Bloque 5

MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA (TEM-SEM)

Contenidos

- Por qué es útil la microscopía electrónica?

- Interacción haz de electrones-muestra
- Ventajas de TEM
- Partes de un microscopio TEM
• Cañón de electrones
• Columna
• Sistema de lentes electromagnéticas
• Detectores
• Cámara de muestra
• Sistema de captura de imágenes

- Qué se puede hacer en TEM

• Difracción
• Imagen
• Microanálisis
- Comentarios finales sobre TEM
 Por qué es útil la microscopía electrónica?
Un microscopio electrónico de transmision (TEM) es una herramienta analítica que permite
visulaizar y analizar muestras a niveles del microespacio (1 micra/1μm = 10-6m) y el
nanoespacio(1 nanometro/nm = 10-9m).
Química
NANOCIENCIA Física
& Biología
NANOTECNOLOGOIA Bioquímica
NANOMETROLOGIA Ciencia Materiales
Ingeniería

TEM
RESOLUCION 0.05 nm ( Sept. 2007 HREM news,TEAM + CEOS)

DIFRACCION IMAGEN COMPOSICION IN SITU

SAED HRTEM
MICRODIFRACTION XEDS; EELS, EFTEM Dinamic Exp.
CBED, Systematic ROW
HAADF
TOMOGRAPHY (4-1473 K)
LACBED
 Por qué es útil la microscopía electrónica?
PASADO, PRESENTE y FUTURO DE LA MICROSCOPIA ELECTRÓNICA
 Por qué es útil la microscopía electrónica?

-MO vs TEM

MICROSCOPIO OPTICO?
Pero….R= 0.67/sin
R= 0.4 m
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO?
-Luz electrones (=2 pm)
-lentes ópticas lentes electromagnéticas
R= 1 pm !! No!!
Defectos en las lentes + inestabilidades
R= 1 pm= 0.1-0.2 nm
 Por qué es útil la microscopía electrónica?
-MO vs TEM
TEM genera imágenes de una muestral iluminándola con electrones (haz de
electrones) bajo alto vacío y detectando los electrones trasmitidos por la muestra.
En último término, empleando TEM es posible visualizar las columnas de átomos
presentes en el material.

Oblea de Si
Imagen Óptica Imagen TEM
 Por qué es útil la microscopía electrónica?

Poder de resolución
 Interacción haz de electrones-muestra

El TEM emplea un haz de electrones altamente energético en vez de luz

 Ventajas de TEM

Resolución a alta magnificación. La resolución se define como la menor distancia

entre los dos puntos más próximos que se pueden identificar como entidades
distintas. La mejor resolución alcanzable en MO es 200 nm mientras que en un
TEM convencional la resolución es inferior a 1 nm.

Información estructural. Si el material bajo observación tiene una estructura

periódica como un cristal entonces el haz de electrones interacciona con ella
difractando. Esta interacción proporciona información acerca de la estructura
cristalina, simetría y orientación del material.

Microanálisis. Esta técnica permite analizar la composición química del

material.
Partes de un microscopio TEM

FEI Booklet EM
 Partes de un microscopio TEM

Un microscopio TEM presenta los

siguientes componentes:

-Cañón de electrones
-Columna
-Sistema de lentes
electromagnéticas
-Detectores
-Cámara de muestra
-Sistema de captura de imágenes

FEI Booklet EM
 Partes de un microscopio TEM
Cañón de electrones: genera el haz de electrones. Se localiza en la parte
superior de la columna del equipo.
 Partes de un microscopio TEM
Columna: constituida por el ensamblaje del cañón en la parte superior a una
columna que contiene las lentes electromagnéticas, el puerto de inserción de
muestra y exclusión de aire, así como un conjunto de aperturas que pueden poner
o quitarse en la trayectoria del haz. El contenido de la columna se encuentra a
alto vacío.

