ICS 13.040.
35 VDI-RICHTLINIEN
VEREIN
DEUTSCHER Reinraumtechnik
INGENIEURE Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Cleanroom technology – Compatibility with required
cleanliness class and surface cleanliness
Inhalt Seite
Vorbemerkung ......................................................... 2
Einleitung ................................................................. 2
1 Anwendungsbereich......................................... 3
2 Normative Verweise .......................................... 3
3 Begriffe .............................................................. 4
4 Klassifizierung .................................................. 8
4.1 Partikelemission,
Reinraumtauglichkeit von
Werkstoffen................................................ 8
4.2 Ausgasung .................................................. 8
4.3 Elektrostatik ............................................... 9
4.4 Reinigbarkeit partikelkontaminierter
Werkstoffoberflächen............................... 10
4.5 Chemikalienbeständigkeit und
Korrosionsverhalten von Werkstoffen ..... 10
5 Anforderungen ................................................ 12
5.1 Allgemeine Anforderungen...................... 12
5.2 Partikel ..................................................... 13
5.3 Ausgasung ................................................ 13
5.4 Elektrostatische
Werkstoffeigenschaften ........................... 13
5.5 Anforderungen an die Reinigbarkeit
partikelkontaminierter
Werkstoffoberflächen............................... 13
5.6 Chemikalienbeständigkeit ........................ 13
6 Vorgehensweise zur Prüfung und
Abnahme, Messtechnik .................................. 13
6.1 Allgemeines ............................................. 13
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG)
Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
VDI-Handbuch Reinraumtechnik
Februar 2011
VDI 2083
Blatt 17
Entwurf
Einsprüche bis 2011-07-31
x vorzugsweise in Tabellenform als Datei per E-Mail an
gbg@vdi.de
Die Vorlage dieser Tabelle kann abgerufen werden unter
http://www.vdi-richtlinien.de/einsprueche
x in Papierform an
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
Postfach 10 11 39
40002 Düsseldorf
Inhalt Seite
6.2 Partikelemission....................................... 13
6.3 Ausgasung ............................................... 16
6.4 Elektrostatik ............................................. 19
6.5 Reinigbarkeit partikelkontaminierter
Werkstoffoberflächen .............................. 19
6.6 Chemische Beständigkeit ......................... 21
7 Dokumentation................................................ 21
7.1 Reinraumtauglichkeit
(Partikelemission) .................................... 22
7.2 Partikuläre
Oberflächenreinheit/Reinigbarkeit ........... 22
7.3 Ausgasung ............................................... 22
7.4 Elektrostatik ............................................. 22
7.5 Chemikalienbeständigkeit ........................ 22
Anhang A Applikationsbeispiele und
typische Anwendungsbereiche zur
Richtlinienverwendung .................................... 23
A1 Einleitung................................................. 23
A2 Branchenspezifische
Kontaminationsarten ................................ 23
Anhang B Beispiel zur Bestimmung der
Partikelemissionsklasse .................................... 25
B1 Exemplarische Prüfstandbeschreibung .... 25
B2 Rechenbeispiel ......................................... 25
B3 Auswertung der Messwerte ..................... 28
Anhang C Beispiel zur Bestimmung der
Ausgasungsklasse ............................................. 38
Schrifttum .............................................................. 39
–2– VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
Vorbemerkung
Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der
Richtlinie VDI 1000.
An der Erarbeitung dieser VDI-Richtlinie waren
beteiligt:
Dr.-Ing. Wolfgang Bauer, Homburg
Dipl.-Ing. (FH) Frank Friedrich Bürger, Stuttgart
Dipl.-Kfm. Frank Duvernell, Leipzig
Dr.-Ing. Udo Gommel VDI, Stuttgart
Dipl.-Ing.(FH) Jochen Grötzinger, Stuttgart
Dr. Heike Hülsmann, Dresden
Dipl.-Ing. Lucia Kapitza, Stuttgart
Dipl.-Biol. Markus Keller, Stuttgart
Kathrin Kutter, Weinheim
Joachim Ludwig, Kahla
Dipl.-Ing. Andreas Machmüller VDI, Heuchelheim
Dipl.-Ing. (FH) Claudia Pachl VDI,
Neuhausen am Rheinfall (CH)
Dipl.-Ing. Steffen Röhm VDI, Marburg
Dipl.-Phys. Thomas Wollstein VDI, Düsseldorf
Ralph Würtele, München
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt.
Eine Liste der aktuell verfügbaren Blätter dieser
Richtlinienreihe ist im Internet abrufbar unter
www.vdi.de/2083.
Einleitung
Diese Richtlinie gibt Hinweise zur Planung, Bewer-
tung, Auswahl und Optimierung der Reinheitstaug-
lichkeit von Werkstoffen. Diese Bewertung von
Werkstoffen erfolgt in Anlehnung an national/inter-
national anerkannte Regelwerke (z. B. nach
VDI 2083 Blatt 1 bzw. ISO 14644-1 für die Parti-
kelemission, VDI 2083 Blatt 14 bzw. ISO 14644-8
für das Ausgasungsverhalten).
Die Anforderungen an einzusetzende Werkstoffe
sind stark abhängig von der reinraumtechnischen
Aufgabenstellung (Produktschutz, Arbeitsschutz,
Fertigungsprozess) und vom zulässigen Verunrei-
nigungsniveau. Das Endziel ist das Erreichen einer
festgelegten Produktqualität bzw. einer erforderli-
chen Reinheitsklasse.
Ziel der vorliegenden VDI-Richtlinie sind standar-
disierte Vorgehensweisen zur Prüfung/Bewertung
von Werkstoffen hinsichtlich ihrer Reinheitstaug-
lichkeit. Weiter beschreibt sie Vorgehensweisen
zur systematischen Ermittlung der Belastungspa-
rameter. Damit wird ein praktikabler Weg geschaf-
fen, geeignete Prüfverfahren und Nachweismetho-
den für die jeweilige reinheitstechnische Problem-
stellung anzuwenden.
Die standardisierte Ermittlung der Belastungspa-
rameter unter Berücksichtigung einer statistischen
Analyse der Ergebnisse soll die Vergleichbarkeit
bei der Beurteilung von Werkstoffen ermöglichen.
Damit ergibt sich eine Transparenz der Reinheits-
eigenschaften von Werkstoffen.
Werkstoffe in Bereichen, die in Reinraumumge-
bungen eingesetzt werden und insbesondere Werk-
stoffe, die mit dem Produkt in Berührung kommen,
müssen leicht zu reinigen und erforderlichenfalls
zu desinfizieren sein. In Abhängigkeit des spezifi-
schen Prozesses müssen die Oberflächen entspre-
chend glatt, abriebfest, korrosionsfest und nichtto-
xisch sein.
Die Qualität des Systems „Reine Fertigung“ ist
maßgeblich von den verwendeten Werkstoffen
abhängig.
Eine Reinraumumgebung wird mithilfe von Re-
gelwerken zur Beurteilung der Luftreinheit (z. B.
ISO 14644-1, VDI 2083 Blatt 1) spezifiziert. In
diesen werden die Größe und die Konzentration
von luftgetragenen Partikeln in der Erstluft defi-
niert. Werkstoffe besitzen keine Reinheitsklasse,
sondern nur eine Tauglichkeit für den Einsatz in
Reinräumen. Diese Tauglichkeit ist u. a. abhängig
von den Belastungsparametern der Werkstoffe.
Beispiele für verschiedene Belastungsparameter
sind:
x Belastungsdauer
x Temperatur
x Luftfeuchtigkeit
x Oberflächenstruktur
x Relativgeschwindigkeiten
x Hertz’sche Pressung
x eingesetzte Reagenzien
Die Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen wird
bestimmt durch das Partikelemissionsverhalten, und
darüber hinaus durch Kriterien wie das Ausga-
sungspotenzial, die ESD-Eigenschafen, die Korrosi-
onsbeständigkeit/Chemikalienbeständigkeit oder
auch die Reinigbarkeit. Aspekte der Reinheitstaug-
lichkeit von Betriebsmitteln werden in VDI 2083
Blatt 9.1 beschrieben.

Die Reinraumtauglichkeit hingegen ist Teil der
Reinheitstauglichkeit und beschreibt ausschließlich
das Partikelemissionverhalten (siehe Bild 1).
Die Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen sollte
schon in der konzeptionellen Phase (Konstruktion,
Entwicklung) berücksichtigt werden, um spätere
Kontaminationsrisiken und Aufwendungen zu
vermeiden.
Da die Reinraum-/Reinheitstauglichkeit von Werk-
stoffen von unterschiedlichen Belastungsparame-
tern (siehe oben) abhängig ist, sind diese vor Be-
ginn der Untersuchung zu definieren und während
der Messungen im Messprotokoll zu dokumentie-
ren. Die Parameter der Reinheitstauglichkeit wer-
den von den prozessspezifischen, reinheitskriti-
schen Bearbeitungsschritten bestimmt. Diese kön-
nen z. B. das ESD-Verhalten 1), die Emission flüch-
tiger organischer Substanzen, die Reinigbarkeit
oder das Sedimentationsverhalten teilchenförmiger
Verunreinigungen auf technischen Oberflächen
sein.
Ein Vergleich von Werkstoffen untereinander be-
züglich ihrer Reinraum-/Reinheitstauglichkeit darf
somit nur unter Berücksichtigung der Belastungs-
parameter erfolgen.
Ziel der Reinheitstauglichkeitsuntersuchungen ist
es, die Eignung von Werkstoffen für den Einsatz in
Reinräumen festzustellen. Dies erfordert die Defini-
tion der Umgebungsbedingungen bei der Prüfung,
Durchführung und Beurteilung sowie die Dokumen-
tation zur Bestimmung der Reinraumtauglichkeit.
Die statistische Analyse der ermittelten Ergebnisse
dient als Mittel zur Qualitätslenkung.
Die Bewertung weiterer physikalischer Verunrei-
nigungen für die Bestimmung der Reinheitstaug-
lichkeit von Werkstoffen erfolgt aufgrund der pro-
duktspezifischen Reinheitsanforderungen. Dabei
werden die den Ausschuss erhöhenden Verunreini-
gungen des Produkts durch Werkstoffe in seinem
System- und Produktraum analysiert. Eine Bewer-
tung eines Werkstoffs wird hier also nur hinsicht-
lich der Ausschusskriterien der verarbeiteten Pro-
dukte vorgenommen.
So kann ein Werkstoff trotz sehr geringer Par-
tikelemissionen aufgrund dessen elektrostatischer
Eigenschaften für Halbleiteranwendungen unge-
eignet sein. Derselbe Werkstoff kann jedoch aus
Gründen der spezifischen Produktanforderungen
für den Pharmazieeinsatz optimal geeignet sein.
—————
1)
ESD – electrostatic discharge, deutsch: elektrostatische
Entladung
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 –3–
1 Anwendungsbereich
Die vorliegende VDI-Richtlinie befasst sich im
Wesentlichen mit partikulären, chemischen (mole-
kularen) Verunreinigungen und elektrostatischen
Eigenschaften von Werkstoffen sowie der Reinig-
barkeit von Werkstoffoberflächen. Biologische und
radiologische Oberflächenverunreinigungen sind
nicht spezifischer Gegenstand dieser Richtlinie,
gleiches gilt für Prozessmedien.
Anmerkung: Prozessmedien werden in den Richtlinien
VDI 2083 Blatt 7, Blatt 9 und Blatt 10 behandelt, Reinstwas-
ser in VDI 2083 Blatt 13.1, Blatt 13.2 und Blatt 13.3. Biokon-
taminationen werden in der Richtlinie VDI 2083 Blatt 18
behandelt.
Diese Richtlinie beinhaltet die Definition der
Reinheitstauglichkeit und Reinraumtauglichkeit
von Werkstoffen. Darauf aufbauend erfolgen die
Klassifizierungen sowie die Vorgehensweisen zur
Feststellung der Eignung für den Einsatz in reinen
Produktionsbereichen.
Werkzeuge sind nicht Bestandteil dieser Richtlinie,
diese werden bereits in VDI 2083 Blatt 9.1 bewer-
tet. Sie stellen eine Untergruppe der Werkstoffe
dar.
In dieser Richtlinie werden nur flüchtige organi-
sche Komponenten (VOC) betrachtet; VVOC und
SVOC stehen nicht im Fokus.
In Bezug auf das Partikelemissionsverhalten wer-
den in dieser Richtlinie ausschließlich Werkstoff-
paarungen betrachtet, da einzelne, ruhende Werk-
stoffe im Allgemeinen keine Partikelemissionen
erzeugen. Zwischen Festkörpern, welche eine Kon-
taktbewegung mit mindestens einem weiteren
Festkörper ausüben, tritt Reibung auf. Reibungs-
vorgänge sind im Allgemeinen mit Partikelgenerie-
rungsvorgängen verknüpft.
2 Normative Verweise
Die folgenden zitierten Dokumente sind für die
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich:
DIN EN ISO 14644-1:1999-07 Reinräume und
zugehörige Reinraumbereiche; Teil 1: Klassifi-
zierung der Luftreinheit (ISO 14644-1:1999);
Deutsche Fassung EN ISO 14644-1:1999
DIN EN ISO 14644-9:2008-08 Reinräume und
zugehörige Reinraumbereiche; Teil 9: Klassifi-
zierung der partikulären Oberflächenreinheit
(ISO/DIS 14644-9:2008); Deutsche Fassung
prEN ISO 14644-9:2008
VDI 2083 Blatt 1:2005-05 Reinraumtechnik;
Grundlagen, Definitionen und Festlegung der
Reinheitsklassen
VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12 Reinraumtechnik;
Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit
–4– VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
Bild 1. Definitionen der Reinheits- und Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
3 Begriffe
Für die Anwendung dieser Richtlinie gelten die in
DIN EN ISO 14644 festgelegten und die folgenden
Begriffe:
3.1 Allgemein
Beanspruchungskollektiv
In der ĺTribologie die Parameter der Eingangs-
größen, die auf reibend belastete Werkstoffpaarun-
gen einwirken.
Anmerkung: Ein Beanspruchungskollektiv setzt sich typi-
scherweise aus der Normalkraft und der Relativgeschwindig-
keit zwischen den Werkstoffen, der Zeitdauer der Belastung
und den zurückgelegten Wegstrecken zwischen den Werkstof-
fen zusammen.
Reibung
Verlust an mechanischer Energie beim Ablaufen,
Beginnen oder Beenden einer Relativbewegung
sich berührender Stoffbereiche.
Anmerkung: Eine besondere Form der Gleitreibung ist die
Festkörperreibung. Bei ihr werden Oberflächenerhöhungen
eingeebnet (umgeformt und/oder abgetragen), dies führt zur
Abgabe teilchenförmiger Verunreinigungen.
Die Gleitreibung ist abhängig von der Größe der senkrecht
zwischen den Oberflächen der Werkstoffpaarung wirkenden
Normalkraft FN, dem Gleitreibungskoeffizienten µGL und von
der Relativgeschwindigkeit vrel der gegeneinander reibenden
Gleitflächen. Sie wird von der Rauigkeit und der Materialart
der Wirkflächen bestimmt. Der Reibungskoeffizient µGL stellt
eine werkstoffspezifische Größe dar und ist als das Verhältnis
von Reibungskraft zu Normalkraft definiert.
Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Die Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen beur-
teilt Werkstoffe hinsichtlich des Einsatzes in reinen
Produktionsbereichen.
Anmerkung: Dabei werden alle produktrelevanten Kontami-
nationskriterien berücksichtigt.
Reinraum
Raum, in dem die Anzahl luftgetragener
ĺPartikel/Moleküle kontrolliert wird, der so kon-
struiert ist dass die Anzahl der in den Raum einge-
schleppten bzw. im Raum entstehenden und abge-
lagerten Partikel/Moleküle kleinstmöglich ist, und
in dem auch andere reinheitsrelevante Parameter
wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf
geregelt werden.
Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Die Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen beur-
teilt Werkstoffe hinsichtlich des Einsatzes in
ĺReinräumen aufgrund der Abgabe von teilchen-
förmigen Verunreinigungen (Partikel).
Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Rein-
heitstauglichkeit. Die Reinraum-/Reinheitstauglichkeit von
Betriebsmitteln siehe auch VDI 2083 Blatt 9.1.
Tribologie
Die Tribologie befasst sich mit der wissenschaftli-
chen Beschreibung von ĺReibung, ĺVerschleiß
und Schmierung sowie der Entwicklung von Tech-
nologien zur Optimierung von Reibungsvorgän-
gen.
Verschleiß
Fortschreitende Materialverlust aus der Oberfläche
eines festen Körpers (Grundkörper), hervorgerufen
durch mechanische Ursachen, das heißt Kontakt-
und Relativbewegung eines Gegenkörpers.
Verunreinigung
Partikelförmige oder nicht-partikelförmige, chemi-
sche, physikalische oder biologische Einheit, die
sich auf das Produkt oder den Prozess nachteilig
auswirken kann. [DIN EN ISO 14644-4]

Werkstoff
Im Sinne dieser Richtlinie alle feste und pastösen
Materialien sowie Oberflächenbeschichtungen.
Anmerkung: Pulverförmige, gasförmige und flüssige Medien
werden im Rahmen dieser Richtlinie nicht betrachtet.
3.2 Partikel
Klassifizierung
Einteilung der von reibend belasteten Werkstoffen
abgegebenen Partikelemission in Anlehnung an
national und international etablierte Luftreinheits-
klassen (z. B. VDI 2083 Blatt 1, ISO 14644-1).
Partikel
Festes oder flüssiges Teilchen mit definierten phy-
sikalischen Grenzen.
Anmerkung: Im Sinn dieser Richtlinie wird die gesamte
Bandbreite von Partikeln gemäß VDI 2083 Blatt 1 oder
ISO 14644-1 ohne Partikelgrößenbeschränkung betrachtet.
Partikelemissionsverhalten
Beim Nachweis von Partikelemissionen von Werk-
stoffoberflächen kann folgende Unterteilung ge-
troffen werden:
x Direkt vor der Partikelemissionsmessung wer-
den die Partikel aufgrund einer Relativbewe-
gung der betrachteten Werkstoffpaarung gene-
riert.
x Partikel wurden aufgrund eines zuvor stattge-
fundenen Partikel-Sedimentationsprozesses
querverschleppt.
x Oberflächen, von denen Partikelemissionen
ausgehen, wurden zuvor nicht sachgemäß ab-
gereinigt.
Der Fokus soll auf die von Werkstoffen bei einer
typischen Belastung (Relativbewegung, tribologi-
sche Belastung) emittierten Partikel gesetzt wer-
den.
In dieser Richtlinie soll weder ein Fokus auf quer-
verschleppte Partikel noch auf unzureichend gerei-
nigte Oberflächen gesetzt werden.
3.3 Chemische Kontamination
Ätzende Kontaminante
Substanz, die zu einer unerwünschten zerstörenden
chemischen Veränderung einer Oberfläche führt.
(siehe auch ISO 14644-6)
Aktive Oberfläche
Unter der aktiven Oberfläche wird die mit der
Reinraumluft in Kontakt kommende Oberfläche
betrachtet.
AMC (Airborne Molecular Contamination – Luft-
getragene molekulare Kontamination)
In der Atmosphäre eines Reinraums oder einer
kontrollierten Umgebung vorhandene molekulare
(chemisch, nicht-partikular) Gase oder Dämpfe,
welche sich schädlich auf den Menschen, das Pro-
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 –5–
dukt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment
auswirken können (siehe auch ISO 14644-6).
Anmerkung 1: Diese Definition schließt biologische Molekü-
le nicht ein. Diese werden als Partikel betrachtet.
Anmerkung 2: Die Klassifizierung AMC ist fallabhängig. So
kann die gleiche Substanz in unterschiedlichen Fällen als
Kontaminant eingestuft werden oder nicht.
Ausgasung
Chemische Verbindungen im gas- oder dampfför-
migen Zustand, die von einem Material unter übli-
chen festgelegten Bedingungen (Temperatur, rela-
tive Feuchte und Druck) freigesetzt werden.
Base
Substanz, deren chemische Reaktion dadurch ge-
kennzeichnet ist, dass sie durch Abgabe von Elek-
tronenpaaren neue Bindungen bildet.
Chemische Kontamination
Unerwünschte und wahrnehmbare chemische Ver-
änderung von Stoffen bzw. deren Verunreinigung
oder Zerstörung, ausgelöst durch Kontaminanten,
unabhängig davon, wie die Kontamination einge-
tragen wurde (aus der Gasphase, als Partikel, als
Keim etc.).
Dotierstoff
Substanz, die nach Adsorption in die Masse eines
Produkts übergeht und die – sogar als Spurenbe-
standteil – dazu in der Lage ist, die Eigenschaften
von Materialien zu verändern.
Anmerkung: Übliche Beispiele von Dotierungen sind Sub-
stanzen, die die elektrischen Eigenschaften von Mikroelektro-
nikwerkstoffen verändern, z. B. kritische Metallkontaminanten
wie P, B oder Au.
Halbquantitative Analyse
Sofern nicht alle Komponenten eines Substanzge-
mischs bekannt und/oder nicht für alle Komponen-
ten Referenzsubstanzen in genügend hoher Rein-
heit verfügbar sind, kann mittels einer einzigen
geeigneten Bezugssubstanz B kalibriert werden
damit wird der Response-Faktor kB bestimmt. Man
erhält die Ergebnisse in B-Äquivalenten und
spricht von einer halbquantitativen Analyse.
Kondensierbare Kontaminante
Substanz, die in der Lage ist, sich unter Reinraum-
betriebsbedingungen durch Kondensation auf einer
Oberfläche abzulagern.
Kontaminante
Substanz, die die Eigenschaften des Produkts, Pro-
zesses oder Equipments unerwünscht und stark
wahrnehmbar chemisch oder physikalisch ändert
oder sich schädlich auf Mensch oder Umwelt aus-
wirkt. Dabei kann sowohl die Substanz als auch
die Reaktion unerwünscht sein.
–6– VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
Kontaminantenfamilie
Gruppe von Kontaminanten mit ähnlichen chemi-
schen Eigenschaften. (siehe auch ISO 14644-6)
Molekül
Ein Molekül ist ein Teilchen, das aus mindestens
zwei gleichartigen oder unterschiedlichen zusam-
menhängenden Atomen besteht, welche durch
kovalente Bindungen verbunden sind.
Anmerkung: Moleküle sind die kleinsten Teilchen von Ver-
bindungen, die noch deren chemischen Eigenschaften besitzen
und aus fest gefügten Verbänden von zwei oder mehr Atomen
bestehen.
Organische Kontaminante
Substanz, die im Wesentlichen aus Kohlenstoff
aufgebaut ist.
Quantitative Analyse
Bei der quantitativen Analyse wird die Analyt-
menge berechnet nach:
S ( A)  C
mA (1)
kA
Da kA bei gegebener Detektionsart substanzspezi-
fisch ist, muss bei der quantitativen Bestimmung
eines Substanzgemischs für jede einzelne Kompo-
nente kalibriert werden. Dies setzt voraus, dass alle
Komponenten des Gemischs bekannt und für alle
Komponenten Referenzsubstanzen in genügend
hoher Reinheit verfügbar sind.
Response-Faktor
Bei der Analyse einer Komponente aus einem Sub-
stanzgemisch liefert ein Detektor zunächst ein der
Analytmenge (Masse oder Konzentration) propor-
tionales Signal gemäß S(A) ~ mA. Die substanz-
spezifische Proportionalitätskonstante kA – auch
Response-Faktor genannt – muss durch Kalibrie-
rung ermittelt werden und entspricht der Steigung
des linearen Bereichs der Kalibriergeraden. Dann
gilt allgemein:
S (A) kA ˜ mA  C (2)
Dabei ist
C Ordinatenabschnitt
Oder im Fall einer Ursprungsgeraden mit C = 0:
S (A) kA ˜ mA (3)
Säure
Substanz, deren chemische Reaktion dadurch ge-
kennzeichnet ist, dass sie durch Aufnahme von
Elektronenpaaren neue Bindungen bildet.
Surface Chemical Contamination
Auf der Oberfläche eines Werkstoffs vorhandene
molekulare (chemisch, nicht-partikuläre) Ablage-
rungen, welche sich schädlich auf den Men
schen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder
das Equipment auswirken können (siehe auch
VDI 2083 Blatt 14, DIN EN ISO 14644-6).
Anmerkung: Surface Chemical Contamination kann z. B.
durch ĺAMC verursacht worden sein bzw. AMC verursa-
chen.
Thermodesorption
Thermisches Herauslösen von flüchtigen Substan-
zen aus einem Trägermaterial.
(siehe auch IEST WG 31)
VOC (Volatile Organic Compounds – flüchtige
organische Komponenten)
VOC werden wie folgt unterteilt:
x VVOC (Very Volatile Organic Compounds)
Bezeichnet sehr flüchtige organische Kompo-
nenten im Retentionsbereich < C6.
x VOC (Volatile Organic Compounds)
Bezeichnet flüchtige organische Komponenten
im Retentionsbereich C6 bis C16.
x SVOC (Semi-Volatile Organic Compounds)
Bezeichnet flüchtige organische Komponenten
im Retentionsbereich > C16.
x TVOC (Total Volatile Organic Compounds)
Bezeichnet die Summe aller flüchtigen organi-
schen Komponenten zwischen Hexan C6 und
Hexadekan C16 Molekül.
3.4 Elektrostatik
Ableitwiderstand
Der Ableitwiderstand beschreibt die Fähigkeit,
vorhandene Ladungen kontrolliert und ausreichend
schnell abzuführen. Die Leit- bzw. Ableitfähigkeit
eines Materials ist abhängig von seinem Wider-
stand: je höher der Widerstand, desto geringer die
Leitfähigkeit. Man unterscheidet in der Regel zwi-
schen antistatischen, elektrostatisch leitfähigen
oder ableitfähigen sowie isolierenden Materialien.
Antistatisches Material
Material mit einer geringen Aufladungsneigung,
das heißt es vermeidet elektrostatische Aufladung
oder lässt nur geringfügig Aufladung zu.
Elektrostatische Aufladung
Durch Reibungs- und Trennvorgänge von Materia-
lien (triboelektrische Aufladung) oder das Einwir-
ken eines elektrischen Felds (elektrostatische In-
duktion bzw. Influenz) können elektrostatische
Ladungen, das heißt Potenzialdifferenzen, entste-
hen. Die Höhe der Aufladungspotenziale wird von
der Aufladungsneigung der Materialien sowie der
relativen Luftfeuchtigkeit der Umgebung maßgeb-
lich beeinflusst.
Anmerkung: Die in dieser Richtlinie aufgeführten Grenzwer-
te (Widerstand, Ladung etc.) sind beispielhaft dargestellt und
müssen zwischen Nutzer und Anwender objektspezifisch
abgestimmt werden. So können z. B. bereits Aufladungspo-
tenziale von unter 10 V Beschädigungen oder Zerstörungen
von Elektronikbauteilen verursachen eine Tatsache, die bei der
Auswahl geeigneter Materialien berücksichtigt werden sollte.

