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第 ２７卷 第 １１期　 半 导 体 学 报　 Ｖ ｏ１．２７　 Ｎ ｏ．１１　

２００６年 １１月　 Ｃ Ｈ ＩＮＥＳＥ　
ＪＯＵ ＲＮ ＡＬ　
Ｏ Ｆ　
ＳＥＭ Ｉ
ＣＯ Ｎ ＤＵ Ｃ ＴＯ ＲＳ　 ＮＯＶ．，２００６　

热 超 声 倒 装 键 合 过 程 中 的非 线 性 动 力 学 行 为 ＊
　
韩　 雷’
　 钟　掘　
（中南 大 学 机 电学 院 ，长 沙 ４１００８
３）　

摘 要 ：在 作 为微 器 件 电 气 互 连 主 要 手 段 的 热 超 声 键 合 工 艺 中 ，
微 细 键 合 区 域 内 金 属 变 形 ／变 性 ／互 连 所 需 的 能 量 ，
　
来 自于 超 声 波 功 率 源 通 过 换 能 系 统 所 施 加 的 微 幅 压 剪 动 载 ．对 热 超 声 倒 装 键 合 过 程 的研 究 说 明 ，ＰＺＴ 换 能 系 统 在　
热超 声倒 装键 合 工 艺过 程 中 的 非 线 性 动 力 学 行 为 ，
如 换 能 系 统 启 动 后 的 初 值 敏 感 性 和 不 确 定性 ，
键 合 工 具 与 换 能　
杆之间的不稳定动力耦合 ，
倒 装 芯 片运 动 的奇 异 相 轨 线 等 ，是 深 入 研 究 键 合 机 理 以及 提 高 工 艺 可 靠 性 的重 要 关 键 ．
　

关 键 词 ：热超 声 键 合 ；ＰＺＴ换 能 系统 ；非 线 性 动 力 学 ；倒 装 芯 片 ；封 装 互 连　
ＥＥＡＣＣ ： ２８６０； ７３１０； ７８１０Ｃ　

中 图 分 类 号 ：ＴＮ２０５　 文 献 标 识 码 ：Ａ　 文章 编 号 ：０２５３－

４１７７（
２００６）１１
－２０５６－
０８　

过程 本质 上是 率相 关 的 ，不 可能 用 静 态单 元 实 验 模　
１
　 前 言　 拟， 了解 该过 程 的动 力 学 细 节 十分 必 要 ．然 而 ，有 助　
于裸 露 的 金 属 之 间 形 成 键 合 的表 层 氧 化 膜 去 除 阶　
要 实现 我 国本 世纪 成 为世界 微 电子制 造强 国的　 段， 需要 能量 和 时 间 ，没 有 确 定 说 法 ；环 境 温度 与 键　
目标 ，必须能 自主地 提供 微 电子 产 业 的 先进 制 造 工　 合效 果 有关 ， 但在 液氮 中仍 可实 现键合 ， 也 无法 定量　
艺、技 术 和 装 备 ．热 超 声 键 合 （ｔ
ｈｅｒ ｍｏｓｏｎｉｃ
　ｂｏｎｄ．
　 解 释 ；剪切 流动 和 “过 键 合 ”以何 种 模 式 进 行 ， 亦 无　
ｉ
ｎｇ）用于 倒装 （ｆ ｌ
ｉｐ．
ｃｈｉｐ）芯 片 互 连 ，所 需 封 装 高 度　 明确结 论 ． 关 于促 使 金 属 间形 成 键 合 的 相 互作 用 及　
显著 降低 ，封装 空 间减 少 为原 有 的 １０％ ， 相 应 倒 装　 其 定量 ，均停 留在猜测 阶 段 ． 　
芯片 的重量 可减 少到 传统 封装形 式 （如 引线 键合 、 载　 近来 ，已有 美 国 、德 国、 瑞 士 、日本 、新加 坡 的学　
带 自动键合 ）芯 片 的 １ ０％ ．其 工 艺 适 应 不 同设 计 芯　 者， 开 始实 验 研 究 键 合 过 程＿１
　］．由 于 实 际 支 承／实　
片、连 接 可靠 、不 损 伤 芯 片 以及 无 铅 ， 是 具 有 极 大潜　 际加 载工 况下换 能 系 统工 作相 当复 杂 ， 使 用 的换 能　
力 的新 一代 高密 度 、高效率 、 高 可靠 性 的绿 色封 装互　 系统 特性各 异 ， 投入量 有 限 的实验很 难 获得全 貌 ． 实　
连工艺 ．
　 验研 究显得 零 散 ， 甚 至难 以比较 ．只是探讨 了换 能杆　
长期 以来 ，
工 业界 认 为 微 细键 合 区域 接 受 的是　 共振 模态 畸变 、 界 面平行 度 、 键 合界 面纵 向刚度对键　
时 间上平 稳 、区域 内 均 匀 的 动 载 ．在 微 电子 制 造 业　 合质 量 的影响 等局 部效 应 ，以及处 理机 理不 清楚“灰　
中， 采用 平均 超 声 功 率 、键 合 压 力 等 表 征 工 艺 参 数　 箱”过程 的模糊 控 制模 型 ， 没 有从 根本 上找 到这一 困　
组， 并寻 求获得 最佳 质量 的工 艺参 数 匹配 ． 在 封装 互　 惑工 业界 的解 决 途径 ．提 出 的纵 向超声 波加 载 和 横　
连工 艺 实践 中 ，当速 度 、节距 、可 靠性 要 求 越 来 越 高　 向多维超 声波 加 载的设 想 ， 也 因实 用效 果不 明显 ， 未　
时， 上述 做法 遇 到 了 明显 困难 ，缩 短 键 合 时 间 至 １０ 　 被 微 电子工业 界 所接受 ． 　
￣
２０ｍｓ以内 ， 将 导致键 合 工艺 可靠性 急剧 下降 ． 　 键 合 区域 远 小 于超 声 波 换 能系 统 体积 ，非 定 常　
简 化 的工 艺 模 型 已不 能满 足需 要 ，超 声键 合 的　 加 载过 程 中大部 分能 量 ，实 际上 分 布 在 拟共 振 态 的　
可靠应 用 ， 是 对其 互连 机理 的深 刻认 识 ． 但所 有 的数　 换 能系 统 中 ，
而且 键合 工具 做功 ， 会 反过来 影 响系统　
值 仿真 ， 均难 以证 实或 证 伪 ．任 何 为屏 蔽 次 要 干 扰 、　 拟 共振 态及 加载 过程 本 身 ．我们 在 研 究 温 度对 金 丝　
突 出主要 因素进 行 的 研究 实 验 ， 都 会 得 到 一些 似 乎　 引线键 合强 度影 响Ｉ ７］时发现 ，即使 键合 负载 不 变 ， 在　
矛盾 的结论 ． 对这 一微 电子 制造业 熟 悉 的物理 ／力学　 超 声 波功率 源输 出确 定 电压 时 ， 输 出 电流 呈 现相 当　
过程进 行整 体甚 至局 部 的定量 描述 ， 就会 面临 困难 ． 　 的波 动 ；超 声波 功率 源 向换 能 系统 提供 的空载 功率 ， 　
静 载 下 金 属键 合 需 要 的时 间 极 长 ，
微 细 键 合 区　 反而 高于 换能 系统 劈刀 在键合 界 面做 功状态 的负 载　
域 内金属 变形 ／变 性／互 连 所 需 的能 量 ，来 自于超 声　 功率 ． 这说 明 ，功率 源 向换 能 系 统提 供 的 功 率 ，以何　
波功 率源 通过换 能 系 统 所施 加 的微 幅 压 剪 动载 ， 该　 种形 式施 加于键 合 区域 ， 是 了解 键 合界 面强 度 生 成　