Cámara de observación
 Partes de un microscopio TEM

-Sistema de lentes electromagnéticas: dan forma al haz de electrones, que se

mueve en trayectoria de espiral. Cada lente está construida de una bobina de
alambre de cobre a través de la cual corre una corriente. Hay un agujero en el
centro a través del cual viaja el haz.
 Partes de un microscopio TEM
-Detectores: Energía dispersive de rayos-X (EDS)
Pérdida de energía de los elcetrones (EELS)
Detector anular de campo oscuro a alto ángulo (HAADF)

Gatan Inc.
 Partes de un microscopio TEM
-Cámara de muestra: el portamuestras tiene uno o varios pozos en el extremo. La
muestra se carga a través de una brida o un anillo que se enrosca en el pozo para
mantenerlo firmemente en su lugar. Es importantes que la rejilla esté asegurada de
modo que no caiga del porta.
 Partes de un microscopio TEM
-Captura de imagen: En la base de la columna hay una zona de visión con un
binocular ajustable, pero para recoger una imagen permanente se inserta una
cámara CCD en la trayectoria del haz. Esto permite que la imagen se recoja en
forma digital.
 Qué se puede hacer en TEM?
Bases de formación de imagen -En el proceso de formación de la imagen
primaria, la lente objetivo produce un diagrama
Las imágenes TEM se forman en dos estapas: de difracción en su plano focal posterior.

-La imagen primaria es la transformada de Fourier

del diagram de difracción.

-Etapa A es la dispersión del haz incidente por la muestra. La radiación dispersada pasa a través de la lente objetivo,
que lo enfoca generando la imagen primaria.
-Etapa B utiliza la imagen primaria obtenida en la etapa A y la magnifica usando lentes adicionales para formar la
imagen final aumentada.
 Qué se puede hacer en TEM?

Trabajando en TEM paso a paso

-Preparar muestra delgada
-Limpiar la muestra en “plasma cleaner”
-Introducir la muestra en el TEM con suficiente tiempo de antelación
-Alinear el microscopio (sistema de iluminación y de imagen)
-Corregir astigmatismo
-Localizar un área de interés de la muestra
-Orientar correctamente (obtener un SAED simétrico)
-Recoger el SAED
-Ajustar el foco recoger la imagen
-Hacer análisis ??
 Qué se puede hacer en TEM?

Difracción de electrones (SAED)

100T/110O

110T/200O

[001]T [001]O [0-31]T

Película amorfa de Carbón Nanocristales Fe3O4 Bi4Cu1/3W2/3O8-Cl

006T/O

Información estructural 100T/110O

Explorar espacio recíproco
Cristalografía y simetría
Superestructura y defectos
Precession <> Factor de estrcutura [100]T [1-10]O [1-10]T
 Qué se puede hacer en TEM?

Formación de Imágenes
TEM se emplea para examinar la estructura, composición y propiedades con
detalle por debajo de la micra.
-Analizar la morfología de muestras, e.g. analizar secciones de material, nanopartículas libres
o suspendidas en film, pequeños organismos como virus….

0 . 5 µ m

Membrana coloidad constituido por el ensamblaje Hemocito de la perla de Akoya, Pinctada imbricata. M:
supramolecular de Au-Nps en derivado tiolado de mitocondria; N: nucleo; V: vacuola; ER: retículo
oligofenilenetileno. endoplasmático. Muestra fijada químicamente.
 Qué se puede hacer en TEM?
Formación de Imágenes
A alta magnificación, los cristales muestran contraste de difracción. Esto puede ocurrir por
dos razones:

-Regiones más gruesas aparecen más oscuras ya que dispersan

más los electrones. Véase la zona donde solapan los cristales.

-Regiones que difractan más el haz de electrones aparecen más

oscuras ya hay que menos electrones en el haz transmitido que
se detecta.
 Qué se puede hacer en TEM?

