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潔淨室外氣空調箱水洗加濕器

對系統加濕及氣體污染物去除效率之技術
探討與研究  
The Investigations Of Humidification And Removal
Efficiency For Gas Contamination By Air-washer In
Make-up Air Unit
主講人:胡石政 博士
日期: 95/11/20

1 國立台北科技大學
能源與冷凍空調研究所
大 綱

一、摘要
二、前言
三、研究背景動機
四、探討氣態分子污染物 (AMC) 之影響
五、實驗設計
六、實驗項目與內容
七、量測結果分析
八、結論與建議
九、未來研究內容

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一、摘 要
 近年來因半導體工業製程的進步,對於製程環境污染的關切已由原
有的粒狀固體 污染物變為氣態分子污染物 (Airborne Molecular
Contaminants, AMCs) ,無塵室本身產生的 AMC 可由風機過濾器
(FFU) 上的化學過濾器去除,但外氣部份則必需靠 MAU 化學過濾器
或水洗加濕器加以清除。由於化學過濾器價格昂貴,作為良好氣體
吸收液且廉價的水便成為去除 AMC 之最佳方式。但目前水洗加濕器
一般僅作為去除塵埃及空調濕度調節,對於空氣 AMC 去除之能力則
有待提升。

 由於氣體與吸收液在水洗加濕器中其混合方式直接左右其質傳行為
,故本研究將著手建立研究及測試水洗加濕器的設施,並透過具體
的實驗如調整霧化粒徑、液氣比、風速及調整水洗液 AMC 離子濃度
來取得各種水洗器構型與 AMC 去除能力之關係並作成相關設計圖表
與公式,可作為日後提供工業界水洗加濕器設計的參考依據。

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二、前 言
 近年來隨著半導體工業電路製程之線寬不斷的縮小達到奈米
的等級,並由於區域建廠密度極高所導致各廠間尾端排氣交叉
汙染效應,為避免對製程良率的衝擊,對外氣中氣膠污染物的
控制重點,也由原有的粒狀固態污染粒狀固態污染物演變為氣
態分子污染物 (Airborne Molecular Contaminants, AMCs) ,例如
SOX 、 NOX 、 CO 、 NH3 、 HCl 及其它的有機污染物都會影響
製程良率。去除 AMC 常見的方式如採用化學過濾及空氣洗滌
等方式處理。前者效率雖高但成本價格昂貴,且與外氣處理量
成正比。此外,當外氣含微粒濃度高或濕度較大時會減短其使
用壽命。
 從另一方面來看,無塵室內針對此問題,一般直接在外氣空調
箱 (MAU) 及風機過濾器 (FFU) 上加裝化學過濾器來因應,但
目前仍未被台灣地區電子產業廣為採用;故潔淨室外氣空調箱
水洗加濕器變成為目前電子工業去除化學污染物處理的主流。

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 有關水洗加濕器除氣性能之分析,根據飯嶋和明等人利用水洗加濕
器針對 NH3 、 SO2 、 NO 做去除效率的測試與分析,風量
9000CMH ,氣水比為 0.6 ,其結果 SO2 去除效率約在 94% , NH3 去
除效率約 80% 以上。 NOx 為非常難溶於水的氣體,去除效率約在
31%~41% 之間。其後飯嶋和明等人提出使用 city water 應用在噴霧
水對於 SO2 除氣效率較使用 DI water 為好,風量為 1000CMH ,氣水
比為 2.4 。發現水質的選用將對於 SO2 除氣效率產生影響。
 本次研究主要探討氣水比、噴管配置與應用 Hydrophilic Eliminator
時對 NH3 、 SO2 去除效率之影響,本次所採用的氣水比為
0.06~0.08 ,較以往業界所採用的水氣比 0.2~1 來的小,若以較節省
的水量而得到相同的除氣效率,可以減少外氣空調箱的運轉成本。
 本次實驗入口端引進外氣進行採樣,較接近實際無塵室中 AMC 的濃
度,我們可由實驗分析結果,掌握潔淨室外氣品質的控制方式,降
低化學濾網運轉成本,進而增加產業未來之競爭能力。

