Physique Et Technologie Du Vide

2.
Physique et technologie du vide
2.1 Notions de base

2.1.1. Introduction et remarques historiques
2.1.2. Théorie cinétique des gaz
2.1.3 Pression
2.2 Écoulement de gaz

2.2.1 Flux de gaz
2.2.2 Conductance
- Régimes moléculaire
- Régimes visqueux et transitoire
2.2.3 Vitesse de pompage
2.3 Systèmes à vide

2.3.1 Construction des systèmes à vide (poussé, ultra-poussé)
2.3.2 Pompage - principes, pompes primaires et secondaires,
transport/collage des molécules
2.3.3 Mesure de la pression - principes, mesures directes et indirectes
2.3.3 Composants de systèmes à vide - joints, transitions, matériaux
2.3.4 Considérations industrielles
Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 1

2. Physique et technologie du vide
2.1 Notions de base

2.1.1 Introduction et remarques historiques

Système à vide



Expérience de Magdeburg

2.1.2. Théorie cinétique des gaz (rappel)

A: Gaz parfait
Loi de Boyle: PV = const. = RoT
( ) RT
Loi générale pour les gaz
PV = W
W = masse
M o
M = masse moléculaire
Nombre de molécules par unité de volume

N
Ro  T ( )
n =  A  P = 9, 656 x 1018 P
T ( )
NA = 6,023 x 1023 molécules par mole – nombre d’Avogadro
Ln = 2,687 x 1019 molécules par cm3 – nombre de Loschmidt


B: Gaz réel

Équation pour des gaz réels – Van der Waals
P + A
 ( )
 (V − b ) = R T
V 
2 o
A − correction pour des forces d'attraction

V2
( 3 ) (πξ ) − correction volumique
3
b = 4N A 4
8
ξ – diamètre de la molécule




C: Vitesse des molécules

Approximation des gaz idéaux:
• pas de forces entre les molécules
• sphères élastiques indépendants
• distance – large p.r. à la taille
• collisions élastiques continues
• échange d’énergie cinétique
Maxwell-Boltzmann: (2-1)
n nombre de molécules par unité de volume

(v, v + dv) intervalle de vitesse…fraction fv des molécules
M masse moléculaire
T température absolue

Vitesse dans une direction :
Vitesse la plus probable – vm:

Vitesse moyenne – v:
Vitesse moyenne quadratique – (v2)
Exemple: Air, T = 300K, v = 4.6 x 104 cm/s

Effet de M et T

Distribution des vitesses des molécules (exemples pour N2 et He)

2.1.3 Pression
2.1.3.1 Notions de base
(2-4)
P = n M v2 / 3 NA = n R T / NA = nkT
NA – nombre d’Avogadro
Unités: 1 Pa = 1 N/m2
1 torr = 1 mm Hg
1 atm = 760 torr
Relations: 1 atm = 1,013 x 106 dynes/cm2 = 1,013 x 105 Pa
1 torr = 1,333 x 103 dynes/cm2 = 133,3 Pa
1 bar = 0,987 atm = 750 torr
Parcours libre moyen – λ
πdc2λn = 1 λ = 1 / π dc2 n
Exemple - air: P= 1 atm, dc = 0,5 nm, λ = 50 nm, ou λ = 0,005 / P [torr]

Effet de la température sur le parcours moyen libre
Équation de Sutherland
λ= 1
 2 π nξ 2 1 + C 
 T ( )
λT = λ∞ / 1 + C 
 T
C – Constante de Sutherland
λT − parcours libre à T
λ∞ − parcours libre à T → ∞
ξ - diamètre de la molécule

Relation entre les paramètres

2.1.3.2 Exemples spéciaux
A: Gamme des pressions

dans difféerents types
d’application


B: L’air et la pression dans l’atmosphère


C: Taux d’impact des molécules sur la surface

∅ - nombre de molécules qui frappent un élément de surface par unité de temps
∞
Φ = ∫ vx dn x
0
∞
M  Mv 2x  RT
Φ=n
2 Π RT ∫0 x  2RT  x
v exp − dv = n
2π M
1
Φ= nv
4
Φ P
= moles/cm2 − s 
NA ( 2 Π MRT) 2
1
P[ torr]
Φ = 3,513 x 10 22
molécules/cm2 − s
(MT)
1
2

Exemples
1. Passage à travers d’une ouverture A (cm3):
? taux de départ: ΦΑ
? flux volumique par seconde
dV/dt = Φ A/n = 3,64 x 103 (T/M)1/2 A [cm3/s]
Exemple: Air, 300K, A [cm2], dV/dt = 11,7 A [l/s]
2. Couches de contamination
Formation d’une monocouche de contamination ( ~ 1015 at./cm2)
Temps de contamination caractéristique:
Exposition d’une surface au collage (probabilité = 1):

1 L (Langmuir) = 10-6 torr–s ~ 0,38 monocouche
Air, T=20 degC, 1 atm.....monocouche dans 3,5x10-9 s



2.2 Écoulement des gaz

2.2.1 Régimes d’écoulement

Nombre de Knudsen: Nombre de Reynolds:

Kn = λ / D
Re = ρν D
η
(D – diamètre du tuyau, η - viscosité)
Kn
<0,01
0,01<Kn<1
>1

2.2.2 Écoulement et conductance dans le régime moléculaire
Taux d’écoulement: Q = C ( P1 − P2 ) [ton − l / s ]

C – conductance
Débit net dans le plan d’un orifice: (φ1 − φ2 ) A [l / s ]

C = 3, 66 (T / M ) 2 A
1
Conductance d’un orifice:
Pour l’air à 300K: C = 11,7 A [l / s ]
Systèmes des conductances:
∑c
1 1
En série: ctot = i
En parallèle:
ctot
= ∑c
i
Analogie avec les circuits électriques


