Scrubber

CLEAN SYSTEMS SINGAPORE
CLEANSORB 废气净化器
项目名称: IVO
CLEANSORB
型号: CS065/25/10SC
产品系列号: CS27074
客户: IVO
应用: 废气净化
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项目名称: IVO
系统图片
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项目名称: IVO
系统描述
我们公司的CLEANSORB 产品,在清洁效率和
易操作性上与同类产品相比有极高的优越性.在
目前在世界上处于领先地位。CLEANSORB 产
品对于处理在半导体生产过程中所产生的有害
气体例如AsH3, PH3, Cl2，HCl, HF, F2等等有着
特别好的效果。我们的产品还有下以下的特性：
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项目名称: IVO
1，处理后的气体保证低于国际废气排放标准(TLV)
2，在正常的压力和温度下进行废气处理（最大的安
全）
3，消耗很低的能量（最高的效率比）
4，占用较小的空间，并且能达到无尘工作间的标准
5，有两个相同的工作部分，易于对其中的一个进行
维护和修理
6，药剂桶有联合国批准的系列号，可安全的用来运
送有毒药物
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项目名称: IVO
CS065/25/10SC系统的最主要成份是桶内的干
式药剂，桶内可容纳65/25/10公升的各种药剂来
吸取不同的气体。吸附的气体与药剂里的矿物质
生成化学反应，过后保证不会把气体释放出去。
CSAG 公司经过多年研发的药剂有特大的吸附量。
一般应用在吸收更换气瓶柜的排气方面能够达到
至少两年以上的寿命。
CLEANSORB比市面一般的废气处理器的强势
是能在电流供应失效时继续操作，大大的减少了
保修人员的负担。
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项目名称: IVO
系统明细描述
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项目名称: IVO
连接材料
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项目名称: IVO
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项目名称: IVO
阀门符号作用说明：
• CDA：高压空气。使用于Bypass上的V5气压阀
• N2：工业氮气。带动毒气流入吸附器
• R1：氮气压力调节阀门。用于氮气流入吸附器的压力调节（建议0.7bar左右）
• F2：氮气流量调节器。用于氮气流入吸附器的流速调节（建议调至中心线）
• CV2：分流器。氮气压力过高时安全阀们自动打开释放气体
• VP：氮气清洗阀。在更换吸附器时使用氮气清洗吸附器（正常操作时关闭）
• V1：有毒气进口阀门。用于控制毒气进入吸附器的阀门（正常操作时打开）
• V2：净化气出口阀门。用于控制净化气排出吸附器的阀门（正常操作时打开）
• V3：毒气进口抽样阀门。用于检测有无毒气进入吸附器的阀门（正常操作时关闭）
• V4：净化气出口抽样阀门。用于检测被净化后的毒气含量（正常操作时关闭）
• V5：旁通管阀门。当更换吸附器时和正常操作下吸附器内压力超标时，旁通阀门自
动打开（正常操作时关闭）
• Q1：80%药剂检测口。用于药剂使用寿命检测，当吸附药剂使用了80%后可以检测
含有毒气。
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项目名称: IVO
详细内容请参考说明书，若有疑问请联系：
新加坡CS净化股份有限公司常驻中国售后服务部
地址：江苏省无锡市长江路锦江苑6-402
电话：86-510-82104606
传真：86-510-82104606
手机：13812012951
联系人：李军
E-mail:lijun@csclean.com.cn
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