---MEMS---

son una tecnolog�a que, en su forma m�s general puede ser definida como
elementos mec�nicos y electro-mec�nicos (por ejemplo dispositivos o estructuras)
miniaturizados que se realizan con t�cnicas de micro-fabricaci�n.
-sensor inercial: aceler�metros(
-giroscopios
-microfluidos
-microfonos,laptop,celulares
-sistemas de radio frecuencia
-sensor de presion
-microdisplays
los mems van de 1um a 1mm
....ventajas....
-producir dispositivos mec�nicos m�s
peque�os con consumo minimo de energia
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se necesitan conocimientos de las propiedades fisicas de materiales
tecnicas de micromaquinado
lo mas importante son los procesos cmos ya que permite integrar sensores,
transductores,procesamiento de se�ales, todo en el mismo integrado
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