Elektrostatische Entladung (ESD)
Elektrostatische Entladung beschreibt den sponta-
nen Ladungsübergang zwischen zwei Körpern oder
Materialien mit unterschiedlichen elektrostatischen
Potenzialen. Diese werden verursacht durch direk-
ten Kontakt oder induziert durch ein elektrostati-
sches Feld.
Anmerkung: Die Bestimmung elektrostatisch aufgeladener
Werkstoffe/Werkstoffkombinationen kann mithilfe der
E-Feldbestimmung, z. B. nach SEMI E78-0309, erfolgen.
Elektrostatisch ableitendes Material (dissipatives
Material)
Material, das der elektrostatischen Ladung ermög-
licht, über seine Oberfläche und/oder durch sein
Volumen innerhalb einer Zeit abzufließen, die kurz
ist im Vergleich zu der Zeit der Ladungserzeugung
oder der Zeit, innerhalb derer diese Ladung ein
elektrostatische Problem herbeiführen kann. Elasti-
sche Bodenbeläge beispielsweise werden nach
EN 14041 dann als elektrostatisch ableitend einge-
stuft, wenn der nach EN 1081 gemessene Durch-
gangswiderstand 109 ȍQLFKWüberschreitet. Ablei t-
fähige Bodenbeläge müssen zudem nach
DIN VDE 0100-600 an jedem Messort einen Isola-
tionswiderstand von• 5 × 104 ȍ aufweisen bzw.
sie dürfen nach der DIN VDE 0100-410 einen
Mindestwiderstand von 5 × 104 ȍ nicht unter-
schreiten.
Elektrostatisch leitfähiges Material
Material, das der elektrostatischen Ladung ermög-
licht, über seine Oberfläche und/oder durch sein
Volumen innerhalb kürzester Zeit abzufließen.
Nach EN 14041 z. B. gelten elastische Bodenbelä-
ge als elektrostatisch leitfähig, wenn deren nach
EN 1081 gemessener Durchgangswiderstand 106 ȍ
nicht überschreitet.
Erdableitwiderstand
Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode
auf der Oberfläche des Werkstoffs und dem Werk-
stoff-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial
0 V („Masse“) liegt.
Isolierendes Material
Material mit sehr geringer Ladungsbeweglichkeit,
sodass auftretende Ladungen nicht abgeführt wer-
den.
Anmerkung: Beispielsweise muss der Oberflächenwiderstand
eines isolierenden Verpackungsmaterials gemäß DIN
IEC 61340-1 (VDE 0300-1) unter den festgelegten Bedingun-
gen größer gleich 1 × 1011 ȍ sein.
Oberflächenwiderstand
Elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei
Elektroden an einer Oberfläche.
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 –7–
3.5 Reinigbarkeit kontaminierter Oberflächen
Oberflächen
Oberflächen im Sinn der vorliegenden Richtlinie
sind alle Flächen, die
x dem reinheitstechnisch kontrollierten Bereich
zugeordnet sind,
x sich im reinheitstechnisch kontrollierten Be-
reich befinden und/oder
x mit dem hergestellten Produkt in Berührung
kommen.
Oberflächeneigenschaften
Eigenschaften, welche im Hinblick auf die Ober-
flächenreinheit von Bedeutung sind (z. B. Rauheit,
Ableitfähigkeit, Reinigbarkeit, Zugänglichkeit,
Welligkeit).
Partikuläre Oberflächenreinheit
Oberflächenreinheit im Sinne der vorliegenden
Richtlinie ist die Abwesenheit von partikulären
Verunreinigungen, die den Prozess, das Produkt,
das Personal oder die Einrichtungen beeinträchti-
gen können. Unter der Oberflächenreinheit wird
ein Zustand einer Oberfläche mit einem festgeleg-
ten Grad an Verunreinigung (ISO 14644-9) ver-
standen.
Partikuläre Oberflächenreinheitsklasse
(Surface Particle Cleanliness class; SPC-class)
Bewertung nach der Anzahl von Einzelpartikeln
auf einer Bezugsoberfläche (z. B. 1 cm2 in der
VDI 2083 Blatt 9.1 oder 1 m2 in ISO 14644-9),
bezogen auf einen Referenzpartikeldurchmesser.
Reinigung
Zustand einer Oberfläche mit einem festgelegten
Grad an Verunreinigung (ISO 14644-4 und
ISO 14644-8 oder -10).
Reinigung im Sinn der vorliegenden Richtlinie ist
das gezielte Entfernen von Verunreinigungen, die
das Produkt oder den Prozess stören.
Reinigbarkeit
Unter Reinigbarkeit wird das Vermögen verstan-
den, inwiefern eine kontaminierte Oberfläche
durch geeignete Reinigungsmethoden und Reagen-
zien dekontaminiert werden kann.
Dekontamination
Abreicherung unerwünschten Materials bis auf ein
festgelegtes Niveau. (siehe ISO 14644-7)
3.6 Chemikalienbeständigkeit
Chemikalienbeständigkeit
Durch die Chemikalienbeständigkeit wird allge-
mein die Widerstandsfähigkeit von Materialien
bzw. Werkstoffen gegen die Einwirkung von
Chemikalien/Stoffen (z. B. Reinigungs- und Desin-
fektionsmittel) beschrieben. Hierbei kann sich das
–8– VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
äußere Erscheinungsbild ändern. Ein Teilbereich
der chemischen Beständigkeit, die sich auf Metalle
bezieht, ist die ĺKorrosion.
Korrosion
Korrosion ist die Reaktion eines metallischen
Werkstoffs mit seiner Umgebung, die eine messba-
re Veränderung des Werkstoffs bewirkt und zu
einer Beeinträchtigung der Funktion eines metalli-
schen Bauteils oder eines ganzen Systems führen
kann.
Anmerkung 1: In den meisten Fällen ist die Reaktion elektro-
chemischer Natur, in einigen Fällen kann sie chemischer oder
metallphysikalischer Natur sein (Korrosionsbegriff nach DIN
EN ISO 8044:1999-11).
Anmerkung 2: Bei metallischen Werkstoffen wird der Begriff
der Korrosion; siehe unten, bei Kunst- und Schmierstoffen
wird der Begriff Alterung verwendet.
4 Klassifizierung
4.1 Partikelemission, Reinraumtauglichkeit
von Werkstoffen
Die Beurteilung der partikulären Reinheit von
Reinraumumgebungen geschieht auf der Grundla-
ge von Klassen, die durch nationale, regionale oder
internationale Regelwerke zur Beurteilung der
Luftreinheit festgelegt sind. Dabei wird die Kon-
zentration von Partikeln verschiedener festgelegter
Größenklassen als Klassifizierungskriterium be-
nutzt.
Für die Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
wird die von ihnen ausgehende höchste Konzentra-
tion partikulärer luftgetragener Verunreinigung
ermittelt.
Die Partikelgrößenverteilung der Emissionen der
auf Reinraumtauglichkeit zu untersuchenden
Werkstoffe kann stark variieren. Da diese Vertei-
lungscharakteristik nicht im Vorfeld bekannt ist,
genügt es nicht, nur einen Partikelgrößenbereich zu
untersuchen. Deshalb werden mindestens drei re-
präsentative Partikelgrößenbereiche gewählt.
Bei der Auswahl der herangezogenen Partikel-
größenbereiche muss jeder größere Partikeldurch-
messer (D2) mindestens das Anderthalbfache des
nächstkleineren Partikeldurchmessers (D1) sein.
Dabei gilt:
D2 •îD1 (4)
D3 •îD2 (5)
Dabei ist
D1 Partikeldurchmesser des kleinsten betrachte-
ten Partikelgrößenbereichs
D2 Partikeldurchmesser des mittleren betrachte-
ten Partikelgrößenbereichs
D3 Partikeldurchmesser des größten betrachte-
ten Partikelgrößenbereichs
Die ermittelte Konzentration wird mit den Grenz-
werten des betrachteten Regelwerks zur Beurtei-
lung der Luftreinheit (z. B. VDI 2083 Blatt 1 oder
ISO 14644-1) in Korrelation gesetzt. Daraus wer-
den Schlussfolgerungen über die Eignung für den
Einsatz in Reinraumumgebungen mit einer be-
stimmten Reinheitsklasse der Luft abgeleitet.
4.2 Ausgasung
Bei der Klassifizierung erfolgt eine Anlehnung an
das Klassifizierungssystem der ISO 14644-8 (siehe
Tabelle 1). In dieser Richtlinie werden flüchtige
organische Komponenten (VOC) betrachtet.
VVOC und SVOC sind nicht Gegenstand dieser
Richtlinie. Die Klassendefinition bezieht sich auf
die Ausgasungskonzentration in g/m3, das heißt
abgegebene Ausgasungsmenge pro umgebendem
Reinstluft-/Reinstgasvolumen.
4.2.1 Klassifizierung des Ausgasungsverhal-
tens eines Werkstoffs:
ISO-AMCm Klasse N
Es gilt die nachfolgend aufgeführte Abhängigkeit
nach ISO 16000-9:2008-4 zur Berechnung der
flächenspezifischen Emissionsrate SERm. Diese ist
eine werkstoffspezifische Kenngröße:
TVOCm ˜ VKammer ˜ nKammer
SER m (6)
Am
Dabei ist
SERm flächenspezfische Emissionsrate des
Werkstoffs m bei einer Raumtemperatur
von (22 ± 1) °C in g/(m2 ˜ s)
TVOCm Gesamtausgasung des Werkstoffs m in
g/m3
VKammer Kammervolumen in m3
Am Fläche des Werkstoffs m in m2
nKammer Spülgasrate in 1/s
Die Klassifizierung des Werkstoffs erfolgt anhand
der Größe TVOCnorm:
SERm ˜ Anorm
TVOCnorm (7)
Vnorm ˜ nnorm
Dabei ist
Vnorm normiertes Kammervolumen von 1 m3
Anorm normierte Fläche des Werkstoffs von 1 m2
nnorm normierte Spülgasrate von 1/s
TVOCnorm normierte Gesamtausgasung des Werk-
stoffs m in g/m3
Der Zahlenwert von TVOCnorm wird dekadisch
logarithmiert und ergibt damit die werkstoffspezi-
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 –9–

fische normierte ISO-AMCm-Klasse. Diese wird in x Volumen des Reinraums

folgendem Format angegeben: auf die AMC-Belastung eines Reinraums bzw.
ISO-AMCm Klasse N (or) eines Mini-Environments berücksichtigt.
Die ISO-AMCm-Klasse-N wird innerhalb eines Die Frischluftrate berechnet sich folgendermaßen:
Bereichs von „0“ bis „–12“ erhalten. Es dürfen nCR LWRCR ˜ FLACR (9)
Zwischenwerte der Klassifizierung angegeben
werden. Dabei ist 0,1 die kleinste zulässige Dabei ist
Schrittweite von „N“. nCR Frischluftrate im Reinraum
Das Klassifzierungsverfahren kann prinzipiell auch LWRCR Luftwechselrate im Reinraum
auf weitere, flüchtige Kontaminantenfamilien an- FLACR Frischluftanteil im Reinraum
gewendet werden.
Bei der Frischluftrate ist zu beachten, dass hierbei
„X“ ist die Kontaminantenfamilie (Wechselwir- die Zuführung von AMC-freier Reinstluft ange-
kung mit dem Produkt), ausgedrückt als nommen wird. Ein Beispiel hierfür findet sich in
x Säure (ac) Anhang A.
x Base (ba)
Tabelle 1. Reinheitsklassen – in Anlehnung an
x kondensierbare Kontaminante (cd) ISO 14644-8 – zur Bewertung der Ausgasung von
x ätzende Kontaminante (cr) Werkstoffen
x Dotierung (dp) ISO- Konzen- Konzen- Konzen-
x organische Kontaminante, Gesamtwert (or) AMC- tration tration tration
Klasse in g/m3 in µg/m3 in ng/m3
x Oxidationsmittel (ox)
0 100 106 109
x eine Gruppe von Substanzen –1 10–1 105 108
x eine einzelne Substanz –2 10–2 104 107
–3 10–3 103 106
Diese wird in folgendem Format angegeben: –4 10–4 102 105
ISO-AMCm Klasse N (X) –5 10–5 101 104
4.2.2 Umrechnung der werkstoffspezifischen –6 10–6 100 103
ISO-AMCm-Klasse N auf reale Rein- –7 10–7 10–1 102
raumumgebungen ISO-AMCCR-Klasse –8 10–8 10–2 101
–9 10–9 10–3 100
Um für einen Reinraum mit bekannten Betriebspa-
–10 10–10 10–4 10–1
rametern die durch das Einbringen eines Werk-
–11 10–11 10–5 10–2
stoffs zu erwartende ISO-AMC-Klasse zu berech-
–12 10–12 10–6 10–3
nen, wird folgende Gleichung angewendet:
4.3 Elektrostatik
SERm ˜ ACR
TVOCCR (8) Speziell in der Halbleitertechnik werden Oberflä-
VCR ˜ nCR chen bezüglich ihres elektrischen Felds (E-Felds)
Dabei ist in Anlehnung an SEMI E78 in folgende Klassen
TVOCCR berechnete Gesamtausgasung des Werk- (siehe Tabelle 2) unterteilt.
stoffs m im Reinraum in g/m3 Tabelle 2. Charakterisierung von Oberflächen
hinsichtlich ihres E-Felds
ACR Fläche des Werkstoffs im Reinraum in m2
Sensitivity E-Feld-Ausprägung
VCR Reinraumvolumen in m3
Level am Produkt
nCR Frischluftrate des Reinraums in 1/h in Nanocoulomb
Der dekadische Logarithmus von TVOCCR ergibt 1 1
die ISO-AMC-Klasse des Reinraums. Diese wird 2 10
in folgendem Format angegeben: 3 50
ISO-AMCCR Klasse N (or) 4 100
ISO-AMCCR-Klassifizierung erfolgt ebenso gemäß
ISO 14644-8, siehe Tabelle 1.
Werkstoffe können aufgrund ihrer Eigenschaften
Mit Gleichung (8) werden die Einflussfaktoren mittels des Oberflächenwiderstands, Ableitwider-
x Frischluftrate, stands oder Durchgangswiderstands bewertet wer-
x Fläche des Werkstoffs im Reinraum und den.
– 10 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
Beispielhaft für konkrete Werkstoffanwendungen
in Produkten sind in Tabelle 3 Werte für den
Oberflächenwiderstand, Erdableitwiderstand oder
Durchgangswiderstand von Böden und Wänden
sowie Arbeitsoberflächen und Oberflächen von
Lagerregalen und Transportwagen, wie diese in der
EN 61340-5-1 definiert sind, aufgelistet.
Böden in Reinraumbereichen sollten statische Auf-
ladungen größer 2 kV von Personen oder Trans-
portmitteln vermeiden. Hier ist besonders auf die
Werkstoffpaarungen Boden/Schuhe und Boden/Rad
zu achten.
4.4 Reinigbarkeit partikelkontaminierter
Werkstoffoberflächen
Diese Oberflächenreinheitsklassen finden sich in
VDI 2083 Blatt 9.1 und in ISO 14644-9:
Klassifzierung der partikulären Oberflächen-
reinheit
Die Klasse der Partikelreinheit der Oberfläche
(SPC-class) in einem Reinraum oder einem zuge-
hörigen Reinraumbereich ist durch eine Klassifi-
zierungsnummer N zu bezeichnen. N wird nach der
folgenden Gleichung mit der für jede betrachtete
Partikelgröße D höchstens zulässigen Gesamt-
Partikelkonzentration der Oberfläche CSPC;D (in
Partikel je Quadratmeter Oberfläche) bestimmt:
10 N
CSPC;D k (10)
D D3 Partikeldurchmesser des größten betrachte-
Dabei ist
CSPC;D höchstzulässige Gesamt-Oberflächenkon-
zentration (in Partikel je Quadratmeter
Oberfläche) an Partikeln, welche größer
gleich der betrachteten Partikelgröße sind;
CSPC;D wird auf der Grundlage von höchs-
tens drei signifikanten Stellen auf die
nächste ganze Zahl gerundet.
N SPC-Klassifizierungsnummer, die auf die
SPC-Klassen 1 bis 8 begrenzt ist; die Klas-
sennummer N wird durch den gemessenen
Partikeldurchmesser D, in µm, dargestellt.
Anmerkung: N bezieht sich auf den Exponenten zur
Basis 10 für die Konzentration an Partikeln bei der
Bezugspartikelgröße von 1 µm.
D betrachtete Partikelgröße in µm
k eine Konstante von 1 in µm
Tabelle 3 enthält eine Darstellung der Klassen in
grafischer Form. Die aus Gleichung (10) abgeleite-
te Konzentration CSPC;D ist die maximal zulässige
Partikelanzahl pro m2 bei der betrachteten Partikel-
größe von 1 µm.
Zur Klassifizierung der Reinigbarkeit einer Ober-
fläche muss eine Differenzbetrachtung der Ober-
flächenreinheit vor und nach der zu bewertenden
Reinigung durchgeführt werden. Der Zustand der
Oberflächenreinheit erfolgt gemäß Gleichung (10).
Das Reinigbarkeitsergebnis erfolgt als erzielte
Differenz der Oberflächenreinheitsklassen in Ab-
hängigkeit von der betrachteten Partikelgröße und
der Ursprungskontamination auf der Oberfläche.
Die Partikelverteilung auf den zu bestimmenden
Oberflächen kann stark variieren. Da diese Vertei-
lungscharakteristik im Allgemeinen nicht im Vor-
feld bekannt ist, genügt es nicht, nur einen Parti-
kelgrößenbereich an nur einer Probenahmeposition
zu untersuchen. Deshalb werden mindestens drei
repräsentative Partikelgrößenbereiche und mindes-
tens drei Probenahmepositionen gewählt.
Bei der Auswahl der herangezogenen Partikelgrö-
ßenbereiche muss jeder größere Partikeldurchmes-
ser (D2) mindestens das Anderthalbfache des
nächstkleineren Partikeldurchmessers (D1) sein.
Dabei gilt:
D2 •· D1 (11)
D3 •· D2 (12)
Dabei ist
D1 Partikeldurchmesser des kleinsten betrachte-
ten Partikelgrößenbereichs
D2 Partikeldurchmesser des mittleren betrachte-
ten Partikelgrößenbereichs
ten Partikelgrößenbereichs
Die ermittelte Konzentration wird mit den Grenz-
werten des betrachteten Regelwerks zur Beurtei-
lung der Oberflächenreinheit (z. B. VDI 2083
Blatt 9.1 oder ISO 14644-9) in Korrelation gesetzt.
Daraus ergeben sich Schlussfolgerungen über die
Eignung eines Reinigungsverfahrens.
4.5 Chemikalienbeständigkeit und Korrosi-
onsverhalten von Werkstoffen
Die Klassifizierung der Chemikalienbeständigkeit
und des Korrosionsverhaltens verwendeter Werk-
stoffe kann nach ISO 4628-1 bis -7, vorgenommen
werden. Die Beurteilung der Werkstoffverände-
rungen erfolgt mittels einer visuellen Bewertung
hinsichtlich der Größe, Menge, Intensität der
Schäden, Rostgrad, Rissgrad, Abblätterungsgrad,
Kreidungsgrad und/oder der Bewertung der Ände-
rung der technischer Eigenschaften, wie Härte,
Zugfestigkeit oder Korrosionsverhalten. Für die
zulässigen Werkstoffänderungen gibt es keine
generellen Grenzwerte, diese müssen mit dem
Auftraggeber/Anlagenbetreiber abgestimmt wer-
den.
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 11 –

