Microscopie lectronique 02/03

1. RAYONNEMENTS DE COURTE LONGUEUR DONDE POUR LETUDE DE LA

MATIERE CONDENSEE
1.1 INTRODUCTION
Lenvie ou la ncessit de vrifier les prvisions thoriques ou les modles dduits
de mthodes indirectes sur la structure de la matire lchelle atomique ont
pouss au dveloppement de moyens dinvestigation utilisant des rayonnements de
courte longueur donde. Les travaux de de Broglie sur la dualit onde-corpuscule et
les travaux exprimentaux, tels que lexprience de Davisson et Germer sur la
diffraction des lectrons ont complt les rayonnements de type lectromagntique
(photons du domaine visible, UV, RX, ) par des particules: lectrons, neutrons,
protons, ions, atomes neutres,... Ces rayonnements se distinguent par
leur longueur donde.
lnergie de chaque particule,
leur mode dinteraction avec la matire, et par-l, linformation que lon en retire.
(Tableau 1)
Par ailleurs, des contingences exprimentales viennent se greffer sur ces proprits
propres:
quelle sont les sources de ces rayonnements et leurs proprits (brillance,
monochromaticit, cohrence)?
existe-t-il des composants (lentilles, miroirs) permettant de raliser une
optique?
quelle est lefficacit des dtecteurs (sensibilit, gamme dynamique,
localisation spatiale,...)?
en dehors de leffet recherch, le rayonnement produit-il des effets
indsirables (perturbation de lobjet par les processus de prparation, dgts
dirradiation,...).
Lensemble de ces paramtres est important, tant pour estimer le cot dune
installation ou dune mesure que le volume dchantillon par exemple.
1.2 Longueur donde et nergie
Les rayonnements lectromagntiques couvrent une grande gamme de longueur
donde: de lordre du kilomtre pour les ondes radios dites grandes ondes 10
-14
m
pour les rayons durs (100 MeV). nergie E, frquence et longueur donde sont
relis par les relations


E = h = h (1.1)
avec h = 6.625610
-34
N m s

la constante de Planck et

h =
h
2
et la pulsation
= c (1.2)
avec c la vitesse de la lumire (les photons sont entirement relativistes)
Microscopie lectronique 02/03 Rayonnements de courte longueur
donde

2

tir de J.P. Eberhart, Analyse structurale et chimique des matriaux, Dunod, (1989)
Tableau 1 : proprit des interactions e
-
/ matire pour diverses techniques de
microscopie et de microanalyse.
Microscopie lectronique 02/03 Rayonnements de courte longueur
donde

3
Il est utile de dfinir pour la suite le vecteur donde k qui est dirig dans le sens de la
propagation et de module.
k =
1

(1.3)
(Remarque: cette notation correspond la nouvelle dfinition de l'onde plane avec le
facteur 2 explicite, recommande par l'Union Internationale de Cristallographie)
= e
2ik r
. (1.4)
L'ancienne notation k =
2

et = e
ik r
devrait tre abandonne.
Pour les particules de masse non nulle au repos m
o
et de vitesse v, la relation de
Broglie permet de relier la longueur donde la quantit de mouvement p=mv:
=
h
p
(1.5)
Dans le cas de particules relativistes (vc):
= h 2m
0
E 1 +
E
2E
0
|
\
|
.


(

1
2
= hc 2EE
0
+ E
2
( )
1
2
(1.6)
avec

E
0
= m
0
c
2
leur nergie au repos.
Lorsque l'nergie cintique est faible devant l'nergie au repos (particules non-
relativistes), 1.6 se rduit :
= h 2m
0
E ( )