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三、研究背景動

本次研究結合各種最可行分析方法,為重新探討潔淨室
外氣空調箱水洗加濕器的構型與去除外氣化學污染物及
加濕飽和效率之定量分析,以尋求其合理的設計方式,
由實驗分析結果,可以掌握潔淨室外氣品質的控制方式
,快速提升產品之良率並降低化學濾網運轉成本,進而
增加產業未來之競爭能力。
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四、探討氣態分子污染物 (AMC) 之影響

圖 1 近十年半導體製程間距的演進

300
200 mm
280
200 mm
260
200 mm
240
220
(nm)

200 國立台北科技大學
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製程演進與汙染控制的方向

製程 曝光波長 AMC 影響 控制方法 分析技術

250 nm 248 nm NH3, 光阻分解 化學過濾 採樣實驗室


到 (KrF) 胺 T-topping, 分析 ;
180 nm CD shift 濾材分析 ;
總胺分析

180 nm 248 nm NH3, 光阻分解 ; 化學過濾 採樣實驗室


到 (KrF) 胺 光學污染 分析 ;
130 nm 193 nm 凝結性有機物 濾材分析 ;
(ArF) 總胺分析

130 nm 193 nm NH3, 光阻分解 ; 化學過濾 採樣實驗室


到 (ArF) 胺 光學污染 ; 分析 ;
90 nm 157 nm 凝結性有機物 晶圓腐蝕 濾材分析 ;
(F2) 酸性物質 光學腐蝕 總胺分析

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五、實驗設計與方法

單元設備排列順序
1. Combine Filter
2. Electric Heater
3. Cooling Coil 1 st
4.Air Washer + Hydrophilic
Eliminator
5. Cooling Coil 2 nd
6. Eliminator
7. Round a Round Coil
8. Fan & Motor Section

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 本研究為探討潔淨室外氣空調箱水洗加濕器,對於氣態分子污染物
(AMC) 去除效率以及水洗加濕器對濕度控制設計最佳化應用,以大
氣中氨 (NH3) 、二氧化硫 (SO2) 污染物質為主要量測氣體,量測各點
狀態,並分析各參數影響機組的效率。首先建立一實驗模型機,採
用一組風量 10,000 m3/h 的全外氣空調箱,如上圖所示。實驗模型機
上將有一套可調整的水洗加濕器模組,能夠隨時變換各種形狀及尺
寸的噴嘴,並能調整其數量及排列方式,而後安裝各電子感知器
Sensor ,配合控制器 PLC 監測各點狀態,即時記錄分析。

 本次實驗同時採用 4 組採樣吸收瓶 (Impinger) ,對於水洗加濕器前


後濃度進行採樣分析工作,本次所使用的分析儀器為離子層析儀
(Ion chromatography) ,。最後利用各種不同排列方式、等相關參數
,得到氣態分子污染物 AMC 去除效率之影響。本研究最終目的為
預測各種水洗加濕器模式組合與氣態化學污染物去除效率之物理模
式的建立。

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外氣空調箱相關構造圖示

外氣空調箱外觀ㄧ覽圖

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電子加熱器
進風口與袋式濾網
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Hydrophilic Eliminator
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PLC 電盤 離子層析儀

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六、實驗項目與內容
實驗項目 實驗內容

實驗 1 探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響

實驗 2 噴嘴配置探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響

實驗 3 Hydrophilic Eliminator 應用 , 探討對於於空氣飽和度及氣態分


子污染物之影響
實驗 4 風車段再熱之影響

噴嘴配置 雙排逆噴 雙排對噴 雙排逆噴 雙排對噴


氣水比 0.06 0.06 0.06 0.06
氣水比 0.08 0.08 0.08 0.08
Hydrophilic Eliminator     enable enable

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實驗現場錄影狀態

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七、量測結果分

Hydrophilic Eliminator 對系統加濕影響分析

進風 相溼
對度 出風 相 對
溼度 進風相對
溼度 出風 相 對溼度
100.0%
100.0%
90.0%
90.0%
80.0%
80.0%

RH(%)
RH(%)

