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──MEMS 完全手冊
基本上,MEMS 是利用半導體製程技術,整合電子及機械功能製作而成的微型
裝置,主要的產品類別大致可分為加速計、陀螺儀、壓力感測器、光通訊元件、
數位光源處理(DLP)、噴墨頭,以及無線網路 RF 感測元件等,目前已逐漸應用
在包括汽車胎壓量測、光通訊網路、投影機、感測網路、數位麥克風、時脈振盪
器,以及包括遊戲機在內的各種產品之中。甚至在新一代記憶體技術、生物晶片、
顯示技術、新興能源等先進研究方面,它也扮演了一個重要的角色。
從實驗室中的基礎研究,到近來開始滲入消費性電子產品,MEMS 的廣泛應用
已成為產業發展的一個重要趨勢,值得密切關注。以下是《電子工程專輯》針對
MEMS 的相關報導與技術文章的集結,希望能讓讀者由不同的面向了解這個產
業界越來越紅的議題,掌握無限商機。
II. 應用趨勢
˙MEMS 在聲學工具中大顯身手
III. 創新技術
˙Microvision 開發手機用超小型嵌入式投影機
上網時間 : 2007 年 03 月 15 日
上網時間 : 2007 年 01 月 09 日
根據一份國際半導體設備暨材料組織(SEMI)發佈的調查報告,歐洲目前共有 77
座生產微電機系統(MEMS)晶片的晶圓廠,多於生產電源元件和複合半導體元件
(Peter Clarke)
上網時間 : 2006 年 10 月 25 日
微機電系統(MEMS)技術的應用市場,包括汽車安全氣囊系統、顯示系統和印表
(John Walko)
II. 應用趨勢
上網時間 : 2007 年 01 月 12 日
新興的消費性應用結合快速發展的製造、測試和封裝技術,正將不久前還是尖端
技術的微機電系統(MEMS)導入實際的應用。
MEMS 究竟能以多快的速度出現在胎壓感測、行動電話交換器與檢測皮膚問題
的‘魔鏡’新產品等主流應用中?儘管業界對此還沒有一致的意見,但在時脈元件
中以 MEMS 諧振器取代石英晶體等先進應用領域中,已為產業帶來一種 MEMS
時代已經到來的新希望。
“然而,還有許多問題仍有待解決,例如成本、需求的大幅波動,以及必須處理
量產的議題等。對我們來說,還是有一些比較單純的市場值得關注。”Knowles
Acoustics 公司副總裁 Jeff Niew 表示,“雖然如此,但該技術應用的報酬也很明
顯,特別是當 MEMS 進入消費應用領域時。”
這一類應用的驅動力量來自於用戶的實際需求,如“讓行動設備變得更為智慧,
可以自動為用戶提供服務。”美商亞德諾(ADI)公司儀器和汽車轉換器產品行銷經
理 Conor Power 說道,“消費者希望所用的設備能夠遙測他們無法看到的東西,
並能夠實現他們無法親身所及的事情。”
在例如時脈元件等既有市場中,由於現有的技術供應商可直接將產品傾銷於市場
中,以避免與新出現的競爭對手正面交鋒,使 MEMS 開發人員得冒著推出新技
術的風險,德國慕尼黑的 Wicht Technologie Consulting(WTC)公司產業分析師
Jeremie Bouchaud 表示。因此,MEMS 技術的“最大競爭對手便是傳統技術。”
無處不在的感測器與智慧型網路
MEMS 還有助於使感測器或感測器處理元件變得更小、更便宜且更可靠的,因
而也使其更易於被整合於各種不同的系統和物件中,Lund 指出。
當上述資訊能以無線的方式與系統通訊時,感測器元件以及感測器處理器只需傳
送相關的資訊。“這樣便能節省功耗,並改善系統性能。”ADI 公司的 Lund 表示。
