PICOSUN™
R-200 ADVANCED
Оборудование атомно-слоевого
осаждения (АСО) PICOSUN™
R-200 Advanced разработано для
проведения НИОКР в областях:
элементы интегральных схем, МЭМС
устройства, дисплеи, светодиоды,
лазеры, а также трехмерные
объекты (линзы, оптика, ювелирные
изделия, монеты, медицинские
имплантаты).
ОБОРУДОВАНИЕ АСО ВЫСОЧАЙШЕГО
КАЧЕСТВА ДЛЯ ОТВЕТСТВЕННЫХ
ПРИМЕНЕНИЙ.
Оборудование АСО PICOSUN™ R-200 Advanced
является мировым лидером среди систем АСО с
расширенной функциональностью, предназначенных
для исследований. Оборудование было запущено у
сотен клиентов по всему миру. Оборудование было
выбрано как компаниями, так и исследовательскими
институтами. Инновационный и модульный дизайн
позволяет получать пленки АСО высочайшего качества
и гарантировать широкие возможности изменения
конфигурации системы для будущих приложений.
Запатентованный дизайн камеры с горячими стенками
с полностью раздельными вакуумными вводами и
встроенное аналитическое оборудование гарантируют
проведение процессов без пост-процессных частиц
на широком спектре материалов: плоские пластины и
подложки с разветвленной поверхностной геометрией,
трехмерные объекты. Запатентованная технология
PicoflowTM позволяет получать пленки с высочайшей
однородностью даже на пластинах со сквозными порами
и подложках, имеющих поверхностные структуры
с большими аспектными отношениями, а также на
ультрадисперсных частицах. Оборудование PICOSUN™
R-200 Advanced оснащено высокофункциональными
и легкозаменяемыми источниками прекурсоров
для жидких, газообразных и твердых химических
реагентов. Высокоэффективная запатентованная
технология удаленной плазмы позволяет проводить
осаждение металлов без риска короткого замыкания
или повреждения подложек плазмой. Возможна
интеграция оборудования с перчаточными боксами,
оборудованием сверхвысокого вакуума, ручными и
автоматизированными загрузчиками, кластерным
оборудованием, камерами для работы с порошками,
камерами для рулонной обработки изделий и различным
аналитическим оборудованием для in situ анализа.
Со всеми вопросами просьба обращаться по указанным
электронным адресам и телефонам!
ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ
Типичные размеры и тип обрабатываемых
изделий
• Одиночные пластины 50-200 мм
• 156 мм x 156 мм Si пластины для солнечной
энергетики
• Трехмерные объекты
• Порошки и частицы
• Мини-кассета с пластинами
• Изделия, имеющие поверхностные структуры с
большими аспектными отношениями (до 1:2500)
Рабочие температуры
• 50 – 500°C, с плазмой 450°C (650 °C с
дополнительным нагреваемым держателем)
Типичные процессы
• Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN,
металлы такие как Pt или Ir
Загрузка образцов
• Ручная загрузка с помощью пневматического
подъемника
• Шлюзовая камера с ручным магнитным
манипулятором
• Полуавтоматическая загрузка с помощью
роботизированного манипулятора
• Покассетная загрузка с помощью кластерного
оборудования
Прекурсоры
• Жидкостные, твердотельные, газообразные,
озон, плазменные процессные газы
• До 12 источников, подаваемых через 6
отдельных вводов (7 - если выбрана опция с
генератором плазмы)
Опции
• Кластерное оборудование, усилитель диффузии
Picoflow™, камера рулонной обработки,
анализатор остаточных газов, совместимость
со сверхвысоким вакуумом, генератор азота,
газовые скрубберы, дизайн по ТЗ заказчика,
интеграция с перчаточным боксом для загрузки
из инертной атмосферыg
 ОСНОВЫ
АТОМНО-СЛОЕВОГО
ОСАЖДЕНИЯ (АСО) ГЛАВНЫЙ ОФИС PICOSUN
Ввод молекул,
содержащих элемент A.
Адсорбция молекул
на поверхности.
ФИЛИАЛЫ PICOSUN
Ввод молекул, содержащих
элемент B, и реакция с
элементом А на
поверхности.
Завершение формирования
одного монослоя соединения AB.
Повторение циклов до получения
требуемой толщины пленки.
Picosun Oy
Тиетотие 3
FI-02150 Эспоо, Финляндия
Тел. +358 50 321 1955
info@picosun.com
Picosun Oy
Масалантие 365
FI-02430 Масала, Финляндия
Тел. +7 921 760 9668
или +358 50 577 1588
alexey.veselov@picosun.com
Официальный представитель
Picosun Europe GmbH, Германия
Picosun, Россия
Тел. +49 1522 449 49 11
ОООsales@picosun.com
«ТД «Научное оборудование»
Тел. +7 916 322 66 52
info@tdno.ru
Picosun США, LLC
ел. +1 214 790 0844
Моб. +1 214 490 3951
sales@picosun.com
Picosun Азия, Сингапур
Тел. +65 9756 3265
sales@picosun.com
Picosun Тайвань Ltd.
Тел. +886 90 515 2985
sales@picosun.com
Picosun Китай Ltd.
Тел. +358 40 480 3449
sales@picosun.com
Picosun Япония Ltd.
Тел. +81 3 6431 9500
Моб. +81 90 5198 8131
sales@picosun.com
PICOSUN™ R-200 Advanced
Version 07_2017