High Contrast
• A constant problem with biological specimens is their
low contrast.
• In the high contrast mode, the instrument is adjusted to
give contrast at the expense of high resolution.
• As a result, this mode is generally used at magnifications
under 50,000 X.
• The conditions that may be changed to enhance contrast
are:
– The focal length of the objective lens is increased.
– Lower accelerating voltages are used.
– Smaller objective apertures should be utilized
– The specimen may be prepared to enhance contrast
 Qué se puede hacer en TEM?

High Resolution
• Most of the conditions used to achieve high
resolution in the electron microscope are the
opposite conditions for the high contrast mode.
• Since contrast will be lacking in these specimens,
efforts should be made to boost contrast using
appropriate specimen preparation and darkroom
techniques.
 Qué se puede hacer en TEM?

High Resolution
• 1. The objective lens should be adjusted to
give the shortest possible focal length and
the proper specimen holders used.
• 2. Adjustments to the gun, such as the use of
higher accelerating voltages,
• 3. Use apertures of appropriate size.
• 4. Specimen preparation techniques
 Qué se puede hacer en TEM?

Dark field
• In the normal TEM operating mode, the unscattered rays of
the beam are combined with some of the deflected electrons
to form a brightfield image.
• Elimination of deflected or scattered electrons using smaller
objective lens apertures, will increase contrast.
• The darkfield mode can be used to enhance contrast in
certain types of unstained specimens (thin frozen sections) or
in negatively stained specimens.
 Qué se puede hacer en TEM?
Formación de Imágenes en Campo Claro (BF) y Campo Oscuro (DF)
 Qué se puede hacer en TEM?

Formación de Imágenes HRSTEM con contraste Z

-Imágenes con resolución atómica

Scanning-TEM

Cs-corr. Z contrast image

SrTiO3

DyScO3

5 nm
2 nm SrTiO3

slide from T. Oikawa JEOL

 Qué se puede hacer en TEM?

Imágenes 3D: Tomografía de electrones

Electron tomography of a multi-walled carbon nanocoil (MWCNC). (a) TEM

micrograph of the MWCNC coated with Au nanoparticles. Yokota et al. Journal of
Nanoscience and Nanotechnology 11, 2344–2348 (2011).
 Qué se puede hacer en TEM?

Microanálisis: Información composicional y de enlace

EELS
XEDS
L2
Bi3.96(4)Mn0.3(1)W0.7(7)Cl0.69(9)
50000
L3
45000 TiO2 Rutile TiO2 Rutile

CCD counts (a. u.)

40000
O K edge
35000 TiO2 Anatase
30000 TiO2 Anatase
25000

20000

15000

10000
Ti2O3
5000

450
532 534
455
536 538
460542
540 544
465
546 548
470 552
550
475
554 556 558
480
560 562
Energy LosseV(eV)

TiO2 anatase TiO2 rutile

Elementos ligeros
Na-U Tipo de enlace
0.1 % límitre de detección Estado de oxidación
Resolución espacial 5-10 Å Resolución especial ≥ 2 Å
Resolución en energía 140 eV Resolución en energía  0.1 eV
 Comentarios finales sobre TEM
Consideraciones finales sobre TEM

- TEM es una técnica potente, y versátil para la caracterización de materiales a escala sub-

- Combinando SAED, HRTEM, XEDS, EELS se obtiene información detallada del material

- Imágenes no siempre fácilmente interpretables

- Versátil en análisis químicos (puntos, escaneos en línea, mapas 2-D) y combinado con
imagen EELS o XEDS-HAADF proporciona mapas químicos a escala atómica

- Es necesario un especial cuidado en la preparación de muestras

- Casi cualquier tipo de muestra puede ser observada/analizada en TEM (pronto

desarrollo de LVTEM (<80kV) para muestras sensibles
Microscopía SEM
Microscopía SEM
 Microscopía SEM

• Interaction with the material

surface
• e1 retrodispersed (reflejated)
ectrons …chemical
composition
• e2 secondary electrons …
(topography)
• RX
Interacciones entre el haz de electrones-muestra

Electrones secundarios (SE) y Electrones retrodispersados (BSE):

• Composición de la muestra
• morfología (topografía)
• Textura local de la muestra
• Grosor
• Inclinación local respecto la haz de electrones
Interacciones entre el haz de electrones-muestra

Volumen de interacción
 Imágenes SEM
Detector de Electrones Secundarios (SE)
- Definición: SE son electrones externos débilmente enlazados de los átomos de la muestra que se
expulsan debido a interacciones inelásticas con el haz de electrones.