Conductance de différents
systèmes dans le régime
moléculaire

Exemple 1:
Jeu de piège froid
(D = 10 cm)
C1 = 919 l / s
C2 = 4065 l / s = C5
C3 = 331 l / s
C4 = 58, 6 l / s
C6 = 303 l / s
Ctot = 40 l / s

Exemple 2:
Écoulement à travers un coude (régime moléculaire)
C = 3,81(T / M ) D3 / [ L1 + L2 + 1.33 D ]
1
2
Correspondance à un tuyaux de longueur équivalente:

( L1 + L2 ) < Le < ( L1 + L2 + 1.33D )

2.2.2 Écoulement et conductance

dans le régime visqueux

1
0,998  mkT  2
Viscosité des gaz η = 2   (Éq. 2.71, Roth)
πξ  π 
[1 poise = 1 gcm-1s-1]
1
avec la correction de Sutherland 0,998  mkT  2
2  
η= πξ  π 
(1 Pa-s = 1 kgm-1s-1 = 10 poise)
 c
 1 + 
 T
Nombre de Reynolds Re = ρν D
η


Conductance d’un orifice:
C=
Conductance et débit d’un

Q = π a 4 /16η L  ( P12 − P22 )
tuyau cylindrique:
= π a 4 / 8η L  P ( P1 − P2 )
C = Q / ( P1 − P2 ) = 3, 27x10-2  D 4 / η L  P
D = 2a [ cm] , P [ten ] , η [ poise] , C [l / S ]

C Aiz ,20 ° C = 182 ( D 4 / L ) P


2.2.3 Écoulement dans le régime transitoire - moléculaire/visqueux
Équation générale pour le flux
Cm = conductance dans le régime moléculaire
Cm = [ 2π RoT / M ] 2 ( D 3 / L )
1 1
6
Cv = conductance dans le régime visqueux
π D4
Cv = P
128η L
Équation de Knudsen:
C = Cm J , où
1+ ( M / RoT ) 2 DP / η
1
Cv
J = +
Cm 1 + 1, 24 ( M / R T ) 1 2 DP / η
o

Au point i:
Cv / Cm =  6π / (128η )  [ M / 2π RoT ] 2 DPi = 1

1
= 116 ( T / M ) 2 η
1
PD
i torr − em
D / λi = 13,5
Exemple: Air, T = 20oC
1 + 271DP + 4790 ( DP )
2
J =
1 + 316 DP
−3
PD
i = 13,5 x 5 x 10 = 6,7 x 10 2
torr − em


2.2.3 Vitesse de pompage

A: Calcul de la vitesse de pompage

Vitesse de pompage S: volume de gaz qui passe à travers de l’entrée par unité de temps à la
pression P (au niveau de la pompe):
S = Q/P [l / S ]
Sp
Q… débit «sortant» du système S=
P, S… quantité au niveau de l’entrée Sp
1+
C
Sp… vitesse de pompage intrinsèque de la «pompe », Sp = Q/Pp

Qp… débit parasite (dégazage, flux inverse…)
 Qp 
Q = S p P − Q p = S p P 1 − 
 S p 
P 
Q = 0… taux de flux ultime implique P0 (pression ultime)
Q p = S p Po
 P 
Vitesse effective: S = Q / p = S p 1 − o  (S → 0 pour P → Po )
 P
B: Système sans et avec le flux parasite


C: Les sources de flux parasite



D: Vitesse de pompage effective

E: Temps de pompage
d (VP ) dP
Q=− = −V
dt dt
dP ( t )
−V = S p P − Qp
dt
Pi – la pression initiale, P0 – la pression ultime
P ( t ) − Qp / S p P ( t ) − Po  S pt 
= = exp  − 
Pi − Qp / S p Pi − Po  V 
t = (V/S) log (P0/P)



F: Conception des systèmes à vide


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Physique et technologie du vide

2.1 Notions de base

2.2 Écoulement de gaz

2.3 Systèmes à vide

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 1

2.1 Notions de base

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 2

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 3

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 4

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 5

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 6

2.1.2. Théorie cinétique des gaz (rappel)

Nombre de molécules par unité de volume

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 7

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 8

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 9

Équation pour des gaz réels – Van der Waals

A − correction pour des forces d'attraction

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 10

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 11

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 12

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 13

C: Vitesse des molécules

n nombre de molécules par unité de volume

Hiver 2006 École Polytechnique, PHS4312 – Couches minces 14

Vitesse dans une direction :

Vitesse la plus probable – vm:

Exemple: Air, T = 300K, v = 4.6 x 104 cm/s

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Distribution des vitesses des molécules (exemples pour N2 et He)

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Exemple - air: P= 1 atm, dc = 0,5 nm, λ = 50 nm, ou λ = 0,005 / P [torr]

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Effet de la température sur le parcours moyen libre

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Relation entre les paramètres

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2.1.3.2 Exemples spéciaux

A: Gamme des pressions

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B: L’air et la pression dans l’atmosphère

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C: Taux d’impact des molécules sur la surface

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Exposition d’une surface au collage (probabilité = 1):

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2.2 Écoulement des gaz

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2.2.1 Régimes d’écoulement

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Nombre de Knudsen: Nombre de Reynolds:

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2.2.2 Écoulement et conductance dans le régime moléculaire

Taux d’écoulement: Q = C ( P1 − P2 ) [ton − l / s ]

Débit net dans le plan d’un orifice: (φ1 − φ2 ) A [l / s ]

Pour l’air à 300K: C = 11,7 A [l / s ]

Systèmes des conductances: