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FESEM
Funcionamiento similar al SEM
Amplia variedad de información similar al SEM
Mayor resolución(nitidez) (Magnificacion de
1000-20nm/la resolución es del orden de ~ 2 nm
a 1 keV y ~ 1 nm a 15 keV) y rango de energía
Proporciona haces de electrones de alta y baja
energía muy focalizados.
Utilización de detectores dentro de la lente.
Requiere mayores condiciones de vacio
Voltaje de aceleración 0.5-30kV
Fuente de electrones tungsteno y lantano
Estos tipos de emisores de electrones pueden
producir hasta 1000x la emisión de un filamento
de tungsteno.
utiliza como fuente de electrones un cañón de emisión de campo
que proporciona haces de electrones de alta y baja energía muy
focalizados, lo que mejora notablemente la resolución espacial
y permite trabajar a muy bajos potenciales, (0.02 - 5 kV); esto
ayuda a minimizar el efecto de carga en especímenes no
conductores y a evitar daños en muestras sensibles al haz
electrónico.
utilización de detectores dentro de la lente, (in lens).Estos
detectores están optimizados para trabajar a alta resolución y
muy bajo potencial de aceleración, por lo que son
fundamentales para obtener el máximo rendimiento al equipo.
Detector de electrones secundarios SE2: muestra con una
gran profundidad de campo. navegar por la muestra a bajos
aumentos buscando puntos de interés y para estudiar muestras
con mucha información topográfica.
Detector de electrones secundarios in lens: trabaja con
electrones secundarios de baja energía y ofrece las imágenes de
mayor resolución. Es muy sensible a las características
superficiales de la muestra, por lo que es muy adecuado para la
caracterización superficial de cualquier material