Tabelle 3. Beispielhafte Klassifizierungen diverser Werkstoffe/Produkte anhand häufig herangezogener

Regelwerke
Klassifizierung/ Grenzwert(e) Klassifizierungsregelwerk
Bewertung (Regelwerk der Messtechnik)
Antistatischer Werkstoff Für Bodenbelag: E EN 14041:
a)
Körperspannung < 2 kV (EN 1815 )
Elektrostatisch leitfähiger Für Verpackungsmaterial: E DIN IEC 61340-1
1 × 10 : ” RO < 1 × 10 :
2 5
Werkstoff (VDE 0300-1)
Für Bodenbelag: E DIN IEC 61340-1
keine Kategorisierung definiert (VDE 0300-1)
Für Bodenbelag: E EN 14041
b)
Rtg ”1 × 10 :
6
(EN 1081 )
Elektrostatisch ableitend Für Verpackungsmaterial E DIN IEC 61340-1
1 × 10 : < RO < 1 × 10 :
5 11
(dissipativer Werkstoff) (VDE 0300-1)
Für Bodenbelag: gem. E DIN IEC 61340-1
keine Kategorisierung definiert (VDE 0300-1)
Für Bodenbelag: EN 14041
b)
Rtg < 1 × 10 :
9
(EN 1081 )
Elektrostatisch isolierender Werk- Für Verpackungsmaterial: E DIN IEC 61340-1
1 × 10 : ” RO
11
stoff (VDE 0300-1)
Für Bodenbelag: DIN VDE 0100-410, Anhang C
Ri • 50 k: Nennspannung ” 500 V
Ri • 100 k: Nennspannung > 500 V

im verlegten Zustand bei 23°C (± 2°C) und •U)“U)

a)

im verlegten Zustand bei 23°C (± 2°C) und •U)“U)

b)

RO – Oberflächenwiderstand Rtg – Durchgangswiderstand Ri – Isolationswiderstand

Tabelle 4. Bewertungsmatix für die Bewertung der

Intensität der Veränderungen nach ISO 4628-1
Kennzahl Intensität der Veränderung
0 keine wahrnehmbare Veränderung
1 gerade wahrnehmbare Veränderung
2 deutlich wahrnehmbare Veränderung
3 sehr deutlich wahrnehmbare Veränderung
4 stark ausgeprägte Veränderung
5 sehr starke Veränderung
Beispielhafte Bewertung der Größe der Schäden an
Werkstoffen gemäß ISO 4628-1, siehe Tabelle 5.
Tabelle 5. Bewertungsmatix für die Bewertung der
Größe der Schäden nach ISO 4628-1
Kennzahl Größe der Schäden
0 nicht sichtbar bei zehnfacher
Bild 2. Oberflächenreinheitsklassen (SPC-class), Vergrößerung
aus ISO 14644-9 1 nur sichtbar bei zehnfacher
Vergrößerung
Beispielhafte Bewertung der Intensität von
gleichmäßigen Veränderungen nach ISO 4628-1, 2 gerade sichtbar mit bloßem Auge
siehe Tabelle 4. 3 deutlich sichtbar mit bloßem Auge
(bis zu 0,5 mm)
4 Bereich (0,5…5) mm
5 größer 5 mm
– 12 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
Beispielhafte Bewertung des Korrosionsverhaltens
von metallischen Oberflächen gemäß ISO 4628-3,
siehe Tabelle 6.
Tabelle 6. Bewertungsmatix für die Bestimmung
des Rostgrads nach ISO 4628-3
Rostgrad Ri Rostfläche LQ
0 0
1 0,05
2 0,5
3 1
4 8
5 40 bis 50
Klassifizierung mittels „WorstCase-“ oder Mit-
telwertsbetrachtung
Um eine Gesamtbewertung des Werkstoffs zu er-
halten, können die Einzelbewertungen zusammen-
gefasst werden. Hierbei können die Kennzahlen
der Tabelle 4, Tabelle 5 und Tabelle 6 mittels einer
Worst-Case-Betrachtung und/oder einer Mittel-
wertbetrachtung erfolgen.
Bei der Worst-Case-Betrachtung wird ausgehend
von den Kennzahlen Tabelle 4, Tabelle 5 und Ta-
belle 6 die schlechteste Einzelkennzahl aus den
einzelnen betrachteten Parametern herangezogen.
Bei der Mittelwertsbetrachtung wird aus den
Kennzahlen der Tabelle 4, Tabelle 5 und Tabelle 6
der Mittelwert bestimmt und zur Klassifizierung
des Werkstoffs nach Tabelle 7 herangezogen.
Tabelle 7. Klassifizierung für die Bewertungen
nach ISO 4628-1-7
Kennzahl Klassifizierung Classification
0 exzellent excellent
1 sehr gut very good
2 gut good
3 schwach weak
4 sehr schwach very weak
5 keine none
Erläuterung zur Klassifizierung nach Tabelle 7
x exzellent: Der Werkstoff behält seine charak-
teristischen mechanischen (z. B. Festigkeit),
physikalischen (z. B. Färbung) und chemi-
schen (z. B Zusammensetzung) Eigenschaften
trotz beliebig langen Kontaktes mit der zu tes-
tenden chemischen Substanz unverändert bei.
Da dieser Idealzustand praktisch nie vor-
kommt, gilt in der Technik ein Werkstoff
durchaus noch als „beständig“, der nur sehr
langsam angegriffen wird.
x sehr gut bis gut: Der Werkstoff behält seine
charakteristischen Eigenschaften (siehe oben)
für eine begrenzte, für den Einsatzzweck ak-
zeptable, Zeitspanne oder innerhalb spezieller
Grenzen der Einsatzbedingungen bei.
x schwach bis keine: Der Werkstoff verliert
seine charakteristischen Eigenschaften (siehe
oben) innerhalb sehr kurzer Zeit, bzw. schnel-
ler als der Einsatzzweck es erlaubt.
Eine Bewertung des Korrosionsverhaltens von me-
tallischen Oberflächen in Kombination mit Schier-
stoffen kann alternativ auch gemäß DIN 51802
durchgeführt werden, siehe Tabelle 8.
Tabelle 8. Prüfung von Schmierstoffen auf korro-
sionsverhindernde Eigenschaften;
SKF-Emcor-Verfahren
Rost- Bewertung
note
0 keine Korrosion
1 höchstens 3 Korrosionsstellen, von
denen keine einen Durchmesser von
1 mm hat
2 leichte Korrosion < 1 GHU2EHrfläche
3 mäßige Korrosion (1…5) GHU
Oberfläche
4 starke Korrosion (5…10) GHU
Oberfläche
5 sehr starke Korrosion > 10 GHU
Oberfläche
Die Bewertung der Fleckenempfindlichkeit von
elastischen Bodenbelägen kann gemäß EN 423
erfolgen, siehe Tabelle 9.
Tabelle 9. Prüfung von elastischen Bodenbelägen
nach einer mechanischen Scheuer- bzw. Reini-
gungsbelastung
Index Ergebnis der Prüfung nach
Reinigen/Scheuern
0 unverändert
1 sehr wenig verändert
2 wenig verändert
3 verändert
4 stark verändert
5 Anforderungen
5.1 Allgemeine Anforderungen
Die Anforderungen an die Reinheitstauglichkeit
können sowohl qualitativ als auch quantitativ sein.
Quantitative Anforderungen müssen durch ein
Messverfahren verifizierbar sein. Qualitative An-
forderungen sind nicht durch Messgrößen hinter-
legt, stattdessen müssen subjektive Beurteilungs-

kriterien herangezogen werden, z. B. eine rein
visuelle Begutachtung einer Oberfläche.
Die nachfolgenden Anforderungen an die Rein-
heitstauglichkeit sind als Mindestanforderungen zu
verstehen. Die Anforderungen sind hinsichtlich der
Belastungszustände (z. B. Bewegungszyklus und -
geschwindigkeit) und Umgebungsbedingungen
(z. B. Temperatur, relative Feuchte, Gasatmosphä-
re) festzulegen.
Die einzuhaltenden Reinheitsspezifikationen der
Prozess-/Produktumgebung geben die Randpara-
meter für die Auswahl der durchzuführenden Prü-
fungen und dementsprechend für die Auswahl der
Werkstoffe vor.
Visuelle Begutachtung
Die zu untersuchenden Werkstoffe vermitteln dem
Prüfer – vor und nach der Prüfung – einen Ge-
samteindruck. Im Falle einer offensichtlichen
Nichteignung eines Prüflings für reine Anwen-
dungszwecke ist diese zu dokumentieren.
5.2 Partikel
Die Anforderungen an die Partikelreinheit resultie-
ren aus den Partikelreinheitsspezifikationen der
Fertigungsumgebung und sind in Anlehnung an die
Luftreinheitsklassen der ISO 14644-1 zu definie-
ren.
5.3 Ausgasung
Um eine nachteilige Beeinflussung des Prozesses
zu minimieren, sind die Anforderungen an das
Ausgasungsverhalten von Materialien zu definie-
ren. Es erfolgt eine Anlehnung an die Klassifizie-
rungssysteme der ISO 14644-8 und des VDI 2083
Blatt 8.1 (siehe Abschnitt 4.2).
5.4 Elektrostatische Werkstoffeigenschaften
Um eine nachteilige Beeinflussung des Prozesses
zu minimieren, sind die Anforderungen an die
elektrostatischen Werkstoffeigenschaften zu defi-
nieren. Es erfolgt eine Anlehnung an die relevanten
Klassifizierungssysteme, wie diese z. B. in der
ISO 61340 ff. (siehe Abschnitt 4.3) definiert sind.
5.5 Anforderungen an die Reinigbarkeit par-
tikelkontaminierter Werkstoffoberflächen
Die Anforderungen an die partikuläre Ober-
flächenreinigbarkeit der verwendeten Werkstoffe
sind durch Angaben von Oberflächenreinheitsklas-
sen (SPC-Klassen) z. B. nach ISO 14644-9 zu de-
finieren. Hierbei wird der Schwerpunkt auf die
Reduktion der Partikeldeposition gesetzt.
5.6 Chemikalienbeständigkeit
Die Anforderungen an die Chemikalienbeständig-
keit der verwendeten Werkstoffe sind durch Anga-
ben von Beständigkeitskennzahlen, z. B. nach
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 13 –
ISO 2812-1 oder der Fleckenempfindlichkeit nach
EN 423, zu definieren.
6 Vorgehensweise zur Prüfung und
Abnahme, Messtechnik
6.1 Allgemeines
Für die Prüfung der Reinheitstauglichkeit von
Werkstoffen müssen die Anforderungen aus Ab-
schnitt 5 erfüllt sein und mit den Klassifizierungen
aus Abschnitt 4 verglichen werden. Weiter muss
eine visuelle Begutachtung durchgeführt werden.
Es ist zu beachten, dass die nachfolgend exempla-
risch aufgeführten Punkte die Einstufung des ge-
prüften Werkstoffes beeinflussen können:
x Exemplarstreuung
x Vorkonditionierung
x Reinigungszustand etc.
Bei den in dieser Richtlinie beschriebenen Rein-
heitstauglichkeitsuntersuchungen handelt es sich in
der Regel um Einzelprüfungen, nicht um Serien-
prüfungen.
6.2 Partikelemission
6.2.1 Standardprüfbedingungen
Die Prüfungen müssen unter typischen Reinraum-
bedingungen (22 °C ± 1 °C, 45 % r.F. ± 5 % r.F.,
etc.) durchgeführt werden. Abweichende Para-
meter sind zu vermerken.
Die im Reinraum herrschende Partikelkonzen-
tration wird als Grundrauschen des Reinraums
bezeichnet. Je höher der Eintrag von Partikeln
durch das Grundrauschen, desto höher sind die
Partikelzahlen, die insgesamt am jeweiligen Werk-
stoff gemessen werden. Dieses Grundrauschen ist
die minimal detektierbare Partikelkonzentration.
Folgende Kriterien müssen für die Untersuchung
der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen erfüllt
sein:
x Die Prüfumgebung muss mindestens eine Klas-
se reiner sein als die angestrebte Partikel-
reinheitsklasse der Luft, in der der Werkstoff
eingesetzt werden soll. Eine Ausnahme ist die
Untersuchung für die jeweils höchste Rein-
heitsklasse eines Regelwerks zur Beurteilung
der Luftreinheit. Diese Klassifizierung kann
dann in der gleichen Partikelreinheitsklasse der
Luft erfolgen.
x Die Untersuchungen müssen in einem Rein-
raum mit turbulenzarmer Verdrängungsströ-
mung durchgeführt werden (Verhinderung von
Querkontaminationen).
x Während sämtlicher Messungen muss gewähr-
leistet sein, dass keine anderen Partikelquellen
– 14 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
die Untersuchung beeinflussen. Der Ausschluss
von Fremdpartikeln stellt sicher, dass nur die
Partikelemissionen, die von den Werkstoffen
ausgehen, detektiert werden. Der Prüfer muss
vor der Messung am Messort eine stichproben-
artige Messung ohne Prüfgegenstand durchfüh-
ren. Dadurch soll vermieden werden, dass wäh-
rend der Klassifizierungsmessung andere im
Reinraum befindliche Partikelquellen die nach-
folgenden Messungen beeinflussen.
x Vor Einbringen der zu testenden Werkstoffe in
die Prüfumgebung sind diese mit geeigneten
Reinigungsverfahren zu dekontaminieren. Die
erzielte Oberflächenqualität ist mit geeigneten
Messverfahren zu prüfen.
6.2.2 Kurzbeschreibung der Vorgehensweise
Nach entsprechender Reinigung sollte ein zu tes-
tender Werkstoff (Testkörper) definiert reprodu-
zierbar auf Reibung belastet werden. Die Reibbe-
lastung ist derart auszuführen, dass eine möglichst
typische Belastungssimulation erzeugt wird. Alle
hierbei generierten Partikel sollten messtechnisch
erfasst werden. Dabei ist sowohl die Anzahl der
Partikel als auch die Größe der Partikel von Inte-
resse. Die Partikelemissionswerte müssen durch
einen aussagekräftigen mathematischen Auswerte-
algorithmus gestützt werden. Die Partikel-
emissionswerte sind in Relation zu bestehenden
Luftreinheitsklassen (z. B. ISO 14644-1) zu setzen,
damit Ergebnisse allgemein vergleichbar und an-
wendbar sind.
r)
Die differenzielle Darstellung der Partikelemission
zeigt im Allgemeinen einen sehr unstetig wachsen-
den Verlauf, der somit kaum auswertbar ist. Daher
müssen die Partikelemissionswerte in eine geeig-
nete Darstellung mit einem stetigen Verlauf trans-
feriert werden. Dies soll die eindeutige Charakteri-
sierung und Klassifizierung der Partikelemisssio-
nen der Werkstoffpaarungen ermöglichen. Eine
Möglichkeit, zu einer stetigen Wachstumskurve
der Partikelemission zu gelangen, ist die Aufsum-
mation der differenziellen Partikelemissionswerte.
Die mathematisch exakte Beschreibung des auf-
summierten Partikelemissionsverlaufs erfolgt
durch eine Näherungsbeschreibung mittels einer
Regressionskurve (Exponentialfunktion).
Durch die mathematisch exakte Beschreibung des
Emissionsverlaufs kann ein Vergleich mit den
Grenzwerten der Luftreinheitsklassen erfolgen.
Dadurch wird eine eindeutige Klassifizierung in
Anlehnung an z. B. ISO 14644-1 ermöglicht.
Eine ausführliche Beschreibung der Vorgehens-
weise ist als konkretes Umsetzungsbeispiel in An-
hang B1 aufgeführt.
Der nachfolgend beschriebene Ablauf der Untersu-
chung zur Klassifizierung der Reinraumtaug-
lichkeit von Werkstoffpaarungen lässt sich wie
folgt zusammenfassen:
a) Festlegung der Belastungsparameter
b) Durchführung der Messungen
c) Mathematische Auswertung der Messwerte
d) Klassifizierung der Werkstoffe
e) Ergebnisverwertung
6.2.3 Festlegung der Belastungsparameter
Es wird ein repräsentativer Einsatzfall gewählt, der
sicherstellt, dass Partikelemissionen detektiert
werden, wie sie im tatsächlichen Einsatz des
Werkstoffs unter reinen Bedingungen zu erwarten
sind. Als Maß für die Belastung kann beispielswei-
se die Flächenpressung oder die einwirkende Nor-
malkraft verwendet werden.
6.2.4 Durchführung der Messungen
Nach erfolgter repräsentativer Belastung der zu
prüfenden Werkstoffe hat die messtechnische Er-
fassung der Partikelemissionen mittels eines opti-
schen Partikelzählers zu erfolgen. Die vertikale
Anordnung der Partikelmesssonde unterhalb der
Werkstoffpaarung in einem Reinraum mit turbu-
lenzarmer Verdrängungsströmung gewährleistet
die nahezu vollständige Erfassung der generierten
Partikel (siehe Bild 3).
d
Kugel
(Gegenkörper)
FN
r
Angetriebene
Scheibe
(Grundkörper)
optischer
Partikelzähler
Bild 3. Häufig angewandter prinzipieller Prüfauf-
bau für die Aufprägung eines repräsentativen Be-
lastungskollektivs
Die Partikelmesswerte sind in einem geeigneten
Messzeitintervall zu erfassen, um somit eine zeitli-
che Darstellung des Emissionsverlaufs zu ermögli-
chen.
Die Partikelgrößenverteilung der Emissionen kann
stark variieren. Da diese Verteilungscharakteristik
im Vorfeld nicht bekannt ist, genügt es nicht, nur
einen Partikelgrößenbereich zu untersuchen. Des-
halb werden mindestens drei repräsentative Parti-
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 15 –

kelgrößenbereiche, die möglichst weit auseinander 6.2.5.3 Annäherung durch Exponential-

liegen, gewählt. funktion
Zur Gewährleistung statistisch abgesicherter Ergeb- Bei Betrachtung der Partikelmessdiagramme in
nisse muss eine ausreichende Anzahl von Mess- kumulativer Darstellung erkennt man einen für
ereignissen bzw. eine Mindestmessdauer vorliegen. Wachstumsprozesse typischen Verlauf, der in der
Mathematik durch Exponentialfunktionen be-
6.2.5 Mathematische Auswertung der
Messwerte schrieben wird.
6.2.5.1 Differenzielle Erfassung der Partikel- Um das Ziel zu erreichen, die erfassten Partikel-
emissionen in Abhängigkeit der Zeit emissionswerte mathematisch exakt beschreiben zu
können, erfolgt die Annäherung der Summati-
Ein Beispiel der differenziellen Messwerterfassung
onskurve mittels einer Exponentialfunktion.
in Abhängigkeit der fortschreitenden Belastungser-
eignisse (Umdrehungen) zeigt Bild 4. Im oberen P  N kum a ˜ eb˜ N (13)
Teilbild dieser Abbildung ist der differenzielle
Partikelemissionsverlauf über die Zeit bei einer Um eine Partikelmesswertkurve durch eine Expo-
Belastungsstufe abgebildet. Links ist die einmalige nentialfunktion abzubilden, werden Regressions-
Messdatenerfassung, rechts die zehnfache Ver- verfahren angewendet. Durch nichtlineare Regres-
suchswiederholung dargestellt. sion können die Parameter a und b bestimmt wer-
den, die Kenngrößen für das Partikelgenerierungs-
Im unteren Teilbild ist der differenzielle Partikel-
verhalten der Werkstoffpaarung darstellen. P(N)kum
emissionsverlauf über die Zeit bei vier unterschied-
ist der kumulierte Partikelemissionswert bei der
lichen Beanspruchungsstufen aufgetragen.
Umdrehungszahl N.
1,4 E+4 1,4 E+4
[-] [-] Diese mathematische Beschreibung der Partikel-
Partikelanzahl > 0,1 µm

Partikelanzahl > 0,1 µm

1,0 E+4 1,0 E+4

8,0 E+3 8,0 E+3 emission der tribologisch belasteten Werkstoffpaa-
6,0 E+3 6,0 E+3
4,0 E+3 4,0 E+3 rung mithilfe des Regressionsverfahrens gibt Hin-
2,0 E+3 2,0 E+3
0
0 500 1.000 [-] 1.500
0
0 500 1.000 [-] 1.500
weise darauf, inwiefern die werkstoffspezifische
Probenbelastungswiederholungszahl N Probenbelastungswiederholungszahl N
Partikelemissionscharakteristik erfasst wurde und
Differentielle Darstellung; V2A vs. 100Cr6; BS-2; Differentielle Darstellung; V2A vs. 100Cr6; BS-2;
Einzelne Messkurve Überlagerte Messkurven des Zehnfachansatzes somit eine Klassifizierung erfolgen kann. In Bild 5
60.000
sind sowohl die Messkurven (Summation) als auch
Beanspruchungsstufe 4 die entsprechenden Regressionskurven dargestellt.
[-]
Partikelanzahl > 0,2 µm