- SE se definen por su energía cinética inferior a 50 eV.

- La profundidad de escape de los SE es de unos poco nm: 1 nm para metales y 10 nm para

aislantes.

- No hay relación entre el contraste de una imagen SE y la composición media del material.

- El contraste de una imagen SE depende fundamentalmente de la superficie de la muestra 

TOPOGRAFIA

SE-SEM image of amorphous carbon nanotubes (α-CNT) SE-SEM images of a Au@carbonaceous material
 Interacciones entre el haz de electrones-muestra

Secondary electrons (low energy)

• Used to obtain an image of the sample surface

• Only electrons from the surface layers could emerge with a low energy
below 50 eV
• Range from 10 up to 200.000
 Imágenes SEM
Detector de Electrones Secundarios (SE)

Imágenes SE-SEM de Materiales Mesoporosos

 Imágenes SEM
Imagen SE-SEM de Carbón decorado con nanopartículas y nanohilos de Au
 Imágenes SEM
Imagen SE-SEM de un supercristal de nanopartículas de Au
 Imágenes SEM
Detector de electrones retrodispersados (BSE)
- Definición: electrones de alta energía (>50 KeV) procedentes del haz de
electrones que son retrodispersados por la superficie de la muestra.

- Estos electrones acumulan una gran cantidad de procesos de dispersión elástica

desviándose mucho respecto al haz  detector

- Dependencia con Z: el número de BSE genreados aumenta cuando el valor

promedio de Z de la muestra aumenta  CONTRASTE DE NUMERO ATÓMICO

- Esta diferencia de contraste entre elementos adyacentes es importante a bajos

valores de Z y menos intensos a altos valores de Z

- Imágenes BSE son insensibles a la topografía en condiciones de voltaje de

aceleración habituales (> 10 keV)  imágenes 2D
 Imágenes SEM
Detector de electrones retrodispersados (BSE)
Dispersed (backscattered) electrons (high energy)

Cu/Al

Higher backscattering for bigger

nucleus
Cu Al
Information on chemical
composition
 Imágenes SEM
Detector de electrones retrodispersados (BSE)

Imagen BSE donde se observan los distinos minerals dentro de la sección de material en distintas escalas
de grises  de brillante a oscuro: zircon (ZrSiO4) , granate (Fe3Al2Si3O12), biotita
(K(Mg,Fe)3AlSi3O10(F,OH)2, K-feldspato (KAlSi3O8), plagioclasa (NaAlSi3O8) y sillimanita (Al2SiO5).
 Imágenes SEM
Detector de electrones retrodispersados (BSE)

Imagen BSE de una sección transversal de una porción de los pigmentos (las áreas brillantes corresponden a zonas
con alta concentración de Pb)

Jelena Zagora, « SEM-EDX Pigment Analysis and Multi-Analytical Study of the Ground and Paint layers of Francesco Fedrigazzi's painting from
Kostanje », CeROArt [En ligne], | 2013, mis en ligne le 12 mai 2013, consulté le 19 juillet 2014. URL : http://ceroart.revues.org/3248
 Microanálisis de Rayos-X
- Consecuencia de la interacción entre el haz de electrones y la muestra: generación de Rayos-X

- Rayos-X característico  su energía (o longitud de onda) es específica de cada átómo presente en la

muestra (normalmente 0-20 keV)

- Generación de Rayos-X : el haz incidente puede

interaccionar con los electrones internos
expulsándolos  estado excitado.
La transición de los electrones externos a
las capas internas para ocupar es e hueco
producen la relajación del átomo (estado fundamental)
generando Rayos-X.

