ECUACIN DE BROGLIE E = h c / Si se calcula la longitud de onda mediante la expresin de broglie para una energa de electrones (50 eV), el valor

r es alrededor de 10-9 m 1eV=1.6022X10-19 J h=1.054X10-34 J s componentes del SEM Can de electrones, Sistema de escaneo y lentes, Aperturas, Bobinas de barrido, Sistema de vaco, Detectores Can de electrones Los electrones Son generados por emisin termoinica o por un campo elctrico.Los electrones son acelerados hacia la muestra.Tungsteno, LaB6 (ctodo) Placa a tierra (ando), tiene un pequeo orificio Voltaje= 1-50 kV Sistema de escaneo y lentes Las lentes magnticas se utilizan para demagnificar la imagen de la fuente de electrones al tamao del spot final sobre la superficie de la muestra. Usualmente se requieren tres lentes Aperturas: Estn ubicadas entre los lentes para limitar el dimetro del haz de electrones Bobinas de escaneo: Se encargan de deflectar el haz de electrones sobre la muestra en forma de barrido Detector: La seal anloga recibida es digitalizada y almacenada como un nmero para cada pixel. Sistema de vaco El can de electrones y la columna deben ser evacuados para evitar daos a la fuente de electrones. El alto vaco es tambin para minimizar dispersin de los electrones en su viaje hacia la muestra. Consiste de una bomba de alto vaco y una bomba rotatoria mecnica. La operacin del filamento de tungsteno requiere 10-3 Pa LaB6 10-5 Campo de emisin trmica 10-7 Pa El alto vaco en el instrumento conduce a la evaporacin de compuestos voltiles , as que la caracterizacin de la muestra ser limitada a la estabilidad del material. Actualmente: Son posibles hasta 2600 Pa en la cmara de la muestra. Esto es debido a las aperturas limitadoras de presin que pueden mantener al mismo tiempo alto vaco en el can de electrones y en la columna. Las presiones relativamente altas ayudan a : Estudiar materiales frgiles (muestras biolgicas) Plsticos Grasas Incluso es posible estabilizar agua liquida durante la investigacin en el SEM Detector El ms comnmente usado es el detector Everhart-Thornley. Es un oscilador que al ser bombardeado de electrones produce fotones. Los fotones son convertidos en una seal elctrica a travs de un fotomultiplicador. Este detector se usa para SEs y Bes La mayora de los equipos cuentan adems con: Un equipo de deteccin de rayos X (Detectores en estado slido de Silicn o Germanio) Es uno de los instrumentos ms verstiles para la investigacin de la microestructura de los materiales. Goza de una ventaja tremenda sobre otros microscopios en varias mediciones fundamentales de desarrollo (la resolucin, profundidad de campo, microanlisis) La resolucin lateral: La habilidad para ver muy pequeas caractersticas Profundidad de campo: El grado en el cual las caractersticas de diferentes alturas en la superficie de la muestra permanecen en el foco Microanlisis: La habilidad para analizar la composicin qumica de la muestra. INTERACCIN HAZ DE ELECTRONES MUESTRA La interaccin entre el haz primario de electrones y la muestra resulta en una variedad de seales que pueden ser usadas para la caracterizacin de la muestra: Electrones Retrodispersados, Electrones Secundarios, Absorcin de Corriente, Rayos X, Catodoluminiscencia, Fotones. Electrones Retrodispersados (BEs) Llegan a tener energas equivalentes a la de los electrones incidentes con una distribucin de energa que depende del nmero atmico de los componentes de la muestra.