Beanspruchungsstufe 3
40.000

30.000
Beanspruchungsstufe 2

20.000

Beanspruchungsstufe 1
10.000

0
0 100 200 300 [-] 500
Probenbelastungswiederholungszahl N

Differentielle Darstellung; Messkurven von vier unterschiedlichen Beanspruchungsstufen

Bild 4. Differenzieller Partikelemissionsverlauf

oben links: bei einer Belastungsstufe, Einzelver-
such;
oben rechts: bei einer Belastungsstufe, zehnfache
Versuchswiederholung;
unten: bei vier unterschiedlichen Beanspruchungs-
stufen
6.2.5.2
Durch das Aufsummieren der durchweg positiven
Partikelemissionswerte, das ein mathematisch ex-
aktes Verfahren ohne Näherungsalgorithmen dar-
stellt, erhält man eine stetig wachsende Messkurve
in Abhängigkeit der Umdrehungszahl. Diese kann
für die weitere Auswertung verwendet werden
(siehe Bild 5).
Bild 5. Aufsummation der differenziellen Partikel-
emissionswerte (durchgezogene Linien), mit nach-
folgender Bildung von Regressionskurven (Strichli-
nien) zur mathematisch exakten Erfassung der
Messkurven bei unterschiedlichen Belastungspa-
Aufsummation der differenziellen Par- rametern
tikelemissionswerte
6.2.6 Klassifizierung in Anlehnung an Luft-
reinheitsklassen
Zur diskreten Klassifizierung der Werkstoffpaa-
rung erfolgt die Betrachtung bei einer Vergleichs-
umdrehungszahl. Hierzu wird bei einer festen Ver-
gleichsumdrehungszahl N0 der Partikel-
emissionswert P(N0) mit den Grenzwerten der
ISO-Luftreinheitsklassen verglichen.
Die insgesamt während der Reibbelastung aufge-
tretenen Partikelemissionen werden mit den maxi-
– 16 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

mal zulässigen Grenzwerten der Luftreinheitsklas- 6.3 Ausgasung

senstandards (z. B. ISO 14644-1) in Korrelation 6.3.1 Allgemeines
gesetzt. Das in dieser Richtlinie beschriebene Verfahren
Dadurch kann eine eindeutige Angabe über die hat zum Ziel, Prüfkriterien zu definieren, anhand
Reinraumtauglichkeit einer Werkstoffpaarung in derer Materialien, die nicht reinraumtauglich sind,
Anlehnung an z. B. die ISO 14644-1 abgegeben identifiziert und ausgeschlossen werden können.
werden (siehe Bild 6). Dieses Verfahren ermöglicht eine Vergleichbarkeit
6.2.7 Ergebnisverwertung verschiedener Materialien hinsichtlich ihrer mole-
Größenverteilung der Partikelemission kularen Emission und daraus abgeleitet die Erstel-
lung einer Rangliste zur Auswahl und Klassifizie-
Eine mögliche Ergebnisverwertung, die über die
rung von Werkstoffen.
reine Klassifizierung der Werkstoffe (siehe Ab-
schnitt 6.2.6) hinausgeht, ist die Betrachtung der Untersuchungen, die von den nachfolgend aufge-
prozentualen Verhältnisse der Partikelgrößen zu- führten Standardbedingungen (z. B. Lager-, Prüf-
einander in Abhängigkeit von der Belastungsdauer/ parameter) abweichen, oder an halbfertigen Werk-
-intensität (siehe Bild 7). stoffen durchgeführt werden, dienen dem allge-
meinen Erkenntnisgewinn über die betrachteten
-

10
- Werkstoffe, dürfen aber nicht zur Klassifizierung
-1

9
8,2 8,3
der Reinheitstauglichkeit herangezogen werden.
7,9 8,1
8

7 6,7 6,7 6,9 7,0 7,1 7,2 7,3

7,0
7,3 7,5 Dies ist ebenfalls entsprechend zu dokumentieren.
6,2 6,4
6,0
6 5,5 6.3.2 Prinzip
A01
5

4
Die Bestimmung der Ausgasung erfolgt durch
A02
3 Sammlung und Anreicherung flüchtiger Verbin-
2
A03
dungen und nachfolgender Analyse mittels Ther-
1
modesorption und GC/MS (TD-GC/MS). Das
0
0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm Messverfahren besteht prinzipiell aus zwei nach-
einander folgenden Schritten:
6,0 E-3
¡: Klassifizierung eines
a) Probenahme in der Prüfkammer
ISO ss 3

ISO ss 4

ISO ss 5

ISO ss 6

ISO ss 7

ISO ss 8

Einzelversuchs
Cl

Cl

Cl

Cl

Cl

Cl
a

[-]
„: Mittelwert-
Eine definierte Materialmenge wird in einer
Ra
V 2 0,6
=

klassifizierung
A

V 2 0 ,2

4,0 E-3
=
A

Prüfkammer oder auch einem mobilen Probe-

ISO ss 2
Parameter b

Cl
a

- : Streuungsbereich
3,0 E-3
nahmesystem über eine definierte Zeit tempe-
Ra
V2 1, 0
=

---:
A

2,0 E-3 Steigung der ISO-

riert bzw. aufgeheizt. Die dabei ausgasenden
ISO ss 1
Cl

Klassengrenzgeraden
a

1,0 E-3
flüchtigen organischen Verbindungen (VOC)
0
1,0 E+1 1,0 E+2 1,0 E+3 1,0 E+4 1,0 E+5 [-] 1,0 E+7 werden mithilfe eines Spülgases zu einem
Parameter a

Relative Lagen der Reinraumtauglichkeitsbewertungen und Streuungsbereiche

Sorptionsröhrchen mit einem geeigneten Ad-
sorbens befüllt, transportiert und dort adsor-
Bild 6. Klassifizierung in Anlehnung an Luftrein-
heitsklassen der ISO 14644-1, in Abhängigkeit von biert.
unterschiedlichen Belastungen und Partikelgrößen b) Analyse: TD-GC/MS bzw. FID
(Klassifizierungsbeispiel) Durch Thermodesorption (TD) werden die
-
- VOC von den Sorptionsröhrchen desorbiert

1,9 2,1 3,9 3,3 2,9
und mit nachfolgender GC/MS oder GC/MS-

16,0 21,0
25,6 26,5 24,8
FID analysiert (siehe DIN 16000-6,
 DIN 16000-9, ISO 16017-1, ISO 14644-8 An-
 33,7
36,2
hang C2.6).
35,9 >25,0 µm
 33,4 36,0


>10,0 µm
>5,0 µm
6.3.3 Probenahmeparameter
>1,0 µm

 33,7
>0,7 µm
>0,5 µm
Druck und Temperatur
36,2
33,4 35,9
 36,0
Die Kammer wird unter atmosphärischem Druck



30,0
22,7
bei standardisierten Temperaturen von 22 °C
20,6 18,8 20,0


± 1 °C (Raumtemperatur), siehe VDI 2083
150
A1
450 750
A2
1050
A3
1350 N
Blatt 9.1, betrieben. Auf Basis der Messung bei
Bild 7. Prozentuale Verteilung der Partikelgrößen Raumtemperatur wird der Werkstoff klassifiziert.
zueinander in Abhängigkeit der Belastungsdauer

Die Messung bei erhöhter Temperatur (90 °C) wird
herangezogen, um kritische Kontaminanten (siehe
Abschnitt 6.3.6) zu identifizieren.
Dauer der Probenahme
Die Dauer der Probenahme richtet sich nach den
geforderten Nachweisgrenzen und dem Emissions-
niveau der Probe.
Volumenstrom
Der Volumenstrom des Spülgases muss auf die
Geometrie der Prüfkammer abgestimmt sein.
Die Dauer der Probenahme und der Volumenstrom
sind Grundlage der anschließenden quantitativen
Klassifizierung und müssen im Bericht dokumen-
tiert werden.
Eine Vergleichbarkeit ist nur bei identischen Pro-
benahmetemperaturen und -zeiten gegeben.
6.3.4 Apparative Ausstattung
Bild 8 zeigt den gesamten Aufbau der Prüfappa-
ratur. Auf die detaillierte Beschreibung der Einzel-
komponenten wird im Folgenden eingegangen.
beheizt
Trägergas Auslass
Trägergas Einlass
Spülgas
Spülgas-
Spülgas
auslass
Cryo Purge & Trap
Probengefäß
Heizmantel
Probe
Beheizte inerte Kammer
Probenträger
N2
Bild 8. Prüfapparatur zur Bestimmung des Ausga-
sungsverhaltens
6.3.4.1 Prüfkammer
Als Prüfkammer werden beheizbare Kammern aus
inertem Material (Glas oder Edelstahl) mit einem
Anschluss für die Sorptionsröhrchen am Deckel
und einem Trägergaseinlass verwendet. Die Kam-
mer soll idealerweise keine Toträume aufweisen
und zur Reinigung hoch temperierbar sein (Ausba-
cken bei hohen Temperaturen, z. B. oberhalb
250 °C).
Die Volumina der Kammern können von wenigen
Millilitern bis zu mehreren Kubikmetern variieren.
Für die in diesem Regelwerk beschriebenen Prü-
fungen haben sich Kammern mit sehr kleinen Vo-
lumina (< 100 mƐ), sogenannte Mikrokammern,
als geeignet herausgestellt. Die Prüfkammer soll
entsprechend des in Bild 9 aufgeführten Schemas
angeordnet sein.
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 17 –
Bild 9. Prüfkammer mit Zu- und Ableitungen
1 Gasflussregler
2 optionaler Aktivkohlefilter, der für die AMC-Freiheit
des Spülgases sorgt
3 Prüfkammer
4 Anschluss für Sorptionsröhrchen
5 Volumenstrommesser
-
1 2 6.3.4.2 Spülgas
beheizt
Das Spülgas transportiert die flüchtigen organi-
schen Verbindungen aus der Prüfkammer auf das
Sorptionsröhrchen. Zweckmäßigerweise werden
Gasversorgung
Trägergas
(M obile Phase)
MS
Inertgase wie Stickstoff oder Helium in hoher
Säule
Reinheit verwendet (5.0 oder höher). Alle spülgas-
GC
führenden Teile wie Zuleitungen, Anschlüsse,
Ventile usw. müssen so ausgeführt sein, dass eine
Kontamination des Spülgases ausgeschlossen ist.
Im Gasstrom ist ein geeigneter Gasflussregler (sie-
he Bild 9 (1)) einzubringen. Das durch das Sorpti-
onsröhrchen gezogene Gasvolumen wird als Funk-
tion des Volumenstroms mit einem Volumen-
strommesser (siehe Bild 9 (5)) über die Zeit ermit-
telt.
6.3.4.3 Sorptionsröhrchen
Es wird ein Thermodesorptionsröhrchen aus Edel-
stahl oder ein Glas-Röhrchen verwendet, das mit
einem Adsorbens gefüllt ist. Die Wahl des Adsor-
bens richtet sich prinzipiell nach den erwarteten
flüchtigen Verbindungen. Für die Bestimmung von
VOC im Sinn dieser Richtlinie ist Tenax TA® gut
geeignet. Die meisten VVOC werden von Te-
nax TA® nicht quantitativ retardiert, SVOC bis n-
C22 können unter geeigneten Bedingungen noch
quantitativ desorbiert werden.
Vor der Verwendung müssen die Sorptionsröhr-
chen gemäß den Herstellerangaben vorkonditio-
niert werden, damit keine Verunreinigungen auf
der Matrix verbleiben.
Vor einer erneuten Benutzung sind die Sorptions-
röhrchen geeignet zu rekonditionieren.
– 18 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
6.3.4.4 TD-GC/MS-System
Zur VOC-Analyse wird ein direkt mit dem
Gaschromatograf (GC) gekoppelter Thermodesor-
ber (TD) verwendet. Die Detektion erfolgt mit
einem Massenspektrometer (MS). Zusätzlich kann
ein Flammenionisationsdetektor (FID) eingesetzt
werden.
6.3.4.5 GC-Kapillarsäule
Eine leicht polare Kapillarsäule, z. B. aus 5 %
Phenylpolysiloxan und 95 % Methylpolysiloxan, in
geeigneten Dimensionen (Länge, Filmdicke, In-
nendurchmesser), eignet sich im Allgemeinen gut
zur Trennung der relevanten VOC.
6.3.5 Durchführung der Analyse
6.3.5.1 Probenvorbereitung
Die Probe muss hinsichtlich der Geometrie und
Oberflächenausführung repräsentativ sein sowie
der späteren Anwendung des Werkstoffs im Rein-
raum entsprechen. Der Schichtaufbau bei Mehr-
schichtanwendungen muss der geplanten Anwen-
dung entsprechen.
Schnittkanten von festen Proben, die nicht zur
aktiven Oberfläche zählen sollen, müssen entspre-
chend abgedeckt werden (z. B. mit einem Alu-
Schneidring).
Für fließfähige Proben sind VOC-freie Trägerma-
terialien (Glasschalen, Edelstahl) zu verwenden.
Die Ausbringung dieser fließfähigen Proben ist so
vorzubereiten, dass die aktive Oberfläche quantifi-
zierbar ist.
Die Vorkonditionierung reaktiv aushärtender Pro-
ben erfolgt üblicherweise über 30 Tage unter kon-
trollierten klimatischen Bedingungen, z. B.:
x Raumtemperatur (22 ± 1) °C
x standardisierte Luftfeuchte von 45 % r.F.
(siehe auch VDI 2083 Blatt 9.1 und
ISO 16000-11)
Sofern davon abweichende, anwendungsspezifi-
sche Parameter notwendig werden, müssen diese
entsprechend dokumentiert werden.
Eine Kontamination der Proben während der Lage-
rung muss vermieden werden. Dies kann durch
eine AMC/SMC-reduzierte Lagerungsumgebung
(z. B. Minienvironment mit AMC-Filtration) reali-
siert werden. Die AMC/SMC-reduzierte Umge-
bungsqualität muss mindestens um eine Klasse
besser sein, als die erwartete AMC/SMC-
Bewertung des Prüflings.
6.3.5.2 Blindwertmessung
Vor einer Probenmessung muss die gesamte Prüf-
apparatur einschließlich der Gasversorgung auf
Kontaminationen überprüft werden.
Damit wird eine erfolgreiche Reinigung und Eig-
nung des Messsystems nachgewiesen. Gegebenen-
falls vorhandene Kontaminationen des Systems
können so erkannt und beseitigt werden. Die an-
gewendeten Akzeptanzkriterien sind im Prüfbe-
richt anzugeben.
6.3.5.3 Probenahme in der Prüfkammer
Vor Beginn der Probenahme (Probenahmepara-
meter siehe Abschnitt 6.3.3) wird der gewünschte
Volumenstrom des Spülgases eingestellt, kontrol-
liert und die leere Prüfkammer zunächst gespült.
Empfehlenswert sind Spülgasvolumina, die das
Fünf- bis Zehnfache des Kammervolumens betra-
gen. Dann wird die Probe eingebracht und die
Kammer verschlossen.
Nun wird das Sorptionsröhrchen angebracht und
die Adsorption der VOC beginnt.
Am Ende der Sammelzeit wird das Sorptionsröhr-
chen abgenommen, sachgerecht verschlossen und
der TD-GC/MS-Analytik zugeführt.
Dabei ist zu beachten, dass die Sorptionsröhrchen
möglichst sofort nach der Beladung analysiert
werden. Ist dies nicht möglich, können die ord-
nungsgemäß verschlossenen Sorptionsröhrchen in
einem luftdichten, emissionsfreien Behältnis in
einer kontaminationsfreien Umgebung kühl gela-
gert werden (maximal 10 °C). Eine Zwischenla-
gerzeit von maximal vier Wochen darf nicht über-
schritten werden.
6.3.5.4 Kalibration des GC/MS-Systems
Zur halbquantitativen Bestimmung wird das
GC/MS-System mit einer Referenzsubstanz (z. B.
Toluol, n-Dekan, n-Hexadecan) kalibriert. Die für
die jeweiligen Zielbranchen und Prozesse häufig
angewendeten Referenzsubstanzen sind den bran-
chenspezifischen Roadmaps zu entnehmen.
Zur quantitativen Bestimmung wird das GC/MS-
System mit den Zielanalyten kalibriert.
Der quantitativen und halbquantitativen Analyse
soll eine Fünf-Punkt-Kalibration zugrunde liegen.
Die Gültigkeit der Kalibration ist in sinnvollen
Zeitabständen an geeigneten Standards zu überprü-
fen. Bei Bedarf muss das Analysengerät neu kalib-
riert werden.
6.3.5.5 Analyse
Zunächst werden die VOC von den Sorptions-
röhrchen thermisch desorbiert und in den
Gaschromatografen transferiert.
Dabei sind die Parameter der Thermodesorption
derart einzustellen, dass alle VOC zwischen C6 und
C16 sicher detektiert werden können.

Eventuell notwendige Splitverhältnisse müssen
entsprechend der zu erwartenden Konzentration
der zu analysierenden VOC eingestellt werden.
In der Kapillarsäule des Gaschromatografen erfolgt
dann die Auftrennung des Gemischs in seine Ein-
zelkomponenten. Die Identifizierung der Einzel-
komponenten erfolgt anhand ihrer Massenspektren
durch Vergleich mit einschlägigen Spektren-
bibliotheken. Automatisch identifizierte Substan-
zen müssen von qualifiziertem Personal bestätigt
werden.
Die Quantifizierung der identifizierten Einzelkom-
ponenten wird mit einem Massenspektrometer
(MS) oder einem Flammen-Ionisations-Detektor
(FID) durchgeführt (siehe ISO 16000-6). Die Be-
rechnung des TVOC erfolgt durch Summation aller
Peakflächen im Retentionszeitbereich zwischen C6
und C16. Durch Verrechnung dieser Peakflächen-
summe mit der Kalibration ergibt sich die Emissi-
on in der Masseneinheit Gramm (g). Unter Berück-
sichtigung des eingesetzten Spülgasvolumens er-
hält man die Massenkonzentrationswerte in g/m3.
VVOC (< C6) und SVOC-Verbindungen (> C16)
werden nicht betrachtet.
6.3.6 Ergebnisse und Auswertung
Die Emissionsmessung liefert zunächst nur die
Masse an adsorbierten flüchtigen organischen Ver-
bindungen, welche sich auf dem Sorptionsröhrchen
befunden haben. Diese Masse wird auf das Spül-
gasvolumen (Volumenstrom des Spülgases multip-
liziert mit der Dauer der Probenahme) bezogen und
ergibt somit die Massenkonzentration TVOCm des
Materials.
mTVOC
TVOCm (14)
V ˜ t
Dabei ist
mTVOC Masse der Gesamtausgasung des Werk-
stoffs m in g
V Volumenstrom des Spülgases in mƐ/s
t Dauer der Probenahme in s
Daraus wird die spezifische Emissionsrate des
Werkstoffs nach Gleichung (14) berechnet.
TVOCm ˜ VKammer ˜ nKammer
SER m (15)
Am
Dabei ist
SERm flächenspezfische Emissionsrate des
Werkstoffs m bei einer Raumtemperatur
von 22 ± 1 °C in g/(m2·s)
TVOCm Gesamtausgasung des Werkstoffs m in
g/m3
VKammer Kammervolumen in m3
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 19 –
Am Fläche des Werkstoffs m in m2
nKammer Spülgasrate in 1/s
Es gilt:
V
nKammer (16)
VKammer
Durch Substitution erhält man folgende verein-
fachte Gleichung:
mTVOC
SER m (17)
Am ˜ t
Ein ausführliches Rechenbeispiel findet sich im
Anhang A.
Neben dem oben beschriebenen Verfahren kann
eine zusätzliche Prüfung auf kritische Kontaminan-
ten durch Messung bei erhöhter Temperatur von
90 °C erfolgen. Diese Messung dient jedoch nicht
zur Klassifizierung des Werkstoffs. Häufig werden
folgende Substanzklassen als kritische Kontami-
nanten angesehen:
x Amine
x Siloxane
x Phthalate
x Organophosphate
Diese können als Summenparameter in µg/m3 an-
gegeben werden.
Das Protokoll muss alle Angaben enthalten, die
notwendig sind, um diese Werte miteinander ver-
gleichen zu können (siehe auch Abschnitt 7).
6.4 Elektrostatik
Standardprüfbedingungen
Die Prüfungen müssen unter typischen Betriebsbe-
dingungen (22 °C ± 3 °C, 45 % r.F ± 5 % r.F.)
durchgeführt werden. Abweichende Parameter sind
zu vermerken.
Bezüglich der Vorgehensweise der Bestimmung
der Grenzwerte siehe EN 61340-5-1, EN 1081 und
SEMI E78-0309. Typische E-Feld- und Wider-
standsgrenzwerte von Werkstoffen finden sich in
Tabelle 2 und Tabelle 3.
6.5 Reinigbarkeit partikelkontaminierter
Werkstoffoberflächen
In reinen und hygienischen Produktionsumgebun-
gen müssen Oberflächen nach geltenden Regeln
und Standards besonders einfach reinigbar sein.
Um Aussagen über die Reinigbarkeit von Oberflä-
chen abgeben zu können, ist ein standardisiertes
Testverfahren anzuwenden.
Zur Vergleichbarkeit der Reinigbarkeit unter-
schiedlicher Oberflächen wird als Referenzoberflä-
che meist polierter Edelstahl verwendet. Die Rei-
– 20 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

nigbarkeit muss mit prozessrelevanten und reprä- einem prozessspezifischen Reinigungsmittel sind
sentativen Reinigungsmittel gewährleistet sein. in Tabelle 10 dargestellt.
6.5.1 Prüfbedingungen
Zur Erzielung aussagekräftiger Ergebnisse müssen
folgende Voraussetzungen erfüllt sein:
x reine Umgebungsbedingungen zur Vermei-
dung von Querkontaminationen
18

x geschultes Personal zur Durchführung der 16

14

Part ikelanzahl
Untersuchungen 12

10 12
6.5.2 Versuchsdurchführung 8 11
6 10

Bei der Untersuchung der Reinigbarkeit von 4

8
9

2
Oberflächen wird folgendermaßen vorgegangen: 0
7

1,5 - 3,0 3,0 - 5,0 5,0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50 > 50

x Vorkonditionierung der zu prüfenden Oberflä- Part ikelgröße in µm

che hinsichtlich minimaler Restkontamination Bild 10. Wirksamkeit unterschiedlicher

x Bestimmung der Oberflächenreinheit: Reinigungsmittel auf Oberflächen
Blindwertbestimmung
x definierte Kontamination der zu prüfenden
Oberfläche
x Bestimmung der Oberflächenreinheit:
Ausgangskontamination
x Anwendung des zu bewertenden Reinigungs-
verfahrens
x Bestimmung der Oberflächenreinheit:
Restkontamination
x Einordnung in SPC-Klassifizierungssystem
und Bestimmung der Reinigungseffizienz
6.5.3 Messtechnik
Hauptproblem bei der automatisierten Erfassung
von Partikeln auf nicht optisch glatten Oberflächen
ist meist das Fehlen eines ausreichenden Kontrasts
zwischen Partikel und Oberfläche. Das heißt ein
Messsystem kann in der Regel nicht unterscheiden, Bild 11. Beispielhafte Einordnung des Oberflä-
ob eine bestimmte detektierte Struktur noch zur chenreinheitszustands einer metallischen Oberflä-
Oberfläche gehört oder von einem Partikel hervor- chen in die SPC-Klassifizierung nach
gerufen wird. Zur Kompensation dieser Problema- ISO 14644-9 vor (strichpunktierte Linie) und nach
tik muss ein geeignetes Messverfahren (z. B. (durchgezogene Linie) einer durchgeführten Reini-
gung
Streiflichtverfahren) eingesetzt werden (siehe
VDI 2083 Blatt 9.1 und ISO 14644-9).
In Bild 10 ist die Wirksamkeit unterschiedlicher
Reinigungsmittel auf Oberflächen in Bezug auf die
unterschiedlichen Partikelgrößen beispielhaft dar-
gestellt. Tabelle 10. Partikelemissionswerte vor und nach
Die Klassifizierung von messtechnisch erfass der Reinigung sowie die erzielte Reinigungseffi-
ten Oberflächenreinheitszuständen erfolgt nach zienz
ISO 14644-9. Die Darstellung der Oberflächen- Detektions- Mittlere Parti- Mittlere Parti- Reinigungs-
reinheit eines Werkstoffs in Bezug auf unterschied- größe kelkonzentra- kelkonzentra- effizienz in
tion vor tion nach Rei- Abhängigkeit
liche Partikelgrößen ist in Bild 11 zu sehen. Reinigung nigung von der Detek-
Aus jeweils zehn Messungen pro Einzelmesspunkt in µm in Partikel/cm2 in Partikel/cm2 tionsgröße
wird der arithmetische Mittelwert der Messreihe • 41677 1142 
gebildet. Die arithmetischen Mittelwerte der Parti- • 39639 384 
kelemissionen vor und nach der Reinigung mit