70.0%
70.0%

60.0% 60.0%

50.0% 50.0%

40.0% 40.0%
0 60 120 180 240 300 360 420 480
0 60 120 180 240 300 360 420 480 Time(min)
Time(min)

氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic- 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-


Eliminator(disable) ) Eliminator(enable )

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Hydrophilic Eliminator 對系統加濕影響分析

1. 由上兩圖中,發現到在氣水比 0.08 、雙排 逆噴、 Hydrophilic-


Eliminator(disable) 應用時,經過 8 小時量測分析,得知進風相對濕度
RH% 值由 67.5% 至 80.5% 變化,平均值為 71.9% ,出風相對濕度 RH
% 值由 93% 至 95% 變化,平均值為 94.8% ,可穩定保持出風相對濕
度在 93% 。

2. 在氣水比 0.08 、雙排逆噴、有 Hydrophilic-Eliminator(enable) 應用時


,得知進風相對濕度 RH% 值由 59.4% 至 90.7% 變化,平均值為
78.4% ,出風相對濕度 RH% 值由 97% 至 98.6% 變化,平均值為
98.3% ,可穩定保持出風相對濕度在 98% ,經 8 小時運轉測試,平均
值增加幅度為 3.6% 。

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氣水比對系統加濕影響分

進風相對
溼度 出風 相 對溼度 進風相對
溼度 出風 相 對
溼度
100.0%
100.0%
95.0%
90.0%
90.0%
80.0%
RH(%)

85.0%

RH(%)
70.0%
80.0%
60.0%
75.0%
50.0%
70.0%
0 60 120 180 240 300 360 420 480 40.0%
Time(min) 0 60 120 180 240 300 360 420 480
T ime(min)

氣水比 0.0.6 、雙排逆噴、 Hydrophilic- 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-


Eliminator(disable) Eliminator( disable )

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氣水比對系統加濕影響分析

1. 由上兩圖中,發現到在氣水比 0.06 、雙排逆


噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable) 應用時,經過 8 小時
量測分析,得知進風相對濕度 RH% 值由 77.6% 至 85.9%
變化,平均值為 82.4% ,出風相對濕度 RH% 值由 88.1%
至 88.5% 變化,平均值為 88.4% ,可穩定保持出風相對
濕度在 88% 。

2. 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable)


應用時,經過 8 小時量測分析,得知進風相對濕度 RH%
值由 67.5% 至 80.5% 變化,平均值為 71.9% ,出風相對
濕度 RH% 值由 93% 至 95% 變化,平均值為 94.8% ,可
穩定保持出風相對濕度在 93% ,平均值增加幅度為
6.8% 。 20 國立台北科技大學
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風車段再熱性能分

出風乾 球 溫
度 離 風乾 球 溫
度 出風乾 球 溫
度 離 風乾 球 溫

30.0℃
30.0℃

28.0℃
28.0℃

26.0℃ 26.0℃

T(℃)
T(℃)

24.0℃ 24.0℃

22.0℃ 22.0℃

20.0℃ 20.0℃
0 60 120 180 240 300 360 420 480 0 60 120 180 240 300 360 420 480
Time(min) T ime(min)

氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic- 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-


Eliminator(disable) 風車段再熱分析 Eliminator(enable) 風車段再熱分析

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風車段再熱性能分析

1. 由圖 (5.4) 及表 (5.4) 中,發現到氣水比 0.08 、雙排


逆、 Hydrophilic-Eliminator(disable) , MAU 運轉經過 8 小
時量測分析,得知再熱值由 0.5℃ 至 1℃ 變化,平均值為
0.65℃ ,可穩定保持再熱值 0.6℃ 以上。

2. 由圖 (5.5) 及表 (5.5) 中,氣水比 0.08 、雙排逆


噴、 Hydrophilic-Eliminator(enable) , MAU 運轉經過 8 小
時量測分析,得知再熱值由 0.5℃ 至 1℃ 變化,平均值為
0.66℃ ,可穩定保持再熱值 0.65℃ 以上。