TI 的 Frantz 將最終產品描述為“整合了感測器、轉換圖片為資訊的 DSP、傳送資
訊的 RF 與電源的小型模組。”例如,用戶可以在家中擺放 20 個這樣的項目,以
建立一套監控系統。
新興的無線網路標準(如 ZigBee)正推動感測器在嵌入式設備中的普遍應用,TI
挪威分公司管理總監 Geir Forre 表示。“行動電話具有蜂巢式網路,而 PC 有乙太
網路。但直到最近,99%的設備不是仍未能連接,就是僅能透過有線連接。”Forre
用戶也可以在開會時關閉鈴聲,只需把手機面朝下放在桌上即可。如果把手機翻
過來使其面朝上,便可自動啟動鈴聲。
以行動電話數位鏡面來檢測並警告皮膚所出現的問題可能是最有趣的應用了。理
論上,消費者可以用相機手機拍下他的臉部,並以手機進行影像分析以便搜尋面
皰或斑點等皮膚問題。如果手機分析結果是對使用者發出警告的話,使用者便可
以即刻採取適切的保養步驟,例如去看皮膚科醫生,或者找一個地方躲起來,直
到面皰消失並痊愈。
這樣的特色就必須在行動電話中整合影像感測器和 DSP。在影像感測器擷取到皮
膚影像後,再用 DSP 進行資料處理,並產生有關任何影像變化的‘適用的資訊’,
TI 的 Frantz 指出。
事實上真的有一位軟體開發人員正在研究用以檢測並預測皮膚初期出現問題的
分析演算法,Frantz 最近在慕尼黑時透露。“昨晚我才跟他共進晚餐。”但是,Frantz
沒未透露這位開發人員的名字或進展等細節。
(胡百安、吉田順子)
上網時間 : 2007 年 01 月 15 日
與此同時,任天堂最初針對市場推出了 50 萬台,並且能夠迅速補充貨源,Sebastian
表示。儘管任天堂對於預期的出貨量不像 Sony 那麼公開,但任天堂承諾要在一
年內於全球內推出 400 萬台 Wii,其中 200 萬台銷往美國。
上網時間 : 2006 年 12 月 20 日
參加月初在德國慕尼黑舉辦的國際電子元件博覽會(Electronica)中一個座談會的
MEMS 企業高層們認為,手機中的動作感測是一個大有前途的應用領域。他們
還認為,可攜式電腦和遊戲機是採用動作感測技術的主要潛在領域。普遍看法
是,從明年或者 2008 年開始,中階手機將成為 MEMS 的大市場。
一場價格競賽
相較之下,陀螺儀用於感測圍繞某個軸發生的旋轉,與重力或線性動作無關。據
InvenSense 公司,與加速計不同的是,陀螺儀測量偏航或者斜度。該公司表示,
對於手機和遊戲機、數位視訊和數位相機穩定、3D 遙控和“空中滑鼠(air mouse,
在空中揮手就可以控制螢幕上的游標)”等具備價值的應用。
目前 InvenSense 的高層們仍然認為,加速計和陀螺儀最好搭配在一起使用。
InvenSense 的創始人兼執行長 Steven Nasiri 表示:「對於加速計將進入消費產品
(如 Wii 和新力的 Playstation3),我們感到非常振奮,我們正用同樣重要的陀螺儀
來彌補缺失的另一半。」
到明年底的時候,InvenSense 希望推出一種單晶片、六軸慣性測量單元(six-axis
inertial-measurement unit),它將使下一代消費產品具備先進的動作感測能力。儘
管成本仍然是關鍵問題,但這種產能可望在許多應用中打敗加速計。
採用 MEMS 技術的噴墨印表機可顯著提升列印解析度
上網時間 : 2006 年 12 月 05 日
可撓性顯示器背板的開發人員已經使用該系統來改善手機顯示器的畫素間隔,並
使電晶體結構適應行列驅動器的需要。同時,RFID 標籤的開發人員也已經用噴
墨印表機在 RFID 標籤上安置微型天線結構,Schoeppler 說。