＊国 家 自然 科 学 基 金 （
批准号 ：
５０５７５２３０，
５０４２９
５０１，
５０３９００６４）和 国家 重 点 基 础 研 究 发 展 规 划 （批 准 号 ：
２００３ＣＢ７１６２０
２）资 助项 目　
十通 信 作 者 ．
Ｅｍａｉｌ：
ｌｅｉ
ｈａｎｘｙｚ＠ ｙａｈｏｏ．
ｃｏｒ
ｎ．ｃｎ　
２００
６．０３．２２收 到 ，
２００６．
０５．３１定 稿 ＠２００６ 中国 电 子 学 会　
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第 １１期　 韩 雷等：
　 热 超 声 倒 装 键 合 过 程 中 的 非线 性 动 力 学 行 为　

的关 键 ．已有 的 工 艺 设 计 ，都 是 基 于 稳 态 线 性 过 程　
的 ．非线性 工 艺 的效 果 ，
强 烈地依 赖 于时变 非线 性动　
力学 过程 ，工 艺窗 口狭 窄 ，单 凭 工 艺试 凑 ，很 难解 释　
许 多现象 ．
　
为 此 ，我们 进行 了超声 换 能 系统 非线 性 工 作机　
理 的 系统 实 验 研 究 ，即将 功 率 源．
ＰＺＴ．换 能 杆一 键 合　
工 具一键 合 点 组 成 的 系统 ，作 为一 个 复 杂 动 力 学 系　
统， 考 虑其处 于拟 共振 工 作态 的非平 稳性 和 非线性 ． 　
发 现 了 ＰＺＴ换 能 系统 在 热 超 声键 合 过 程 中丰 富 的　
非 线性 动 力学行 为及 其对 键合 质量 的影 响 ． 　
图 ２ 不 同 电压 下 金 丝 键 合 机 换 能 系统 幅一
频 曲线　

２ 锁 相 非 线性　 Ｆｉ
ｇ．２
　 Ｂｏｄｅ　ｐｌ
ｏｔ　ｏｆ
　ｔｈｅ
　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　ｒ
ｅｓｐｏｎｓｅ
　ｏｆ
　ｔｈｅ
　Ａ ｕ　
ｗｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　ｔｒ
ａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｕｎｄｅｒ
　ｄｉ
ｆｆｅｒ
ｅｎｔ
　ｌｏａｄｉ
ｎｇ　ｖｏｌ
ｔａ—
　

用 于热超 声键合 的振动 系统设 计 为 ，当 ＰＺＴ加　 ｇｅｓ　

载端 和键 合工 具 （劈 刀 ）负载 端 间距 为半波 长 的整数　

倍时， 负 载端 位于稳 定共 振 态对应 的质点位 移／速度　
腹 点 ；系统 的质 点 位移 ／速 度 节 点 ，
对 应 于 安 装肋 环　
一
ｏ】　仉
对ＩＩ
　
位置， 如 图 １所示 ．
劈 刀 的弯 曲振 动 ， 提 供 了键 合 区　
域所 需 的剪 切动 载 ．安 装肋 环 的抗 弯 特 性 使 键合 工　 踟 ∞ ∞ 加 ０ 珈 舶 枷 踟　
具 作用 时产 生所需 的键 合 力 ．　

图 ３　 不 同 电压 下 金 丝 键 合 机 换 能 系统 相 一
频 曲线　
Ｆｉ
ｇ．３
　 Ｐｈａｓ
ｅ・ｆｒ
ｅｑｕｅｎｃｙ
　ｃｈａｒａｃｔ
ｅｒｉ
ｓｔｉ
ｃｓ　ｏｆ
　ｔｈｅ　
Ａ ｕ　
ｗｉｒ
ｅ　
ｂｏｎｄｅｒ
　ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｕｎｄｅｒ
　ｄｉ
ｆｆｅｒ
ｅｎｔ
　ｌｏａｄｉ
ｎｇ　ｖｏｌ
ｔａｇｅｓ
　

１。　

５　
图１
　 换 能杆 的设 计 轴 向共 振 模 态　
Ｆｉ
ｇ．１
　 Ａ ｘｉ
ａｌ　ｍ ｏｄｅ　
ｏｆ　ｖｉ
ｂｒａｔ
ｉｏｎ
　
堇。
　
螫
换 能 器 驱 动 电压 和 环境 温 度 的变化 ，
会 引 起 谐　
． 　

振点 的漂 移 ．
实 测金 丝键 合 机换 能 杆在 ６３ｋＨｚ工 作　 一
１０　

频率 附近 空载 下 电 学 导 纳 （图 ２，
３）可 知 ，
其 特 性 曲　
５００　 １０００　 １５００　 ２０ｏｏ　 ２５００　
线 幅值形 状类 似 ，
但 换 能杆 固有 频 率 随 电压 或 温 度　 时问／
Ｉｔｓ
　
的上 升而 降低　ｊ． 　
图 ４ 铝线 键合 机 换 能 系统 初 始 段 速 度 曲线　
为保 证 换 能 器始 终 有 稳定 的振 幅 输 出 ，功率 源　
Ｆｉ
ｇ．４　 Ｉ
ｎｉｔｉ
ａｌ　ｖｅｌ
ｏｃｉ
ｔｙ “ｂｅａｔ” ｏｆ
　ｔｈｅ　Ａ１
　ｗｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　
使用 锁相 环 进行频 率 自动调 谐 ， 经相 位 比较 后 ，获得　 ｔ
ｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｄｕｅ　ｔ
ｏ　ａ　ｎａｔ
ｕｒａｌ
　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　ｄｉ
ｆｆｅｒ
ｅｎｃｅ
　ｏｆ
　
相 位误差 ，控 制压 控振 荡器 输 出 ，使超 声 功率源 保持　 ＶＣ ０　ａｎｄ　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　

