Le vanadium est l’atome n°23 du tableau de Mendeleïev, c’est un métal de transition qui peut avoir

plusieurs formes selon sa température. Plusieurs méthodes de fabrication permettent d’obtenir de

l’oxyde de vanadium (VxOy) en couches minces. En effet, le dioxyde de vanadium(VO2) est en ce
moment très étudié sous cette forme.
Evaporation réactive : Dans une enceinte sous vide, le vanadium est évaporé grâce à un faisceau
d’électrons avec de l’oxygène pour former le VO2 sur un substrat sous une température comprise entre
300 à 500 C. [1] Par contre, les couches minces obtenues par cette méthode sont de faible densité et
les chercheurs ont des difficultés pour contrôler sa forme amorphe
Dépôt par ablation laser : Dans une enceinte sous vide ou un gaz, une impulsion laser est focalisée sur
le vanadium. Les éléments de la cible vaporisés se condensent sur le substrat et forment la couche
mince En effectuant des dépôts à 200˚C avec du V2O3, on obtient des couches amorphes en absence
d’oxygène et des couches cristallisées en présence d’oxygène. Pour un substrat chauffé à 500°C, on a
des films minces de 100-600 nm d’épaisseur sous phase cristalline. [2]
Pulvérisation cathodique : À l’intérieur de la chambre sont disposées deux électrodes planes. Le
vanadium est placé sur la cathode et est soumise à une tension Le substrat est fixé sur l’anode. Des
ions sont envoyés sur la cible qu’ils pulvérisent puis les atomes libérés se diffusent et se condensent
pour former la couche mince. Les couches minces de V2O5 obtenues sont amorphes en température
ambiante [3] et sont sous forme cristallisée quand le substrat est chauffé à plus de 200°C. [4] Les
épaisseurs sont de 170-185 nm. [5]
Dépôt chimique par phase vapeur (CVD) : Il consiste à mettre en présence d’un composé volatil du
matériau à déposer soit un autre gaz à proximité de la surface du substrat soit la surface elle-même. Le
composé vient alors réagir avec l’un ou l’autre pour former un produit solide qui constitue le dépôt à la
surface du substrat. Par exemple, on obtient des couches minces d’épaisseur de VO2 d’épaisseur
comprises entre 150 et 300 nm. A 150°C, la phase est amorphe et est cristallisée pour une température
comprise entre 200 et 500°C. [6]
Procédé sol gel : On utilise du V2O5 sous forme gélifiée qui sera mis en couche mince. Après les
étapes de séchage(80°C) et de polycristallisation (350°C). Le V2O5 est réduit en VO2 sous une
température de 500°C pendant 2h. Le film mince est sous forme cristallisée et d’épaisseur 100 nm. [7]
Sous forme de couches minces, le vanadium peut être utilisé dans plusieurs domaines. En effet, le VO2
est isolant en dessous de 65°C et est conducteur au-dessus de cette température. Il y a eu plusieurs
applications : un guide coplanaire micro-ondes, un commutateur électronique [8], une intégration dans
des batteries lithium [9], les microbolomètres [10] et les panneaux solaires [11].
Bibliographie :
1) Cheikhou.Bah, VO2 amorphe et polycristallin : Dépôt en couches minces, caractérisation et
application en optique-photonique. Thèse. Laval : Université de Laval, p. 27, (2017).

2) Aurelian Crunteanu-Stanescu, Conception et développement de dispositifs et matériaux

innovants pour la microélectronique et l’optique. HDR. Université de Limoges, p. 87, (2014).

3) H. K. Kim, T. Y. Seong et Y. S. Yoon, Journal of Vacuum Science and Technology, B, 21, p.

754, (2003)

4) Y. J. Park, K. S. Ryu, N. G. Park, Y. S. Hong et S. H. Chang, Journal of the Electrochemical

Society, 149, p. A597, (2002)

5) Suzanne Paradis, Étude du VO2 déposé par pulvérisation magnétron RF comme matériau
fonctionnel pour la commutation IR. RDDC Valcartier, p. 18, (2006)

6) Mark Allendorf, Claude Bernard, Chemical vapor deposition : proceedings of the fourteenth
international conference and EUROCVD-11, Vol. 97-25, p. 1494, (1997)

7) J. Livaje, Optical and electrical properties of vanadium oxide films deposited from alkoxides
in Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio Vol. 37, Nums 2-3 Marzo-Junio, p.
91, (1998)

8) Rafika Zaabi, Films minces intelligents à propriétés commandables pour des applications
électroniques et optiques avancées : dopage du dioxyde de vanadium. Thèse. Université de
Limoges.2015

9) Astrid Gies, Synthèse et caractérisation de couches minces de V2O5 dopé ou non pour une
utilisation dans des microbatteries au lithium. Thèse. Université Sciences et Technologies -
Bordeaux I, p. 29, (2005).

10) Catherine Cadieux, Microstructure et propriétés électriques de l’oxyde de vanadium pour les
microbolomètres. Mémoire. Université de Montréal, (2014)

11) Alan Corvisier, Élaboration par pulvérisation magnétron réactive d’une couche
thermochrome à base de dioxyde de vanadium. Application à la régulation passive de la
température de panneaux solaires. Thèse. Nancy. Université de Lorraine, (2014)