Continous X-Rays
Characteristic X-Ray peak

- Espectro de rayos X: consiste en transiciones

permitidas entre subcapas atomicas.

- Detectores:
- EDS (Energy-Dispersive Spectroscopy)
- WDS (Wavelength-Dispersive Spectroscopy)  Microsonda de Electrones
 Microanálisis de Rayos-X

Imagen SEM y análisis EDS de Nanoflores CuMnOS

 Microanálisis de Rayos-X
Morfología y distribución elemental en microesferas de carbon dopadas co N y F.
 Preparación de Muestras

- Existen un gran número de estrategias dependiendo de:

• Tipo de muestra (metal, polímeros, cerámicas, biológicos)

• Tipo de información a obtener en SEM

- Aspectos comunes a considerar CIENCIA DE MATERIALES

• Es una muestra auto soportada?

• Es necesario el pulido y limpieza de la superficie o tratamiento químico superficial ?
• Son materiales conductores o necesitan un recubrimiento?
• Se encuentra la muestra en estado de polvo microcristalino?
• Tamaño de la muestra
• Puede sufrir daño por radiación del haz?
• Se puede destruir la muestra o es recuperable?
 Preparación de Muestras
Cámara de muestra
- Microscopio SEM estándar: el tamaño de la cámara de muestra es aprox. 5-10 cm diámetro
y hasta 39-47 mm en altura.

Lente final
Detector EDS

Detector BSE
Posición de la muestra
High working distance

Cámara SEM de gran tamaño diseñada por VisiTech

‘Handfook of Sample Preparation for SEM and X-Ray Microanalysis’, Patrick Echlin, Springer (2009)
Preparación de Muestras
 Preparación de Muestras
Soportes para muestras

- Muestras autosoportadas:
• Piezas metálicas
• Dispositivos
• Muestras geológicas mecanizadas

- Muestras que necesitan un soporte:

• Muestras policristalinas
• Muestras cerámicas y metálicas de pequeño tamaño
• Muestras biológicas
• Muestra de tamaño nanométrico

La muestra debe estar bien fijada al soporte o placa

• Mecánico
• Cinta conductora(carbón, alumino, cobre)
• Adhesivo conductor (carbón, plata)
• Pegamento
Preparación de Muestras

12- and 25.4-mm placas de carbon poroso o pirolítico

12- and 24.5-mm portamuestras de aluminio (or bronze)

Preparación de Muestras

Tipos de soportes para muestras

 Preparación de Muestras

Embebidos en resinas (epoxi o acrílicas)

- Muestras magnéticas
- Materiales sensibles a la radiación (polímeros, muestras biológicas,…)
- Materiales Compuestos
 Preparación de Muestras
Recubrimientos
- Muestras no-conductoras
- Recubrimientos con grafito evaporado o metalización con oro
- Efectos de carga en la superficie de la muestra minimizados
- Metalización adecuada para obtener imágenes
- Evaporación de grafito adecuada para microanálisis EDS

Larva de mosquito recubierta con oro

 Comentarios finales sobre SEM
Consideraciones finales sobre SEM
- SEM es una técnica potente, relativamente barata y versátil para la caracterización de
materiales

- Es posible obtener imágenes de la topografía (SE) y sensibles a cambios químicos (BSE,

mapas EDS)

- Imágenes fácilmente interpretables en la mayoría de los casos

- Versátil en análisis químicos (puntos, escaneos en línea, mapas 2-D)

- Resolución en imagen entre 100 nm-10 nm (termoiónicos) hasta 1 nm (cold FEGs)

- No es necesario un especial cuidado en la preparación de muestras

- Casi cualquier tipo de muestra puede ser observada/analizada en SEM

Electron microscopy
Electron microscopy