• 23042 65 
• 4417 11 
Mittlere Reinigungseffizienz 98,94 %
Aus den resultierenden Mittelwerten der Partikel-
emissionsmessungen vor und nach der Reinigung
lassen sich die jeweiligen Messwerte in die Ober-
flächen- und Reinheitsklassen der ISO 14644-9
einordnen. Folgende Abbildung zeigt die Eintei-
lung der partikulären Belastung einer Oberfläche
(siehe Tabelle 11).
Sofern keine Klassifizierung möglich ist, wird
„n. d.“ („not defined“) angegeben. In diesem Fall
ist eine Klassifizierung der Oberfläche mittels des
SPC-Klassifzierungsschemas nicht möglich, da die
Werte außerhalb des definierten Wertebereichs
liegen.
Tabelle 11. Darstellung der Einordnung in die
Oberflächenreinheitsklassen nach ISO 14644-9
Detektions- SPC-Klasse SPC-Klasse SPC-
größe vor der nach der Reinigungs-
in µm Reinigung Reinigung effizienz
• 6 4
• 6 4
• 7 4
• 6 3
6.6 Chemische Beständigkeit
Die chemische Beständigkeit wird zumeist in stati-
schen Immersionsversuchen bestimmt. Diese ver-
gleichenden Tests aus dem Gebiet der Umweltsi-
mulation erlauben die Auswahl eines geeigneten
Werkstoffes. Die ausführliche Vorgehensweise
und Durchführung findet sich z. B. in ISO 2812-1
oder EN 423.
Da die Aussage über die chemische Beständigkeit
von Werkstoffen für Reinraumanwendungen sehr
fein aufgelöst werden muss, haben die nachfolgen-
den aufgeführten Schritte unter definierten reinen
Prüfbedingungen durchgeführt zu werden. Hierfür
bedarf es einer Kontrolle sämtlicher relevanter
Parameter (z. B. Temperatur, Prüfdauer und Rein-
heit verwendeter Medien).
Bei der Bestimmung der Chemikalienbeständigkeit
müssen die folgenden Punkte berücksichtigt wer-
den.
6.6.1 Reagenzienauswahl und -konzentration
Der Auswahl der Reagenzien und deren Konzent-
rationen soll ein breites anwenderspezifisches
Spektrum zugrunde gelegt werden. Folgende Auf-
listung soll einen Vorschlag zur Durchführung
vergleichender Messungen bieten:
x Formaldehyd (37 %)
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 21 –
 x Ammoniak (25 %)
 x Wasserstoffperoxid (30 %)
x Schwefelsäure (5 %)
x Phosphorsäure (30 %)
x Peressigsäure (15 %)
x Salzsäure (5 %)
x Isopropanol (100 %)
x Natronlauge (5 %)
x Natrumhypochlorid (15 %)
6.6.2 Probenpräparation
Zur Realisierung der Einwirkung, insbesondere
von leicht flüchtigen Reagenzien, sind gasdichte
Abdeckungen für die reagenzienbelasteten Ober-
flächen einzusetzen. Hierbei sind die reagenz-
ienspezifischen Parameter (z. B. Ablauf von che-
mischen Reaktionen, Dampfdruck) zu berücksich-
tigen.
6.6.3 Werkstoffproben
Die zu untersuchenden Werkstoffproben sollten
möglichst homogen und ebenflächig sein und eine
zur Beurteilung ausreichende Fläche besitzen. Be-
2 währt haben sich quadratische Proben mit einer
2 Kantenlänge von 3 cm.
3 6.6.4 Einwirkdauer
3 Die Einwirkdauer der Reagenzien auf die zu unter-
suchenden Oberflächen hat nach definierten Zeit-
punkten zu erfolgen. Folgende Einwirkdauern ha-
ben sich für die darauffolgende Beurteilung nach
ISO 4628-1 bis -7 bewährt:
x eine Stunde (1 h)
x drei Stunden (3 h)
x sechs Stunden (6 h)
x 24 Stunden (24 h)
Für eine vergleichende Klassifizierung nach Ab-
schnitt 4.5 sollten die Beurteilungen neben der
Verwendung derselben Chemikalien nach einer
festgelegten Einwirkdauer zugrunde gelegt wer-
den, vornehmlich 24 Stunden.
7 Dokumentation
Die Dokumentation muss alle Angaben enthalten,
die ein Nachvollziehen der Reinheits- oder Rein-
raumtauglichkeitsuntersuchung ermöglichen.
Die in den nachfolgenden Abschnitten aufgeliste-
ten Angaben werden, soweit anwendbar, als Min-
destinformation empfohlen. Die Auflistung darf
um weitere relevante Angaben ergänzt werden.
x Beschreibung der Prüfung
x Datum, Messort
x Prüfer, Auftraggeber
x Beschreibung der Werkstoffe mit Bezeichnung
– 22 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
x Kennzeichnung/Identifikation des Prüfgegens-
tands
x Bild und/oder Zeichnung des Prüfobjekts und
des Prüfaufbaus
x Umgebungsbedingungen/Aufstellbedingungen,
z. B. Temperatur und relative Luftfeuchte
x Vorgehensweise bei der Prüfdurchführung und
des angewendeten Bewertungssystems, jeweils
unter Verweis auf hinzugezogene Normen und
Richtlinien (sofern notwendig)
x Beschreibung der Betriebsparameter
x Auffälligkeiten bei der Prüfung/Messung
x Messgerätebezeichnung/Messbereich des ver-
wendeten Messmittels, gegebenenfalls Ver-
weis auf Kalibrierzertifkat
x Für die Bewertung herangezogene Messgrö-
ßenbereiche und/oder Prüfkriterien
x Auswertung, Bewertung und Gesamtergebnis
inklusive der visuellen Begutachtung des Prüf-
gegenstands vor und nach der Prüfung
7.1 Reinraumtauglichkeit (Partikelemission)
Zusätzlich zu den in Abschnitt 7 aufgeführten Pa-
rametern ist folgendes zu dokumentieren:
x Umgebungsbedingungen/Aufstellbedingungen,
z. B. mittlere Luftgeschwindigkeit und Turbu-
lenzgrad sowie Luftreinheitsklasse der Prüf-
umgebung
x Beschreibung der Partikelmesspunkte
7.2 Partikuläre Oberflächenreinheit/Reinig-
barkeit
Zusätzlich zu den in Abschnitt 7 aufgeführten Pa-
rametern ist folgendes zu dokumentieren:
x Beschreibung der Messpunkte
7.3 Ausgasung
Zusätzlich zu den in Abschnitt 7 aufgeführten Pa-
rametern ist folgendes zu dokumentieren:
x Vorgeschichte des Prüflings (z. B. Herstellda-
tum, Lagerbedingungen, Ablüftzeiten)
x Geometrie des Prüfkörpers: Masse, Volumen,
effektive Oberfläche etc.
x Probenahme: Prüftemperatur und -dauer;
Spülgas: Durchflussmenge, Gasart, Gasrein-
heit, Feuchte; Absorptionsröhrchen
x Analytik: Verwendete Kalibrier- und/oder
Bezugssubstanz; Trennsäule, Detektoren und
Einstellungen: Scanbereich des Massen-
spektrometers, Detektorempfindlichkeit, Scan-
Rate
7.4 Elektrostatik
Zusätzlich zu den in Abschnitt 7 aufgeführten Pa-
rametern ist folgendes zu dokumentieren:
x Beschreibung der Messpunkte
7.5 Chemikalienbeständigkeit
Zusätzlich zu den in Abschnitt 7 aufgeführten Pa-
rametern ist folgendes zu dokumentieren:
x Vorgeschichte des Prüflings (z. B. Herstellda-
tum, Lagerbedingungen, bereits für die Vor-
konditionierung verwendete Chemikalien)
x Prüftemperatur und Einwirkzeit; Reagenzien
und deren Konzentrationen
x Oberflächenstruktur des Prüfkörpers
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 23 –

Anhang A Applikationsbeispiele und typische Anwendungsbereiche zur Richtlinien-

verwendung
A1 Einleitung
Anhand ausgewählter Bildbeispiele soll die Anwendungsbreite dieser Richtlinie veranschaulicht werden.
Das Bildmaterial soll keine Einschränkung darstellen und erhebt somit keinen Anspruch auf Vollständig-
keit. Applikationsbeispiele aus dem Bereich der Fertigungsanlagen finden sich in Bild A1, Applikations-
beispiele aus Baugewerken sind Bild A2 dargestellt.

Bild A1. Applikationsbeispiele für reinraumtaugliche Werkstoffe in typischen Fertigungsumgebungen und

Produktionsanlagen

A2 Branchenspezifische Kontaminationsarten
Tabelle A1 zeigt branchenspezifische, kritische Kontaminationsarten und gibt Empfehlung über die durch-
zuführenden Werkstoffprüfungen zur Bestimmung der Reinheitstauglichkeit.
– 24 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Bild A2. Applikationsbeispiele für Baugewerke in der Pharma- und Halbleiterindustrie – Bodenbeschichtun-
gen (Quelle: Sika Deutschland GmbH und nora systems GmbH)
Tabelle A1. Branchenspezifischer Überblick über kritische Kontaminationsarten
Chemikalien-
Ausgasung

beständig-
Partikel

Reinig-
barkeit
ESD

keit

Halbleiterindustrie ++ ++ ++ + +
Mikrosystemtechnik ++ + ++ + +
Pharmazie ++ O + ++ ++
Biotechnologie + + O ++ ++
Medizintechnik + O + ++ ++
Fotovoltaik Dünn- + + + O O
schicht
Fotovoltaik + + + O O
Polysilicium
Nahrungsmittel + + O ++ ++
++ zwingend notwendig
+ empfohlen, aber nicht zwingend notwendig
O nicht allgemein erforderlich, Einzelfallprüfung empfoh-
len
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 25 –

Anhang B Beispiel zur Bestimmung der nem konstanten Volumenstrom von 1 ft3/min 2) an.
Partikelemissionsklasse Dadurch wird die Luft direkt oberhalb des Mess-
B1 Exemplarische Prüfstandbeschreibung rohrs kontinuierlich abgeführt. Der laminare Luft-
Ausgangspunkt der Prüfstandumsetzung ist das in strom des Reinraums, der vertikal von der Rein-
der Tribologie etablierte Verfahren des Kugel- raumfilterdecke zum Boden verläuft, unterstützt
Scheibe-Tests (KST) zur Bestimmung des Ver- die Probenahme, indem Partikel, die an der Kon-
schleißverhaltens von aneinander reibenden Werk- taktstelle entstehen, in Richtung des Messrohrs
stoffpaarungen. Um dieses Prinzip auch für die transportiert werden.
Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens B2 Rechenbeispiel
einer reibenden Werkstoffpaarung nutzbar zu ma- Formelzeichen
chen, wird die Versuchsanordnung, im Gegensatz Allgemein
zur tribologischen Untersuchung, in die Vertikale
gekippt, um mit einem optischen Partikelzähler Zeichen Einheit Beschreibung
(OPZ) die Partikelemission aufzeichnen zu kön- p, q Regressionspara-
nen. Dieser Prüfaufbau kann wie in Bild B1 ge- meter
zeigt, gerätetechnisch umgesetzt werden. r m Kreisradius
Rsqr Reciprocal square
root (im Deut-
schen auch „Be-
stimmtheitsmaߓ
genannt)
U m Kreisumfang
x Abszisse der Reg-
ressionsfunktion
y Ordinate der Reg-
ressionsfunktion
Partikelerfassung
§ a1 b1 ...· kumulative OPZ
¨ ¸ Messwertematrix
¨ ... ... ...¸
Bild B1. Umsetzung des Prüfstands (links) und ¨ a b ...¸ (Bsp.: bi ist der i-
Kontaktstelle mit Grundkörper (Scheibe), Gegen- © i i ¹ te kumulierte
körper (Kugel) und OPZ-Sonde (rechts) Messwert des
Um Querkontaminationen zu vermeiden, sollte die Partikelkanals
Durchführung der Versuche in einem Reinraum tCHb mit i ”iBSj)
einer sehr hohen Luftreinheitsklasse mit laminarer § A1 B1 ...· summierte OPZ
Verdrängungsströmung erfolgen. Neben der obli- ¨ ¸ Messwertematrix
¨ ... ... ...¸
gatorischen Auswahl reinraumtauglicher Prüf- ¨A Bi ...¸¹
(Beispiel: Bi ist
standkomponenten muss deren reinheitsgerechte © i der i-te summierte
Anordnung, die strömungstechnische Auslegung Messwert des
und ein elektrostatisch ableitfähiger Aufbau reali- Partikelkanals
siert werden. ȈtCHb mit i ”iBSj)
Der Versuchsaufbau ist so konzipiert, dass eine ca,b,… Partikel/m³ Höchstwert der
Messung der luftgetragenen partikulären Emissio- Partikelkonzentra-
nen an der Kontaktstelle der beiden Prüfkörper tion für die Parti-
ermöglicht wird. Der Grundkörper (Scheibe) steht kelgröße a, b, …
vertikal, der Gegenkörper (Kugel), der sich in einer für die ISO-
Halterung befindet, wird auf den Grundkörper Klassifizierung
gepresst. Direkt unterhalb der Kontaktstelle befin- nach ISO 14644-1
det sich ein Messrohr, dass über einen Schlauch
mit dem im unteren Bereich des Prüfstands befind-
lichen OPZ verbunden ist. Der Partikelzähler saugt
Luft über den Schlauch und das Messrohr mit ei-
—————
2)
1 m3/min entspricht ca. 35,31 ft3/min
– 26 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Ca,b,… Partikel/ft³ umgerechneter Belastungsstufe

Höchstwert der
Partikelkonzentra-
tion für die Parti-
kelgröße a, b, … Belastungsstufe
für die ISO-
Klassifizierung
nach ISO 14644-1
ȈCa,b,… Partikel/ft³ aufsummierter
Höchstwert der
Partikelkonzentra-
tion für die Parti-
kelgröße a, b, …
für die ISO-
Klassifizierung
nach ISO 14644-1
zum Versuchsende
CHa,b,… µm Partikelgrößen-
kanäle a, b, … des
OPZ
tCHa,b,… µm kumuliert darge-
stellte Partikelgrö-
ßenkanäle a, b, … tungsstufe BSj
des OPZ
ȈtCHa,b,… - summierte Parti-
kelanzahl des ku-
muliert dargestell- sBSj,ges
ten spezifischen
Partikelgrößenka-
nals a, b, … des
OPZ
Cn Höchstwert der
Partikelkonzentra-
tionen in Partikel tBSj,ges
je Kubikmeter
Luft nach I-
SO 14644-1
M ISO-Klassifizie-
rungszahl
ni i-ter OPZ Mess-
wert (es gilt für
den Index i = 1, 2, Mathematische Konstanten
…, iBSj)
Pges,ȈtCHa,b,… aus Regressions-
kurve berechneter
Gesamtpartikel-
emissionswert
eines summierten Abkürzungen
Partikelgrößen- DMS
kanals a, b, … KST
tOPZ s Messintervall des Mat1
Partikelzählers Mat2
OPZ
BSj j-te Belastungs-
stufe
FBSj N Normalkraft der
BSj
iBSj – Anzahl der OPZ-
Messwerte einer
Belastungsstufe
BSj
NBSj – Gesamt-Belas-
tungswieder-
holungszahl einer
Belastungsstu-
fe BSj
Nk – k-te Belastungs-
wiederholungszahl
(es gilt für den
Index k = 1, 2, …,
NBSj)
rBSj m Radius der Belas-
sBSj m Strecke pro Um-
drehung der Belas-
tungsstufe BSj
m zurückgelegte
Gesamtstrecke der
Belastungsstufe
BSj
tBSj s Dauer einer Um-
drehung der Belas-
tungsstufe BSj
s Gesamtversuchs-
dauer der Belas-
tungsstufe BSj
vBSj m/s Relativgeschwin-
digkeit von Kugel
und Scheibe der
Belastungsstufe
BSj
e – Eulerzahl
(e § 2,72)
S – Kreiszahl
(S § 3,14)
Dehnungsmessstreifen
Kugel-Scheibe-Test
Grundkörper (Scheibe)
Gegenkörper (Kugel)
optischer Partikelzähler
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 27 –