1
2
(1.7)
o E est l'nergie cintique de la particule.
Pour les lectrons m
0 e
= 9.109110
31
kg et E
0 e
= 0. 511MeV . Ces particules ont
donc un comportement nettement relativiste lorsquils possdent une nergie de
lordre de 100 keV ou plus (microscopie lectronique transmission) et non
relativiste en diffraction dlectrons lents (E 10 1000eV).
Dans le cas des neutrons m
0 n
= 1. 675 10
27
kg et E
0 n
= 940MeV , or lnergie
typique dun neutron de fission dans un racteur est de lordre de 2 MeV et celle
dun neutron thermique de quelques meV quelques eV. Les neutrons apparatront
donc comme non relativistes. Il en va de mme pour les protons qui ont une masse
pratiquement gale aux neutrons et qui sont le plus souvent utiliss entre quelques
dizaines de keV et quelques MeV.
En exprimant lnergie du rayonnement en lectronvolts et la longueur donde en
mtres, la relation 1.6 devient

e

m [ ]
=
1. 23 10
9
E
eV [ ]
1+
E
2E
0

1. 23 10
9
V
acc
+ 10
6
V
acc
2
(1.8)
o V
acc
est la tension d'acclration des lectrons en volts, et
Microscopie lectronique 02/03 Rayonnements de courte longueur
donde

4

n m
[ ]
=
2. 860 10
11
E
eV [ ]
1+
E
2E
0

2. 860 10
11
E
eV
[ ]
(1.9)
Pour les photons, les relations 1.1 et 1.2 conduisent

ph m [ ]
=
1. 240 10
6
E
eV [ ]
(1.10)
Ainsi les nergies des photons (RX), des lectrons et des neutrons d'une longueur
d'onde de 1, une longueur juste assez courte pour tudier la matire lchelle
atomique, sont respectivement de 12.4 keV, 150 eV et 82 meV. (fig.1)

(distances interrticulaires)
10
-13
10
-11
10
-9
10
-7
10
-5
10
-3
10
-3
10
0
10
3
10
6
l
o
n
g
u
e
u
r

d
'
o
n
d
e

[
m
]
nergie [eV]

l
e
c
t
r
o
n
s
n
e
u
t
r
o
n
s
p
h
o
t
o
n
s
m
i
c
r
o
-
o
n
d
e
s
I
.
R
.
v
i
s
i
b
l
e
U
.
V
.
r
a
y
o
n
s

X

distances interrticulaires

Fig. 1 : Comparaison de la relation entre nergie et longueur d'onde pour les rayons
X, les neutrons et les lectrons
Microscopie lectronique 02/03 Rayonnements de courte longueur
donde

5
1.3 Interactions avec la matire condense
Lorsquun rayonnement rencontre de la matire, celui-ci subit trois effets distincts et
dimportance variable:
une absorption,
une diffusion ou une diffraction (scattering en anglais),
une rfraction.
1.3.1 Mcanismes d'interaction
Les mcanismes d'interaction varient avec la nature du rayonnement et avec son
nergie.
Le champ lectromagntique alternatif constituant les photons agit directement sur
les charges dans la cible (en fait les lectrons en raison de leur masse faible).
L'interaction est directement lie la densit lectronique dans la matire et peut se
produire mme si le photon passe une relativement grande distance de l'atome.
Ce mcanisme, tabli par J.J. Thomson, conduit l'mission d'un rayonnement de
mme longueur d'onde que le photon incident. Lorsque l'lectron est li (modle
"masse + ressort + amortissement"), la prsence d'une force de rappel entrane celle
d'une frquence propre d'oscillation qui correspond un maximum de couplage
photon-lectron et l'existence de seuils d'absorption. Le terme d'amortissement
introduit une dissipation d'nergie: les photons mergents possdent moins
d'nergie que le photon incident (effet Compton). ( Fig. 2)




Fig. 2: interaction RX / matire et
mission secondaire

tir de J. Baruchel et al., Neutron and
synchrotron radiation for condensed matter
studies

Les neutrons sont des particules neutres, lourdes et possdant un spin. Ils
interagissent directement avec le potentiel nuclaire et les spins des noyaux de la
cible. L'interaction est localise la rgion du noyau.
La charge des lectrons les rend sensibles aux champs lectriques et magntiques.
Le potentiel lectrique l'intrieur de la matire est essentiellement concentr entre
le noyau et les couches lectroniques (effet d'crantage par les couches
lectroniques). Une faible composante positive subsiste toutefois dans tout le
volume de la cible.
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