与振动 系统 谐振 频率 一 致 ．加 载初 始捕 捉状 态 （ａｃ— 　
ｑｕｉ
ｓｉｔ
ｉｏｎ　ｍｏｄｅ）段 ，铝 丝 键 合 机换 能 系统 负 载 端 速　 初始 驱动 频率 和换 能系统 初始 固有 频率 ）的差 拍 ． 在　
度相 当小 （￣５ｍｍ／ｓ ），
但 易受 干扰 ． 图 ４是对 该换 能　 ０～１．３ｍｓ初 始段 ，换能 系统 的加 载 电压实 际上 在抖　
系统 ０～１．３ｍｓ初始 振 荡段 加 载 电压 （ 有 效 值 ）和 负　 动下 降 ，再 考虑 ０．２～０．４ｍｓ差 拍 摆动 周期 ， 捕 捉 时　
载端 速 度 （有 效 值 ）实 测 ．其 中速 度 曲 线 包 络 ３～　 间不能 过短 ； 但 固定 的捕 捉 时 间 ，使得 相 位 锁 定 后 ，
　
５ｋＨｚ的波 动 ，来 自于两个 不 同频率 （ 施 加 于 ＰｚＴ 的　 被 驱动 的 系统 所处 状态 并不 完全 相 同 ，如 图 ５所示 ． 　
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半 导 体 学 报　 第 ２７卷　

显然 ，锁 相混沌 影 响其动 力学 演化 ，
导致 了换 能 系统　
状态 的初 值敏感 性 和捕捉 态结 束 时 的不 确定 性 ．
　

鼍　
越　

强　
柩　

图 ６ 铝 线 键 合 机 换 能 系 统 主 工 作段 输 入 能 量 ．
速 度 曲线　
Ｆｉ
ｇ．６　 Ｖ ｅｌ
ｏｃｉ
ｔｙ　ｒｅｓ
ｐｏｎｓ
ｅｓ　ｖｅｒｓ
ｕｓ　ｉ
ｎｐｕｔ
　ｅｎｅｒｇｙ　ｏｆ
　ａ　
ｗｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　ａｔ
　ｍ ａｉ
ｎ　ｌ
ｏａｄｉ
ｎｇ　
ｓｅｇｍ ｅｎｔ
　

图 ５ 铝线 键 合 机 换 能 系 统 初 始 段 动 力 学 演 化　
Ｆｉ
ｇ．５　 Ｉ
ｎｉｔ
ｉａｌ
　ｄｙｎａｍ ｉ
ｃｓ　ｅｖｏｌ
ｕｔｉ
ｏｎ　
ｏｆ　
ｔｈｅ　
Ａ１　
ｗｉｒ
ｅ　ｂｏｎｄ—
　

ｅｒ　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　 ｕ）
　 霉毯　 善　

３ 换 能 系统 非 平 稳 加 载 过 程　

换 能 动 力 系统 主加 载 段 的 非平 稳 性 ，由锁相 捕　
捉态结 束后 系统 的振 速变 化体 现 ， 见 图 ６．系 统拟 稳　
态 振动 时 ，其 平均 动能 与平 均势 能相等 ．当系统机 械　 图 ７ 铝线 键 合 机 换 能 系 统 主 工 作 段 输 入 －
响应 实 验 建 模　
能 量相 对缓 变 ，任 一质 点速 度平方 的时间平 均 ， 将 正　 Ｆｉ
ｇ．７　 Ｅｘｐｅｒ
ｉｍ ｅｎｔ
ａｌ　
ｄａｔ
ａ　ｍ ｏｄｅｌ
ｉｎｇ　
ｆｏｒ
　ｔｒ
ａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｅｎ－
　

比于 系统机 械能 量 的时间平 均 ． 这样 ， 系统 具有 的机　 ｅｒｇｙ　

ｓｔａｔ
ｕｓ　
ｄｕｒｉ
ｎｇ　
ｍ ａｉ
ｎ　ｌ
ｏａｄｉ
ｎｇ　
ｓｅｇｍ ｅｎｔ
　

械能量 Ｅ　（ｔ）与特 定 测 点 （如 振 动 系 统 负 载 端 ）速　

度 的时间 均 方 值 （ｖ　）近 似 成 正 比 ．由能 量 的 累 积／ 　
４ 动 力 学 系统 的 实验 建 模 与 键 合 工 具　
饱 和效 应 ，可设 Ｅｉ　为输 入 能量 （由驱 动 电 压 电流 测　
得 ），系统 能量 Ｅ　（ｔ ）为　 对 换 能 系统 的非 线 性 作 用　
Ｅ　 ＝ ａ［１一ｅｘｐ（一 ｂＥ。 　）］　
与实 测换 能 系统 的能量变 化 趋势 十分 吻合 （见 图 ６， 　 研究 换能 动力 系统平 稳 工 作 段 的非 线性 ， 是 通　
７）．式 中 ａ与 系 统 机 械 能 最 大 容 量 有 关 ，但 因 系统　 过对分 离 后各子 系统 动 力学 行 为 的实 验 观 察入 手 ． 　
的能 量耗 散率 ，较 大 输 入 功 率 设 置 对 应 ａ值 较 高 ． 　 实测 表 明 ，
有 阻 尼 Ｄｕｆｆｉｎｇ振 子 （ｏｓ
ｃｉｌ
ｌａｔ
ｏｒ）可 较好　
ｂ量 纲为 能量 的倒 数 ， 其 值 与功率 源／系统 间 的能量　 描述 各共 振 峰 附 近 的 实 验 现 象 ＿
８
　］．换 能 系统 阻尼　
转换 率 有 关 ．ｂ越 小 ，达 到 特 定 的 系统 能 量 状 态 所　 主要 来 自结构 内部 ， 介质 阻尼 是次 要 的 ， 滞后 阻尼假　
需输 入能 量 越 大 ．在 较 大 输 入 功 率 下 对 应 的 ｂ较　 设 比粘性 阻尼 假设 合 理 ． 模 型 中描 述位 移 立 方 非线　
小　 ．
　 性项 系数 为 负 ，可 实 测 振 子 明 显 的“软 化 ”特 性 ．同　
显然 ，功率 源启 ／停并 不 等价 于换能 系统 启／停 ． 　 样，键 合 界面 的实 际非线 性恢 复力 ， 也 表现 了类似 效　
锁相 ／系统惯性 ／系统 稳定 性 要 求 冲突 ， 使 加 载 时 间　 应．
　
缩 短存在 下 限 ：
非 稳 态 上 升段 后 ，才利 于锁 相 稳 定 ；　 由于 陶瓷或 硬质合 金键 合工 具 （劈刀 ）相对 质量　
过 短加 载 时间 ，
将 使加 载 以非稳态 上 升段为 主 ，造成　 较 小且 刚度 较大 ， 易 低 估其 在 换 能 系统 整 体结 构 动　
加 载时 振 幅不可控 ，且 残余 振动 不能 忽略 ． 减 小 系统　 力 学 中的地 位 ． 对 于 实 际工 作频 段 的金 丝 键合 机 换　
等 效质量 ，虽 可缩 短非 稳态 上升段 ， 但 同 时降低 了在　 能系统 ， 劈 刀有无 情况 下 系统 电学导 纳 的实测说 明 ： 　
键 合界 面做 功 的系统 的稳定 性 ． 综上 所述 ， 这就 是可　 劈 刀 引起 ：（１）系统 电学 导 纳 降 为原 来 的 １／２左 右 ； 　
靠 性要 求较 高 的工 艺 中，总键 合 时 间无 法 任 意缩 短　 （２）原 单 峰 分 裂 为 代 表 换 能 杆 ／劈 刀 同 向 （ｉ
ｎ．ｐｈａｓｅ
　
的原 因 ．
　 ｏｓｃｉ
ｌｌ
ａｔｉ
ｏｎｓ）或 反 向（ｏｕｔ—ｏｆ—
ｐｈａｓｅ　
ｏｓｃｉｌ
ｌａｔ
ｉｏｎｓ）振 动　
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第 １１期　 韩　 雷 等 ：
　 热 超 声 倒 装 键 合 过 程 中 的非 线 性 动力 学 行 为　