Werkstoffpaarung: Mat1 vs. Mat2

Belastungsstufe BSj: BS1
KST
Belastungsvariante:
Bewegungsart: unidirektional
rechtsdrehend
Belastungs-
1500
wiederholungszahl NBSj:
Versuchsdurchläufe: 10
Radius rBSj in mm: 11,1
Normalkraft FBSj in N: 1,0
Relativgeschwindig-
50
keit vBSj in mm/s:
Bild B2. Definition der Belastungsstufen BS1 und BS2 (links) für einen tribologischen „Kugel-Scheibe-Test“
(rechts)
B2.1 Versuchsparameter
Ist der reale Einsatzfall einer Werkstoffpaarung
nicht genau spezifizierbar, empfiehlt es sich, das
Partikelemissionsverhalten einer reibenden Werk-
stoffpaarung über einen möglichst breiten Belas-
tungsbereich (bei mehreren Belastungsstufen3) zu
bestimmen.
Die Festlegung zweier solcher Belastungsstufen
BS1 und BS2 sowie aller weiteren Versuchsparame-
ter zur Untersuchung einer Werkstoff- bzw. Mate-
rialpaarung „Mat1 vs. Mat2“ wird beispielhaft in
Bild B2 vorgenommen.
Erläuterungen zur Definition der Belastungs-
stufen nach Bild B2
x Die Versuche werden für beide Belastungsstu-
fen BSj nach dem KST-Verfahren, das in Ab-
schnitt 6.2 beschrieben ist, durchgeführt. Die
simulierte Belastung entspricht dabei einer rei-
nen Gleitreibung mit Punktkontakt zwischen
den Prüfkörpern.
x Als Bewegungsart wurde „unidirektional
rechtsdrehend“ gewählt, das heißt, der im
Prüfstand eingespannte Grundkörper (Scheibe)
dreht sich im Uhrzeigersinn.
x Um statistisch auswertbare Datensätze zu er-
halten, werden die Versuche insgesamt zehn-
mal pro Belastungsstufe BSj durchgeführt.
x Einen wichtigen Parameter stellt die Belas-
tungswiederholungszahl NBSj dar, da nicht nur
die Versuchsdauer, sondern vielmehr die An-
zahl, wie oft dieselbe Position auf dem ge-
wählten Versuchsradius überstrichen wird, ent-
scheidenden Einfluss auf die Partikelemission
besitzt. Diesem Sachverhalt trägt die Belas-
tungswiederholungszahl Rechnung, die sich
—————
3)
Eine Belastungsstufe setzt sich üblicherweise aus Normal-
kraft, Belastungsvariante, Bewegungsart, Radius, Relativge-
schwindigkeit und Belastungswiederholungszahl zusammen
(siehe Bild B2).
BS2 Gegenkörper
(Kugel)
KST Bewegungsart
unidirektional
rechtsdrehend
FBSj
1500 rBSj
10 sBSj
14,3 vBSj
3,0 Grundkörper
(Scheibe)
50
deshalb beispielsweise auch besonders für die
grafische Darstellung des Partikelemissions-
verlaufs anstelle der Versuchsdauer eignet.
x Im Beispiel der Bild B2 wurden zwei unter-
schiedliche Radien rBSj für die zwei Belas-
tungsstufen BS1 und BS2 gewählt, um nur je-
weils einen Grundkörper (Scheibe) für eine
Materialpaarung pro Wiederholversuch ver-
wenden zu müssen. So müssen in diesem Bei-
spiel anstatt 20 Grundkörpern nur zehn Grund-
körper für beide Belastungsstufen verwendet
werden. Der Vorteil gleicher Radien ist, dass
sich die gewählten Versuchsparameter der Be-
lastungsstufe nur in der aufgeprägten Normal-
kraft FBSj unterscheiden, da für beide Belas-
tungsstufen BSj die gleiche Relativgeschwin-
digkeit vBSj gewählt wurde.
Aus der Festlegung der Belastungsstufen BSj nach
Bild B2 und den Parametern der OPZ-Messwert-
aufnahme nach Tabelle B1 lassen sich die fol-
genden Randbedingungen der Versuchsdurchfüh-
rung berechnen.
Tabelle B1. Parameter der OPZ-
Messwertaufnahme
Werkstoffpaarung: Mat1 vs. Mat2
Belastungsstufe: BS1 BS2
Messintervall OPZ tOPZ in s: 6 6
Aus dem Radius rBSj des Belastungskollektivs BSj
lässt sich die Messstrecke sBSj, die bei einer Um-
drehung zurückgelegt wird, aus der Formel für den
Kreisumfang berechnen:
U ÂʌÂr (B1)
Die zurückgelegte Strecke sBS1 der Belastungsstufe
BS1 für eine Umdrehung ergibt sich nach Glei-
chung (B1) zu etwa 70 mm (0,07 m).
Die zurückgelegte Strecke sBS2 der Belastungs
stufe BS2 nach derselben Formel zu etwa 90 mm
(0,09 m).
– 28 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Aus den Einzelmessstrecken sBSj lässt sich für die Gleichung (B4), angewendet auf das Beispiel der
jeweilige Belastungsstufe BSj der über die Belas- Belastungsstufen BS1 und BS2, ergibt:
tungswiederholungszahl NBSj zurückgelegte Ge- iBS1 = tBS1,ges /tOPZ = 2100 s/6 s = 350
samtweg des Versuchs bestimmen:
iBS2 = tBS2,ges /tOPZ = 2700 s/6 s = 450
sBSj,ges = NBSj · sBSj (B2)
Tabelle B2 fasst die wichtigsten Zwischenergeb-
Gleichung (B2), angewendet auf das Beispiel der nisse der Belastungsstufen BS1 und BS2 zusammen.
Belastungsstufen BS1 und BS2, ergibt:
Die Durchführung der Versuche erfolgt gemäß
sBS1,ges = NBS1 · sBS1 = 1500 m · 0,07 m §P Abschnitt 6.2.2.
sBS2,ges = NBS1 · sBS2 = 1500 m · 0,09 m §P Tabelle B2. Zusammenfassung der wesentlichen
Aus den Einzelmessstrecken sBSj lässt sich wieder- Randbedingungen des Versuchs
um die Zeit, die eine Umdrehung bei den gewähl-
ten Parametern benötigt, aus der Gleichung für die Werkstoffpaarung: Mat1 vs. Mat2
gleichförmige Bewegung berechnen (Annahme: Belastungsstufe: BS1 BS2
Belastungsweg sBSj,ges in m: 105,0 135,0
vernachlässigbare Beschleunigungsrampen wäh-
Versuchsdauer tBSj,ges in min: 35,0 45,0
rend des Versuchs): Messwertanzahl iBSj: 350 450
sBSj = vBSj · tBSj (B3)
Für jede Belastungsstufe BSj muss eine statistisch
Gleichung (B3), angewendet auf das Beispiel der ausreichende Anzahl an Wiederholversuchen
Belastungsstufen BS1 und BS2, ergibt: durchgeführt werden (hier: zehn Versuchsdurch-
tBS1 = sBS1 /vBS1 = 70 mm/50 mm/s §V läufe, siehe Bild B2). Im Folgenden wird zur Wah-
tBS2 = sBS2 /vBS2 = 90 mm/50 mm/s §8 s rung der Übersichtlichkeit nur ein Wiederholver-
such bei einer Belastungsstufe mit Zahlenwerten
Die Gesamtversuchsdauer tBSj,ges der Belastungsstu-
belegt und klassifiziert (hier: erster Versuchsdurch-
fe BSj ergibt sich aus Multiplikation der Zeit einer
lauf der ersten Belastungsstufe).
Umdrehung tBSj mit der Belastungswiederholungs-
zahl NBSj nach Für alle Versuche werden die Partikelemissions-
werte mit einem Messintervall von tOPZ = 6 s in den
tBSj,ges = tBSj · NBSj (B4)
Größenkanälen t 0,5 µm, t 0,7 µm, t 1,0 µm,
Gleichung (B4), angewendet auf das Beispiel der t 5,0 µm, t 10,0 µm, t 25,0 µm vom OPZ erfasst.
Belastungsstufen BS1 und BS2, ergibt: B3 Auswertung der Messwerte
tBS1,ges = tBS1 · NBS1 = 1,4 s · 1500 m = 2100 s = B3.1 Aufbereitung der OPZ Partikelemis-
35 min sionsmesswerte
tBS2,ges = tBS2 · NBS2 = 1,8 s · 1500 m = 2700 s = Eine allgemeine, parametrisierte Darstellung der
45 min vom OPZ kumuliert aufgezeichneten Partikelemis-
Die Anzahl der Messwerte iBSj, die während der sionsmesswerte ist Tabelle B3 zu entnehmen.
Gesamtversuchsdauer vom OPZ aufgezeichnet Die vom OPZ gemessenen Partikelemissions-
werden, ergibt sich, indem die Gesamtversuchs- messwerte dieses Beispiels für das erste Belas-
dauer tBSj,ges durch das Messintervall des OPZ tOPZ tungskollektiv BS1 (1. Wiederholversuch) sind in
aus Tabelle B1 nach der Formel geteilt wird: dieser Form in Tabelle B4 dargestellt (aus Grün-
iBSj = tBSj,ges /tOPZ (B5) den der Übersichtlichkeit wurden nur die ersten
und letzten vier OPZ-Messwerte abgebildet).
Tabelle B3. Allgemeine Darstellung der Kumulation der aufgezeichneten Partikelemissionsmesswerte
Messwert Nr. t CHa t CHb t CHc t CHd t CHe t CHf
n1 a1 b1 c1 d1 e1 f1
n2 a2 b2 c2 d2 e2 f2
n3 a3 b3 c3 d3 e3 f3
n4 a4 b4 c4 d4 e4 f4
… … … … … … …
ni–3 ai–3 bi–3 ci–3 di–3 ei–3 fi–3
ni–2 ai–2 bi–2 ci–2 di–2 ei–2 fi–2
ni–1 ai–1 bi–1 ci–1 di–1 ei–1 fi–1
ni (= iBS) ai bi ci di ei fi
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 29 –

Tabelle B4. Kumuliert aufgezeichnete Partikelemissionsmesswerte der Belastungsstufe BS1

(1. Wiederholversuch)
Messwert Nr. t 0,5 µm t 0,7 µm t 1,0 µm t 5,0 µm t 10,0 µm t 25 µm
1 0 0 0 0 0 0
2 0 0 0 0 0 0
3 16 6 4 1 0 0
4 2 0 0 0 0 0
… … … … … … …
347 7002 3566 2176 232 94 19
348 7033 3700 2265 227 95 17
349 1191 627 375 41 19 3
350 (= iBS) 35 22 17 0 0 0
Die Datenaufbereitung beginnt mit der Aufsummierung der kumulierten Partikelmesswerte der Tabelle B4
nach den Rechenvorschriften der Tabelle B5.

Tabelle B5. Allgemeine Darstellung der summierten Partikelmesswerte aus Tabelle B3

Messwert Nr. ȈtCHa ȈtCHb ȈtCHc ȈtCHd ȈtCHe ȈtCHf
A1 = B1 = C1 = D1 = E1 = F1 =
n1
a1 b1 c1 d1 e1 f1
A2 = B2 = C2 = D2 = E2 = F2 =
n2
A1 + a 2 B1 + b 2 C1 + c2 D1 + d2 E1 + e 2 F 1 + f2
A3 = B3 = C3 = D3 = E3 = F3 =
n3
A2 + a 3 B2 + b 3 C2 + c3 D2 + d3 E2 + e 3 F 2 + f3
A4 = B4 = C4 = D4 = E4 = F4 =
n4
A3 + a 4 B3 + b 4 C3 + c4 D3 + d4 E3 + e 4 F 3 + f4
… … … … … … …
Ai–3 = Bi–3 = Ci–3 = Di–3 = Ei–3 = Fi–3 =
ni–3
Ai–4 + ai–3 Bi–4 + bi–3 Ci–4 + ci–3 Di–4 + di–3 Ei–4 + ei–3 Fi–4 + fi–3
Ai–2 = Bi–2 = Ci–2 = Di–2 = Ei–2 = Fi–2 =
ni–2
Ai–3 + ai–2 Bi–3 + bi–2 Ci–3 + ci–2 Di–3 + di–2 Ei–3 + ei–2 Fi–3 + fi–2
Ai–1 = Bi–1 = Ci–1 = Di–1 = Ei–1 = Fi–1 =
ni–1
Ai–2 + ai–1 Bi–2 + bi–1 Ci–2 + ci–1 Di–2 + di–1 Ei–2 + ei–1 Fi–2 + fi–1
Ai = Bi = Ci = Di = Ei = Fi =
ni (= iBS)
Ai–1 + ai Bi–1 + bi Ci–1 + ci Di–1 + di Ei–1 + ei Fi–1 + fi
Somit ergibt sich beispielsweise der aufsummierte Wert der Messwertzeile n4 des Größenkanals t 0,5 µm
der OPZ-Messwerte der Tabelle B4 nach Tabelle B5 zu:
A4 = A3 + a4 = a1 + a2 + a3 + a4 = 0 + 0 + 16 + 2 = 18*
Die sich so insgesamt für das angegebene Zahlenbeispiel ergebenden, aufsummierten Werte der OPZ-
Messwerte der Tabelle B4 (Belastungsstufe BS1, 1. Wiederholversuch) sind in Tabelle B6 zusammenge-
fasst.
Tabelle B6. Aufsummierte Partikelmesswerte der Belastungsstufe BS1 (1. Wiederholversuch) der Tabelle B4
Messwert Nr Ȉ t 0,5 µm Ȉ t 0,7 µm Ȉ t 1,0 µm Ȉ t 5,0 µm Ȉ t 10,0 µm Ȉ t 25,0
1 0 0 0 0 0 0
2 0 0 0 0 0 0
3 16 6 4 1 0 0
*
4 18 6 4 1 0 0
… … … … … … …
347 744342 389008 230595 23015 10255 3041
348 751375 392708 232860 23242 10350 3058
349 752566 393335 233235 23283 10369 3061
350 (= iBS) 752601 393357 233252 23283 10369 3061
– 30 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Tabelle B7. Wertepaar p und q für die Regressionskurve der Partikelmesswerte der Belastungsstufe BS1
(1. Wiederholversuch) der Tabelle B6
Ȉ t 0,5 µm Ȉ t 0,7 µm Ȉ t 1,0 µm Ȉ t 5,0 µm Ȉ t 10,0 µm Ȉ t 25,0 µm
p 18300 9533 5553 402 139 43,5
q 0,0025 0,0025 0,0025 0,0027 0,0029 0,0029
Rsqra) 1,00 1,00 1,00 1,00 1,00 0,99
Pges,ȈtCHa,b,…
bei N = 1500
779982 406315 236680 23133 10799 3380
(= Versuch-
sende)
a)
Der Rsqr-Wert gibt, vereinfacht gesagt, die „Übereinstimmung“ der realen mit der durch die Regression angenäherten
Kurve an. Der Wert 1,00 entspricht dabei deckungsgleichen Kurven.

B3.2 Regression ten OPZ Größenkanal Ȉ t0,5µm der Gesamt-

Mit einem geeigneten Statistikprogramm wird für
die aufsummierten Partikelmesswerte nach dem
Ansatz der nichtlinearen, exponenziellen Regres-
sion
y = p · eq·x (B6)
eine Näherungsfunktion für den aufsummierten
Partikelemissionverlauf durch die Bestimmung der
Regressionsparameter p und q ermittelt.
Die Ordinate y steht dabei für den Partikel-
emissionswert eines bestimmten Größenkanals
Ȉ t CHa,b,…), die Abszisse x für die Belastungs-
wiederholungszahl Nk.
Damit lässt sich Gleichung (B6) auf die Ermittlung
des Partikelemissionsverlaufs eines Größenkanals
umschreiben zu:
partikelemissionswert Pges der Regression mit den
Werten aus Tabelle B7 und Gleichung (B8) zu
etwa 779982.
Die Abweichung des Regressionswerts (779982,
siehe Tabelle B7) vom tatsächlichen Wert der Par-
tikelemission am Versuchsende (752601, siehe
Tabelle B6, Messwertzeile 350, Größenkanal
Ȉt0,5µm) entspricht somit rund 3,5 %.
B3.3 Klassifizierung
Die Klassifizierung wird mit dem Gesamtpartikel-
emissionswert Pges,ȈtCHa,b,… aus Tabelle B7 zum
Versuchsende (N = 1500) durchgeführt. Dazu wer-
den die Partikelemissionswerte der Wiederho-
lungsversuche der Belastungsstufen genommen
und mit den Grenzwerten der Luftreinheitsklassen-
standards verglichen.
 6 t CH a,b,...  N k
p ˜ e q˜ N k (B7) Die Partikelgrenzwerte der einzelnen Luftrein-
heitsklassen können dabei nach
Für das angegebene Zahlenbeispiel der Tabelle B6 2 ,08
(Belastungsstufe BS1, 1. Wiederholversuch) liefert § 0 ,1 ·
cn 10 M ˜ ¨ ¸¸ (B9)
die Statistiksoftware die Regressionsparameter p ¨ CH
© a,b,... ¹
und q der Tabelle B7 für die aufgezeichneten
Partikelgrößenkanäle. berechnet werden (ISO 14644-1).
Für Rsqr Werte > 0,65 wird postuliert, dass das Dabei ist
Regressionsmodell auf den betrachteten Versuch cn Höchstwert der Partikelkonzentration (in
angewendet werden kann. Da diese Bedingung Partikel je Kubikmeter Luft) von luftgetra-
nach Tabelle B7 für alle OPZ Größenkanäle dieses genen Partikeln, welche gleich der oder
Beispiels erfüllt ist, ist es zulässig, mit den Regres- größer als die betrachtete Partikelgröße
sionsparametern p und q aus Tabelle B7 nun bei- sind; cn ist gerundet auf die nächste ganze
spielsweise für den GrößenkanalȈ t 0,5 µm die Zahl, dabei werden nicht mehr als drei gel-
Regressionskurve nach Gleichung (B7) in die tende Ziffern gebraucht.
Form zu bringen: M ISO-Klassifizierungszahl, welche die Zahl
Pges,6t0 ,5µm  6 t 0,5µm  Nk
Mit Gleichung (B8) kann nun für eine beliebige
Belastungswiederholungszahl Nk ein Partikelemis-
sionswert für den Größenkanal Ȉ t0,5µm bestimmt
werden.
Für die Belastungswiederholungszahl Nk = N =
1500 (Versuchsende) ergibt sich für den summier-
18300 ˜ e0 ,0025˜ N k (B8) neun nicht überschreiten darf. Dazwischen
liegende ISO-Klassifizierungszahlen dür-
fen festgelegt werden, mit 0,1 als kleinstes
Inkrement von M
CHa,b,… betrachtete Partikelgröße, angegeben in
µm
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 31 –

Für den Partikelgrößenkanal CH0,5 = 0,5 µm ergibt Die schlechteste Klassifizierung, betrachtet über
sich so beispielsweise für die ISO-Klassifizie- alle Größenkanäle, gibt die Gesamtklassifizierung
rungszahl0 = 8,5: cn | 11120962,88 Partikel/m3. der Werkstoffpaarung an.
Tabelle B14 zeigt die so insgesamt für alle OPZ- Für die Partikelgrößenkanäle des Beispiels der
Partikelgrößenkanäle errechneten Höchstwerte der Belastungsstufe BS1 (1. Wiederholversuch) nach
Partikelkonzentration in Partikel/m3 für die ISO- Gleichung (B10) erfolgt dieses Verfahren anschau-
Klassifizierungszahlen 1 bis 9 in 0,1er-Schritten. lich wie in Tabelle B8 bis Tabelle B12 4) de-
Da die nach Gleichung (B9) ermittelten Partikel- monstriert.
konzentrationen die maximal zulässige Anzahl von Der klassifizierungsentscheidende OPZ-Kanal ist
Partikeln pro Kubikmeter (Partikel/m3) angeben, nach Tabelle B13 der Kanal t 25,0 µm. Die
die OPZ-Messwerte allerdings in Partikel pro Ku- hierfür ermittelte ISO-Klassifizierung 8,6 nach
bikfuß (Partikel/ft3) ausgegeben werden, müssen DIN EN ISO 14644-1 gibt die Klassifizierung für
die errechneten Grenzwerte umgerechnet werden. die Belastungsstufe BS1 (1. Wiederholversuch) vor.
Da 1 m³ ca. 35,31 ft³ entspricht, ergibt sich die Dieses Klassifizierungsverfahren wird für jeden
Umrechnungsvorschrift Wiederholversuch aller getesteten und zu einer
cn Werkstoffpaarung gehörenden Belastungsstufen
Partikel angewendet.
Cn m3 (B10)
35,31
Für den Partikelgrößenkanal CH0,5 = 0,5 µm er
gibt sich mit Gleichung (B10) beispielsweise
für die ISO-Klassifizierungszahl 0 = 8,5/Cn |
314952,122 Partikel/ft3.
Tabelle B15 zeigt die so insgesamt für alle OPZ-
Partikelgrößenkanäle errechneten Höchstwerte der
Partikelkonzentration in Partikel/ft3 für die ISO-
Klassifizierungszahlen 1 bis 10 in 0,1er-Schritten.
Um die Klassifizierung mit den OPZ-Werten
durchführen zu können, müssen nun noch die
Höchstwerte der Partikelkonzentration in ft3 ähn-
lich den realen OPZ-Messwerten aufsummiert
werden. Dies geschieht nach Gleichung (B11).
6Cn t BSj ,ges / min ˜ Cn (B11)
Anmerkung: Gleichung (B11) ist nur gültig für OPZ, die
1 ft3/min vermessen.

Für den Partikelgrößenkanal CH0,5 = 0,5 µm ergibt

sich mit Gleichung (B10) so für die ISO-
Klassifizierungszahl 0 = 8,5 die maximal zulässi-
ge Partikelanzahl von 6Cn = 11023327,70 Parti-
kel/ft3.
Tabelle B16 zeigt die so insgesamt für alle OPZ-
Partikelgrößenkanäle errechneten aufsummierten
Höchstwerte der Partikelkonzentration in Parti-
kel/ft3 für die ISO-Klassifizierungszahl 1 bis 9 in
0,1er-Schritten am Versuchsende nach 35 Minuten.
Nun kann für jeden Partikelgrößenkanal der
Grenzwert der Partikelkonzentration aus Tabelle
B16 ermittelt werden, der zum ersten Mal größer
als der mit der Regressionskurve berechnete Ge- —————
4)
samtpartikelemissionswert Pges ist. Die zu diesem unterstrichene und fettgedruckte Zahlen: Kriterien für die
Grenzwert gehörende ISO-Klassifizierungszahl Einhaltung der ISO-Klassifizierung erfüllt
durchgestrichene Zahlen: Kriterien für die Einhaltung der
gibt die Klassifizierung für den Größenkanal vor. ISO-Klassifizierung nicht erfüllt
– 32 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Tabelle B8. Klassifizierungsergebnis der Partikelgrößenkanäle 0,5 µm und 0,7 µm der

Belastungsstufe BS1 (1. Wiederholversuch)
3
Grenzwerte nach DIN EN ISO 14644-1 in Partikel/ft
Klasse nach
(Versuchsende)
DIN EN ISO
14644-1 10,0 25,0
0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm
µm µm
7,3 695524,90 345434,95 164501,75 5785,15 1368,15 203,35
Pges,ȈtCHa,b,… 779982 406315 236680 23133 10799 3380
7,4 875613,90 434877,10 207095,35 7283,15 1722,70 256,20
Tabelle B9. Klassifizierungsergebnis der Partikelgrößenkanäle 1,0 µm der Belastungsstufe BS1
(1. Wiederholversuch)
3
Grenzwerte nach DIN EN ISO 14644-1 in Partikel/ft
Klasse nach
(Versuchsende)
DIN EN ISO
14644-1 10,0 25,0
0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm
µm µm
7,4 875613,90 434877,10 207095,35 7283,15 1722,70 256,20
Pges,ȈtCHa,b,… 779982 406315 236680 23133 10799 3380
7,5 1102332,70 547477,70 260717,45 9168,95 2168,60 322,35

Tabelle B10. Klassifizierungsergebnis der Partikelgrößenkanäle 5,0 µm der Belastungsstufe BS1

(1. Wiederholversuch)
3
Klasse nach Grenzwerte nach DIN EN ISO 14644-1 in Partikel/ft (Versuchsende)
DIN EN ISO
14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
7,9 2.768.934,70 1.375.201,80 654.893,05 23.031,05 5.447,05 809,90
Pges,ȈtCHa,b,… 779.982 406.315 236.680 23.133 10.799 3.380
8,0 3.485.882,40 1.731.276,40 824.461,40 28.994,35 6.857,55 1.019,55

Tabelle B11. Klassifizierungsergebnis der Partikelgrößenkanäle 10,0 µm der Belastungsstufe BS1

(1. Wiederholversuch)
3
Klasse nach Grenzwerte nach DIN EN ISO 14644-1 in Partikel/ft (Versuchsende)
DIN EN ISO
14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
8,1 4.388.465,90 2.179.548,00 1.037.935,50 36.501,50 8.633,10 1.283,80
Pges,ȈtCHa,b,… 779.982 406.315 236.680 23.133 10.799 3.380
8,2 5.524.751,05 2.743.888,00 1.306.683,35 45.952,90 10.868,55 1.615,95

Tabelle B12. Klassifizierungsergebnis der Partikelgrößenkanäle 25,0 µm der Belastungsstufe BS1