6
1.3.2 Absorption
Le rayonnement est absorb, ventuellement converti en un nouveau rayonnement
de mme nature mais d'nergie moindre ou de nature diffrente. Ainsi l'intensit suit
une loi de type
I z ( ) = I
0
e
z
(1.11)
qui exprime que l'absorption dans une couche d'paisseur dz la profondeur z est
proportionnelle l'intensit I(z) et au coefficient d'absorption linaire
m
1
[ ]
.
Souvent on utilise le coefficient d'absorption massique

( )
m
2
kg



(

(
qui a l'avantage
de ne pas dpendre de l'tat (solide, liquide, gaz) de la cible, ou encore
a
la
section efficace dabsorption par atome

=
a
N
0
A
(1.12)
avec N
0
=6.02 10
23
atomes/mole le nombre dAvogadro et A le poids atomique de
llment considr.
a
a la dimension dune surface et sexprime en barn (1 barn =
10
-24
cm
2
).
photons: l'interaction de l'onde lectromagntique se fait avec les lectrons de
la cible. Selon l'nergie du photon diffrentes transitions
lectroniques sont excites. Par exemple dans un semi-conducteur,
les photons de 1eV provoquent des transitions interbandes (bande
valence bande de conduction, ...). Dans la gamme des courtes
longueurs d'ondes, l'nergie devient suffisante pour ioniser les
atomes de la cible. Lorsque l'nergie devient grande, on ne peut
plus ngliger l'effet de recul de l'lectron lors de la diffusion (effet
Compton). ( Fig. 3 et 4 )







Fig 3 : Coefficient dabsorption
inlastique du silicium en fonction
de lnergie du photon (RX)
incident. Effet photolectrique

effet Compton

et production
de paire lectron-positron

tir de J. Baruchel et al., Neutron and synchrotron radiation for condensed matter studies
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

7

tir de J. Baruchel et al., Neutron and synchrotron radiation for condensed matter studies
Fig 4: variation du coefficient dabsorption inlastique avec lnergie du photon X pour divers
matriaux-cible.

neutrons le neutron peut tre absorb par un noyau et/ou peut fragmenter un
noyau par fission. Il peut en outre provoquer le dplacement
datomes ou gnrer des vibrations du rseau atomique. Le numro
atomique et la section efficace dabsorption ne sont pas directement
corrls. Certains lments, comme B, Cd, Gd,..., prsentent des
effets de rsonance. (Tableau 2 )


Z lment
a
(10
-24

cm
2
)
/(cm
2
/g)
4 Be 0.005 0.0003
5 B 430 24
13 Al 0.13 0.003
29 Cu 2.2 0.021
48 Cd 2650 14
64 Gd 19200 73
82 Pb 0.1 0.0003
daprs J.P. Eberhart, Analyse structurale et chimique des matriaux
Tableau 2 : sections efficaces dabsorption des neutrons thermiques
(longueur donde 1.08 )
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

8
lectrons les lectrons peuvent cder une partie de leur nergie ou tre
absorbs par plusieurs types dinteraction: dplacement datomes
("knock on"), rupture de liaisons chimiques, excitations doscillations
collectives de charges (plasmons) et de vibrations du rseau
(phonons), excitation des niveaux lectroniques superficiels
(transition entre bande de valence et de conduction,...) ou de
niveaux atomiques profonds (ionisation), rayonnement de freinage
(Bremsstrahlung). Limportance relative de ces types dinteraction
peut varier considrablement dun matriau lautre et ne permet
pas une formulation simple de labsorption des lectrons.
Le tableau 3 permet de comparer lordre de grandeur des
paisseurs ncessaires pour absorber 99% du rayonnement incident
pour divers lments et types de rayonnement.

lment
(masse
spcifique)
4-Be
(1.84g/cm
3
)
13-Al
2.70g/cm
3

29-Cu
8.93g/cm
3

82-Pb
11.3g/cm
3

Rayons X
Cu-K (1.54)
Mo-K (0.71)

16mm
83mm

0.35mm
3.3mm

0.10mm
0.10mm

0.017mm
0.034mm
Neutrons ther-
miques (1.08)