模 式 的双峰 ，并分 布 于原 共 振 频 率 两侧 ；（３）双 峰表　

现 出明显“软”特 性 ．劈 刀 实 际 上 改变 了系 统 的设 计　
模 态 和输入 能量 在 换 能 系统 中 的分 布 ．仅 在 劈 刀对　
称安装 下 ，静态 电容 、 电阻 ，动 态 电感 、电容 、电阻 ， 机　
械品质 因数 、 机 电耦 合 系 数 等 参数 与未 安 装 劈 刀 时　
的值 比较接 近 ． 可见 ，劈 刀非对 称安 装导 致 的换能 系　
统俯仰 方 向动力 不 平 衡 ， 是 造 成 系统 特 性 改 变 的 主　
要原 因 ．
　
由图 ８， ９中频谱 形状 可 知 ， 在 较低 频率 处 的峰 ， 　
与换 能杆 主振 动 的频 谱 模式 类 似 ．从劈 刀 的附 加 质　
量效 应考 虑频 率 略低 这一 事 实 ，图 ８， ９中较 低 频 率　
处 的峰 ，应 该 代 表 的 是 换 能 杆 ／劈 刀 的 同 向 振 动　
（
ＩＰｏ）
模式．
　

写　
兰　
与　
《　

图 ９ 金丝键合机换能 系统相．
频 曲 线　 （ａ）
无 劈 刀 ；（ｂ）有 劈　
刀　

Ｆｉ
ｇ．９　 Ｐｈａｓ
ｅ—ｆｒ
ｅｑｕｅｎｃｙ　
ｃｈａｒａｃｔ
ｅｒｉ
ｓｔｉ
ｃｓ （ａ）Ｎｏ　ｔ
ｏｏｌ：
　

（ｂ）Ｗ ｉ
ｔｈ　ｔ
ｏｏｌ
　

学导 纳位 相 均 为 Ｏ，
如 图 ９所 示 ．这 样 ，事 实 上 锁 相　
∽　
环无法 分 辨系统 相距 只 有 数 百 Ｈｚ（或 更 小 ）频 差 的　
Ｊ　
． 两种 振动模 态 ．还有 ， 如 图 ８所示 ， 换 能杆／劈 刀 同向　
模式 ＩＰｏ 对 应 的阻 抗 值 ，只 有 反 向模 式 ＯＰＯ 对 应　
￡　
ｑ　
《　 阻抗值 的 ２０％ ，
金 丝键 合机功 率 源 产生 的 实 际加 载　
电压 ，
在换 能系 统工作 频率 附近 ， 因 负载阻抗 突 降产　
生 的波动 如 图 １Ｏ所 示 ．
　

图 ８ 金 丝 键 合 机 换 能 系 统 幅－
频 曲 线　 （ａ）无 劈 刀 ；（ｂ）有 劈　
刀　

Ｆｉ
ｇ．８　 Ａｍｐｌ
ｉｔｕｄｅ
－ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　ｃｈａｒａｃｔ
ｅｒｉ
ｓｔｉ
ｃｓ　 （ａ） Ｎｏ　

ｔｏｏｌ；
（ｂ） Ｗ ｉ
ｔｈ　ｔ
ｏｏｌ
　

换 能 杆／劈 刀 同 向和反 向振动 模式 Ｉ Ｐｏ 和 ＯＰＯ　

对应 频率 间距 过大 ，会 导 致 换 能 杆 与劈 刀两 振 子 间　
能量传 递 效率 下降 ．原设 计 从 能 量 传 递 的动 力 学 稳　
Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ／ｋＨｚ　
定 的思路 考虑 ，必 然希望 换 能杆 ／劈 刀 的反 向振 动模　
式 ＯＰＯ，作 为理 想 的工 作 模 式 ．
键 合 机 的工 作 稳 定　 图 ｌＯ 实 际 加 载 电 压 在 金丝 键 合 机 换 能 系 统 主导 共 振 频 段 的　
性，在 ＯＰＯ模 式假 设 下 ，将体 现 于实 际换 能 系统 的　 波 动　

反 向导 纳环特 性 ．
　 Ｆｉ
ｇ．１０
　 Ｌｏａｄｉ
ｎｇ　
ｖｏｌ
ｔａｇｅｓ
　ｆｏｒ
　ｔｈｅ　ｔ
ｒａｎｓｄｕｃｅｒ
／ｔｏｏｌ
　ｓｙｓ—
　
ｔ
ｅｒｎ　
ｏｆＡ ｕ　ｗｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　
但是 ，
双峰 Ｉ
Ｐｏ 和 ＯＰＯ对 应 的频 率 处 ，系统 电　
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半 导 体 学 报　 第 ２７卷　