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Hydrophilic Eliminator 對 AMC 影響分

NH3濃度 SO2濃度 NH3去除效率 SO2去除效率

25.00 100.00%
94.79%
90.50% 90.00%
86.40%
82.84%
20.00 80.00%
19.14

Removal efficiency(%)
18.96
氣水比 0.08 、雙排
Concentration(ppb)

70.00%

15.00 60.00%
逆噴、 Hydrophilic-
50.00%
Eliminator (enable
10.00 40.00%
與 disable) 去除效
30.00%

5.00 20.00%
率分析
3.28
2.58
1.77 1.66 10.00%
0.17 0.09
0.00 0.00%
模 模 模 模 模 模 模 模
式 式 式 式 式 式 式 式
一 一 二 二 一 一 二 二
入 出 入 出 入 出 入 出
口 口 口 口 口 口 口 口
Type

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Hydrophilic Eliminator 對 AMC 影響分

 由上圖中,發現到在氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator
(disable) 應用時,經過 8 小時量測分析,得知 NH3 進風濃度值為
19.14ppb , NH3 出風濃度值為 3.28ppb ,去除效率值為 82.84% 。 SO2 進
風濃度值為 1.77ppb , SO2 出風濃度值為 0.17ppb ,去除效率值為
90.50% 。氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator (enable) 應用
時,經過 8 小時量測分析,得知 NH3 進風濃度值為 18.96ppb , NH3 出風
濃度值為 2.58ppb ,去除效率值為 86.40% 。 SO2 進風濃度值為
1.66ppb , SO2 出風濃度值為 0.09ppb ,去除效率值為 94.79% 。

 所以在經過 8 小時量測分析後,可以得到當 Hydrophilic Eliminator


(enable) 應用時,對 NH3 去除效率值上升 4.12% ,對 SO2 去除效率值上升
4.53% 。

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氣水比對 AMC 去除效率影響分析

NH3濃度 SO2濃度 NH3去除效率 SO2去除效率

25 100.00%

89.91% 90.00%
19.82 85.66%
20
77.73%
74.01%
80.00%
雙排逆

Removal efficiency(%)
70.00%
噴、 Hydrophilic-
Concentration(ppb)

15
12.98
60.00%
Eliminator (disable) 氣
50.00%
水比 0.08 與 0.06 去除
10 40.00%

30.00%
效率分析
4.41
5 3.37 20.00%

1.53 1.43 10.00%


0.15 0.21
0 0.00%
模 模 模 模 模 模 模 模
式 式 式 式 式 式 式 式
三 三 五 五 三 三 五 五
入 出 入 出 入 出 入 出
口 口 口 口 口 口 口 口
Type

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氣水比對 AMC 去除效率影響分析

 由上圖中,發現到在氣水比 0.06 、雙排對噴、 Hydrophilic-


Eliminator (disable) 應用時,經過 8 小時量測分析,得知 NH3
進風濃度值為 12.98ppb , NH3 出風濃度值為 3.37ppb ,去除效
率值為 74.01% 。 SO2 進風濃度值為 1.43ppb , SO2 出風濃度
值為 0.21ppb ,去除效率值為 85.66% 。氣水比 0.08 、雙排對
噴、 Hydrophilic-Eliminator (disable) 應用時,經過 8 小時量測
分析,得知 NH3 進風濃度值為 19.82ppb , NH3 出風濃度值為
4.41ppb ,去除效率值為 77.73% 。 SO2 進風濃度值為
1.53ppb , SO2 出風濃度值為 0.15ppb ,去除效率值為
89.91% 。

 所以在經過 8 小時量測分析後,可以得到當氣水比 0.06 至


0.08 應用時,對 NH3 去除效率值上升 4.78% ,對 SO2 去除效率
值上升 4.73% 。

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噴管佈置對系統加濕影響分

NH3濃度 SO2濃度 NH3去除效率 SO2去除效率

25 100.00%
94.79%
91.06% 90.00%
86.40%
83.23%
20 18.96 18.51 80.00%

氣水比

Removal efficiency(%)
70.00%
Concentration(ppb)

