Equipo 6 Andrs Villarreal 01190016 Benjamin Gonzlez 01190193 Diego Alans 01175319 Diego Faras 01190431 GianlucaBianchezi 01190260

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

MEMS: Sistemas Microelectromecnicos

Es la integracin de elementos mecnicos,

sensores, actuadores y electrnicos en un substrato de silicn comn unidos por sistemas nanoelectromagnticos(NEMS). Su tamao varia desde un micrmetro hasta un milmetro.

Materiales:
Silicios: Es de los materiales mas usados para crear circuitos integrados que se utilizan en la

electrnica. Polmeros: Son mas baratos que los silicios y son aplicados para la produccion de MEMS en procesos de moldeoporinyeccin, estampadooestreolitografa. Metales: No tienentantaventajacomo los siliciosypueden ser depositadosporgalvanoplastia, porevaporacin, ymedianteprocesos de pulverizacin.

Procesos:
Deposicin: Los MEMS tienene como procesamiento la

capacidad de depsito de pelculasdelgadas de materiales. Unafinapelculapuedetener un espesor de entre unospocosnanmetros a unos 100 micrmetros. Algunosejemplos son: Electroenchapado (Electroplating), DeposicinPulverizada (Sputter deposition), la deposicinfsica de vapor (PVD) ydeposicinqumica de vapor (CVD). Fotolitografia: (transferencia de un patrn a un material fotosensible por exposicin selectiva a una fuente de radiacin) Procesos de grabado (grabado mojado y seco): En el primer caso, el material se disuelve cuando se sumerge en una solucion qumica. En el ltimo, el material se pulveriza o disuelve utilizando vapor iones reactivos o un grabado de fase vapor

Ventajas:
Reduccin de costos y tiempo en la

manufactura (produccin en bandejas) Fcil de integrar o modificar en sistemas Poco dao al ecosistema (menos consumo de energa) Explotacin de nuevos dominios fsicos Los microcomponentes hacen al sistema ms rpido, confiable, porttil y barato Fcil de mantener y remplazar

Desventajas:
Necesidad de superar la percepcion de riesgo

de la tecnologia Restricciones de diseohacia la superficie del agua La fuente del combustible esinflamable (no se permiten en aeroplanosuotroslugaresdondelasexplocione spresentenriesgos Dificil de comprendersuspropiedadesmecanicas

reas donde se usan:

Biomedicina Automotriz Electrnica

Aplicaciones y Ejemplos:
Sensores de presin Acelermetros de bolsas de aire Aparatos mdicos Adaptacin ptica para usos oftlmicos Tecnologa de conmutacin de fibra ptica-

Impresoras de inyeccin de tinta Giroscopios

Video:
http://www.youtube.com/watch?v=ZuE4oVrt

EQY

Bibliografa
"INEMS." 27 09 2010

<http://inems.com/MEMS_course_AREA/01_i ntroduction/Advantages.htm>. "Mems exchange." 27 09 2010 <http://www.memsexchange.org/MEMS/processes/>. "MEMX." MEMS technology. 27 09 2010 <http://www.memx.com/technology.htm>.