(1. Wiederholversuch)
3
Klasse nach Grenzwerte nach DIN EN ISO 14644-1 in Partikel/ft (Versuchsende)
DIN EN ISO
14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
8,5 11.023.327,70 5.474.776,65 2.607.175,90 91.688,10 21.685,65 3.224,55
Pges,ȈtCHa,b,… 779.982 406.315 236.680 23.133 10.799 3.380
8,6 13.877.547,25 6.892.335,45 3.282.239,80 115.428,25 27.300,35 4.059,30

Tabelle B13. Übersicht der Klassifizierungsergebnisse der einzelnen Partikelgrößenkanäle der

Belastungsstufe BS1 (1. Wiederholversuch)
t 0,5 µm t 0,7 µm t 1,0 µm t 5,0 µm t 10,0 µm t 25,0 µm
Klassifizierungsergebnis
7,4 7,4 7,5 8,0 8,2 8,6
nach DIN EN ISO 14644-1
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 33 –

3
Tabelle B14. Höchstwerte der Partikelkonzentration in Partikel/m von luftgetragenen Partikeln
die Kanäle des verwendeten OPZ
3
Klasse nach Grenzwerte ISO 14644-1 in Partikel/m
ISO 14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
1,0 0,35 0,17 0,08 0,00 0,00 0,00
1,1 0,44 0,22 0,10 0,00 0,00 0,00
1,2 0,56 0,28 0,13 0,00 0,00 0,00
1,3 0,70 0,35 0,17 0,01 0,00 0,00
1,4 0,88 0,44 0,21 0,01 0,00 0,00
1,5 1,11 0,55 0,26 0,01 0,00 0,00
1,6 1,40 0,70 0,33 0,01 0,00 0,00
1,7 1,76 0,88 0,42 0,01 0,00 0,00
1,8 2,22 1,10 0,52 0,02 0,00 0,00
1,9 2,79 1,39 0,66 0,02 0,01 0,00
2,0 3,52 1,75 0,83 0,03 0,01 0,00
2,1 4,43 2,20 1,05 0,04 0,01 0,00
2,2 5,57 2,77 1,32 0,05 0,01 0,00
2,3 7,02 3,48 1,66 0,06 0,01 0,00
2,4 8,83 4,39 2,09 0,07 0,02 0,00
2,5 11,12 5,52 2,63 0,09 0,02 0,00
2,6 14,00 6,95 3,31 0,12 0,03 0,00
2,7 17,63 8,75 4,17 0,15 0,03 0,01
2,8 22,19 11,02 5,25 0,18 0,04 0,01
2,9 27,93 13,87 6,61 0,23 0,05 0,01
3,0 35,17 17,47 8,32 0,29 0,07 0,01
3,1 44,27 21,99 10,47 0,37 0,09 0,01
3,2 55,74 27,68 13,18 0,46 0,11 0,02
3,3 70,17 34,85 16,60 0,58 0,14 0,02
3,4 88,34 43,87 20,89 0,73 0,17 0,03
3,5 111,21 55,23 26,30 0,93 0,22 0,03
3,6 140,00 69,53 33,11 1,16 0,28 0,04
3,7 176,26 87,54 41,69 1,47 0,35 0,05
3,8 221,89 110,20 52,48 1,85 0,44 0,06
3,9 279,35 138,74 66,07 2,32 0,55 0,08
4,0 351,68 174,66 83,18 2,93 0,69 0,10
4,1 442,73 219,89 104,71 3,68 0,87 0,13
4,2 557,37 276,82 131,83 4,64 1,10 0,16
4,3 701,69 348,49 165,96 5,84 1,38 0,21
4,4 883,37 438,73 208,93 7,35 1,74 0,26
4,5 1112,10 552,33 263,03 9,25 2,19 0,33
4,6 1400,05 695,34 331,13 11,65 2,75 0,41
4,7 1762,55 875,38 416,87 14,66 3,47 0,52
4,8 2218,92 1102,04 524,81 18,46 4,37 0,65
4,9 2793,46 1387,38 660,69 23,23 5,50 0,82
5,0 3516,76 1746,61 831,76 29,25 6,92 1,03
5,1 4427,34 2198,85 1047,13 36,82 8,71 1,30
5,2 5573,68 2768,19 1318,26 46,36 10,96 1,63
5,3 7016,85 3484,95 1659,59 58,36 13,80 2,05
5,4 8833,69 4387,29 2089,30 73,48 17,38 2,58
5,5 11120,96 5523,27 2630,27 92,50 21,88 3,25
5,6 14000,46 6953,38 3311,31 116,45 27,54 4,10
5,7 17625,54 8753,79 4168,69 146,60 34,67 5,16
5,8 22189,24 11020,37 5248,07 184,56 43,65 6,49
5,9 27934,60 13873,82 6606,93 232,35 54,95 8,17
6,0 35167,57 17466,11 8317,64 292,51 69,18 10,29
6,1 44273,35 21988,52 10471,29 368,25 87,10 12,95
6,2 55736,85 27681,91 13182,57 463,60 109,65 16,30
6,3 70168,53 34849,46 16595,87 583,64 138,04 20,53
6,4 88336,95 43872,87 20892,96 734,75 173,78 25,84
6,5 111209,63 55232,67 26302,68 925,00 218,78 32,53
6,6 140004,63 69533,82 33113,11 1164,51 275,42 40,95
6,7 176255,38 87537,89 41686,94 1466,03 346,74 51,56
6,8 221892,38 110203,67 52480,75 1845,62 436,52 64,91
6,9 279345,96 138738,21 66069,34 2323,50 549,54 81,71
– 34 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

3
Klasse nach Grenzwerte ISO 14644-1 in Partikel/m
ISO 14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
7,0 351675,72 174661,05 83176,38 2925,11 691,83 102,87
7,1 442733,51 219885,24 104712,85 3682,50 870,96 129,50
7,2 557368,46 276819,12 131825,67 4635,99 1096,48 163,04
7,3 701685,32 348494,62 165958,69 5836,36 1380,38 205,25
7,4 883369,48 438728,73 208929,61 7347,55 1737,80 258,40
7,5 1112096,29 552326,75 263026,80 9250,01 2187,76 325,30
7,6 1400046,28 695338,18 331131,12 11645,08 2754,23 409,53
7,7 1762553,84 875378,91 416869,38 14660,28 3467,37 515,57
7,8 2218923,81 1102036,75 524807,46 18456,20 4365,16 649,06
7,9 2793459,58 1387382,07 660693,45 23234,98 5495,41 817,12
8,0 3516757,25 1746610,54 831763,77 29251,11 6918,31 1028,69
8,1 4427335,06 2198852,39 1047128,55 36824,97 8709,64 1295,04
8,2 5573684,62 2768191,16 1318256,74 46359,89 10964,78 1630,36
8,3 7016853,20 3484946,19 1659586,91 58363,64 13803,84 2052,51
8,4 8833694,81 4387287,32 2089296,13 73475,47 17378,01 2583,95
8,5 11120962,88 5523267,49 2630267,99 92500,14 21877,62 3253,01
8,6 14000462,77 6953381,80 3311311,21 116450,78 27542,29 4095,29
8,7 17625538,36 8753789,05 4168693,83 146602,84 34673,69 5155,67
8,8 22189238,13 11020367,49 5248074,60 184562,04 43651,58 6490,60
8,9 27934595,75 13873820,68 6606934,48 232349,85 54954,09 8171,18
9,0 35167572,46 17466105,41 8317637,71 292511,13 69183,10 10286,91

3
Tabelle B15. Höchstwerte der Partikelkonzentration in Partikel/ft von luftgetragenen Partikeln die Kanäle
des verwendeten OPZ
3
Grenzwerte ISO 14644-1 in Partikel/ft
Klasse nach
ISO 14644-1 10,0 25,0
0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm
µm µm
1,0 0,01 0,00 0,00 0,00 0,00 0,00
1,1 0,01 0,01 0,00 0,00 0,00 0,00
1,2 0,02 0,01 0,00 0,00 0,00 0,00
1,3 0,02 0,01 0,00 0,00 0,00 0,00
1,4 0,03 0,01 0,01 0,00 0,00 0,00
1,5 0,03 0,02 0,01 0,00 0,00 0,00
1,6 0,04 0,02 0,01 0,00 0,00 0,00
1,7 0,05 0,02 0,01 0,00 0,00 0,00
1,8 0,06 0,03 0,01 0,00 0,00 0,00
1,9 0,08 0,04 0,02 0,00 0,00 0,00
2,0 0,10 0,05 0,02 0,00 0,00 0,00
2,1 0,13 0,06 0,03 0,00 0,00 0,00
2,2 0,16 0,08 0,04 0,00 0,00 0,00
2,3 0,20 0,10 0,05 0,00 0,00 0,00
2,4 0,25 0,12 0,06 0,00 0,00 0,00
2,5 0,31 0,16 0,07 0,00 0,00 0,00
2,6 0,40 0,20 0,09 0,00 0,00 0,00
2,7 0,50 0,25 0,12 0,00 0,00 0,00
2,8 0,63 0,31 0,15 0,01 0,00 0,00
2,9 0,79 0,39 0,19 0,01 0,00 0,00
3,0 1,00 0,49 0,24 0,01 0,00 0,00
3,1 1,25 0,62 0,30 0,01 0,00 0,00
3,2 1,58 0,78 0,37 0,01 0,00 0,00
3,3 1,99 0,99 0,47 0,02 0,00 0,00
3,4 2,50 1,24 0,59 0,02 0,00 0,00
3,5 3,15 1,56 0,74 0,03 0,01 0,00
3,6 3,97 1,97 0,94 0,03 0,01 0,00
3,7 4,99 2,48 1,18 0,04 0,01 0,00
3,8 6,28 3,12 1,49 0,05 0,01 0,00
3,9 7,91 3,93 1,87 0,07 0,02 0,00
4,0 9,96 4,95 2,36 0,08 0,02 0,00
4,1 12,54 6,23 2,97 0,10 0,02 0,00
4,2 15,79 7,84 3,73 0,13 0,03 0,00
4,3 19,87 9,87 4,70 0,17 0,04 0,01
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 35 –

3
Grenzwerte ISO 14644-1 in Partikel/ft
Klasse nach
ISO 14644-1 10,0 25,0
0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm
µm µm
4,4 25,02 12,43 5,92 0,21 0,05 0,01
4,5 31,50 15,64 7,45 0,26 0,06 0,01
4,6 39,65 19,69 9,38 0,33 0,08 0,01
4,7 49,92 24,79 11,81 0,42 0,10 0,01
4,8 62,84 31,21 14,86 0,52 0,12 0,02
4,9 79,11 39,29 18,71 0,66 0,16 0,02
5,0 99,60 49,47 23,56 0,83 0,20 0,03
5,1 125,38 62,27 29,66 1,04 0,25 0,04
5,2 157,85 78,40 37,33 1,31 0,31 0,05
5,3 198,72 98,70 47,00 1,65 0,39 0,06
5,4 250,18 124,25 59,17 2,08 0,49 0,07
5,5 314,95 156,42 74,49 2,62 0,62 0,09
5,6 396,50 196,92 93,78 3,30 0,78 0,12
5,7 499,17 247,91 118,06 4,15 0,98 0,15
5,8 628,41 312,10 148,63 5,23 1,24 0,18
5,9 791,12 392,91 187,11 6,58 1,56 0,23
6,0 995,97 494,65 235,56 8,28 1,96 0,29
6,1 1253,85 622,73 296,55 10,43 2,47 0,37
6,2 1578,50 783,97 373,34 13,13 3,11 0,46
6,3 1987,21 986,96 470,00 16,53 3,91 0,58
6,4 2501,75 1242,51 591,70 20,81 4,92 0,73
6,5 3149,52 1564,22 744,91 26,20 6,20 0,92
6,6 3965,01 1969,24 937,78 32,98 7,80 1,16
6,7 4991,66 2479,12 1180,60 41,52 9,82 1,46
6,8 6284,12 3121,03 1486,29 52,27 12,36 1,84
6,9 7911,24 3929,15 1871,12 65,80 15,56 2,31
7,0 9959,66 4946,50 2355,60 82,84 19,59 2,91
7,1 12538,47 6227,28 2965,53 104,29 24,67 3,67
7,2 15785,00 7839,68 3733,38 131,29 31,05 4,62
7,3 19872,14 9869,57 4700,05 165,29 39,09 5,81
7,4 25017,54 12425,06 5917,01 208,09 49,22 7,32
7,5 31495,22 15642,22 7449,07 261,97 61,96 9,21
7,6 39650,14 19692,39 9377,83 329,80 78,00 11,60
7,7 49916,56 24791,25 11805,99 415,19 98,20 14,60
7,8 62841,23 31210,33 14862,86 522,69 123,62 18,38
7,9 79112,42 39291,48 18711,23 658,03 155,63 23,14
8,0 99596,64 49465,04 23556,04 828,41 195,93 29,13
8,1 125384,74 62272,80 29655,30 1042,90 246,66 36,68
8,2 157850,03 78396,80 37333,81 1312,94 310,53 46,17
8,3 198721,42 98695,73 47000,48 1652,89 390,93 58,13
8,4 250175,44 124250,56 59170,10 2080,87 492,16 73,18
8,5 314952,22 156422,19 74490,74 2619,66 619,59 92,13
8,6 396501,35 196923,87 93778,28 3297,95 780,01 115,98
8,7 499165,63 247912,46 118059,87 4151,88 981,98 146,01
8,8 628412,29 312103,30 148628,56 5226,91 1236,24 183,82
8,9 791124,21 392914,77 187112,28 6580,28 1556,33 231,41
9,0 995966,37 494650,39 235560,40 8284,09 1959,31 291,33
– 36 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

3
Tabelle B16. Höchstwerte der Partikelkonzentration in Partikel/ft für die Kanäle des verwendeten OPZ am
Versuchsende
3
Klasse nach Grenzwerte nach ISO 14644-1 in Partikel/ft (Versuchsende)
ISO 14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
1,0 0,35 0,00 0,00 0,00 0,00 0,00
1,1 0,35 0,35 0,00 0,00 0,00 0,00
1,2 0,70 0,35 0,00 0,00 0,00 0,00
1,3 0,70 0,35 0,00 0,00 0,00 0,00
1,4 1,05 0,35 0,35 0,00 0,00 0,00
1,5 1,05 0,70 0,35 0,00 0,00 0,00
1,6 1,40 0,70 0,35 0,00 0,00 0,00
1,7 1,75 0,70 0,35 0,00 0,00 0,00
1,8 2,10 1,05 0,35 0,00 0,00 0,00
1,9 2,80 1,40 0,70 0,00 0,00 0,00
2,0 3,50 1,75 0,70 0,00 0,00 0,00
2,1 4,55 2,10 1,05 0,00 0,00 0,00
2,2 5,60 2,80 1,40 0,00 0,00 0,00
2,3 7,00 3,50 1,75 0,00 0,00 0,00
2,4 8,75 4,20 2,10 0,00 0,00 0,00
2,5 10,85 5,60 2,45 0,00 0,00 0,00
2,6 14,00 7,00 3,15 0,00 0,00 0,00
2,7 17,50 8,75 4,20 0,00 0,00 0,00
2,8 22,05 10,85 5,25 0,35 0,00 0,00
2,9 27,65 13,65 6,65 0,35 0,00 0,00
3,0 35,00 17,15 8,40 0,35 0,00 0,00
3,1 43,75 21,70 10,50 0,35 0,00 0,00
3,2 55,30 27,30 12,95 0,35 0,00 0,00
3,3 69,65 34,65 16,45 0,70 0,00 0,00
3,4 87,50 43,40 20,65 0,70 0,00 0,00
3,5 110,25 54,60 25,90 1,05 0,35 0,00
3,6 138,95 68,95 32,90 1,05 0,35 0,00
3,7 174,65 86,80 41,30 1,40 0,35 0,00
3,8 219,80 109,20 52,15 1,75 0,35 0,00
3,9 276,85 137,55 65,45 2,45 0,70 0,00
4,0 348,60 173,25 82,60 2,80 0,70 0,00
4,1 438,90 218,05 103,95 3,50 0,70 0,00
4,2 552,65 274,40 130,55 4,55 1,05 0,00
4,3 695,45 345,45 164,50 5,95 1,40 0,35
4,4 875,70 435,05 207,20 7,35 1,75 0,35
4,5 1102,50 547,40 260,75 9,10 2,10 0,35
4,6 1387,75 689,15 328,30 11,55 2,80 0,35
4,7 1747,20 867,65 413,35 14,70 3,50 0,35
4,8 2199,40 1092,35 520,10 18,20 4,20 0,70
4,9 2768,85 1375,15 654,85 23,10 5,60 0,70
5,0 3486,00 1731,45 824,60 29,05 7,00 1,05
5,1 4388,30 2179,45 1038,10 36,40 8,75 1,40
5,2 5524,75 2744,00 1306,55 45,85 10,85 1,75
5,3 6955,20 3454,50 1645,00 57,75 13,65 2,10
5,4 8756,30 4348,75 2070,95 72,80 17,15 2,45
5,5 11023,25 5474,70 2607,15 91,70 21,70 3,15
5,6 13877,50 6892,20 3282,30 115,50 27,30 4,20
5,7 17470,95 8676,85 4132,10 145,25 34,30 5,25
5,8 21994,35 10923,50 5202,05 183,05 43,40 6,30
5,9 27689,20 13751,85 6548,85 230,30 54,60 8,05
6,0 34858,95 17312,75 8244,60 289,80 68,60 10,15
6,1 43884,75 21795,55 10379,25 365,05 86,45 12,95
6,2 55247,50 27438,95 13066,90 459,55 108,85 16,10
6,3 69552,35 34543,60 16450,00 578,55 136,85 20,30
6,4 87561,25 43487,85 20709,50 728,35 172,20 25,55
6,5 110233,20 54747,70 26071,85 917,00 217,00 32,20
6,6 138775,35 68923,40 32822,30 1154,30 273,00 40,60
6,7 174708,10 86769,20 41321,00 1453,20 343,70 51,10
6,8 219944,20 109236,05 52020,15 1829,45 432,60 64,40
6,9 276893,40 137520,25 65489,20 2303,00 544,60 80,85
 Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 37 –

3
Klasse nach Grenzwerte nach ISO 14644-1 in Partikel/ft (Versuchsende)
ISO 14644-1 0,5 µm 0,7 µm 1,0 µm 5,0 µm 10,0 µm 25,0 µm
7,0 348588,10 173127,50 82446,00 2899,40 685,65 101,85
7,1 438846,45 217954,80 103793,55 3650,15 863,45 128,45
7,2 552475,00 274388,80 130668,30 4595,15 1086,75 161,70
7,3 695524,90 345434,95 164501,75 5785,15 1368,15 203,35
7,4 875613,90 434877,10 207095,35 7283,15 1722,70 256,20
7,5 1102332,70 547477,70 260717,45 9168,95 2168,60 322,35
7,6 1387754,90 689233,65 328224,05 11543,00 2730,00 406,00
7,7 1747079,60 867693,75 413209,65 14531,65 3437,00 511,00
7,8 2199443,05 1092361,55 520200,10 18294,15 4326,70 643,30
7,9 2768934,70 1375201,80 654893,05 23031,05 5447,05 809,90
8,0 3485882,40 1731276,40 824461,40 28994,35 6857,55 1019,55
8,1 4388465,90 2179548,00 1037935,50 36501,50 8633,10 1283,80
8,2 5524751,05 2743888,00 1306683,35 45952,90 10868,55 1615,95
8,3 6955249,70 3454350,55 1645016,80 57851,15 13682,55 2034,55
8,4 8756140,40 4348769,60 2070953,50 72830,45 17225,60 2561,30
8,5 11023327,70 5474776,65 2607175,90 91688,10 21685,65 3224,55
8,6 13877547,25 6892335,45 3282239,80 115428,25 27300,35 4059,30
8,7 17470797,05 8676936,10 4132095,45 145315,80 34369,30 5110,35
8,8 21994430,15 10923615,50 5201999,60 182941,85 43268,40 6433,70
8,9 27689347,35 13752016,95 6548929,80 230309,80 54471,55 8099,35
9,0 34858822,95 17312763,65 8244614,00 289943,15 68575,85 10196,55
– 38 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

Anhang C Beispiel zur Bestimmung der nCR LWRCR ˜ FLACR (D4)

Ausgasungsklasse
Dabei ist
Die Berechnung der Ausgasungsklasse (ISO-
LWRCR Luftwechselrate im Reinraum = 280/h
AMCm-Klasse) eines Werkstoffs anhand seiner
Ausgasung wird wie in Abschnitt 6.3 beschrieben FLACR Frischluftanteil im Reinraum = 10 %
mit folgenden Parametern durchgeführt: Es gilt:
x Kammervolumen VKammer = 40 mƐ nCR = 28/h = 0,0078/s
x Dauer der Probenahme t = 1 h = 3600 s Der TVOCCR-Wert berechnet sich nach
x Volumenstrom des Spülgases V = 6000 mƐ/h SERm ˜ ACR
TVOCCR (D5)
= 1,66 mƐ/s VCR ˜ nCR
x Probentemperatur: T = (22 ± 1) °C zu TVOCCR = 6,7 ˜ 10-6 g/m3 .
x nKammer = Spülgasrate in 1/s, berechnet aus Der dekadische Logarithmus von TVOCCR ergibt
V die ISO-AMC-Klasse des Reinraums
n 150 h 0 ,04166 s (D1)
V ISO-AMCCR Klasse –5,2 (or)
Klassifizierung des Ausgasungsverhaltens Diese Klassifizierung erfolgt gemäß ISO 14644-8,
eines Werkstoffs: ISO-AMCm Klasse N siehe Tabelle C1.
Der vermessene repräsentative Werkstoff mit einer
Tabelle C1. Reinheitsklassen in Anlehnung an
aktiven Oberfläche Am = 10 cm2 hat eine Gesamt- ISO 14644-8 zur Bewertung der Ausgasung von
ausgasung von TVOCm = 750 ng/6000 mƐ, dies Werkstoffen
entspricht einem TVOCm = 1,25×10–4 g/m3.
ISO- Konzen- Konzen- Konzen-
Somit ergibt sich mit AMC- tration tration tration
TVOCm ˜ VKammer ˜ nKammer Klasse in g/m
3
in µg/m
3
in ng/m
3

SER m (D2) 0 10
0
10
6
10
9
Am –1 5 8
–1 10 10 10
die flächenspezifische Emissionsrate SERm von –2 10
–2
10
4
10
7

2,1×10–7 g/(m2·s). –3 10
–3
10
3
10
6

Aus SERm wird mit –4 10

–4
10
2
10
5

SERm ˜ Anorm
–5 1 4
–5 10 10 10
TVOCnorm (D3) –6 0 3
Vnorm ˜ nnorm –6 10
–7
10
–1
10
2
–7 10 10 10
TVOCnorm berechnet zu 2,1×10–7 g/m3. –8 10
–8
10
–2
10
1

Der Zahlenwert von TVOCnorm wird dekadisch –9 10

–9
10
–3
10
0

logarithmiert und ergibt damit die werkstoffspezi- –10 10

–10
10
–4
10
–1

fische normierte ISO-AMCm-Klasse –11 10

–11
10
–5
10
–2

–12 –6 –3
ISO-AMCm Klasse –6,7 (or) –12 10 10 10
Umrechnung der werkstoffspezifischen ISO-
AMCm -Klasse-N auf reale Reinraumumgebun- Zur Berechnung der AMC-Belastung eines realen
gen ISO-AMCCR -Klasse Reinraums darf nur der TVOC-Messwert bei
Gegeben sei ein Reinraum (CR) mit folgenden (22 ± 1) °C herangezogen werden. Der 90°C-Wert
Betriebsparametern: dient als Zusatzinformation zur besseren Ver-
gleichbarkeit der Werkstoffe untereinander. Auch
x Fläche des Werkstoffs im Reinraum sind bei der Messung bei 90 °C eventuell Kompo-
ACR = 140 m2 nenten enthalten, welche als thermische Abbau-
x Volumen des Reinraums produkte einzuordnen sind und ursprünglich nicht
VCR = 560 m3 in der Rezeptur des Werkstoffs enthalten waren.
Die Frischluftrate nCR berechnet sich mittels

Schrifttum
Technische Regeln
ASTM G 99:2005-00 Standard Test Method for Wear Test-
ing with a Pin-on-Disk Apparatus. West Conshohocken, PA:
American Society for Testing and Materials
ASTM F 24:2009-00 Standard Method for Measuring and
Counting Particulate Contamination on Surfaces. West Con-
shohocken, PA: American Society for Testing and Materials
DIN 50452-1:1995-11 Prüfung von Materialien für die Hal-
bleitertechnologie; Verfahren zur Teilchenanalytik in
Flüssigkeiten; Teil 1: Mikroskopische Teilchenbestimmung
(Testing of materials for semiconductor technology; Test
method for particle analysis in liquids; Part 1: Microscopic
determination of particles). Berlin: Beuth Verlag
DIN 53804-2:1985-03 Statistische Auswertungen; Zählbare
(diskrete) Merkmale (Stastistical interpretation of data; Coun-
table (discrete) characteristics). Berlin: Beuth Verlag
DIN 55301:1978-09 Gestaltung statistischer Tabellen (Pre-
sentation of statistical tables). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 423:2002-04 Elastische Bodenbeläge; Bestimmung
der Fleckenempfindlichkeit; Deutsche Fassung EN 423:2001
(Resilient floor coverings; Determination of resistance to
staining; German version EN 423:2001). Berlin: Beuth Ver-
lag
DIN EN 1081:1998-04 Elastische Bodenbeläge; Bestimmung
des elektrischen Widerstandes; Deutsche Fassung EN 1081:
1998 (Resilient floor coverings; Determination of the electri-
cal resistance; German version EN 1081:1998). Berlin: Beuth
Verlag
DIN EN 1335-1:2002-08 Büromöbel; Büro-Arbeitsstuhl;
Teil 1: Maße; Bestimmung der Maße; Deutsche Fassung
EN 1335-1:2000 (Office furniture; Office work chair; Part 1:
Dimensions; Determination of dimensions; German version
EN 1335-1:2000). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 1335-2:2010-01 Büromöbel; Büro-Arbeitsstuhl;
Teil 2: Sicherheitsanforderungen; Deutsche Fassung
EN 1335-2:2009 (Office furniture; Office work chair; Part 2:
Safety requirements; German version EN 1335-2:2009).
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 1335-3:2009-08 Büromöbel; Büro-Arbeitsstuhl;
Teil 3: Prüfverfahren; Deutsche Fassung EN 1335-3:2009
(Office furniture; Office work chair; Part 3: Test methods;
German version EN 1335-3:2009). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 1815:2011-01 (Entwurf) Elastische und textile
Bodenbeläge; Beurteilung des elektrostatischen Verhaltens
(Resilient and textile floor coverings; Assessment of static
electrical propensity). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 1815:1998-01 Elastische und textile Bodenbeläge;
Beurteilung des elektrostatischen Verhaltens; Deutsche Fas-
sung EN 1815:1997 (Resilient and textile floor coverings;
Assessment of static electrical propensity; German version
EN 1815:1997). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 13779:2007-09 Lüftung von Nichtwohngebäuden;
Allgemeine Grundlagen und Anforderungen für Lüftungs-
und Klimaanlagen und Raumkühlsysteme; Deutsche Fassung
EN 13779:2007 (Ventilation for non-residential buildings;
Performance requirements for ventilation and room-
conditioning systems; German version EN 13779:2007).
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 14041:2008-05 Elastische, textile und Laminat-
Bodenbeläge; Wesentliche Eigenschaften; Deutsche Fassung
EN 14041:2004+AC:2005+AC:2006 (Resilient, textile and
laminate floor coverings; Essential characteristics; German
Entwurf VDI 2083 Blatt 17 – 39 –
version EN 14041:2004+AC:2005+AC:2006). Berlin: Beuth
Verlag
DIN EN 61340-5-1*VDE 0300-5-1:2008-07 Elektrostatik;
Teil 5-1: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen
elektrostatische Phänomene; Allgemeine Anforderungen
(IEC 61340-5-1:2007); Deutsche Fassung EN 61340-5-1:
2007 (Electrostatics; Part 5-1: Protection of electronic devi-
ces from electrostatic phenomena; General requirements
(IEC 61340-5-1:2007); German version EN 61340-5-1:
2007). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 61340-5-1 Beiblatt 1*VDE 0300-5-1 Beiblatt 1:
2009-09 Elektrostatik; Teil 5-2: Schutz von elektronischen
Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene; Benutzer-
handbuch (IEC/TR 61340-5-2:2007); Deutsche Fassung
CLC/TR 61340-5-2:2008 (Electrostatics; Part 5-2: Protection
of electronic devices from electrostatic phenomena; User
guide (IEC/TR 61340-5-2:2007); German version CLC/
TR 61340-5-2:2008). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN 61340-5-2*VDE 0300-5-2:2006-07 (Entwurf) Elek-
trostatik; Teil 5-2: Schutz von elektronischen Bauelementen
gegen elektrostatische Phänomene; Benutzerhandbuch
(IEC 101/219/CDV:2005); Deutsche Fassung prEN 61340-5-2:
2005 (Electrostatics; Part 5-2: Protection of electronic devi-
ces from electrostatic phenomena; User Guide (IEC 101/
219/CDV:2005); German version prEN 61340-5-2:2005).
Zurückgezogen 2009-09. Nachfolgedokument DIN
EN 61340-5-1 Beiblatt 1
DIN EN ISO 4287:2010-07 Geometrische Produktspezifika-
tion (GPS); Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren;
Benennungen, Definitionen und Kenngrößen der Oberflä-
chenbeschaffenheit (ISO 4287:1997 + Cor 1:1998 + Cor 2:
2005 + Amd 1:2009); Deutsche Fassung EN ISO 4287:1998
+ AC:2008 + A1:2009 (Geometrical Product Specifications
(GPS); Surface texture: Profile method; Terms, definitions
and surface texture parameters (ISO 4287:1997 + Cor 1:1998
+ Cor 2:2005 + Amd 1:2009); German version EN
ISO 4287:1998 + AC:2008 + A1:2009). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 4628-1:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 1: Allgemeine Einführung
und Bewertungssystem (ISO 4628-1:2003); Deutsche Fas-
sung EN ISO 4628-1:2003 (Paints and varnishes; Evaluation
of degradation of coatings; Designation of quantity and size
of defects, and of intensity of uniform changes in appearance;
Part 1: General introduction and designation system
(ISO 4628-1:2003); German version EN ISO 4628-1:2003).
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 4628-2:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 2: Bewertung des
Blasengrades (ISO 4628-2:2003); Deutsche Fassung EN
ISO 4628-2:2003 (Paints and varnishes; Evaluation of degra-
dation of coatings; Designation of quantity and size of de-
fects, and of intensity of uniform changes in appearance;
Part 2: Assessment of degree of blistering (ISO 4628-2:
2003); German version EN ISO 4628-2:2003). Berlin: Beuth
Verlag
DIN EN ISO 4628-3:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 3: Bewertung des
Rostgrades (ISO 4628-3:2003); Deutsche Fassung EN
ISO 4628-3:2003 (Paints and varnishes; Evaluation of degra-
dation of coatings; Designation of quantity and size of de-
– 40 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf
fects, and of intensity of uniform changes in appearance;
Part 3: Assessment of degree of rusting (ISO 4628-3:2003);
German version EN ISO 4628-3:2003). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 4628-4:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 4: Bewertung des Rissgra-
des (ISO 4628-4:2003); Deutsche Fassung EN ISO 4628-4:
2003 (Paints and varnishes; Evaluation of degradation of
coatings; Designation of quantity and size of defects, and of
intensity of uniform changes in appearance; Part 4: Assess-
ment of degree of cracking (ISO 4628-4:2003); German
version EN ISO 4628-4:2003). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 4628-5:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 5: Bewertung des Abblät-
terungsgrades (ISO 4628-5:2003); Deutsche Fassung EN
ISO 4628-5:2003 (Paints and varnishes; Evaluation of degra-
dation of coatings; Designation of quantity and size of de-
fects, and of intensity of uniform changes in appearance;
Part 5: Assessment of degree of flaking (ISO 4628-5:2003);
German version EN ISO 4628-5:2003
DIN EN ISO 4628-6:2010-04 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 6: Bewertung des
Kreidungsgrades nach dem Klebebandverfahren (ISO/
DIS 4628-6:2010); Deutsche Fassung prEN ISO 4628-6:2010
(Paints and varnishes; Evaluation of degradation of coatings;
Designation of quantity and size of defects, and of intensity
of uniform changes in appearance; Part 6: Assessment of
degree of chalking by tape method (ISO/DIS 4628-6:2010);
German version prEN ISO 4628-6:2010). Berlin: Beuth
Verlag
DIN EN ISO 4628-6:2007-11 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
der Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 6: Bewertung des Krei-
dungsgrades nach dem Klebebandverfahren (ISO 4628-6:
2007); Deutsche Fassung EN ISO 4628-6:2007 (Paints and
varnishes; Evaluation of degradation of coatings; Designation
of quantity and size of defects, and of intensity of uniform
changes in appearance; Part 6: Assessment of degree of
chalking by tape method (ISO 4628-6:2007); German version
EN ISO 4628-6:2007). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 4628-7:2004-01 Beschichtungsstoffe; Beurtei-
lung von Beschichtungsschäden; Bewertung der Menge und
Größe von Schäden und der Intensität von gleichmäßigen
Veränderungen im Aussehen; Teil 7: Bewertung des Krei-
dungsgrades nach dem Samtverfahren (ISO 4628-7:2003);
Deutsche Fassung EN ISO 4628-7:2003 (Paints and varnis-
hes; Evaluation of degradation of coatings; Designation of
quantity and size of defects, and of intensity of uniform
changes in appearance; Part 7: Assessment of degree of
chalking by velvet method (ISO 4628-7:2003); German
version EN ISO 4628-7:2003). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 8044:1999-11 Korrosion von Metallen und
Legierungen; Grundbegriffe und Definitionen (ISO 8044:
1999); Dreisprachige Fassung EN ISO 8044:1999 (Corrosion
of metals and alloys; Basic terms and definitions
(ISO 8044:1999); Trilingual version EN ISO 8044:1999).
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 8785:1999-10 Geometrische Produktspezifika-
tion (GPS); Oberflächenunvollkommenheiten; Begriffe,
Definitionen und Kenngrößen (ISO 8785:1998); Deutsche
Fassung EN ISO 8785:1999 (Geometrical Product Specifica-
tions (GPS); Surface imperfections; Terms, definitions and
parameters (ISO 8785:1998); German version EN
ISO 8785:1999). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 9241-5:1999-08 Ergonomische Anforderungen
für Bürotätigkeiten mit Bildschirmgeräten; Teil 5: Anforde-
rungen an Arbeitsplatzgestaltung und Körperhaltung
(ISO 9241-5:1998); Deutsche Fassung EN ISO 9241-5:1999
(Ergonomic requirements for office work with visual display
terminals (VDTs); Part 5: Workstation layout and postural
requirements (ISO 9241-5:1998); German version EN
ISO 9241-5:1999
DIN EN ISO 14644-1:2010-12 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit
anhand der Partikelkonzentration (ISO/DIS 14644-1:2010);
Deutsche Fassung prEN ISO 14644-1:2010 (Cleanrooms and
associated controlled environments; Part 1: Classification of
air cleanliness by particle concentration (ISO/DIS 14644-1:
2010); German version prEN ISO 14644-1:2010). Berlin:
Beuth Verlag
DIN EN ISO 14644-1:1999-07 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit
(ISO 14644-1:1999); Deutsche Fassung EN ISO 14644-1:
1999 (Cleanroom and associated controlled environments;
Part 1: Classification of air cleanliness (ISO 14644-1:1999);
German version EN ISO 14644-1:1999). Berlin: Beuth Ver-
lag
DIN EN ISO 14644-4:2003-06 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-
Inbetriebnahme (ISO 14644-4:2001); Deutsche Fassung EN
ISO 14644-4:2001 (Cleanrooms and associated controlled
environments; Part 4: Design, construction and start up
(ISO 14644-4:2001); German version EN ISO 14644-4:
2001). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14644-6:2007-10 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 6: Terminologie (ISO 14644-6:
2007); Dreisprachige Fassung EN ISO 14644-6:2007 (Clean-
rooms and associated controlled environments; Part 6: Voca-
bulary (ISO 14644-6:2007); Trilingual version EN
ISO 14644-6:2007). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14644-7:2005-01 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben,
Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments)
(ISO 14644-7:2004); Deutsche Fassung EN ISO 14644-7:
2004 (Cleanrooms and associated controlled environments;
Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes,
isolators and mini-environments) (ISO 14644-7:2004); Ger-
man version EN ISO 14644-7:2004). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14644-8:2007-04 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 8: Klassifikation luftgetragener
molekularer Kontamination (ISO 14644-8:2006); Deutsche
Fassung EN ISO 14644-8:2006 (Cleanrooms and associated
controlled environments; Part 8: Classification of airborne
molecular contamination (ISO 14644-8:2006); German ver-
sion EN ISO 14644-8:2006). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14644-9:2008-08 Reinräume und zugehörige
Reinraumbereiche; Teil 9: Klassifzierung der partikulären
Oberflächenreinheit (ISO/DIS 14644-9:2008); Deutsche
Fassung prEN ISO 14644-9:2008 (Cleanrooms and associa-
ted controlled environments; Part 9: Classification of surface
particle cleanliness (ISO/DIS 14644-9:2008); German versi-
on prEN ISO 14644-9:2008). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 16000-9:2008-04 Innenraumluftverunreinigun-
gen; Teil 9: Bestimmung der Emission von flüchtigen organi-
schen Verbindungen aus Bauprodukten und Einrichtungsge-

genständen; Emissionsprüfkammer-Verfahren (ISO 16000-9:
2006); Deutsche Fassung EN ISO 16000-9:2006 (Indoor air;
Part 9: Determination of the emission of volatile organic
compounds from building products and furnishing; Emission
test chamber method (ISO 16000-9:2006); German version
EN ISO 16000-9:2006). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 16000-11:2006-06 Innenraumluftverunreini-
gungen; Teil 11: Bestimmung der Emission von flüchtigen
organischen Verbindungen aus Bauprodukten und Einrich-
tungsgegenständen; Probenahme, Lagerung der Proben und
Vorbereitung der Prüfstücke (ISO 16000-11:2006); Deutsche
Fassung EN ISO 16000-11:2006 (Indoor air; Part 11: Deter-
mination of the emission of volatile organic compounds from
building products and furnishing; Sampling, storage of sam-
ples and preparation of test specimens (ISO 16000-11:2006);
German version EN ISO 16000-11:2006). Berlin: Beuth
Verlag
DIN IEC 61340-1*VDE 0300-1:2007-07 Richtlinie zu den
Grundlagen elektrostatischer Vorgänge und deren Messungen
(IEC 101/240/CD:2006) (Guide to the principles of elec-
trostatic phenomena and their measurement (IEC 101/240/
CD:2006)). Berlin: Beuth Verlag
DIN ISO 16000-6:2004-12 Innenraumluftverunreinigungen;
Teil 6: Bestimmung von VOC in der Innenraumluft und in
Prüfkammern, Probenahme auf TENAX TA®, thermische
Desorption und Gaschromatografie mit MS/FID
(ISO 16000-6:2004) (Indoor air; Part 6: Determination of
volatile organic compounds in indoor and test chamber air by
active sampling on Tenax TA® sorbent, thermal desorption
and gas chromatography using MS/FID (ISO 16000-6:2004)
DIN VDE 0100-410*VDE 0100-410:2007-06 Errichten von
Niederspannungsanlagen; Teil 4-41: Schutzmaßnahmen;
Schutz gegen elektrischen Schlag (IEC 60364-4-41:2005,
modifiziert); Deutsche Übernahme HD 60364-4-41:2007
(Low-voltage electrical installations; Part 4-41: Protection for
safety; Protection against electric shock (IEC 60364-4-41:
2005, modified); German implementation HD 60364-4-41:
2007). Berlin: Beuth Verlag
DIN VDE 0100-600*VDE 0100-600:2008-06 Errichten von
Niederspannungsanlagen; Teil 6: Prüfungen (IEC 60364-6:
2006, modifiziert); Deutsche Übernahme HD 60364-6:2007
(Low voltage electrical installations; Part 6: Verification
(IEC 60364-6:2006, modified); German implementation
HD 60364-6:2007). Berlin: Beuth Verlag
ISO 16232 Road vehicles; Cleanliness of components of
fluid circuit (Straßenfahrzeuge; Sauberkeit von Komponenten
für Fluidsysteme). Genf: ISO
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SEMI E14-93:1993 Measurements of particle contamination
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SEMI E45-95:1995 Test method for the determination of
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CA: SEMI
SEMI E78-0309:2009-03 Guide to Assess and Control Elec-
trostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA)
for Equipment. San Jose, CA: SEMI
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VDI 1000:2010-06 VDI-Richtlinienarbeit; Grundsätze und
Anleitungen (VDI Guideline Work; Principles and procedu-
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VDI 2083 Blatt 1:2005-05 Reinraumtechnik; Partikelrein-
heitsklassen der Luft (Cleanroom technology; Particulate air
cleanliness classes). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 3:2005-07 Reinraumtechnik; Messtechnik in
der Reinraumluft (Cleanroom technology; Metrology and test
methods). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 7:2006-11 Reinraumtechnik; Reinheit von
Prozessmedien (Cleanroom technology; Cleanliness of pro-
cess media). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 8.1:2009-07 Reinraumtechnik; Molekulare
Verunreinigung der Reinraumluft (AMC) (Cleanroom tech-
nology; Molecular contamination of cleanroom air (AMC)).
Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 9:1991-09 Reinraumtechnik; Qualität, Er-
zeugung und Verteilung von Reinstwasser (Clean room
engineering; Quality, production and distribution of superpu-
rity water). Zurückgezogen 2007-05. Nachfolgedokumente
VDI 2083 Blatt 13.1 und VDI 2083 Blatt 13.2
VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12 Reinraumtechnik; Reinheits-
tauglichkeit und Oberflächenreinheit (Clean room technolo-
gy; Compatibility with required cleanliness and surface
cleanliness). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 10:1998-02 Reinraumtechnik; Reinstmedien-
Versorgungssysteme (Cleanroom technology; High-Purity/
Ultra-High-Purity (HP-/UHP-)media supply systems). Berlin:
Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 13.1:2009-01 Reinraumtechnik; Qualität,
Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser; Grundlagen
(Cleanroom technology; Quality, production and distribution
of ultrapure water; Fundamentals). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 13.2:2009-01 Reinraumtechnik; Qualität,
Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser; Mikroelektro-
nik und andere technische Anwendungen (Cleanroom techno-
logy; Quality, production and distribution of ultrapure water;
Microelectronics and other technical applications). Berlin:
Beuth Verlag
VDI 2083 Blatt 13.3:2010-10 Reinraumtechnik; Qualität,
Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser; Pharmazie und
andere Life-Science-Anwendungen (Cleanroom technology;
Quality, production, and distribution of ultrapure water;
Pharmacy and other life-science applications). Berlin: Beuth
Verlag
VDI 2083 Blatt 14:2008-04 (Entwurf) Reinraumtechnik;
Molekulare Verunreinigung aus der Reinraumluft (AMC)
(Cleanroom technology; Airborne molecular contamination
(AMC) in cleanrooms). Zurückgezogen 2009-07. Nachfolge-
dokument VDI 2083 Blatt 8.1
VDI 2083 Blatt 18:2010-11 (Entwurf) Reinraumtechnik;
Biokontaminationskontrolle (Cleanroom technology; Biocon-
tamination control). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2815 Blatt 5:1978-05 Begriffe für die Produktionspla-
nung und -steuerung; Betriebsmittel (Terms of production
engineering and control; Manufacturing accessories). Berlin:
Beuth Verlag
VDI 3489 Blatt 3:1997-03 Messen von Partikeln; Methoden
zur Charakterisierung und Überwachung von Prüfaerosolen;
Optischer Partikelzähler (Particulate matter measurement;
Methods of characterizing and monitoring test aerosols;
Optical particle counter). Berlin: Beuth Verlag
VDI 6022 Blatt 1:2006-04 Hygiene-Anforderungen an
Raumlufttechnische Anlagen und Geräte (Hygienic require-
– 42 – VDI 2083 Blatt 17 Entwurf

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VDI 6022 Blatt 2:2007-07 Hygiene-Anforderungen an
Raumlufttechnische Anlagen und Geräte; Messverfahren und
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