89 m

6 m

0.26 m

14 m
lectrons
(0.037)
100 kV

39 m

42 m

11 m

0.6 m
daprs J.P. Eberhart, Analyse structurale et chimique des matriaux
Tableau 3: Epaisseurs ncessaires pour absorber 99% du
rayonnement incident
1.3.3 Diffusion
Dans l'hypothse d'une interaction d'une cible trs mince par rapport au libre
parcours moyen d'interaction (1re approximation de Born: le faisceau diffus
n'interagit plus avec la cible), chaque centre diffuseur excit par une onde plane
= e
2ik r
devient source d'une onde sphrique

d
(r) = f k k
0
( )
e
2ik r
r
(1.13)
o f(k-k
0
) est le facteur de diffusion, k
0
et k: vecteurs d'ondes incident et diffus, r
position de l'observateur par rapport au centre de diffusion. Le facteur de diffusion
peut se calculer en introduisant dans l'quation de Schrdinger le potentiel diffusant
V(r).(Fig. 5) On peut montrer ainsi que f(k-k
0
) est la transforme de Fourier du
potentiel diffusant.
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

9

adapt de B.K. Vainshtein, Structure Analysis by Electron Diffraction
Fig. 5. :Distribution de potentiel diffusant dans un cristal contenant des atomes
immobiles : densit lectronique (x) pour les rayons X, potentiel lectrostatique (x)
pour les lectrons et potentiel nuclaire de diffusion (x) pour les neutrons

Les facteurs de diffusion correspondant un atome isol sont tabuls dans diverses
tables de cristallographie. Compte tenu de la symtrie de la diffusion, seuls le
transfert de quantit de mouvement et la nature de la cible importent. Le facteur de
diffusion atomique est exprim f(s) o s=|k-k
0
| ou encore en units de (sin/).
(Tableau 4 et Fig. 6 )


b 10
+14
m e 10
+14
m
a
x 10
+14
m
(sin ) / = 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5
1
H
-0.378 -0.378 4530 890 0.23 0.02
63
Cu
0.67 0.67 51.100 14.700 7.65 3.85
W 0.466 0.466 118.000 29.900 19.4 12.0
a
Multiply by (1-v
2
/c
2
)
1/2
where v is electron velocity
tir de L.H. Schwartz and J.B. Cohen, Diffraction from Materials
Tableau 4 :Facteurs de diffusion pour les neutrons b, lectrons fe et rayons X fx, en
fonction de langle de diffusion et de la longueur donde [].
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

10

tir de J. M. Cowley, Diffraction Physics
Fig. 6: facteurs de diffusion atomique pour les neutrons ("potential scattering") et les
rayons X. Les facteurs de diffusion pour les lectrons de quelques centaines de keV
sont trop grands pour apparatre sur cette figure.

photons: L'interaction a lieu par diffusion Thomson (Fig. 7). L'amplitude
diffuse est proportionnelle la transforme de Fourier de la densit
lectronique de la matire-cible:
f
x
sin / ( ) = a
i
exp b
i
sin / ( )
2
[ ]
i =1
4

+ c (1.14)
o ai, bi et c sont des coefficients que l'on peut trouver notamment
dans les Tables Internationales de Cristallographie.
neutrons Le potentiel nuclaire et les interactions du spin du neutron avec le
magntisme de la cible sont les moteurs de la diffusion. Il n'y a donc
pas de loi reliant directement numros atomiques et facteurs de
diffusion.
lectrons L'lectron interagit avec le potentiel lectrostatique dans la matire
(et ventuellement avec l'induction magntique). Les facteurs de
diffusion atomique reprsentent la transforme de Fourier de ce
potentiel. Densit lectronique et distribution de potentiel tant lis,
on exprime en gnral les facteurs de diffusion pour les lectrons
partir de ceux des rayons X:
f
e
sin / ( ) =
e
4
0
Z f
x
sin / ( )
sin / ( )
2



(

(
(1.15)
o Z est le numro atomique.

Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

11

tir de J. Baruchel et al., Neutron and synchrotron radiation for condensed matter studies
Fig.7 : sections efficaces dinteraction pour les RX en fonction de lnergie. Dans la
gamme dnergie utilise pour la diffraction ou limagerie en absorption des
matriaux biologiques, labsorption photolectrique et la diffusion Thomson
(lastique) dominent.