换能 系 统 的 同 向 振 动 模 式 （ＩＰＯ）比反 向 模 式　 向振动 的幅值 ． 上 节所 讨论 同 向振 动模式 ， 实 际上是　

（ＯＰＯ） 易于吸收外加能量 ， 对 应 的 振 幅 也 更 大 ．诚　 与 轴 向振动 强耦 合 的换能 杆弯 曲振 动所 致 ． 　
然 ，可通 过 调 整 劈 刀参 数 ， 使 得代 表 换 能杆 ／劈 刀 同　 由结 构耦 合 动力学 按 存储 能量 划分 子系统 的 原　
向和 反 向振 动模式 Ｉ ＰＯ 和 ＯＰＯ 对应 的双峰 频率 尽　 则 可知 ， 换 能杆 的轴 向振 动 和 弯 曲振 动 可 视 为 两个　
可 能接 近 ．当反 向导纳 环 远 离 原 点 ，Ｉ Ｐｏ 和 ＯＰＯ 的　 子 系统 ． 其 间 的强 耦 合 ，将 造 成 激 励 其 中之 一 ，另一　
模态 重合 ， 其 切换 的影 响可 以忽 略 ， 键合 过程 失稳 也　 子 系统 也产 生振 动 ． 稳 定状 态 以后 ， 其 间 的功率 流 为　
可 以避 免 ．　 零， 两 子系统 能量 近似 相 等 ． 劈 刀引起 系统 电学 阻抗　
通 过对 于 超 声键 合 换 能 系统 的实 测 ，反 向导 纳　 加倍 ， 正说 明 了这 点 ．　
环 一般 在接 近原点 处 出现 ． ＴＳ２１００金 丝键 合 机劈 刀　 键 合 工具 紧 固螺栓 的松 紧 程度 ，亦改 变换 能 系　
经 反复调 整后 ，曾使 反 向 导纳 环 不 在 接 近原 点 处 出　 统 工作 可靠 性 ． 起 初 认 为 与 等效 连 接 刚 度 的改 变 有　
现， 但调 整后 ， 不 仅反 向导 纳 环 直径 变 大 ， 最 大 导 纳　 关． 力 学上一 维平 动质 量或 转动 惯量 的等效 实体 ， 实　
和最小 导纳值 相 差一倍 有余 ， 而 且其 轨迹 中 ， 不 仅存　 际上对 应 的是键 合 工具 ．为 此 ， 卸 去 键合 工 具 ，仅 在　
在 与非 主导 频率 共振 的导 纳 轨 迹 的重 合 点 ， 而 且 出　 工 具安 装孔 内保 留一 金属柱 体 ， 调整螺 栓松 紧程 度 ， 　
现 了动力学 分叉 点 ， 两 个 非 常接 近 的频 率对 应 于 负　 分 离后 研究 其 对 系统 特 性 的影 响 ．实验 ［ １０
］表 明 ，紧　
载 特性 的 同一点 ， 如 图 ｌ１所示 ． 换言 之 ，当负载处 于　 固螺栓 过松 ， 将 导致 电学加 载不 稳定 ； 加 紧后谐振 频　
该点 ， 对 任何 微 小扰 动 ，将会 产生 多种 动力 学演 化可　 率 略增 高 ，电学 导纳上 升 （见 图 １３）．
结 论 是 ，由于原　
能． 这说 明， 原 设计 所 期 望建 立 的换 能杆 ／劈 刀反 向　 设 计 要求 负载端 位 于零 应 力点 ，紧 固应 力 引起 的应　
振动模 式 ＯＰＯ， 是 可行 但 不 稳 定 的动 力 学 设 计 ．加　 力波 速变化 虽有 限 ， 但 足 以引起 原 线 性 设计 模 态 相　
载后 一旦受 到微 小 干扰 ， 易于跳 变 为代表 换能 杆／劈　 当大 的畸变 ．即使将 紧 固方式 由侧 向改为 轴 向 ， 当安　
刀 同向振 动模式 ＩＰＯ． 类似 于耦 合摆行 为 ， 实 际机 械　 装 键合 工具 后投 入 工 作 时 ，换 能 系统 负 载端 仍 将 出　
能可 能 以拍 频 形式从 一个 模态 到 另一个模 态之 间来　 现严 重 的上 下应 力振 荡 ，
并导致 动 力加载 不稳 ．
　
回“流 动”，相邻 ＩＰｏ 和 ＯＰＯ 模 态受 扰 形 成 的 随机　
切换 ，将导 致键 合过 程失 稳 ．
　

动　

０　 振 动　
￡　
厶 　

． 曼　
。０　

吕　 图１
２ 换 能 系统 负 载 端 的 实 际 振 动　
Ｆｉ
ｇ．１２
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ｕａｌ
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ｉｏｎ　ｍｏｄｅｓ
　ａｔ
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　ｌｏａｄｉ
ｎｇ　
ｅｎｄ　ｏｆ
　

ｔｈｅ　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　

换 能 系统 动力学 非 线 性 来 源 为 ：（１）加载 电压 、 　
环境 温度 、 材料 阻尼 对 系统 的影 响 ；（２）超 谐 与亚 谐　
图 １１ 金 丝 键 合 机 劈刀 对 换 能 系统 电 学 导 纳 的 效 应　 激励 ；（３）ＰＺＴ 器 件 非 线 性 及 使 用 中 的 横 向振 动 ；
　
Ｆｉ
ｇ．１１
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ｔｔａｎｃｅ
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　Ａ ｕ　ｗ ｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　 （
４）键 合工 具及 其 紧 固应 力 ．注 意 ， 除 了来 源 （１）外 ，
　
ｔｒ
ａｎｓ
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ｗｉｔ
ｈ　ａｎｄ　ｗｉ
ｔｈｏｕｔ
　ｔｈｅ　ｔ
ｏｏｌ
　
均无 法用 仅考 虑换 能杆 的轴 向振 动和仅考 虑换 能杆　
轴 向谐振 频率 漂移 的锁 相 环 加 以补 偿 ．局 限 在线 性　
工业 封 装 实践 中发 现 ，
实 际换 能 系统 在 谐激 励　 范 围 内考 虑 ，
才 无 法解 释 用 于细 节距 键 合 时 的工 艺　
下， 确 实产 生 主共振 以外 的非 轴 向寄生振 动 ．寄生振　 不稳 定性 ． 我们 系统 实验 研究 的数 据说 明 ， 键 合工具　
动使 键合 点扩 大 ，自然不 利 于细节 距键合 ． 我 们使 用　 是直 接作 用 于键合 界 面 的子 系 统 ，是 理解 换 能系 统　
ＰｓＶ．４００．
Ｍ２多普 勒 测 速 仪 ，研 究 了铝 线 键 合 机 换　 动 力学 特性 的关键 ． 键合 工具 与本 体 的动力 耦合 ， 导　
能 系统 在 不 同加 载 电压 下 负 载 端 的稳 态 响 应 （图　 致 了拟 共振 区域 的 细微 结 构 和 多 模态 ；空 载 功率 高　
１２）．实 验表 明 ，
无论 空 载和 实际加 载条 件下 ， 系统 负　 于 负载 功率 现象 ， 反映 的是 键合 工具 运动 的受 阻 ； 键　
载端 俯仰 振 动相 当可观 ．加上 键合 工具后 ，俯 仰振 动　 合 工具 的安装 和 紧 固方 式 ， 是 换 能 系统 最 主 要 的动　
增 加数 倍 ，
上 升至 轴 向振动 振速 的同量 级 ，
远大 于侧　 力学非 线性 的来 源 ． 　
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第 １１期　 韩 雷等 ：
　 热 超 声 倒 装 键 合 过 程 中 的 非线 性 动力 学 行 为　
∽ｕＪ
／０ｐｎｌ
！＃筹 乏　