研究實驗室利用印表機,便可透過一種加法製程(additive process)以產生原型設
計,而不需要在減法製程(subtractive process)中所用的光罩或微影設備。由於材
料耗用較少,因此該加法製程據稱相當適合產品開發所需的較小量。
MEMS 在聲學工具中大顯身手
上網時間 : 2006 年 06 月 19 日
搖滾樂演奏者們曾經夢想透過一枚小小的指環,而讓配戴者隨心所欲地彈奏電吉
它。今天,一種稱為‘Hot Hand’的技術宣稱可以使這一美夢成真,而這則要歸功
於汽車安全氣囊加速計和一枚客製化音訊處理器的結合使用。
“我們從事微機電系統(MEMS)設備快 20 年了,工程師採用我們的感測器設計出
來的新穎設備永遠都能讓我們感到驚奇。”ADI 的業務開發工程師 Christophe
Lemaire 說道。
“你可以透過敲擊琴弦來增加聲音,之後將手抬高可以獲得更高強度的聲音,你
也可以獲得顫音效果,速度則受手的位置所控制。”Remignanti 介紹,“我們不是
只使用標準的 wah-wah 顫音效果,雖然我們的確有這種效果,而且還是 Bob
Chidlaw 利用系統化的高深數學模型設計出來的原始 Cry Baby (由 Jimi Hendrix
推廣的踏板效果)精確模型。”
(羅克鈴)
上網時間 : 2007 年 04 月 27 日
工研院的微系統科專團隊進駐南台灣創新園區 3 年,已帶動產業進駐園區及合作
開發相關技術,先後發展出多項個人運動娛樂及行動影音相關技術研發成果,包
括 3D 飛鼠、微機電(MEMS)麥克風、攜帶型微噴霧器及微型無線生理監控系統
等,並陸續於市場推出量產產品。
在技術處科技專案「南部產業關鍵技術計畫」中「微奈米系統應用技術」所開發
出的 3D 飛鼠技術,是利用微慣性感測技術原理,可與機器互動、可感測並追蹤
人體肢體的動作,可平移、可旋轉、可在玻璃上使用、還可自由在空中使用,利
用它簡報者就可以享受「無線一身輕」自在遊走的瀟灑;若要進行桌球、網球及
拳擊等運動類遊戲時,只要在手腕戴上「3D 飛鼠」,不論是揮拳、或是揮拍,都
可以達到互動遊戲及起身運動的效果,讓操作電腦及一般數位家電產品變得更輕
鬆自在,不必受限於固定的操作點。
Microvision 開發手機用超小型嵌入式投影機
上網時間 : 2007 年 02 月 05 日
上網時間 : 2006 年 10 月 31 日
MIT(麻省理工學院)的科學家們正密切合作,開發一種微型氣體渦輪發電機,並
希望它能取代目前的電池技術,在將來為筆記型電腦及手機提供電源。
當意識到傳統的焊接及鉚接方法不奏效時,研究人員開始轉向蝕刻矽晶圓。整體
研究稱之為微機電系統(MEMS)。這一努力整合了來自該所大學航空與太空系、
MIT 氣體渦輪實驗室、微系統技術實驗室和電磁及電子系統實驗室的研究人員。
開發人員已將 6 塊矽晶圓堆疊起來,這些晶圓均採用了一種特殊蝕刻製程。據一
次 MIT 新聞發佈會透露,微型化的元件包括以 2 萬次/秒旋轉的渦輪葉片,一個
微型發電機可產生 10 瓦功率。
「目前尚未有來自軍方對此計劃的資金支援」,Jacobson 稱早期應用的一種構想
是微型發電機將是一個「獨立的盒子」
,戰士能像夜視裝備穿戴上這種供電設備。
戰士們目前所使用的電池相對較重,且往往很快就消耗完了。
Jacobson 認為有希望在兩到三年內能進行現場測試。此後,就能為筆記型電腦和
手機提供電源。他預想著有一天技術會發展到能生產小型火箭發動機和小型雷射
器。
(W. Gardner)
上網時間 : 2006 年 06 月 15 日
