La   foundry   educativa   y   de   entrenamiento   del   pro­mst   desarrolló   un   sistema 

educativo mixto altamente eficiente que trata los problemas citados arriba de 
educación de alta tecnología: el pro­mst ofrece a otras instituciones educativas 
acceso a las instalaciones de entrenamiento de MST a costos moderados con 
equipos de primera línea en una sala limpia. Eso es complementado por un 
método   eficiente   de   entrenamiento   preparatorio   con   el   Laboratorio   de 
Tecnología   VirtualIntroducciónMicro   y   Nanotecnologías   (MNT)   son 
consideradas tecnologías fundamentales y esenciales para la competitividad de 
países   altamente   industrializados.   Las   MNT   abarcan   altas   tecnologías   en 
rápido desarrollo, son bastante Interdisciplinarias y cubren una amplia variedad 
de aplicaciones. "Alta tecnología" en un contexto educativo también significa 
que   es   necesario   interactuar   con   máquinas   complejas   y   de   alto   costo.   La 
designación  "en  rápido  desarrollo"  intensifica  las dificultades   de  mantener  el 
equipo   educativo   actualizado.   El   carácter   multidisciplinario   y   la   variedad   de 
aplicaciones,   por   otro   lado,   indican   que   es   difícil   abordar   cada   uno   de   los 
aspectos de las MNT en cada núcleo educativo. Las instituciones educativas 
precisan decidir sobre un perfil claro y concentrar sus recursos en sus puntos 
fuertes individuales. Como ejemplo, el número de instituciones educativas que 
ofrecen  cursos   de  estudio  de  MST  ha   aumentado  rápidamente  desde   1995, 
pero   muy   pocas   pueden   ofrecer   cursos   prácticos   apropiados   sobre   las 
tecnologías   de   proceso   fundamentales   en   un   ambiente   de   sala   limpia 
actualizado. Es un hecho simple que las enormes inversiones y los costos de 
mantenimiento   de   una   sala   limpia   de   entrenamiento   son   superiores   a   los 
presupuestos.   En   realidad,   en   determinados   casos   las   salas   limpias   para 
investigación y desarrollo avanzado o producción están disponibles, pero los 
administradores de las salas limpias son muy reluctantes en permitir el acceso 
a estudiantes sin experiencia. Las máquinas y las líneas de producción de alta 
tecnología   son   muy   sensibles   a   la   operación   incorrecta.   Aún   un   pequeño 
engaño   en   una   línea   de   proceso   puede   causar   problemas   graves   en   la 
producción o atrasar el éxito de proyectos de investigación y desarrollo durante 
meses.   Muchas   otras   áreas   nuevas   como   nanotecnología   o   bioingeniería,   y 
también   disciplinas   clásicas   como   electrónica   de   RF   o   ingeniería   hidráulica, 
enfrentan un problema básico semejante: la experiencia práctica actualizada de 
los   estudiantes   durante   su   educación   universitaria   es   bastante   limitada, 
produciendo   resultados   educativos   por   debajo   de   lo   ideal.   Una   manera   de 
enfrentar   esa   situación   es   compartiendo   los   costos   en   un   esquema   que 
denominamos   “foundry   educativa   y   de   entrenamiento”.