而且 ， 滑 移／粘滞 现象 也 主导着 其后 的键 合形 成　
过程 ． 非线 性方 程难 以解 析求 解 时 ， 常用 数值 方法定　
性描 绘其 系统 行 为 的相 轨 道 （ｐｈａｓ ｅ　ｐｏｒｔ
ｒａｉ
ｔ），实 测　
速度 经积 分后 获得 位 移 ， 亦 可 获 得 一段 时 间 内的 相　
轨线 图． 较 高 键合 强度 对 应 的倒装 键 合芯 片相 轨线　
图比较规 则 ， 芯 片在 过 中点 后 接 近 两端 时运 动 受 阻　
而 减 速 ，如 图 １５所 示 ．大 量 实 验 证 实 ，这 一 动 态 行　
为， 是热 超声 倒装键 合 工艺过 程 中的特 征现 象 ． 　

图 １３ 铝 线 键 合 机 换能 系统 紧 固 螺栓 松 紧 程 度 不 同 对 应 的 幅　
．

频 曲线　
Ｆｉ
ｇ．１３　 Ａｍ ｐｌ
ｉｔｕｄｅ・
ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　ｃｈａｒａｃｔ
ｅｒｉ
ｓｔｉ
ｃｓ　ｏｆ
　Ａ １
　

ｂｏｎｄｅｒ　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　

显然 ，在此 基础 上 ，
对 键 合工 具动力 学非 线性 开　
展深 入研 究 ，
是 探索 键合 机理 与可 靠性 的重 要环节 ．　

５ 加 载 边 界 条 件 以及 滑 移 ／粘 滞 现 象　
图 １５ 较 佳 倒 装 键 合 过 程 中 芯 片 的早 期 （
９ｍｓ
）相 轨 线 图　
Ｆｉ
ｇ．１５　 Ｒｅｇｕｌ
ａｒ “ｓｔ
ｉｃｋ・
ｃｈｏｋｅ” ｍｏｖｅｍｅｎｔ
　ｏｆ
　ｄｉ
ｅ　ａｔ
　
对 于热 超声倒 装键 合 ， 存在 键合 工具 底端 ／芯 片　
９ｍｓ（ｇｏｏｄ　
ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　ｑｕａｌ
ｉｔｙ）
　
与 金 凸点 （ｂｕｍｐ）／镀银 焊 盘 （
ｐａｄ）两个 界 面 ．高精 度　
测 试其 相对 运动 的困 难 ，是 倒 装键 合 机 理 实 验研 究　
由于换能 系统 在轴 向／俯仰 组 合模态 下工作 ， 实　
的最 重要 障碍　
际键 合界 面 高频压 剪 超声 载荷 呈 “交 替 挤 压 ”模 式 ，
　
将 多普 勒测 速仪 的探 测激 光束 聚焦 至键 合工 具　
底端 侧 面 和 倒 装 键 合 芯 片 ０．２５ｍｍ ×ｌｍｍ 尺 寸 倒　 见 图 １６所示 的数值 仿真 ． 实 验观 察到存 在使金 属表　
装键 合 芯 片的侧 面 ， 观 察到 如 图 １４所示 的超声 启动　 层 氧化 膜破裂 的应力 极 小 值 ， 低 于 此值 则 无 位 错运　
数 ｍｓ即发 生 的“失 速”现 象 ， 证 实 ２５￣
ｔｍ 金 凸点与 镀　 动和键 合强 度生 成 ， 表 现为低 功率 输入 时 的欠 键合 ； 　
银 焊盘 之 间已开 始产生 键 合 强度 ［ １
　． 进 一 步 分析 得　 压剪应 力 足够但 该模式 遭 到扰动 从而 破坏键 合点 的　
知， 芯 片速 度 ３倍 频 分量 的 出现 ， 是 “速 度分离 ”即凸　 逐层 传播 ，就 会 表 现 为 过 键 合 （ｏｖｅｒ
　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ）等 键　
点／焊 盘界 面 由滑 动 转为 粘着 状态 ， 这可 以作 为键合　 合质 量 下降现象 ．
　
过程 表层 去除 和键 合强 度生 成 的重要 实验判 据 ． 　

鲁　
ｇ　

三　
８。　
ｔ
－　
Ｌ　

图 １６ 倒 装 键 合 过 程 中 凸点 与焊 盘 动 态 应 力 分 布 的 数值 模 拟　
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ｇ．１６　 ＦＥ　
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ｃ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　
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：　
０　

已有 学 者注意 到键 合工 具缓 冲垫 可使键合 质量　

提高． 确 实 ，在倒装 键 合 实 验 中发 现 ，
较 低 键 合 质量　
图１
４ 倒装键合过程键合ＩＪ
￣－（
ａ）和 芯 片 （
ｂ）的 失 速 现象　
对 应 的倒 装 键合 芯 片相 轨 线 图多 不规 则 ，如 出现 早　
Ｆｉ
ｇ．１４　 Ａｂｒ
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ｏｃｉ
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ｃｈａｎｇｅ　
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ｐ　ｂｏｎｄｉ
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ｏｆ　
ｏ ｎｄｉ
ｂ ｎｇ　
ｔｏｏｌ（ａ）ａｎｄ　
ｄｉｅ （ｂ）
　
期 滑滞 或滑 逆 ，
如 图 １７所 示 ．
　
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２０６２　 半 导 体 学 报　 第 ２７卷　