意法半導體(ST)正在研究一種以微電機系統(MEMS)為基礎的資料儲存技術,該
技術有機會成為奈米級非揮發性記憶元件;ST 並正針對該技術進行一項歐洲合
作研究計畫。
(Peter Clarke)
採用 MEMS 技術的振盪器投入主流市場
上網時間 : 2006 年 06 月 14 日
對消費性晶片主要製造商來說,單晶片和雙晶片方案具有一個隱藏的優勢,即可
在單一晶片上為多個 PLL 提供幾個時脈頻率的能力。因此,可以把整個晶片的
所有時序訊號都放在騎背式的 MEMS 晶片中,以降低目前大多數消費晶片的複
雜性,並可削減 MEMS 振盪器的高成本,特別是與單一頻率的石英晶體相較。
“透過改變音叉的幾何結構,”Brown 說,“我們可以把來自多個振盪器的多個頻
由於所有的振盪器都可內建於一顆晶片中,我們就不必在一個電子設備中使用多
個時基晶片。Brown 說,“你可以把一個 32kHz 的即時時脈、一個執行在幾百
MHz 的通訊頻率振盪器、任何數量的 KHz 或 MHz 振盪器以及其所有的 PLL 放
在一個單晶片上。而這是石英振盪器無法做到的。"
元件內部
為確保長期的可靠性,SiTime 公司在一個圍繞整個晶圓的多晶矽層上長出一種
磊晶包覆,以安全穩定地把 MEMS 振盪器包裹起來,並提供一個可在其上發展
正常 CMOS 電路的極光滑表面。為了消除可能的污染(如濕氣),包覆作業在 1,100
攝氏度下完成。該磊晶包覆可以把結構與環境隔離開來,以使環境因素不致影響
性能,確保長期的穩定性,而這便是長久以來一直困擾 MEMS 的難題。
上網時間 : 2006 年 05 月 09 日
該元件被整合在一片約 1 平方公分的矽晶片上。原型包含許多注滿水的微通道,
凹槽寬度大約為 100 微米。通道涵蓋有數百個電極,可以每個通道產生流動電場
的方式接收變化的電壓脈衝。流動場產生離子或帶電原子和分子,受到行動場的
吸引。泵壓行為由電水動力產生,利用離子和電場的相互作用來促使液體流動。
(John Walko)
上網時間 : 2006 年 02 月 15 日
用於建造三維微機電系統的技術將可望被應用在新興的生物醫療領域。約翰‧霍
儘管這些立方體還沒有在活體上進行測試,但在流體系統內的基本流程和作業已
經過驗證,Gracias 表示,
「我們談論的是一個完整的全新包裝及傳送設備,有可
能推動新一代『靈巧藥丸』的誕生。長期目標是能夠將這些治療用容器直接植入
到傷口或疾病部位。」
Gracias 指出,由於微影在數個步驟內確定了大量的金屬圖形,而且因為裝配完
全自動化,因此該方法有可能被應用在量產中。
金屬陣列
有許多種類的金屬可被使用。研究人員在試驗性的藥品傳送應用中選擇了塗層為
金的鎳。金作為不反應外層,可防止人體內的任何毒性反應,鎳的磁特性將允許
透過磁共振成像掃描體內的金屬立方體。事實上,這所大學醫學院的成像專家已
證實這種實驗立方體可用於 MRI 系統的追蹤。
年來到約翰‧霍普金斯時,他創立了一所實驗室,以開發這一概念。
Gracias 表示,他發現,諸如分子耦合或表面張力等自然過程能被用於製作自裝
配結構,尺寸從 1nm 到 1mm 不等。透過減少會導致不必要形狀的影響,同時強
化能讓系統滿足設計目標的反應,就能在流體中創造這種基本結構形式。
該元件包含碳奈米管、半導體奈米線和大型自裝配結構。目前的計劃是尋求在一
個三維配置內整合超過 1 萬個電子元件。預計下一階段將是把電子元件導入到立
方體內。這些元件可能被作為生物感測器或在人體內受到無線訊號的控制,以執
行各種動態功能。
(Chappell Brown)