Mantenimiento Mantenimiento Mantenimiento

Cada 24 h Cada 24 h Cada 24 h

TM ~ UNIF(15, 30) min TM ~ UNIF(15, 30) min TM ~ UNIF(15, 30) min
Waffer
Cada vez que hay un
Banda Banda
soporte AK disponible transportadora transportadora
Infinitas Montaje Waffer sobre Proceso CLEANING Velocidad: 4m/min Velocidad: 4m/min
Proceso OXIDATION Distancia: 10 m
Proceso LITHOGRAPHY
Soporte AK 1 Máquina Distancia: 10 m
1 Máquina 1 Máquina
1 Operario TS ~ NORM(10, 1.49)
Soporte AK TS ~ UNIF(5, 12) min TS ~ ERLA(6, 2) min
TS = 1 minuto min
12 partes a la vez, una FIFO FIFO
FIFO FIFO
única vez.
Disponibilidad: 12 Banda
transportadora
soportes Velocidad: 4m/min
Mantenimiento Mantenimiento Distancia: 10 m
Cada 24 h Cada 24 h
TM ~ UNIF(15, 30) min TM ~ UNIF(15, 30) min

Banda Banda
Transporte de transportadora transportadora
soporte Proceso PHOTORESIST Velocidad: 4m/min Proceso ION Velocidad: 4m/min Proceso ETCHING
Banda STRIP Distancia: 10 m IMPLANTATION Distancia: 10 m
transportadora 1 Máquina
1 Máquina 1 Máquina
Velocidad: 4m/min TS ~ EMPIRICA
Distancia: 20 m TS ~ UNIF(2, 7) min TS ~ NORM(5, 1) min
FIFO
FIFO FIFO

Mantenimiento
Transporte Waffer
1 Operario
Cada 24 h
Separación Waffer de Velocidad: 20m/min TM ~ UNIF(15, 30) min
Soporte AK Distancia: 40 m
BODEGA
1 Operario
Capacidad: 5000 Waffer
TS ~ Despreciable
FIFO Transferencia Operario
1 Operario
Velocidad: 40m/min
Distancia: 40 m