６　 结 语　

研究 说 明 ，
ＰＺＴ换 能系 统在 热 超 声倒 装 键 合工　
艺过程 中的非线 性 动 力学 行 为 ， 是 深 入 研 究 键 合机　
理， 突 破现 有封装 设 备工 艺水平 的重 要关 键之 一 ．由　
键 合工 具对 界 面“交 替挤 压”使 键合 金属 逐层互 相扩　
散， 是 热超 声键 合加 载 的 主要 动 力学 模 式 ．由此 ， 键　
合必 然从 边界 处开 始 生 成 ， 且 最 后 生成 具 有 一 定厚　
度 的互相 扩散 区 ． 　
图１
７ 较差 倒 装 键 合 过 程 中芯 片 的 早 期 （９ｍｓ
）相 轨 线 图　 换 能 系统 非 线性 动 力 学行 为 的 产生 ，主要 通 过　
Ｆｉ
ｇ．１７　 Ｒ ｅｔ
ｒｏ－
ｓｌｉ
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　ａｔ
　９ｍ ｓ （ｐｏｏｒ
　
其键 合界 面 动力学 作 用 、 子 系 统 内部 阻尼 、应 力状　
ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　
ｑｕａｌ
ｉｔｙ）
　
态 和子 系统结 构之 间 的动 态耦 合 产生 ． 作 为 复 杂 系　
统 的热超 声 系统 ，生成 了金属 间 的键合 强度 ； 但 作 为　
这用 简 单 纯 剪模 式 不 能解 释 ，只有 考虑 实 际换　 非 线性 系统 ， 又表 现 出较 强 的初 值 敏感 性 和 不 确定　
能 系统对 键合 点形 成 的多频 复合 压剪模 式才 能进 一　 性 ．动力 学演 化 的控 制 ，宏微 相互 作用 的量级 和 出现　
［ 　

步 分析 ． 系统 的模 态 具有 适 当 的耦 合 关 系会 产 生 多　 时刻 ， 可望 由系统 非线 性动 力 学现 象 的时． 频 监测 得　 １　
］ 　

重 共振 ， 将使 模态 之 间发生 能量 交换 ， 出现 代表调 幅　 到．
　
与调相 运动 的“拍 ”现 象 ． 　 微 电子 制造 业 关 注 的互 连工 艺 问题 ，实 际 与换　
若 从金 属变 形 的微观 理论来 理解 键合 金属 的塑　 能系 统非线 性工 作机 理有关 ．这一研 究 ， 还 将 同时为　
性 变形 ， 塑性 变形 总会 伴 随有滑 移带 的 出现 ． 压 剪模　 复杂 系统 动力学 、 非 线性 系统分 岔 与混沌 动力学 、 时　
式 超 声加 载下 ， 剪切使 得 滑移发 生 ， 从 而裸 露新 鲜原　 滞 非 线性 系统／变结 构 系统 动 力学 以及 微 机 电 系统　
子； 微 秒级 瞬态 过程 中 ，随之施 加 的压力使 得裸 露原　 动力 学 的探 索 和完 善 各 种先 进 实 验 手段 ，促进 近代　
子间距 离接 近 ，
形 成键 合 ．键合 区域 边界 处剪切 应力　 科 学 在高科 技领 域 和工程 实际 中的进一 步应用 打下　
最大 ，因此 键合 从边 界 处 开 始 ，
形 成 环 状结 构 ；
压 剪　 基础 ．
　
应力 的递 减 ，使 得键 合逐 层形 成 ．匹配不 佳 的动态 压　
剪应 力 ，
会 造 成键合 质量 的下 降 ．　 致 谢 王福亮 、 周 宏 权 、许 文 虎 、隆 志 力 和李 军 辉 等　
以上 认识 ， 不仅 可 以解 释 已有 的实 验现 象 ，还 为　 同志进行 的大量 实验 研 究 和 数值 仿 真 ， 是 建 立 本 文　
热 超声倒 装键 合工 艺 的优化 和倒 装键合 过 程能量 传　 认 识 的基 础 ．与 国 际微 电 子 设 备 制 造 商 ＡＳＭ 公 司　
递／耦合链 （ 见 图 １８）的监控 提 供 了新 的思路 ．　 首 席技术 官 Ｐｅｔ ｅｒ
　Ｌｉ
ｕ博 士 等 ＡＳＭ 公 司 研 发 部 专　
家 就热 超声 倒装 键合 工 艺 进 行 了 多 次深 入 研讨 ，在　
此 一并 致谢 ．　

参考 文献　

Ｋａｎｇ　Ｓ　Ｙ ，Ｗ ｉ
ｌｌｉａｍｓ
　Ｐ　Ｍ ，Ｌｅｅ　Ｙ　Ｃ．Ｍ ｏｄｅｌ
ｉｎｇ　ａｎｄ　ｅｘｐｅｒｉ
ｍｅｎ—
　
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ｃ　ｆｌ
ｉｐ－ｃｈｉｐ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ．ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓ　
Ｃｏｍｐｏｎ，Ｐａｃｋａｇ，Ｍ ａｎｕｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌ
　Ｂ，１９９５，１８（４）：７２８　

Ｏｒ　Ｓ　Ｗ ，Ｃｈａｎ　Ｈ　Ｌ　Ｗ ，Ｙｕｅｎ　Ｃ　Ｗ ．Ｄｙｎａｍ ｉ

ｃｓ　ｏｆ　
ａｎ　ｕｌ
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ｃ　
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ｒａｎｓｄｕｃｅｒ
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ｔｒａｓｏｎｉ
ｃｓ，
　
Ｆｅｒｒｏｅｌ
ｅｃｔ
ｒｉｃｓ，ａｎｄ　Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　Ｃｏｎｔ
ｒｏｌ，１９９８，４５（６）：１４５３　
Ｔａｎ　Ｑ ，Ｓｃｈａｉ
ｂｌｅ　Ｂ，Ｂｏｎｄ　Ｌ　Ｊ．Ｔｈｅｒｍｏｓ
ｏ ｎｉ
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ＥＥＥ　Ｔｒａｎｓ
　Ｃｏｍ ｐｏｎ，
　
Ｐａｃｋａｇ，Ｍ ａｎｕｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌ
　Ｂ，１９９８，２１（１）ｔ５３　
Ｓａｔ
ｔｅｌ
　Ｔ．Ｂｒｏｋｅｌｍａｎｎ　Ｍ ．Ａ　
ｓｉｍｐｌ
ｅ　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　ｍｏ
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ｏｎ—　
ｇｉ
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ｔｒａｓｏｎｉｃｓ　Ｓｙｍ ｐｏｓｉ
ｕｍ ，
　

２００２：６９５　

图 １８ 热 超 声 键 合 过程 中 的能 量 传 递 与 耦 合　 Ｔｓ
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ＣＳ，２００２，４０（２）：３６２　
Ｚｈｏｎｇ　Ｚ　Ｗ ，Ｇｏｈ　Ｋ　Ｓ．Ｉｎｖｅｓｔｉ
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第 １１期　 韩　 雷 等 ：
　 热 超 声 倒 装 键 合 过 程 中 的 非线 性 动 力学 行 为　 ２Ｏ６３
　