15 60.00% 0.08 、 Hydrophilic-


50.00% Eliminator (enable) 、雙
10 40.00% 排逆噴與對噴去除效率
30.00% 分析
5 20.00%
3.1
2.58
1.66 1.79
10.00%
0.09 0.16
0 0.00%
模 模 模 模 模 模 模 模
式 式 式 式 式 式 式 式
二 二 四 四 二 二 四 四
入 出 入 出 入 出 入 出
口 口 口 口 Type 口 口 口 口

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噴管佈置對系統加濕影響分

 由上圖中,發現到在氣水比 0.08 、雙排對噴、 Hydrophilic-
Eliminator (enable) 應用時,經過 8 小時量測分析,得知 NH3 進
風濃度值為 18.51ppb , NH3 出風濃度值為 3.10ppb ,去除效率
值為 83.23% 。 SO2 進風濃度值為 1.79ppb , SO2 出風濃度值為
0.16ppb ,去除效率值為 91.06% 。氣水比 0.08 、雙排逆噴、
Hydrophilic-Eliminator (enable) 應用時,經過 8 小時量測分析
,得知 NH3 進風濃度值為 18.96ppb , NH3 出風濃度值為
2.58ppb ,去除效率值為 86.40% 。 SO2 進風濃度值為
1.66ppb , SO2 出風濃度值為 0.09ppb ,去除效率值為
94.79% 。

 所以在經過 8 小時量測分析後,可以得到當噴管配置由對噴至
逆噴應用時,對 NH3 去除效率值上升 3.67% ,對 SO2 去除效率
值上升 3.94% 。

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八、討論與建議
 當氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator (enable) 應用時, NH3
去除效率值為 86.39% , SO2 去除效率值為 94.82% ,故此模式效率最佳
,能有效的控制出風端無機酸鹼汙染物 NH3 與 SO2 濃度值。
 當氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator (disable 至 enable) 應
用時,對 NH3 去除效率值上升 4.12% ,對 SO2 去除效率值上升 4.53% ,
所以當應用 Hydrophilic-Eliminator 為 enable 時,對於提升 NH3 與 SO2 氣
體去除效率有很大的幫助。
 當氣水比由 0.06 至 0.08 、雙排對噴、 Hydrophilic-Eliminator (disable) 應
用時,對 NH3 去除效率值上升 4.78% ,對 SO2 去除效率值上升 4.73% ,
所以當氣水比上升時,去除效率也相對的提高。
 當氣水比 0.08 、 Hydrophilic-Eliminator (disable) 應用、噴管配置由雙排
對噴至雙排逆噴時,對 NH3 去除效率值上升 3.67% ,對 SO2 去除效率值
上升 3.94% ,所以當噴管配置使用雙排逆噴時,去除效率較使用雙排順
噴時高。
 在氣水比、應用 Hydrophilic-Eliminator 、噴管配置等三個變因中,我們
可以得到氣水比對於 NH3 與 SO2 的去除效率影響最大。

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九、未來研究內容
 前述實驗以引進外氣來當入口端,但由於無機氣體在大氣濃度較低並且較
不易掌握,往後實驗將利用鋼瓶來釋放氣體,達到訂量與定性分析。
 往後將利用相關文獻中的經驗公式搭配實驗數據來比對,並整合出一套可
帶入各種參數 ( 例如:氣水比、進口濃度、液氣接觸時間、液滴粒徑大小
等 ) 之經驗公式,來求得去除效率與各項參數之關係,可供業界設計之參
考。
 前述實驗可得知 Hydrophilic-Eliminator 能有效幫助水洗加濕器去除無機酸鹼污染
物,未來將對此設備之性能來做相關實驗與探討。
 往後的實驗將會對業界常用之吸收距離、噴管配置、噴水粒徑與氣水比來做相關
實驗與分析。

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報告完畢 敬請指教
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