Una   foundry   educativa   y   de   entrenamiento:   pro­mstpro­mst   es   una   red   de 
varias   universidades,   aliados   de   la   industria   y   también   institutos   de 
investigación y desarrollo. El pro­mst actúa como una foundry educativa y de 
entrenamiento en la medida en que ofrece cursos prácticos de MST en una 
sala   limpia   de   entrenamiento   de   300   m2   en   el   campo   universitario   de 
Zweibrücken   de   la   Universidad   de   Ciencias   Aplicadas   de   Kaiserslautern.   La 
sala   limpia   totalmente   equipada,   diversas   herramientas   de   medición   y   una 
pequeña instalación de montaje permiten la fabricación de sensores de silicio 
completos en un ambiente semiprofesional de primera línea. El concepto de la 
foundry de entrenamiento recuerda el concepto comercial muy exitoso de las 
foundries   de   producción   en   la   fabricación   de   microelectrónica   y   MST.   Una 
foundry   es   especializada   en   procesos   de   fabricación   y   recoge   pedidos   de 
diferentes   empresas   operativas   que   no   poseen   fábricas   y   tercerizan   la 
producción.   Eso   resulta   en   un   grado   bastante   alto   de   eficiencia   de   costo   y 
productividad para los dos lados, la foundry y la empresa que encomienda. La 
foundry puede alcanzar un índice de utilización ideal (por ejemplo, de una línea 
de proceso de CMOS) y quien hace los pedidos puede concentrarse en ese 
perfil específico y ofrecer a sus propios clientes un servicio escueto aunque 
completo (por ej.: CIs específicos para el cliente).La Fig. 1 muestra como el 
pro­mst adoptó el concepto de foundry para educación de alta tecnología en 
MST.   Diferentes   instituciones   educativas   "sin   laboratorio"   ofrecen   cursos   de 
estudio   educativos   de   costo   intensivo,   como   MST,   a   sus   clientes,   o   sea, 
estudiantes.   La   parte   del   entrenamiento   en   sala   limpia   de   alto   costo   es 
tercerizada para la foundry de entrenamiento. "Sin laboratorio", naturalmente, 
se refiere apenas a un laboratorio de sala limpia específico para finalidades 
educativas generales.Eso no significa que no debe haber ningún laboratorio. 
Como ejemplo, la Universidad de Saarbrücken opera una sala limpia bastante 
sofisticada para proyectos avanzados de investigación y desarrollo, pero utiliza 
las   instalaciones   de   entrenamiento   de   pro­mst   para   la   educación   práctica 
general   dentro   del   curso   de   estudio   de   mecatrónica/MST.   Con   apenas   una 
semana   de   entrenamiento   intensivo   los   estudiantes   consiguen   construir   su 
propio   sensor   de   silicio,   como   mostrado  en   la   Fig.   2.Figura  1:  Concepto  de 
foundry adoptado en la educación en alta tecnologíaUna preparación adecuada 
de   los   estudiantes   es   un   prerrequisito   indispensable   para   ese   curso   de 
laboratorio   intensivo   y   ambicioso   con   experiencia   práctica   real.   Errores 
operativos graves deben ser evitados, una vez que pueden ser peligrosos tanto 
para el operador como para el equipo. Por otro lado, no sería apropiado si los 
estudiantes apenas observasen como los operadores profesionales manipulan 
el equipo de alto costo.Además de eso, en muchos casos el equipo moderno 
de alta tecnología permite acceso a los procesos solamente por los paneles de 
la computadora y el proceso propiamente dicho queda oculto en una cámara a 
vacuo o cámara de proceso cerrada. Eso torna una experiencia directa de los 
fundamentos del proceso extremadamente difícil, aún si los propios estudiantes 
pudiesen   operar   las   máquinas.El   pro­mst   enfrenta   los   dos   problemas,   de 
preparación adecuada y de los "procesos ocultos” en el equipo moderno, con 
un   Laboratorio   de   Tecnología   Virtual.Laboratorio   de   Tecnología   Virtual   El 
Laboratorio   de   Tecnología   Virtual   es   una   parte   esencial   del   concepto   de 
aprendizaje   mixto   del   pro­mst   y   está   compuesto   por   un   conjunto   de 
simulaciones de computadora interactivas, animaciones de procesos y videos 
