy ra nồng độ
+ Tự động trình bày kết quả dưới nhiều dạng khác nhau tuỳ theo yêu cầu.
2. Máy 7457-5700A: (công ty Fluke, Mỹ)
Máy có khả năng tự động kiểm tra các thiết bị đo:
+ Kiểm tra các multimet (vạn năng kế) tương tự hoặc số với các giải đo
khác nhau.
+ Đo điện áp một chiều và xoay chiều (220mV đến 1100V) với sai số không
lớn hơn 10 phần triệu.
+ Đo dòng điện một chiều và xoay chiều (220µA đến 2,2A) có thể mở rộng
thang đo đến 11A.
+ Đo điện trở từ 1Ω đến 100MΩ.

114
 TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1]. Nguyễn Đức Chiến, Vũ Quý Điềm, Phạm Văn Tuân, Đỗ Lê Phú; Giáo trình cảm
biến; NXB Khoa học và kỹ thuật.
[2]. Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế, Nguyễn Văn Hoà; Kỹ thuật đo lường các
đại lượng vật lý ; NXB Giáo dục.
[3]. Lê Văn Doanh, Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Văn Hòa, Võ Thạch Sơn, Đào Văn
Tân; Các bộ cảm biến trong kỹ thuật đo lường và điều khiển; NXB Khoa học và kỹ
thuật.
[4]. Nguyễn Ngọc Tân, Ngô Tấn Nhơn, Ngô Văn Ky; Kỹ thuật đo; Đại học Bách Khoa
TpHCM.
[5]. Bùi Văn Yên ;Đo điện thực hành; NXB Hải Phòng.
[6]. Dương Minh Trí ;Cảm biến và ứng dụng; NXB Khoa học và kỹ thuật.
[7]. Giáo trình đo lường các đại lượng điện và không điện; Vụ Trung học chuyên nghiệp -
Dạy nghề.
[8]. Vũ Quý Điềm, Phạm Văn Tuân, Đỗ Lê Phú; Cơ sở kỹ thuật đo lường điện tử;
NXB Khoa học và kỹ thuật.
[9]. Bộ sách giáo trình Vật lý đại cương đã học trong giai đoạn đại cương.
[10]. Manual for Theory; PEPPERL FUCHS company
[11]. Jacob Fraden; Handbook of modern sensors; Springer
[12]. Ian R. Sinclair; Sensor and Tranducers; Planta Tree
[13]. Jon Wilson; Sensor technology handbook;Elsevier
[14]. Thomas Putruzzelles;Alarm, Sensor & Security circuit Cookbook; Mc Graw-Hill