1.3.4 Rfraction
Lorsque le rayonnement pntre dans la cible, sa vitesse change en fonction de la
nature de celle-ci. Cet effet peut sexprimer au moyen dun indice de rfraction n.
R.X.: la frquence des photons X est gnralement suprieure la
frquence propre doscillation des lectrons dans la matire. Sur la
base du modle lectron-ressort-amortissement et de la diffusion
Thomson, lindice de rfraction est lgrement infrieur lunit de
quelques ppm (1-110
-5
pour lAl 1.5). Consquences: 1) les RX
se propageant dans le vide (ou lair) subissent une rflexion totale
lorsquils tombent sous une incidence rasante sur la matire dense
(rflexion totale externe); 2) la faible valeur de lindice ne permet pas
de raliser des lentilles pour R.X. en taillant des surfaces courbes ad
hoc.
neutrons lindice de rfraction sexprime par

n =1
2
N
i
b
i
2
i

(

(
(1.16)
avec N
i
le nombre de noyaux diffusants par unit de volume. Les
facteurs de diffusion b
i
sont le plus souvent positifs, parfois ngatifs,
selon le type de noyau diffusant. Ici encore, lindice de rfraction ne
scarte de lunit que dune quantit de lordre du ppm. Si de tels
Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

12
indices sont inadapts la fabrication de lentilles, ils permettent
nanmoins lorsquils sont infrieurs lunit de raliser des guides
de neutrons dans lesquels le faisceau se propage par rflexions
totales multiples.
lectrons le potentiel lectrique moyen V
0
(positif, 10V) qui rgne au sein de
la matire sajoute la tension dacclration V
acc
des lectrons.
Dans la matire, ils ont donc une nergie suprieure et une longueur
d'onde plus courte. En l'absence d'absorption, la matire se
prsente comme un milieu d'indice.
n =
V
acc
+ V
0
V
acc
1 +
1
2
V
0
V
acc
>1 (1.17)
En microscopie lectronique, la tension d'acclration est
gnralement d'une dizaine plusieurs centaines de keV. L'indice
de rfraction est ici encore trs proche de l'unit.

1.4 Instrumentation
Lutilisation de ces rayonnements pour sonder la matire suppose que ceux-ci soient
disponibles avec un flux suffisant, quil existe un moyen de les diriger prcisment
sur la plage tudier et que le produit de linteraction puissent tre dtects et
quantifis.
rayons X neutrons lectrons
source tubes RX
synchrotron
laser?
fission
235
U
spallation
(fusion)
(ract. nucl.
partic/cible)
canons
thermolectronique
s W et LaB6,
canons mission
optique monochromateurs
collimateurs
miroirs
multicouches
disques zons
monochromateurs
collimateurs
guides
(monochromateurs
focalisants)
lentilles
magntiques
(lentilles
lectrostatiques)
dtecteurs plaques photos
(images plates)
compteur
proportionnel, dt.
scintillation, dt
dcharge multifils
dt. semi-
conducteurs
convertisseurs n
particules charges
+ compteur
proportionnel, dt.
scintillation, dt
dcharge multifils
plaques photo
camras vidos
semi-conducteurs
(CCD,...)

Mthodes exprimentales de la physique 01/02 Rayonnements de courte longueur
donde

13
QUELQUES REFERENCES BIBLIOGRAPHIQUES:
J. M. Cowley, Diffraction Physics, North Holland, (1981/1984)
L. Reimer, Transmission Electron Microscopy, Springer-Verlag (1984/1993?)
M. Born and E. Wolf, Principles of Optics, Pergamon Press (1980/1983)
J. Baruchel et al., Neutron and synchrotron radiation for condensed matter
studies, Hercules, Les Editions de Physique, vol.1 (1993)
L.H. Schwartz and J.B. Cohen, Diffraction from Materials, Academic Press,
(1977)
J.P. Eberhart, Analyse structurale et chimique des matriaux, Dunod, (1989)
B.K. Vainstein, Structure Analysis by Electron Diffraction, Pergamon Press
(1964)
T. Hahn, International Tables for Crystallography, 1988, Kluwer Publ., New-
York.