ilustrativos.• Simulaciones son empleadas para máquinas complejas, que son 
controladas por computadora a través de una interfaz gráfica o un panel de 
control de máquina. Las simulaciones recuerdan a la interfaz con el usuario de 
las máquinas y responden interactivamente de manera muy semejante a sus 
correspondientes en la foundry de entrenamiento • Animaciones son usadas en 
los   casos   en   que   ocurre   interacción   apenas   limitada   entre   la   máquina   y   el 
usuario. Las animaciones también presentan la ventaja de esclarecer la base 
teórica o ilustrar ítems ocultos (por ejemplo, el trayecto óptico en la sonda de 
espesor de película).• Videos son usados para mostrar, por ejemplo, etapas 
operativas manuales en que las simulaciones o animaciones exigirían mucho 
esfuerzo para producir el efecto deseado. Un ejemplo es la manipulación del 
wafer para el alineador de la máscara. El comportamiento de la máquina, o 
sea, el resultado de los procesos realizados por la máquina, es modelado con 
base en un modelo físico simplificado (por ejemplo, el modelo de Deal­Grove 
es usado para la oxidación térmica del silicio en la simulación de un horno de 
alta   temperatura)   o   en   un   campo   de   datos   obtenido   de   la   máquina   real   e 
interpolado por el software (por ejemplo, el pulverizador catódico virtual está 
basado en las características del pulverizador catódico real). En algunos casos, 
la entrada de datos por el usuario es verificada simplemente para determinar si 
está   dentro   de   los   límites   aceptables   (por   ejemplo,   la   simulación   de   unión 
anódica   verifica   los   parámetros   correctos   de   temperatura,   presión,   tensión, 
etc.). Es importante observar que para obtener el efecto deseado, o sea, mejor 
entendimiento y preparación para el curso de laboratorio real, la exactitud física 
es   menos   importante   que   la   apariencia   y   la   sensación   de   la 
simulación.Conclusión y perspectivasTres años de experiencia con la foundry 
de entrenamiento en MST y la evaluación del Laboratorio de Tecnología Virtual 
resultaron en varias indicaciones claras de mejora en la educación en las áreas 
de   alta   tecnología:   •   Aunque   el   conocimiento   teórico   forme   la   base,   la 
experiencia práctica es importante para un conocimiento profundizado de los 
procesos tecnológicos complejos. • La experiencia práctica en sala limpia real 
es   obtenida   en   un   intervalo   de   tiempo   comparativamente   corto   si   los 
estudiantes   pudiesen   concentrarse   en   el   contenido   en   vez   de   aprender   la 
operación   básica   de   la   máquina   debido   a   la   preparación   adecuada   con   la 
ayuda   del   Laboratorio   de   Tecnología   Virtual.•   Aunque   el   esfuerzo   necesario 
para desarrollar las herramientas de simulación y el soporte al usuario de un 
laboratorio de tecnología virtual sea bastante extenso, él será justificado si los 
estudiantes no de apenas una, sino de varias universidades pudiesen disfrutar 
eso. Además, comparando los costos del Laboratorio de Tecnología Virtual con 
la inversión y los costos de mantenimiento de una sala limpia de entrenamiento, 
queda claro que el concepto de aprendizaje mixto de Laboratorio de Tecnología 
Virtual   y   foundry   educativa   es   una   manera   eficiente   de   proveer   experiencia 
práctica   de   alta   calidad   en   áreas   de   alta   tecnología   en   general. 
ReconocimientoAgradecemos   el   apoyo   del   Ministerio   de   Educación   e 
Investigación   de   Alemania   (BMBF)   por   medio   de   los   proyectos   INGMEDIA, 
programa   "Nueva   media   en   educación”,   y   pro­mst,   programa   “Microsystems 
Technology   2000+”   (Tecnología   de   microsistemas   2000+),   y   por   el   gobierno 
estadual de Rhineland­Palatinate por el subsidio al Centro de Competencia en 
Diseño   Instructivo   de   Tecnología   (CCIDT)   y   el   proyecto   HoBLA,   programa 
“Multimediainitiative   RP   Hochschulen”   (Iniciativa   de   multimedia   RP 
Hochschulen).