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ｎｅｓ
ｅ）［周 宏 权 ．热 超 声 键 合 机　
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ｏｎｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｃｈｉ
ｎａ　Ｗ ｅｌ
ｄｉｎｇ　Ｉｎｓｔ
ｉｔｕｔｉ
ｏｎ，２００５，２６（８）：２３（ｉ
ｎ　 功 放 与 换 能 系统 电学 特 性 的实 验 研 究 ．中 南 大 学 硕 士 学 位 论　
Ｃｈｉ
ｎｅｓｅ）［隆志力 ， 韩雷 ，吴运新 ，等．热超 声键合 过程 的温度　 文， ２００６３　
因素 影 响 规 律 研 究 ．
焊接学报 ， ２００５，２６（８）：２３］
　 ［１１３
　 Ｗ ａｎｇ　Ｆｕｌｉａｎｇ， Ｈａｎ　Ｌｅｉ， Ｚｈｏｎｇ　Ｊｕｅ． Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　
［８］
　 Ｚｈｏｕ　
Ｈｏｎｇｑｕａｎ，Ｈａｎ　Ｌｅｉ
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ｃ　ｂｏｎｄｉ
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ｎｇ　ａｎｄ　Ｆａｉｌ
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ｓ，２００５：３３　

ＣＰＭ Ｔ　
Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　Ｈｉ
ｇｈ　Ｄｅｎｓｉ
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ｃｒｏｓｙｓｔｅｍ　Ｄｅｓｉ
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ｎｇ，２００５，１８（４）：５１５　
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虎．基 于激 光 Ｄｏｐｐｌｅｒ测 试 超 声 换 能 系统 动态 特 性 研 究 ，中南　 ａｂ，２００６，４６：６１０　

大学硕士学位论文 ， ２００６］
　

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Ｓｙｓ
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ｉｃ　
ｅｘｐｅｒ
ｉｍ ｅｎｔ
ａｌ　ａｎａｌ
ｙｓｉ
ｓ　ｃｌ
ｅａｒｌ
ｙ　ｓｈｏｗｓ
　ｔｈａｔ
　ｒｉ
ｃｈ　
ｐｈｅｎｏｍ ｅｎａ
　ａｎｄ　
ｅｆｆｅｃｔ
ｓ　ｓｕｃｈ　
ａ
ｓ　ａ　
Ｄｕｆｆ
ｉｎｇ
　ｒｅｓ
ｏｎａｔ
ｏｒ，
ｄｙｎａｍｉ
ｃａｌ
　ｃｏｕｐｌ
ｉｎｇ　
ｂｅｔ
ｗｅｅｎ　
ｔｈｅ　
ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ａｎｄ　
ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　
ｔｏｏｌ，
ａｎｄ　
ｓｔｒ
ａｎｇｅ　
ｐｈａｓｅ
　ｐｏｒ
ｔｒａｉ
ｔｓ　
ｏｆ　
ｄｉｅ　
ｍｏｖｅ－
　
ｒ
ｎｅｎｔ
　ｍ ａｙ　ｂｅ　
ｅｘｐｌ
ａｉｎｅｄ　ｂｙ
　ｔｈｅ　
ｎｏｎｌ
ｉｎｅａｒ
　ｆｅａｔ
ｕｒｅｓ
　ｏｆ
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ｒｅａｌ
　ｗ ｏｒｌ
ｄ　ｔ
ｒａｎｓｄｕｃｅｒ
　ｓｙｓ
ｔｅｍ ．Ｉ
ｔ　ｉ
ｓ　ｐｏｓ
ｓｉｂｌ
ｅ　ｔ
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ｏｒｅ　
ｔｈｅｉ
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ａｎｄ　
ｅｆｆ
ｅｃｔ
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ｎｇ　
ｑｕａｌ
ｉｔｙ
　ｂｙ　ｉ
ｄｅｎｔ
ｉｆｙｉ
ｎｇ　ａｎｄ　ｄｅｃｏｄｉ
ｎｇ　
ｔｈｅｍ 　ｆ
ｒｏｍ 　
ｅｘｐｅｒｉ
ｍ ｅｎｔａｌ
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Ｋｅｙ　
ｗｏｒ
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ｎｇ； ＰＺＴ　
ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ
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ｉｎｅａｒ
　ｄｙｎａｍ ｉ
ｃｓ， ｆｌ
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ｃｈｉ
ｐ　ｄｉ
ｅ； ｉ
ｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉ
ｏｎ　
ｐａｃｋａｇｉ
ｎｇ　

ＥＥＡＣＣ ： ２８６０； ７３１０； ７８１０Ｃ　

Ａｒ
ｔｉｃｌ
ｅ　Ｉ
Ｄ： ０２５３—
４１７７（２００６）１１—
２０５６—
０８　

＊Ｐｒｏ
ｊｅｃ
ｔ　ｓ
ｕｐｐｏｒ
ｔｅｄ
　ｂｙ
　ｔｈｅ
　Ｎａ
ｔｉｏｎａｌ
　Ｎａｔ
ｕｒａｌ
　Ｓｃ
ｉｅｎｃｅ
　Ｆｏｕｎｄａｔ
ｉｏｎ　
ｏｆ　
Ｃｈｉ
ｎａ（ 　５０５７５２３０，５０４２９５０１，５０３９００６４）ａｎｄ　ｔｈｅ　Ｓｔ
Ｎｏｓ ａｔｅ　Ｋｅｙ　Ｄｅｖｅｌ
ｏｐ　

ｍｅｎｔ
　Ｐｒｏｇｒａｍ　ｆｏｒ
　Ｂａｓｉ
ｃ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｏｆ　Ｃｈｉ
ｎａ（Ｎｏ，２００３ＣＢ７１６２０２）　

十Ｃｏｒ
ｒｅｓ
ｐｏｎｄｉ
ｎｇ　
ａｕｔ
ｈｏｒ，
Ｅｍａｉ
ｌ：ｌ
ｅｉｈａｎｘｙｚ＠ ｙａｈｏｏ．
ｃｏｍ．
ｃｎ　
Ｒｅｃｅｉ
ｖｅｄ　２２　Ｍ ａｒｃｈ　２００６，ｒｅｖｉｓｅｄ　ｍ ａｎｕｓ
ｃｒｉｐｔ
　ｒｅｃｅｉ
ｖｅｄ　３１　Ｍ ａｙ　
２００６　 ⑥２００６　
Ｃｈｉ
ｎｅｓ
ｅ　Ｉ
ｎｓｔ
ｉｔｕｔ
ｅ　ｏｆ
　Ｅｌ
ｅｃｔ
ｒｏｎｉ
ｃｓ