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DI Water
Technical knowledge
Sharing Class for SAET FE
超純水
专业技術分享會
(6th Sep, 2005 – Facility System Engineering Section)
Prepared by: Anthony Chan
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Content 目錄
1. Why do we need High Purity Water for
cleaning and rinsing?
为什么要用超纯水作清洗和冲洗?
2. What is DI water?
什么是 DI 水?
3. Water General Standard.
水的一般标准。
4. Learn more about water.
更多了解水。
5. DI water system.
DI 水系统。
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Content 目錄
为什么要用超纯水作清洗和冲洗?
• In its pure state, water is one of the most
aggressive solvents ( aqueous solution ) known
.
• 在它的纯净状态下 , 水是现今所知性能极好的溶剂
( 水溶剂 ) 。
• Water, which is called the “universal solvent”, will
dissolve virtually everything exposed to it to a
certain degree.
• 水被称为 “万能溶剂” , 事实上任何物质放入水中 , 都
可以溶解到某一特定的程度。
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自來水 超純水
電阻 , MΩ - CM 0.004 > 18.2
顆粒 (Pcs/ml), ≧ 0.05μm - -
顆粒 (Pcs/ml), ≧ 0.03μm - <5
溶氧 , ppb as O2 8,000 <1
金屬 , ppb 200,000 <1
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Line Width (µ) 0.8 - 1.0 0.4 - 0.6 0.2 - 0.3 0.1
Pacticles (no./ml) (0.1µ) <10/ml (0.05µ) <30/ml (0.03µ) <10/ml (0.03µ) <5/ml
4. 水中主要的雜質有哪些?
• 水經由河川、湖泊等各處流過地表,或深處於地底下,因溶
解作用,而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及
氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下:
5. 在設計規劃系統時考慮的重點:
• 如何有效運用設備,並掌握關鍵因素,結合累積的經
驗,做最正確的判斷與運用。
• 系統的控制,必需達到操作容易,維修方便,運轉零
故障 ( 良好的緊急應變措施,使造水不斷 ) 。
• 純水的製造過程,會有廢水排出。如何提高回收率,
節省水源。是系統設計重要的指標。
• 兼顧品質的情況下,降低客戶的操作成本。
• 系統的擴充性 ,也是重要因素。在規劃設計的開始,
就應全盤考慮將來擴充的設計量與便利性 ,才能提高
系統的附加價值,降低成本。
• 不斷追求更好的技術,並結合最新的科技。
• 永遠站在客戶的使用立場來思考問題。
• 超純水最高電阻理論值為 18.18Mohm-cm 。
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5.1 超純水生産流程 -- I
• 過濾:如多層過濾、活性 碳過濾、一般
濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。
• 脫氣:去除餘氯、去除水中嗅味等。
• 紫外線光滅菌:利用 254nm 的紫外線光
,來破壞細菌的 DNA 抑制繁殖,一般而
言,其去除率可達到 99.9% 以上。
• 加藥處理:加鹼去除水中二氧化碳等。
• 逆滲透:採單段或二段式,有效去除離
子、細菌、有機物、膠體等。
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5.1 超純水生産流程 -- II
• H2CO3 H+ + HCO3-
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5.1 超純水生産流程 -- IV
去除 紫外線光 去除水中二氧
Ca. 及 Mg. 滅菌 化碳等
Note: Water with Ca. & Mg. is called Hard water and water
without these two elements is called soft water.
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5.1 超純水生産流程 -- V
去除可溶解之 用離子交換法
用紫外線
固體 ( TDS ) 進一步去除水
光分解有
:如 Na. K. 中微量的離子
機物,打
Fe. HCO3. :如 Na. K.
斷 TOC 碳
Fe. HCO3.
NO3. SO4. SiO2 鍵,釋放
NO3. SO4. SiO2 OH- 及 副
等
、 產物 CO2
Silica 、 TOC
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5.1 超純水生産流程 -- VI
• Reverse Osmosis:
• Reverse osmosis requires external pressure to
reverse natural osmotic flow. As pressure is
applied to the saline solution, water flows from a
more concetrated saline solution through the
semipermeable membrane. (see figure 2)
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6.1 Osmosis
6.3 RO 膜的使用壽命
• 在一般的設計中, RO 膜的壽命一般都在三年以上,而
RO 膜之所以損壞不外下列幾個原因:
• 1. 清洗不足或入水過硬,薄膜嚴重堵塞或結垢,無法有
效清洗,在產水量不敷使用的情況下,必須更換新膜。
• 2. 清洗頻繁, RO 膜去除率降低,以致於水質差,影響
後續的處理設備。由於 RO 膜本身很薄(約 30µm ),
只要稍有破洞,則去除率便立即降低,若經常使用酸、
鹼來清洗,則更加速了去除率的衰退。依一般的設計,
約莫四個月~半年清洗一次即可。
• 3. 被氧化物侵蝕,若水中含有氧化劑,如餘氯、臭氧等
,在進入 RO 前均應< 0.01ppm ,否則極易造成損壞。
• 4. 不當的壓力或壓降造成膜的擠壓,變形或破裂等,造
成產水量不足,是為無法挽回之損壞,亦必須更換新膜
。
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• CDI-IPLX 系統係結合電透析技術與
離子交換樹脂的新世代革命性產品
,主要應用於純水 / 超純水系統中
,可連續地產生超高純度的去離子
水( ~18 MΩ- ㎝)。應用的範圍廣
泛包括半導體產業、生技製藥業、 CDI
電廠以及化工廠等。
• 在產水過程中,本系統不需要使用
酸鹼再生,可減少產水污染的機會
,也沒有酸鹼廢液的產生,是目前
業界最具環保意識的去離子設備。
CEDI
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ABS 管
• Georg Fischer (+GF+) offers 2 standard systems in ABS
pipe ; firstly a BS Inch dimensioned system and secondly a
metric mm dimensioned system. See ISO15493 for details.
• GF 牌 ABS 管提供两种标准规格系列,首先是英制尺寸
体系,其次是公制尺寸体系。详情可参阅 ISO15493 。
• ABS piping is normally used in High Purity DI Water
System.
• ABS 配管通常使用于高纯度的 DI 水系统。
(DI water requirement > 15 MΩ-cm)
(DI 水电阻率要求大于 15 兆欧 / 厘米 )
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9.1 Advantages of ABS Pipe
ABS 管的优点
• High impact strength even at low temperatures.
在低温下也能承受高冲击强度 。
• Corrosion resistance.
耐腐蚀性。
• Simple processing via solvent cement joints.
使用时用液状粘固剂便可连接。
• Low heat conductivity.
低导热性
• No halogens.
无卤素
• Non-toxic.
无毒
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ABS 管的优点
• Biologically inert; no support for microbial growths.
抗菌性,细菌 \ 微生物不能在其中生长。
• Low weight.
重量小。
• High Pressure resistance – Max. 15 bar at 20 ℃.
抗高压 – 在 20 ℃ 的温度下,最高可达 15 bar 。
• Low pressure losses owing to smooth surfaces.
光滑表面致使低压力损失。
• Good abrasion resistance.
抗磨损性好。
• Problem-free recycling.
并无因难,可重复利用。
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10. DI / RO Water System for A6
-The End –
-完結 -
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